KR100867429B1 - 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅장치 및 코팅방법 - Google Patents

슬릿코터의 고점도 도포액 코팅장치 및 코팅방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅장치에 관한 것으로서, 도포액 저장탱크; 상기 도포액 저장탱크 내의 도포액을 공급관로를 통해 분사노즐 측으로 압송시키는 펌프; 상기 펌프 및 분사노즐의 작동을 제어하기 위한 제어부; 및 상기 공급관로의 압력을 측정하여 상기 제어부에 전송하고, 기설정 압력조건일 때 분사노즐이 토출 개방되도록 하는 압력 측정부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명은 슬릿코터의 도포액코팅이 이루어지기 전 단계에서 펌프를 작동시켜 공급관로 내부에 기설정 압력 이상의 예비 토출압이 형성되도록 함으로써, 고점도 도포액을 이용한 코팅작업 시, 분사노즐의 개방 및 작동과 동시에 도포액 토출이 이루어져 균일한 품질의 코팅표면을 얻게 되는 효과가 있다.
슬릿코터, 고점도 도포액, 분사노즐, 펌프

Description

슬릿코터의 고점도 도포액 코팅장치 및 코팅방법{DEVICE AND METHOD FOR COATING A SUBSTRATE}
도 1은 스핀리스코팅법에 의한 종래 슬릿코터의 개략적인 사시도.
도 2는 종래의 슬릿코터의 도포액 공급구조를 개략적으로 도시한 정면도.
도 3은 본 발명의 1실시 예에 따른 도포액코팅장치를 도시한 개략도.
도 4는 도 3의 코팅장치를 제어하기 위한 제어신호 계통도.
도 5는 본 발명의 2실시 예에 따른 도포액코팅장치를 도시한 개략도.
도 6은 도 5의 코팅장치를 제어하기 위한 제어신호 계통도.
도 7은 본 발명의 1실시 예에 따른 도포액코팅장치의 코팅방법을 설명하기 위한 흐름도.
도 8은 본 발명의 2실시 예에 따른 도포액코팅장치의 코팅방법을 설명하기 위한 흐름도.
<도면 주요부분에 대한 부호의 설명>
110: 도포액 탱크 111: 탱크밸브
130: 펌프 140: 공급관로
150: 압력측정부 151: 압력센서
153: 토출밸브 160: 제어부
170: 신호지연부 180: 분사노즐
190: 이송장치
본 발명은 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅장치 및 코팅방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 디바이스 또는 평판 디스플레이(FPD; flat panel display)의 제조공정에서는 피처리 기판(실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판)상의 특정 기능을 수행하는 박막, 예를 들면, 산화 박막, 금속 박막, 반도체 박막 등이 원하는 형상으로 패터닝(patterning)되도록 광원과 반응하는 감광액(sensitive material)을 상기 박막상에 도포하는 공정이 수행된다.
이처럼 피처리 기판의 박막에 소정의 회로패턴이 구현되도록 감광액을 도포하여 감광막을 코팅하고, 회로패턴에 대응하여 상기 감광막을 노광하며, 노광된 부위 또는 노광되지 않은 부위를 현상 처리하여 제거하는 일련의 과정을 사진공정 또는 포토리소그래피(Photolithography)공정이라 한다.
특히, 상기 사진공정에서는 감광막이 소정 두께로 균일하게 생성되어야 제조공정 중 불량이 발생되지 않는다. 예를 들어, 감광막이 기준치보다 두껍게 생성될 경우 박막 중 원하는 부분이 식각되지 않을 수 있고, 감광막이 기준치보다 얇게 생 성될 경우 박막이 원하는 식각량보다 더 많이 식각될 수 있다.
이처럼 피처리기판에 균일한 두께의 감광막을 생성하려면, 우선 피처리기판에 감광액을 균일한 두께로 도포하는 것이 중요하다.
이에 유리 기판의 경우, 기판을 정반(surface plate)에 지지한 상태에서, 기판을 가로지르는 방향으로 감광액을 배출하는 슬릿(slit)이 형성된 슬릿노즐을 상기 슬릿이 형성된 방향과 직교하는 방향으로 기판상에서 주행시키는 동시에 상기 슬릿을 통하여 기판 표면에 감광액을 도포하는 스핀리스코팅(spinless coating)법 또는 슬릿코팅(slit coating)법이 주로 사용된다.
도 1은 스핀리스코팅법에 의한 종래 슬릿코터의 개략적인 사시도 이고, 도 2는 종래의 슬릿코터의 도포액 공급구조를 개략적으로 도시한 정면도 이다.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 종래 슬릿코터는 감광액 처리될 기판(S)이 로딩되어 지지되는 정반(10)과, 상기 정반(10)상에 로딩된 기판(S)에 도포액 즉, 감광액을 도포하는 분사노즐(20)과, 상기 분사노즐(20)을 이송시키기 위한 이송장치(90)와, 상기 감광액을 저장하는 저장탱크(50) 및 상기 저장탱크(50)의 감광액을 공급관로(41)를 통해 분사노즐(20)로 토출시키기 위한 펌프(40)를 포함한다.
상기 분사노즐(20)은 정반(10)의 일측에서 대기하다가 제어부(60) 신호에 의해 이송장치(90)가 구동됨으로써, 기판(S)측으로 전진 이동하면서, 기판(S) 표면에 감광액이 도포되도록 하고, 상기 감광액 도포작업이 완료되고 나면, 정반(10) 일측으로 후진 이동하여 대기상태에 있게 된다.
이때, 상기 분사노즐(20)의 하부에는 감광액 도포작업이 진행되기 전에 회전롤러(31) 표면에 감광액이 사전 도포되도록 하기 위한 예비토출부(30)를 형성한다.
상기 종래기술에서 사용되는 감광액으로는 포토레지스트(PR: 이하 도포액이라 함)를 사용하게 되는데, 상기 도포액은 얇은 막으로 만들어 빛을 쐬면 내약품성(耐藥品性)이 큰 경질막(硬質膜)으로 변화하는 감광성 재료를 일컫는데, 주로 프린트 배선 기판, 집적 회로·고밀도 집적 회로의 제조, 신문 따위의 인쇄판 제작 등에 사용된다.
이러한, 도포액은 반도체 디바이스 또는 평판 디스플레이(FPD; flat panel display)의 제조공정에서 다양한 점도의 것이 사용될 수 있는데, 점도가 높을수록 공급관로(41) 내에서의 마찰저항에 따른 이동속도가 떨어지는 문제점이 있었다.
이러한, 종래기술의 슬릿코터를 이용해 고점도 도포액을 도포하게 될 경우, 도포개시위치에서 분사노즐의 이동과 도포액의 토출시점이 불일치되는 상황[이송장치(90)에 의해 분사노즐(20)이 작동되고 난 후에 분사노즐(20) 측에서의 도포액 분사작업이 이루어지게 됨]이 야기됨으로써, 코팅불량이 발생되는 문제가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 도포액의 점도에 관계없이 분사시점에서 정확하게 분사할 수 있도록 한 코팅장치 및 방법을 제공함에 있다.
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 1실시 예에 따른 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅장치는, 도포액 저장탱크; 상기 도포액 저장탱크 내의 도포액을 공급관로를 통해 분사노즐 측으로 압송시키는 펌프; 상기 펌프 및 분사노즐의 작동을 제어하기 위한 제어부; 및 상기 공급관로의 압력을 측정하여 상기 제어부에 전송하고, 기설정 압력조건일 때 분사노즐이 토출 개방되도록 하는 압력 측정부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 압력 측정부는, 상기 펌프와 분사노즐 사이의 공급관로 상에 설치되는 압력센서; 및 상기 분사노즐 측의 공급관로 끝단에 설치되어 상기 압력센서 측정 값이 기 설정 값을 충족하는 상태에서 제어부의 신호에 따라 공급관로를 개방하도록 된 토출밸브를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 펌프는, 분사노즐 측의 토출밸브가 닫혀진 상태에서 공급관로 내의 압력이 기설정 압력 이상이 될 때까지 압축행정이 진행되도록 하는 것이 바람직하다.
이때, 상기 기설정 압력은, 공급관로의 길이 및 공급관로 내의 도포액의 점도에 비례하여 결정되는 것이 바람직하다.
본 발명의 2실시 예에 따른 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅장치는, 도포액 저장탱크; 상기 도포액 저장탱크 내의 도포액을 공급관로를 통해 분사노즐 측으로 압송시키는 펌프; 상기 펌프 및 분사노즐의 작동을 제어하기 위한 제어부; 및 상기 제어부의 분사노즐 작동 신호를 기 설정된 시간까지 지연시키는 신호 지연부를 포함하는 구성으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 신호 지연부는, 공급관로의 길이 및 공급관로 내의 도포액의 점도에 비례하여 지연시간이 결정되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 1실시 예에 따른 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅방법은, 도포액 저장탱크 내의 도포액을 분사노즐 측으로 압송시키기 위해 펌프를 작동시키는 단계; 상기 분사노즐 측의 공급관로를 닫고 내부 압력을 측정하는 단계; 상기 측정압력과 기설정 압력을 비교하는 단계; 및 상기 비교결과 측정압력이 기 설정 압력 이상일 때, 토출밸브를 개방시켜 도포액을 토출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 공급관로 내부 압력을 측정하는 단계는 펌프와 분사노즐 사이의 공급관로 상에 압력센서를 설치하여 공급관로 내부의 압력이 측정되도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 기설정 압력은, 공급관로의 길이 및 공급관로 내의 도포액의 점도에 비례하여 결정되도록 하고, 상기 토출밸브를 통해 도포액을 토출시키는 단계는 분사노즐이 도포액 토출되는 동시에 이송장치에 의해 이송되도록하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 측정압력과 기설정 압력을 비교한 결과 측정압력이 기 설정 압력 이하일 경우, 공급관로 내부의 압력 측정값을 제어부에 피드백시켜 기설정 압 력 이상이 될 때까지 펌프의 압축행정을 지속하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 2실시 예에 따른 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅방법은, 도포액 저장탱크 내의 도포액을 분사노즐 측으로 압송시키기 위해 펌프를 작동시키는 단계; 상기 펌프의 작동신호와 더불어 분사노즐의 작동신호를 전송하는 단계; 상기 분사노즐 작동신호를 신호 지연부에서 받아 기 설정된 시간까지 신호를 지연시키는 단계; 상기 신호지연 시간이 기설정 시간인지를 체크하는 단계; 및 상기 체크결과 신호지연 시간이 기설정 시간인 경우, 분사노즐이 이송되도록하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 기설정 시간은, 공급관로의 길이 및 공급관로 내의 도포액의 점도에 비례하여 결정되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 신호지연 시간이 기설정 시간인지를 체크한 결과 신호지연 시간이 기설정 시간 이전인 경우, 상기 신호 지연부에서 기 설정 시간까지 계속해서 신호를 지연시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 실시 예에 따른 슬릿코터의 고점도 도포액 고팅장치 및 코팅방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 자세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 1실시 예에 따른 고점도 도포액 코팅장치를 도시한 개략도이고, 도 4는 도 3의 코팅장치를 제어하기 위한 제어신호 계통도이다.
동 도면에서 보는 바와 같은 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅장치는, 도포액이 저장되는 도포액 저장탱크(110)와, 상기 도포액 저장탱크(110) 내의 도포액을 공급관로(140)를 통해 분사노즐(180) 측으로 압송시키는 펌프(130)와, 상기 펌프(130) 및 분사노즐(180)의 작동을 제어하기 위한 제어부(160) 및 상기 공급관로(140)의 압력을 측정하여 상기 제어부(160)에 전송하고, 기설정 압력조건일 때 분사노즐(180)이 토출 개방되도록 하는 압력 측정부(150)를 포함하여 구성된다.
상기 도포액 저장탱크(110)의 공급관로(140) 선단에는 탱크밸브(111)가 설치되고, 상기 탱크밸브(111)는 제어부(160)에 의해 개/폐 단속된다.
상기 펌프(130)는 실린더 및 피스톤으로 구성될 수 있는데, 상기 피스톤(미도시)이 전진하여 분사노즐(180) 측으로 도포액을 압송할 때에는 탱크밸브(111)를 닫아 도포액 저장탱크(110) 측으로 도포액이 역류되는 것이 방지되도록 하고, 상기 피스톤이 후퇴할 때는 실린더 내부에 도포액이 충진될 수 있도록 하여 탱크밸브(111)를 개방시키도록 한다.
상기 압력 측정부(150)는, 상기 펌프(130)와 분사노즐(180) 사이의 공급관로(140) 상에 설치되는 압력센서(151) 및 상기 분사노즐(180) 측의 공급관로(140) 끝단에 설치되어 상기 압력센서(151) 측정 값이 기 설정 값을 충족하는 상태에서 제어부(160)의 신호에 따라 공급관로(140)를 개방하도록 된 토출밸브(153)를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 압력센서(151)는 공급관로(140) 내의 압력을 측정하여 제어부(160)에 피드백시키게 되는데, 상기 제어부(160)는 설정압력에 도달할 때까지 토출밸 브(153)가 닫힌 상태로 펌프(130)의 압축행정이 진행되도록 한다.
상기 제어부(160)는 도포개시위치에서 공급관로(140) 내에 충분한 예비 토출압력이 형성된 것으로 판단되면, 토출밸브(153)를 개방시켜 도포액이 분사노즐(180)을 통해 분사되도록 함과 동시에 이송장치(190)를 작동시켜 분사노즐(180)을 이송시킴으로써, 기판 표면에 소정두께의 도포액 코팅층이 형성되도록 한다.
이때, 상기 기설정 압력은, 공급관로(140)의 길이 및 공급관로(140) 내의 도포액의 점도를 감안하여 설정되도록 하는데, 공급관로(140) 내부가 설정 압력에 이른 상태는 도포액이 압축된 상태로서, 토출밸브(153)의 개방과 동시에 팽창력에 의한 도포액 토출이 이루어지게 된다.
도 5는 본 발명의 2실시 예에 따른 고점도 도포액 코팅장치를 도시한 개략도이고, 도 6은 도 5의 코팅장치를 제어하기 위한 제어신호 계통도이다.
동 도면에서 보는 바와 같은 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅장치는, 도포액 저장탱크(110)와, 상기 도포액 저장탱크(110) 내의 도포액을 공급관로(140)를 통해 분사노즐(180) 측으로 압송시키는 펌프(130)와, 상기 펌프(130) 및 분사노즐(180)의 작동을 제어하기 위한 제어부(160) 및 상기 제어부(160)의 분사노즐(180) 작동 신호를 기 설정된 시간까지 지연시키는 신호 지연부(170)를 포함한다.
상기 도포액 저장탱크(110)의 공급관로(140) 선단에는 탱크밸브(111)가 설치되고, 상기 탱크밸브(111)는 제어부(160)에 의해 개/폐 단속된다.
상기 펌프(130)는 실린더 및 피스톤으로 구성될 수 있는데, 상기 피스톤(미 도시)의 전진하여 분사노즐(180) 측으로 도포액을 압송할 때에는 탱크밸브(111)를 닫아 도포액 저장탱크(110) 측으로 도포액이 역류되는 것이 방지되도록 하고, 상기 피스톤이 후퇴할 때는 실린더 내부에 도포액이 충진될 수 있도록 하여 탱크밸브(111)를 개방시키도록 한다.
여기서, 상기 신호 지연부(170)는, 공급관로(140)의 길이 및 공급관로(140) 내의 도포액의 점도를 고려하여 지연시간이 설정되도록 한다.
즉, 제어부(160)의 신호에 의해 펌프(130)가 압축행정을 진행하게 되고, 신호 지연부(170)는 공급관로(140) 내에서의 고점도 도포액이 이동되는 속도를 계산하여 계산된 지연시간 후에 분사노즐(180)의 이송장치(190)를 구동시킴으로써, 분사노즐(180)의 구동시점과 도포액의 토출 시점이 일치되도록 한다.
이하, 도 7내지 도 8을 참조하여 본 발명의 1실시 예 및 2실시 예에 따른 고점도 도포액 코팅장치를 이용한 도포액 코팅방법에 대해 설명한다.
도 7은 본 발명의 1실시 예에 따른 고점도 도포액 코팅장치의 코팅방법을 설명하기 위한 흐름도로서, 동 도면에서 보는 바와 같이 먼저, 도포액 저장탱크 내의 도포액을 분사노즐 측으로 압송시키기 위해 펌프를 작동시키는 단계(S11)를 수행한다.
다음, 분사노즐 측의 공급관로를 닫고 내부 압력을 측정하는 단계(S12)를 수행한 후, 상기 측정압력과 기설정 압력을 비교하는 단계(S13)를 수행한다.
이때, 상기 공급관로 내부의 압력을 측정하기 위해 펌프와 분사노즐 사이의 공급관로 상에 압력센서를 설치하도록 하는데, 상기 압력센서는 측정압력을 제어부에 피드백시켜 기설정 압력인지를 비교하게 된다.
이때, 상기 기설정 압력은 공급관로의 길이 및 공급관로 내의 도포액의 점도를 감안한 설정된 압력 값으로서, 토출밸브의 개방시점과 분사노즐을 통한 도포액의 토출 시점이 일치하는 압력 값을 의미한다.
그런 다음, 상기 비교결과 측정압력이 기 설정 압력 이상일 때, 토출밸브를 개방시켜 도포액을 토출시키는 단계(S14)를 수행하도록 하는데, 상기 분사노즐을 통해 도포액이 토출되는 동시에 이송장치를 구동시켜 분사노즐의 이송이 이루어지도록 한다.
이때, 상기 측정압력과 기설정 압력을 비교한 결과, 측정압력이 기 설정 압력 이하일 경우에는, 공급관로 내부의 압력 측정값을 제어부에 피드백시켜 기설정 압력 이상이 될 때까지 펌프의 압축행정을 수행하는 단계를 지속하도록 한다.
도 8은 본 발명의 2실시 예에 따른 고점도 도포액 코팅장치의 코팅방법을 설명하기 위한 흐름도로서, 동 도면에서와 같이 먼저, 도포액 저장탱크 내의 도포액을 분사노즐 측으로 압송시키기 위해 펌프를 작동시키는 단계(S21)를 수행한다.
다음, 상기 펌프의 작동신호와 더불어 분사노즐의 작동신호를 전송하는 단계(S22)를 수행한다.
다음, 상기 분사노즐 작동신호를 신호 지연부에서 받아 기 설정된 시간까지 신호를 지연시키는 단계(S23)를 수행한다.
이때, 기설정 시간은, 공급관로의 길이 및 공급관로 내의 도포액의 점도를 고려하여 설정하되, 펌프의 작동시점으로부터 분사노즐을 통해 도포액이 토출되는 도포액 토출 시점까지의 지연시간을 설정하게 된다.
다음, 상기 신호지연 시간이 기설정 시간인지를 체크하는 단계(S24)를 수행하는데, 상기 체크결과 신호지연 시간이 기설정 시간인 경우, 분사노즐이 이송되도록하는 단계(S25)를 수행한다.
이때, 체크결과 신호지연 시간이 기설정 시간 이전인 경우에는, 상기 신호 지연부에서 기 설정 시간까지 계속해서 신호를 지연시키도록 한다.
상기와 같은 구성 및 작용을 갖는 본 발명은 앞서 설명한 다양한 실시 예를 이용한 당업자의 다양한 수정 및 변경이 가능한 만큼, 본 발명의 진정한 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라, 특허 청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
상기 본 발명은 슬릿코터의 도포액 코팅이 이루어지기 전 단계에서 펌프를 작동시켜 공급관로 내부에 기설정 압력 이상의 예비 토출압이 형성되도록 함으로써, 고점도 도포액을 이용한 코팅작업 시, 분사노즐의 개방 및 작동과 동시에 도포액 토출이 이루어져 균일한 품질의 코팅표면을 얻게 되는 효과가 있다.

Claims (11)

  1. 도포액 저장탱크;
    상기 도포액 저장탱크 내의 도포액을 공급관로를 통해 분사노즐 측으로 압송시키며, 상기 분사노즐 측의 토출밸브가 닫혀진 상태에서 상기 공급관로 내의 압력이 기설정 압력 이상이 될 때까지 압축행정이 진행되도록 하는 펌프;
    상기 펌프 및 분사노즐의 작동을 제어하기 위한 제어부; 및
    상기 공급관로의 압력을 측정하여 상기 제어부에 전송하고, 기설정 압력조건 일 때, 분사노즐이 토출 개방되도록 하는 압력 측정부;
    를 포함하며,
    상기 기설정 압력은 공급관로의 길이 및 공급관로 내의 도포액의 점도에 비례하여 결정되는 것을 특징으로 하는 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 압력 측정부는,
    상기 펌프와 분사노즐 사이의 공급관로 상에 설치되는 압력센서; 및
    상기 분사노즐 측의 공급관로 끝단에 설치되어 상기 압력센서 측정 값이 기 설정 값을 충족하는 상태에서 제어부의 신호에 따라 공급관로를 개방하도록 된 토출밸브;
    를 포함하여 구성되는 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 도포액 저장탱크;
    상기 도포액 저장탱크 내의 도포액을 공급관로를 통해 분사노즐 측으로 압송시키는 펌프;
    상기 펌프 및 분사노즐의 작동을 제어하기 위한 제어부; 및
    상기 제어부의 분사노즐 작동 신호를 상기 공급관로의 길이 및 공급관로 내의 도포액의 점도에 비례하여 결정된 기 설정 시간까지 지연시키는 신호 지연부;
    를 포함하는 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅장치.
  6. 삭제
  7. 도포액 저장탱크 내의 도포액을 분사노즐 측으로 압송시키기 위해 펌프를 작동시키는 단계;
    상기 분사노즐 측의 공급관로를 닫고 내부 압력을 측정하는 단계;
    상기 측정압력과 공급관로의 길이 및 공급관로 내의 도포액의 점도에 비례하여 결정된 기 설정 압력을 비교하는 단계; 및
    상기 비교결과 측정압력이 상기 기 설정 압력 이상일 때, 토출밸브를 개방시켜 도포액을 토출시키는 단계;
    를 포함하는 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅방법.
  8. 삭제
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 비교결과 측정압력이 기 설정 압력 이하일 경우, 공급관로 내부의 압력 측정값을 제어부에 피드백시켜 기설정 압력 이상이 될 때까지 펌프의 압축행정을 지속하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅방법.
  10. 도포액 저장탱크 내의 도포액을 분사노즐 측으로 압송시키기 위해 펌프를 작동시키는 단계;
    상기 펌프의 작동신호와 더불어 분사노즐의 작동신호를 전송하는 단계;
    상기 분사노즐 작동신호를 신호 지연부에서 받아 공급관로의 길이 및 공급관로 내의 도포액의 점도에 비례하여 결정된 기 설정 시간까지 신호를 지연시키는단계;
    상기 신호지연 시간이 상기 기 설정 시간인지를 체크하는 단계; 및
    상기 체크결과 신호지연 시간이 상기 기 설정 시간인 경우, 상기 분사노즐이 이송되도록하는 단계;
    를 포함하는 슬릿코터의 고점도 도포액 코팅방법.
  11. 삭제
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