KR20090005586A - 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐 - Google Patents

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Abstract

평판표시장치 제조용 슬릿 노즐이 제공된다. 본 발명의 일실시예에 따른 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐은, 기판의 폭 방향으로 길게 형성된 제1 몸체부와, 일측에는 약액이 공급되는 복수의 공급구가 일정 간격으로 형성되고 타측은 제1 몸체부와 결합하며 복수의 공급구로부터 유입되는 약액이 일시 체류하는 캐비티가 형성된 제2 몸체부와, 제1 몸체부와 제2 몸체부 사이에 형성되고 캐비티로부터 약액을 공급받아 기판의 표면으로 토출하는 토출구 및 제2 몸체부의 일측에서 수직으로 또는 수직 방향과 일정한 각도를 이루도록 형성되어 캐비티에 연결되며 캐비티 내부의 기포를 제거하는 벤트부를 포함한다.
기판, 슬릿 노즐, 약액, 토출

Description

평판표시장치 제조용 슬릿 노즐{Slit nozzle used in manufacturing flat panal display devices}
본 발명은 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐에 관한 것으로, 보다 상세하게는 수직으로 또는 수직 방향과 일정한 각도로 형성된 벤트부를 가지는 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐에 관한 것이다.
최근 영상을 표현하는 표시장치로서 액정 디스플레이(LCD) 소자와 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 소자 등이 종래의 브라운관(CRT)을 빠른 속도로 대체하여 오고 있다. 이러한 것들은 흔히 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)이라고 불리우는 기판을 사용하고 있다.
평판표시장치를 제작하기 위해서는 기판 제작 공정, 셀 제작 공정, 모듈 제작 공정 등의 많은 공정을 수행하여야 한다. 특히, 기판 제작 공정에 있어서, 기판 상에 패턴들을 형성하기 위해서는 세정을 시작으로 포토 레지스트 형성, 노광, 현상, 식각, 포토 레지스트 제거로 이루어지는 패터닝 공정을 수행하고 이후, 검사 공정까지 거쳐야 한다.
현상 공정은 유리 기판에 현상액을 균일하게 공급하여 현상한다. 예를 들어 현상 설비는 노광된 유리 기판 표면에 현상액을 균일하게 도포하여 일정 시간 동안 퍼들(puddle)을 형성하여 현상한다. 이 때 현상 공정상 필요한 스프레이(spray)의 균일성을 얻기 위하여 저유량(예를 들어, 분당 약 30 리터 이하)의 현상액을 공급하는 경우에도, 슬릿 노즐로부터 토출되는 현상액에 의해 형성되는 커튼(curtain)이 갈라짐 없는 일정한 형상으로 유지되어야 한다. 또한 반도체 제조용 현상액은 초 고순도를 요구하기 때문에 고가이다. 그러므로 현상 공정에서 가능하면 최소의 사용으로 기판 표면을 균일하게 도포하는 것이 바람직하다.
따라서 유리 기판 상의 현상액 도포 상태 및 저유량의 현상액 공급에 따른 슬릿 노즐의 스프레이 균일성 확보가 현상 공정에서는 중요한 관건이다.
그러나, 종래의 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐은 다음과 같은 문제점이 있다.
종래의 슬릿 노즐의 경우, 캐비티 내부의 기포를 제거하는 벤트부가 수평으로 가공되어 약액의 이동 흐름이 저하되어 캐비티 내부의 적체된 기포를 효과적으로 제거할 수 없었다. 따라서, 도포 공정을 위해 기판 상에 약액을 토출을 할 때에 기판 상에 버블(bubble)이 생기는 문제가 발생하여 균일한 도포를 할 수 없었다.
본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 고안된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 캐비티 내부의 기포를 제거하는 벤트부를 수직 방향과 일정 각도를 가지도록 가공하여 유체의 이동 흐름을 용이하게 함으로써 벤트부의 기포 제거력을 향상시키는 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐은, 기판의 폭 방향으로 길게 형성된 제1 몸체부와, 일측에는 약액이 공급되는 복수의 공급구가 일정 간격으로 형성되고 타측은 상기 제1 몸체부와 결합하며 상기 복수의 공급구로부터 유입되는 상기 약액이 일시 체류하는 캐비티가 형 성된 제2 몸체부와, 상기 제1 몸체부와 상기 제2 몸체부 사이에 형성되고 상기 캐비티로부터 상기 약액을 공급받아 상기 기판의 표면으로 토출하는 토출구 및 상기 제2 몸체부의 일측에서 수직으로 또는 수직 방향과 일정한 각도를 이루도록 형성되어 상기 캐비티에 연결되며 상기 캐비티 내부의 기포를 제거하는 벤트부를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.
첫째, 캐비티 내부의 기포를 제거하는 벤트부를 수직 방향과 일정 각도를 가지도록 가공하여 유체의 이동 흐름을 용이하게 함으로써 벤트부의 기포 제거력을 향상시킬 수 있다.
둘째, 캐비티 내부의 기포를 제거함으로써 기판 상에 균일한 도포를 할 수 있으므로, 불량 발생을 최소화하고 도포 공정의 안정성과 효율성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐을 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 평판표시장치 제조용 약액 도포 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 평판표시장치 제조용 약액 도포 장치에 포함된 슬릿 노즐의 측면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 평판표시장치 제조용 약액 도포 장치는 기판(10) 상에 약액(15)을 도포하는 슬릿 노즐(Slit nozzle, 100)과, 슬릿 노즐(100)에 약액(15)을 공급하는 약액 공급부(200) 및 약액(15) 도포를 위해 기판(10)을 이동시키는 기판 이송 장치(20)를 포함한다.
여기서, 약액 공급부(200)는 약액(15)을 보관하고 공급하는 약액 공급원(210)과, 약액 공급원(210)에 연결되어 약액(15)을 전달하는 배관(220, 222)과, 약액(15)의 공급량을 조절하는 밸브(230, 232) 및 슬릿 노즐(100)와 배관(220, 222) 사이에 연결되어 약액(15)을 슬릿 노즐(100)에 공급하는 약액 공급 라인(240) 을 포함한다.
약액 공급원(210)은 기판(10)의 표면에 도포될 약액(15), 예를 들어 현상액(예를 들어, 2.38 %의 TMAH 용액)을 보관하고 있다.
배관(220, 222)은 약액(15)을 전달하는 제1 배관(220)과, 제1 배관(220)으로 공급되는 약액(15) 내부의 기포(Air, Micro bubble)를 제거하기 위한 제2 배관(222)을 포함한다. 제1 배관(220)은 약액(15) 공급량 조절용의 제1 밸브(230)를 구비하고, 제1 밸브(230)의 조절을 통해 약액(15)의 공급량을 조절한다. 그리고 제1 배관(220)은 약액 공급원(210)으로부터 다수의 약액 공급 라인(240)을 통해 슬릿 노즐(100)과 연결되며, 약액 공급 라인(240)을 통해 슬릿 노즐(100) 전체로 약액(15)을 균일하게 공급한다. 이 때, 제2 배관(222)은 제1 배관(220)으로 공급되는 약액(15) 내부의 기포를 제거하기 위하여 제2 밸브(232)를 구비한다.
제1 밸브(230)는 약액 공급량을 조절하기 위하여 스프레이(spray)되는 유량을 고정 설정한다. 제2 밸브(232)는 제1 배관(220) 내부의 기포를 제거하기 위하여 순간 대용량 밸브로 구비되며, 개폐 동작을 주기적(예를 들어, 약 5초 간격)으로 반복시킨다. 예를 들어 현상 공정에서, 기포는 약액이 기판(10) 표면에 균일하게 도포되지 않는 등 공정 트러블의 원인이 되기 때문이다.
그리고 약액 공급 라인(240)은 예를 들어, PFA(Perfluoroalkoxy) 튜브 등으로 형성될 수 있으며, 제1 배관(220)으로부터 공급되는 약액(15)을 슬릿 노즐(100)로 빠르고 균일하게 공급하기 위하여 다수개가 구비될 수 있다. 약액 공급 라인(240)은 배관(220, 222) 내부에서의 기포 발생시, 슬릿 노즐(100)에 잔류하지 않 고 배관(220, 222) 쪽 방향으로 올라오도록 하기 위하여 도 2에 도시된 바와 같이, 약액 공급 라인(240)의 길이를 'ㄷ' 자 형태로 길게 하여 기포가 올라오는데 필요로 하는 공간을 확보하도록 구성한다. 이는 가동 초기에 최대한 많은 기포를 제거해주는 것이 중요하며, 초기에 대유량 밸브를 이용하여 슬릿 노즐(100)로 배출되도록 하고, 약액(15)의 커튼이 형성된 이후의 기포는 슬릿 노즐(100)로 배출될 수 없기 때문에 동작 중에 발생되는 기포는 슬릿 노즐(100) 내부에 들어가지 않도록 배관(220, 222) 및/또는 약액 공급 라인(240)에 머물도록 하는 것이 바람직하다.
슬릿 노즐(100)은 반도체 제조 공정 또는 평판표시장치 제조 공정에 있어서 기판(10)의 폭 방향에 대응하여 길게 형성된 노즐을 통해 약액(15) 을 기판(10) 표면에 균일하게 도포하는 슬릿(slit) 방식의 도포 장치에 사용된다. 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 약액 도포 장치는 기판(10) 표면에 약액(15)을 균일하게 도포하기 위하여 약액(15)의 유량 또는 유속의 차이를 두고 있는 하나 이상의 슬릿 노즐(100)을 구비할 수 있다.
슬릿 노즐(100)의 일측에는 구동부(도시되지 않음)가 연결되며, 구동부에 의하여 슬릿 노즐(100)은 일방향으로 이동할 수 있다. 슬릿 노즐(100)은 일방향으로 이동하면서 기판(10) 상에 약액(15)을 균일하게 분사하게 된다.
본 실시예에서는 슬릿 노즐(100)은 기판(10)의 일끝단으로부터 타끝단에 이르기까지 이동한다고 하였으나, 이와 달리 슬릿 노즐(100)의 위치가 고정된 상태에서 기판(10)이 기판 이송 장치(20)에 의해 이동할 수도 있다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐 의 분해 사시도이고, 도 4는 도 3의 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐의 결합 사시도이다.
본 발명의 일실시예에 따른 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐은, 제1 몸체부(110)와, 제2 몸체부(120)와, 토출구(150) 및 벤트부(160)를 포함한다.
제1 몸체부(110)는 기판(10)의 폭 방향으로 길게 형성된다. 즉, 제1 몸체부(110)는 기판(10)의 폭 방향 전체에 대해 균일한 도포가 가능하도록 기판(10)의 폭에 대응하는 폭을 가지도록 형성된다. 제1 몸체부(110)에는 제2 몸체부(120)와 결합이 가능하도록 제1 결합공(111)이 형성되어 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 제1 결합공(111)은 나사 탭(Tap)일 수 있다.
제2 몸체부(120)는 일측에는 약액(15)이 공급되는 복수의 공급구(130)가 일정 간격으로 형성되어 있고, 각각의 공급구(130)에는 약액(15)을 공급하는 약액 공급 라인(240)이 연결되어 있다. 즉, 약액(15)이 슬릿 노즐(100)로 빠르고 균일하게 공급되도록 하기 위하여 약액 공급 라인(240)의 개수에 대응하여 공급구(130)도 복수 개로 형성하는 것이 바람직하다. 또한 복수의 공급구(130)는 슬릿 노즐(100)의 폭 방향을 따라 일정한 간격으로 배열될 수 있다. 한편, PFA(Perfluoroalkoxy) 튜브 등으로 이루어진 약액 공급 라인(240)과 공급구(130) 사이의 연결부에는 약액(15)의 누수를 방지하도록 기밀을 유지하는 오링(O-Ring)등이 삽입될 수 있다.
또한, 제2 몸체부(120)의 타측, 즉 복수의 공급구(130)가 형성된 측면의 반대편 측면은 제1 몸체부(110)와 결합하게 되는데, 제1 몸체부(110)의 제1 결합공(111)과 대응하는 위치에 제2 결합공(121)이 형성된다. 본 발명의 일실시예에 따 르면 제1 결합공(111)인 나사 탭에 대응하여 제2 결합공(121)으로 드릴 홀(Drill hole)이거나 카운터 보어(Counterbore) 등이 형성될 수 있다.
한편, 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120)는 각각에 형성된 결합공(111, 121) 및 결합 부재(170), 예를 들면 스크류를 이용하여 결합 고정될 수 있다. 다만 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 점착제, 접착제, 후크 결합 등 다양한 결합 수단에 의해 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120)를 결합 고정할 수 있다.
제2 몸체부(120)에는 복수의 공급구(130)로부터 유입되는 약액(15)이 토출되기 전에 일시 체류하는 캐비티(140)가 형성된다. 즉, 캐비티(140)는 공급된 약액(15)을 일시적으로 축적하기 위한 장소를 제공하는 역할을 한다.
캐비티(140)는 공급구(130)와 토출구(150) 사이에 있어 이들을 연결할 수 있게 되어 있으므로, 공급구(130)를 통해 유입된 약액(15)은 우선 캐비티(140) 내의 공간에 일시적으로 체류한 후 토출구(150)를 통하여 기판(10) 표면으로 토출된다.
토출구(150)는 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120)의 결합에 의해 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120) 사이에 형성되고, 캐비티(140)로부터 약액(15)을 공급받아 기판(10)의 표면으로 토출하는 역할을 한다.
약액(15)의 토출 속도는 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120) 사이의 토출구(150)의 폭을 조절함으로써 제어할 수 있다. 일반적으로 공급되는 유체의 유량이 일정한 경우, 유체의 속도는 유체가 지나가는 단면적에 반비례하게 된다. 즉, 공급구(130)를 통하여 슬릿 노즐(100)에 공급되는 약액(15)의 양과 토출구(150)를 통하여 슬릿 노즐(100)로부터 토출되는 약액(15)의 양이 동일하므로(즉, 유량이 동일 함), 약액(15)의 토출 속도는 토출구(150)의 폭에 의해 결정된다.
토출구(150)의 폭이 지나치게 좁은 경우(예를 들어, 0.01 - 0.2mm), 토출구(150)의 가는 폭을 일정하게 관리하기 어렵고, 약액(15)의 토출 속도가 지나치게 높아 기판(10) 상에 도포된 약액(15)에 기포가 발생하는 문제가 있다. 따라서, 바람직하게는 토출구(150)의 폭을 약 1~3 mm로 형성함으로써 약액(15)의 토출 속도가 지나치게 증가하는 것을 방지하여 기포가 발생하는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 상대적으로 토출구(150)의 폭이 넓기 때문에 토출구(150)의 폭을 일정하게 유지하도록 쉽게 관리할 수 있다.
벤트부(160)는 약액(15)을 일시적으로 축적하는 캐비티(140) 내부의 기포를 제거하는 역할을 한다. 또는, 초기에 약액(15) 공급부로부터 약액(15)을 캐비티(140)에 채울 때 초과하는 유체량을 캐비티(140) 외부로 빼내는 역할을 한다.
도 5는 도 4의 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐을 A-A'선으로 절단한 단면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 벤트부(160)는 제2 몸체부(120)의 상측면에서 수직으로 또는 수직 방향과 일정한 각도(θ)를 이루도록 형성되어 캐비티(140)에 연결된다. 바람직하게는 벤트부(160)의 가공 각도(θ)는 수직 방향에 대해 45˚ 이하의 각도(θ)를 가진다.
종래에는 벤트부(160)가 수평으로 가공되어 약액(15)의 이동 흐름이 저하되어 캐비티(140) 내부의 적체된 기포를 효과적으로 제거할 수 없었다. 따라서, 도포 공정을 위해 기판(10) 상에 약액(15)을 토출을 할 때에 기판(10) 상에 버 블(bubble)이 생기는 문제가 발생하여 균일한 도포를 할 수 없었다.
그러나, 본 발명의 일실시예에 따르면, 벤트부(160)가 수직으로 또는 수직 방향과 일정한 각도(θ)를 이루도록 형성되므로 약액(15)의 이동 흐름이 용이하게 되어 캐비티(140) 내부의 기포를 효과적으로 제거할 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐의 단면도이다.
본 발명의 다른 실시예에 의하면, 벤트부(160)는 제2 몸체부(120)의 일측면, 즉, 공급구(130)가 형성된 측면에서 수직 방향과 일정한 각도(θ)를 이루도록 형성되어 캐비티(140)에 연결된다. 바람직하게는 벤트부(160)의 가공 각도(θ)는 수직 방향에 대해 45˚ 이하의 각도(θ)를 가진다.
한편, 벤트부(160)는 약액 공급 라인(240)과 유사하게, PFA(Perfluoroalkoxy) 튜브 등으로 이루어진 약액(15) 배출 라인(도시되지 않음)에 연결되고, 벤트부(160)와 약액(15) 배출 라인 사이의 연결부에는 약액(15)의 누수를 방지하도록 기밀을 유지하는 오링(O-Ring)등이 삽입될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 제2 몸체부(120)에 캐비티(140)와 벤트부(160)가 형성되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어 제1 몸체부(110)에 캐비티(140)와 벤트부(160)가 형성될 수도 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 반도체 소자 제조용 로드 락 챔버의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 기판(10)이 기판 이송 장치(20)에 의해 도포 공정을 위한 위치로 이동 하면 기판(10)은 진공 펌프(Vacuum pump)등에 의해 고정된다. 기판(10)이 정해진 위치에 고정되면, 슬릿 노즐(100)은 구동부(도시되지 않음)에 의해 기판(10)의 일끝단에서 타끝단으로 이동되면서 기판(10) 상에 도포 공정을 진행하게 된다.
약액(15)은 약액 공급 라인(240)을 통해 슬릿 노즐(100)의 제2 몸체부(120)에 형성된 복수의 공급구(130)로 공급되는 데, 토출구(150)를 통해 기판(10) 상에 토출되기 전에 캐비티(140) 내에 일시적으로 체류하게 된다.
이 때, 캐비티(140) 내에서 기포가 발생할 수 있는데, 약액(15)에 포함된 기포는 기판(10) 상에 버블을 발생시킬 수 있으므로, 캐비티(140) 내부의 적체된 기포는 벤트부(160)를 통해 슬릿 노즐(100) 외부로 배출하게 된다.
벤트부(160)는 제2 몸체부(120)의 일측에서 수직으로 또는 수직 방향과 일정한 각도(θ)를 이루도록 형성되어 캐비티(140)에 연결되어 있으므로, 약액(15)의 이동 흐름이 용이하게 되어 캐비티(140) 내부의 기포를 효과적으로 제거할 수 있게 된다.
따라서, 캐비티(140) 내부의 기포를 제거함으로써 기판(10) 상에 균일한 도포를 할 수 있으므로, 불량 발생을 최소화하고 도포 공정의 안정성과 효율성을 향상시킬 수 있게 된다.
슬릿 노즐(100)이 기판(10)의 일끝단에서 타끝단으로 이동하여 기판(10) 상에 도포 공정을 모두 마치게 되면, 기판(10)은 기판 이송 장치(20)에 의해서 다음 공정을 위해 이동하게 된다.
본 실시예에서 기판(10)은 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)를 제조하 기 위한 것으로 직사각형의 평판이며, 평판표시장치는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(Field Emission Display), 또는 ELD(Electro Luminescence Display) 일 수 있다. 또는, 기판(10)은 반도체 칩 제조에 사용되는 웨이퍼(wafer)일 수도 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 평판표시장치 제조용 약액 도포 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 평판표시장치 제조용 약액 도포 장치에 포함된 슬릿 노즐의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐의 분해 사시도이다.
도 4는 도 3의 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐의 결합 사시도이다.
도 5는 도 4의 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐을 A-A'선으로 절단한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐의 단면도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
10: 기판 15: 약액
20: 기판 이송 장치 100: 슬릿 노즐
110: 제1 몸체부 111: 제1 결합공
120: 제2 몸체부 121: 제2 결합공
130: 공급구 140: 캐비티
150: 토출구 160: 벤트부
170: 결합 부재 200: 약액 공급부
210: 약액 공급원 220: 배관
230: 밸브 240: 약액 공급 라인

Claims (3)

  1. 기판의 폭 방향으로 길게 형성된 제1 몸체부;
    일측에는 약액이 공급되는 복수의 공급구가 일정 간격으로 형성되고 타측은 상기 제1 몸체부와 결합하며 상기 복수의 공급구로부터 유입되는 상기 약액이 일시 체류하는 캐비티가 형성된 제2 몸체부;
    상기 제1 몸체부와 상기 제2 몸체부 사이에 형성되고 상기 캐비티로부터 상기 약액을 공급받아 상기 기판의 표면으로 토출하는 토출구; 및
    상기 제2 몸체부의 일측에서 수직으로 또는 수직 방향과 일정한 각도를 이루도록 형성되어 상기 캐비티에 연결되며 상기 캐비티 내부의 기포를 제거하는 벤트부를 포함하는 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 벤트부의 각도는 0~45도인 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 토출구의 폭은 1~3 mm인 평판표시장치 제조용 슬릿 노즐.
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