KR102320054B1 - 슬릿노즐 - Google Patents

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KR102320054B1
KR102320054B1 KR1020200079221A KR20200079221A KR102320054B1 KR 102320054 B1 KR102320054 B1 KR 102320054B1 KR 1020200079221 A KR1020200079221 A KR 1020200079221A KR 20200079221 A KR20200079221 A KR 20200079221A KR 102320054 B1 KR102320054 B1 KR 102320054B1
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KR
South Korea
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compressed air
slit nozzle
coupling surface
liquid discharge
protrusion
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KR1020200079221A
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Inventor
이승희
이순범
남경훈
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주식회사 지엔테크
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    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
    • H—ELECTRICITY
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    • H01L25/16—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
    • H01L25/167—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits comprising optoelectronic devices, e.g. LED, photodiodes

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Abstract

기판 상에 소정의 너비로 약액을 도포하는 슬릿노즐에 있어서, 캐비티가 형성된 제1 결합면을 구비하는 제1 몸체; 일측면이 상기 제1 결합면과 결합되어 하측 단부에 슬릿형의 액토출부를 제공하는 막음판; 및 상기 막음판의 타측면과 결합되되, 내부 영역은 이격되어 공기유로를 제공하는 제2 결합면을 구비하는 제2 몸체;를 포함하고, 상기 공기 유로의 내측부로부터 유입되는 압축공기는 상기 제2 결합면의 하부면을 따라 하측으로 이동하고, 상기 압축공기의 이동에 따라 상기 공기유로의 상측으로부터 외부의 공기가 유입되어 하측으로 이동함으로써 상기 액토출부와 상기 제2 몸체 사이에 저압이 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐을 제공한다.

Description

슬릿노즐{Slit nozzle}
본 발명은 슬릿노즐에 대한 것으로, 레진과 같은 약액의 도포 시 기판의 요철에 의해 도포된 막에 발생하는 기포를 방지하여 도포 균일성이 향상될 수 있는 슬릿노즐에 관한 것이다.
디스플레이 장치 또는 반도체 장치의 제조공정에 있어서, 기판 상에 위치하는 소자들의 접합부 보호 또는 소자들에 유해한 외부환경으로부터 차단을 위해 봉지 공정(encapsulation)이 수행되고 있다. 디스플레이 장치의 경우, 복수 개의 표시 소자들을 기판 상에 배열하고, 그 상부를 레진과 같은 물질로 코팅하여 봉지 공정을 수행할 수 있다. 예로써 마이크로 엘이디(Micro-LED)를 표시 소자로 구비하는 디스플레이 장치에 있어서 그 단면은 도 1과 같다.
도 1을 참조하면, PCB 기판(10) 상에 마이크로 엘이디와 같은 복수 개의 표시 소자(30)들이 배열되고, 에폭시층(20)에 의해 표시 소자(30)들은 PCB 기판(10) 상에 고정된다. 배열된 표시 소자(30)들을 외부환경으로부터 보호하기 위하여 기판(10) 상에 UV 경화성 레진과 같은 약액을 도포하여 보호층(40)을 형성하고, 그 상부에 PET 필름과 같은 투명 기판(50)으로 라미네이션(lamination) 함으로써 봉지공정이 수행된다.
그런데, UV 경화성 레진을 경화시키기 전에 UV 레진 내부에 위치하는 기포(B)들이 제거되지 않으면, 보호층(40) 속에 포함된 기포(B)들로 인해 마이크로 엘이디와 같은 표시 소자(30)들에서 방출되는 빛이 산란 또는 굴절되어 디스플레이 화질에 문제가 발생할 수 있다. 따라서 상기의 문제를 해결하기 위하여 내부를 밀폐시킨 상태로 가열 및 가압하여 UV 경화성 레진 내부의 기포(B)를 제거하는 오토클레이브(autoclave) 공정이나 PET 필름의 부착 시 진공 라미네이션을 수행하여 기포를 제거하는 방법을 일반적으로 이용하고 있다. 또한, 상기의 문제를 해결하기 위하여 UV 경화성 레진을 도포하는 과정 동안 기포(B)의 유입을 최소화하기 위하여 슬릿노즐에 에어 밴트 장치를 구비하여 약액 토출과 함께 캐비티 내의 잔류 에어를 배기하는 기술에 대해 한국공개특허 제10-2009-0005586호 및 한국등록특허 제10-1401431호에 개시된 바 있다.
하지만, 에어를 배기하는 과정 중 약액이 슬릿 노즐 외부로 함께 유출될 수 있으며, 마이크로 엘이디와 같은 표시 소자(30)들은 디스플레이 장치의 화질 향상을 위해 피치 간격이 점차 줄어들게 되므로, 상기의 방법으로 표시 소자들의 하부에 위치하는 기포의 제거에는 한계가 있을 수 있다.
한국공개특허 제 10-2009-0005586호(공개일: 2009.01.14) 한국등록특허 제 10-1401431호(등록일: 2014.05.23)
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 레진과 같은 약액의 도포 시 기판의 요철에 의해 도포된 막에 발생하는 기포를 방지하여 도포 균일성이 향상될 수 있는 슬릿노즐을 제공하는 것에 목적이 있다.
본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기의 문제를 해결하기 위하여 본 발명은 기판 상에 소정의 너비로 약액을 도포하는 슬릿노즐에 있어서, 캐비티가 형성된 제1 결합면을 구비하는 제1 몸체; 일측면이 상기 제1 결합면과 결합되어 하측 단부에 슬릿형의 액토출부를 제공하는 막음판; 및 상기 막음판의 타측면과 결합되되, 내부 영역은 이격되어 공기유로를 제공하는 제2 결합면을 구비하는 제2 몸체;를 포함하고, 상기 공기 유로의 내측부로부터 유입되는 압축공기는 상기 제2 결합면의 하부면을 따라 하측으로 이동하고, 상기 압축공기의 이동에 따라 상기 공기유로의 상측으로부터 외부의 공기가 유입되어 하측으로 이동함으로써 상기 액토출부와 상기 제2 몸체 사이에 저압이 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐을 제공할 수 있다.
상기 제1 몸체는, 상기 캐비티와 연결되어 상기 캐비티로 약액을 공급하는 약액공급부를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 몸체는, 외측면 하부에 결합되는 압축공기 공급 브라켓과, 상기 압축공기 공급 브라켓에 형성된 공급홀과 연통되는 압축공기 주입부와, 상기 압축공기 주입부와 연결되도록 상기 제2 결합면에 형성되되 상기 압축공기를 상기 제2 결합면을 따라 하측으로 방출하는 압축공기 유출부를 포함할 수 있다.
상기 제2 몸체는, 상기 압축공기 유출부가 슬릿형의 장홈을 구비하는 것일 수 있다.
상기 제2 결합면은 상부로부터 상기 압축공기 유출부까지 간격이 좁아지는 제1 곡면과, 상기 압축공기 유출부로부터 하측까지의 제2 곡면을 포함하되, 상기 제2 곡면은 상기 제1 곡면보다 곡률이 더 큰 것일 수 있다.
상기 막음판은, 상기 제2 결합면의 하부면에 대응되는 위치에 돌출부를 구비하고, 상기 돌출부는 상기 제2 결합면의 하부면의 곡률에 대응하는 외측면을 구비하여 상기 제2 결합면의 하부면과 상기 돌출부의 외측면은 소정의 균일한 간격이 형성되는 것일 수 있다.
상기 돌출부의 하측 단면은 상기 액토출부의 단부보다 상단으로 위치하고, 상기 돌출부의 하측 단면 하부 영역은 상기 압축공기 및 외부의 공기 이동으로 인한 저압 형성부가 마련되는 것일 수 있다.
상기 슬릿노즐은, 상기 제2 몸체의 방향으로 이동하며 상기 액토출부가 상기 기판 상에 약액을 도포하는 것일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 슬릿노즐은 내부에 마련된 공기유로를 따라 압축공기가 이동하고 그와 함께 외부공기가 유입 및 이동하여, 액토출부 영역에 저압이 형성되고 토출된 약액 내부의 기포가 외부로 빠져나가며 약액이 더 빨리 균일하게 기판에 도포됨으로써, 도포 시 기판의 요철에 의해 도포된 막에 발생하는 기포를 방지하여 도포 균일성이 향상될 수 있는 장점이 있다. 또한, 디스플레이 장치의 경우 슬릿노즐로 토출된 UV 레진 내부의 기포가 최소화됨으로써 표시소자들의 표시 성능이 향상되어 디스플레이 장치의 화질이 더욱 개선되는 효과가 있다.
도 1은 마이크로 엘이디(Micro-LED)를 표시 소자로 구비하는 디스플레이 장치의 단면도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 슬릿노즐을 나타낸 사시도,
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 슬릿노즐을 나타낸 분해사시도,
도 5 및 도6은 도 2의 I-I'에 대한 단면도,
도 7은 도 6의 A에 대한 종래와 본 발명의 약액 토출 상태를 비교한 것을 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 슬릿노즐을 나타낸 사시도, 도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 슬릿노즐을 나타낸 분해사시도, 도 5 및 도6은 도 2의 I-I'에 대한 단면도, 도 7은 도 6의 A에 대한 종래와 본 발명의 약액 토출 상태를 비교한 것을 나타낸 단면도이다.
도 2 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 슬릿노즐(100)은 제1 몸체(110)와 제2 몸체(120) 및 그들 사이에 결합되는 막음판(130)을 구비할 수 있으며, 기판 상에 소정의 너비로 약액을 도포할 수 있다. 예로써 상기 기판은 마이크로 엘이디와 같은 복수 개의 표시 소자들이 배열된 디스플레이 장치용 기판일 수 있다.
상기 슬릿노즐(100)은 캐비티(113)가 형성된 제1 결합면(111)을 구비하는 제1 몸체(110)와, 일측면(131)이 상기 제1 결합면(111)과 결합되어 하측 단부에 슬릿형의 액토출부(140)를 제공하는 막음판(130) 및 상기 막음판(130)의 타측면(133)과 결합되되, 내부 영역은 이격되어 공기유로(150)를 제공하는 제2 결합면(122)을 구비하는 제2 몸체(120)를 포함할 수 있다. 이 경우 액토출부(140)는 캐비티(113)의 하측과 연결되어 위치하되 제1 결합면(111)과 단차가 형성된 제1 슬릿결합부(140a)와, 막음판(130)의 하측단부에 위치하되 제1 슬릿결합부(140a)에 대응되어 결합하는 제2 슬릿결합부(140b)가 체결되어 구성될 수 있다.
상세히 설명하면, 상기 제1 몸체(110)는 상기 캐비티(113)와 연결되어 상기 캐비티(113)로 약액을 공급하는 약액공급부(115)를 더 포함할 수 있으며, 예를 들어 상기 약액은 UV 경화성 레진과 같이 디스플레이 장치용 기판의 보호층을 형성하는 소재일 수 있다. 즉, 약액 공급부(115) 상부에는 실린지와 같은 액공급배럴(미도시)이 위치하여 상기 약액 공급부(115) 내부로 약액을 공급할 수 있으며, 공급된 약액은 약액 공급부(115) 내부를 이동하여 캐비티(113)로 위치할 수 있다. 또한, 액토출부(140)로 토출되는 약액의 양은 약액의 종류 또는 점성과 같은 물성에 따라 액공급배럴에 가해지는 기압으로 제어될 수 있다.
상기 제2 몸체(120)는 막음판(130)과 결합되어 슬릿노즐(100)의 내부영역에 공기유로(150)를 제공할 수 있다. 제2 몸체(120)의 제2 결합면(122)은 막음판(130)과 이격되어 공기유로(150)를 제공할 수 있으며, 제2 몸체(120)는 제2 결합면(122)의 양측부에 막음판(130)의 타측면(133)과 체결되어 공기 유로의 폭을 설정하는 제2 결합면 체결부(123)를 포함할 수 있다.
제2 몸체(120)는 상기 공기 유로(150)의 내측부로부터 압축공기(2)가 유입될 수 있으며, 압축공기(2)는 상기 제2 결합면(122)의 하부면을 따라 하측으로 이동할 수 있다. 상기 압축공기(2)의 이동에 따라 상기 공기유로(150)의 상측으로부터 외부 공기(1)의 유입이 유도되고, 공기는 하측으로 이동함으로써 상기 액토출부(140)와 상기 제2 몸체(120) 사이는 주변보다 저압이 형성될 수 있다.
이 경우 상기 제2 몸체(120)는 외측면 하부에 결합되는 압축공기 공급 브라켓(124)과, 상기 압축공기 공급 브라켓(124)에 형성된 공급홀(124h)과 연통되는 압축공기 주입부(126)와, 상기 압축공기 주입부(126)와 연결되도록 상기 제2 결합면(122)에 형성되되 상기 압축공기(2)를 상기 제2 결합면을 따라 하측으로 방출하는 압축공기 유출부(128)를 포함할 수 있다. 즉, 압축공기 공급 브라켓(124)의 공급홀(124h)을 통하여 제2 몸체의 압축공기 주입부(126)로 압축공기가 주입되고, 주입된 압축공기(2)는 압축공기 유출부(128)를 통하여 상기 공기 유로(150) 내측부로 압축공기(2)를 유입시킬 수 있다. 예로써, 상기 제2 결합면(122)은 압축공기 유출부(128)를 기준으로 상측의 제1 곡면(122a)과 하측의 제2 곡면(122b)을 포함할 수 있다. 따라서, 압축공기(2)는 압축공기 유출부(128)을 통하여 제2 곡면(122b)을 따라 하측으로 방출될 수 있다.
상기 제2 몸체(120)는 상기 압축공기 유출부(128)가 슬릿형의 장홈을 구비하는 것일 수 있다. 따라서 공급된 압축공기(2)를 제2 결합면(120)으로 토출 시 더욱 높아진 밀도와 속도로 공기 유로(150)의 내부에 제공함으로써 코안다 효과를 더욱 발현시킬 수 있으며, 그로 인해 외부 공기(1)의 유입을 더욱 유도하여 액토출부(150) 주변의 압력을 더 낮추어줄 수 있다.
압축공기 유출부(128)로 유출된 압축공기(2)는 제2 결합면의 하부면 곡면, 즉 제2 곡면(122b)을 타고 코안다 효과(Coanda effect)를 일으키며 제2 몸체(120)의 하부 외측으로 이동할 수 있다. 즉, 압축공기(2)는 제2 곡면(122b)과 접촉하여 흐르면서 직선으로 흐르는 것이 아니라 제2 곡면(122b)의 곡률을 따라서 압축공기(2)가 이동할 수 있다. 이때 압축공기(2)의 이동은 좁고 빠른 제트의 흐름이라 할 수 있으며, 그로 인해 베르누이 현상이 유도되어 공기 유로(150)의 상부측으로부터 외부 공기(1)가 유입될 수 있다. 그리고, 유입된 외부 공기(1)는 압축공기(2)와 함께 제2 몸체(120)의 하부 외측으로 빠르게 이동하여 액토출부(140) 근처의 영역(160)은 슬릿노즐(100) 외부보다 상대적으로 저압이 형성될 수 있다.
즉, 압축공기(2)의 이동으로 진공 상태에 가까운 저압이 액토출부(140) 근처에 형성되고, 기판 상에는 공기가 거의 없는 상태에서 약액이 토출됨으로써 종래보다 더 빠르게 밀착 도포될 수 있으므로, 복수 개의 표시 소자들이 배열되어 표면이 균일하지 않는 디스플레이 장치용 기판이라도 기포를 방지하며 균일하게 도포될 수 있다.
따라서, 도 7의 오른쪽과 같이, 본 발명의 액토출부(140)로부터 토출된 약액(40')은 종래의 슬릿노즐로부터 토출된 약액(40)보다 상기 액토출부(140) 주변에 형성된 저압으로 인해 약액(40')이 더 빨리 균일하게 기판에 도포되어 기포를 방지할 수 있으며, 기포가 약액 내부에 포함되어 있더라도 주변의 저압으로 인해 약액 내부의 기포가 외부로 이동함으로써, 약액 내부에 갇히는 기포의 양이 종래보다 감소될 수 있다. 이는 도포의 균일성을 더욱 향상시켜, 디스플레이 장치의 경우 슬릿노즐로 형성된 UV 레진보호층 내부의 기포가 최소화됨으로써 표시소자들의 표시 성능이 향상되어 디스플레이 장치의 화질이 더욱 개선되는 효과가 있다.
상기 제2 결합면(122)은 상부로부터 상기 압축공기 유출부(128)까지 간격이 좁아지는 상기 제1 곡면(122a)과, 상기 압축공기 유출부(128)로부터 하측까지의 상기 제2 곡면(122b)을 포함하되, 상기 제2 곡면(122b)은 상기 제1 곡면(122a)보다 곡률이 더 큰 것일 수 있다. 따라서 제1 곡면(122a)을 타고 유입되는 외부 공기(1)는 간격이 점점 좁아짐에 따라 공기의 밀도가 높아지며, 제2 곡면(122b)을 따라 압축공기(2)와 함께 이동하는 외부 공기(1)의 속도 증가를 유도할 수 있다. 나아가서, 제2 곡면(122b)이 더 큰 곡률을 가짐으로써 외부 공기(1) 및 압축공기(2)가 제2 곡면(122b)을 따라 흐르는 속도를 더 상승시킬 수 있으며, 액토출부(140) 주변의 압력 저하를 더욱 유발할 수 있다.
상기 막음판(130)은 상기 제2 결합면(122)의 하부면, 즉 제2 곡면(122b)에 대응되는 위치에 돌출부(135)를 구비하고, 상기 돌출부(135)는 상기 제2 결합면(122)의 하부면의 곡률, 즉 제2 곡면(122b)의 곡률에 대응하는 외측면(135-1)을 구비하여 상기 제2 결합면의 하부면(122b)과 상기 돌출부의 외측면(135-1)은 소정의 균일한 간격이 형성되는 것일 수 있다. 따라서 돌출부의 외측면과 제2 결합면의 하부면(즉, 제2 곡면) 사이의 유로를 일정한 간격으로 제공함으로써 압축공기(2)와 유입된 외부 공기(1)의 증가된 속도를 유지하며 외부로 함께 배출될 수 있다.
상기 돌출부(135)의 하측 단면(135-2)은 상기 액토출부(140)의 단부보다 상단으로 위치하고, 상기 돌출부(135)의 하측 단면(135-2) 하부 영역은 상기 압축공기(2) 및 외부 공기(1) 이동으로 인한 저압 형성부(160)가 마련되는 것일 수 있다. 따라서 액토출부(140)로부터 토출된 약액이 기판에 충분히 도포되는 공간을 마련하여 기포를 방지하며 기판 상에 균일하게 밀착 도포되는 것을 더욱 유도할 수 있다.
상기 슬릿노즐(100)은, 저압형성부(160)의 효과를 위해 상기 제2 몸체(120)의 방향(X)으로 이동하며 상기 액토출부(140)가 상기 기판 상에 약액을 도포하는 것일 수 있다. 이는 약액의 도포 전 압축공기(2)와 외부 공기(1)의 이동(흐름)으로 도포 전 기판의 이물질 제거에 도움을 주는 효과도 있다.
본 발명의 실시예에 따른 슬릿노즐(100)은 내부에 마련된 공기유로(150)를 따라 압축공기(2)가 이동하고 그와 함께 외부공기(1)가 유입 및 이동하여, 액토출부(140) 영역에 저압이 형성되고 토출된 약액 내부의 기포가 외부로 빠져나가며, 종래보다 약액(40')이 더 빨리 균일하게 기판에 도포되어 도포 시 기판의 요철에 의해 도포된 막에 발생하는 기포를 방지하여 도포 균일성이 향상될 수 있는 장점이 있다. 또한, 디스플레이 장치의 경우 슬릿노즐로 토출된 UV 레진 내부의 기포가 최소화되어 표시소자들의 표시 성능이 향상되어 디스플레이 장치의 화질이 더욱 개선되는 효과가 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100; 슬릿노즐
110; 제1 몸체
111; 제1 결합면
113; 캐비티
115; 약액공급부
120; 제2 몸체
122; 제2 결합면
122a; 제1 곡면
122b; 제2 곡면
123; 제2 결합면 체결부
124; 압축공기 브라켓
126; 압축공기 주입부
128; 압축공기 유출부
130; 막음판
131; 일측면
133; 타측면
135; 돌출부
140; 액토출부
150; 공기유로
160; 저압형성부

Claims (8)

  1. 기판 상에 소정의 너비로 약액을 도포하는 슬릿노즐에 있어서,
    캐비티가 형성된 제1 결합면을 구비하는 제1 몸체;
    일측면이 상기 제1 결합면과 결합되어 하측 단부에 슬릿형의 액토출부를 제공하는 막음판; 및
    상기 막음판의 타측면과 결합되되, 내부 영역은 이격되어 공기유로를 제공하는 제2 결합면을 구비하는 제2 몸체;를 포함하고,
    상기 공기 유로의 내측부로부터 유입되는 압축공기는 상기 제2 결합면의 하부면을 따라 하측으로 이동하고, 상기 압축공기의 이동에 따라 상기 공기유로의 상측으로부터 외부의 공기가 유입되어 하측으로 이동함으로써 상기 액토출부와 상기 제2 몸체 사이에 저압이 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 몸체는, 상기 캐비티와 연결되어 상기 캐비티로 약액을 공급하는 약액공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 몸체는, 외측면 하부에 결합되는 압축공기 공급 브라켓과, 상기 압축공기 공급 브라켓에 형성된 공급홀과 연통되는 압축공기 주입부와, 상기 압축공기 주입부와 연결되도록 상기 제2 결합면에 형성되되 상기 압축공기를 상기 제2 결합면을 따라 하측으로 방출하는 압축공기 유출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제2 몸체는, 상기 압축공기 유출부가 슬릿형의 장홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제2 결합면은 상부로부터 상기 압축공기 유출부까지 간격이 좁아지는 제1 곡면과, 상기 압축공기 유출부로부터 하측까지의 제2 곡면을 포함하되, 상기 제2 곡면은 상기 제1 곡면보다 곡률이 더 큰 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 막음판은, 상기 제2 결합면의 하부면에 대응되는 위치에 돌출부를 구비하고, 상기 돌출부는 상기 제2 결합면의 하부면의 곡률에 대응하는 외측면을 구비하여 상기 제2 결합면의 하부면과 상기 돌출부의 외측면은 소정의 균일한 간격이 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 돌출부의 하측 단면은 상기 액토출부의 단부보다 상단으로 위치하고, 상기 돌출부의 하측 단면 하부 영역은 상기 압축공기 및 외부의 공기 이동으로 인한 저압 형성부가 마련되는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬릿노즐은, 상기 제2 몸체의 방향으로 이동하며 상기 액토출부가 상기 기판 상에 약액을 도포하는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
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