KR100742678B1

KR100742678B1 - 기판의 처리 장치

Info

Publication number: KR100742678B1
Application number: KR1020050090145A
Authority: KR
Inventors: 히데키 스에요시; 아키노리 이소
Original assignee: 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤
Priority date: 2004-09-27
Filing date: 2005-09-27
Publication date: 2007-07-25
Also published as: CN100553801C; JP4789446B2; KR20060051701A; CN1772400A; JP2006093591A; TWI278031B; TW200631085A

Abstract

본 발명의 목적은 복수개의 챔버 내에 설치된 2종 유체 분사 노즐에 대하여, 처리액과 기체를 공급하는 배관을 단순화 가능하도록 한 처리 장치를 제공하는 것에 있다.

챔버 내에서 반송되는 기판에, 기체에 의해 가압된 액체를 분사시켜 처리하는 기판의 처리 장치에 있어서,

기체가 공급되며, 상기 챔버(1) 내에 상기 기판의 반송 방향과 교차하는 방향을 따라 배치된 기체용 배관(41), 액체가 공급되며, 상기 기체용 배관과 일체화되어 상기 챔버 내에 배치된 액체용 배관(31), 및 액체 공급구 본체, 기체 공급구 본체 및 분사구멍을 구비하고, 상기 액체 공급구 본체를 상기 액체용 배관에 접속시키며, 상기 기체 공급구 본체를 상기 기체용 배관에 접속시키고, 상기 기체용 배관 및 상기 액체용 배관의 길이 방향으로 소정 간격으로 설치되어, 상기 액체용 배관으로부터 상기 액체 공급구 본체를 통해 공급된 액체를 상기 기체용 배관으로부터 상기 기체 공급구 본체를 통해 공급된 기체에 의해 가압하여 상기 분사구멍으로부터 분사하는 복수개의 2종 유체 분사 노즐(44)을 구비한다.

챔버, 기판, 기체용 배관, 액체용 배관, 액체 공급구 본체, 기체 공급구 본 체, 분사구멍, 2종 유체 분사 노즐.

Description

기판의 처리 장치{APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATES}

도 1은 본 발명의 일실시예를 나타낸 챔버의 종단면도이다.

도 2는 높이 조정 기구가 설치된 기체용 배관과 액체용 배관의 단부를 확대하여 나타낸 정면도이다.

도 3은 기체용 배관과 액체용 배관의 단면도로서, 2종 유체 분사 노즐의 장착 구조를 나타낸 도면이다.

도 4는 높이 조정 기구를 분해하여 나타낸 사시도이다.

도 5는 2종 유체 분사 노즐의 단면도이다.

* 도면의 주요부호에 대한 간단한 설명 *

1: 챔버 1a: 외벽

1d: 내벽 6: 반입구

11: 반송 유닛 26: 장착 블록

27: 브래킷 29: 긴 구멍

31: 액체용 배관 33: 제1 나사 구멍

34: 제2 나사 구멍 35: 록 너트

36: 위치 결정 나사 40: 높이 조정 기구

본 발명은 챔버 내에서 반송되는 기판을, 기체에 의해 가압된 액체로 처리하는 기판의 처리 장치에 관한 것이다.

반도체 장치나 액정 표시 장치 등의 제조과정에는, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 기판에 회로 패턴을 형성하는 리소그라피 프로세스가 있다. 이 리소그라피 프로세스는, 공지된 바와 같이 상기 기판에 레지스트를 도포하고, 회로 패턴이 형성된 마스크를 통하여 이 레지스트에 광을 조사한다.

다음에, 레지스트의 광이 조사되지 않은 부분(또는 광이 조사된 부분)을 제거하고, 제거된 부분을 에칭한다. 일련의 공정을 복수회 반복함으로써, 상기 기판에 회로 패턴을 형성하도록 하고 있다.

상기 일련의 각 공정에 있어서, 상기 기판이 오염되어 있으면, 회로 패턴을 정밀하게 형성할 수 없게 되어, 불량품의 발생 원인으로 된다. 따라서, 각각의 공정에서 회로 패턴을 형성할 때에는, 레지스트나 먼지 등의 미립자가 잔류하지 않는 청정한 상태에서 상기 기판을 액체인 처리액에 의해 처리한다. 즉, 기판에 부착된 미립자를 제거하는 처리가 행해진다.

상기 기판에 부착된 미립자를 제거하는 경우에, 처리액을 소정의 압력으로 가압하여 노즐로부터 기판을 향해 분사한다. 노즐에는 슬릿 모양의 분사구멍이 형성되고, 처리액은 이 분사구멍으로부터 부채 모양으로 확산되어 기판에 분사된다. 그러나, 처리액을 단지 가압하여 노즐의 분사구멍으로부터 분사시키는 것만으로는, 기판에 주는 충격력이 약하기 때문에, 기판에 부착된 미립자의 제거율이 낮아지는 경우가 있었다.

그래서, 기판에 부착된 미립자의 제거율을 높이기 위해서, 노즐에 가압된 처리액과 함께 가압 기체를 공급함으로써 혼합 유체로 하여, 기판에 주는 충격력을 높이도록 한 2종(二種) 유체 분사 노즐이 사용된다.

즉, 기판을 소정 방향을 따라 반송하는 챔버 내에, 이 기판의 반송 방향에 대하여 교차하는 방향으로 소정 간격으로 복수개, 예를 들어 10~수십개의 2종 유체 분사 노즐을 배치하고, 이들 2종 유체 분사 노즐로부터 반송되는 기판에 대하여, 기체에 의해 가압된 처리액을 분사하도록 하고 있다. 2종 유체 분사 노즐을 이용하면, 처리액만 기판에 분사하는 경우에 비하여, 기판에 주는 충격력을 크게 하는 것이 가능해지기 때문에, 처리액에 의한 기판의 처리를 효율적으로 확실하게 행하는 것이 가능해진다.

종래, 챔버 내에 복수개의 2종 유체 분사 노즐을 설치하는 경우에, 복수개의 2종 유체 분사 노즐이 장착된 장착축을, 상기 챔버 내의 상기 기판의 반송 방향에 대하여 교차하는 방향을 따라 배치한다. 그리고, 각각의 2종 유체 분사 노즐에 처리액을 공급하는 액체 공급관과, 기체를 공급하는 급기관을, 상기 챔버의 외부로부터 내부로 도입하고, 이들 액체 공급관과 급기관을 각각 상기 2종 유체 분사 노즐에 접속하도록 하고 있다.

그러나, 장착축에 장착된 복수개의 2종 유체 분사 노즐에, 액체 공급관과 급기관을 각각 접속하도록 하면, 챔버의 외부로부터 내부로 인입해야 하는 액체 공급 관과 급기관의 수가 2종 유체 분사 노즐의 수에 따라 상당히 많게 된다. 그러므로, 챔버 내에 상기 액체 공급관이나 급기관을 통하기 위한 스페이스를 확보해야 하기 때문에, 그만큼, 챔버가 대형화하는 경우가 있다.

또한, 챔버 내에 많은 액체 공급관과 급기관이 배치되어 있으면, 이들 배관에 오물이 부착되는 것을 피할 수 없다. 그러므로, 배관에 부착된 오물을 정기적으로 청소해야 하기 때문에, 그 작업에 인원을 투입해야 하는 경우가 있거나, 확실하게 청소하지 못하고 기판에 적하(滴下)되어, 오염의 원인이 되는 경우가 있다.

또한, 각각의 2종 유체 분사 노즐에 액체 공급관과 급기관을 배관 접속하는 구성에 의하면, 각각의 2종 유체 분사 노즐에 접속되는 액체 공급관과 급기관의 길이가 일정하게 되지 않는 등에 의해 흐름의 저항이 상이하게 되어 버린다. 그와 같은 경우에, 각각의 2종 유체 분사 노즐로부터 분사되는 처리액의 압력이 일정하게 되지 않기 때문에, 상기 처리액에 의한 기판의 처리에 얼룩이 생기는 경우가 있다.

본 발명의 목적은, 2종 유체 분사 노즐의 수가 많아도, 챔버의 외부로부터 내부로 인입되는 배관의 수를 적게 할 수 있고, 각각의 2종 유체 분사 노즐로부터 액체를 같은 상태에서 분사할 수 있도록 한 기판의 처리 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명은, 챔버 내에서 반송되는 기판에, 기체에 의해 가압된 액체를 분사 시켜 처리하는 기판의 처리 장치에 있어서,

기체가 공급되며, 상기 챔버 내에 상기 기판의 반송 방향과 교차하는 방향을 따라 배치된 기체용 배관,

액체가 공급되며, 상기 기체용 배관과 일체화되어 상기 챔버 내에 배치된 액체용 배관, 및

액체 공급부, 기체 공급부 및 분사구멍을 구비하고, 상기 액체 공급부를 상기 액체용 배관에 접속시키며, 상기 기체 공급부를 상기 기체용 배관에 접속시키고, 상기 기체용 배관 및 상기 액체용 배관의 길이 방향으로 소정 간격으로 설치되며, 상기 액체용 배관으로부터 상기 액체 공급부를 통해 공급된 액체를 상기 기체용 배관으로부터 상기 기체 공급부를 통해 공급된 기체에 의해 가압하여 상기 분사구멍으로부터 분사하는 복수개의 2종 유체 분사 노즐

을 구비한 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치이다.

본 발명에 의하면, 챔버 내에 기체용 배관 및 이 기체용 배관과 일체화된 액체용 배관을 설치하고, 이들 배관에, 복수개의 2종 유체 분사 노즐의 기체 공급부와 액체 공급부를 접속하도록 했다.

따라서, 복수개의 2종 유체 분사 노즐에 대하여, 각각 1개의 기체용 배관과 액체용 배관에 의해 기체와 액체를 공급할 수 있기 때문에, 챔버의 내부에 다수의 배관을 설치하지 않고, 복수개의 2종 유체 분사 노즐에 액체와 기체를 공급하는 것이 가능해진다.

이하, 본 발명의 일실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 처리 장치를 나타낸 종단면도로서, 이 처리 장치는 챔버(1)를 구비하고 있다. 이 챔버(1)는, 폭 방향 양쪽에 위치하는 한쌍의 외벽(1a), 한쌍의 외벽(1a)의 상단부에 설치된 천정벽(1b), 한쌍의 외벽(1a)의 하단부에 설치된 저벽(1c), 한쌍의 외벽(1a)의 폭 방향 안쪽에 소정 간격으로 이격되어 설치된 한쌍의 내벽(1d), 및 외벽(1a)의 길이 방향 양단에 설치된 한쌍의 단면벽(1e)(한쪽만 도시함)에 의해 구성되어 있다.

상기 천정벽(1b)의 폭 방향 중앙부에는, 길이 방향 전체 길이에 걸쳐서 다각형 통 모양의 배기 덕트(2)가 설치되어 있다. 이 배기 덕트(2)의 챔버(1) 내로 면한 양쪽 면에는 배기구(3)가 형성되어 있다. 상기 배기 덕트(2)는 도시하지 않은 배기 장치에 접속되어 있다. 따라서, 챔버(1) 내의 공기를 상기 배기구(3)로부터 배출할 수 있도록 되어 있다. 또한, 배기 덕트(2)는 다각형 통 모양이므로, 천정벽(1b)이 보강되어 챔버(1) 전체의 강성을 높인다.

상기 천정벽(1b)에는, 상기 배기 덕트(2)의 양쪽에 점검 개구(4)가 형성되고, 이 점검 개구(4)는 개폐 가능한 덮개(5)에 의해 기밀하게 폐쇄되어 있다.

상기 챔버(1)의 한쌍의 단면벽(1e)의 한쪽에는 예를 들면 액정 표시 패널에 사용되는 유리로 된 기판(W)(도 1에 나타남)을 반입하는 반입구(6)가 형성되고, 다른 쪽에는 챔버(1) 내에서 처리된 상기 기판(W)을 반출하는 반출구(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 저벽(1c)은 챔버의 폭 방향 중앙으로 감에 따라 낮아지고, 가장 낮은 위치에는 액체 배출관(7)이 접속되어 있다.

상기 챔버(1) 내에는, 상기 반입구(6)로부터 챔버(1) 내로 반입된 기판(W)을 상기 반출구로 향해 반송하는 복수개의 반송 유닛(11)(1개만 도시됨)이 챔버(1)의 길이 방향을 따라 나란히 설치되어 있다. 이 반송 유닛(11)은 다각형 파이프에 의해 형성된 직사각형의 프레임(12)을 가진다. 이 프레임(12)의 폭 방향 양쪽의 외면에는, 각각 장착판(13)이 길이 방향을 따라 설치되어 있다. 각 장착판(13)에는 복수개의 베어링(14)이 폭 방향과 교차하는 길이 방향을 따라 소정 간격으로 착탈 가능하게 유지되어 있다.

프레임(12)의 폭 방향에서 대응하는 각 한쌍의 베어링(14)에는, 각각 반송축(15)(1개만 도시됨)의 양쪽 단부가 회전 가능하게 지지되어 있다. 각 반송축(15)에는 복수개의 반송 롤러(16)가 축방향으로 소정 간격으로 설치되어 있다.

상기 반입구(6)로부터 챔버(1) 내로 반입된 기판(W)은 각 반송 롤러(16)에 의해 반송된다. 기판(W)의 폭 방향 양쪽 단부는, 상기 프레임(12)의 폭 방향과 교차하는 방향으로 위치하는 한쌍의 측변의 양쪽 단부에 설치된 가이드 롤러(17)에 의해 안내되도록 되어 있다.

상기 반송축(15)의 길이 방향 일단부에는, 동력 전달축(19)이 그 축선이 상기 반송축(15)의 축선과 직교되도록, 회전 가능하게 배치되어 있다. 동력 전달축(19)에는 상기 반송축(15)의 일단부에 설치된 제1 베벨 기어에 맞물리는 제2 베벨 기어(둘 다 도시하지 않음)가 설치되어 있다. 또한, 동력 전달축(19)에는 종동 기어(21)가 형성되어 있다. 이 종동 기어(21)에는 구동 기어(22)가 맞물려 있다. 구동 기어(22)는 챔버(1)의 외부에 설치된 모터(23)의 회전축(24)에 삽입되어 있다.

따라서, 상기 모터(23)가 작동되면, 구동 기어(22) 및 종동 기어(21)를 통하여 동력 전달축(19)이 회전하기 때문에, 이 동력 전달축(19)의 회전이 상기 제2 및 제1 베벨 기어를 통하여 상기 반송축(15)에 전달되게 된다.

상기 챔버(1)의 한쌍의 내벽(1d)에는, 상기 반송축(15)보다 윗쪽의 위치에 장착 블록(26)이 설치되어 있다. 한쌍의 장착 블록(26)에는, 도 2에 나타낸 바와 같이 브래킷(27)이 나사(28)에 의해 장착되어 고정되어 있다. 브래킷(27)에는, 도 4에 나타낸 바와 같이 상하 방향을 따라 긴 구멍(29)이 형성되어 있다. 이 긴 구멍(29)에는 액체용 배관(31)의 단면에 연결된 장착축부(32)가 삽입된다. 이 장착축부(32)의 외주면에는 제1 나사 구멍(33)이 형성되어 있다.

상기 브래킷(27)에는, 그 상단면에서 일단이 개방되고 타단이 상기 긴 구멍(29)의 내면에서 개방된 제2 나사 구멍(34)이 형성되어 있다. 이 제2 나사 구멍(34)에는 록 너트(35)를 가지는 위치 결정 나사(36)가 나사 결합된다. 이 위치 결정 나사(36)와 상기 브래킷(27)은 본 발명의 높이 조정 기구(40)를 구성하고 있다.

상기 브래킷(27)의 긴 구멍(29)에 삽입된 상기 장착축부(32)의 단면에는 제3 나사 구멍(37)이 형성되어 있다. 상기 장착축부(32)의 단면에는, 상기 제3 나사 구멍(37)에 나사 결합된 장착 나사(38)에 의해 상기 긴 구멍(29)의 폭 치수보다 큰 직경의 칼러(39)가 장착된다.

즉, 액체용 배관(31)은, 브래킷(27)의 상단면에 압력 접촉된 록 너트(35)를 이완시키고 상기 위치 결정 나사(36)를 회전시키면, 상기 긴 구멍(29)을 따라 상하 이동시키는 것이 가능하다. 소정의 위치에서, 상기 록 너트(35) 및 장착 나사(38) 를 인입시키면, 상기 액체용 배관(31)을 브래킷(27)에 고정할 수 있도록 되어 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이 상기 액체용 배관(3l)의 상부에는 기체용 배관(41)이 소정 간격으로 평행으로 배치되어 있다. 상기 액체용 배관(31)과 상기 기체용 배관(41)은, 이들 길이 방향 양쪽 단부가 각각 용접 등으로 고정된 연결판(42)에 의해 일체적으로 연결되어 있다. 즉, 상기 액체용 배관(31)과 상기 기체용 배관(41)은 일체화되어 있다.

일체화된 상기 액체용 배관(31)과 상기 기체용 배관(41)에, 축방향으로 소정 간격으로 복수개의 2종 유체 분사 노즐(44)이 장착되어 있다. 이 2종 유체 분사 노즐(44)은 도 5에 나타낸 바와 같이 노즐 본체(45)를 가진다. 이 노즐 본체(45)에는 상단면에서 개방된 제1 나사 구멍(46)과, 외주면에서 개방된 제2 나사 구멍(47)이 형성되어 있다. 제1 나사 구멍(46)과 제2 나사 구멍(47)은 연통되어 있다.

상기 제1 나사 구멍(46)의 선단부에는 혼합실(48)의 일단이 연통되어 있다. 이 혼합실(48)의 타단은 상기 노즐 본체(45)의 선단면에서 개방되어 있다. 노즐 본체(45)의 선단면에는 노즐 팁(49)이 캡(51)에 의해 장착되어 고정된다. 이 노즐 팁(49)에는 분사 구멍(52)이 형성되어 있다.

상기 제1 나사 구멍(46)에는 기체 공급부로 되는 기체 공급구 본체(53)가 나사 결합된다. 상기 제2 나사 구멍(47)에는 액체 공급부로 되는 액체 공급구 본체(54)가 나사 결합된다. 상기 기체 공급구 본체(53)의 상기 제1 나사 구멍(46) 내에 위치하는 선단부는, 이 제1 나사 구멍(46)보다 작은 직경으로 형성되어 있어, 그 소직경부의 외주면과 제1 나사 구멍(46)의 내주면 사이에는 상기 액체 공급구 본체(54)에 공급된 순수(純水) 등의 처리액을 상기 혼합실(48)에 도입하는 고리 모양의 도입로(55)가 형성되어 있다.

상기 액체 공급구 본체(54)로부터 상기 도입로(55)에 후술하는 바와 같이 공급된 처리액은, 상기 기체 공급구 본체(53)로부터 상기 혼합실(48)에 후술하는 바와 같이 공급되는 소정의 압력의 기체와 혼합하여 가압되어, 상기 분사구멍(52)으로부터 분사되도록 되어 있다.

상기 구성의 2종 유체 분사 노즐(44)은, 도 3에 나타낸 바와 같이 액체 공급구 본체(54)가 상기 액체용 배관(31)에 커플링(57)에 의해 접속되어 있다. 상기 기체 공급구 본체(53)에는 역 U자 모양으로 구부러진 스테인레스 관 등의 강성을 구비한 금속관(58)의 일단이 커플링(59)에 의해 접속되어 있다. 이 금속관(58)의 타단은 상기 기체용 배관(41)에 커플링(61)에 의해 접속되어 있다.

도 1 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 액체용 배관(31)과 기체용 배관(41)의 양쪽 단부에는 각각 접속 블록(31a, 41a)이 형성되어 있다. 액체용 배관(31)에 설치된 한쌍의 접속 블록(31a)에는 각각 상기 액체용 배관(31)에 처리액을 공급하기 위해 액체 공급관(63)이 접속되어 있다. 기체용 배관(41)에 설치된 한쌍의 접속 블록(41a)에는, 상기 기체용 배관(41)에 소정의 압력으로 가압된 청정 공기 등의 기체를 공급하는 급기관(64)이 접속되어 있다.

이와 같은 구성의 처리 장치에 의하면, 처리액이 공급되는 액체용 배관(31)과 기체가 공급되는 기체용 배관(41)을 연결판(42)으로 일체화하여, 이들 배관(31, 41)에 2종 유체 분사 노즐(44)을 일체적으로 장착하도록 하였다.

상기 액체용 배관(31)에는 양단에 접속된 액체 공급관(63)에 의해 처리액이 공급되고, 상기 기체용 배관(41)에는 양단에 접속된 급기관(64)에 의해 가압된 기체가 공급된다. 따라서, 복수개의 2종 유체 분사 노즐(44)에는 상기 액체용 배관(31)과 기체용 배관(41)으로부터 처리액과 기체가 공급되므로, 복수개의 2종 유체 분사 노즐(44)에 각각 액체와 기체를 공급하기 위한 배관을 챔버(1)의 외부로부터 내부로 도입하여 접속할 필요가 없다.

즉, 챔버(1) 내에 설치된 복수개의 2종 유체 분사 노즐(44)에 대하여, 각각 액체와 기체를 공급하기 위한 배관을 접속할 필요가 없기 때문에, 챔버(1) 내에 설치되는 배관을 적게 하여, 구성이나 조립 작업의 간략화를 도모할 수 있다.

상기 액체용 배관(31), 기체용 배관(41), 2종 유체 분사 노즐(44) 및 높이 조정 기구(40)는 미리 유닛화 하여 둘 수 있으므로, 챔버(1) 내로의 내장 작업을 용이하게 행할 수 있다.

상기 액체용 배관(31)과 기체용 배관(41)에, 이들 양쪽 단부에 접속된 액체 공급관(63)과 급기관(64)으로부터 처리액 및 기체를 각각 공급하도록 했다. 그러므로, 복수개의 2종 유체 분사 노즐(44)에 사용되는 처리액 및 기체의 총량에 비하여, 충분히 많은 양의 처리액과 기체가 액체용 배관(31)과 기체용 배관(41)에 공급되어 있으면, 복수개의 2종 유체 노즐(44)에 대하여 처리액과 기체를 같은 압력으로 공급할 수 있다.

액체용 배관(31)과 기체용 배관(41)은 양쪽 단부가 연결판(42)에 의해 일체 화되어 있을 뿐 아니라, 액체용 배관(31)에 액체 공급구 본체(54)를 접속하고, 기체용 배관(41)에 금속관(58)을 통하여 기체 공급구 본체(53)를 접속한 2종 유체 분사 노즐(44)에 의해서도 일체적으로 연결되어 있다.

이와 같이, 액체용 배관(31)과 기체용 배관(41)이 연결판(42)과 2종 유체 분사 노즐(44)에 의해 일체화되면, 기판(W)의 대형화에 따라 챔버(1)의 폭 방향의 치수가 커지고, 그에 따라 상기 액체용 배관(31)과 기체용 배관(41)이 길게 되어도, 이들 배관(31, 41)에 휨이 생기지 않도록 강성을 가질 수 있다. 즉, 액체용 배관(31)과 기체용 배관(41)이 필요 이상으로 직경이 크게 되지 않고, 휨이 생기지 않도록 강성을 구비할 수 있다.

상기 액체용 배관(31) 및 기체용 배관(41)은, 이들 양단이 높이 조정 기구(40)에 의해 높이 조정 가능하게 구성되어 있다. 그러므로, 높이 조정 기구(40)에 의해 상기 배관(31, 41)에 일체적으로 설치된 복수개의 2종 유체 분사 노즐(44)의 높이를 조정하고, 각각의 2종 유체 분사 노즐(44)에 의한 처리액의 기판(W)에 대한 분사 영역을 설정할 수 있다. 따라서, 기판(W)의 반송 방향과 교차하는 폭 방향으에 대하여, 소정 간격으로 설치된 복수개의 2종 유체 분사 노즐(44)로부터 처리액을 얼룩이 없고 거의 균일하게 분사시키는 것이 가능해진다.

또한, 복수개의 2종 유체 분사 노즐(44)은, 액체용 배관(31) 및 기체용 배관(4l)에 일체적으로 형성되어 있기 때문에, 이들 배관(31, 41)의 높이를 조정함으로써, 복수개의 2종 유체 분사 노즐(44)의 높이 조정을 한번에 행할 수 있다. 즉, 복수개의 2종 유체 분사 노즐(44)의 높이 조정을 용이하고 확실하게 행할 수 있다.

상기 일실시예에서는, 높이 조정 기구를 구성하는 브래킷의 긴 구멍에 삽입되어 위치 결정 나사가 나사 결합되는 장착축부를 액체용 배관의 단부에 설치하도록 했지만, 이 장착축부를 기체용 배관의 단부에 설치하도록 해도 된다. 즉, 기체용 배관을 통하여 높이 조정 기구에 의하여, 한쌍의 배관의 높이를 조정하도록 해도 된다.

Claims

챔버 내에서 반송되는 기판에, 기체에 의해 가압된 액체를 분사시켜 처리하는 기판의 처리 장치에 있어서,

기체가 공급되며, 상기 챔버 내에 상기 기판의 반송 방향과 교차하는 방향을 따라 배치된 기체용 배관,

액체가 공급되며, 상기 기체용 배관과 일체화되어 상기 챔버 내에 배치된 액체용 배관, 및

액체 공급부, 기체 공급부 및 분사구멍을 구비하고, 상기 액체 공급부를 상기 액체용 배관에 접속시키며, 상기 기체 공급부를 상기 기체용 배관에 접속시키고, 상기 기체용 배관 및 상기 액체용 배관의 길이 방향으로 소정 간격으로 설치되며, 상기 액체용 배관으로부터 상기 액체 공급부를 통해 공급된 액체를 상기 기체용 배관으로부터 상기 기체 공급부를 통해 공급된 기체에 의해 가압하여 상기 분사구멍으로부터 분사하는 복수개의 2종 유체 분사 노즐

을 구비하고,

상기 기체용 배관이 위쪽에, 상기 액체용 배관이 아래쪽에 위치하도록 상하 방향으로 배치되고,

상기 2종 유체 분사 노즐은 노즐 본체를 가지며, 상기 노즐 본체에는 측부에 상기 액체 공급부가 설치되고 상단부에 상기 기체 공급부가 설치되어 있으며,

상기 액체 공급부와 상기 액체용 배관은 직접적으로 접속되고, 상기 기체 공급부와 상기 기체용 배관은 금속 파이프에 의해 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치.
제1항에 있어서,

일체화된 상기 기체용 배관과 액체용 배관은 이들 배관의 양단에 설치된 높이 조정 기구에 의해 상기 챔버 내에서 높이 조정 가능하게 설치되어 있고,

상기 높이 조정 기구는, 상하 방향을 따라 긴 구멍이 형성되어 상기 챔버의 측벽 내면에 장착되는 브래킷, 상기 기체용 배관과 액체용 배관 중 어느 한쪽의 양단에 설치되어 상기 긴 구멍에 상하 방향을 따라 이동 가능하게 삽입되는 장착축부, 상기 브래킷에 설치되어 선단부가 상기 장착축부에 나사 결합되어, 회전에 의해 상기 장착축부를 통하여 상기 기체용 배관과 액체용 배관을 상하 이동시키는 조정 나사로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치.
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제1항에 있어서,

상기 기체용 배관의 길이 방향 양단에는 상기 기체용 배관에 기체를 공급하는 급기관이 접속되고, 상기 액체용 배관의 길이 방향 양단에는 상기 액체용 배관에 액체를 공급하는 액체 공급관이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치.