KR101723907B1 - 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정기판 등에 포토레지스트(약액)을 정밀하게 공급하기 위한 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프에 관한 것으로, 다이어프램(20)에 의해 가압실과 작동실(30)이 구분되고, 작동실(30)의 하부에는 유입구(1)가, 상부에는 토출구(2)가 마련된 작동부(10)와; 상기 다이어프램(20)이 설치된 가압실로 작동유체를 공급하여 다이어프램(20)의 탄성변형부(21)를 가압하는 가압부(50);를 포함하며, 상기 가압부(50)의 작동유체가 탄성변형부(21)를 가압함으로써, 탄성변형부가 작동실(30)을 가압하여 작동실(30)의 약액이 토출구(2)로 토출되게 함과 동시에, 공급되는 작동유체가 외부의 기온에 따라 온도 및 점도가 변화되고, 이에 일정한 토출량을 유지하지 못해 합착 불량을 야기하는 것을 사전에 방지할 수 항온장치(80)를 더 구비토록 한 것을 특징으로 한다.

Description

항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프{Liquid Medicine Supplying Pump Having the Function of Constant Temperature}

본 발명은 반도체 기기 제조 공정에서 반도체 웨이퍼 표면 등에 약액을 정밀하게 공급하기 위한 것이며, 공급되는 약액의 온도를 항시 사전설정된 온도가 유지되도록 제어하여, 약액이 온도변화에 따른 합착불량을 사전에 방지할 수 있도록 한 액정기판의 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프에 관한 것이다.

반도체 기기나 액정 기판 제조 공정에서는 포토레지스트 액과 같은 약액이 사용된다. 예를 들어, 반도체 기기 제조 공정에서 반도체 웨이퍼 표면에 포토레지스트 액을 적용하는 경우 반도체 웨이퍼가 수평면을 회전하는 상태에서 포토레지스트 액이 반도체 웨이퍼 상에 떨어진다. 포토레지스트 액의 적용에 사용되는 케미컬 리퀴드 공급 장치로서, 플렉시블 튜브가 장치 본체에 설치되고 팽창/수축 챔버가 플렉시블 튜브 내부에 형성되며 가압 챔버가 플렉시블 튜브 외부에 형성되는 특허 문헌 1에 개시된 바와 같은 형태의 펌프가 개발되었다. 이러한 형태의 펌프는 튜브 펌프라 한다.

이와 같은 케미컬 리퀴드 공급 장치에는, 일본 공개특허공보 제11-230048호(특허 문헌 1)에 개시된 바와 같이 장치 본체가 파이프나 튜브 소재로 구성되며 가압 매체가 외부 펌프에 의해 가압 챔버의 용적을 변화시키기 위하여 장치 본체와 플렉시블 튜브 사이에 형성된 가압 챔버로 공급되는 타입과, 플렉시블 튜브를 포함하는 장치 본체가 직경이 서로 다른 소형벨로우와 대형 벨로우를 구비하며 상기 벨로우들이 가압 챔버의 용적을 변화시키기 위하여 축 방향으로 변형되는 타입이 있다.

또한 각 타입에 있어서, 플렉시블 튜브를 펌프처럼 작동시키기 위하여 플렉시블 튜브를 팽창, 수축시킴에 따라 입구 측에서 형성된 액체의 흐름을 배출구에서 외부로 배출할 수 있다. 플렉시블 튜브는 특허 문헌 1에 개시된 것과 같은 플랫(flat)타입과 일본 공개특허공보 제2000-234589호에 개시된 실린더(cylindrical) 타입이 있으며, 플랫 타입에서는 플렉시블 튜브의 탄성 변형부에 형성된 타원 부위가 팽창하거나 수축하며, 실린더타입에서는 실린더형 탄성 변형부에 축방향으로 연장된 다수의 그루브가 형성되어 있다.

액체를 배출구에서 외부로 배출하기 위하여는 가압 챔버의 용적이 증가하며 플렉시블 튜브가 수축된다. 따라서 배출 속도를 일정하게 유지하기 위하여는 가압 챔버의 용적이 증가함에 따라 일정 비율로 플렉시블 튜브가 수축되는 것이 중요하다.

또한, 하나의 펌프에 의해서 배출되는 액체의 양을 증대시키기 위하여는 수축시 용적의 변화를 크게 하는 것이 중요하다.

즉, 전술한 바와 같이 탄성 변형부가 개략적으로 타원형인 플랫(flat) 플렉시블 튜브에서는, 탄성 변형부가 두개의 반원부와 반원부를 연결하기 위한 두개의 직선부를 포함하며, 액체를 배출하는 경우에 상기 직선부가 서로 접근할 수 있도록 탄성 변형되며, 이에 의하여 가압 챔버의 용적이 증가함에 따라 플랫부를 일정 비율로 변형하는 것이 가능하다. 그러나, 플랫 플렉시블 튜브가 가압되어 수축되면 직선부가 서로 접촉하게 되어 비록 추가로 수축된다 하여도 수축되는 양과 배출되는양은 비례하지 않게 되며 이에 의하여 배출양이 부정확하게 된다. 또한, 긴 직선부를 포함하므로 외부에서 압력이 가해지면 두 반원부는 원주의 외측 방향으로 변형된다. 이때, 플랫부가 변형되어 수축되며 길이 방향으로 길이가 증가하게 된다.

따라서, 플랫부가 장치 본체 부위, 즉 플렉시블 튜브를 수용하는 용기와 접촉되지 않도록 장치 본체의 직경을 크게 할 필요가 있다.

한편 전술한 바와 같이, 탄성 변형부가 전체적으로 실린더 형으로 형성되고 축방향으로 연장된 다수의 그루브가 외주면에 형성된 플랫 튜브에 있어서는, 탄성 변형부를 수축하기 위하여 각 그루부가 원주의 내측으로 변형되기 때문에 네개의 아크형 부위가 짧을 수 있다. 따라서, 가압 챔버에 높은 압력이 적용되지 않으면 튜브가 수축, 변형되지 않을 수 있다. 그러나, 수축과 변형을 위하여 높은 압력이 적용되면 가압 챔버의 압력 변화율과 탄성 변형부의 변화율이 탄성 변형부의 변화에 따라 일정하지 않게 된다. 그 밖에도, 배출 정밀도는 하우징이나 하우징과 펌프 사이의 다른 소재의 압력 변형(pressure deformation)에 영향을 받게 된다. 따라서, 이와 같은 영향을 감소시키고 배출의 정밀도를 증가시키기 위하여는 가압 챔버에 작은 압력을 적용하는 것이 바람직하다.

배출 과정의 처음부터 끝까지 배출 비율을 일정하게 유지하도록 플렉시블 튜브를 변형시키기 위하여는, 플렉시블 튜브를 작은 압력에 의하여 변형시키는 것이 바람직하다. 그러나 플렉시블 튜브의 양 끝이 장치 본체의 연결부에 고정되어 있으며 더욱이 플렉시블 튜브가 불소 수지, 즉 실리콘 고무 등에 비하여 작은 연신율의 재질로 이루어져 있으므로 아크형 부위의 폭을 변화시켜 플렉시블 튜브를 변형시키기 위하여는 가압 챔버에 높은 압력을 적용하는 것이 필요하다. 이러한 압력은 플렉시블 튜브의 변형량에 따라서 변화할 뿐 아니라 플렉시블 튜브의 외측에 위치하는 장치 본체, 즉 하우징에도 전달되므로 그 결과 압력의 저하를 초래한다. 따라서, 가압 챔버의 압력 변화율과 탄성 변형부의 변화율이 일정하지 않게 되며, 이러한 변화율은 플렉시블 튜브의 변형량에 따라서 변화하게 된다. 펌프 배출 과정의 처음에서 끝까지 전 과정을 통하여 플렉시블 튜브를 변형시키는데 필요한 압력 변화율이 상이하면, 모든 액체 배출 과정을 통하여 배출 비율이 일정하지 않게되며 배출 정밀도도 악화된다.

더불어, 이러한 약액을 공급함에 있어서, 변화되는 외부의 기온에 따라, 토출공급되는 약액의 온도가 달라짐에 따라 점도가 변화되어 공급되는데, 이는 결국 토출량의 변화로 이어져 약액 과다 도포 또는 도포시 약액 부족으로 인해 액정기판과 윈도우간 합착불량을 발생시키는 원인이 되었다.

물론, 이러한 문제를 해결하기 위해 기존에도 항온을 위한 기술이 적용되었으나, 기존에는 간접 취부방식으로 항온 성능이 매우 미비하여 외부 온도 변화에 따른 토출량이 변경되는 문제는 해결하지 못하였다.

일본 공개특허공보 제2000-234589호

본 발명의 목적은 액정기판 등에 포토레지스트(약액)을 정밀하게 공급하기 위한 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프를 제공하려는데 있다.

또한, 본 발명은 토출공급되는 약액을 사전설정된 온도로 항시 유지시킴으로써, 외부의 온도변화에 따라 약액의 온도도 변화되어, 변화된 점성에 의해 정확한 양을 정밀하게 토출하지 못하고 토출량이 변경됨에 따라, 약액의 사용되는 분야의 합착불량을 야기하는 것을 사전에 방지할 수 있도록 한 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프를 제공하려는데 있다.

본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 수단으로서, 다이어프램(20)에 의해 가압실과 작동실(30)이 구분되고, 작동실(30)의 하부에는 유입구(1)가, 상부에는 토출구(2)가 마련된 작동부(10)와; 상기 다이어프램(20)이 설치된 가압실로 작동유체를 공급하여 다이어프램(20)의 탄성변형부(21)를 가압하는 가압부(50);를 포함하며, 상기 가압부(50)의 작동유체가 탄성변형부(21)를 가압함으로써, 탄성변형부가 작동실(30)을 가압하여 작동실(30)의 약액이 토출구(2)로 토출되게 하고, 상기 작동부(10)의 외측에 설치되어, 외부온도와 관계없이 작동유체의 온도를 사전설정온도로 항시 유지되도록 함으로써, 액정기판과 윈도우간 합착에 사용되는 작동유체가 외부온도에 따라 온도가 달라져 점도가 변화됨에 따라, 합착불량을 야기시키는 것을 사전에 방지할 수 있도록 하는 항온장치(80); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 다이어프램의 탄성변형부의 변화율이 일정할 수 있도록 작동유체의 공급방향이 약액의 공급방향과 직교되는 방향으로 공급되기 때문에 액정기판 등에 약액을 정밀하게 공급할 수 있다.

또한, 본 발명은 액정기판 등에 약액을 공급할 때 사용되는 작동유체에 포함된 기포를 제거함으로써 약액을 정밀하게 공급할 수 있다.

또한, 본 발명은 토출공급하는 약액의 온도가 외부온도에 관계없이 항시 사전설정된 온도를 유지함으로써, 온도변화에 따른 점도 변화에 의해 토출량이 상이해짐으로써, 합착불량을 야기시킴을 사전에 방지할 수 있는 효과가 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프의 사시도.
도 3은 도 1의 정면도.
도 4는 도 3의 A-A 단면도.
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 작동부와 가압부의 작동관계를 나타낸 일시예의 작동도.
도 7은 본 발명에 따른 항온장치의 미작동과 작동시에 따른 작동유체 온도변화 결과를 나타낸 일실시예의 실험 그래프.
도 8은 본 발명에 따른 항온장치의 미작동과 작동시에 따른 작동유체 도포시 결과를 나타낸 일실시예의 실험결과 사진.

본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", "제 2(second)"와 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.

본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래의 특징을 갖는다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하도록 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

본 발명에 따른 일실시예를 살펴보면, 다이어프램(20)에 의해 가압실과 작동실(30)이 구분되고, 작동실(30)의 하부에는 유입구(1)가, 상부에는 토출구(2)가 마련된 작동부(10)와; 상기 다이어프램(20)이 설치된 가압실로 작동유체를 공급하여 다이어프램(20)의 탄성변형부(21)를 가압하는 가압부(50);를 포함하며, 상기 가압부(50)의 작동유체가 탄성변형부(21)를 가압함으로써, 탄성변형부가 작동실(30)을 가압하여 작동실(30)의 약액이 토출구(2)로 토출되게 하고, 상기 작동부(10)의 외측에 설치되어, 외부온도와 관계없이 작동유체의 온도를 사전설정온도로 항시 유지되도록 함으로써, 액정기판과 윈도우간 합착에 사용되는 작동유체가 외부온도에 따라 온도가 달라져 점도가 변화됨에 따라, 합착불량을 야기시키는 것을 사전에 방지할 수 있도록 하는 항온장치(80);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 작동유체는 약액 공급방향과 직교되는 방향으로 공급되어 다이어프램(20)의 탄성변형부(21)를 변형시키는 것을 특징으로 한다,

또한, 상기 가압부(50)는 작동유체 공급부(51)로부터 작동유체를 공급받는 펌프실(71)과; 상기 펌프실(71) 및 가압실과 연결되어 피스톤(61)에 의해 펌프실(71)이 압축되면 작동유체를 펌프실(71)에서 가압실로 전달하는 복수개의 연결관(74,75,76);을 포함하고, 상기 복수개의 연결관(74,75,76) 중 적어도 하나는 가압실의 작동유체에 포함된 기포를 제거하기 위하여 경사지게 형성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 항온장치(80)는 작동부(10)의 외주연에 함몰형성되는 항온용 다이렉트 관로(81); 상기 다이렉트 관로(81)의 외부에 대응되며 체결되어, 관로를 밀폐하는 커버(82); 상기 커버(82)에 다이렉트 관로(81)와 연통되도록 설치되어, 다이렉트 관로(81)에 사전설정된 온도의 유체를 공급 및 배출하여 순환시킬 수 있도록 하는 공급부(83) 및 배출부(84);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이하, 도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프를 상세히 설명하도록 한다.

도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프는 작동부(10), 가압부(50), 항온장치(80)를 포함한다.

살펴보면, 본 발명에 따른 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프(이하, '펌프(100)'라 한다)는 액정기판(예컨대, LCD)에 약액(감광액(PR: Photo Resist)을 도포하는 방식 중 하나인 슬릿 코팅방식의 슬릿 형태의 노즐에 약액을 정밀하게 공급하기 위한 구성으로써, 작동부(10)와 가압부(50)를 포함한다.

슬릿 코팅방식은 길고 폭이 좁은 슬릿 형태의 노즐이 액정기판 위를 직선으로 이동하며 감광액을 분출하여 막을 형성 시키는 방식으로, 필요한 양만을 도포해 감광액 소모량을 획기적으로 줄이고, 스핀코팅 방식으로 불가능했던 대형 액정기판의 코팅에 이용된다. 액정기판의 대형화에 따른 노즐의 토출부의 유속 분균일을 해결하기 위하여 본 발명은 작동부(10)와 가압부(50)를 포함하는 구성들을 갖추고 있다.

구체적으로 상기 작동부(10)는 다이어프램(20)에 의해 가압실과 작동실(30)이 구분된다. 그리고 작동실(30)의 하부에는 유입구(1)가 형성되어 있고, 상부에는 토출구(2)가 형성되어 있다. 작동실(30)에는 유입구(1)를 통해 약액이 공급되며, 가압부(50)에 의해 다이어프램(20)이 작동되면 토출구(2)를 통해 약액이 토출된다.

여기서 다이어프램(20)은 탄성변형부(21)와 고정부(22)로 구성되며, 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이 고정부(22)는 타원형 기둥으로 형성되고, 탄성변형부(21)는 타원형 기둥의 일단에서 타원형 기둥의 내벽면측으로 만곡되어 바닥이 타원형 기둥의 바닥과 동일한 수평선상에 위치된 형태이다. 이러한 다이어프램(20)은 본 발명에서 제시한 형태 외에도 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 탄성변형부(21)는 작동유체에 의해 변형될 수 있다.

상기 가압부(50)는 상기 다이어프램(20)이 설치된 가압실로 작동유체를 공급하여 다이어프램(20)의 탄성변형부(21)를 가압하는 구성으로써, 작동유체 공급부(51)와 펌프실(71)과 연결관(74,75,76)을 포함하며, 그 밖에 작동유체에 포함된 기포 및 파티클은 액정기판에 약액의 정밀한 공급을 저해하는 인자이기 때문에 다이어프램(20)의 탄성변형부(21)를 정밀하게 가압하기 위하여 작동유체 내의 파티클 및 기포를 충분하게 제거하는 구성들을 갖추고 있다.

공급부(51)는 작동유체(예를들어 오일)를 펌프실(71)로 공급하기 위한 구성이고, 펌프실(71)은 피스톤(61)을 이용하여 공급된 작동유체를 가압실로 가압한다.

공급부(51)와 펌프실(71)의 사이에는 작동유체에 포함된 파티클과 기포를 제거하는 제거장치(52)가 구비된다. 따라서 공급부(51)에 포함된 파티클과 기포는 제거장치(52)에서 충분하게 제거된다.

펌프실(71)에서의 작동유체는 약액 공급방향과 직교되는 방향으로 공급되어 다이어프램(20)의 탄성변형부(21)를 약액 공급방향과 직교되게 변형시킨다. 그리고 복수개의 연결관(74,75,76)은 펌프실(71)의 수직 방향으로 간격을 두고 배치되되, 상기 제거장치(52)에 의해서도 미처 제거되지 않은 기포 및 파티클을 제거하기 위하여 적어도 하나는 가압실의 작동유체에 포함된 기포를 제거하기 위하여 경사지게 형성된다.

이와 같이 구성된 펌프(100)는 가압부(50)의 작동유체가 탄성변형부(21)를 정밀하게 가압함으로써, 탄성변형부가 작동실(30)을 정밀하게 가압하여 작동실(30)의 약액이 토출구(2)로 토출되게 하는 것을 특징으로 한다.

구체적으로는 공급부(51)로부터 작동유체(예를들어 오일)가 펌프실(71)로 이동된다. 이때 작동유체가 펌프실(71)로 이동되는 과정에서 작동유체에 포함된 이물질 및 기포가 제거된다. 그리고 펌프실(71)의 작동유체가 가압되지 않은 상태에서 연결관(74,75,76)을 통해 가압실까지 위치되는데 이때 연결관(74,75,76) 중 일부가 경사지게 형성되어 있기 때문에 작동유체에 포함된 기포가 제거되고, 피스톤(61)에 의해 작동유체가 가압실에 위치된 다이어프램(20)의 탄성변형부(21)를 가압하여 변형시키고 변형된 탄성변형부(21)에 의해 약액이 토출구(2)를 통해 토출된다.

이와 같이 작동유체가 다이어프램(20)의 탄성변형부(21)를 가압하고 또 가압해제함으로써, 탄성변형부(21)가 약액의 공급방향과 직교방향으로 가압되거나 가압해제되는 과정에서의 변형량이 일정하게 유지되기 때문에 정밀한 약액 투입이 가능하다.

또한, 상기 항온장치(80)는 전술된 작동부(10)의 외측(또는 작동실(30)의 외측)에 설치되는 것으로서, 토출공급되는 작동유체(약액)의 온도를 사용자가 사전설정한 온도로 항시 유지되도록 하여, 외부기온에 따라 이러한 약액의 온도 또한 변화되면서 점도가 변화되면, 이로 인해 작동유체를 정확한 양으로 토출제어하는 것이 어려워져(토출량이 변경) 작동유체 과다 도포 또는 도포시 작동유체 부족으로 액정기판과 윈도우간 합착 불량을 발생하는 것을 사전에 방지하고자 하는 것이다. (도 7 및 도 8에 실시예가 도시.)

다시말해, 작동유체를 외부 온도 변화와 상관없이 항온이 되도록 하는 것으로, 항상 일정한 온도로 유지를 시켜주어 정확한 양을 정밀하게 토출가능하게 하는 것이다.(약액 온도를 사전설정온도 ±1℃로 매울 정밀히 관리 제어)

이를 위한 항온장치(80)는 다이렉트 관로(81), 커버(82), 공급부(83), 배출부(84), 격벽(85)을 포함한다.

상기 다이렉트 관로(81)는 작동부(10)의 외주연에 소정폭을 가지는 링 형태로 함몰형성되는 공간을 의미하며, 이러한 다이렉트 관로(81)에 사전설정된 온도의 유체가 유입됨에 따라, 이러한 일정한 온도를 유체와 작동부(10) 내 작동유체 상호간의 온도를 동기화시키는 것이다.

상기 커버(82)는 전술된 다이렉트 관로(81)가 형성된 일면에 대응되며, 착탈가능하게 체결되는 것으로서, 이러한 다이렉트 관로(81)를 밀폐하여, 외부 누수가 안되도록 하기 위한 것이다.

상기 공급부(83) 및 배출부(84)는 전술된 커버(82)에 관통형성되어, 공급부(83)를 통해 다이렉트 관로(81)에 사전설정된 온도의 유체를 유입하고, 배출부(84)를 통해 외부로 배출시켜 순환되는 구조를 가지도록 한다.

또한, 사용자의 다양한 실시예에 따라, 원형의 링 형태 다이렉트 관로(81) 내부에 국부적으로 격벽(85)을 설치함으로써, 격벽(85)을 기준으로 격벽(85) 좌측에 공급부(83)를 형성하여 다이렉트 관로(81)에 유체가 유입되고, 격벽(85) 우측에 배출부(84)를 형성하여 다이렉트 관로(81)에서 유체가 배출되는 구조를 가지도록, 다이렉트 관로(81)에서 유체의 유입부분과 배출부분을 구획할 수도 있음이다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변경이 가능함은 물론이다.

1: 유입구 2: 토출구
10: 작동부 20: 다이어프램
21: 탄성변형부 30: 작동실
50: 가압부 51: 공급부
61: 피스톤 71: 펌프실
80: 항온장치 81: 다이렉트 관로
82: 커버 83: 공급부
83: 배출부 85: 덕트

Claims (4)

1. 다이어프램(20)에 의해 가압실과 작동실(30)이 구분되고, 작동실(30)의 하부에는 유입구(1)가, 상부에는 토출구(2)가 마련된 작동부(10)와;
   상기 다이어프램(20)이 설치된 가압실로 작동유체를 공급하여 다이어프램(20)의 탄성변형부(21)를 가압하는 가압부(50);를 포함하며,
   상기 가압부(50)의 작동유체가 탄성변형부(21)를 가압함으로써, 탄성변형부가 작동실(30)을 가압하여 작동실(30)의 약액이 토출구(2)로 토출되게 하고,
   상기 작동부(10)의 외측에 설치되어, 외부온도와 관계없이 작동유체의 온도를 사전설정온도로 항시 유지되도록 함으로써, 액정기판과 윈도우간 합착에 사용되는 작동유체가 외부온도에 따라 온도가 달라져 점도가 변화됨에 따라, 합착불량을 야기시키는 것을 사전에 방지할 수 있도록 하는 항온장치(80);
   를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 작동유체는 약액 공급방향과 직교되는 방향으로 공급되어 다이어프램(20)의 탄성변형부(21)를 변형시키는 것을 특징으로 하는 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프.
   
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
   상기 가압부(50)는
   작동유체 공급부(51)로부터 작동유체를 공급받는 펌프실(71)과;
   상기 펌프실(71) 및 가압실과 연결되어 피스톤(61)에 의해 펌프실(71)이 압축되면 작동유체를 펌프실(71)에서 가압실로 전달하는 복수개의 연결관(74,75,76);을 포함하고,
   상기 복수개의 연결관(74,75,76) 중 적어도 하나는 가압실의 작동유체에 포함된 기포를 제거하기 위하여 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프.
   
4. 제 1항에 있어서,
   상기 항온장치(80)는
   작동부(10)의 외주연에 함몰형성되는 항온용 다이렉트 관로(81);
   상기 다이렉트 관로(81)의 외부에 대응되며 체결되어, 관로를 밀폐하는 커버(82);
   상기 커버(82)에 다이렉트 관로(81)와 연통되도록 설치되어, 다이렉트 관로(81)에 사전설정된 온도의 유체를 공급 및 배출하여 순환시킬 수 있도록 하는 공급부(83) 및 배출부(84);
   를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프.

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