KR960042823A - 액체도포방법과 이 액체도포방법을 사용한 전자디바이스의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 얇은 도막을 액체의 소비를 억제해서 단시간에 형성할 수 있고, 또한 도포불균일을 발생하기 어렵도록 하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서는, 음극선관의 보호유리부(2)에 대면해서 배치된 노즐(4)로부터 보호유리부 (2)를 향해서 평면형상으로 기체를 토출시키면서 기체에 첨가해서 형광체가 들어간 액체를 토출시키고, 형광체가 들어간 액체를 토출시키면서 보호유리부(2)와 노즐(4)을 상대이동시키는 것을 특징으로 한 것이다.

Description

액체도포방법과 이 액체도포방법을 사용한 전자디바이스의 제조방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1실시예의 액체도포장치의 구성을 표시한 사시도, 제6도는 본 발명의 제2실시예의 액체도포장치의 구성을 표시한 사시도, 제9도는 본 발명의 제3실시예의 액체도포장치의 구성을 표시한 사시도.

Claims (36)

1. 도포대상물에 대면해서 배치된 노즐로부터 상기 도포대상물을 향해서 평면형상으로 기체를 토출시키면서 상기 기체에 첨가해서 액체를 토출시키는 토출공정과, 액체를 토출시키면서 상기 도포대상물과 상기 노즐을 상대이동시키는 상대이동공정을 가진 것을 특징으로 하는 액체도포방법.
2. 제1항에 있어서, 토출공정에 있어서, 노즐로부터 토출시키는 기체를 층류로 한 것을 특징으로 하는 액체도포방법.
3. 제1항에 있어서, 상대이동공정에 있어서, 도포대상물의 한쪽방향의 길이보다 긴 노즐을 한쪽방향을 따라서 배치하고, 상기 노즐을 배치한 방향과 교차하는 방향에 직선적으로 상대이동시키도록 한 것을 특징으로 하는 액체도포방법.
4. 제1항에 있어서, 노즐은, 전체의 길이가 도포대상물의 한쪽방향의 길이보다 길게되도록 복수의 토출부를 병설하고, 상대이동공정에 있어서, 상기 노즐을 상기 한쪽방향을 따라서 배치하고, 상기 노즐을 배치한 방향과 교차하는 방향에 직선적으로 상대이동시키도록 한 것을 특징으로 하는 액체도포방법.
5. 제4항에 있어서, 노즐은, 복수의 토출부를 경사지게 나란히 해서 배치한 것을 특징으로 하는 액체도포방법.
6. 제4항에 있어서, 노즐은, 복수의 토출부를 병설방향으로 간격을 사이에 두고 교호로 2열 나란히해서 배치한 것을 특징으로 하는 액체도포방법.
7. 제1항에 있어서, 상대이동공정에 있어서, 도포대상물을 회전이동시키는 동시에, 노즐을 상기 도포대상물의 중심부로부터 외주부를 향해서 이동시키도록 한 것을 특징으로 하는 액체도포방법.
8. 제7항에 있어서, 상대이동공정에 있어서, 노즐이 중심부로부터 외주부를 향해서 이동하는 동안에, 도포된 액체에 작용하는 원심력이 균등하게 되도록, 도포대상물의 회전속도를 서서히 감소시키도록 한 것을 특징으로 하는 액체도포방법.
9. 제1항에 있어서, 노즐은, 전체의 길이가 도포대상물의 한쪽방향의 길이보다 짧게되도록 복수의 토출부를 병설하고, 상대이동공정에 있어서, 상기 도포대상물을 회전이동시키는 동시에, 상기 노즐을 상기 도포대상물의 중심부로부터 외주부를 향해서 토출부병설방향으로 이동시키도록 한 것을 특징으로 하는 액체도포방법.
10. 보호유리부에 대면해서 노즐을 배치하고, 상기 보호유리부와 상기 노즐을 상대이동시키면서, 상기 보호유리부를 향해서 평면형상으로 기체를 토출시키면서 기체에 첨가해서 형광체가 들어간 액체를 토출시켜서 도포하고, 상기 보호유리부에 형광체층을 소망의 위치에 형성한 것을 특징으로 하는 음극선관의 제조방법.
11. 보호유리부에 도트를 구성하기 위한 광경화성접착액을 도포하여 노광한 수 현상해서 도트를 형성하고 공정과, 격벽을 구성하기 위한 흑색수지액을 도포하여 현상해서 블랙매트릭스를 형성하는 공정과, 녹색형광체들이 액체를 도포하여 노광해서 소망의 부위를 경화한 후 물세정하여 상기 도트위의 소망위치에 녹색형광체층을 형성하는 공정과, 청색형광체들이 액체를 도포하여 노광해서 소망의 부위를 경화한 수 물세정하여 상기 도트위의 소망위치에 청색형광체층을 형성하는 공정과, 적색형광체들이 액체를 도포하여 노광해서 소망의 부위를 경화한 후 물세정하여 상기 도트위의 소망위치에 적색형광체층을 형성하는 공정을 가지고, 적어도 3색의 형광체들이 액체를 도포하는 공정에 있어서, 상기 보호 유리부에 대면시킨 노즐과 상기 보호유리부를 상대이동시키면서, 상기 보호유리부를 향해서 평면형상으로 기체를 토출시키면서 기체에 따르게해서 형광체들이 액체를 토출시켜서 도포하도록 한 것을 특징으로 하는 음극선관의 제조방법.
12. 광디스크판에 대면해서 노즐을 배치하고, 상기 광디스크기판을 회전이동시키는 동시에, 노즐을 상기 광디스크기판의 중심부로부터 외주부를 향해서 이동시키면서, 상기 광디스크기판을 향해서 평면형상으로 기체를 토출시키면서 기체에 첨가해서 자외선경화수지를 토출시키고, 상기 광디스크기판에 자외선경화수지층을 형성한 것을 특징으로 하는 광디스크의 제조방법.
13. 도포대상물을 향해서 평면형상으로 기체를 토출시키는 기체토출부와 상기 기체토출부로부터 토출된 기체에 첨가해서 액체를 토출시키기 위한 액체토출부를 가진 노즐과, 상기 노즐을 상기 도포대상물위에서 상기 도포대상물과 상대이동시키는 상대이동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 액체도포장치.
14. 제13항에 있어서, 액체토출부에 기체를 순환공급하는 액체공급부를 구비한 것을 특징으로 하는 액체도포장치.
15. 제13항에 있어서, 기체토출부는, 노즐로부터 도포대상물을 향해서 기체를 층류로서 토출시키도록 한 것을 특징으로 하는 액체도포장치.
16. 제13항에 있어서, 노즐은, 도포대상물의 한쪽방향을 따라서 배치하고, 상기 도포대상물의 한쪽방향의 길이보다 긴 1개의 토출부를 가지고, 상대이동수단은, 상기 노즐을 배치한 방향과 교차하는 방향에 직선적으로 상대이동시키도록 한 것을 특징으로 하는 액체도포장치.
17. 제13항에 있어서, 노즐은, 도포대상물의 한쪽방향을 따라서 배치하고, 전체의 길이가 상기 도포대상물의 한쪽방향의 길이보다 길게되도록 복수의 토출부를 병설하고, 상대이송수단은, 노즐을 배치한 방향과 교차하는 방향으로 직선적으로 상대이동시키도록 한 것을 특징으로 하는 액체도포장치.
18. 제17항에 있어서, 노즐은, 복수의 토출부를 경사지게 나란히 해서 배치한 것을 특징으로 하는 액체도포장치.
19. 제17항에 있어서, 노즐은, 복수의 토출부를 병설방향으로 간격을 사이에 두고 교호로 2열 나란히해서 배치한 것을 특징으로 하는 액체도포장치.
20. 제13항에 있어서, 상대이동수단은, 노즐을 도포대상물의 중심부로부터 외주부를 향해서 이동시키는 제1이동수단과, 상기 도포대상물을 회전이동시키는 회전이동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 액체도포장치.
21. 제20항에 있어서, 회전이동수단은, 노즐이 중심부로부터 외주부를 향해서 이동하는 동안에, 도포된 액체에 작용하는 원심력이 균등하게 되도록 상기 도포대상물의 회전속도를 서서히 감소시키도록 한 것을 특징으로 하는 액체도포장치.
22. 제13항에 있어서, 노즐은, 전체의 길이가 도포대상물의 한쪽방향의 길이보다 짧게 되도록 복수의 토출부를 병설하고, 상대이동수단은, 상기 노즐을 상기 도포대상물의 중심부로부터 외주부를 향해서 토출부의 병설방향으로 이동시키는 제2이동수단과, 상기 도포대상물을 회전이동시키는 회전이동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 액체도포장치.
23. 한쪽방향으로 긴 1개 또는 복수의 토출부를 가지고, 상기 토출부는, 기체를 층류로해서 평면형상으로 토출시키는 기체토출부와, 상기 기체토출부로부터 토출된 기체에 첨가해서 액체를 토출시키는 액체토출부를 구비하고, 상기 기체토출부로부터 토출된 기체에 첨가해서 액체를 토출시키고, 도포대상물에 액체를 도포하도록 한 것을 특징으로 하는 노즐.
24. 제23항에 있어서, 토출부는 그 양단부를 다른부분보다 폭을 넓게한 것을 특징으로 하는 노즐.
25. 제23항에 있어서, 1개의 토출부를 가지고, 이 토출부의 길이를 도포대상물의 한쪽방향의 길이보다 길게 한 것을 특징으로 하는 노즐.
26. 제23항에 있어서, 1개의 토출부를 가지고, 이 토출부의 길이를 도포대상물의 한쪽방향의 길이보다 짧게 한 것을 특징으로 하는 노즐.
27. 제23항에 있어서, 복수의 토출부를 가지고, 토출부전체의 길이를 도포대상물의 한쪽방향의 길이보다 길게 한 것을 특징으로 하는 노즐.
28. 제27항에 있어서, 복수의 토출부를 경사지게 나란히 해서 배치한 것을 특징으로 하는 노즐.
29. 제27항에 있어서, 복수의 토출부를 병설방향으로 간격을 사이에 두고 교호로 2열 나란히 해서 배치한 것을 특징으로 하는 노즐.
30. 제23항에 있어서, 복수의 토출부를 가지고, 토출부전체의 길이를 도포대상물의 한쪽방향의 길이보다 짧게 한 것을 특징으로 하는 노즐.
31. 제30항에 있어서, 복수의 토출부를 경사지게 나란히 해서 배치한 것을 특징으로 하는 노즐.
32. 제30항에 있어서, 제30항에 있어서, 복수의 토출부를 병설방향으로 간격을 사이에 두고 교호로 2열 나란히해서 배치한 것을 특징으로 하는 노즐.
33. 제23항에 있어서, 기체토출부는, 액체토출부에서 토출된 액체의 양쪽으로부터 기체를 평면형상으로 토출시키도록 한 것을 특징으로 하는 노즐.
34. 제23항에 있어서, 액체토출부는, 기체토출부로부터 토출된 기체의 양쪽으로부터 액체를 토출시키도록 한 것을 특징으로 하는 노즐.
35. 제23항에 있어서, 기체토출부는, 기체를 도입하는 도입부와, 상기 기체도입부와 토출부를 있는 기체통로와, 상기 기체통로에 배치된 정류부를 구비한 것을 특징으로 하는 노즐.
36. 제23항에 있어서, 액체토출부는, 액체를 도입하는 액체도입부와, 상기 액체도입부로부터 도입된 액체를 저류하는 액체저류부와, 상기 액체도입부와 정류부의 하류쪽의 기체통로를 연통하는 액체통로를 구비한 것을 특징으로 하는 노즐.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.