JP2000234589A - チューブポンプ - Google Patents
チューブポンプInfo
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- JP2000234589A JP2000234589A JP11036736A JP3673699A JP2000234589A JP 2000234589 A JP2000234589 A JP 2000234589A JP 11036736 A JP11036736 A JP 11036736A JP 3673699 A JP3673699 A JP 3673699A JP 2000234589 A JP2000234589 A JP 2000234589A
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- pump
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- fluororesin
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 可撓性チューブの局部的変形を防止するよう
にして、長寿命化と小型化を図ったチューブポンプを提
供する。 【解決手段】 筒体内に同軸的にフッ素樹脂チューブを
配置して、このフッ素樹脂チューブの内側をポンプ室、
外側を作動流体スペースとして構成されるチューブポン
プにおいて、フッ素樹脂チューブ１２は、径方向の変形
応力に対して相対的に変形しやすい部分となる溝２１ａ
〜２１ｄが周方向に９０°間隔で形成され、作動流体圧
による径方向の変形が均等に生じるようにした。
にして、長寿命化と小型化を図ったチューブポンプを提
供する。 【解決手段】 筒体内に同軸的にフッ素樹脂チューブを
配置して、このフッ素樹脂チューブの内側をポンプ室、
外側を作動流体スペースとして構成されるチューブポン
プにおいて、フッ素樹脂チューブ１２は、径方向の変形
応力に対して相対的に変形しやすい部分となる溝２１ａ
〜２１ｄが周方向に９０°間隔で形成され、作動流体圧
による径方向の変形が均等に生じるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、チューブポンプ
に係り、特に半導体装置や液晶装置の製造において、レ
ジスト塗布等に適用して有用なチューブポンプに関す
る。
に係り、特に半導体装置や液晶装置の製造において、レ
ジスト塗布等に適用して有用なチューブポンプに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】チューブポンプは、筒体内に同軸的に可
撓性チューブを配置して、可撓性チューブの内側をポン
プ室、外側を作動流体が供給される作動流体スペースと
して構成される。半導体装置や液晶装置の製造工程にお
いてレジスト塗布に用いられる液圧駆動のチューブポン
プ、特にレジスト液に接するディスペンサでは、可撓性
チューブの耐薬品性が要求されるため、通常可撓性チュ
ーブにはフッ素樹脂（ＰＦＡ）が用いられる。
撓性チューブを配置して、可撓性チューブの内側をポン
プ室、外側を作動流体が供給される作動流体スペースと
して構成される。半導体装置や液晶装置の製造工程にお
いてレジスト塗布に用いられる液圧駆動のチューブポン
プ、特にレジスト液に接するディスペンサでは、可撓性
チューブの耐薬品性が要求されるため、通常可撓性チュ
ーブにはフッ素樹脂（ＰＦＡ）が用いられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、フッ素樹脂チ
ューブは、天然ゴムや合成ゴムを用いたチューブと異な
り、大きな変形やスムーズな変位が得られない。このた
め、特にチューブの薄肉部に変形が集中し、この応力集
中により破損に至る等、寿命に大きな問題があった。ま
た、フッ素樹脂チューブの長さに対して径方向の変形量
の割合を小さく設計するためには、チューブの長さを大
きくすることが必要になり、チューブポンプが大型化す
るという問題もある。
ューブは、天然ゴムや合成ゴムを用いたチューブと異な
り、大きな変形やスムーズな変位が得られない。このた
め、特にチューブの薄肉部に変形が集中し、この応力集
中により破損に至る等、寿命に大きな問題があった。ま
た、フッ素樹脂チューブの長さに対して径方向の変形量
の割合を小さく設計するためには、チューブの長さを大
きくすることが必要になり、チューブポンプが大型化す
るという問題もある。
【０００４】この発明は、上記事情を考慮してなされた
もので、可撓性チューブの局部的変形を防止するように
して、長寿命化と小型化を図ったチューブポンプを提供
することを目的としている。
もので、可撓性チューブの局部的変形を防止するように
して、長寿命化と小型化を図ったチューブポンプを提供
することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、筒体内に同
軸的に可撓性チューブを配置して、この可撓性チューブ
の内外の一方をポンプ室、他方を作動流体が供給される
作動流体スペースとして構成されるチューブポンプにお
いて、前記可撓性チューブは、径方向の変形応力に対し
て相対的に変形しやすい部分と変形しにくい部分が周方
向に複数箇所ずつ交互に形成されていることを特徴とす
る。
軸的に可撓性チューブを配置して、この可撓性チューブ
の内外の一方をポンプ室、他方を作動流体が供給される
作動流体スペースとして構成されるチューブポンプにお
いて、前記可撓性チューブは、径方向の変形応力に対し
て相対的に変形しやすい部分と変形しにくい部分が周方
向に複数箇所ずつ交互に形成されていることを特徴とす
る。
【０００６】具体的にこの発明において、可撓性チュー
ブの変形しやすい部分として、チューブの外面で凹、内
面で凸となる複数の溝が周方向に均一分布をもって形成
される。或いは、可撓性チューブの変形しにくい部分と
して、チューブの内面で凹、外面で凸となる複数の溝が
周方向に均一分布をもって形成される。
ブの変形しやすい部分として、チューブの外面で凹、内
面で凸となる複数の溝が周方向に均一分布をもって形成
される。或いは、可撓性チューブの変形しにくい部分と
して、チューブの内面で凹、外面で凸となる複数の溝が
周方向に均一分布をもって形成される。
【０００７】この発明によると、可撓性チューブの液圧
駆動による径方向への変形応力が、変形しやすい部分と
変形しにくい部分の交互配置によって周方向に平均的に
分散されることになり、局部的に薄肉部があったとして
も局部的な変形の集中が抑制される。この結果、チュー
ブポンプの寿命は長くなる。また、局部的な径方向の大
きな変位が抑えられるため、その様な大きな変位を避け
るべく長手方向寸法を大きくするという必要はなくな
り、従ってポンプの小型化が図られる。
駆動による径方向への変形応力が、変形しやすい部分と
変形しにくい部分の交互配置によって周方向に平均的に
分散されることになり、局部的に薄肉部があったとして
も局部的な変形の集中が抑制される。この結果、チュー
ブポンプの寿命は長くなる。また、局部的な径方向の大
きな変位が抑えられるため、その様な大きな変位を避け
るべく長手方向寸法を大きくするという必要はなくな
り、従ってポンプの小型化が図られる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施例を説明する。図１はこの発明の実施例によるチ
ューブポンプを一部切開して示す図である。ポンプ本体
１は、筒体１１内の円柱状空間に可撓性チューブとして
フッ素樹脂チューブ１２を同軸的に配置して、このフッ
素樹脂チューブ１２の内側を移送されるべきレジスト液
の通路（即ちポンプ室）１３とし、外側を作動流体が封
入される作動流体スペース１４として構成されている。
の実施例を説明する。図１はこの発明の実施例によるチ
ューブポンプを一部切開して示す図である。ポンプ本体
１は、筒体１１内の円柱状空間に可撓性チューブとして
フッ素樹脂チューブ１２を同軸的に配置して、このフッ
素樹脂チューブ１２の内側を移送されるべきレジスト液
の通路（即ちポンプ室）１３とし、外側を作動流体が封
入される作動流体スペース１４として構成されている。
【０００９】筒体１１の側面に開けられて作動流体スペ
ース１４に通じる連結口には、シリンダー１５が連結さ
れ、その内部にベローズ式ピストン１６が配置されてい
る。シリンダー１５から作動流体スペース１４に封入さ
れた作動流体を、ピストン１６により駆動することで、
流体圧力でフッ素樹脂チューブ１２が径方向に変形し、
レジスト液を移送することになる。ピストン１６を駆動
するのが、アクチュエータ２である。
ース１４に通じる連結口には、シリンダー１５が連結さ
れ、その内部にベローズ式ピストン１６が配置されてい
る。シリンダー１５から作動流体スペース１４に封入さ
れた作動流体を、ピストン１６により駆動することで、
流体圧力でフッ素樹脂チューブ１２が径方向に変形し、
レジスト液を移送することになる。ピストン１６を駆動
するのが、アクチュエータ２である。
【００１０】図２（ａ），（ｂ）は、フッ素樹脂チュー
ブ１２の具体的な構造を示す斜視図と断面図である。フ
ッ素樹脂チューブ１２には、チューブ外面で凹、内面で
凸となる、長手方向に延びる溝２１ａ〜２１ｄが周方向
に９０°間隔で形成されている。チューブ厚はほぼ一定
であるとする。
ブ１２の具体的な構造を示す斜視図と断面図である。フ
ッ素樹脂チューブ１２には、チューブ外面で凹、内面で
凸となる、長手方向に延びる溝２１ａ〜２１ｄが周方向
に９０°間隔で形成されている。チューブ厚はほぼ一定
であるとする。
【００１１】この実施例によるフッ素樹脂チューブ１２
は、溝２１ａ〜２１ｄの部分が径方向の内側に変形し易
い状態になっている。従ってフッ素樹脂チューブ１２の
外面に作動流体圧力が作用すると、図３（ａ）（ｂ）に
変形前後のチューブ断面を示したように、溝２１ａ〜２
１ｄの部分が変形を誘導することになる。言い換えれ
ば、フッ素樹脂チューブ１２に外面から作用する径方向
への変形は、溝２１ａ〜２１ｄによって周方向に平均的
に分散される結果となる。これにより、フッ素樹脂チュ
ーブの局部的な変形が防止され、長寿命化が図られる。
また、局部的な大きな変形が抑えられるため、チューブ
ポンプの小型化が可能であり、更にストレートのチュー
ブの場合に比べて径方向の変形量が大きくなるため、作
動流体圧力も低圧化できる。
は、溝２１ａ〜２１ｄの部分が径方向の内側に変形し易
い状態になっている。従ってフッ素樹脂チューブ１２の
外面に作動流体圧力が作用すると、図３（ａ）（ｂ）に
変形前後のチューブ断面を示したように、溝２１ａ〜２
１ｄの部分が変形を誘導することになる。言い換えれ
ば、フッ素樹脂チューブ１２に外面から作用する径方向
への変形は、溝２１ａ〜２１ｄによって周方向に平均的
に分散される結果となる。これにより、フッ素樹脂チュ
ーブの局部的な変形が防止され、長寿命化が図られる。
また、局部的な大きな変形が抑えられるため、チューブ
ポンプの小型化が可能であり、更にストレートのチュー
ブの場合に比べて径方向の変形量が大きくなるため、作
動流体圧力も低圧化できる。
【００１２】なお上記実施例において、フッ素樹脂チュ
ーブ１２に形成される溝２１ａ〜２１ｄの形状は、具体
的には、図４（ａ）に示すようなＶ字状溝でもよいし、
或いは図４（ｂ）に示すような所定曲率を持つ半円形状
の溝でもよい。
ーブ１２に形成される溝２１ａ〜２１ｄの形状は、具体
的には、図４（ａ）に示すようなＶ字状溝でもよいし、
或いは図４（ｂ）に示すような所定曲率を持つ半円形状
の溝でもよい。
【００１３】図５（ａ），（ｂ）は、別の実施例による
チューブポンプのフッ素樹脂チューブ１２の断面形状
を、図２（ｂ）に対応させて示している。図５（ａ）の
実施例の場合、フッ素樹脂チューブ１２には、先の実施
例とは逆に、チューブ内面に、長手方向に延びる溝２１
ａ〜２１ｄが外面で凸となるように、周方向に９０°間
隔で形成されている。この実施例の場合、溝２１ａ〜２
１ｄは、外側からの径方向の変形応力に対して、他の部
分より相対的に変形しにくい部分となっている。従っ
て、作動流体圧がかかったとき、先の実施例と逆に溝２
１ａ〜２１ｄの間が変形を誘導することになり、結果的
に先の実施例と同様に径方向の変形が周方向に均等に分
散される。
チューブポンプのフッ素樹脂チューブ１２の断面形状
を、図２（ｂ）に対応させて示している。図５（ａ）の
実施例の場合、フッ素樹脂チューブ１２には、先の実施
例とは逆に、チューブ内面に、長手方向に延びる溝２１
ａ〜２１ｄが外面で凸となるように、周方向に９０°間
隔で形成されている。この実施例の場合、溝２１ａ〜２
１ｄは、外側からの径方向の変形応力に対して、他の部
分より相対的に変形しにくい部分となっている。従っ
て、作動流体圧がかかったとき、先の実施例と逆に溝２
１ａ〜２１ｄの間が変形を誘導することになり、結果的
に先の実施例と同様に径方向の変形が周方向に均等に分
散される。
【００１４】図５（ｂ）の実施例では、フッ素樹脂チュ
ーブ１２の外面に凸となる線条部２２ａ〜２２ｄを周方
向に９０°間隔で形成している。この実施例の場合、チ
ューブ厚は一定ではなく、線条部２２ａ〜２２ｄが厚肉
となっている。従って溝は形成されないが、図５（ａ）
の実施例と同様に、凸状の線条部２２ａ〜２２ｄは他の
部分に比べて相対的に変形しにくい箇所となる。これに
より、径方向の変形が周方向に均等に分散される。図に
は示さないが、図５（ｂ）と逆に、チューブ内面に凸と
なる線条部を形成しても同様である。これらの実施例に
よっても、先の実施例と同様の効果が得られる。
ーブ１２の外面に凸となる線条部２２ａ〜２２ｄを周方
向に９０°間隔で形成している。この実施例の場合、チ
ューブ厚は一定ではなく、線条部２２ａ〜２２ｄが厚肉
となっている。従って溝は形成されないが、図５（ａ）
の実施例と同様に、凸状の線条部２２ａ〜２２ｄは他の
部分に比べて相対的に変形しにくい箇所となる。これに
より、径方向の変形が周方向に均等に分散される。図に
は示さないが、図５（ｂ）と逆に、チューブ内面に凸と
なる線条部を形成しても同様である。これらの実施例に
よっても、先の実施例と同様の効果が得られる。
【００１５】上記実施例では、変形しやすい部分或いは
変形しにくい部分を、チューブの周方向に９０°間隔で
４箇所設けたが、１２０°間隔で３箇所、或いは６０°
間隔で６箇所等、他の均等配置構造を採用することもで
きる。また溝や凸は、チューブの長手方向に連続的では
なくてもよく、不連続的に複数個配列することもでき
る。
変形しにくい部分を、チューブの周方向に９０°間隔で
４箇所設けたが、１２０°間隔で３箇所、或いは６０°
間隔で６箇所等、他の均等配置構造を採用することもで
きる。また溝や凸は、チューブの長手方向に連続的では
なくてもよく、不連続的に複数個配列することもでき
る。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、可
撓性チューブに、変形しやすい部分と変形しにくい部分
を周方向に交互に形成することにより局部的変形を防止
するようにして、長寿命化と小型化を図ったチューブポ
ンプを均等に提供することができる。
撓性チューブに、変形しやすい部分と変形しにくい部分
を周方向に交互に形成することにより局部的変形を防止
するようにして、長寿命化と小型化を図ったチューブポ
ンプを均等に提供することができる。
【図１】 この発明の実施例によるチューブポンプを示
す図である。
す図である。
【図２】 同実施例のポンプに用いられるフッ素樹脂チ
ューブを示す図である。
ューブを示す図である。
【図３】 同実施例のフッ素樹脂チューブの変形の様子
を示す図である。
を示す図である。
【図４】 同実施例のフッ素樹脂チープの溝形状の例を
示す図である。
示す図である。
【図５】 他の実施例のポンプに用いられるフッ素樹脂
チューブを示す図である。
チューブを示す図である。
１…ポンプ本体、１１…筒体、１２…フッ素樹脂チュー
ブ、１３…ポンプ室、１４…作動流体スペース、１５…
シリンダー、１６…ピストン、２…アクチュエータ、２
１ａ〜２１ｄ…溝。
ブ、１３…ポンプ室、１４…作動流体スペース、１５…
シリンダー、１６…ピストン、２…アクチュエータ、２
１ａ〜２１ｄ…溝。
Claims (3)
- 【請求項１】 筒体内に同軸的に可撓性チューブを配置
して、この可撓性チューブの内外の一方をポンプ室、他
方を作動流体が供給される作動流体スペースとして構成
されるチューブポンプにおいて、 前記可撓性チューブは、径方向の変形応力に対して相対
的に変形しやすい部分と変形しにくい部分が周方向に複
数箇所ずつ交互に形成されていることを特徴とするチュ
ーブポンプ。 - 【請求項２】 前記変形しやすい部分として、チューブ
外面で凹、チューブ内面で凸となる複数の溝が周方向に
均一分布をもって形成されていることを特徴とする請求
項１記載のチューブポンプ。 - 【請求項３】 前記変形しにくい部分として、チューブ
内面で凹、チューブ外面で凸となる複数の溝が周方向に
均一分布をもって形成されていることを特徴とする請求
項１記載のチューブポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11036736A JP2000234589A (ja) | 1999-02-16 | 1999-02-16 | チューブポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11036736A JP2000234589A (ja) | 1999-02-16 | 1999-02-16 | チューブポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000234589A true JP2000234589A (ja) | 2000-08-29 |
Family
ID=12478029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11036736A Pending JP2000234589A (ja) | 1999-02-16 | 1999-02-16 | チューブポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000234589A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006266250A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-10-05 | Saginomiya Seisakusho Inc | 定量送液ポンプ |
| JP2010196689A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Inax Corp | ポンプユニット、ポンプ及びポンプ装置 |
| JP2010203400A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Inax Corp | ポンプユニット、ポンプ及びポンプ装置 |
| US7806668B2 (en) | 2003-09-11 | 2010-10-05 | Koganei Corporation | Flexible tube for supplying chemical liquid |
| JP2013174139A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-09-05 | Chuo Univ | ポンプユニット |
| JP2013174136A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-09-05 | Chuo Univ | ポンプユニット |
| JP2016109107A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-20 | 学校法人 中央大学 | ポンプユニット及び固液分離装置 |
| KR20170004820A (ko) | 2015-07-01 | 2017-01-11 | 주식회사 제이스텍 | 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프 |
| JP2017166521A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | 住友ゴム工業株式会社 | ゴムチューブおよびその作製方法 |
| WO2018056378A1 (ja) * | 2016-09-21 | 2018-03-29 | 学校法人 中央大学 | 筒ユニット及び搬送装置 |
| JP2018053755A (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 学校法人 中央大学 | 管体 |
| JP2020036824A (ja) * | 2018-09-05 | 2020-03-12 | 住友ベークライト株式会社 | 生体組織接着剤塗布用具 |
| US10975973B2 (en) | 2016-09-21 | 2021-04-13 | Solaris Inc. | Tube unit and transport apparatus |
| US12018672B2 (en) | 2021-03-24 | 2024-06-25 | Idex Health And Science Llc | Precision volumetric pump with a bellows hermetic seal |
-
1999
- 1999-02-16 JP JP11036736A patent/JP2000234589A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7806668B2 (en) | 2003-09-11 | 2010-10-05 | Koganei Corporation | Flexible tube for supplying chemical liquid |
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| JP2010196689A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Inax Corp | ポンプユニット、ポンプ及びポンプ装置 |
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| JP2013174139A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-09-05 | Chuo Univ | ポンプユニット |
| JP2013174136A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-09-05 | Chuo Univ | ポンプユニット |
| JP2016109107A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-20 | 学校法人 中央大学 | ポンプユニット及び固液分離装置 |
| KR20170004820A (ko) | 2015-07-01 | 2017-01-11 | 주식회사 제이스텍 | 항온기능이 구비된 액정기판의 약액 공급용 펌프 |
| JP2017166521A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | 住友ゴム工業株式会社 | ゴムチューブおよびその作製方法 |
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| JP2018053755A (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 学校法人 中央大学 | 管体 |
| JP2020036824A (ja) * | 2018-09-05 | 2020-03-12 | 住友ベークライト株式会社 | 生体組織接着剤塗布用具 |
| US12018672B2 (en) | 2021-03-24 | 2024-06-25 | Idex Health And Science Llc | Precision volumetric pump with a bellows hermetic seal |
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