KR100586239B1 - 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치 - Google Patents

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Abstract

평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치를 개시한다. 본 발명에 따른 유체 혼합 분사 장치는, 세정액과 압력 기체를 혼합하여 분사하는 장방형 노즐을 구비한다. 등간격의 유선형 기구들이 노즐의 단축 방향에서 노즐을 체결하여 노즐 간극의 탄성 변형을 방지한다. 본 발명에 따르면, 세정액의 분사량이 기존 세정 장치보다 소량이며, 세정액을 균일하게 분사하여 평판 디스플레이 제조에 사용되는 유리기판의 세정 효과를 향상시킬 수 있다.

Description

평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치{Cleaning apparatus having fluid mixing nozzle for manufacturing flat panel display}
도 1은 종래의 일반적인 기체액체 혼합류 분사 장치를 도시한 것이다.
도 2는 도 1의 장치에서 분사되는 기체액체 혼합류의 분사면적을 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치를 도시한 것이다.
도 4는 도 3 장치의 Ⅳ-Ⅳ' 단면도이다.
도 5는 도 4의 일부분을 확대 도시한 것이다.
도 6은 도 4에 포함될 수 있는 다공판의 상면도이다.
도 7은 도 3의 장치에서 분사되는 기체액체 혼합류의 분사면적을 나타낸 것이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치를 도시한 것이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치를 도시한 것이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110 : 몸체, 115 : 분리 격벽, 130 : 세정액 저장부,
135 : 세정액 공급구, 145 : 층류변환수단, 150 : 기체 저장부,
155 : 기체 공급구, 160 : 혼합분사기, 170 : 노즐,
190 : 평판 디스플레이.
본 발명은 평판 디스플레이 제조용 세정 장치에 관한 것으로, 특히 2 종 이상의 세정용 유체를 혼합하여 평판 디스플레이 제조용 유리기판에 분사하는 장치에 관한 것이다.
엘씨디(LCD)로 대표되는 평판 디스플레이의 고집적화가 진행될수록, 제조 공정 중에서 발생하는 오염 및 환경성 오염을 제어하는 일이 제조 수율 및 제품의 품질 관리를 위해서 매우 중요하다. 이에 따라, 평판 디스플레이의 제조에 사용되는 유리기판은 그 위의 이물질 및 입자들을 제거하는 세정 공정을 필수로 요구한다. 이러한 세정 공정에서는 일반적으로 순수 등의 세정액을 사용하여 유리기판 위에 형성된 유기물이나 무기물을 제거하거나 분해하며, 이를 위해 세정액은 세정 장치의 분사 노즐로부터 유리기판 측으로 분사되어진다.
이와 같은 세정 장치 및/또는 분사 노즐은 다음의 요구사항들을 만족하는 것이 바람직하다.
첫째, 가능한 한 적은 양의 세정액을 사용하더라도 우수한 세정 효과를 얻을 수 있어야 한다. 둘째, 유리기판 전면(全面)에 걸쳐 세정액을 균일하게 분사할 수 있어야 한다. 셋째, 적은 수의 부품으로 구성되어 있어 조립 및 유지보수가 용이하여야 한다.
이와 같은 요구사항들 중 세정액의 사용량을 줄이기 위한 방법으로써, 세정액에 공기와 같은 기체를 혼합하여 분사하는 방법을 생각해 볼 수 있다. 예컨대, 도 1에 도시한 바와 같은 기체액체 혼합류 분사 장치를 이용하는 방법을 생각해 볼 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 일반적인 혼합류 분사 장치(10)는 원통형 노즐 몸체(20), 노즐 몸체(20) 내부로 세정액과 같은 액체를 공급할 수 있는 액체 공급부(30) 및, 공기와 같은 기체를 공급할 수 있는 기체 공급부(40)로 구성된다. 액체 공급부(30)와 기체 공급부(40)를 통하여 노즐 몸체(20)로 각각 공급된 액체와 기체는 그 내부에서 혼합되어져 혼합류 상태가 된다. 기체액체 혼합류는 노즐 몸체(20) 하단에 구비된 노즐(25)을 통하여 유리기판(50) 상으로 분사된다.
도 2는 혼합류의 분사면적을 나타낸다. 도 2에서 알 수 있듯이, 혼합류의 분사면(55)은 노즐(25)을 중심으로 하는 환상(annular)이다. 이와 같이, 종래의 혼합류 분사 장치(10)는 노즐(25)을 중심으로 제한된 값의 혼합류 분사면적을 갖는다. 따라서, 유리기판(50) 전면에 걸쳐 혼합류가 고르게 분사되도록 하려면, 유리기판(50)의 운송 방향에 수직인 방향 상으로 여러 개의 혼합류 분사 장치(10)를 배열하여야 한다. 이에 따라, 세정 장치를 구성하는 전체 부품의 개수가 많아지므로 조립 및 유지보수가 용이하지 않다.
뿐만 아니라, 혼합류의 분사면(55)이 환상이므로, 유리기판(50)의 운송에 따라 또는 인접한 혼합류 분사 장치(10)와의 간격에 따라 중복적인 세정부가 생기는 문제가 있다. 결국, 사용되는 세정액이 증가되고 유리기판(50) 전면에 걸쳐 혼합류를 균일하게 분사할 수 없다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 가능한 한 적은 양의 세정액을 사용하더라도 우수한 세정효과를 얻을 수 있도록, 세정액과 기체를 혼합하여 유리기판에 균일하게 분사하는 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유체 혼합 분사 장치는, 장방형 노즐을 구비한 장방형 몸체를 포함한다. 상기 몸체 내측 중심부에는 상기 몸체의 장축을 따라 분리 격벽이 구비되어, 상기 몸체 내부를 대기압 상태 세정액 저장부와 압력 기체 저장부로 분리한다. 상기 분리 격벽 일측의 상기 기체 저장부 상부에는 기체 공급구가 설치된다. 상기 기체 공급구로부터 유입되는 압력 기체는 상기 기체 저장부 내에 설치된 층류변환수단을 통과하면서 층류로 변환된다. 상기 분리 격벽 타측의 상기 세정액 저장부 상부에는 세정액 공급구가 설치된다. 상기 분리 격벽 저면에는 ㅓ형 액체기체 혼합분사기가 구비된다. 이 혼합분사기는 상기 세정액 저장부 하단에 마련된 수평유로와 상기 기체 저장부 하단에 마련된 수직유로로부터 각각 공급받은 세정액과 압력 기체를 혼합시켜 상기 노즐을 통 하여 평판 디스플레이 측으로 분사한다. 등간격의 유선형 기구들이 상기 노즐의 단축 방향에서 상기 노즐을 체결하도록 함으로써 상기 노즐 간극의 탄성 변형을 방지한다.
본 발명에 있어서, 상기 층류변환수단은 상기 압력 기체 저장부를 상부 및 하부로 분리하는 다공판일 수 있다. 상기 혼합분사기는 벤츄리관(venturi tube)일 수 있다. 상기 혼합분사기의 말단은 상기 노즐과 일체인 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 압력 기체의 유속을 조절하여 상기 평판 디스플레이에 분사되는 세정액의 양과, 상기 분사되는 세정액과 기체 혼합류의 운동에너지를 조절하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 유체 혼합 분사 장치는, 그 장축이 평판 디스플레이의 운송 방향과 직각으로 놓이도록 하고, 상기 운송 방향에 대하여 연속적으로 2 개 이상 설치할 수 있다. 대신에, 평판 디스플레이에 대하여 상하 대칭으로 설치할 수도 있다.
본 발명에 따르면, 세정액의 분사량이 기존 세정 장치보다 소량이다. 그리고, 세정액을 균일하게 분사하여 평판 디스플레이 제조에 사용되는 유리기판의 세정 효과를 향상시킬 수 있다. 또한, 기판 전면을 세정하기 위하여 종래처럼 여러 개의 혼합류 분사장치를 배열하는 것이 아니라, 장방형의 노즐을 구비시킨다. 따라서, 적은 수의 부품으로 구성되어 있어 조립 및 유지보수가 용이하다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 그러나, 다음에 설명하는 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예들에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되어지는 것이다. 도면에서 동일 참조부호는 동일한 요소를 가리킨다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치를 도시한 것이다. 예컨대, 평판 디스플레이의 운송 방향에서 바라본 상태를 도시한 것이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치(100)는 장방형 노즐(170)을 구비한 장방형 몸체(110)를 포함한다. 노즐(170)로부터 분사되는 세정액과 압력 기체의 혼합류(167)는 평판 디스플레이(190) 쪽으로 분사된다. 참조부호 140은 세정액 저장부(도 4의 130)에 설치되는 오버플로(overflow)관으로서, 후술한다.
분사되는 혼합류(167)의 압력에 기인하여 노즐(170) 간극이 탄성 변형되는 것을 방지하도록, 노즐(170)의 단축 방향에서 등간격의 유선형 기구(180)들을 설치하고, 그 내부에 구멍을 내어 볼트를 체결하여 노즐(170)에 체결한다. 즉, 유선형 기구(180)들에 의해 노즐(170)은 일정한 간격으로 이격된 장방형 셀 개념의 노즐들로 구성된다. 고압의 혼합류(167)에 의하여 노즐 간극에 작용되는 힘이 볼트의 체결력에 의하여 보상되므로, 노즐(170) 간극의 탄성 변형없이 균일한 분류를 얻을 수 있다. 유선형 기구(180)들을 설치하지 않는다면, 혼합류가 노즐 간극에 미치는 매우 큰 힘에 의하여 노즐 간극이 탄성적으로 변형되어, 표준편차 10% 정도에서 타 원형으로 될 것이다. 이렇게 되면 분출 분류의 균일화를 얻을 수 없다.
도 4는 도 3 장치의 Ⅳ-Ⅳ' 단면도이고, 도 5는 도 4의 일부분을 확대 도시한 것이다.
우선 도 4를 참조하면, 몸체(110) 내측 중심부에는 몸체(110)의 장축을 따라 분리 격벽(115)이 구비된다. 분리 격벽(115)은 몸체(110) 내부를 대기압 상태 세정액 저장부(130)와 압력 기체 저장부(150)로 분리한다.
분리 격벽(115) 일측의 기체 저장부(150) 상부에는 기체 공급구(155)가 설치된다. 기체 공급구(155)로부터 유입되는 압력 기체는 기체 저장부(150) 내에 설치된 층류변환수단(145)을 통과하면서 층류로 변환된다. 층류변환수단(145)은 기체 저장부(150)를 상부 저장부(143) 및 하부 저장부(147)로 분리한다. 압력 기체는 예컨대, CDA(Clean Dry Air)이다.
분리 격벽(115) 타측의 세정액 저장부(130) 상부에는 세정액 공급구(135)가 설치된다. 도 3에 나타낸 오버플로관(140)은, 세정액 공급구(135)로부터 공급되는 세정액을 대기압 상태로 저장할 수 있도록, 세정액 저장부(130)에 일정 수준 이상의 세정액이 저장되면 과잉 세정액을 배수시킨다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 분리 격벽(115) 저면에는 ㅓ형 액체기체 혼합분사기(160)가 구비된다. 이 혼합분사기(160)는 세정액 저장부(130) 하단에 마련된 수평유로(139)와 기체 저장부(150) 하단, 즉 하부 저장부(147) 하단에 마련된 수직유로(149)로부터 세정액(137)과 압력 기체(157)를 각각 공급받는다. 공급된 세정액(137)과 압력 기체(157)는 혼합되어져 혼합류(167) 상태가 되어, 노즐(170) 을 통하여 평판 디스플레이(도 3의 190) 측으로 분사된다. 여기서, 혼합분사기(160)는 유로의 직경차에 따라 압력차를 유발할 수 있는 벤츄리관인 것이 바람직하다. 그리고, 혼합분사기(160)의 말단은 노즐(170)과 일체인 것이 바람직하다. 즉, 유로와 토출단이 일체로 구성되는 것이 바람직하다.
도 6은 층류변환수단(145)으로서 사용할 수 있는 다공판의 상면도이다. 예컨대, 기체 공급구(155)로부터 유입되는 압력 기체는 다공판의 구멍(146)을 관통하면서 층류로 변환된다.
이상의 설명과 함께, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치(100)의 작용을 더욱 상세히 알아보면, 기체 공급구(155)로부터 유입되는 기체는 난류가 층류로 변하여 상부 저장부(143)에 1차 저장된다. 상부 저장부(143)에 저장된 압력 기체는 다공판의 구멍(146)을 관통하면서 유로의 직경차에 의한 압력에 의해서 또 한번의 난류가 층류로 변환된다. 다공판의 구멍(146)을 관통하면서 기체가 균일하게 압축되므로 구멍(146)을 통과한 후 기체는 균일 압력을 지닌 층류로 변환된다. 층류가 된 압력 기체는 하부 저장부(147)에서 단면적이 급팽창되기 때문에 속도가 작아지게 된다. 속도 에너지의 감소에 따라 압력 에너지가 급증하여 고압의 층류가 된다. 이어서, 층류의 압력 기체(157)는 혼합분사기(160)로 공급되고, 최종적으로 벤츄리관으로 된 혼합분사기(160)를 통과하면서 진공압을 형성한다.
또한, 세정액 저장부(130)는 일정 수준의 세정액이 저장되면 오버플로관(140)을 통해 배수되어 항상 일정한 수준의 수두 압력을 유지하게 한다. 세정액 저장부(130) 하단에 마련된 수평유로(139)를 통해 세정액(137)이 공급되고, 위에서 압력 기체의 통과로 발생한 진공압에 의해서 세정액(137)과 압력 기체(157)가 혼합류(167)가 되어 분사되므로 적은 양의 세정액으로도 세정의 효과를 극대화한다. 압력 기체(157)의 유속을 조절하여 평판 디스플레이(190)에 분사되는 세정액의 양과, 혼합류(167)의 운동에너지를 조절할 수 있다. 혼합류(167)의 운동에너지에 따라 분사 형상이 결정된다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치(100)에서 분사되는 기체액체 혼합류의 분사면적을 나타낸 것이다. 도 7에서 보는 바와 같이 평판 디스플레이(190) 상부면에 혼합류의 분사면(195)이 장방형을 이룬다. 이것은 도 3을 참조하여 설명한 바와 같이, 등간격의 유선형 기구(180)들을 노즐(170)의 단축 방향에서 노즐(170)에 체결함으로써, 분사되는 혼합류의 압력에 기인하여 노즐(170) 간극이 탄성 변형되는 것을 방지하기 때문이다. 이 때, 혼합류는 유선형 기구(180)들을 통과하면서 박리가 시작되고, 하류에 와동이 형성된다. 이 주류가 합류되고 와동이 사라지는 거리에 대하여 유선형 기구(180)의 크기와 유선형 기구(180)들 사이의 간격이 중요한 인자가 된다. 즉, 유선형 기구(180)들을 이용하여 노즐(170)을 일정한 간격으로 이격된 장방형 셀 개념의 노즐들로 구성함으로써, 혼합류가 노즐(170)에서 균일하게 분사되며, 볼트의 체결력이 일정하게 유지되기 때문에 노즐의 길이가 극대화되어도 노즐에서 탄성 변형이 발생하지 않으므로 언제나 균일한 분류를 얻을 수 있다. 그리고, 도면에서 보듯이 세정 영역의 교차가 없으므로 세정액의 감소 효과를 적극적으로 이용할 수 있게 된다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치를 도시한 것이다. 도 8에 나타낸 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치(200)는 도 3에 나타낸 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치(100)를, 상기 장치(100)의 장축이 평판 디스플레이(190)의 운송 방향과 직각으로 놓이도록 하고, 상기 장치(100)를 상기 운송 방향에 대하여 연속적으로 2 개 설치한 것이다. 연속하여 설치하는 개수는 2 개 이상일 수 있다. 이렇게 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치(100)를 복수개 설치하면 세정 효과를 일층 증가시킬 수 있고, 대면적의 유리기판에 적용할 수 있다.
한편, 도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치를 도시한 것이다. 도 9에 나타낸 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치(300)는 상기 장치(100)의 장축이 평판 디스플레이(190)의 운송 방향과 직각으로 놓이도록 하고, 상기 장치(100)를 상기 평판 디스플레이(190)에 대하여 상하 대칭으로 설치한 것이다. 이에 따라, 평판 디스플레이(190)의 양면을 동시에 세정할 수 있다.
본 발명의 특정 실시예들에 대한 이상의 설명은 예시 및 설명을 목적으로 제공되었다. 본 발명은 상기 실시예들에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 많은 수정 및 변형이 가능함은 명백하다.
본 발명에 따르면, 세정액과 기체를 혼합시켜 사용하므로 적은 양의 유체를 사용하더라도 세정 효율을 향상시킬 수 있다. 성질이 다른 유체를 혼합하여 사용하므로 두 유체의 장점 특성을 살려 사용할 수 있다. 몸체 내측 상부로 유입된 난류의 기체를 층류로 변환하는 수단을 구비시키고, 노즐 간극의 탄성 변형을 방지함으로써, 액체와 기체의 혼합 상태를 극대화하고 일정한 분무 형상을 유지하도록 한다. 따라서, 저유량, 고균질의 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치를 제공할 수 있다.
그리고, 평판 디스플레이 전면을 세정하기 위하여 종래처럼 여러 개의 혼합류 분사장치를 배열하는 것이 아니라 장방형의 노즐을 구비시킨다. 따라서, 적은 수의 부품으로 구성되어 있어 조립 및 유지보수가 용이하다.
뿐만 아니라, 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치를 연속 사용하면 세정 기능을 강화할 수 있고, 대면적 유리기판에 적용할 수 있다.

Claims (7)

  1. 장방형 노즐을 구비한 장방형 몸체;
    상기 몸체 내부를 대기압 상태 세정액 저장부와 압력 기체 저장부로 분리하도록, 상기 몸체 내측 중심부에 상기 몸체의 장축을 따라 구비된 분리 격벽;
    상기 분리 격벽 일측의 상기 기체 저장부 상부에 설치된 기체 공급구;
    상기 기체 공급구로부터 유입되는 압력 기체를 층류로 변환하도록, 상기 기체 저장부 내에 설치된 층류변환수단;
    상기 분리 격벽 타측의 상기 세정액 저장부 상부에 설치된 세정액 공급구;
    상기 세정액 저장부 하단에 마련된 수평유로와 상기 기체 저장부 하단에 마련된 수직유로로부터 각각 공급받은 세정액과 압력 기체를 혼합시켜 상기 노즐을 통하여 평판 디스플레이 측으로 분사하도록, 상기 분리 격벽 저면에 구비된 ㅓ형 액체기체 혼합분사기; 및
    볼트에 의해 상기 노즐의 단축 방향에 등간격으로 설치되며 상기 노즐을 일정 간격으로 이격된 장방형 셀 개념의 노즐들로 구성하는 유선형 체결 기구들을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 층류변환수단은 상기 압력 기체 저장부를 상부 및 하부로 분리하는 다공판인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 액체기체 혼합분사기는 벤츄리관(venturi tube)인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 유체 혼합 분사 장치는 상기 압력 기체의 유속을 조절하여 상기 평판 디스플레이에 분사되는 세정액의 양과 상기 분사되는 세정액과 기체의 혼합류의 운동에너지를 조절하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 ㅓ형 액체기체 혼합분사기의 말단과 상기 노즐은 일체인 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치.
  6. 장축이 평판 디스플레이의 운송 방향과 직각으로 놓이고, 상기 운송 방향에 대하여 연속적으로 2 개 이상 설치된 유체 혼합 분사 장치들을 포함하되,
    상기 유체 혼합 분사 장치는 장방형 노즐을 구비한 장방형 몸체; 상기 몸체 내부를 대기압 상태 세정액 저장부와 압력 기체 저장부로 분리하도록, 상기 몸체 내측 중심부에 상기 몸체의 장축을 따라 구비된 분리 격벽; 상기 분리 격벽 일측의 상기 기체 저장부 상부에 설치된 기체 공급구; 상기 기체 공급구로부터 유입되는 압력 기체를 층류로 변환하도록, 상기 기체 저장부 내에 설치된 층류변환수단; 상기 분리 격벽 타측의 상기 세정액 저장부 상부에 설치된 세정액 공급구; 상기 세정액 저장부 하단에 마련된 수평유로와 상기 기체 저장부 하단에 마련된 수직유로로부터 각각 공급받은 세정액과 압력 기체를 혼합시켜 상기 노즐을 통하여 평판 디스플레이 측으로 분사하도록, 상기 분리 격벽 저면에 구비된 ㅓ형 액체기체 혼합분사기; 및 볼트에 의해 상기 노즐의 단축 방향에 등간격으로 설치되며 상기 노즐을 일정 간격으로 이격된 장방형 셀 개념의 노즐들로 구성하는 유선형 체결 기구들을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치.
  7. 장축이 평판 디스플레이의 운송 방향과 직각으로 놓이고, 상기 평판 디스플레이에 대하여 상하 대칭으로 설치된 유체 혼합 분사 장치들을 포함하되,
    상기 유체 혼합 분사 장치는 장방형 노즐을 구비한 장방형 몸체; 상기 몸체 내부를 대기압 상태 세정액 저장부와 압력 기체 저장부로 분리하도록, 상기 몸체 내측 중심부에 상기 몸체의 장축을 따라 구비된 분리 격벽; 상기 분리 격벽 일측의 상기 기체 저장부 상부에 설치된 기체 공급구; 상기 기체 공급구로부터 유입되는 압력 기체를 층류로 변환하도록, 상기 기체 저장부 내에 설치된 층류변환수단; 상기 분리 격벽 타측의 상기 세정액 저장부 상부에 설치된 세정액 공급구; 상기 세정액 저장부 하단에 마련된 수평유로와 상기 기체 저장부 하단에 마련된 수직유로로부터 각각 공급받은 세정액과 압력 기체를 혼합시켜 상기 노즐을 통하여 평판 디스플레이 측으로 분사하도록, 상기 분리 격벽 저면에 구비된 ㅓ형 액체기체 혼합분사기; 및 볼트에 의해 상기 노즐의 단축 방향에 등간격으로 설치되며 상기 노즐을 일정 간격으로 이격된 장방형 셀 개념의 노즐들로 구성하는 유선형 체결 기구들을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치.
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