CN101614960B - 具备喷嘴唇口清洗装置的狭缝式涂敷装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种具备喷嘴唇口清洗装置的狭缝式涂敷装置，所述喷嘴唇口清洗装置在进行用于制造平板显示元件用基板的光刻胶等药液涂覆工艺之后，可以有效去除狭缝喷嘴的喷嘴唇口(lip)上粘附的药液或者异物、并可以减少清洗液使用量。本发明包括：工作台；狭缝喷嘴，其设置在所述工作台上部，用于涂敷药液；移动单元，用于移动所述狭缝喷嘴或基板；唇口清洗单元，其将由清洗液和气体混合而成的混合流体喷射到所述狭缝喷嘴的唇口上并进行清洗；唇口干燥单元，其将干燥气体喷射到所述狭缝喷嘴的唇口；以及驱动单元，其设置于所述工作台的一侧，用于移动所述唇口清洗单元及所述干燥单元。

Description

具备喷嘴唇口清洗装置的狭缝式涂敷装置

技术领域：

本发明涉及一种具备喷嘴唇口清洗装置的狭缝式涂敷装置，尤其涉及一种可应用于用于制造平板显示元件用基板的狭缝涂敷工艺中的狭缝式涂敷装置，其具备可以有效去除狭缝喷嘴的喷嘴唇口(lip)上粘附的药液或者异物、并可减少清洗液使用量的喷嘴唇口清洗装置。

背景技术：

通常，在平板显示元件用基板上边进行照相平版印刷(Photolithography)工艺边形成电路图案。照相平版印刷工艺是，首先在基板上涂敷预定厚度的感光液，再对感光液(光刻胶)进行曝光、显影，然后再进行蚀刻工序，从而在基板上形成电路图案的工程。

这种照相平版印刷工艺中尤其重要的是，涂敷感光液工序中在基板的薄膜上形成预定厚度、分布均匀的感光层。若感光层的厚度比标准厚度厚或者薄，蚀刻就会进行得不均匀。

如此，在基板上涂敷感光液的工序一般可以是使用旋涂装置(spin coater)的旋转涂敷方式、以及使用狭缝式涂敷机(Slit coater)的非旋转涂敷方式。

如上所述的2种涂敷方式中，由于旋转涂敷方式随着作业环境(基板的旋转速度和溶剂的蒸发)的不同而形成不规则表面，因此感光液涂敷工序中主要使用具备狭缝式涂敷装置的非旋转涂覆方式。非旋转涂敷方式边通过狭缝式涂敷装置的狭缝喷嘴涂敷感光液，边在基板的薄膜上形成具有预定厚度的照相平版印刷用感光层(光刻胶层)。

这种涂敷工序使狭缝喷嘴的喷嘴唇口(lip)部分容易粘附感光液的残留物，因此只有随时去除所述残留的物质才能够保持均匀的涂覆质量。例如，若狭缝喷嘴的喷嘴唇口部分的感光液残留物质或者异物在粘附状态下凝固，感光液的喷出就会显得不规则，从而会成为导致涂敷质量下降的因素。

因此，需要利用清洗装置对狭缝喷嘴的喷嘴唇口部分进行清洗。所述狭缝喷嘴唇口的清洗装置，首先通过清洗液喷射单元向喷嘴喷射溶剂等清洗液进行清洗，然后再通过干燥气体喷射单元向喷嘴喷射气体，以此来干燥喷嘴。

上述现有的狭缝喷嘴的清洗装置将溶剂等清洗液直接喷射到狭缝喷嘴上而对狭缝喷嘴进行清洗，因此导致清洗液使用量过多，成本增加。而且，现有狭缝喷嘴的清洗装置对狭缝喷嘴唇口(lip)的清洗效果有必要实现最大化，然而现有的清洗装置未能使清洗效果达到最大化，从而会发生感光液涂敷不良的现象。

发明内容：

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种具备可以使狭缝喷嘴唇口的清洗效果达到最大化、并以减少清洗液使用量来降低生产成本的喷嘴唇口清洗装置的狭缝式涂敷装置。

为了实现上述目的，本发明提供一种狭缝式涂敷装置，其包括：工作台；狭缝喷嘴，其设置于所述工作台上部，用于涂敷药液；移动单元，其用于移动所述狭缝喷嘴或基板；唇口清洗单元，其将由清洗液和气体混合而成的混合流体喷射到所述狭缝喷嘴的唇口上并对其进行清洗；唇口干燥单元，其将干燥气体喷射到所述狭缝喷嘴的唇口；以及驱动单元，其设置于所述工作台的一侧，用于移动所述唇口清洗单元及所述干燥单元。

另外，本发明还提供一种狭缝式涂敷装置，其包括：工作台，用于放置基板；第一驱动单元，设置在所述工作台上；移动单元，与所述第一驱动单元相结合，并进行直线移动；喷嘴支撑单元，与所述移动单元相结合并进行上下移动；狭缝喷嘴，与所述喷嘴支撑单元相结合；第二驱动单元，设置于所述工作台的一侧；唇口清洗单元，设置在所述第二驱动单元上，并向所述狭缝喷嘴的唇口喷射由清洗液和气体混合而成的混合流体，对唇口进行清洗；唇口干燥单元，设置在所述第二驱动单元上，并向所述狭缝喷嘴的唇口喷射干燥气体。

所述唇口清洗单元包括：第一供给单元，用于供给清洗液；第二供给单元，设置于所述第一供给单元的一侧而供给气体；以及喷射单元，将由所述第一供给单元及所述第二供给单元分别供给的清洗液和气体混合后，喷射该混合气体。

所述第一供给单元最好包括：第一本体；清洗液供给管道，设置在所述第一本体上，并从清洗液供给装置接收清洗液；清洗液腔室，与所述清洗液供给管道连接；以及第一连接管道，连接在所述清洗液腔室和所述喷射单元之间。

所述第二供给单元最好包括：第二本体，与第一本体相结合；气体供给管道，设置在所述第二本体上，并从气体供给装置接收气体；气体腔室，与所述气体供给管道相连接；以及第二连接管道，连接在所述气体腔室和所述喷射单元之间。

所述唇口清洗单元及所述唇口干燥单元最好是相对向配对设置。

所述驱动单元最好是沿所述狭缝喷嘴的长度方向移动所述唇口清洗单元。

具有如上结构的本发明由于与清洗液腔室相连接的连接管道连接在喷射单元上，并利用汽化器原理喷射气体的同时，向狭缝喷嘴的唇口喷射混合有清洗液的混合流体，因此可以使狭缝喷嘴唇口的清洗效果达到最大化，并可以减少用于清洗狭缝喷嘴唇口的清洗液的使用量，从而达到降低制造成本的效果。

附图说明：

图1是用于说明本发明实施例的整体结构图。

图2是显示图1中主要部分的放大图。

图3是显示图2中主要部分的立体图。

图4是图3中IV-IV向剖面图。

具体实施方式：

以下结合附图详细说明本发明的优选实施例。

图1是用于说明本发明实施例涉及的狭缝式涂敷装置的整体结构图。狭缝式涂敷装置包括：工作台1，用于放置基板；多个第一驱动单元3，设置在工作台1的上部两侧；移动单元5，与多个第一驱动单元3相结合；喷嘴支撑单元7，与移动单元5相结合；狭缝喷嘴9，与喷嘴支撑单元7相结合；第二驱动单元11(如图2所示)，设置在工作台1上；以及喷嘴唇口清洗装置13，用于清洗作为狭缝喷嘴9的药液吐出单元使用的唇口9a(Lip，如图3所示)。

工作台1具有用于对基板G涂敷光刻胶的工作平面，并且包括下部支撑架1a和设置在下部支撑架1a上的石定盘1b。另外，工作台1上最好配置有基板支撑座1c，从而将基板G放置于基板支撑座1c上部。所述基板支撑座1c上打有多个真空孔，从而通过真空吸附使基板G呈固定状态。

第一驱动单元3最好是在石定盘1b的两侧上部相隔一定距离配对、且并排设置。并且，本发明实施例涉及的第一驱动单元3最好是直线电动机(Linear motor)。第一驱动单元3最好是与移动单元5相结合并可以使移动单元5直线移动的结构。所述第一驱动单元3只要是当移动单元5移动时，能够使振动最小化并具有恒定速度的结构均可使用。

移动单元5上连接有沿横穿基板G的方向布置的喷嘴支撑单元7。喷嘴支撑单元7通过以液压或空压运作的致动器15可上下方向移动地连接。

喷嘴支撑单元7的中间部分结合有可以上下方向移动、并向基板G涂敷光刻胶的狭缝喷嘴9。即，本实施例涉及的是，在基板G固定于基板支撑座1c的状态下，边直线移动移动单元5，边对基板G涂敷光刻胶的一个示例。

但是，本发明的实施例并不局限于上述示例，还可适用于基板移动、狭缝喷嘴固定的结构。即，虽然本发明实施例和图中显示第一驱动单元3具有能够使移动单元5做直线移动的结构，但本发明并不局限于此。当将第一驱动单元3应用到用于移动基板的结构中时，所述第一驱动单元3可以作为用于移动基板的驱动单元使用。

另外，在石定盘1b的一侧设置有第二驱动单元11，而第二驱动单元11上结合有喷嘴唇口清洗装置13。第二驱动单元11可以向与喷嘴支撑单元7结合的狭缝喷嘴9的长度方向移动喷嘴唇口清洗装置13。

第二驱动单元11可以是与狭缝喷嘴9的长度方向平行设置的直线电动机。该第二驱动单元11可具有与第一驱动单元3相同的结构。但是，在本发明的实施例中第二驱动单元11可以是通过直线导轨移动的结构、或通过皮带等移动的结构等。只要是可以沿狭缝喷嘴9的长度方向移送喷嘴唇口清洗装置13的同时，能够清洗狭缝喷嘴9的唇口(Lip)的结构均可使用。

所述第二驱动单元11上结合有喷嘴唇口清洗装置13。如图3所示，喷嘴唇口清洗装置13包括：与第二驱动单元11相结合的壳体101；与壳体101相结合的固定台103；与固定台103相结合的唇口清洗单元105、107；以及与固定台103相结合的唇口干燥单元109、111。

上述固定台103及用于固定固定台103的壳体101并不局限于本发明实施例中所示的结构。只要是可以固定唇口清洗单元105、107和唇口干燥单元109、111的结构均可使用，其形状或者构造也可以多种多样。

唇口清洗单元105、107相对向配对布置。而且，唇口干燥单元109、111也相对向配对布置。如上所述，唇口清洗单元105、107和唇口干燥单元109、111分别配对布置，这是为了同时清洗狭缝喷嘴9的唇口9a的两侧。

如图4所示，唇口清洗单元105包括：第一供给单元121，用于供给溶剂等清洗液；第二供给单元141，用于供给氮气等气体；以及喷射单元151，用于将由第一供给单元121和第二供给单元141供给的流体混合后，向基板G喷射该混合流体。该喷射单元151是从唇口清洗单元105的前端吐出混合流体的结构，最好具有狭缝(Slit)形状。

第一供给单元121包括：清洗液供给管道123，设置在第一本体122上，并与未图示的清洗液供给装置相连接而接收清洗液；清洗液腔室125，与清洗液供给管道123相连接；第一连接管道127，连接在清洗液腔室125和喷射单元151之间。

而且，第二供给单元141包括：气体供给管道143，设置在与第一本体122相结合的第二本体142上，并与未图示的气体供给装置相连接而接收氮气等气体；气体腔室145，与气体供给管道143相连接；第二连接管道147，连接在气体腔室145和喷射单元151之间。

在唇口清洗单元105中，当利用喷射单元151喷射由气体供给管道143、气体腔室145、以及第二连接管道147供给的气体时，经由清洗液供给管道123和清洗液腔室125供给的清洗液边沿着第一连接管道127流出，边与上述气体混合，从而喷射混合流体。该唇口清洗单元105以使用汽化器原理的结构对溶剂等清洗液和氮气等气体进行精细混合后，在高压状态下喷射雾状混合流体，从而可以清洗狭缝喷嘴9的唇口9a。

下面详细说明由以上结构构成的本发明狭缝式涂敷装置的操作过程。

首先，狭缝喷嘴9的唇口9a(Lip)需要清洗时，驱动第一驱动单元9使狭缝喷嘴9的唇口9a对应配置在喷嘴唇口清洗装置11上部。

此时，唇口清洗单元105、107使溶剂等清洗液和氮气等气体的混合流体喷射到狭缝喷嘴9的唇口9a上。即，若经由气体供给管道143、气体腔室145及第二连接管道147并通过喷射单元151喷出高压状态的氮气等气体，供给到清洗液供给管道123、清洗液腔室125的清洗液就会边沿着第一连接管道127流出，边与上述气体混合后以高压状态喷射。

因此，狭缝喷嘴9的唇口9a被由唇口清洗单元105、107喷出的雾状混合流体清洗。

接着，通过唇口干燥单元109、111喷射氮气等干燥气体，从而对狭缝喷嘴9的唇口9a进行干燥。所述过程中，由于喷嘴唇口清洗装置13通过第二驱动单元11沿狭缝喷嘴9的长度方向移动，因此在狭缝喷嘴9的整个领域中对唇口9a进行清洗和干燥。

因此，如本发明的实施例所述，清洗液和气体的混合流体以高压状态喷射，从而可以使狭缝喷嘴9之唇口9a的清洗效果达到最大化，并且可以减少清洗液使用量，从而达到降低成本的效果。

Claims (6)

1.一种狭缝式涂敷装置，其特征在于，包括：

工作台；

狭缝喷嘴，其设置在所述工作台上部，用于涂敷药液；

移动单元，其用于移动所述狭缝喷嘴或基板；

喷嘴唇口清洗装置，其包括

壳体；

固定台，其与所述壳体相结合；

唇口清洗单元，其与所述固定台相结合，将由清洗液和气体混合而成的混合流体喷射到所述狭缝喷嘴的唇口并对其进行清洗；

唇口干燥单元，其与所述固定台相结合，将干燥气体喷射到所述狭缝喷嘴的唇口；以及

驱动单元，其设置于所述工作台的一侧，并与所述壳体相结合，用于移动所述唇口清洗单元及所述唇口干燥单元。

2.根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于，所述唇口清洗单元包括：

第一供给单元，用于供给清洗液；

第二供给单元，设置于所述第一供给单元的一侧，用于供给气体；以及

喷射单元，将由所述第一供给单元及所述第二供给单元分别供给的清洗液和气体混合后，喷射该混合流体。

3.根据权利要求2所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于，所述第一供给单元包括：

第一本体；

清洗液供给管道，设置在所述第一本体上，并从清洗液供给装置接收清洗液；

清洗液腔室，与所述清洗液供给管道连接；以及

第一连接管道，连接在所述清洗液腔室和所述喷射单元之间。

4.根据权利要求3所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于，所述第二供给单元包括：

第二本体，与第一本体相结合；

气体供给管道，设置在所述第二本体上，并从气体供给装置接收气体；

气体腔室，与所述气体供给管道相连接；以及

第二连接管道，连接在所述气体腔室和所述喷射单元之间。

5.根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：所述唇口清洗单元及所述唇口干燥单元相对向配对设置。

6.根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：所述驱动单元沿所述狭缝喷嘴的长度方向移动所述喷嘴唇口清洗装置。

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