CN1451490A - 用于制造平板显示器的带有液体混合喷嘴的清洗装置 - Google Patents

用于制造平板显示器的带有液体混合喷嘴的清洗装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种带有一个液体混合喷嘴的清洗装置,所述的清洗装置带有一个液体混合喷嘴,所述的清洗装置用于清洗一块用于制造平板显示器的玻璃板,并且将一种清洗液和一种气体进行混合,将混合物均匀地喷涂在玻璃板的整个表面上,由此,使用最少量的清洗液而产生较好的清洗效果。液体混合喷嘴包括一个方形的喷嘴,它将一种清洗液和一种加压气体进行混合,并将混合物喷涂在平板显示器。通过在一个预定的间隔内利用流线形结构部分的喷嘴的短轴方向上紧固喷嘴,而可能防止喷嘴的一个缺口发生弹性变形。即使使用很少量清洗液,也可能将混合物均匀地喷涂到平板显示器的整个表面上,并且提高了用于制造平板显示器的玻璃板的清洗效果。

Description

用于制造平板显示器的带有液体混合喷嘴的清洗装置
技术领域
本发明涉及一种平板显示器清洗装置,特别是涉及一种用于制造平板显示器的带有一个液体混合喷嘴的清洗装置。
背景技术
因为平板显示器,如液晶显示器(LCD)的一体化的增长,除去平板显示器制造过程中的污染或环境污染,来维持生产量和质量控制就变得很重要。因此,需要清洗用来制造平板显示器的玻璃板,除去玻璃板上污染物和微粒。一般来说,玻璃板由清洗液来清洗,例如用脱离子水,玻璃板上的有机物或无机物就被清除掉或分解了。此处,清洗液由一个清洗装置的喷雾嘴喷涂到玻璃板上。
这样的一个清洗装置和/或一个喷雾嘴应该满足以下要求:
第一.清洗装置和/或喷雾嘴应该使用最少量的清洗液而有一个较好的清洗效果。第二.清洗装置和/或喷雾嘴应该将清洗液均匀地喷在玻璃板表面上。第三.清洗装置和/或喷雾嘴应该包括数量较少的组件,以便容易组装和维护。
为了减少使用的清洗液的量,气体如空气可以混到清洗液中。例如,如图1所示,带有一个液体混合喷嘴的清洗装置,可以减少使用的清洗液的量。
如图1所示,带有一个液体混合喷嘴的普通的清洗装置10由一个圆柱形的喷嘴体20,一个给喷嘴体20供应液体如清洗液的液体供应单元30,和一个给喷嘴体20供应气体的气体供应单元40组成。液体和气体各自由液体供应单元30和气体供应单元40供给喷嘴体20。混合物通过位于喷嘴体20末端的一个喷嘴25喷涂到玻璃板50上。
图2显示混合物的喷涂区55。如图2所示,混合物的喷涂区55围绕着喷嘴25呈环形。因此,带有一个液体混合喷嘴10的清洗装置只能将混合物喷涂到环绕着喷嘴25的一个限定的区域内。为了将混合物均匀地喷涂在玻璃板50的整个表面上,需要在与玻璃板50移动的方向成直角的方向上安装多个液体混合喷嘴10。但是,这样增加了整个组件的数量,使组装和维护带有多个液体混合喷嘴10的清洗装置变得很困难。
另外,因为混合物的喷涂区55是环形的,对于移动的玻璃板50或位于相邻的液体混合喷嘴10之间的空间就会发生重叠清洗。因此,使用的清洗液的量就会增加,并且混合物也不能均匀地喷涂到玻璃板50的整个表面上。
发明内容
本发明提供一种带有一个液体混合喷嘴的清洗装置,用于清洗用在制造平板显示器中的玻璃板,它将一种清洗液与一种气体混合,将混合物均匀地喷涂到玻璃板的整个表面上,因此,使用最少量的清洗液而产生较好的清洗效果。
根据本发明的一个方面,提供一种带有一个液体混合喷嘴的清洗装置,它包括一个环形的主体,还包括一个方形的喷嘴,一个分隔壁,分隔壁沿着主体的一个主轴位于主体中心将主体分成一个常压清洗液贮存单元和一个加压气体贮存单元,一个位于分隔壁的一侧的加压空气贮存单元上部分内的空气供应孔,一个位于加压气体贮存单元内的层流转换设备,它将从气体供应口供应的加压气体的流动转变成层流,一个位于分隔壁另一侧的清洗液贮存单元上部分内的清洗液供应口,一个 形的液体混合喷嘴,它混合通过位于清洗液贮存单元下方的一个水平管道供应来的清洗液和通过位于加压气体贮存单元下方的一个垂直管道供应来的加压气体,并且通过喷嘴将混合物喷涂到平板显示器上,流线形结构部分和将喷嘴在喷嘴的短轴方向上固定来防止喷嘴的缺口发生弹性变形。
层流转换装置是一个穿孔板,它将加压气体贮存单元分成一个上贮存单元和一个下贮存单元。液体混合喷嘴是一个文氏管,
Figure A0312212700062
形的喷嘴位于液体混合喷嘴的一端。
优选的是,喷涂在平板显示器上的液体的量和喷涂的混合物的动能通过控制加压气体的流速来控制。
清洗装置的主轴与平板显示器的移动方向成直角,并且多于两个清洗装置可以安装在平板显示器移动的方向上。另外,它们可以安装在平板显示器的上,下两侧。
根据本发明,喷涂的清洗液量比现有的清洗装置少。因为清洗液均匀地喷涂到玻璃板的整个表面上,会提高对用于制造平板显示器中的玻璃板的清洗效果。另外,本发明的清洗装置提供一种方形的液体混合喷嘴来代替现有的清洗装置的多个液体混合喷嘴。因为清洗装置的组件的数量少,清洗装置易组装和维护。
附图说明
下面结合附图和详细实施例对本发明的如上和其它特征和优点进行详细描述。
图1是带有一个液体混合喷嘴的普通清洗装置的示意图;
图2显示了如图1所示的普通清洗装置的混合物的喷涂区;
图3是根据本发明的一个实施例的带有一个液体混合喷嘴的清洗装置的示意图;
图4是沿图3中IV-IV’线的剖视图;
图5是图4所示的一部分的放大图;
图6是可以包括在图3所示的清洗装置中的带孔板的俯视图;
图7显示图3所示的清洗装置的混合物的喷涂区;
图8是根据本发明的另一个实施例的带有一个液体混合喷嘴的清洗装置的立体图;
图9是根据本发明的再一个实施例的带有一个液体混合喷嘴的清洗装置的立体示意图。
具体实施方式
下面将参考附图对本发明进行详细描述,附图中显示了本发明的优选的实施例。但是,本发明可以通过不同的方式来体现,而并不局限于在此提出的实施例。本发明愿意所提供的这些实施例的公开对本领域内的人员是彻底和完全。在附图中,元件的形状为了清楚起见放大了。为了理解方便,附图中相同的附图标记指代相同的元件。
图3是根据本发明的一个实施例的带有一个液体混合喷嘴的清洗装置100的示意图,是沿着平板显示器的移动方向绘制的。
参照图3,根据本发明的一个实施例的带有一个液体混合喷嘴的清洗装置100包括一个方形的带有喷嘴170的主体110,喷嘴170也是方形的。清洗液和加压气体的混合物167从喷嘴170喷涂到平板显示器190上。附图标记140表示安装在图4所示的清洗液贮存单元130上的一个溢流管,后面将结合图4对其进行详细描述。
为了防止由于从喷嘴170喷出的混合物167的压力而使喷嘴170的缺口发生弹性变形,在喷嘴170的末端在预定间隔形成有流线形结构部分180。流线形结构部分180上有孔,螺栓穿过这些孔沿着喷嘴170的短轴方向紧固喷嘴170。也就是,喷嘴170包括由流线形结构部分180分隔开的预定间隔的方形小孔。由于混合物167的压力而施加到喷嘴170的缺口上的力通过螺栓扭矩来补偿,将混合物167从喷嘴170喷涂到玻璃板190上而不发生任何弹性变形成为可能。如果没有流线形结构部分180,由于高压力的混合物167,施加到喷嘴170上的力就会使喷嘴170的缺口产生弹性变形。因此,喷嘴170的缺口就会变成椭圆形,偏移量在10%之内。因此,混合物167不能被均匀地喷涂到玻璃板190的整个表面上。
图4是沿图3中IV-IV’线的剖视图;图5是图4所示的一部分的放大图。
对照图4,一个分隔壁115沿着主体110的主轴安装在主体110的中心。分隔壁115将主体110分成一个常压清洗液贮存单元130和一个加压气体贮存单元150。
一个气体供应孔155位于分隔壁115的一侧的加压气体贮存单元150的上部分。通过气体供应孔155供给的加压气体的流动在经过一个位于加压气体贮存单元150内的层流转换设备145后变为层流。层流转换设备145将加压气体贮存单元150分成一个上贮存单元143和一个下贮存单元147。加压气体可以是清洗的干燥空气(CDA)。
一个清洗空气供应孔135形成于分隔壁115的另一侧的清洗液贮存单元130的上部分内。如果多于预定量的清洗液贮存在清洗液贮存单元130内,图3所示的溢流管140可以排出多余的清洗液,这样,由清洗液供应孔135供应的清洗液的压力就可以变为常压。
参照图4和图5,
Figure A0312212700091
形的液体混合喷嘴160位于分隔壁115的一个下部分内。清洗液137和加压气体157分别通过一个位于清洗液贮存单元130下方的水平管道和一个位于加压气体贮存单元157下方的垂直管道供应给液体混合喷嘴160,即,下贮存单元147。清洗液137和加压气体157混合后变成混合物167。混合物167通过喷嘴170喷涂在图3所示的平板显示器190上。此处,优选的是,液体混合喷嘴160是文氏管,以致引起不同直径尺寸的管道之间的压力不同。另外,优选的是,喷嘴170内有一个液体混合喷嘴160。
图6是上穿孔板的俯视图,穿孔板可以用作层流转换装置145。例如,加压气体157在通过穿孔板145上的孔146后,由气体供应孔155供给的加压气体157的流动就变为层流。
在下文中,将会详细描述对带有一个液体混合喷嘴的清洗装置的操作。由气体供应孔155供给的流入气体157首选转变成管流,加压气体贮存在上贮存单元143内。贮存在上贮存单元143内的加压气体157在经过穿孔板145的孔146后,在由于管道直径尺寸的不再而不同的压力的影响下转变成层流。因为加压气体在经过穿孔板145的孔146后均匀在被压缩,在经过孔146后加压气体的流动就转变成均匀的层流。因为加压气体转变成层流,加压气体在下贮存单元147内截面迅速膨胀,它的流速降低。因为动能的减小所以压能迅速增加,加压气体157根据高压下的层流流动。根据高压下的层流流动的加压气体157供应给液体混合喷嘴160并且在经过文氏管形的液体混合喷嘴160后,产生一个真空压力。
另外,如果贮存在清洗液贮存单元130内的清洗液的量比预定的要多,通过溢流管140排出多余的清洗液来维持一个预定水平的头压。清洗液137由位于清洗液贮存单元130下方的水平管道供应。然后,清洗液137和加压气体157混合,在加压气体157经过液体混合喷嘴160后,利用产生的真空压力来喷出混合物167。因此,使用最少量的清洗液来达到最好的清洗效果。喷涂到平板显示器190上的清洗液的量和混合物167的动能通过控制加压气体157的流速来控制。同样,谈到混合物167的动能,混合物167的喷涂形状可以变化。
图7显示了带有一个液体混合喷嘴的清洗装置的混合物的喷涂形状195。如图7所示,平板显示器190的表面上的混合物的方形的喷涂区195经过位于喷嘴170的末端的预定间隔的流线形结构部分180,为的是防止由于从喷嘴170喷出的混合物167的压力而引起喷嘴170的缺口发生弹性变形。此处,混合物在经过流线形结构部分180时开始分离,因此在混合物167的下部分形成流动紊乱。流线形结构部分180的尺寸和放置间隔是除去紊乱的距离的一个重要因素。就是说,通过位于利用流线形结构180的喷嘴170上的预定间隔的方形微孔来使混合物从喷嘴170均匀地喷出并使螺栓扭矩保持恒定。即使喷嘴170的长度达到最大,混合物167均匀地喷涂到玻璃板的整个表面上喷嘴170也不会发生弹性变形。另外,因为清洗区域没有重叠,可能减少清洗液的消耗量。
图8显示了根据本发明的另一个实施例的带有一个液体混合喷嘴的清洗装置。在带有一个液体混合喷嘴的清洗装置中,带有图3中所示的的液体混合喷嘴的清洗装置的主轴与平板显示器190的移动方向成直角,两个清洗装置连续放置。此处,连续的清洗装置的数量多于两个。因此,可能提高清洗效果和可以清洗一个大面积的玻璃板。
图9所示为根据本发明的再一个实施例的带有一个液体混合喷嘴的清洗装置。在带有上述的液体混合喷嘴的清洗装置中,带有图3所示的液体混合喷嘴的清洗装置的主轴与平板显示器190的移动方向成直角,带有一个液体混合喷嘴的清洗装置的上部分和下部分相互对称。因此,平板显示器190的两侧可以同时清洗。
根据本发明,因为使用由一种清洗液和一种气体产生的混合物,从而使使用最少量的清洗液而提高清洗效果成为可能。因为所混合的不同的物质有不同的特性,可能利用两种不同的物质。通过使用一个将供应到一个主体上部分的流动转换成层流并且阻止喷嘴的缺口发生弹性变形的转换设备,可能有效地混合一种清洗液和一种气体,并且来维持一个预定的喷涂形状。因此,可以提供一种带有一个液体混合喷嘴的清洗装置,它使用少量的清洗液,并将清洗液和气体的混合物均匀地喷涂到平板显示器的整个表面上。
另外,本发明的清洗装置提供一种方形的液体混合喷嘴来代替现有的清洗装置的多个液体混合喷嘴。因为清洗装置元件的数量减少,清洗装置易于组装和维护。
通过使用连续数量的带有一个液体混合喷嘴的清洗装置,可以提高清洗效果并且清洗一个大面积的玻璃板。
虽然通过以上的实施例对本发明进行了详细的描述和说明,可以理解本领域的技术人员在不偏离本发明的精神和范围内各种修改都在本发明所附的权利要求的保护范围内。

Claims (7)

1.一种带有一个液体混合喷嘴的清洗装置,包括:
一个主体,所述的主体是方形的,并且包括一个方形的喷嘴;
一个分隔壁,所述的分隔壁沿着主体的主轴位于主体的中心,并且将主体分成一个常压清洗液贮存单元和一个加压气体贮存单元;
一个层流转换设备,所述的层流转换设备位于加压气体贮存单元内,将从气体供应孔供应的加压气体的流动转变成层流;
一个清洗液供应孔,所述的清洗液供应孔位于分隔壁的另一侧的清洗液供应单元的上部分内;
一个混合液体喷嘴,所述的混合液体喷嘴是
Figure A0312212700021
形的,混合通过位于清洗液贮存单元下方的一个水平管道供应来的清洗液和通过位于加压气体贮存单元下方的一个垂直管道供应来的加压气体,并且通过喷嘴将混合物喷涂在平板显示器上;并且
流线形的结构和将喷嘴沿着喷嘴的短轴方向紧固来防止喷嘴的缺口发生弹性变形。
2.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于:所述的层流转换装置是一个穿孔板,所述的穿孔板将加压气体贮存单元分隔成一个上贮存单元和一个下贮存单元。
3.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于:所述的液体混合喷嘴是一个文氏管。
4.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于:所述的喷涂在平板显示器上的清洗液的量和混合物的动能通过控制加压气体的流速来控制。
5.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于:所述的喷嘴位于形的液体混合喷嘴一端。
6.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于:所述的清洗装置的主轴位于与平板显示器移动的方向成直角的方向上,多于两个的清洗装置连续地位于与平板显示器移动的方向成直角的方向上。
7.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于:所述的清洗装置的主轴位于与平板显示器移动的方向成直角的方向上,清洗装置的上部分和下部分成对安装,所以玻璃板放置于清洗装置的上部分和下部分之间,清洗装置的上部分和下部分垂直,相互对称。
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