KR20070022181A - 저유량의 현상액을 균일하게 도포하기 위한 슬릿 노즐 및이를 구비하는 현상액 도포 장치 - Google Patents

저유량의 현상액을 균일하게 도포하기 위한 슬릿 노즐 및이를 구비하는 현상액 도포 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 패널 제조용 기판의 표면에 저유량의 현상액을 균일하게 도포하기 위한 슬릿 노즐 및 이를 구비하는 현상액 도포 장치에 관한 것이다. 슬릿 노즐은 현상액이 공급되는 공급구와 기판 표면으로 현상액을 도포하는 토출구 사이에 다수의 버퍼들과, 버퍼들을 수직으로 연결하는 버퍼 연결부를 구비한다. 슬릿 노즐은 기판의 폭 방향에 대응하여 길게 형성되며, 일측에 다수의 공급구가 일정 간격을 유지하여 구비된다. 본 발명에 의하면, 슬릿 노즐 내부에 다수의 버퍼들에 의해 내부에 에어가 발생되면, 버퍼들에 의해 토출구로 에어가 빠져나가지 않도록 하여 저유량의 현상액을 균일하게 도포할 수 있다.
도포 장치, 슬릿 노즐, 퍼들 나이프, 현상액, 에어, 버퍼

Description

저유량의 현상액을 균일하게 도포하기 위한 슬릿 노즐 및 이를 구비하는 현상액 도포 장치{SLIT NOZZLE FOR COATING DEVELOPING SOLUTION AND SYSTEM INCLUDING THEREOF}
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 공정의 현상액 도포용 슬릿 노즐을 구비하는 현상액 도포 장치의 개략적인 구성을 도시한 사시도;
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 본 발명에 따른 현상액 도포용 슬릿 노즐의 상세한 구성을 도시한 단면도들; 그리고
도 4는 도 1에 도시된 슬릿 노즐들의 동작 상태를 나타내는 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 현상액 도포 장치 101 : 현상액
102 : 현상액 공급원 104 ~ 110 : 배관
112 ~ 118 : 밸브 120, 130 : 슬릿 노즐
122 : 제 1 몸체부 124 : 제 2 몸체부
126 : 제 1 버퍼 128 : 공급구
130 : 제 2 버퍼 132 : 토출구
134 : 버퍼 연결부 142, 144 : 공급라인
200 : 기판
본 발명은 현상액 도포 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 평판 디스플레이 패널 제조용 기판에 현상액을 도포하는 공정에서 현상액의 저용량 및 균일한 공급을 위한 슬릿 노즐 및 이를 구비하는 현상액 코팅 장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이 패널을 제조하는 공정 중 현상 공정은 글래스(glass) 기판에 현상액을 균일하게 공급하여 현상한다. 예를 들어, 현상 설비는 노광된 글래스 기판 표면에 현상액을 균일하게 도포하여 일정 시간 동안 퍼들(puddle)을 형성하여 현상한다. 이 때, 현상 공정상 필요한 스프레이(spray)의 균일성을 얻기 위하여 저유량(예를 들어, 분 당 약 30 리터 이하)의 현상액을 공급하는 경우에도, 슬릿 노즐로부터 토출되는 현상액에 의해 형성되는 커튼(curtain)이 갈라짐없는 일정한 형상으로 유지되어야 한다.
또한 반도체 제조용 현상액은 초 고순도를 요구하기 때문에 고가이다. 그러므로 현상 공정에서 가능하면 최소의 사용으로 기판 표면을 균일하게 도포하는 것이 바람직하다.
따라서 글래스 기판 상의 현상액 도포 상태 및 저유량의 현상액 공급에 따른 슬릿 노즐의 스프레이 균일성 확보가 현상 공정에서는 중요한 관건이다.
그러나 현재 사용되는 현상액 도포 장치는 슬릿 노즐의 내부 형상으로 인하여 저유량의 현상액 공급시, 스프레이의 균일성을 얻을 수 없는 문제점이 있다. 이 는 슬릿 노즐이 대유량용으로 제작되어 슬릿 노즐 내부에서 발생되는 에어(air, micro bubble)에 의해 커튼이 갈라지게 되는 때문이다.
본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 저유량의 현상액을 공급하기에 적합한 슬릿 노즐을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 저유량의 현상액을 공급하기 위한 다수의 슬릿 노즐을 구비하는 현상액 도포 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 저유량의 현상액을 기판 표면에 균일하게 공급하기 위한 슬릿 노즐을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 저유량의 현상액을 균일하게 공급하기 위한 다수의 슬릿 노즐을 구비하는 현상액 도포 장치를 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 슬릿 노즐은, 저용량의 현상액을 도포하는데 그 한 특징이 있다. 본 발명에 의하면, 평판 디스플레이 패널용 기판 표면에 저유량의 현상액을 균일하게 도포한다.
본 발명의 슬릿 노즐은, 상기 기판의 폭 방향에 대응하여 길게 형성된 제 1 몸체부 및; 일측에 상기 현상액이 유입되는 다수의 공급구가 일정 간격으로 구비되고, 타측이 상기 제 1 몸체부와 결합하는 제 2 몸체부를 포함하되; 상기 제 1 및 상기 제 2 몸체부는 상호 결합하여 내부에 상기 공급구로부터 유입되는 상기 현상액이 일시 체류하는 제 1 및 제 2 버퍼와, 상기 제 1 버퍼로부터 상기 현상액을 받아서 상기 제 2 버퍼로 공급하는 버퍼 연결부 및, 상기 제 2 버퍼로부터 상기 현상액을 공급받아 상기 기판 표면으로 도포하는 토출구를 형성한다.
일 실시예에 있어서, 상기 버퍼 연결부는 상기 제 1 및 상기 제 2 버퍼를 수직으로 연결하고, 그리고 상기 제 1 버퍼가 연결되는 상단이 상기 제 2 버퍼가 연결되는 하단보다 크게 형성된다. 여기서, 상기 제 2 버퍼는 단면이 원 형태로 구비되는 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 특징에 따른 슬릿 노즐은, 상기 기판의 폭 방향에 대응하여 길게 형성되고, 일측에 현상액이 공급되는 공급구가 일정 간격으로 형성된 몸체부와; 상기 공급구로부터 유입된 상기 현상액이 임시로 체류하는 제 1 버퍼와; 상기 제 1 버퍼 하단에 형성되어 상기 제 1 버퍼로부터 상기 현상액이 유입되는 제 2 버퍼와; 상기 제 1 및 상기 제 2 버퍼를 연결하는 버퍼 연결부 및; 상기 제 2 버퍼로부터 유입된 현상액을 상기 기판으로 도포하는 토출구를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 버퍼 연결부는 상기 제 1 및 상기 제 2 버퍼를 수직으로 연결하고, 그리고 상기 제 1 버퍼가 연결되는 상단이 상기 제 2 버퍼가 연결되는 하단보다 크게 형성된다. 여기서, 상기 제 2 버퍼는 단면이 원 형태로 구비되는 것이 바람직하다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 현상액 도포 장치는, 다수의 버퍼들을 갖는 슬릿 노즐들을 이용하여 평판 디스플레이 패널용 기판 표면에 저유량의 현 상액을 도포하는데 그 한 특징이 있다. 본 발명에 의하면, 도포 공정 중에 발생되는 에어를 버퍼 및 배관 내부에 잔류시키게 하여 저유량의 현상액을 균일하게 도포한다.
본 발명의 현상액 도포 장치는, 상기 현상액을 공급하는 현상액 공급원과; 각각 상기 기판의 폭 방향으로 길게 형성되고, 상호 일정 간격을 유지하여 상기 기판 표면에 상기 현상액을 도포하는 제 1 및 제 2 슬릿 노즐들과; 상기 현상액 공급원과 상기 제 1 및 상기 제 2 슬릿 노즐들 사이를 각각 연결하는 다수의 배관들 및; 상기 배관들에 각각 구비되어 상기 현상액의 공급량을 조절하는 다수의 밸브들을 포함하되; 상기 슬릿 노즐들은 각각 상기 현상액 도포시 내부에 발생되는 에어를 상기 배관 내부에 잔류하도록 하여 상기 기판을 균일하게 도포한다.
일 실시예에 있어서, 상기 슬릿 노즐은; 상기 기판의 폭 방향으로 길게 형성되고, 일측에 현상액이 공급되는 공급구가 일정 간격으로 형성된 몸체부와; 상기 공급구로부터 유입된 상기 현상액이 임시로 체류하는 제 1 버퍼와; 상기 제 1 버퍼 하단에 형성되어 상기 제 1 버퍼로부터 상기 현상액이 유입되는 제 2 버퍼와; 상기 제 1 및 상기 제 2 버퍼를 연결하는 버퍼 연결부 및; 상기 제 2 버퍼로부터 유입된 현상액을 상기 기판으로 도포하는 토출구를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 배관들은; 상기 현상액 공급원과 상기 제 1/상기 제 2 슬릿들을 연결하는 제 1/제 2 배관과; 상기 제 1/상기 제 2 배관에 연결되어 상기 제 1/상기 제 2 배관 내부에서 발생되는 에어를 제거하기 위한 제 3/제 4 배관 및; 상기 제 1/상기 제 2 배관과 상기 제 1/상기 제 2 슬릿 노즐에 각각 연결되 어 상기 제 1/상기 제 2 슬릿 노즐로 현상액을 균일하게 공급하는 다수의 연결라인들을 포함한다. 여기서 상기 밸브들 중 상기 제 3 및 상기 제 4 배관에 구비되는 밸브들은 순간 대용량 밸브로 구비되는 것이 바람직하다.
다른 실시예에 있어서, 상기 슬릿 노즐은; 상기 기판의 폭에 대응하여 일 방향의 길이로 형성된 제 1 몸체부 및; 일측에 상기 현상액을 공급하는 공급라인이 연결되는 다수의 공급구가 일정 간격으로 구비되고, 타측에 상기 제 1 몸체부와 결합하는 제 2 몸체부를 포함하되; 상기 제 1 및 상기 제 2 몸체부는 상호 결합하여 내부에 상기 공급구로부터 상기 현상액이 공급되어 일시 체류하는 제 1 및 제 2 버퍼와, 상기 제 1 버퍼로부터 상기 현상액을 받아서 상기 제 2 버퍼로 공급하는 버퍼 연결부 및 상기 제 2 버퍼로부터 상기 현상액을 공급받아 상기 기판 표면으로 도포하는 토출구를 형성한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 제 2 슬릿 노즐은 상기 제 1의 슬릿 노즐보다 저유량의 현상액을 상기 기판에 도포하는 것이 바람직하다.
이하 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 공정의 현상액 도포용 슬릿 노즐을 구비하는 현상액 도포 장치의 개략적인 구성을 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 현상액 도포 장치(100)는 본 발명에 따른 복수 개의 버퍼를 형성하는 제 1 및 제 2 슬릿 노즐(slit nozzle, puddle knife)(120, 130)들을 구비한다. 그리고 현상액 도포 장치(100)는 현상액 공급원(102)으로부터 제 1 및 제 2 슬릿 노즐(120, 130)들과 각각 연결되어 현상액(예를 들어, 2.38 %의 TMAH 용 액)을 해당 슬릿 노즐로 공급하는 제 1 내지 제 4의 배관(104 ~ 110)들과, 배관(104 ~ 110)들의 현상액 공급량을 조절하거나 배관(104 ~ 110) 내의 에어를 제거하기 위한 다수의 밸브(112 ~ 118)들 및 배관(104, 106)들과 슬릿 노즐(120, 130)들을 각각 연결하는 다수의 공급라인(142, 144)들을 포함한다. 또한 현상액 도포 장치(100)는 현상액 도포를 위해 평판 디스플레이 패널용 글래스 기판(200)을 이동시키는 이송 장치(210)를 포함한다.
제 1 및 제 2 슬릿 노즐(120, 130)은 각각 기판(200)의 폭 방향에 대응하여 길게 형성된 노즐을 통해 현상액을 기판(200) 표면에 균일하게 도포하는 슬릿(slit) 방식의 도포 장치이다. 제 1 슬릿 노즐(120)은 메인 도포 장치로 저유량의 공급에 의해서도 커튼의 갈라짐이 없어야 한다. 제 2 슬릿 노즐(130)은 제 1 슬릿 노즐(120)을 보조해주는 역할을 하며, 제 1 슬릿 노즐(120)보다 더 적은 유량의 현상액을 기판(200) 표면으로 스프레이한다. 예를 들어, 제 1 슬릿 노즐(120)은 분 당 약 30 리터 이하의 저유량이 공급되며, 제 2 슬릿 노즐(130)은 분 당 약 18 리터 이하의 저유량이 공급된다. 따라서 제 1 및 제 2 슬릿 노즐(120, 130)을 통해 기판(200) 표면에 현상액이 도포되면, 기판(200)에 퍼들이 형성되어 현상액이 기판(200) 표면에 균일하게 도포된다.
제 1 및 제 2 배관(104, 106)들은 각각 현상액 공급량 조절용의 제 1 및 제 2 밸브(112, 114)를 구비하고, 이들을 통해 현상액의 공급량을 조절한다. 그리고 제 1 및 제 2 배관(104, 106)들은 현상액 공급원(102)으로부터 다수의 공급라인(142, 144)들을 통해 제 1 및 제 2 슬릿 노즐(120, 130)들과 연결되며, 공급라인 (142, 144)들을 통해 제 1 및 제 2 슬릿 노즐(120, 130) 전체로 현상액을 균일하게 공급한다. 이 때, 제 3 및 제 4의 배관(108, 110)들은 제 1 및 제 2 배관(104, 106)들로 공급되는 현상액 내부의 에어(air)를 제거하기 위하여 제 3 및 제 4 밸브(116, 118)를 구비한다.
제 1 및 제 2 밸브(112, 114)는 현상액 공급량을 조절하기 위하여 스프레이되는 유량을 고정 설정한다. 제 3 및 제 4 밸브(116, 118)는 배관 내부의 에어를 제거하기 위하여 순간 대용량 밸브로 구비되며, 개폐 동작을 주기적(예를 들어, 약 5초 간격)으로 반복시킨다. 에어(air, micro bubble)는 현상 공정에서 현상액이 기판 표면에 균일하게 도포되지 않는 등 공정 트러블의 원인이 되기 때문이다.
그리고 공급라인(142, 144)들은 예를 들어, PFA 튜브로 구비되며, 제 1 및 제 2 배관으로부터 공급되는 현상액을 각 슬롯 노즐로 빠르고 균일하게 공급하기 위하여 다수개가 구비된다. 공급라인(142, 144)들은 배관 내부에서의 에어 발생시, 슬릿 노즐에 잔류하지 않고 배관 쪽 방향으로 올라오도록 하기 위하여 도 4에 도시된 바와 같이, 공급라인(142, 144)의 길이를 'ㄷ' 자 형태로 길게 하여 에어가 올라오는데 필요로 하는 공간을 확보하도록 구성한다. 이는 가동 초기에 최대한 많은 에어를 제거해주는 것이 중요하며, 초기에 대유량 밸브를 이용하여 슬릿 노즐로 배출되도록 하고, 커튼이 형성되면 에어는 슬릿 노즐로 배출될 수 없기 때문에 동작 중에 발생되는 에어는 슬릿 노즐 내부에 들어가지 않도록 버퍼들을 통해 배관 및/또는 공급라인에 머물도록 해야 한다.
구체적으로 도 2 및 도 3을 참조하면, 제 1 및 제 2 슬릿 노즐 각각은 두 개 의 버퍼를 형성하기 위한 제 1 및 제 2 몸체부를 포함한다. 슬릿 노즐은 제 1 및 제 2 몸체부가 결합되어 내부에 제 1 및 제 2 버퍼와, 제 1 및 제 2 버퍼를 연결하는 버퍼 연결부를 형성한다. 그리고 제 1 또는 제 2 몸체부의 일측에는 공급라인이 삽입 고정되어 현상액을 공급받는 다수의 공급구들이 구비된다. 공급구는 슬릿 노즐의 길이 방향으로 일정 간격을 유지하여 제 1 버퍼와 연결되도록 구비한다.
제 1 및 제 2 버퍼는 공급구로부터 유입되는 현상액을 일시적으로 체류시키고, 슬릿 형상의 토출구를 통해 기판 표면으로 현상액을 토출한다. 제 1 버퍼는 버퍼 연결부를 통하여 제 2 버퍼와 연결된다.이 때, 저유량의 현상액을 공급할 때, 슬릿 노출 내부에서 에어가 발생하게 되면, 원 형태로 구비된 제 2 버퍼는 기판으로 토출되지 않도록 제 2 버퍼 표면을 따라 버퍼 연결부를 통해 제 1 버퍼로 올라오게 된다. 버퍼 연결부는 저유량의 현상액이 제 1 버퍼로부터 제 2 버퍼로 공급이 용이하고, 또한 제 2 버퍼로부터 제 1 버퍼로 에어가 이동하기 용이하도록 상부가 하부보다 큰 공간을 갖는다. 따라서 제 1 버퍼의 상부에 에어가 모이게 되면 공급라인을 따라 공급라인 또는 배관에 머물게 된다. 그 결과, 슬릿 노즐은 저유량의 현상액이 공급되어도 에어가 토출되는 현상을 방지하도록 하여 균일한 스프레이가 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 슬릿 노즐은 도포 공정 중 발생되는 에어가 토출구로 방출되지 않도록 내부에 다수의 버퍼들을 구비하고, 이들 버퍼를 수직으로 연결하여 저유량의 현상액을 균일하게 도포한다. 또한 본 발명의 현상액 도포 장치는 다수의 버퍼들을 구비하는 슬릿 노즐들을 이용하여 에어를 버퍼를 통해 에어가 필요로 하는 공간이 확보된 배관 쪽으로 배출시킨다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 슬릿 노즐은 다수의 버퍼들을 수직으로 연결하여, 에어가 토출구로 배출되지 않도록 공간을 확보함으로써, 도포 공정 중에 발생되는 에어에 의한 공정 불량을 방지하고, 저유량에 의한 균일한 도포 공정을 처리할 수 있다.
또한, 본 발명의 현상액 도포 장치는 다수의 버퍼들을 구비하는 슬릿 노즐들을 이용하여 내부에 발생되는 에어를 버퍼 및 배관 내부에 잔류시켜서 저유량의 현상액을 균일하게 도포함으로써, 에어로 인한 공정 사고를 미연에 방지할 수 있으며, 고가의 현상액의 사용을 최소화하여 제조 비용을 줄일 수 있다.

Claims (12)

  1. 평판 디스플레이 패널용 기판 표면에 현상액을 공급하는 슬릿 노즐에 있어서:
    상기 기판의 폭 방향에 대응하여 길게 형성된 제 1 몸체부 및;
    일측에 상기 현상액이 유입되는 다수의 공급구가 일정 간격으로 구비되고, 타측이 상기 제 1 몸체부와 결합하는 제 2 몸체부를 포함하되;
    상기 제 1 및 상기 제 2 몸체부는 상호 결합하여 내부에 상기 공급구로부터 유입되는 상기 현상액이 일시 체류하는 제 1 및 제 2 버퍼와, 상기 제 1 버퍼로부터 상기 현상액을 받아서 상기 제 2 버퍼로 공급하는 버퍼 연결부 및, 상기 제 2 버퍼로부터 상기 현상액을 공급받아 상기 기판 표면으로 도포하는 토출구를 형성하는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼 연결부는 상기 제 1 및 상기 제 2 버퍼를 수직으로 연결하고, 그리고 상기 제 1 버퍼가 연결되는 상단이 상기 제 2 버퍼가 연결되는 하단보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 버퍼는 단면이 원 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.
  4. 평판 디스플레이 패널용 기판 표면에 현상액을 공급하는 슬릿 노즐에 있어서:
    상기 기판의 폭 방향에 대응하여 길게 형성되고, 일측에 현상액이 공급되는 공급구가 일정 간격으로 형성된 몸체부와;
    상기 공급구로부터 유입된 상기 현상액이 임시로 체류하는 제 1 버퍼와;
    상기 제 1 버퍼 하단에 형성되어 상기 제 1 버퍼로부터 상기 현상액이 유입되는 제 2 버퍼와;
    상기 제 1 및 상기 제 2 버퍼를 연결하는 버퍼 연결부 및;
    상기 제 2 버퍼로부터 유입된 현상액을 상기 기판으로 도포하는 토출구를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 버퍼 연결부는 상기 제 1 및 상기 제 2 버퍼를 수직으로 연결하고, 그리고 상기 제 1 버퍼가 연결되는 상단이 상기 제 2 버퍼가 연결되는 하단보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 버퍼는 단면이 원 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.
  7. 평판 디스플레이 패널용 기판 표면에 현상액을 도포하는 현상액 도포 장치에 있어서:
    상기 현상액을 공급하는 현상액 공급원과;
    각각 상기 기판의 폭 방향으로 길게 형성되고, 상호 일정 간격을 유지하여 상기 기판 표면에 상기 현상액을 도포하는 제 1 및 제 2 슬릿 노즐들과;
    상기 현상액 공급원과 상기 제 1 및 상기 제 2 슬릿 노즐들 사이를 각각 연결하는 다수의 배관들 및;
    상기 배관들에 각각 구비되어 상기 현상액의 공급량을 조절하는 다수의 밸브들을 포함하되;
    상기 슬릿 노즐들은 각각 상기 현상액 도포시 내부에 발생되는 에어를 상기 배관 내부에 잔류하도록 하여 상기 기판을 균일하게 도포하는 것을 특징으로 하는 현상액 도포 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 슬릿 노즐은;
    상기 기판의 폭 방향으로 길게 형성되고, 일측에 현상액이 공급되는 공급구가 일정 간격으로 형성된 몸체부와;
    상기 공급구로부터 유입된 상기 현상액이 임시로 체류하는 제 1 버퍼와;
    상기 제 1 버퍼 하단에 형성되어 상기 제 1 버퍼로부터 상기 현상액이 유입되는 제 2 버퍼와;
    상기 제 1 및 상기 제 2 버퍼를 연결하는 버퍼 연결부 및;
    상기 제 2 버퍼로부터 유입된 현상액을 상기 기판으로 도포하는 토출구를 포함하는 것을 특징으로 하는 현상액 도포 장치.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 배관들은;
    상기 현상액 공급원과 상기 제 1/상기 제 2 슬릿들을 연결하는 제 1/제 2 배관과;
    상기 제 1/상기 제 2 배관에 연결되어 상기 제 1/상기 제 2 배관 내부에서 발생되는 에어를 제거하기 위한 제 3/제 4 배관 및;
    상기 제 1/상기 제 2 배관과 상기 제 1/상기 제 2 슬릿 노즐에 각각 연결되어 상기 제 1/상기 제 2 슬릿 노즐로 현상액을 균일하게 공급하는 다수의 연결라인들을 포함하는 것을 특징으로 하는 현상액 도포 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 밸브들 중 상기 제 3 및 상기 제 4 배관에 구비되는 밸브들은 순간 대용량 밸브로 구비되는 것을 특징으로 하는 현상액 도포 장치.
  11. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 슬릿 노즐은;
    상기 기판의 폭에 대응하여 일 방향의 길이로 형성된 제 1 몸체부 및;
    일측에 상기 현상액을 공급하는 공급라인이 연결되는 다수의 공급구가 일정 간격으로 구비되고, 타측에 상기 제 1 몸체부와 결합하는 제 2 몸체부를 포함하되;
    상기 제 1 및 상기 제 2 몸체부는 상호 결합하여 내부에 상기 공급구로부터 상기 현상액이 공급되어 일시 체류하는 제 1 및 제 2 버퍼와, 상기 제 1 버퍼로부터 상기 현상액을 받아서 상기 제 2 버퍼로 공급하는 버퍼 연결부 및 상기 제 2 버퍼로부터 상기 현상액을 공급받아 상기 기판 표면으로 도포하는 토출구를 형성하는 것을 특징으로 하는 현상액 도포 장치.
  12. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 제 2 슬릿 노즐은 상기 제 1의 슬릿 노즐보다 저유량의 현상액을 상기 기판에 도포하는 것을 특징으로 하는 현상액 도포 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20190048090A (ko) * 2017-10-30 2019-05-09 주식회사 엘지화학 코팅용 슬롯 다이
KR20200129325A (ko) * 2019-05-08 2020-11-18 세메스 주식회사 현상액 분사 유닛 및 이를 포함하는 현상액 분사 장치

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