KR100806845B1 - 기판처리용 약액 도포 노즐 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 LCD 등 평판디스플레이의 제조공정에서 기판을 세정하거나 기판에 도포된 포토레지스트를 현상하기 위하여 약액을 기판의 표면에 도포하는 기판처리용 약액 도포 노즐에 관한 것이다.
본 발명은 약액이 유입되도록 하부에 구비되는 유입포트와, 상기 유입포트보다 상측에 형성되어 유입포트를 통해 유입된 약액이 저류되는 제1수용부와, 상기 제1수용부 내의 약액이 일정량 통과하도록 상부에 구비되는 정량통로와, 상기 정량통로를 통과한 약액이 하방으로 흘러 저류되는 제2수용부 및, 상기 제2수용부의 하측에 형성되어 피처리 기판으로 약액을 토출하는 토출슬릿을 포함하여 이루어지는 기판처리용 약액 도포 노즐을 개시한다.
본 발명은 피처리 기판 상에 정량의 약액을 균일하게 도포할 수 있으므로, 세정공정이나 현상공정 등과 같이 약액의 도포가 이루어지는 제반 공정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.
기판, 약액, 케미컬, 도포, 거품, 기포, 노즐, 정량, 균일

Description

기판처리용 약액 도포 노즐 {Nozzle for applying chemical onto substrate}
도 1은 종래의 기판처리용 약액 도포 노즐을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리용 약액 도포 노즐을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 노즐에 거품 제거와 약액 회수를 위한 구성이 부가된 예를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리용 약액 도포 노즐을 나타낸 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110 : 유입포트 120 : 제1수용부
121 : 벤튜리 관로 130 : 격벽
140 : 정량통로 150 : 제2수용부
160 : 토출슬릿 170 : 거품 배출부
T : 약액탱크
본 발명은 LCD 등 평판디스플레이의 제조공정에서 기판을 세정하거나 기판에 도포된 포토레지스트를 현상하기 위하여 약액을 기판의 표면에 도포하는 기판처리용 약액 도포 노즐에 관한 것이다.
일반적으로 알려진 바와 같이 LCD(Liquid Crystal Display : 액정표시장치)를 비롯한 FPD(Flat Panel Display : 평판디스플레이)의 제조공정에 있어서, 기판을 세정하거나 기판에 코팅된 감광물질(photo register)을 현상하기 위해 피처리 기판의 표면에는 약액(chemical)이 도포된다.
약액을 도포하기 위한 장치는 기판의 좌우 폭보다 길게 형성된 노즐이 중요한 구성요소를 이루고 있으며, 이러한 노즐을 통하여 기판의 전면에 약액이 균일하게 도포되는 것이 바람직하다.
첨부도면 도 1은 종래의 기판처리용 약액 도포 노즐을 나타낸 도면이다. 도 1에 예시된 노즐은 유입포트(11)와 수용부(12), 그리고 감압유로(13)와 토출슬릿(14)으로 이루어져 있다. 유입포트(11)는 소정의 약액 탱크로부터 노즐로 약액이 유입되는 통로가 되며, 수용부(12)는 유입포트(11)를 통해 유입되는 약액이 저류(貯留)되는 공간이다. 그리고, 토출슬릿(14)은 슬릿형태로 형성되어 피처리 기판의 표면을 향하게 된다. 또, 감압유로(13)는 수용부(12)와 토출슬릿(14) 사이에서 수 회 절곡된 구조로 이루어짐으로써, 유입포트(11)로부터 수용부(12)로 공급되는 약액의 공급압력보다 토출슬릿(14)을 통해 기판으로 토출되는 약액의 도포압력을 낮추고, 유속과 유량을 안정화시키는 역할을 하게 된다. 특히, 감압유로(13)는 약액이 토출슬릿(14)에 이르기까지 과도한 압력 손실이 일어나지 않도록 2∼3회 정도로 절곡되는 것이 바람직하다.
그런데, 위의 설명과 같이 구성된 종래의 약액 도포 노즐에 있어서, 유입포트(11)로부터 수용부(12)로 유입되는 약액은 자유 낙하 형태로 떨어지기 때문에 낙차로 인해 거품이 심하게 발생하게 된다. 특히, 수용부(12)의 구석진 모서리 부위나 감압유로(13)의 직각으로 절곡된 부위에서 약액의 정체 또는 층간 유속차에 의해 다량의 거품이 발생하게 된다. 이와 같이 발생하는 거품이 약액에 포함된 상태로 피처리 기판의 표면으로 토출되면 정량의 약액이 균일하게 기판에 도포되지 못하고, 결국에는 세정공정 또는 현상공정 등의 신뢰성을 저해하는 문제를 초래한다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은, 노즐 내부로 도입되는 약액의 공급압력에 대해 피처리 기판으로 토출되는 약액의 도포압력을 효과적으로 감소시키면서 거품의 발생을 억제함으로써, 정량의 약액을 피처리 기판의 표면에 균일하게 도포할 수 있는 기판처리용 약액 도포 노즐을 제공하는 데에 있다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 약액이 유입되도록 하부에 구비되는 유입포트와, 상기 유입포트보다 상측에 형성되어 유입포트를 통해 유입된 약액이 저류되는 제1수용부와, 상기 제1수용부 내의 약액이 일정량 통과하도록 상부에 구비되는 정량통로와, 상기 정량통로를 통과한 약액이 하방으로 흘러 저류되는 제2수용부 및, 상기 제2수용부의 하측에 형성되어 피처리 기판으로 약액을 토출하는 토출슬릿을 포함하여 이루어지는 기판처리용 약액 도포 노즐을 개시한다.
본 발명은 또한, 약액이 유입되도록 하부에 구비되는 유입포트와, 상기 유입포트보다 상측에 형성되어 유입포트를 통해 유입된 약액이 저류되는 제1수용부와, 상기 유입포트와 상기 제1수용부 사이에 구비되는 벤튜리 관로와, 상기 제1수용부 내의 약액이 일정량 통과하도록 상부에 구비되는 정량통로와, 상기 정량통로를 통과한 약액이 하방으로 흘러 저류되는 제2수용부 및, 상기 제2수용부의 하측에 형성되어 피처리 기판으로 약액을 토출하는 토출슬릿을 포함하여 이루어지는 기판처리용 약액 도포 노즐을 개시한다.
이러한 본 발명에 있어서, 상기 정량통로의 최종 말단부에는 정량통로를 통과한 약액 중의 거품을 외부로 배출하는 거품 배출부가 구비될 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있 으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리용 약액 도포 노즐을 나타낸 도면이다.
도 2에 나타난 바와 같이, 본 실시예의 노즐은 약액이 유입되는 유입포트(110)가 노즐의 하부에 구비된 구조를 갖고 있다.
그리고, 노즐의 내부에는 유입포트(110)의 상측으로 제1수용부(120)가 형성되어 있는데, 유입포트(110)를 통해 노즐 내부로 유입된 약액은 제1수용부(120)에 저류된다. 즉, 본 실시예의 제1수용부(120)는 유입포트(110) 측으로부터 수직 상방으로 형성된 공간으로서, 이곳에는 충분한 양의 약액이 저류된다.
제1수용부(120)는 격벽(130)에 의해 다른 부위와 구분이 되며, 격벽(130)의 위쪽으로는 제1수용부(120) 내의 약액이 통과하는 정량통로(140)가 형성되어 있다. 이 정량통로(140)는 제1수용부(120) 내의 약액이 일정량 통과할 수 있도록 상기 격벽(130)에 의해 상하 높이가 좁게 형성되어 있다.
정량통로(140)의 진행방향 최종 말단부로부터 하측에는 제1수용부(120)와 정량통로(140)를 차례로 경유한 약액이 노즐 내부의 하방으로 흘러 저류되는 제2수용부(150)가 형성되어 있다. 이 제2수용부(150)는 상기 격벽(130)에 의해 제1수용부(120)와 구분되어 있다.
그리고, 제2수용부(150)의 하단에는 제2수용부(150) 내의 약액을 피처리 기판 위로 토출하기 위한 토출슬릿(160)이 형성되어 있다.
위와 같이 구성된 노즐에 있어서, 노즐 하부의 유입포트(110)를 통해 노즐 내부로 공급되는 약액은 제1수용부(120)로 상승하면서 저류되었다가 정량통로(130)를 통과함에 따라 항상 일정량씩 제2수용부(150)로 흘러내려감으로써 토출슬릿(160)을 통해 피처리 기판 위로 정량 토출된다.
즉, 유입포트(110)가 노즐의 하부에 위치하고 있기 때문에, 유입포트(110)로부터 제1수용부(120)로 유입되는 약액은 종래와 달리 자유 낙하 형태로 떨어지는 것이 아니므로 낙차로 인한 거품 발생이 미연에 방지된다. 또, 이와 같은 유입포트(110)의 위치로 인해 노즐의 상부에 유입포트가 위치하는 종래의 경우에 비하여 약액의 공급압력이 원천적으로 높지가 않으므로, 피처리 기판으로 토출되는 약액의 도포압력도 효과적으로 저감되면서 거품의 발생이 억제될 수가 있다. 더욱이, 정량통로(130)로부터 제2수용부(150)로 흐르는 약액 중에서 부득이하게 발생하는 거품은 제2수용부(150)의 위쪽으로 상승함으로써, 거품으로 인해 토출슬릿(160)으로부터 약액이 불균일하게 토출되는 현상이 최소화된다.
한편, 도 3에 예시된 바와 같이, 상기 실시예에 개시된 구성에 부가하여, 정량통로(140)의 최종 말단부로부터 수평으로 연장된 끝에 거품 배출부(170)가 구비될 수도 있다. 이 거품 배출부(170)는 정량통로(140)를 통과한 약액 중의 거품을 외부로 배출시키는 구성요소로서, 감압밸브 등이 적용될 수 있다. 이러한 거품 배출부(170)가 구비되는 경우, 제2수용부(150)의 위쪽에 쌓이는 거품들이 신속하게 제거됨으로써, 토출슬릿(160)을 통해 토출되는 약액 중에 거품이 조금이라도 포함되는 것을 방지할 수가 있다.
또, 거품 배출부(170)로부터 배출되는 거품 중의 약액은, 노즐의 유입포트(110)로 약액을 공급하는 약액탱크(T)로 회수됨으로써 재사용될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리용 약액 도포 노즐을 나타낸 도면으로서, 전술한 실시예를 도시한 도 2와 동일한 부위에 대해서는 동일한 부호가 부여되어 있다.
본 실시예는 전술한 실시예에 부가하여 제1수용부(120)에 벤튜리 관로(121)가 형성된 구성을 개시하고 있다. 즉, 제1수용부(120)의 중간에서 전·후 내벽이 좁혀졌다가 다시 확장됨으로써 벤튜리 관로(121)가 형성되어 있다. 이에 따라, 유입포트(110)를 통해 제1수용부(120)로 유입된 약액은 벤튜리 관로(121)를 통과하면서 유속이 빨라져 신속하게 제1수용부(120)의 상측으로 이동하여 정량통로(140)로 흘러가게 된다.
또, 정량통로(140)의 최종 말단부로부터 수평으로 연장된 끝에는 감압밸브 등과 같은 거품 배출부(170)가 구비됨으로써, 정량통로(140)를 통과한 약액 중의 거품이 외부로 배출된다. 거품 배출부(170)는 노즐의 유입포트(110)로 약액을 공급하는 약액탱크(도 3의 부호 'T' 참조)와 연결됨으로써, 거품 배출부(170)로부터 배출되는 거품 중의 약액을 재사용할 수 있게 된다.
이외의 구성은 전술한 도 2의 실시예와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한 다.
이상에서는 본 발명을 바람직한 실시예에 의거하여 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 노즐에서는 유입포트로부터 제1수용부로 공급되는 약액의 공급압력이 저감되고, 토출슬릿으로 향하는 약액 중의 거품은 제2수용부의 상측으로 상승하여 배출될 수가 있다. 따라서, 본 발명의 노즐을 사용하면 노즐 내부로 공급되는 약액 중에서 거품이 발생하는 것을 최소화할 수 있고, 부득이하게 발생하는 거품도 피처리 기판으로 토출되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 노즐에서는, 노즐 상부의 정량통로와 그 아래쪽의 제2수용부에 의하여 토출슬릿으로 토출되는 약액의 토출량이 일정하게 유지된다. 따라서, 본 발명의 노즐을 사용하면 정량의 약액을 피처리 기판의 표면에 균일하게 도포할 수가 있다.
결국, 본 발명에 따른 기판처리용 약액 도포 노즐은 피처리 기판 상에 정량의 약액을 균일하게 도포할 수 있으므로, 세정공정이나 현상공정 등과 같이 약액의 도포가 이루어지는 제반 공정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 약액이 유입되도록 하부에 구비되는 유입포트;
    상기 유입포트보다 상측에 형성되어 유입포트를 통해 유입된 약액이 저류되는 제1수용부;
    상기 제1수용부 내의 약액이 일정량 통과하도록 상부에 구비되는 정량통로;
    상기 정량통로를 통과한 약액이 하방으로 흘러 저류되는 제2수용부; 및
    상기 제2수용부의 하측에 형성되어 피처리 기판으로 약액을 토출하는 토출슬릿을 포함하여 이루어지는 기판처리용 약액 도포 노즐.
  2. 약액이 유입되도록 하부에 구비되는 유입포트;
    상기 유입포트보다 상측에 형성되어 유입포트를 통해 유입된 약액이 저류되는 제1수용부;
    상기 유입포트와 상기 제1수용부 사이에 구비되는 벤튜리 관로;
    상기 제1수용부 내의 약액이 일정량 통과하도록 상부에 구비되는 정량통로;
    상기 정량통로를 통과한 약액이 하방으로 흘러 저류되는 제2수용부; 및
    상기 제2수용부의 하측에 형성되어 피처리 기판으로 약액을 토출하는 토출슬릿을 포함하여 이루어지는 기판처리용 약액 도포 노즐.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 정량통로의 최종 말단부에는 정량통로를 통과한 약액 중의 거품을 외부로 배출하는 거품 배출부가 구비된 것을 특징으로 하는 기판처리용 약액 도포 노즐.
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