JP3519364B2 - ベローズポンプ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、交互に伸縮駆動さ
れる一対のベローズを用いて液体の移送を行うベローズ
ポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体ウェハの洗浄等に使用
される液体噴射用ポンプとして、例えば、本出願人によ
る実開平３−１０２０７８号として開示されたような、
フッ素樹脂で作られたベローズを用いて液体の吸入と吐
出とを行うベローズポンプが知られている。図４は従来
のこの種のベローズポンプの外観を示す斜視図である。
このベローズポンプは、円板状のポンプヘッド５１と、
このポンプヘッド５１の両側に同軸配置された円筒状の
シリンダ５２ａ，５２ｂと、更にその両側に配置された
シリンダヘッド５３ａ，５３ｂとを備えている。ポンプ
ヘッド５１には、移送すべき液体の吸込口５４及び吐出
口５５が連結されている。また、シリンダヘッド５３
ａ，５３ｂの側面には、内部に装着されたベローズを往
復駆動するための気体、例えばエアーを供給するエアー
供給口５６ａ，５６ｂが設けられている。

【０００３】図５は、このベローズポンプの内部の構造
を示す縦断面図である。シリンダ５２ａ，５２ｂ内のポ
ンプヘッド５１の両面には、一対のベローズ６１ａ，６
１ｂが装着されている。このベローズ６１ａ，６１ｂ
は、全体が有底円筒状で、開口側が環状の取付部６２
ａ，６２ｂを形成してポンプヘッド５１に密着し、ま
た、底部が円板状の可動板６３ａ，６３ｂを構成し、こ
れらが蛇腹構造の伸縮部６４ａ，６４ｂを介して一体的
に連結されたもので、このベローズ６１ａ，６１ｂとポ
ンプヘッド５１とで２つの密閉された可変容量の円筒状
のポンプ室６５ａ，６５ｂを形成している。ポンプヘッ
ド５１には、液体の吸込口５４に連通する吸込側バルブ
ユニット６６ａ，６６ｂと、同液体の吐出口５５に連通
する吐出側バルブユニット６７ａ，６７ｂとが装着され
ている。

【０００４】シリンダヘッド５３ａ，５３ｂは、シリン
ダ５２ａ，５２ｂの両側を塞ぐシリンダヘッド本体７１
ａ，７１ｂと、このシリンダヘッド本体７１ａ，７１ｂ
の内部を塞ぐシリンダヘッドカバー７２ａ，７２ｂとか
ら構成されている。シリンダ５２ａ，５２ｂとシリンダ
ヘッド本体７１ａ，７１ｂとは、ベローズ６１ａ，６１
ｂの外側に密閉されたエアー室８１ａ，８１ｂを形成し
ている。シリンダヘッド本体７１ａ，７１ｂは、中心孔
を有し、この中心孔に軸受７３及びシール７４を介して
シリンダ５２ａ，５２ｂの中心軸に沿って延びるポンプ
シャフト７５ａ，７５ｂが挿通されている。ポンプシャ
フト７５ａ，７５ｂの内側の端部は、ベローズ６１ａ，
６１ｂの可動板６３ａ，６３ｂにそれぞれ連結され、外
側の端部は、連結板７６ａ，７６ｂにそれぞれ連結され
ている。連結板７６ａ，７６ｂの上下端は、連結シャフ
ト７７ａ，７７ｂによって互いに連結されている。連結
シャフト７７ａ，７７ｂは、シリンダヘッド本体７１
ａ，７１ａｂ間に懸架された円筒状のシャフトカバー７
８ａ，７８ｂの内部に軸方向に摺動自在に収容されてい
る。

【０００５】また、図４に示すように、シリンダヘッド
本体７１ａ，７１ｂには、シリンダ５２ａ，５２ｂの中
心軸方向に向かって左右に張り出したフランジ部７９
ａ，７９ｂが形成されている。このフランジ部７９ａ，
７９ｂの間は、例えば４本のスタッドボルト８２で連結
されており、これによってシリンダヘッド本体７１ａ，
７１ｂの間に、シリンダ５２ａ，５２ｂ、ベローズ６１
ａ，６１ｂの取付部６２ａ，６２ｂの端部及びポンプヘ
ッド５１が挟持されて固定されている。

【０００６】この構成のベローズポンプでは、エアー供
給口５６ａからエアー室８１ａ，８１ｂに交互にエアー
を供給すると、ベローズ６１ａ，６１ｂが交互に伸縮を
繰り返すので、吸込口５４から吸込側バルブユニット６
６ａ，６６ｂを介してポンプ室６５ａ，６５ｂの内部に
移送流体が導入され、ポンプ室６５ａ，６５ｂに導入さ
れた流体が吐出側バルブユニット６７ａ，６７ｂを介し
て吐出口５５から吐出するポンプ動作を繰り返す。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このように構成された
ベローズポンプでは、薬液の移送等を考慮して、ベロー
ズ６１ａ，６１ｂ及びポンプヘッド５１に、ＰＴＦＥ
（ポリテトラフルオロエチレン）のような耐腐食性樹脂
を使用することが多い。しかしＰＴＦＥは潤滑性が高い
ため、ベローズ６１ａ，６１ｂとポンプヘッド５１との
結合部がポンプの振動や熱の影響でクリープし、シール
性が損なわれることがある。そこで、従来は、十分なシ
ール性を確保するために、シリンダヘッド間を連結する
スタッドボルト８２の増締めが必要であり、部材の変形
を招くおそれがあった。

【０００８】また、上述した従来のベローズポンプで
は、シリンダヘッド７１ａ，７１ｂ、シリンダ５２ａ，
５２ｂ、ベローズ６１ａ，６１ｂ、ポンプヘッド５１と
いう、計７つの部品が、軸方向に重ね合わされてポンプ
が構成されているので、それぞれの寸法誤差やはめ合い
具合によって、ポンプ軸のセンター出しが不十分となっ
たり、部材間にねじれを生じるという問題があった。こ
のため、シャフトカバー７８ａ，７８ｂと連結シャフト
７７ａ，７７ｂの中心軸が一致せず、両者が擦れ合って
摺動抵抗が増大し、且つ摩耗粉（パーティクル）の発生
原因となるという問題があった。

【０００９】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたもので、スタッドボルトの増締めを必要とす
ることがなく、ベローズシール部の安定したシール性能
を長期間維持することができるベローズポンプを提供す
ることを第１の目的とする。また、本発明は、ポンプ軸
の良好なセンター出し、組立時のねじれ防止を図れるよ
うにしたベローズポンプを提供することを第２の目的と
する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明に係るベローズポ
ンプは、円板状のポンプヘッドと、このポンプヘッドの
両側に互いの開口側が向き合うように添設されて内部に
ポンプ室をそれぞれ形成すると共に軸方向にそれぞれが
伸縮可能な有底円筒状の一対のベローズと、前記一対の
ベローズを内部にそれぞれ収容するように前記ベローズ
に対して同軸的に配置され、互いに向かい合う端部で前
記ポンプヘッドと前記ベローズの結合部をシール部を形
成するように両側から挟持する円筒状の一対のシリンダ
と、これら一対のシリンダの前記ポンプヘッドとは反対
側の開口部をそれぞれ閉塞して、前記シリンダと共に前
記ベローズの外側に気体室をそれぞれ形成する一対のシ
リンダヘッドと、これらシリンダヘッドを互いに連結す
るシリンダヘッド連結手段と、前記一対のシリンダヘッ
ドをそれぞれ前記シリンダの中心軸に沿って気密且つ摺
動自在に貫通し各一端が前記一対のベローズの各底部に
それぞれ連結された一対のポンプシャフトと、これら一
対のポンプシャフトの他端を一定の距離を保って連結す
るシャフト連結手段と、前記ポンプ室内で前記ポンプヘ
ッドに装着されて、移送流体の吸込口から前記ポンプ室
に前記移送流体を導くと共に、前記ポンプ室から移送流
体の吐出口へ前記移送流体を導くバルブユニットとを備
えたベローズポンプにおいて、前記シリンダが、前記ポ
ンプヘッドとベローズの結合部の外周側を覆う開口縁部
を有するものであることを特徴とする。

【００１１】本発明によれば、ポンプヘッドとベローズ
の結合部を両側から挟持するシリンダの端部に、上記結
合部を外周側から覆う開口縁部を有するものであるた
め、ポンプヘッドとベローズとは、径方向の移動を、シ
リンダの開口縁部によって拘束される。このため、ポン
プの振動や熱の影響等によってもポンプヘッドとベロー
ズとの結合部を構成する部材が移動することがなく、ス
タッドボルト等の増締めを行うことなしに、常に安定し
たシール性能を維持することができる。また、ポンプヘ
ッドとベローズは、径方向の位置を規制されているの
で、これら部材とシリンダとのセンター出し精度が増
す。これらの結果、ベローズの往復運動によって発生す
るシール部への応力振幅に対する余裕度が増すので、ポ
ンプのストローク数を高めて、ポンプの更なる高速化を
図ることができる。

【００１２】本発明の好ましい実施の形態においては、
前記一対のシリンダの互いに向かい合う端部に、一方を
凸形状、他方を凹形状として、互いに嵌合する凹凸部を
形成している。このような構成とすれば、凹凸部によっ
てシリンダの周方向の相対位置が一義的に決定されるの
で、ポンプ組み付け時に、周方向のねじれが生じること
はない。このようにセンター出し、ねじれ防止を図るこ
とにより、ポンプの摺動抵抗を低減し、ポンプの高速
化、コンパクト化を図ることができる。

【００１３】また、本発明の更に好ましい形態において
は、前記シリンダと前記シリンダヘッドとが一体に形成
されてハウジングを形成している。このように、シリン
ダとシリンダヘッドとが一体に形成されていると、シリ
ンダとシリンダヘッドとの間のセンターズレも生じない
ので、更に精度の高いセンター出しを行うことができ
る。

【００１４】なお、前記一対のシリンダヘッド連結手段
は、例えば前記シリンダの周囲に前記シリンダの中心軸
と平行に配置された複数のスタッドボルトである。ま
た、前記シャフト連結手段は、例えば前記シリンダヘッ
ド間に前記シリンダの中心軸と平行に装着された複数の
シャフトカバーと、これらシャフトカバー内に軸方向に
摺動自在に収容された複数の連結シャフトと、これら連
結シャフトのそれぞれの端部を前記ポンプシャフトの各
他端と共に連結する連結体とを備えて構成することがで
きる。また、前記シリンダヘッドの前記ポンプシャフト
が摺動する部分に、フッ素樹脂からなるリップシールを
装着するようにすれば、更にポンプの摺動抵抗が低減し
て、ポンプの高速化を図ることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の好ましい実施の形態について説明する。図１は、この
発明の一実施例に係るベローズポンプの外観斜視図であ
る。このベローズポンプは、同軸的に連結配置された円
筒状のシリンダ部１ａ，１ｂ及びこれらシリンダ部１
ａ，１ｂの各軸方向外側に配置されたシリンダヘッド部
２ａ，２ｂが一体化してなるハウジング３ａ，３ｂを備
える。このハウジング３ａ，３ｂの合わせ目の部分の内
側には、この図では図示しないポンプヘッドが配置され
ており、このポンプヘッドには、移送すべき液体の吸込
口４及び吐出口５が連結されている。また、シリンダヘ
ッド部２ａ，２ｂの側面には、内部に装着されたベロー
ズを往復駆動するための気体、例えばエアーを供給する
エアー供給口６ａ，６ｂが設けられている。シリンダヘ
ッド部２ａ，２ｂの外側は、ヘッドカバー７ａ，７ｂに
よって覆われている。

【００１６】図２は、このベローズポンプの内部の構造
を示す縦断面図である。ハウジング３ａ，３ｂの合わせ
目の内側には、ＰＴＦＥ等で形成された円板状のポンプ
ヘッド１１がシリンダ部１ａ，１ｂと同軸的に配置され
ている。このポンプヘッド１１の両側には、軸方向にそ
れぞれが伸縮可能なＰＴＦＥ等で形成された一対の有底
円筒状のベローズ１２ａ，１２ｂが、互いの開口側が向
き合うように配置され、内部にポンプ室１３ａ，１３ｂ
をそれぞれ形成している。このベローズ１２ａ，１２ｂ
は、環状の取付部１４ａ，１４ｂと、底部の円板状の可
動板１５ａ，１５ｂと、これらを一体的に連結する蛇腹
構造の伸縮部１６ａ，１６ｂからなる。環状の取付部１
４ａ，１４ｂには、その前端面の外周側に２段の溝１４
ｃが形成され、内周部に内ネジ１４ｄが形成されてい
る。対するポンプヘッド１１には、取付部１４ａ，１４
ｂの前端面の溝１４ｃと嵌合する２段の突起１１ａと、
内ネジ１４ｄと螺合する外ネジ１１ｂが形成されてい
る。両者は、内ネジ１４ｄと外ネジ１１ｂとによって結
合され、溝１４ｃと突起１１ａとによって液体シールが
形成されている。ポンプヘッド１１には、液体の吸込口
４に連通する吸込ポート１８を交互に開閉する吸込側バ
ルブユニット１６ａ，１６ｂと、同液体の吐出口５に連
通する吐出ポート１９を交互に開閉する吐出側バルブユ
ニット１７ａ，１７ｂとが装着されている。

【００１７】ハウジング３ａ，３ｂのシリンダ部１ａ，
１ｂは、これら一対のベローズ１２ａ，１２ｂを内部に
それぞれ収容するようにベローズ１２ａ，１２ｂに対し
て同軸的に配置されている。シリンダ部１ａ，１ｂの互
いに向かい合う開口端部の外周部には、開口縁部１ｃ，
１ｄが形成されている。この外周縁部１ａ，１ｂの内径
は、ポンプヘッド１１の外径及びベローズ１２ａ，１２
ｂの取付部１４ａ，１４ｂの外径と適合する大きさに設
定されている。開口縁部１ｃ，１ｄの内周基端部に形成
された端面１ｅ，１ｆは、図１のシリンダヘッド部２
ａ，２ｂから外側に張り出した張り出し部８ａ，８ｂを
連結する４本のＰＴＦＥ製のスタッドボルト９の締付に
より、ポンプヘッド１１とベローズ１２ａ，１２ｂの結
合部を気体シール用のＯリング２０を介して両側から挟
持する。開口縁部１ｃ，１ｄは、ポンプヘッド１１とベ
ローズ１２ａ，１２ｂの結合部の外周側を覆って、これ
ら部材の径方向の移動を拘束する。なお、この開口縁部
１１ｃ，１１ｄには、図１に示すように、周方向の１又
は複数箇所に、凸部１ｇと凹部１ｈとが形成され、これ
ら凸部１ｇと凹部１ｈとが嵌合することで、周方向の位
置決めを行うようになっている。

【００１８】ハウジング３ａ，３ｂのシリンダヘッド部
２ａ，２ｂは、シリンダ部１ａ，１ｂと共に、ベローズ
１２ａ，１２ｂの外側に密閉されたエアー室２１ａ，２
１ｂを形成する。シリンダヘッド部２ａ，２ｂには、ポ
ンプの中心軸に沿って孔２２ａ，２２ｂが形成されてお
り、この孔２２ａ，２２ｂに軸受２３ａ，２３ｂが装着
され、この軸受２３ａ，２３ｂにポンプ軸に沿って摺動
自在にポンプシャフト２４ａ，２４ｂが挿通している。
ポンプシャフト２４ａ，２４ｂと孔２２ａ，２２ｂとの
間は、リップシール２５ａ，２５ｂによって気密にシー
ルされている。ポンプシャフト２４ａ，２４ｂのベロー
ズ１２ａ，１２ｂ側の端部は、取付板３１ａ，３１ｂを
介してベローズ１２ａ，１２ｂの可動板１５ａ，１５ｂ
と固定されている。ポンプシャフト２４ａ，２４ｂの反
対側の端部は、連結板３２ａ，３２ｂにボルト３３によ
って連結されている。連結板３２ａ，３２ｂは、シリン
ダ部１ａ，１ｂの外側上下位置において、連結シャフト
３４ａ，３４ｂを介してボルト３５によって相互に連結
されている。これら連結シャフト３４ａ，３４ｂは、シ
リンダヘッド部２ａ，２ｂ間に懸架されたシャフトカバ
ー３６ａ，３６ｂの内部に、軸方向に摺動自在に収容さ
れている。なお、図中３７ａ，３７ｂは、取付板３２
ａ，３２ｂの近接を検出する近接センサ、３８ａ，３８
ｂは、エアー室２１ａ，２１ｂ内の液漏れを検出する液
漏れセンサである。

【００１９】次に、このように構成された本実施例に係
るベローズポンプの動作を説明する。エアー供給口６ａ
にエアーを供給すると、エアー室２１ａの圧力が高まる
ので、ベローズ１２ａが縮長する。この縮長動作は、ポ
ンプシャフト２４ａから連結板３２ａ→連結シャフト３
４ａ，３４ｂ→連結板３２ｂ→ポンプシャフト２４ｂを
介してベローズ１２ｂに伝達され、ベローズ１２ｂが伸
長する。この動作で、吸込側バルブユニット１６ａが
閉、１６ｂが開、吐出側バルブユニット１７ａが開、１
７ｂが閉となるので、ポンプ室１３ａに導入された移送
液がバルブユニット１７ａ、吐出ポート１９を介して吐
出口５から吐出され、ポンプ室１３ｂには、吸込口４、
吐出ポート１８及びバルブユニット１６ｂを介して移送
液が導入される。近接センサ３７ｂが取付板３１ｂの近
接を検出するとエアー供給が停止される。

【００２０】続いて、エアー供給口６ｂにエアーが供給
される。これにより、エアー室２１ｂの圧力が高まるの
で、ベローズ１２ｂが縮長する。この縮長動作は、ポン
プシャフト２４ｂから連結板３２ｂ→連結シャフト３４
ａ，３４ｂ→連結板３２ａ→ポンプシャフト２４ａを介
してベローズ１２ａに伝達され、ベローズ１２ａが伸長
する。この動作で、吸込側バルブユニット１６ａが開、
１６ｂが閉、吐出側バルブユニット１７ａが閉、１７ｂ
が開となるので、ポンプ室１３ｂに導入された移送液が
バルブユニット１７ｂ、吐出ポート１９を介して吐出口
５から吐出され、ポンプ室１３ａには、吸込口４、吸込
ポート１８及びバルブユニット１６ａを介して移送液が
導入される。近接センサ３７ａが取付板３１ａの近接を
検出するとエアー供給が停止される。以上の動作を繰り
返すことにより、ポンプ動作が実現される。

【００２１】本実施例のベローズポンプによれば、ハウ
ジング３ａ，３ｂのシリンダ部１ａ，１ｂの開口端面
で、ポンプヘッド１１とベローズ１２ａ，１２ｂの取付
部１４ａ，１４ｂとを軸方向に挟持すると共に、開口縁
部１ｃ，１ｄを新たに設けて、ポンプヘッド１１とベロ
ーズ１２ａ，１２ｂの径方向の移動も拘束するようにし
たので、所望のシール性能を長期間維持することができ
ると共に、シリンダとシリンダヘッドとが一体化されて
いることと併せて、センター出しも正確に行うことがで
きる。また、開口縁部１ｃ，１ｄに設けた凸部１ｇと凹
部１ｈとが嵌合することによって、シリンダ部１ａ，１
ｂの周方向の位置も正確に決定することができる。

【００２２】なお、ポンプシャフト２４ａ，２４ｂのシ
ールに使用されるリップシール２５ａ，２５ｂは、例え
ば図３に示すように、環状部２５ｃと、その内周部に軸
方向および中心方向に斜めに延びるシール片２５ｄとを
一体に形成してなり、ポリアミド等の充填材入りのＰＴ
ＦＥを使用する。これにより、従来のゴム製シールに比
べて摩耗粉の発生を抑えることができる。

【００２３】また、ポンプの高速化を図るためには、ポ
ンプヘッド１１の吸込ポート１８及び吐出ポート１９の
内径を極力大きくして、ポンプ室１３ａ，１３ｂへ導入
される移送液の流速を低くして、ポンプ室１３ａ，１３
ｂの内圧を低減することにより、ポンプの寿命向上とポ
ンプの高速化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例に係るベローズポンプの外
観斜視図である。

【図２】 同ポンプの縦断面図である。

【図３】 同ポンプに使用されるリップシールの断面図
である。

【図４】 従来のベローズポンプの外観斜視図である。

【図５】 同ポンプの縦断面図である。

【符号の説明】

１ａ，１ｂ…シリンダ部、２ａ，２ｂ…シリンダヘッド
部、３ａ，３ｂ…ハウジング、４，５４…吐出口、５，
５５…吸込口、１１，５１…ポンプヘッド、１２ａ，１
２ｂ，５２ａ，５２ｂ…ベローズ、１３ａ，１３ｂ，６
５ａ，６５ｂ…ポンプ室、１６ａ，１６ｂ，６６ａ，６
６ｂ…吸込側バルブユニット、１７ａ，１７ｂ，６７
ａ，６７ｂ…吐出側バルブユニット、２１ａ，２１ｂ，
８１ａ，８１ｂ…エアー室、２４ａ，２４ｂ，７５ａ，
７５ｂ…ポンプシャフト、３２ａ，３２ｂ，７６ａ，７
６ｂ…連結板、３４ａ，３４ｂ，７７ａ，７７ｂ…連結
シャフト、５２ａ，５２ｂ…シリンダ、５３ａ，５３ｂ
…シリンダヘッド。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鬼塚 敏樹 埼玉県入間郡三芳町藤久保554 株式会 社イワキ内 (72)発明者 野島 隆司 埼玉県入間郡三芳町藤久保554 株式会 社イワキ内 (56)参考文献 特開 平10−89274（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−324926（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−296330（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−259774（ＪＰ，Ａ) 特開2000−213465（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−104193（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F04B 43/08 F04B 9/12 F04B 9/13 F04B 43/10

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円板状のポンプヘッドと、 このポンプヘッドの両側に互いの開口側が向き合うよう
   に添設されて内部にポンプ室をそれぞれ形成すると共に
   軸方向にそれぞれが伸縮可能な有底円筒状の一対のベロ
   ーズと、 前記一対のベローズを内部にそれぞれ収容するように前
   記ベローズに対して同軸的に配置され、互いに向かい合
   う端部で前記ポンプヘッドと前記ベローズの結合部をシ
   ール部を形成するように両側から挟持する円筒状の一対
   のシリンダと、 これら一対のシリンダの前記ポンプヘッドとは反対側の
   開口部をそれぞれ閉塞して、前記シリンダと共に前記ベ
   ローズの外側に気体室をそれぞれ形成する一対のシリン
   ダヘッドと、 これらシリンダヘッドを互いに連結するシリンダヘッド
   連結手段と、 前記一対のシリンダヘッドをそれぞれ前記シリンダの中
   心軸に沿って気密且つ摺動自在に貫通し各一端が前記一
   対のベローズの各底部にそれぞれ連結された一対のポン
   プシャフトと、 これら一対のポンプシャフトの他端を一定の距離を保っ
   て連結するシャフト連結手段と、 前記ポンプ室内で前記ポンプヘッドに装着されて、移送
   流体の吸込口から前記ポンプ室に前記移送流体を導くと
   共に、前記ポンプ室から移送流体の吐出口へ前記移送流
   体を導くバルブユニットとを備えたベローズポンプにお
   いて、 前記シリンダは、前記ポンプヘッドとベローズの結合部
   の外周側を覆う開口縁部を有するものであることを特徴
   とするベローズポンプ。
2. 【請求項２】 前記一対のシリンダの互いに向かい合う
   端部には、一方を凸形状、他方を凹形状として、互いに
   嵌合する凹凸部が形成されていることを特徴とする請求
   項１記載のベローズポンプ。
3. 【請求項３】 前記シリンダと前記シリンダヘッドと
   は、一体に形成されてハウジングを形成していることを
   特徴とする請求項１又は２記載のベローズポンプ。
4. 【請求項４】 前記一対のシリンダヘッド連結手段は、
   前記シリンダの周囲に前記シリンダの中心軸と平行に配
   置された複数のスタッドボルトであることを特徴とする
   請求項１〜３のいずれか１項記載のベローズポンプ。
5. 【請求項５】 前記シャフト連結手段は、 前記シリンダヘッド間に前記シリンダの中心軸と平行に
   装着された複数のシャフトカバーと、 これらシャフトカバー内に軸方向に摺動自在に収容され
   た複数の連結シャフトと、 これら連結シャフトのそれぞれの端部を前記ポンプシャ
   フトの各他端と共に連結する連結体とを備えてなるもの
   であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記
   載のベローズポンプ。
6. 【請求項６】 前記シリンダヘッドの前記ポンプシャフ
   トが摺動する部分に、フッ素樹脂からなるリップシール
   が装着されていることを特徴とする請求項１〜６のいず
   れか１項記載のベローズポンプ。