KR100543505B1 - 노즐에 유체를 공급하는 시스템 - Google Patents

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KR100543505B1
KR100543505B1 KR1020030049844A KR20030049844A KR100543505B1 KR 100543505 B1 KR100543505 B1 KR 100543505B1 KR 1020030049844 A KR1020030049844 A KR 1020030049844A KR 20030049844 A KR20030049844 A KR 20030049844A KR 100543505 B1 KR100543505 B1 KR 100543505B1
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Abstract

본 발명은 노즐에 유체를 공급하는 시스템으로, 상기 시스템은 펌프가 연결된 공급관, 노즐 내의 압력을 측정하는 압력측정부, 공급관과 연결되며 압력을 조절하는 압력조절부, 그리고 압력측정부에서 측정된 압력에 따라 압력조절부를 제어하는 제어부를 가진다.
본 발명에 의하면, 펌프의 특성상 발생되는 유체의 맥동을 제거하여, 노즐에 균일한 량의 유체를 계속적으로 공급할 수 있는 효과가 있다.
포토레지스트, 펌프, 맥동, 역압, 압력조절

Description

노즐에 유체를 공급하는 시스템{SYSTEM FOR SUPPLYING FLUID TO SLIT NOZZLE}
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유체 공급 시스템이 적용된 코팅설비를 개략적으로 보여주는 도면;
도 2a는 도 1의 노즐의 사시도;
도 2b와 도 2c는 각각 도 2a의 A-A선과 B-B선을 따라 절단한 단면도,
도 3은 압력조절부의 제 1실시예를 보여주는 도면;
도 4a와 도 4b는 각각 도 3의 압력조절부에서 버퍼부의 용량이 조절되는 것을 도시한 단면도들;
도 5는 압력측정부에 의해 측정된 압력과 제어부에 의해 압력조절부에 발생되는 역압을 보여주는 그래프이다.
도 6는 압력조절부의 변형된 예를 보여주는 도면;
도 7은 제 2실시예에 따른 압력조절부의 단면도;
도 8은 도 7의 압력조절부의 변형된 예를 보여주는 단면도; 그리고
도 9은 도 7의 압력조절부의 또 다른 변형된 예를 보여주는 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
40 : 노즐 42 : 유입부
100 : 공급관 200 : 제어부
220 : 압력측정부 400 : 펌프
500, 600 : 압력조절부 520 : 버퍼부
540, 560 : 용량조절부 544, 564, 640, 740 : 격벽
546, 760 : 로드 548, 780 : 이동부
566, 660 : 기체공급관 568, 680 : 압력조절밸브
510, 620 : 하우징
본 발명은 평판 표시 소자를 제조하기 위한 시스템에 관한 것으로, 더 상세하게는 포토레지스트 도포공정 진행시 슬릿노즐로 포토레지스트를 공급하는 시스템에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로는 주로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정 표시 소자(liquid crystal display)가 널리 사용되 고 있다.
액정 표시 소자를 제조하기 위해 수행되는 공정들 중 코팅공정은 노광 광원에 반응하는 포토레지스트와 같은 감광액을 기판 상에 도포하는 공정이다. 일반적으로 코팅공정은 지지부에 놓여진 기판의 일단에서 타단으로 슬릿노즐이 일정속도로 이동되면서 기판 상에 포토레지스트를 공급하면서 이루어진다. 기판 상에 동일한 두께로 포토레지스트롤 도포하기 위해서는 공정진행 중 슬릿노즐에 공급되는 포토레지스트의 량은 동일하여야 한다. 그러나 포토레지스트가 공급되는 공급관에는 포토레지스트에 강제적 유동압을 제공하기 위해 펌프가 연결되므로, 펌프의 특성상 포토레지스트의 공급이 맥동에 의해 균일하게 이루어지지 않는다.
본 발명은 펌프를 사용하여 포토레지스트를 공급할 때, 공정진행시 노즐에 균일한 량의 포토레지스트를 계속적으로 공급할 수 있는 유체 공급 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명인 유체공급시스템은 펌프가 연결된 공급관과 상기 공급관 또는 상기 공급관과 연결된 노즐 내의 압력을 측정하는 압력측정센서, 상기 공급관에 연결되며 상기 공급관을 흐르는 유체의 맥동을 제거하기 위해 상기 공급관을 흐르는 유체의 압력을 조절하는 압력조절부, 그리고 상기 압력측정센서로부터 측정된 압력값에 따라 상기 압력조절부를 제어하는 제어부를 가진다.
일 예에 의하면, 상기 압력조절부는 유입구와 유출구가 형성되며 상기 유체가 수용되는 버퍼부를 가지는 하우징과 상기 하우징 내에서 상기 버퍼부의 용량을 조절하는 용량조절부를 가질 수 있다.
상기 용량조절부는 상기 하우징 내에 형성되며 기체가 유입되는 기체유입부, 상기 기체유입부와 상기 버퍼부를 격리하는 격벽, 그리고 상기 기체유입부로 상기 기체를 공급하며 상기 제어부에 의해 제어되는 압력조절밸브가 설치된 기체공급관을 가지고, 상기 버퍼부는 상기 기체유입부로 유입되는 상기 기체량에 따라 상기 격벽의 위치가 변화됨으로써 그 용량이 조절될 수 있다.
이와 달리, 상기 용량조절부는 상기 버퍼부의 일측벽을 형성하는 격벽, 상기 격벽과 결합되는 로드, 그리고 상기 제어부에 의해 제어되는 모터에 의해 구동되며 상기 로드에 결합되어 상기 로드를 이동하는 이동부를 가지고, 상기 버퍼부는 상기 로드의 이동에 따라 상기 격벽의 위치가 변화됨으로써 그 용량이 조절될 수 있다.
바람직하게는 상기 격벽은 상기 하우징 내에 고정 설치되며 탄성체로 이루어질 수 있다.
다른 예에 의하면, 상기 압력조절부는 상기 공급관의 외주면 상에 배치되며 내부에 기체유입부를 가지는 하우징, 상기 하우징과 상기 공급관 사이에 배치되어 상기 기체유입부와 상기 공급관의 공급로를 격리하는 격벽, 그리고 상기 기체유입부로 상기 기체를 공급하며 상기 제어부에 의해 제어되는 압력조절밸브가 설치된 기체공급관을 구비하며, 상기 격벽과 인접하여 위치되는 상기 공급관의 공급로 내의 압력은 상기 격벽의 위치가 변화됨에 따라 조절될 수 있다.
또 다른 예에 의하면 상기 압력조절부는 상기 공급관의 외주면 상에 배치되는 하우징, 상기 하우징과 상기 공급관 사이에 배치되어 상기 하우징 내부와 상기 공급관의 공급로를 격리하는 격벽, 상기 격벽에 결합되는 로드, 그리고 상기 제어부에 의해 제어되는 모터에 의해 구동되며 상기 로드를 이동시키는 이동부를 포함하며, 상기 격벽과 인접하여 위치되는 상기 공급관의 공급로 내의 압력은 상기 격벽의 위치가 변화됨에 따라 조절될 수 있다.
바람직하게는 상기 압력조절부는 상기 노즐과 인접하는 위치에서 상기 공급관의 외주면 상에 배치된다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 9를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
다음의 실시예에서는 기판 상에 포토레지스트를 도포하는 코팅 설비에서 슬릿노즐로 포토레지스트를 공급하는 시스템을 예로 들어 설명한다. 그러나 본 발명의 시스템은 펌프를 사용하여 소정의 유체를 공급하는 모든 유체공급시스템에 적용될 수 있다.
또한, 본 실시예에서 기판(30)은 평판 디스플레이(flat panel display) 소자를 제조하기 위한 것으로, 평판 디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), 또는 ELD(Electro Luminescence Display) 일 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유체공급시스템(10)이 적용된 코팅설비(1)를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 코팅설비(1)는 기판(30)이 놓여지는 기판 지지부(20), 기판(20) 상에 포토레지스트를 도포하는 슬릿노즐(40), 그리고 슬릿노즐(40)로 포토레지스트를 공급하는 공급시스템(10)을 가진다. 비록 도시하지는 않았으나, 기판(20)을 따라 슬릿노즐(40)을 직선 이동시키는 구동부가 제공된다.
도 2a는 도 1의 슬릿노즐(40)의 사시도이고, 도 2b와 도 2c는 각각 도 2a의 A-A선과 B-B선을 따라 절단한 단면도이다. 도 2a, 도 2b, 그리고 도 2c를 참조하면, 슬릿노즐(40)은 상부몸체(48)와 하부몸체(46)로 이루어지며, 상부몸체(48)와 하부몸체(46)는 나사와 같은 체결수단(도시되지 않음)에 의해 결합될 수 있다. 슬릿노즐(40)의 내부에는 슬릿노즐(40)로 유입되는 포토레지스트가 토출되기 전에 머무르는 유입부(42)와 포토레지스트가 토출되는 통로인 토출라인(44)이 형성된다. 유입부(42)와 토출라인(44)은 상부몸체(48) 및 하부몸체(46)의 결합면에 홈을 형성함으로써 제공될 수 있다.
공급시스템(10)은 공급관(100), 제어부(200), 압력측정부(220), 펌프(400), 그리고 압력조절부(500)를 가진다. 공급관(100)은 포토레지스트가 수용된 저장부(300)와 슬릿노즐(40)을 연결하는 관으로, 포토레지스트의 이동통로를 제공한다. 공급관(100)에는 그 내부를 흐르는 포토레지스트에 강제적 유동압을 제공하 는 펌프(400)가 연결된다. 기판(20) 전체에 균일한 두께로 포토레지스트를 도포하기 위해서 슬릿노즐(40)이 기판(20)의 일단에서 타단까지 이동될 때 슬릿노즐(40)에 계속적으로 균일한 량의 포토레지스트가 공급되어야 한다. 그러나 펌프(400)의 특성상 포토레지스트 공급시 맥동이 발생된다.
압력측정부(220)는 포토레지스트의 맥동에 의해 발생되는 압력변화를 감지하기 위한 것이다. 압력측정부(220)는 공급관(100) 내의 압력을 측정하거나, 슬릿노즐의 유입부(42) 내의 압력을 측정할 수 있다. 바람직하게는 압력측정부(220)는 도 2b와 도 2c에서 'ㆍ'로 표시된 부분인 유입부(42) 중앙의 압력을 측정한다. 압력측정부(220)에 의해 측정된 압력값은 제어부(200)로 전송된다. 제어부(200)는 맥동에 의해 발생되는 압력변화만큼의 역압이 압력조절부(500)에서 발생되도록 압력조절부를 제어한다. 압력조절부(500)는 공급관(100) 내부를 흐르는 포토레지스트의 맥동을 제거하기 위해 제어부(200)로부터 전송 받은 신호에 따라 포토레지스트가 흐르는 공간의 체적을 조절한다.
도 3은 압력조절부(500)의 제 1실시예를 보여주는 도면이다. 도 3을 참조하면, 압력조절부(500)는 버퍼부(520)를 가지는 하우징(510)과 버퍼부(520)의 용량을 조절하는 용량조절부(540)를 가진다. 하우징(510)은 중공원통형의 형상을 가지며, 일측에는 유입포트(522)가 형성되고 타측에는 유출포트(524)가 형성된다. 유입포트(522)와 유출포트(524)에 각각 공급관(100)이 삽입됨으로써 하우징(510)은 공급관(100)과 연결된다. 하우징(510)의 내부는 격벽(544)에 의해 상부에 위치되는 제 1공간(542)과 하부에 위치되는 제 2공간(520)으로 분리된다. 상술한 유입포트(522)와 유출포트(524)는 제 2공간(520)과 연결되는 위치에 형성되며, 제 2공간(520)은 유입포트(522)를 통해 유입된 포토레지스트가 일시적으로 머무르는 버퍼부(520)로서 기능을 한다.
용량조절부(540)는 격벽(544), 격벽(544)의 상부면에 결합되는 로드(546), 그리고 격벽(544)의 위치를 변화시키는 이동부(548)로 이루어진다. 이동부(548)로는 공기에 의해 구동되는 실린더가 사용될 수 있다. 그러나 이동부(548)는 정밀제어가 가능하고 제어부(200)로부터 전송된 신호에 대해 빠르게 응답(response)할 수 있는 기계적 메카니즘으로 구성되는 것이 바람직하다. 예컨대, 이동부(548)는 모터(548a)의 회전축을 삽입하는 피니언(548b)과 피니언(548b)의 회전에 의해 직선 이동되며 로드(546)와 결합된 래크(548c)를 가질 수 있다. 격벽(544)은 도 4a에 도시된 바와 같이 로드(546)의 이동과 함께 상하로 이동 가능한 플레이트(544a)로 이루어지거나, 도 4b와 같이 측면은 하우징(510)에 고정되며, 로드(546)의 이동에 따라 위 또는 아래로 팽창되는 탄성체(544b)로 이루어질 수 있다.
도 5는 압력측정부(220)에 의해 측정된 압력과 제어부(200)에 의해 압력조절부(500)에 발생되는 역압을 보여주는 그래프이다. 도 5에서 직선으로 표시된 부분은 기준압력이고, 실선은 슬릿노즐의 유입부(42)에서 측정된 압력이고, 점선은 압력조절부(500) 내에서 발생되는 역압이다. 여기서 기준압력이란 공정진행시 슬릿노즐의 유입부(42)에서 유지하고자 하는 고정된 압력이다. 압력측정부(220)가 공급관(100) 내부 또는 슬릿노즐의 유입부(42)의 압력을 측정하여 제어부(200)로 전송하면, 제어부(200)는 기준압력에서 벗어난 압력변화만큼 압력조절부(500)에서 역압이 발생되도록 모터(548a)의 회전속도 및 회전방향을 실시간으로 제어한다. 로드(546)의 이동에 따라 버퍼부(200)의 체적이 변화되며, 이로 인해 공급관(100)을 통해 공급되는 포토레지스트의 량이 균일해진다.
기판(20)의 일단에서 타단까지 슬릿노즐(40)이 이동되어 기판(20) 상에 포토레지스트를 도포하는 공정이 완료될 때, 슬릿노즐의 토출구(45)에 잔존하는 포토레지스트가 기판(20)의 타단으로 공급될 수 있다. 따라서 코팅공정이 완료되면, 슬릿노즐의 토출구(45)에 잔존하는 포토레지스트 일부를 다시 슬릿노즐(40) 내부로 흡입하기 위해 제어부(200)는 압력조절부의 버퍼부(520) 체적이 증가되도록 모터(548a)를 제어할 수 있다.
도 6은 도 3의 압력조절부(500)의 변형된 예를 보여주는 도면이다. 도 6을 참조하면, 압력조절부(500)는 하우징(510)과 용량조절부(560)를 가진다. 하우징(510)은 중공원통형의 형상을 가지며, 상부면에는 기체유입관(568)이 연결되는 포트가 형성된다. 기체유입관(568) 상에는 그 내부를 흐르는 기체의 유량을 조절하는 압력조절밸브(568)가 설치되며, 압력조절밸브(568)는 제어부(200)에 의해 제어된다.
하우징(510)의 내부는 격벽(564)에 의해 상부에 위치되는 제 1공간(562)과 하부에 위치되는 제 2공간(520)으로 분리된다. 제 1공간(562)은 기체공급관(568)을 통해 유입되는 기체가 머무르는 기체유입부로서 기능한다. 제 2공간(520)은 유입포트(522)를 통해 유입된 포토레지스트가 일시적으로 머무르는 버퍼부로서 기능을 하고, 기체로는 공기가 사용될 수 있다. 또한, 기체유입부에는 그 내부의 압력을 측 정하는 압력측정센서(572)가 설치될 수 있으며, 압력측정센서(572)에 의해 측정된 압력값은 제어부(200)로 전송될 수 있다.
압력측정부(200)가 공급관(100) 내부 또는 노즐의 유입부(42)의 압력을 측정하여 제어부(200)로 전송하면, 제어부(200)는 기준압력에서 벗어난 압력변화만큼 압력조절부(500)에서 역으로 압력의 변동이 일어나도록 압력조절밸브(568)를 제어한다. 격벽(564)은 그 측면이 하우징(510)에 고정되도록 설치되며, 제 2공간(562)으로 내로 유입되는 공기량에 따라 위 또는 아래로 팽창되도록 탄성체로 이루어진다. 격벽(564)의 팽창방향 및 팽창률에 따라 버퍼부(520)의 체적은 변화된다.
도 7은 본 발명의 제 2실시예에 따른 압력조절부(600)를 보여주는 도면이다. 압력조절부(600)는 하우징(620), 격벽(640), 그리고 기체공급관(660)을 가진다. 공급관(100)은 그 외주면에 개구부(102)가 형성되며, 개구부(102) 상에는 원통형의 형상을 가지는 하우징(620)이 배치된다. 하우징(620)은 상부면에 기체유입관(660)이 연결되는 포트가 형성되며, 하우징(620)은 그 내부에 기체가 유입되는 공간인 기체유입부(670)를 제공한다. 기체유입관(670) 상에는 그 내부를 흐르는 기체의 유량을 조절하는 압력조절밸브(680)가 설치되며, 압력조절밸브(680)는 제어부(200)에 의해 조절된다.
하우징 내의 기체유입부(670)와 공급관(100)을 격리하기 위해 개구부(102)에는 격벽(640)이 설치된다. 격벽(640)은 개구부(102)가 형성된 위치에 고정되도록 설치되며, 기체유입부(670) 내로 유입되는 공기량에 따라 위 또는 아래로 팽창되도록 탄성체로 이루어진다. 격벽(640)은 기체유입부(670)로 유입되는 기체의 량에 따 라 팽창되어 그 위치가 변화된다. 격벽(640)의 팽창방향 및 팽창률에 따라 개구부(102)가 형성된 부분의 공급관(100)을 흐르는 포토레지스트의 압력이 변화된다. 압력조절부(600)는 펌프(400)와 슬릿노즐(40) 사이의 공급관(100) 위치 중 어느 곳에나 설치 가능하나, 슬릿노즐(40)과 인접한 위치에서 배치되는 것이 바람직하다.
도 8은 도 7의 압력조절부(600)의 변형된 예를 보여주는 도면이다. 도 8을 참조하면, 압력조절부(700)가 공급관(100)의 외주면에 형성된 개구부(102) 상에 배치된 하우징(720)과 개구부(102) 내에 고정되도록 설치된 탄성체인 격벽(740)을 가지는 것은 도 7의 압력조절부(600)와 동일하다. 다만 격벽(740)의 위치를 변화시키기 위해 격벽(740)의 상부면에는 로드(760)가 결합되고, 로드(760)는 모터(도시되지 않음)에 의해 구동되는 이동부(780)에 의해 직선 이동된다. 예컨대, 이동부(780)는 도 3에 도시된 이동부(548)가 사용될 수 있다.
도 9는 도 7의 압력조절부(600)의 또 다른 변형된 예를 보여주는 도면이다. 도 9를 참조하면, 압력조절부(700′)는 도 8의 압력조절부(700)처럼, 하우징(720), 격벽(740), 로드(760′), 그리고 이동부(780)를 가진다. 다만, 격벽(740)은 개구부(102)에 고정 설치되지 않고, 하우징(720) 내에서 로드(760)에 의해 직선 이동될 수 있다.
본 발명에 의하면, 펌프 사용으로 인하여 포토레지스트 공급시 발생되는 맥동을 제거하여 노즐에 계속적으로 균일한 량의 포토레지스트를 공급할 수 있으며, 이로 인해, 기판에 포토레지스트를 균일한 두께로 도포할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명에 의하면, 기판 상에 포토레지스트를 도포하는 코팅공정이 완료되면, 노즐의 토출구에 잔존하는 포토레지스트가 기판으로 떨어져 도포두께가 불균일해지는 것을 방지할 수 있다.

Claims (11)

  1. 삭제
  2. 노즐로 공급되는 유체가 흐르는 공급관과;
    상기 공급관에 설치되며 그 내부를 흐르는 유체에 유동압을 제공하는 펌프와;
    상기 펌프와 상기 노즐 사이에 위치되도록 상기 공급관에 연결되는, 그리고 상기 펌프에 의해 발생되는 상기 공급관 내 유체의 맥동을 제거하기 위해 상기 공급관을 흐르는 유체의 압력을 조절하는 압력조절부와;
    상기 노즐 또는 상기 공급관 내의 압력을 측정하는 압력측정센서와; 그리고
    상기 압력측정센서로부터 측정된 압력값에 따라 상기 공급관 내 유체의 맥동이 제거되도록 상기 압력조절부를 제어하는 제어부를 포함하되,
    상기 압력조절부는,
    유입구와 유출구가 형성되며 상기 유체가 수용되는 버퍼부를 가지는 하우징과;
    상기 하우징 내에서 상기 버퍼부의 용량을 조절하는 용량조절부를 가지는 것을 특징으로 하는 유체공급시스템.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 용량조절부는,
    상기 하우징 내에 형성되며, 기체가 유입되는 기체유입부와;
    상기 기체유입부와 상기 버퍼부를 격리하는 격벽과; 그리고
    상기 기체유입부로 상기 기체를 공급하는, 그리고 상기 제어부에 의해 제어되는 압력조절밸브가 설치된 기체공급관을 구비하되,
    상기 버퍼부는 상기 기체유입부로 유입되는 상기 기체량에 따라 상기 격벽의 위치가 변화됨으로써 그 용량이 조절되는 것을 특징으로 하는 유체공급시스템.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 용량조절부는,
    상기 버퍼부의 일측벽을 형성하는 격벽과;
    상기 격벽과 결합되는 로드; 그리고
    상기 제어부에 의해 제어되는 모터에 의해 구동되는, 그리고 상기 로드에 결합되어 상기 로드를 이동하는 이동부를 포함하되,
    상기 버퍼부는 상기 로드의 이동에 따라 상기 격벽의 위치가 변화됨으로써 그 용량이 조절되는 것을 특징으로 하는 유체공급시스템.
  5. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 격벽은 상기 하우징 내에 고정 설치되며, 탄성을 가지는 것을 특징으로 하는 유체공급시스템.
  6. 노즐로 공급되는 유체가 흐르는 공급관과;
    상기 공급관에 설치되며 그 내부를 흐르는 유체에 유동압을 제공하는 펌프와;
    상기 공급관에 연결되는, 그리고 상기 펌프에 의해 발생되는 상기 공급관 내 유체의 맥동을 제거하기 위해 상기 공급관을 흐르는 유체의 압력을 조절하는 압력조절부와;
    상기 노즐 또는 상기 공급관 내의 압력을 측정하는 압력측정센서와; 그리고
    상기 압력측정센서로부터 측정된 압력값에 따라 상기 압력조절부를 제어하는 제어부를 포함하되,
    상기 압력조절부는,
    상기 공급관의 외주면 상에 배치되며, 내부에 기체유입부를 가지는 하우징과;
    상기 하우징과 상기 공급관 사이에 배치되어 상기 기체유입부와 상기 공급관의 공급로를 격리하는 격벽과; 그리고
    상기 기체유입부로 상기 기체를 공급하는, 그리고 상기 제어부에 의해 제어되는 압력조절밸브가 설치된 기체공급관을 구비하되,
    상기 격벽과 인접하여 위치되는 상기 공급관의 공급로 내의 압력은 상기 격벽의 위치가 변화됨에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 유체공급시스템.
  7. 노즐로 공급되는 유체가 흐르는 공급관과;
    상기 공급관에 설치되며 그 내부를 흐르는 유체에 유동압을 제공하는 펌프와;
    상기 공급관에 연결되는, 그리고 상기 펌프에 의해 발생되는 상기 공급관 내 유체의 맥동을 제거하기 위해 상기 공급관을 흐르는 유체의 압력을 조절하는 압력조절부와;
    상기 노즐 또는 상기 공급관 내의 압력을 측정하는 압력측정센서와; 그리고
    상기 압력측정센서로부터 측정된 압력값에 따라 상기 압력조절부를 제어하는 제어부를 포함하되,
    상기 압력조절부는,
    상기 공급관의 외주면 상에 배치되는 하우징과;
    상기 하우징과 상기 공급관 사이에 배치되어 상기 하우징 내부와 상기 공급관의 공급로를 격리하는 격벽과;
    상기 격벽에 결합되는 로드와; 그리고
    상기 제어부에 의해 제어되는 모터에 의해 구동되며, 상기 로드를 이동시키는 이동부를 포함하되,
    상기 격벽과 인접하여 위치되는 상기 공급관의 공급로 내의 압력은 상기 격벽의 위치가 변화됨에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 유체공급시스템.
  8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,
    상기 격벽은 상기 하우징과 상기 공급관 사이에 고정 설치되며, 탄성을 가지는 것을 특징으로 하는 유체공급시스템.
  9. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,
    상기 압력조절부는 상기 노즐과 인접하는 위치에서 상기 공급관의 외주면 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 유체공급시스템.
  10. 제 2항 내지 제 4항, 제 6항, 그리고 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 노즐은 평판표시소자 제조에 사용되는 기판 상에 포토레지스트를 도포하는 노즐인 것을 특징으로 하는 유체공급시스템.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 노즐은 슬릿 노즐이고,
    상기 압력측정부는 상기 슬릿 노즐 내에 상기 유체가 유입되는 유체유입부의 센터지점의 압력을 측정하는 것을 특징으로 하는 유체공급시스템.
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