KR102290623B1 - 액적 토출용 노즐 플레이트 및 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법 - Google Patents

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Abstract

예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법은 액적을 토출하는 토출홀을 갖는 노즐 플레이트의 표면에 소수성 물질을 코팅하기 위한 것으로써 상기 소수성 물질에 상기 노즐 플레이트를 딥핑시키면서 상기 노즐 플레이트의 표면 쪽을 향하여 상기 토출홀에 유체를 주입시킬 수 있다. 이에, 상기 토출홀 단부와 상기 노즐 플레이트의 표면이 접하는 경계면에서 상기 소수성 물질과 상기 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 하여 상기 노즐 플레이트의 표면에만 상기 소수성 물질을 코팅시킬 수 있다.

Description

액적 토출용 노즐 플레이트 및 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법{Nozzle Plate for Processing Droplet Formation and Coating Method of Nozzle Plate for Processing Droplet Formation}
본 발명은 액적 토출용 노즐 플레이트 및 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 액적을 토출하는 토출홀을 갖는 노즐 플레이트의 표면에 소수성 물질로 이루어지는 코팅막을 갖는 액적 토출용 노즐 플레이트 및 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법에 관한 것이다.
최근, 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(투명 기판) 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포할 경우, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포할 경우 등에 대해서는 잉크젯 헤드를 구비하는 액적 토출 장치를 사용하고 있다.
잉크젯 헤드에는 액적을 토출하기 위한 토출홀을 갖는 노즐 플레이트가 구비될 수 있다.
노즐 플레이트의 표면 처리는 토출홀을 통해 토출되는 액적의 직진성, 액적의 토출 속도 등과 같은 액적 토출 성능에 직접적인 영향을 미치게 되는데, 액적 토출 성능을 향상시키기 위해서는 토출홀의 내면은 친수성을 가져야 하고, 노즐 플레이트의 표면은 소수성을 가져야 한다. 즉, 노즐 플레이트 표면에만 선택적으로 소수성 물질로 이루어지는 코팅막이 형성되어야 하는 것이다.
본 발명은 일 목적은 노즐 플레이트의 표면에만 소수성 물질을 코팅시키기 위한 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 노즐 플레이트의 표면에만 소수성 물질로 이루어지는 코팅막이 형성되는 액적 토출용 노즐 플레이트를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 목적을 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법은 액적을 토출하는 토출홀을 갖는 노즐 플레이트의 표면에 소수성 물질을 코팅하기 위한 것으로써 상기 소수성 물질에 상기 노즐 플레이트를 딥핑시키면서 상기 노즐 플레이트의 표면 쪽을 향하여 상기 토출홀에 유체를 주입시킬 수 있다. 이에, 상기 토출홀 단부와 상기 노즐 플레이트의 표면이 접하는 경계면에서 상기 소수성 물질과 상기 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 하여 상기 노즐 플레이트의 표면에만 상기 소수성 물질을 코팅시킬 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 유체는 일정 압력을 유지하는 상태로 주입시킬 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 유체는 시린지 펌프를 사용하여 일정 압력을 유지하는 상태로 주입시킬 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 유체는 에어를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 소수성 물질에 상기 노즐 플레이트를 딥핑시키는 공정과 상기 노즐 플레이트의 표면 쪽을 향하여 상기 토출홀에 유체를 주입시키는 공정은 동시에 이루어질 수 있다.
상기 본 발명의 일 목적을 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법은 액적을 토출하는 토출홀을 갖는 노즐 플레이트의 표면에 소수성 물질을 코팅하기 위한 것으로써 상기 노즐 플레이트의 표면 쪽을 향하여 상기 토출홀에 유체를 주입시키면서 상기 소수성 물질에 상기 노즐 플레이트를 딥핑시킬 수 있다. 이에, 상기 토출홀 단부와 상기 노즐 플레이트의 표면이 접하는 경계면에서 상기 소수성 물질과 상기 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 하여 상기 노즐 플레이트의 표면에만 상기 소수성 물질을 코팅시킬 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 유체는 일정 압력을 유지하는 상태로 주입시킬 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 유체는 시린지 펌프를 사용하여 일정 압력을 유지하는 상태로 주입시킬 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 유체는 에어를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 노즐 플레이트의 표면 쪽을 향하여 상기 토출홀에 유체를 주입시키는 공정과 상기 소수성 물질에 상기 노즐 플레이트를 딥핑시키는 공정은 동시에 이루어질 수 있다.
상기 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 액적을 토출하는 토출홀을 갖는 액적 토출용 노즐 플레이트는 상기 노즐 플레이트의 표면에만 형성되는 소수성 물질로 이루어지는 코팅막을 더 포함할 수 있다. 상기 코팅막은 상기 토출홀 단부와 상기 노즐 플레이트의 표면이 접하는 경계면에서 상기 소수성 물질과 상기 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 하여 수득할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 평형 상태는 상기 소수성 물질에 상기 노즐 플레이트를 딥핑시키고, 상기 노즐 플레이트의 표면 쪽을 향하여 상기 토출홀에 유체를 주입시킴에 의해 달성할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트 및 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법은 노즐 플레이트의 표면에만 선택적으로 소수성 물질로 이루어지는 코팅막을 형성할 수 있기 때문에 노즐 플레이트의 토출홀을 통해 토출되는 액적의 직진성, 액적의 토출 속도 등과 같은 액적 토출 성능을 보다 향상시킬 수 있다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트 및 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법은 액적 토출 성능의 향상을 통하여 평판 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도를 보다 향상시킬 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2 및 도 3은 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트(100)(이하, '노즐 플레이트'라 함)는 액적(15)을 토출하는 토출홀(19) 및 토출홀(19)을 형성하는 몸체(11)로 이루어질 수 있다.
몸체(11) 타면 쪽에는 액적을 저장 및 공급하는 부재가 배치될 수 있을 것이고, 몸체(11) 일면(이하, '노즐 플레이트의 표면'이라 함) 쪽에 기판이 위치할 수 있다. 따라서 노즐 플레이트(100)는 몸체(11) 타면으로부터 토출홀(19)을 통하여 노즐 플레이트(11)의 표면(17) 쪽으로 액적(15)이 흐르는 경로를 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트(100)는 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에 형성되는 코팅막(13)을 포함할 수 있다. 코팅막(13)은 소수성 물질로 이루어질 수 있다. 즉, 예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트(100)는 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에만 선택적으로 소수성 물질로 이루어지는 코팅막(13)을 포함할 수 있는 것이다. 그리고 예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트(100)는 토출홀(19)의 내면을 친수성을 갖도록 구비할 수 있다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트(100)는 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에만 선택적으로 소수성 물질로 이루어지는 코팅막(13)을 형성하고, 토출홀(19)의 내면은 친수성을 갖도록 구비하기 때문에 노즐 플레이트(100)의 토출홀(19)을 통해 토출되는 액적의 직진성, 액적의 토출 속도 등과 같은 액적 토출 성능을 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 코팅막(13)이 소수성 물질로 이루어지기 때문에 토출홀(19)을 통하여 토출되는 액적(15)이 토출홀(19)의 입구 근방의 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에 잔류하는 것을 억제할 수 있다. 이에, 예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트(100)는 코팅막(13)에 의해 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에 액적(15)이 잔류하는 것을 최소화할 수 있다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트(100)는 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에만 선택적으로 소수성 물질로 이루어지는 코팅막(13)을 형성함으로써 액적 토출 성능의 향상을 기대할 수 있을 것이고, 나아가 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에 액적(15)이 잔류하는 것을 억제함으로써 액적(15)의 토출에 대한 항상성을 유지할 수 있을 뿐만 아니라 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에 잔류하는 액적(15)을 제거하는 유지 보수 공정의 수행을 감소시킬 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에 구비되는 코팅막(13)은 토출홀(19) 단부와 노즐 플레이트(100)의 표면(17)이 접하는 경계면에서 소수성 물질과 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 하여 수득할 수 있다. 즉, 노즐 플레이트(100)를 소수성 물질에 딥핑시킴과 아울러 노즐 플레이트(100)의 표면(17) 쪽을 향하여 토출홀(19)에 유체를 주입시켜 토출홀(19) 단부와 노즐 플레이트(100)의 표면(17)이 접하는 경계면에서 소수성 물질과 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 함으로써 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에만 선택적으로 소수성 물질로 이루어지는 코팅막(13)을 형성할 수 있는 것이다.
그리고 노즐 플레이트(100)는 친수성 물질로 이루어짐과 아울러 토출홀(19)을 형성해야 하기 때문에 가공성이 용이한 재질이 유리하다. 이에, 예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트(100)는 에폭시, 폴리이미드, 또는 아크릴 재질로 이루어질 수 있다.
코팅막(13)의 두께가 약 5㎛ 미만일 경우 그 제조가 용이하지 않기 때문에 바람직하지 않다. 코팅막(13)의 두께가 약 500㎛를 초과할 경우 노즐 플레이트(100) 자체의 두께가 두꺼워지기 때문에 바람직하지 않다. 즉, 노즐 플레이트(100)의 두께가 두꺼워질 경우 액적 토출에 영향을 끼치지 때문에 바람직하지 않는 것이다. 따라서 예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트(100)에서의 코팅막(13)은 약 5 내지 500㎛의 두께를 갖도록 형성할 수 있다.
이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 예시적인 일 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법에 대하여 설명하기로 한다.
도 2 및 도 3은 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 2를 참조하면, 액적을 토출하는 토출홀(19)을 갖는 노즐 플레이트(100)를 마련한다. 이때, 노즐 플레이트(100)는 액적을 토출하는 토출홀(19) 입구 쪽에 토출면인 노즐 플레이트(100)의 표면(17)을 갖는다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법에서는 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에 코팅막(13)을 형성하는 공정을 수행할 수 있다. 특히, 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법에서는 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에만 선택적으로 소수성 물질(21)로 이루어지는 코팅막(13)을 형성하는 공정을 수행할 수 있다.
먼저 소수성 물질(21_에 노즐 플레이트(100)를 딥핑시킬 수 있다. 소수성 물질(21)은 주로 배스 내에 수용되는 구성을 가질 수 있다.
그리고 노즐 플레이트(100)의 토출홀(19)에 유체를 주입시킬 수 있다. 특히, 예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트의 코팅 방법에서는 노즐 플레이트(100)의 토출홀(19) 단부와 노즐 플레이트(100)의 표면(17)이 접하는 경계면에서 소수성 물질(21)과 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 노즐 플레이트(100)의 표면(17) 쪽을 향하여 토출홀(19)에 유체를 주입시킬 수 있다.
노즐 플레이트(100)의 토출홀(19)에 주입되는 유체는 노즐 플레이트(100)의 토출홀(19) 단부와 노즐 플레이트(100)의 표면(17)이 접하는 경계면에서 소수성 물질(21)과 유체가 소정 시간 동안 평형 상태를 유지해야 하기 때문에 일정 압력을 유지하도록 주입되어야 할 것이다. 따라서 예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트의 코팅 방법에서는 시린지 펌프를 사용하여 노즐 플레이트(100)의 토출홀(19)에 유체를 일정 압력을 유지하도록 주입시킬 수 있다.
또한, 소수성 물질(21)이 액체이기 때문에 유체는 기체인 것이 보다 적절할 수 있고, 이에 유체는 에어를 포함할 수 있다. 그러므로 예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트의 코팅 방법에서는 시린지 펌프를 사용하여 노즐 플레이트(100)의 토출홀(19)에 에어를 일정 압력을 유지하도록 주입시킬 수 있다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트의 코팅 방법에서는 소수성 물질(21)에 노즐 플레이트(100)를 딥핑시킨 상태에서 토출홀(19)에 유체를 주입시킴으로써 토출홀(19) 단부와 노즐 플레이트(100)의 표면(17)이 접하는 경계면에서 소수성 물질(21)과 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 하여 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에만 소수성 물질(21)을 코팅시킬 수 있다.
그리고 언급한 노즐 플레이트의 코팅 방법에서는 소수성 물질(21)에 노즐 플레이트(100)를 딥핑시킨 후, 토출홀(19)에 유체를 주입시키는 것에 대하여 설명하고 있지만, 이와 달리 토출홀(19)에 유체를 주입시킨 후, 소수성 물질(21)에 노즐 플레이트(100)를 딥핑시켜 토출홀(19) 단부와 노즐 플레이트(100)의 표면(17)이 접하는 경계면에서 소수성 물질(21)과 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 함으로써 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에만 소수성 물질을 코팅시켜 코팅막(13)을 형성할 수 있을 것이고, 또한 토출홀(19)에 유체를 주입시킴과 동시에 소수성 물질(21)에 노즐 플레이트(100)를 딥핑시켜 토출홀(19) 단부와 노즐 플레이트(100)의 표면(17)이 접하는 경계면에서 소수성 물질(21)과 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 함으로써 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에만 소수성 물질을 코팅시켜 코팅막(13)을 형성할 수 있을 것이다.
토출홀(19)에 유체를 주입시킨 후 소수성 물질(21)에 노즐 플레이트(100)를 딥핑시키는 것, 토출홀(19)에 유체를 주입시킴과 동시에 소수성 물질(21)에 노즐 플레이트(100)를 딥핑시키는 것 모두 소수성 물질(21)에 노즐 플레이트(100)를 딥핑시킨 후 토출홀(19)에 유체를 주입시키는 것과 순서를 달리할 뿐 공정 조건은 동일하게 때문에 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 노즐 플레이트의 코팅 방법은 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에만 선택적으로 소수성 물질로 이루어지는 코팅막(13)을 형성함으로써 액적 토출 성능의 향상을 기대할 수 있을 것이고, 나아가 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에 액적(15)이 잔류하는 것을 억제함으로써 액적(15)의 토출에 대한 항상성을 유지할 수 있을 뿐만 아니라 노즐 플레이트(100)의 표면(17)에 잔류하는 액적(15)을 제거하는 유지 보수 공정의 수행을 감소시킬 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 액적 토출용 노즐 플레이트 및 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법은 평판 디스플레이 소자의 제조에 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 몸체 13 : 코팅막
15 : 액적 17 : 표면
19 : 토출홀
100 : 노즐 플레이트

Claims (12)

  1. 액적을 토출하는 토출홀을 갖되, 상기 토출홀의 내면은 친수성 물질로 이루어지면서 노즐 플레이트의 표면에만 소수성 물질을 코팅하기 위한 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법에 있어서,
    에폭시, 폴리이미드 또는 아크릴 재질로 이루어지는 친수성 물질의 플레이트를 대상으로 상기 토출홀을 갖는 노즐 플레이트를 마련하는 단계;
    상기 소수성 물질에 상기 노즐 플레이트를 딥핑시키는 단계; 및
    상기 토출홀 단부와 상기 노즐 플레이트의 표면이 접하는 경계면에서 상기 소수성 물질과 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 상기 노즐 플레이트의 표면 쪽을 향하여 상기 토출홀에 상기 유체를 주입시켜 상기 노즐 플레이트의 표면에만 상기 소수성 물질을 코팅시켜 상기 노즐 플레이트의 표면은 소수성을 갖도록 형성함과 아울러 상기 토출홀의 내면은 상기 친수성을 갖도록 형성함으로써 상기 토출홀을 통해 토출되는 액적의 직진성, 토출 속도가 상대적으로 향상되는 노즐 플레이트를 수득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 플레이트의 코팅 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 유체는 일정 압력을 유지하는 상태로 주입시키는 것을 특징으로 하는 노즐 플레이트의 코팅 방법.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 유체는 시린지 펌프(syringe pump)를 사용하여 일정 압력을 유지하는 상태로 주입시키는 것을 특징으로 하는 노즐 플레이트의 코팅 방법.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 유체는 에어를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 플레이트의 코팅 방법.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 소수성 물질에 상기 노즐 플레이트를 딥핑시키는 단계와 상기 노즐 플레이트의 표면 쪽을 향하여 상기 토출홀에 유체를 주입시키는 단계는 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 노즐 플레이트의 코팅 방법.
  6. 액적을 토출하는 토출홀을 갖되, 상기 토출홀의 내면은 친수성 물질로 이루어지면서 노즐 플레이트의 표면에만 소수성 물질을 코팅하기 위한 액적 토출용 노즐 플레이트의 코팅 방법에 있어서,
    에폭시, 폴리이미드 또는 아크릴 재질로 이루어지는 친수성 물질의 플레이트를 대상으로 상기 토출홀을 갖는 노즐 플레이트를 마련하는 단계;
    상기 노즐 플레이트의 표면 쪽을 향하여 상기 토출홀에 유체를 주입시키는 단계; 및
    상기 토출홀 단부와 상기 노즐 플레이트의 표면이 접하는 경계면에서 상기 소수성 물질과 상기 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 상기 소수성 물질에 상기 노즐 플레이트를 딥핑시켜 상기 노즐 플레이트의 표면에만 상기 소수성 물질을 코팅시켜 상기 노즐 플레이트의 표면은 소수성을 갖도록 형성함과 아울러 상기 토출홀의 내면은 상기 친수성을 갖도록 형성함으로써 상기 토출홀을 통해 토출되는 액적의 직진성, 토출 속도가 상대적으로 향상되는 노즐 플레이트를 수득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 플레이트의 코팅 방법.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 유체는 일정 압력을 유지하는 상태로 주입시키는 것을 특징으로 하는 노즐 플레이트의 코팅 방법.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 유체는 시린지 펌프(syringe pump)를 사용하여 일정 압력을 유지하는 상태로 주입시키는 것을 특징으로 하는 노즐 플레이트의 코팅 방법.
  9. 제6 항에 있어서,
    상기 유체는 에어를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 플레이트의 코팅 방법.
  10. 제6 항에 있어서,
    상기 노즐 플레이트의 표면 쪽을 향하여 상기 토출홀에 유체를 주입시키는 단계와 상기 소수성 물질에 상기 노즐 플레이트를 딥핑시키는 단계는 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 노즐 플레이트의 코팅 방법.
  11. 액적을 토출하는 토출홀을 갖는 액적 토출용 노즐 플레이트에 있어서,
    상기 노즐 플레이트는 에폭시, 폴리이미드 또는 아크릴 재질의 친수성 물질로 이루어지고,
    상기 노즐 플레이트의 표면에만 형성되는 소수성 물질로 이루어지는 코팅막을 더 포함하되,
    상기 코팅막을 상기 토출홀 단부와 상기 노즐 플레이트의 표면이 접하는 경계면에서 상기 소수성 물질과 유체가 소정 시간 동안 평형 상태가 되도록 하여 수득하여 상기 노즐 플레이트의 표면은 소수성을 갖도록 형성함과 아울러 상기 토출홀의 내면은 상기 친수성을 갖도록 형성함으로써 상기 토출홀을 통해 토출되는 액적의 직진성, 토출 속도가 상대적으로 향상되는 노즐 플레이트를 수득하는 것을 특징으로 하는 액적 토출용 노즐 플레이트.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 평형 상태는 상기 소수성 물질에 상기 노즐 플레이트를 딥핑시키고, 상기 노즐 플레이트의 표면 쪽을 향하여 상기 토출홀에 유체를 주입시킴에 의해 달성하는 것을 특징으로 하는 액적 토출용 노즐 플레이트.
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