KR20200129325A - 현상액 분사 유닛 및 이를 포함하는 현상액 분사 장치 - Google Patents

현상액 분사 유닛 및 이를 포함하는 현상액 분사 장치 Download PDF

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KR20200129325A
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Abstract

현상액 분사 유닛은 포토레지스트가 도포되고 수평 방향으로 이송되는 기판 상에 현상액을 분사하도록 구비될 수 있는 것으로써, 몸체부, 공간부, 분사부, 및 공급부를 포함할 수 있다. 상기 몸체부는 상기 수평 방향과 수직하는 상기 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 공간부는 상기 몸체부에 상기 현상액을 공급받아 수용할 수 있게 상기 몸체부의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 분사부는 상기 기판 상에 상기 현상액을 분사할 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판을 향하는 상기 몸체부의 일면에 제1 간격 마다 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 공급부는 상기 현상액이 상기 공간부로 공급될 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판의 표면과 수직하는 상기 몸체부의 측면에 구비될 수 있다.

Description

현상액 분사 유닛 및 이를 포함하는 현상액 분사 장치{DEVELOPER INJECTION UNIT AND DEVELOPER INJECTION APPARATUS HAVING THE SAME}
본 발명은 현상액 분사 유닛 및 이를 포함하는 현상액 분사 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 포토레지스트가 도포되는 기판 상에 현상액을 분사하도록 구비되는 현상액 분사 유닛 및 이를 포함하는 현상액 분사 장치에 관한 것이다.
액정 디스플레이 소자, 유기 EL 디스플레이 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판 상에 포토레지스트 패턴을 형성해야 한다. 포토레지스트 패턴은 기판 상에 포토레지스트를 도포한 후 포토레지스트가 도포되는 기판 상에 현상액을 분사하여 형성할 수 있다.
관련 기술에 따르면, 디스플레이 소자의 제조에 적용되는 현상액을 분사하는 현상액 분사 유닛은 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖는 나이프 구조로 이루어질 수 있다. 그리고 나이프 구조로 이루어지는 현상액 분사 유닛은 슬릿 구조를 갖는 분사부로 이루어질 수 있다.
분사부가 슬릿 구조를 가질 경우 현상액을 분사하는 분사 면적이 넓어지기 때문에 기판 상에 분사되는 현상액의 분사 타력이 낮게 형성될 수 있다. 기판 상에 분사되는 현상액의 분사 타력이 낮게 형성될 경우 기판 상에 분사되는 현상액은 새롭게 보충되는 역할을 충분하게 수행하지 못할 수 있다.
이와 같이, 현상액이 기판에 새롭게 보충되고, 충분하게 침투할 정도의 분사 타력이 형성되지 않을 경우 포토레지스트 패턴의 선폭(Critical Dimension : CD) 편차에 영향을 끼칠 수 있는 문제점이 있다.
본 발명의 일 목적은 충분한 분사 타력을 갖는 현상액 분사 유닛을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 충분한 분사 타력을 갖는 현상액 분사 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 견지에 따른 현상액 분사 유닛은 포토레지스트가 도포되고 수평 방향으로 이송되는 기판 상에 현상액을 분사하도록 구비될 수 있는 것으로써, 몸체부, 공간부, 분사부, 및 공급부를 포함할 수 있다. 상기 몸체부는 상기 수평 방향과 수직하는 상기 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 공간부는 상기 몸체부에 상기 현상액을 공급받아 수용할 수 있게 상기 몸체부의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 분사부는 상기 기판 상에 상기 현상액을 분사할 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판을 향하는 상기 몸체부의 일면에 제1 간격 마다 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 공급부는 상기 현상액이 상기 공간부로 공급될 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판의 표면과 수직하는 상기 몸체부의 측면에 구비될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 몸체부의 일면은 뾰족하게 돌출되는 팁 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 분사부의 홀은 상기 팁에 구비될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 공간부는 상기 분사부와 연통하는 제1 폭을 갖는 하부 및 상기 하부와 연통하면서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖는 상부로 이루질 수 있고, 상기 공급부는 상기 상부와 연통하도록 구비될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 공급부는 상기 몸체부의 양측면 중에 어느 하나의 일측면에 상기 제1 간격보다 넓은 제2 간격 마다에 구비될 수 있다.
본 발명의 다른 견지에 따른 현상액 분사 장치는 포토레지스트가 도포된 기판 상에 현상액을 분사할 수 있는 것으로써, 이송 유닛, 현상액 분사 유닛을 포함할 수 있다. 상기 이송 유닛은 상기 기판을 수평 방향으로 이송하도록 구비될 수 있다. 상기 현상액 분사 유닛은 상기 수평 방향과 수직하는 상기 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비되는 몸체부, 상기 몸체부에 상기 현상액을 공급받아 수용할 수 있게 상기 몸체부의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비되는 공간부, 상기 기판 상에 상기 현상액을 분사할 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판을 향하는 상기 몸체부의 일면에 제1 간격 마다 홀 구조를 갖도록 구비되는 분사부, 및 상기 현상액이 상기 공간부로 공급될 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판의 표면과 수직하는 상기 몸체부의 측면에 구비되는 공급부를 포할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 이송 유닛은 상기 기판의 이면으로 에어를 공급하여 상기 기판을 부상시킨 상태에서 상기 기판을 이송하도록 구비될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 현상액 분사 유닛은 상기 수평 방향과 수직한 방향에 배치되거나 또는 상기 수직한 방향 쪽으로 기울어지는 방향에 배치되도록 구비될 수 있다.
상기된 본 발명에 따르면, 충분한 분사 타력을 갖는 현상액을 기판 상에 분사할 수 있기 때문에 포토레지스트 패턴의 형성시 현상액을 기판에 계속해서 새롭게 보충할 수 있고, 충분하게 침투시킬 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 현상액 분사 유닛 및 현상액 분사 장치는 고정밀 픽셀에서의 선폭 편차를 개선할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 현상액 분사 유닛을 개략적으로 나타내는 도면들이다.
도 4는 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛으로부터 기판 상에 분사되는 현상액의 분사 타력을 설명하기 위한 도면이다.
도 5 내지 도 8은 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛에 구비되는 몸체부의 일면에서의 팁 구조에 대한 변형예들을 설명하기 위한 도면들이다.
도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 현상액 분사 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 10 및 도 11은 도 9의 현상액 분사 장치에 구비되는 현상액 분사 유닛의 배치 구조를 설명하기 위한 도면들이다.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 현상액 분사 유닛을 개략적으로 나타내는 도면들이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 현상액 분사 유닛(100)은 디스플레이 소자의 제조에 적용될 수 있는 것으로써, 포토레지스트가 도포되는 기판 상에 현상액을 분사하는 공정에 적용할 수 있다.
현상액 분사 유닛(100)은 포토레지스트가 도포되고 수평 방향으로 이송되는 기판 상에 현상액을 분사하도록 구비될 수 있다. 현상액 분사 유닛(100)은 수평 방향과 수직하는 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖는 나이프 구조로 이루어질 수 있다.
현상액 분사 유닛(100)은 몸체부(11), 분사부(13), 공간부(15), 공급부(19) 등을 포함할 수 있다.
몸체부(11)는 현상액 분사 유닛(100)의 외형을 형성하는 것이다. 이에, 몸체부(11)는 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖는 나이프 구조로 이루어질 수 있다. 나이프 구조를 갖는 몸체부(11)는 기판의 폭 방향을 따라 연장되는 기다란 막대 구조를 가질 수 있다.
공간부(15)는 몸체부(11)에 형성될 수 있다. 공간부(15)는 현상액을 공급받아 수용할 수 있도록 형성될 수 있다. 이에, 공간부(15)는 현상액을 공급받아 수용할 수 있도록 몸체부(11)의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 공간부(15)는 기다란 막대 구조의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
일부 실시예에 있어서, 공간부(15)는 상부(16) 및 하부(18)로 이루어질 수 있다. 공간부(15)의 하부(18)는 분사부(13)와 연통하도록 구비될 수 있고, 공간부(15)의 상부(16)는 공간부(15)의 하부(18)와 연통하도록 구비될 수 있다.
특히, 공간부(15)의 하부(18)는 제1 폭을 갖도록 구비될 수 있고, 공간부(15)의 상부(16)는 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖도록 구비될 수 있다. 그리고 후술하는 바와 같이 분사부(13)는 미세홀 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 현상액은 공간부(15)의 상부(18)로 공급되도록 구비될 수 있다.
이에, 현상액은 분사가 이루어지는 부분으로 갈수록 그 폭이 좁아지는 경로를 지나기 때문에 현상액의 분사시 유속의 증가를 기대할 수 있다.
따라서 일부 실시예에 따른 현상액 분사 유닛(100)은 현상액의 유속 증가를 통하여 기판 상에 충분한 분사 타력을 갖는 현상액을 분사할 수 있을 것이다.
분사부(13)는 기판 상에 현상액을 분사할 수 있도록 구비될 수 있다. 분사부(13)는 공간부(15)와 연통하면서 몸체부(11)의 일면에 배치되도록 구비될 수 있다. 언급한 바와 같이, 분사부(13)는 공간부(15)의 하부(18)와 연통할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 분사부(13)는 몸체부(11)의 일면에 제1 간격 마다 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 분사부(13)는 몸체부(11)의 일면에 다수개의 홀들이 제1 간격 마다 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
일부 실시예에 있어서, 분사부(13)가 구비되는 몸체부(11)의 일면은 뾰족하게 돌출되는 팁 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 분사부(13)는 뾰족하게 돌출되는 팁에 다수개의 홀들이 제1 간격 마다 배치되게 구비될 수 있다.
이와 같이, 몸체부(11)의 일면을 뾰족하게 돌출되는 팁 구조를 갖도록 구비함과 아울러 분사부(13)를 팁 부분을 포함하는 몸체부(11)의 일면에 구비함으로써 분사부(13)의 미세홀들의 길이를 상대적으로 길게 형성할 수 있을 것이다.
이에, 본 실시예에서의 현상액 분사 유닛(100)은 분사부(13)가 미세홀 구조를 갖도록 구비되기 때문에 슬릿 구조에 비해 상대적으로 분사 면적을 충분하게 좁힐 수 있을 것이다. 따라서 현상액 분사 유닛(100)은 분사 면적의 축소를 통하여 기판 상에 분사되는 현상액의 분사 타력을 높일 수 있을 것이고, 이를 통하여 기판 상에 충분한 분사 타력을 갖는 현상액을 분사할 수 있을 것이다.
또한, 일부 실시예에서와 같이 현상액 분사 유닛(100)은 분사부(13)의 미세홀의 길이를 길게 형성하여 현상액의 분사시 분사 압력까지도 높일 수 있기 때문에 충분한 분사 타력을 갖는 현상액을 분사함은 물론이고 분사부(13)의 홀들 사이의 타력 편차까지도 충분하게 줄일 수 있을 것이다.
도 4는 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛으로부터 기판 상에 분사되는 현상액의 분사 타력을 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참조하면, 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛(100)을 사용하여 기판(40) 상에 현상액(41)을 분사하는 상황을 나타낸다.
특히, 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛(100)을 사용하여 기판(40) 상에 현상액(41)을 분사하기 때문에 유속 증가, 분사 면적의 축소, 및 분사 압력의 증가를 통하여 충분한 분사 타력을 갖는 현상액(41)을 분사할 수 있을 것이다.
이에, 도 4에서와 같이 기판(40) 상에는 이미 분사되어 있는 현상액(41) 내에 새로운 현상액(41)이 충분하게 침투함으로써 계속해서 새로운 현상액(41)이 보충되는 상황이 유지될 수 있을 것이다.
따라서 본 실시예에 따른 현상액 분사 유닛(100)을 사용할 경우 포토레지스트 패턴의 선폭 편차를 충분하게 줄일 수 있고, 그 결과 양호한 선폭을 갖는 포토레지스트 패턴을 형성할 수 있을 것이다.
다시 도 1을 참조하면, 공급부(19)는 현상액이 공간부(15)로 공급될 수 있도록 구비될 수 있다. 이에, 공급부(19)는 공간부(15)와 연통하도록 구비될 수 있다. 특히, 공급부(19)는 몸체부(11)의 측면에 구비될 수 있다. 즉, 공급부(19)는 기판의 표면과는 수직하는 몸체부(11)의 측면에 구비될 수 있다. 다시 말해, 공급부(19)는 몸체부(11)의 일면에 수직하는 몸체부(11)의 측면 쪽에 배치되게 구비될 수 있다.
일부 실시예에 있어서, 공급부(19)는 몸체부(11)의 양측면 중에 어느 하나의 일측면에만 배치되게 구비될 수 있다. 특히, 공급부(19)는 제1 간격보다 넓은 제2 간격 마다에 구비될 수 있다. 공급부(19)는 다소 큰 크기를 갖는 홀 구조를 가지면서 제2 간격 마다에 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 몸체부(11)의 일면과 반대되는 상면 쪽이 아닌 몸체부(11)의 측면 쪽을 통하여 외부로부터 현상액을 공급받을 수 있도록 공급부(19)가 구비됨으로써 공간부(15)로 공급되는 현상액이 요동치는 상황을 상대적으로 감소시킬 수 있을 것이다.
일부 실시예에 있어서, 현상액 분사 유닛(100)은 분사부(13)를 개별적으로 조립 가능하게 구비할 수 있을 것이다. 이는, 분사부(13)를 몸체부(11)의 일면에 탈부착이 가능한 구조로 구비함에 의해 달성할 수 있을 것이다. 이 경우, 분사부(13)와 몸체부(11)의 일면이 접하는 부분은 실링 부재를 사용함으로써 현상액의 누수를 방지할 수 있을 것이다.
그리고 분사부(13)의 홀에 대한 크기, 길이, 개수 등은 공정 조건 등에 따라 적절하게 조정할 수 있을 것이다.
또한, 분사부(13)의 홀들을 복수개의 열 구조를 갖도록 구비할 수도 있을 것이다. 즉, 2열, 3열 등의 구조를 갖도록 구비할 수도 있을 것이다.
아울러, 분사부(13)의 홀들에 대한 형상은 원형 이외에도 다각형 구조를 갖도록 구비할 수도 있을 것이다. 즉, 사각형, 육각형 등과 같은 구조를 갖도록 구비할 수도 있을 것이다.
공급부(19)에 대한 크기 등은 현상액의 사용 유량 등에 의해 결정될 수 있을 것이다.
도 5 내지 도 8은 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛에 구비되는 몸체부의 일면에서의 팁 구조에 대한 변형예들을 설명하기 위한 도면들이다.
도 5를 참조하면, 몸체부(11)의 일면에서의 팁 단부(51)가 수평 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 분사부(13)의 홀 단부 또한 수평 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
도 6을 참조하면, 몸체부(11)의 일면에서의 팁 단부(61)가 중심에서 외곽 방향으로 하향 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 분사부(13)의 홀 단부 또한 중심에서 외곽 방향으로 하향 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
도 7을 참조하면, 몸체부(11)의 일면에서의 팁 단부(71)가 외곽에서 중심 방향으로 오목한 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 분사부(13)의 홀 단부 또한 외곽에서 중심 방향으로 오목한 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
도 8을 참조하면, 몸체부(11)의 일면에서의 팁 단부(81)가 볼록한 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 분사부(13)의 홀 단부 또한 볼록한 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 몸체부(11)의 일면에서의 팁 구조 또한 공정 조건 등에 따라 적절하게 구비할 수 있을 것이고, 나아가 현상액의 최적의 분사 조건을 갖도록 팁 구조를 적절하게 변형할 수 있을 것이다.
이하, 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛을 구비하는 현상액 분사 장치에 대하여 설명하기로 한다. 그리고 도 9에서의 현상액 분사 장치는 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛을 포함하기 때문에 동일 구성 요소에 대해서는 동일 부호를 사용하고 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 현상액 분사 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 9를 참조하면, 본 실시예에 따른 현상액 분사 장치(900)는 디스플레이 소자의 제조에 적용될 수 있는 것으로써, 포토레지스트가 도포되는 기판(40) 상에 현상액을 분사하는 공정에 적용할 수 있다.
현상액 분사 장치(900)는 이송 유닛(110), 현상액 분사 유닛(100) 등을 포함할 수 있다.
이송 유닛(110)은 기판(40)을 수평 방향으로 이송하도록 구비될 수 있다.
일부 실시예에 있어서, 이송 유닛(110)은 기판(40)을 부상시킨 상태에서 이송하도록 구비될 수 있다. 즉, 이송 유닛(100)은 기판(40)의 이면으로 에어를 공급하여 기판(40)을 부상시킨 상태에서 기판(40)을 이송하도록 구비될 수 있는 것이다.
이송 유닛(110)은 부상 스테이지(112), 이송 가이드(114) 등을 포함할 수 있다.
부상 스테이지(112)는 기판(40)의 이면으로 에어를 공급할 수 있는 다수개의 에어홀이 구비될 수 있다. 이송 가이드(114)는 기판(40)의 일측 또는 양측을 파지한 상태에서 부상 스테이지(112)의 측면을 따라 이송하도록 구비될 수 있다.
따라서 현상액 분사 장치(900)를 사용하는 현상액의 분사시 기판(40)은 이송 가이드(114)에 의해 부상 스테이지(112)를 따라 이송할 수 있을 것이다.
현상액 분사 유닛(100)은 이송 유닛(110)에 의해 이송되는 기판(40) 상에 현상액을 분사하도록 구비될 수 있다. 이에, 현상액 분사 유닛(110)은 이송 유닛(110)의 부상 스테이지(112) 상부에 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
도 10 및 도 11은 도 9의 현상액 분사 장치에 구비되는 현상액 분사 유닛의 배치 구조를 설명하기 위한 도면들이다.
도 10을 참조하면, 일부 실시예에서의 현상액 분사 유닛(100)은 기판이 이송되는 수평 방향과 수직한 방향으로 배치되도록 구비될 수 있다.
도 11을 참조하면, 일부 실시예에서의 현상액 분사 유닛(100)은 기판이 이송되는 수평 방향과 수직한 방향 쪽으로 기울어지는 방향으로 배치되도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 현상액 분사 유닛(100)은 기판이 이송되는 수평 방향을 기준으로 수직한 방향 또는 수직한 방향 쪽으로 기울어지는 방향으로 부상 스테이지(112)의 상부에 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
그리고 현상액 분사 유닛(100)은 기판의 수평 방향과 수직하는 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖는 나이프 구조로 이루어질 수 있기 때문에 스캔 방식으로 현상액을 분사할 수 있을 것이다.
특히, 도 1 내지 도 3에서 언급한 바와 같이 현상액 분사 유닛(100)은 유속 증가, 분사 면적의 축소, 및 분사 압력의 증가를 통하여 충분한 분사 타력을 갖는 현상액을 분사할 수 있기 때문에 이미 분사되어 있는 현상액 내에 새로운 현상액을 충분하게 침투시켜 계속해서 새로운 현상액이 보충되는 상황이 유지할 수 있을 것이다.
따라서 본 실시예에 따른 현상액 분사 장치(900)를 사용할 경우 포토레지스트 패턴의 선폭 편차를 충분하게 줄일 수 있고, 그 결과 양호한 선폭을 갖는 포토레지스트 패턴을 형성할 수 있을 것이다.
또한, 현상액 분사 장치(900) 후단 쪽에는 세정액을 분사하는 세정액 분사 장치, 세정액을 건조시키는 건조 장치 등이 구비될 수 있을 것이다.
본 발명은 현상 공정을 수행하여 수득할 수 있는 다양한 디스플레이 기기들에 적용될 수 있다.
예를 들면, 본 발명은 차량용, 선박용 및 항공기용 디스플레이 장치들, 휴대용 통신 장치들, 전시용 또는 정보 전달용 디스플레이 장치들, 의료용 디스플레이 장치들 등과 같은 수많은 디스플레이 기기들에 적용 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 몸체부 13 : 분사부
15 : 공간부 16 : 상부
18 : 하부 19 : 공급부
40 : 기판 41 : 현상액
51, 61, 71, 81 : 팁 단부
100 : 현상액 분사 유닛
110 : 이송 유닛
112 : 부상 스테이지
114 : 이송 가이드
900 : 현상액 분사 장치

Claims (7)

  1. 포토레지스트가 도포되고 수평 방향으로 이송되는 기판 상에 현상액을 분사하도록 구비되는 현상액 분사 유닛에 있어서,
    상기 수평 방향과 수직하는 상기 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비되는 몸체부;
    상기 몸체부에 상기 현상액을 공급받아 수용할 수 있게 상기 몸체부의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비되는 공간부;
    상기 기판 상에 상기 현상액을 분사할 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판을 향하는 상기 몸체부의 일면에 제1 간격 마다 홀 구조를 갖도록 구비되는 분사부; 및
    상기 현상액이 상기 공간부로 공급될 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판의 표면과 수직하는 상기 몸체부의 측면에 구비되는 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 유닛.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 몸체부의 일면은 뾰족하게 돌출되는 팁 구조를 갖도록 구비되고, 상기 분사부의 홀은 상기 팁에 구비되는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 유닛.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 공간부는 상기 분사부와 연통하는 제1 폭을 갖는 하부 및 상기 하부와 연통하면서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖는 상부로 이루어지고, 상기 공급부는 상기 상부와 연통하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 유닛.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 공급부는 상기 몸체부의 양측면 중에 어느 하나의 일측면에 상기 제1 간격보다 넓은 제2 간격 마다에 구비되는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 유닛.
  5. 포토레지스트가 도포된 기판 상에 현상액을 분사하는 현상액 분사 장치에 있어서,
    상기 기판을 수평 방향으로 이송하도록 구비되는 이송 유닛; 및
    상기 이송 유닛에 의해 이송되는 상기 기판 상에 상기 현상액을 분사하도록 구비되는 현상액 분사 유닛을 포함하되,
    상기 현상액 분사 유닛은 상기 수평 방향과 수직하는 상기 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비되는 몸체부, 상기 몸체부에 상기 현상액을 공급받아 수용할 수 있게 상기 몸체부의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비되는 공간부, 상기 기판 상에 상기 현상액을 분사할 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판을 향하는 상기 몸체부의 일면에 제1 간격 마다 홀 구조를 갖도록 구비되는 분사부, 및 상기 현상액이 상기 공간부로 공급될 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판의 표면과 수직하는 상기 몸체부의 측면에 구비되는 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 이송 유닛은 상기 기판의 이면으로 에어를 공급하여 상기 기판을 부상시킨 상태에서 상기 기판을 이송하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 장치.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 현상액 분사 유닛은 상기 수평 방향과 수직한 방향에 배치되거나 또는 상기 수직한 방향 쪽으로 기울어지는 방향에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 장치.
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