KR102141280B1

KR102141280B1 - 펌프 장치 및 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR102141280B1
Application number: KR1020180085762A
Authority: KR
Inventors: 도루 몸마; 히로유키 오구라; 마사히토 가시야마; 사토시 야마모토; 히로유키 다케우치; 쇼지 기리타; 준키 니시무라; 쇼고 요시다
Original assignee: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date: 2017-08-25
Filing date: 2018-07-24
Publication date: 2020-08-04
Also published as: JP2019037938A; CN109427622B; CN109427622A; TWI687975B; KR20190022317A; JP6920923B2; TW201913727A; US20190064853A1; US10627836B2

Abstract

펌프 장치는, 펌프실과 피스톤과 모터와 제어부를 구비한다. 제어부는, 토출 명령과 이론 정보와 피스톤의 현재 위치를 참조하여, 가상 종점을 특정한다. 제어부는, 보정 그래프를 참조하여, 가상 종점을 목표 위치로 보정한다. 제어부는, 피스톤을 출발 위치로부터 목표 위치로 이동시키는 구동 명령을 모터에 출력한다.

Description

펌프 장치 및 기판 처리 장치{PUMPING APPARATUS AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS}

본 발명은 액체를 토출하는 펌프 장치 및 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 기판은, 예를 들어, 반도체 웨이퍼, 액정 디스플레이용 기판, 유기 EL(Electroluminescence)용 기판, FPD(Flat Panel Display)용 기판, 광 디스플레이용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 태양 전지용 기판 등이다.

일본 공개특허공보 2006-60251호는, 모터와 펌프와 제어부와 표시부를 구비한 기판 처리 장치를 개시한다. 모터는 펌프를 구동시킨다. 모터는 펄스 모터이다. 펌프는 레지스트액을 토출한다. 작업자는, 제어부에 펌프의 제어 정보를 입력한다. 제어 정보는, 예를 들어, 토출 시간 및 토출 속도이다. 제어부는, 제어 정보에 의거하여 모터를 제어한다. 제어부는 구동 펄스에 의해 모터를 제어한다. 제어부는, 제어 정보에 의거하여 레지스트액의 토출량을 산출한다. 표시부는, 제어부에 의해 산출된 레지스트액의 토출량을 표시한다.

작업자는, 추가로, 레지스트액의 토출량의 보정값을 제어부에 입력한다. 보정값은, 소정 구동 펄스당의 토출량의 실측값이다. 이 경우, 제어부는, 산출된 레지스트액의 토출량을 보정값에 의해 보정한다. 작업자는, 추가로 제어부에 레지스트액의 목표 토출량을 입력한다. 이 경우, 실제로 토출되는 토출량이 제어부에 입력된 레지스트의 목표 토출량과 동일해지도록, 제어부는, 제어 정보에 규정되는 토출 시간 또는 토출 속도를 보정값에 의해 보정한다.

그러나, 이와 같은 구성을 갖는 종래예의 경우에는, 다음과 같은 문제가 있다.

즉, 소정 구동 펄스당의 토출량이 일정하지 않은 경우, 단순히 토출 시간이나 토출 속도를 보정하고도, 레지스트의 토출량을 적절히 조정할 수 없다. 소정 구동 펄스당의 토출량이 일정하지 않은 경우란, 예를 들어, 펄스수의 증가에 따라, 소정 구동 펄스당의 토출량이 고르지 않은 경우이다.

본 발명은 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 액체를 토출하는 양을 양호한 정밀도로 조정할 수 있는 펌프 장치 및 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 이와 같은 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 취한다.

즉, 본 발명은, 액체를 토출하는 펌프 장치에 있어서, 액체를 수용하는 펌프실로서, 상기 펌프실 내의 용적의 감소에 의해 상기 펌프실 내의 액체를 상기 펌프실 밖으로 토출하는 상기 펌프실과, 이동 가능하게 설치되고, 상기 펌프실 내의 용적을 바꾸는 가동 부재와, 상기 가동 부재에 접속되고, 상기 가동 부재를 이동시키는 액추에이터와, 상기 액추에이터를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 펌프실로부터 토출되는 액체의 토출량의 목표값인 목표 토출량에 관한 정보를 포함하는 토출 명령과, 상기 가동 부재의 위치 및 상기 토출량의 이론적인 관계에 관한 이론 정보와, 상기 가동 부재의 출발 위치를 참조하여, 가상 종점을 특정하고, 상기 가동 부재의 위치 및 상기 토출량의 이론적인 관계와 상기 가동 부재의 위치 및 상기 토출량의 실제의 관계의 차이에 관한 보정 정보를 참조하여, 상기 가상 종점을 목표 위치로 보정하고, 상기 가동 부재를 상기 출발 위치로부터 상기 목표 위치로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하는 펌프 장치이다.

제어부는 토출 명령과 이론 정보와 출발 위치를 사용하여 가상 종점을 특정한다. 제어부는, 보정 정보를 사용하여 가상 종점을 목표 위치로 보정한다. 제어부는, 목표 위치에 의거하여 액추에이터를 제어한다. 액추에이터는, 가동 부재를 출발 위치로부터 목표 위치로 이동시킨다. 가동 부재의 이동에 수반하여, 펌프실의 내용적이 감소하여, 펌프실은 액체를 펌프실 밖으로 토출한다.

여기서, 목표 위치는 가상 종점 그 자체가 아니라, 가상 종점이 보정된 위치이다. 특히, 보정에 사용되는 보정 정보는, 가동 부재의 위치 및 토출량의 이론적인 관계와 가동 부재의 위치 및 토출량의 실제의 관계의 차이에 관한 정보이다. 이 때문에, 가상 종점이 어느 위치이어도, 제어부는 적절한 목표 위치를 특정할 수 있다. 따라서, 펌프실이 실제로 토출하는 액체의 양을, 토출 명령에 규정되는 목표 토출량에 바람직하게 근사시킬 수 있다. 즉, 펌프 장치에 의하면, 실제의 토출량을 양호한 정밀도로 조정할 수 있다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 이론 정보는, 상기 가동 부재가 제1 기준 위치로부터 제1 위치에 도달할 때의 상기 토출량의 이론값과, 상기 제1 위치를 대응시키고, 상기 보정 정보는, 이론 위치와 실제 위치를 대응시키고, 상기 가동 부재가 제2 기준 위치로부터 상기 이론 위치에 도달할 때의 상기 토출량의 상기 이론값은, 상기 가동 부재가 상기 제2 기준 위치로부터, 상기 이론 위치에 대응되는 상기 실제 위치에 도달할 때의 상기 토출량의 실제값과 동일한 것이 바람직하다.

이론 정보는, 제1 위치와 토출량의 이론값을 대응시킨다. 제1 위치는, 가동 부재가 제1 기준 위치로부터 도달하는 위치이다. 토출량의 이론값은, 가동 부재가 제1 기준 위치로부터 제1 위치에 도달할 때의 이론적인 토출량이다. 이론 정보가 이와 같이 구성되어 있으므로, 제어부는 이론 정보를 사용하여 가상 종점을 바람직하게 특정할 수 있다.

보정 정보는, 이론 위치와 실제 위치를 대응시킨다. 여기서, 가동 부재가 제2 기준 위치로부터 이론 위치에 도달할 때의 토출량의 이론값은, 가동 부재가 제2 기준 위치로부터 실제 위치에 도달할 때의 토출량의 실제값과 동일하다. 바꿔 말하면, 보정 정보에 있어서의 이론 위치는, 임의의 토출량(예를 들어, 제1 량)의 액체를 토출시키기 위해서 가동 부재가 제2 기준 위치로부터 도달해야 할 이론적인 위치이다. 보정 정보에 있어서의 실제 위치는, 임의의 토출량과 동량(예를 들어, 제1 량)의 액체를 토출시키기 위해서 가동 부재가 제2 기준 위치로부터 도달해야 할 실제의 위치이다. 보정 정보가 이와 같이 구성되어 있으므로, 제어부는 보정 정보를 사용하여 가상 종점을 목표 위치에 바람직하게 보정할 수 있다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 출발 위치는, 상기 가동 부재의 현재 위치이고, 상기 제어부는, 상기 보정 정보를 참조하여, 상기 가동 부재의 상기 현재 위치를 가상 시점(始點)으로 보정하고, 상기 토출 명령과 상기 이론 정보와 상기 가상 시점을 참조하여, 상기 가상 종점을 특정하는 것이 바람직하다.

제어부는, 보정 정보를 사용하여 현재 위치를 가상 시점으로 보정한다. 제어부는, 가상 시점을 기준으로 하는 가상 종점을 특정한다. 이로써, 제어부는, 현재 위치로부터 출발하는 가동 부재의 목표 위치를 바람직하게 특정할 수 있다. 따라서, 가동 부재의 현재 위치가 어느 위치이어도, 가동 부재의 현재 위치를 출발 위치로 할 수 있다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 제어부는, 상기 보정 정보에 있어서 상기 가동 부재의 상기 현재 위치와 동일한 상기 실제 위치에 대응되는 상기 이론 위치를 상기 가상 시점으로 특정하고, 상기 이론 정보에 있어서 상기 가상 시점과 동일한 상기 제1 위치에 대응되는 상기 토출량의 상기 이론값을 초기 토출량으로 특정하고, 상기 초기 토출량과 상기 목표 토출량의 합인 합계량을 특정하고, 상기 이론 정보에 있어서 상기 합계량과 동일한 상기 토출량의 상기 이론값에 대응되는 상기 제1 위치를 상기 가상 종점으로 특정하고, 상기 보정 정보에 있어서 상기 가상 종점과 동일한 상기 이론 위치에 대응되는 상기 실제 위치를 상기 목표 위치로 특정하는 것이 바람직하다.

제어부가 상기 서술한 처리를 실시함으로써, 제어부는, 가상 시점, 가상 종점 및 목표 위치를 바람직하게 특정할 수 있다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 펌프 장치는, 상기 액추에이터의 구동량 및 상기 가동 부재의 위치 중 적어도 어느 하나를 검출하는 센서를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 센서의 검출 결과에 의거하여, 상기 가동 부재의 상기 현재 위치를 특정하는 것이 바람직하다.

펌프 장치는 센서를 구비하므로, 제어부는 가동 부재의 실제의 위치를 바람직하게 특정할 수 있다. 따라서, 제어부는 가동 부재의 현재 위치를 바람직하게 특정할 수 있다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 제어부는, 상기 보정 정보에 포함되는 상기 이론 위치 및 상기 실제 위치를 보간(補間)하는 직선 또는 곡선에 의해, 상기 가상 종점 및 상기 목표 위치 중 적어도 어느 하나를 추정하는 것이 바람직하다.

보정 정보를 보간함으로써, 가상 종점과 동일한 이론 위치를 양호한 정밀도로 추정할 수 있다. 또한 가상 종점과 동일하다고 추정된 이론 위치에 대응되는 실제 위치를 양호한 정밀도로 추정할 수 있다. 제어부는, 추정된 실제 위치를 목표 위치로 간주한다. 이 때문에, 만일 보정 정보가 가상 종점과 동일한 이론 위치를 포함하지 않는 경우에도, 목표 위치를 바람직하게 특정할 수 있다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 토출 명령은, 상기 펌프실로부터 토출되는 액체의 유량의 목표값인 목표 유량에 관한 정보를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 이론 정보를 참조하여, 상기 목표 유량으로 상기 펌프실로부터 액체를 토출기 위한 상기 가동 부재의 이론적인 이동 속도를 이론 속도로 특정하고, 상기 보정 정보를 참조하여, 상기 이론 속도를 수정 속도로 보정하고, 상기 가동 부재를 상기 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하는 것이 바람직하다.

제어부는 토출 명령과 이론 정보를 사용하여 이론 속도를 특정한다. 제어부는 보정 정보를 사용하여 이론 속도를 수정 속도로 보정한다. 제어부는 수정 속도에 의거하여 액추에이터를 제어한다. 구체적으로는, 구동 명령은, 가동 부재를 수정 속도로 이동시키는 명령을 포함한다. 액추에이터는 가동 부재를 수정 속도로 이동시킨다. 펌프실은 수정 속도에 따른 유량으로 액체를 토출한다.

여기서, 수정 속도는 이론 속도 그 자체가 아니라, 이론 속도가 보정된 속도이다. 특히, 보정에 사용되는 보정 정보는, 가동 부재의 위치 및 토출량의 이론적인 관계와 가동 부재의 위치 및 토출량의 실제의 관계의 차이에 관한 정보이다. 이 때문에, 펌프실이 실제로 토출하는 액체의 유량을, 목표 유량에 바람직하게 근사시킬 수 있다. 즉, 펌프실이 토출하는 액체의 유량을 양호한 정밀도로 조정할 수 있다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 제어부는, 상기 보정 정보를 참조하여, 상기 출발 위치와 상기 목표 위치 사이에 포함되는 복수의 구간을 특정하고, 상기 보정 정보를 참조하여, 상기 이론 속도를, 상기 구간의 각각에 있어서의 상기 수정 속도로 보정하고, 상기 가동 부재를, 상기 구간의 각각에 있어서의 상기 수정 속도로, 상기 구간의 각각에 걸쳐 이동시키기 위한 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하는 것이 바람직하다.

제어부는, 복수의 구간을 특정한다. 제어부는, 구간마다 이론 속도를 보정한다. 이로써, 제어부는, 각 구간에 있어서의 수정 속도를 특정한다. 제어부는 각 구간에 있어서의 수정 속도에 의거하여 액추에이터를 제어한다. 구체적으로는, 구동 명령은, 각 구간에 걸쳐, 각 구간에 있어서의 상기 수정 속도로, 가동 부재를 이동시키는 명령을 포함한다. 이와 같이, 제어부는, 가동 부재의 이동 속도를 미세하게 설정할 수 있다. 따라서, 펌프실이 실제로 토출하는 액체의 유량을, 목표 유량에 더욱 근사시킬 수 있다. 즉, 펌프실이 실제로 토출하는 액체의 유량을, 더욱 양호한 정밀도로 조정할 수 있다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 보정 정보는, 상기 출발 위치와 상기 목표 위치 사이에 위치하는 상기 실제 위치인 1개의 중간 실제 위치를 포함하고, 상기 구간은, 상기 출발 위치로부터 상기 중간 실제 위치까지의 제1 구간과, 상기 중간 실제 위치로부터 상기 목표 위치까지의 제2 구간인 것이 바람직하다.

제어부는, 중간 실제 위치를 사용하여, 출발 위치와 목표 위치 사이에 포함되는 2개의 구간(구체적으로는 제1 구간과 제2 구간)을 바람직하게 특정할 수 있다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 보정 정보는, 상기 중간 실제 위치에 대응되는 상기 이론 위치인 1개의 중간 이론 위치를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 보정 정보를 참조하여, 상기 가동 부재의 상기 현재 위치를 가상 시점으로 보정하고, 상기 가상 시점으로부터 상기 중간 이론 위치까지의 가상 제1 구간을 특정하고, 상기 중간 이론 위치로부터 상기 가상 종점까지의 가상 제2 구간을 특정하고, 상기 제1 구간의 거리를 상기 가상 제1 구간의 거리로 나눈 값을 상기 이론 속도에 곱함으로써, 제1 수정 속도를 산출하고, 상기 제2 구간의 거리를 상기 가상 제2 구간의 거리로 나눈 값을 상기 이론 속도에 곱함으로써, 제2 수정 속도를 산출하고, 상기 가동 부재를 상기 제1 구간에 걸쳐 상기 제1 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하고, 상기 가동 부재를 상기 제2 구간에 걸쳐 상기 제2 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하는 것이 바람직하다.

제어부가 상기 서술한 처리를 실시함으로써, 2개의 구간에 있어서의 수정 속도를 각각 바람직하게 특정할 수 있다. 구체적으로는, 제어부는, 제1 구간에 있어서의 제1 수정 속도와 제2 구간에 있어서의 제2 수정 속도를 각각 바람직하게 특정할 수 있다. 제어부는 제1 수정 속도와 제2 수정 속도에 의거하여 액추에이터를 제어한다. 구체적으로는, 구동 명령은, 제1 구간에 걸쳐 제1 수정 속도로 가동 부재를 이동시키는 명령과, 제2 구간에 걸쳐 제2 수정 속도로 가동 부재를 이동시키는 명령을 포함한다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 보정 정보는, 상기 출발 위치와 상기 목표 위치 사이에 위치하는 상기 실제 위치인 복수의 중간 실제 위치를 포함하고, 상기 구간은, 상기 출발 위치로부터 상기 출발 위치에 가장 가까운 상기 중간 실제 위치까지의 제1 구간과, 이웃하는 2개의 상기 중간 실제 위치 사이의 중간 구간과, 상기 목표 위치에 가장 가까운 상기 중간 실제 위치로부터 상기 목표 위치까지의 제2 구간인 것이 바람직하다.

제어부는, 복수의 중간 실제 위치를 사용하여, 출발 위치와 목표 위치 사이에 포함되는 3개 이상의 구간을 바람직하게 특정할 수 있다. 구체적으로는, 제어부는, 1개의 제1 구간과 1개의 제2 구간과 1개 이상의 중간 구간을 바람직하게 특정할 수 있다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 보정 정보는, 상기 중간 실제 위치의 각각에 대응되는 상기 이론 위치인 복수의 중간 이론 위치를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 보정 정보를 참조하여, 상기 가동 부재의 상기 현재 위치를 가상 시점으로 보정하고, 상기 가상 시점으로부터 상기 가상 시점에 가장 가까운 상기 중간 이론 위치까지의 가상 제1 구간을 특정하고, 이웃하는 2개의 상기 중간 이론 위치 사이의 가상 중간 구간을 특정하고, 상기 가상 종점에 가장 가까운 상기 중간 이론 위치로부터 상기 가상 종점까지의 가상 제2 구간을 특정하고, 상기 제1 구간의 거리를 상기 가상 제1 구간의 거리로 나눈 값을 상기 이론 속도에 곱함으로써, 제1 수정 속도를 산출하고, 상기 중간 구간의 거리를 상기 가상 중간 구간의 거리로 나눈 값을 상기 이론 속도에 곱함으로써, 중간 수정 속도를 산출하고, 상기 제2 구간의 거리를 상기 가상 제2 구간의 거리로 나눈 값을 상기 이론 속도에 곱함으로써, 제2 수정 속도를 산출하고, 상기 가동 부재를 상기 제1 구간에 걸쳐 상기 제1 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하고, 상기 가동 부재를 상기 중간 구간에 걸쳐 상기 중간 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하고, 상기 가동 부재를 상기 제2 구간에 걸쳐 상기 제2 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하는 것이 바람직하다.

제어부가 상기 서술한 처리를 실시함으로써, 3개 이상의 구간에 있어서의 수정 속도를 각각 바람직하게 특정할 수 있다. 구체적으로는, 제어부는, 제1 구간에 있어서의 제1 수정 속도와 제2 구간에 있어서의 제2 수정 속도와 중간 구간에 있어서의 중간 수정 속도를 각각 바람직하게 특정할 수 있다. 제어부는 제1 수정 속도와 제2 수정 속도와 중간 수정 속도에 의거하여 액추에이터를 제어한다. 구체적으로는, 구동 명령은, 제1 구간에 걸쳐 제1 수정 속도로 가동 부재를 이동시키는 명령과, 중간 구간에 걸쳐 중간 수정 속도로 가동 부재를 이동시키는 명령과, 제2 구간에 걸쳐 제2 수정 속도로 가동 부재를 이동시키는 명령을 포함한다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 제어부는, 상기 이론 정보와 상기 보정 정보를 기억하는 기억부를 갖는 것이 바람직하다.

제어부는 기억부를 구비하므로, 제어부는 이론 정보와 보정 정보를 항상 참조할 수 있다. 이 때문에, 제어부는 목표 위치를 원활하게 특정할 수 있다.

상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 제어부는, 상기 펌프 장치의 외부 기기로부터 상기 토출 명령을 받고, 상기 토출 명령은, 상기 가동 부재의 상기 출발 위치, 상기 가동 부재의 현재 위치, 및 상기 가동 부재의 상기 목표 위치에 관한 정보를 포함하지 않는 것이 바람직하다.

토출 명령은, 가동 부재의 출발 위치, 현재 위치 및 목표 위치에 관한 정보를 포함하지 않는다. 이 때문에, 토출 명령은 간소하다. 따라서, 외부 기기는, 간소한 명령으로 펌프 장치를 제어할 수 있다.

또, 본 발명은, 기판에 처리를 실시하는 기판 처리 장치에 있어서, 기판을 유지하는 유지부와, 상기 유지부에 유지되는 기판에 처리액을 공급하는 노즐과, 상기 노즐에 연통 접속되는 펌프 장치를 구비하고, 상기 펌프 장치는, 처리액을 수용하는 펌프실로서, 상기 펌프실 내의 용적의 감소에 의해 상기 펌프실 내의 처리액을 상기 노즐에 토출하는 상기 펌프실과, 이동 가능하게 설치되고, 상기 펌프실 내의 용적을 바꾸는 가동 부재와, 상기 가동 부재에 접속되고, 상기 가동 부재를 이동시키는 액추에이터와, 상기 액추에이터를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 펌프실로부터 토출되는 처리액의 토출량의 목표값인 목표 토출량에 관한 정보를 포함하는 토출 명령과, 상기 가동 부재의 위치 및 상기 토출량의 이론적인 관계에 관한 이론 정보와, 상기 가동 부재의 출발 위치를 참조하여, 가상 종점을 특정하고, 상기 가동 부재의 위치 및 상기 토출량의 이론적인 관계와 상기 가동 부재의 위치 및 상기 토출량의 실제의 관계의 차이에 관한 보정 정보를 참조하여, 상기 가상 종점을 목표 위치로 보정하고, 상기 가동 부재를 상기 출발 위치로부터 상기 목표 위치로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하는 기판 처리 장치이다.

기판 처리 장치는, 펌프 장치를 구비한다. 펌프 장치는, 펌프실로부터 토출된 처리액을 노즐에 보낸다. 처리액은 기판을 처리하기 위한 액체이다. 펌프 장치는, 실제의 토출량을, 토출 명령에 규정되는 목표 토출량에 바람직하게 근사시킬 수 있다. 즉, 펌프 장치는, 노즐에 공급하는 처리액의 양을, 양호한 정밀도로 조정할 수 있다. 이 때문에, 노즐이 기판에 공급하는 처리액의 양을, 양호한 정밀도로 조정할 수 있다. 구체적으로는, 노즐이 기판에 공급하는 처리액의 양을, 목표 토출량에 바람직하게 근사시킬 수 있다. 즉, 기판에 공급되는 처리액의 양을, 양호한 정밀도로 조정할 수 있다. 따라서, 기판에 실시하는 처리의 품질을 바람직하게 향상시킬 수 있다.

또한, 본 명세서는, 다음과 같은 펌프 장치에 관련된 발명도 개시한다.

(1) 상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 출발 위치는, 미리 정해진 위치이고, 가상 시점은, 상기 보정 정보에 있어서 상기 출발 위치와 동일한 실제 위치에 대응되는 이론 위치이고, 상기 제어부는, 상기 목표 토출량과 상기 이론 정보와 상기 가상 시점을 참조하여, 상기 가상 종점을 특정하는 펌프 장치.

가동 부재의 출발 위치가 미리 정해진 위치이고, 또한, 가상 시점은, 보정 정보에 있어서 출발 위치와 동일한 실제 위치에 대응되는 이론 위치인 경우, 가상 시점도 미리 정해진 위치이다. 즉, 가상 시점은 이미 알려진 바와 같다. 이 경우, 제어부가 가상 시점을 특정하지 않고, 가상 종점을 특정한다. 즉, 제어부는, 가상 시점을 특정하는 처리를 생략할 수 있다. 이로써, 제어부에 의한 처리를 간소화할 수 있다.

(2) 상기 서술한 펌프 장치에 있어서,

상기 제어부는,

상기 보정 정보를 참조하여, 상기 출발 위치와 상기 목표 위치 사이에 포함되는 복수의 구간을 특정하고,

상기 보정 정보를 참조하여, 상기 구간의 각각의 양단의 위치와 동일한 상기 실제 위치에 대응되는 상기 이론 위치에 의해 규정되는 가상 구간을 특정하고,

상기 이론 정보와 상기 토출 명령을 참조하여, 상기 가상 구간의 각각에 있어서의 상기 가동 부재의 상기 이론 속도를 각각 특정하고,

상기 보정 정보를 참조하여, 상기 가상 구간의 각각에 있어서의 상기 이론 속도를, 상기 구간의 각각에 있어서의 상기 수정 속도로 보정하는 펌프 장치.

제어부는, 복수의 구간을 특정한다. 제어부는, 복수의 가상 구간을 특정한다. 제어부는, 각 가상 구간에 있어서의 이론 속도를 특정한다. 제어부는, 각 가상 구간에 있어서의 이론 속도를 보정한다. 이로써, 제어부는, 각 구간에 있어서의 수정 속도를 특정한다. 이와 같이, 제어부는, 가동 부재의 이동 속도를 더욱 미세하게 설정할 수 있다. 따라서, 펌프실이 실제로 토출하는 액체의 유량을, 목표 유량에 바람직하게 더욱 근사시킬 수 있다.

(3) 상기 서술한 펌프 장치에 있어서,

상기 보정 정보는, 상기 중간 실제 위치에 대응되는 상기 이론 위치인 1개의 중간 이론 위치를 포함하고,

상기 제어부는,

상기 가상 시점으로부터 상기 중간 이론 위치까지의 가상 제1 구간과,

상기 중간 이론 위치로부터 상기 가상 종점까지의 가상 제2 구간

을 특정하고,

상기 이론 정보와 상기 토출 명령을 참조하여, 상기 가상 제1 구간에 있어서의 상기 이론 속도인 제1 이론 속도를 특정하고,

상기 이론 정보와 상기 토출 명령을 참조하여, 상기 가상 제2 구간에 있어서의 상기 이론 속도인 제2 이론 속도를 특정하고,

상기 제1 구간의 거리를 상기 가상 제1 구간의 거리로 나눈 값을 상기 제1 이론 속도에 곱함으로써, 제1 수정 속도를 산출하고,

상기 제2 구간의 거리를 상기 가상 제2 구간의 거리로 나눈 값을 상기 제2 이론 속도에 곱함으로써, 제2 수정 속도를 산출하고,

상기 가동 부재를 상기 제1 구간에 걸쳐 상기 제1 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하고,

상기 가동 부재를 상기 제2 구간에 걸쳐 상기 제2 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하는 펌프 장치.

제어부는, 2개의 가상 구간(구체적으로는, 가상 제1 구간과 가상 제2 구간)을 특정한다. 제어부는, 2개의 가상 구간에 있어서의 이론 속도(구체적으로는, 제1 이론 속도와 제2 이론 속도)를 각각 특정한다. 제어부는, 2개의 가상 구간에 있어서의 이론 속도를 각각 보정하고, 2개의 구간에 있어서의 수정 속도(구체적으로는, 제1 수정 속도와 제2 수정 속도)를 각각 특정한다. 이로써, 제어부는, 가동 부재의 이동 속도를 더욱 미세하게 설정할 수 있다.

(4) 상기 서술한 펌프 장치에 있어서,

상기 보정 정보는, 상기 중간 실제 위치의 각각에 대응되는 상기 이론 위치인 복수의 중간 이론 위치를 포함하고,

상기 제어부는,

상기 가상 시점으로부터 상기 가상 시점에 가장 가까운 상기 중간 이론 위치까지의 가상 제1 구간을 특정하고,

이웃하는 2개의 상기 중간 이론 위치 사이의 가상 중간 구간을 특정하고,

상기 가상 종점에 가장 가까운 상기 중간 이론 위치로부터 상기 가상 종점까지의 가상 제2 구간을 특정하고,

상기 이론 정보와 상기 토출 명령을 참조하여, 상기 가상 중간 구간에 있어서의 상기 이론 속도인 중간 이론 속도를 특정하고,

상기 중간 구간의 거리를 상기 가상 중간 구간의 거리로 나눈 값을 상기 중간 이론 속도에 곱함으로써, 중간 수정 속도를 산출하고,

상기 가동 부재를 상기 중간 구간에 걸쳐 상기 중간 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하고,

제어부는, 3개 이상의 가상 구간(구체적으로는, 1개의 가상 제1 구간과 1개의 가상 제2 구간과 1개 이상의 가상 중간 구간)을 특정한다. 제어부는, 3개 이상의 가상 구간에 있어서의 이론 속도(구체적으로는, 1개의 제1 이론 속도와 1개의 제2 이론 속도와 1개 이상의 중간 이론 속도)를 각각 특정한다. 제어부는, 3개 이상의 가상 구간에 있어서의 이론 속도를 각각 보정한다. 이로써, 제어부는, 3개 이상의 구간에 있어서의 수정 속도(구체적으로는, 1개의 제1 수정 속도와 1개의 제2 수정 속도와 1개 이상의 중간 수정 속도)를 각각 특정한다. 이와 같이, 제어부는, 가동 부재의 이동 속도를 더욱 미세하게 설정할 수 있다.

(5) 상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 펌프실의 적어도 일부를 구획하고, 또한 상기 가동 부재의 이동에 의해 변형되는 가동 격벽 부재를 구비하는 펌프 장치.

펌프 장치는 가동 격벽 부재를 구비한다. 따라서, 액추에이터가 가동 부재를 이동시킴으로써, 펌프실 내의 용적을 바람직하게 바꿀 수 있다.

(6) 상기 서술한 펌프 장치에 있어서, 상기 가동 격벽 부재는, 다이아프램, 튜브프램 및 벨로스 중 적어도 어느 하나인 펌프 장치.

이에 의하면, 가동 격벽 부재를 바람직하게 실현할 수 있다.

발명을 설명하기 위해 현재의 바람직하다고 생각되는 몇 가지 형태가 도시되어 있지만, 발명이 도시된 바와 같은 구성 및 방책에 한정되는 것은 아닌 것을 이해하기 바란다.
도 1은, 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는, 이론 정보를 모식적으로 예시하는 도면이다.
도 3은, 보정 정보를 모식적으로 예시하는 도면이다.
도 4는, 펌프 장치의 동작의 순서를 나타내는 도면이다.
도 5는, 목표 위치를 특정하는 처리를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 6은, 보정 정보를 보간하는 직선을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 7은, 변형 실시형태에 있어서의 보정 정보를 모식적으로 나타내는 도면이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다.

도 1은, 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 도면이다. 실시형태에 관련된 기판 처리 장치(1)는, 기판(예를 들어, 반도체 웨이퍼)(W)에 처리액을 공급하는 처리를 실시하는 장치이다.

1. 기판 처리 장치(1)의 개요

기판 처리 장치(1)는, 유지부(3)와 회전 모터(5)를 구비한다. 유지부(3)는 기판(W)을 대략 수평으로 유지한다. 유지부(3)는, 예를 들어, 기판(W)의 이면(하면)을 흡착 유지한다. 회전 모터(5)는, 유지부(3)의 저부 중앙에 연결된다. 회전 모터(5)는, 유지부(3)를 대략 연직축 둘레로 회전시킨다. 이로써, 유지부(3)에 유지된 기판(W)은, 대략 연직축 둘레로 회전한다.

기판 처리 장치(1)는, 노즐(7)과 컵(9)을 구비한다. 노즐(7)은, 유지부(3)의 상방에 해당하는 토출 위치에 이동 가능하게 설치된다. 노즐(7)은, 유지부(3)에 유지된 기판(W)에 처리액을 토출한다. 컵(9)은, 유지부(3)의 측방을 둘러싸도록 배치된다. 컵(9)은, 기판(W)으로부터 비산한 처리액을 받아들여 회수한다.

기판 처리 장치(1)는 배관(11)과 처리액 공급원(13)을 구비한다. 배관(11)은, 노즐(7)과 연통 접속하는 제1 단을 갖는다. 배관(11)은, 처리액 공급원(13)과 연통 접속하는 제2 단을 갖는다. 처리액 공급원(13)은, 예를 들어, 처리액을 저류하는 처리액 탱크이다. 처리액은, 예를 들어, 레지스트막 재료나 각종 도막 재료, 약액, 시너, 순수이다. 처리액 공급원(13)의 처리액은, 배관(11) 내를 통과하여, 처리액 공급원(13)으로부터 노즐(7)로 흐른다.

기판 처리 장치(1)는 펌프 장치(15)를 구비한다. 펌프 장치(15)는 배관(11) 상에 설치된다. 펌프 장치(15)는, 처리액 공급원(13)으로부터 공급되는 처리액을 흡입하고, 흡입한 처리액을 노즐(7)에 보낸다. 처리액은, 본 발명에 있어서의 액체의 예이다.

여기서, 펌프 장치(15)의 상류측의 배관(11)을, 「1차측 배관(11a)」이라고 부르고, 펌프 장치(15)의 하류측의 배관(11)을 「2차측 배관(11b)」이라고 부른다. 1차측 배관(11a)은, 펌프 장치(15)에 연통 접속되는 제1 단과, 처리액 공급원(13)에 접속되는 제2 단을 갖는다. 2차측 배관(11b)은, 펌프 장치(15)에 연통 접속되는 제1 단과, 노즐(7)에 접속되는 제2 단을 갖는다.

기판 처리 장치(1)는 개폐 밸브(17, 18)를 구비한다. 개폐 밸브(17)는 1차측 배관(11a) 상에 설치된다. 개폐 밸브(17)는, 1차측 배관(11a) 내에 있어서의 처리액의 유로를 개폐한다. 개폐 밸브(18)는 2차측 배관(11b) 상에 설치된다. 개폐 밸브(18)는, 2차측 배관(11b) 내에 있어서의 처리액의 유로를 개폐한다.

2. 펌프 장치(15)의 구성

펌프 장치(15)는 펌프실(21)을 구비한다. 펌프실(21)은 내부 공간을 갖는다. 내부 공간은, 예를 들어 원통형상을 나타낸다. 펌프실(21)은, 그 내부 공간에 처리액을 수용한다. 펌프실(21)은, 1차측 배관(11a) 및 2차측 배관(11b)에 연통 접속된다.

펌프실(21)은, 케이싱(22)과 다이아프램(23)에 의해 구획된다. 케이싱(22)은, 원통형상을 나타낸다. 케이싱(22)은, 개구가 형성되는 일단부를 갖는다. 케이싱(22)은 변형 불능이다. 보다 구체적으로는, 케이싱(22)은, 후술하는 피스톤(25)의 이동에서 기인하여, 변형되지 않는다. 케이싱(22)은 1차측 배관(11a) 및 2차측 배관(11b)과 접속된다. 다이아프램(23)은, 케이싱(22)의 일단부에 장착되고, 케이싱(22)의 개구를 폐색한다. 이로써, 펌프실(21)은 폐색된다. 다이아프램(23)은 변형 가능하다. 보다 구체적으로는, 다이아프램(23)은, 후술하는 피스톤(25)의 이동에 의해 변형된다. 다이아프램(23)의 재질은, 예를 들어 합성 수지이다. 다이아프램(23)이 변형됨으로써, 펌프실(21) 내의 용적이 바뀐다. 펌프실(21) 내의 용적이 감소함으로써, 펌프실(21)은, 펌프실(21) 내의 처리액을 펌프실(21) 밖(2차측 배관(11b))으로 토출한다. 펌프실(21) 내의 용적이 증가함으로써, 펌프실(21)은, 펌프실(21) 밖(1차측 배관(11a))으로부터 처리액을 펌프실(21) 내로 흡입한다. 다이아프램(23)은, 본 발명에 있어서의 가동 격벽 부재의 예이다.

이하에서는, 펌프실(21)로부터 토출되는 처리액의 양을, 적절히 「토출량」이라고 부른다.

펌프 장치(15)는 피스톤(25)과 모터(27)를 구비한다. 피스톤(25)은, 모터(27)에 연결되는 제1 단을 갖는다. 모터(27)는 피스톤(25)을 이동시킨다. 이와 같이, 피스톤(25)은 이동 가능하게 설치된다. 피스톤(25)은, 본 발명에 있어서의 가동 부재의 예이다.

모터(27)와 피스톤(25)은, 모터(27)의 회전 운동을 피스톤(25)의 직선 운동으로 변환하는 도시 생략된 기구를 개재하여 연결된다. 모터(27)가 정전(正轉) 및 역전되면, 피스톤(25)은 모터(27)에 대해 왕복 직선 이동한다. 도 1은, 피스톤(25)이 이동하는 방향 D1, D2를 예시한다. 피스톤(25)의 이동 거리는 모터(27)의 회전량(각도)에 비례한다. 피스톤(25)의 이동 속도는 모터(27)의 회전 속도에 비례한다.

모터(27)는 스테핑 모터이다. 모터(27)는 펄스(전기 펄스 신호)에 의해 구동된다. 모터(27)의 회전량 및 피스톤(25)의 이동량은 펄스수에 비례한다. 모터(27)의 회전 속도 및 피스톤(25)의 이동 속도는, 펄스레이트(펄스의 주파수)에 비례한다. 모터(27)는, 본 발명에 있어서의 액추에이터의 예이다.

피스톤(25)은, 다이아프램(23)의 외면에 장착되는 제2 단을 갖는다. 피스톤(25)은 다이아프램(23)과 접속한다. 피스톤(25)이 펌프실(21)에 대해 이동함으로써, 다이아프램(23)이 변형되어, 펌프실(21) 내의 용적이 바뀐다. 피스톤(25)이 방향 D1로 이동할 때, 피스톤(25)은 펌프실(21)에 가까워져, 펌프실(21) 내의 용적은 감소한다. 피스톤이 방향 D2로 이동할 때, 피스톤(25)은 펌프실(21)로부터 멀어져, 펌프실(21) 내의 용적은 증가한다.

펌프 장치(15)는 인코더(29)를 구비한다. 인코더(29)는 모터(27)에 장착된다. 인코더(29)는 모터(27)의 회전량을 검출한다. 인코더(29)는, 본 발명에 있어서의 센서의 예이다.

펌프 장치(15)는 제어부(31)를 구비한다. 제어부(31)는, 모터(27) 및 인코더(29)와 전기적으로 접속된다. 제어부(31)는 모터(27)를 제어한다. 제어부(31)는 인코더(29)의 검출 결과를 받는다.

제어부(31)는, 추가로, 펌프 장치(15)의 외부 기기(도시 생략)와 통신 가능하게 접속된다. 외부 기기는, 예를 들어, 펌프 장치(15)를 제어하는 상위 제어부, 및 사용자에 의해 조작되는 입력부 중 적어도 어느 하나이다. 제어부(31)는, 외부 기기로부터 토출 명령(C)을 받는다. 토출 명령(C)은, 목표 토출량에 관한 정보와 목표 유량에 관한 정보를 포함한다. 목표 토출량은, 토출량의 목표값이다. 목표 유량은, 펌프실(21)로부터 토출되는 처리액의 유량의 목표값이다.

제어부(31)는 기억부(32)와 연산부(33)와 구동 회로(34)를 갖는다. 기억부(32)는 이론 정보(A)와 보정 정보(B)를 기억하고 있다. 연산부(33)는, 기억부(32)에 기억되는 이론 정보(A)와 보정 정보(B)를 참조하여, 토출 명령(C)을 처리한다. 구동 회로(34)는, 연산부(33)의 처리 결과에 따른 구동 명령(펄스)을 모터(27)에 출력한다.

이론 정보(A)는, 피스톤(25)의 위치 및 토출량의 이론적인 관계에 관한 것이다.

예를 들어, 이론 정보(A)는, 제1 위치와, 토출량의 이론값을 대응시킨다. 제1 위치는, 피스톤(25)이 제1 기준 위치로부터 도달하는 위치이다. 토출량의 이론값은, 이론적인 토출량이다. 구체적으로는, 토출량의 이론값은, 피스톤(25)이 제1 기준 위치로부터 제1 위치에 도달할 때의 이론적인 토출량이다. 이상과 같이, 이론 정보(A)는, 제1 기준 위치를 기준으로 한 정보이다. 제1 위치는, 피스톤(25)의 이론적인 위치이다.

도 2는, 이론 정보를 모식적으로 예시하는 도면이다. 도 2에 나타내는 이론 정보(A)는, 펄스수에 의거하는 제1 위치[pls]를 가로축으로 하고, 토출량의 이론값[cc]을 세로축으로 하는 그래프이다. 펄스수[pls]는 피스톤(25)의 위치를 나타내는 지표이다. 도 2의 이론 정보(A)에서는, 제1 기준 위치는 0[pls]이다. 즉, 제1 기준 위치에 있어서의 토출량의 이론값은 0[cc]이다. 구체적으로는, 제1 위치가 제1 기준 위치와 동일할 때, 토출량의 이론값은 0[cc]이다. 도 2의 이론 정보(A)에서는, 예를 들어, 제1 위치 100[pls]과 토출량의 이론값 1[cc]이 대응되어 있다. 이것은, 피스톤(25)이 제1 기준 위치(0[pls])로부터 100[pls]의 제1 위치에 도달할 때, 토출량의 이론값이 1[cc]인 것을 나타낸다.

이론 정보(A)는, 예를 들어, 피스톤(25)의 위치 및 토출량의 관계를 나타내는 사양, 이론 데이터, 설계 데이터이다.

보정 정보(B)는, 피스톤(25)의 위치 및 토출량의 이론적인 관계와, 피스톤(25)의 위치 및 토출량의 실제의 관계의 차이에 관한 것이다.

예를 들어, 보정 정보(B)는, 이론 위치와 실제 위치를 대응시킨다. 여기서, 보정 정보(B)에 있어서의 이론 위치와 실제 위치는 이하의 관계를 갖는다. 피스톤(25)이 제2 기준 위치로부터 이론 위치에 도달할 때의 토출량의 이론값은, 피스톤(25)이 제2 기준 위치로부터, 이론 위치에 대응하는 실제 위치에 도달할 때의 토출량의 실제값과 동일하다. 바꿔 말하면, 보정 정보(B)에 있어서의 이론 위치는, 임의의 토출량(예를 들어, 제1 량)의 처리액을 토출시키기 위해서 피스톤(25)이 제2 기준 위치로부터 이론적으로 도달해야 할 위치이다. 보정 정보(B)에 있어서의 실제 위치는, 임의의 토출량과 동량(예를 들어, 제1 량)의 처리액을 토출시키기 위해서 피스톤(25)이 제2 기준 위치로부터 실제로 도달해야 할 위치이다. 이상과 같이, 보정 정보(B)는, 제2 기준 위치를 기준으로 한 정보이다. 이론 위치는, 피스톤(25)의 이론적인 위치이다. 이론 위치와 토출량의 이론값의 관계는, 이론 정보(A)에 규정되는 제1 위치와 토출량의 이론값의 관계와 동일하다. 제1 위치는, 이론 위치와 본질적으로 동일하다. 본 명세서에서는, 보정 정보(B)에 있어서의 이론 위치와 구별하기 위해, 이론 정보(A)에 있어서의 위치를 「제1 위치」라고 부른다. 실제 위치는, 피스톤(25)의 실제의 위치이다. 실제 위치는, 예를 들어, 피스톤(25)의 위치의 실측값, 또는 피스톤(25)의 위치의 실험값이다. 토출량의 실제값은, 실제의 토출량이다. 토출량의 실제값은, 예를 들어, 토출량의 실측값, 또는 토출량의 실험값이다.

도 3은, 보정 정보를 모식적으로 예시하는 도면이다. 도 3에 나타내는 보정 정보(B)는, 이론 위치와 실제 위치가 대응된 표이다. 보정 정보(B)는, 서로 대응되는 이론 위치 및 실제 위치의 쌍을 7개 포함한다. 도 3은, 편의상, 쌍번호 0, 1, 2,…6을 나타낸다. 이론 위치 및 실제 위치는 각각, 펄스수[pls]에 의해 표기된다. 도 3은, 참고로서, 토출량을 나타낸다. 도 3에 나타내는 토출량은, 토출량의 이론값, 및 토출량의 실제값의 양방을 의미한다. 도 3의 보정 정보(B)에서는, 제2 기준 위치는 0[pls]이다. 즉, 제2 기준 위치에 있어서의 토출량은 0[cc]이다. 구체적으로는, 이론 위치가 제2 기준 위치와 동일할 때, 토출량의 이론값은 0[cc]이고, 또한 실제 위치가 제2 기준 위치와 동일할 때, 토출량의 실제값은 0[cc]이다. 이와 같이, 제2 기준 위치는 이론 정보(A)의 제1 기준 위치와 동일하다.

도 3의 보정 정보(B)의 쌍번호 「1」에서는, 이론 위치 50[pls]과 실제 위치 25[pls]가 대응되어 있다. 이것은, 피스톤(25)이 제2 기준 위치(0[pls])로부터 이론 위치 50[pls]로 이동했을 때의 토출량의 이론값(0.5[cc])이, 피스톤(25)이 제2 기준 위치로부터 실제 위치 25[pls]로 이동했을 때의 토출량의 실제값(0.5[cc])과 동일한 것을 나타낸다.

또한, 피스톤(25)이 제2 기준 위치로부터 이론 위치로 이동했을 때의 토출량의 이론값은, 이론 정보(A)에 의해 특정된다. 피스톤(25)이 제2 기준 위치로부터 도달하는 실제 위치, 및 피스톤(25)이 제2 기준 위치로부터 실제 위치에 도달했을 때의 토출량의 실제값은 실험 등에 의해 측정된다. 따라서, 보정 정보(B)는, 이하의 2개에 의거하여 생성된다.

1. 이론 정보(A)

2. 피스톤(25)의 위치 및 토출량의 실제의 관계

보정 정보(B)에 포함되는 이론 위치는, 이론 정보(A)에 포함되는 제1 위치에 비해 이산적이어도 된다. 보정 정보(B)에 포함되는 이론 위치의 범위는, 이론 정보(A)에 포함되는 제1 위치의 범위에 비해 작아도 된다.

제어부(31)는, 예를 들어, 각종 처리를 실행하는 프로세서(예를 들어, 중앙 연산 처리 장치(CPU)), 연산 처리의 작업 영역이 되는 RAM(Random-Access Memory)이나, 각종 정보를 기억하는 반도체 메모리에 의해 실현된다.

3. 펌프 장치(15)의 동작예

도 4는, 펌프 장치(15)의 동작의 순서를 나타내는 도면이다.

<스텝 S1> 토출 명령의 수신

제어부(31)는, 도시 생략된 외부 기기로부터 토출 명령(C)을 수신한다. 토출 명령(C)은, 목표 토출량에 관한 정보와, 목표 유량에 관한 정보를 포함한다.

<스텝 S2> 현재 위치의 특정

연산부(33)는, 인코더(29)의 검출 결과에 의거하여, 피스톤(25)의 현재 위치를 특정한다. 현재 위치는, 예를 들어, 연산부(33)가 본 스텝 S2의 처리를 실시하는 시점에 있어서의 피스톤(25)의 위치이다. 혹은, 현재 위치는, 예를 들어, 펌프 장치(15)(펌프실(21))가 처리액의 흡입 동작을 완료한 시점에 있어서의 피스톤(25)의 위치이다. 현재 위치는, 예를 들어, 펌프 장치(15)(펌프실(21))가 처리액의 흡입 동작을 완료한 후이고, 펌프 장치(15)(펌프실(21))가 처리액의 토출 동작을 개시하기 전의 시점에 있어서의 피스톤(25)의 위치이다. 후술하는 바와 같이, 제어부(31)는, 피스톤(25)의 현재 위치를, 피스톤(25)의 출발 위치로서 취급한다.

<스텝 S3> 가상 시점의 특정

연산부(33)는, 기억부(32)에 기억되는 보정 정보(B)를 참조하여, 피스톤(25)의 현재 위치를 가상 시점으로 보정한다. 구체적으로는, 연산부(33)는, 보정 정보(B)에 있어서 피스톤(25)의 현재 위치와 동일한 실제 위치에 대응되는 이론 위치를, 가상 시점으로 특정한다. 바꿔 말하면, 제어부(31)는, 현재 위치를 보정 정보(B)에 있어서의 실제 위치로 간주하고, 보정 정보(B)를 사용하여 실제 위치를 이론 위치로 변환하고, 변환된 이론 위치를 가상 시점으로 결정한다.

여기서, 이하에 나타내는 처리 조건 1하에서, 연산부(33)가 실시하는 처리를 예시한다.

(처리 조건 1)

목표 토출량 : 2.25[cc]

목표 유량 : 1[cc/sec]

피스톤(25)의 현재 위치(Q) : 25[pls]

이론 정보(A) : 도 2에 나타내는 그래프

보정 정보(B) : 도 3에 나타내는 표

도 5는, 처리 조건 1하에서, 목표 위치를 특정하는 처리를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 5의 상단의 도면은, 도 3에 나타내는 보정 정보(B)를 플롯한 그래프이다. 이하, 도 5의 상단의 그래프를, 「보정 그래프 Bg」라고 부른다. 보정 그래프 Bg의 가로축은 이론 위치이고, 보정 그래프 Bg의 세로축은 실제 위치이다. 보정 그래프 Bg에 있어서 점 P에 부여하는 숫자 0, 1,…6은, 보정 정보(B)에 있어서의 쌍번호를 나타낸다. 예를 들어, 점 P1은, 쌍번호 1에 있어서의 이론 위치 및 실제 위치의 좌표이다. 도 5의 하단의 도면은, 도 2와 동일한 이론 정보(A)이다.

도 3과 도 5를 참조한다. 처리 조건 1에서는, 연산부(33)는 이하의 순서로 가상 시점(q)을 특정한다. 피스톤(25)의 현재 위치(Q)는 25[pls]이므로, 피스톤(25)의 현재 위치(Q)와 동일한 실제 위치는 25[pls]이다. 보정 정보(B)에 있어서 실제 위치 25[pls]에 대응되는 이론 위치는 50[pls]이다. 따라서, 50[pls]이 가상 시점(q)이다. 보정 그래프 Bg에 있어서의 부호 a는, 가상 시점(q)을 특정하는 처리를 모식적으로 나타낸다.

<스텝 S4> 가상 종점의 특정

연산부(33)는, 토출 명령(C)과 이론 정보(A)와 가상 시점을 참조하여, 가상 종점을 특정한다. 구체적으로는, 연산부(33)는, 이론 정보(A)에 있어서 가상 시점과 동일한 위치에 대응되는 토출량의 이론값을, 초기 토출량으로 특정한다. 연산부(33)는, 초기 토출량과 목표 토출량의 합인 합계량을 특정한다. 제어부(31)는, 이론 정보(A)에 있어서 합계량과 동일한 토출량의 이론값에 대응되는 제1 위치를, 가상 종점으로 특정한다.

도 3과 도 5를 참조한다. 처리 조건 1에서는, 연산부(33)는 이하의 순서로 가상 종점(r)을 특정한다. 가상 시점(q)은 50[pls]이므로, 가상 시점(q)과 동일한 제1 위치는 50[pls]이다. 이론 정보(A)에 있어서 제1 위치 50[pls]에 대응되는 토출량의 이론값은 0.5[cc]이다. 따라서, 0.5[cc]가 초기 토출량이다. 도 5의 이론 정보(A)에 있어서의 부호 b는, 초기 토출량을 특정하는 처리를 모식적으로 나타낸다.

토출 명령(C)에 규정되는 목표 토출량은 2.25[cc]이다. 따라서, 초기 토출량과 목표 토출량의 합계량은 2.75[cc]이다. 도 5의 이론 정보(A)에 있어서의 부호 c는, 합계량을 특정하는 처리를 모식적으로 나타낸다.

이론 정보(A)에 있어서, 합계량과 동일한 토출량의 이론값에 대응되는 제1 위치는 275[pls]이다. 따라서, 275[pls]가 가상 종점(r)이다. 도 5의 이론 정보(A)에 있어서의 부호 d는, 가상 종점(r)을 특정하는 처리를 모식적으로 나타낸다.

<스텝 S5> 목표 위치의 특정

연산부(33)는, 보정 정보(B)를 참조하여, 가상 종점을 목표 위치로 보정한다. 구체적으로는, 보정 정보(B)에 있어서 가상 종점과 동일한 이론 위치에 대응되는 실제 위치를, 목표 위치로 특정한다. 바꿔 말하면, 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 사용하여, 가상 종점을 목표 위치로 역변환한다.

도 3과 도 5를 참조한다. 처리 조건 1에서는, 연산부(33)는 이하의 순서로 목표 위치(R)를 특정한다. 가상 종점(r)은 275[pls]이므로, 가상 종점(r)과 동일한 이론 위치는 275[pls]이다. 보정 정보(B)에 있어서 이론 위치 275[pls]에 대응되는 실제 위치는 200[pls]이다. 따라서, 200[pls]이 목표 위치(R)이다. 보정 그래프 Bg에 있어서의 부호 e는, 목표 위치(R)를 특정하는 처리를 모식적으로 나타낸다.

<스텝 S6> 구간의 특정

연산부(33)는, 보정 정보(B)를 참조하여, 현재 위치와 목표 위치 사이에 포함되는 구간을 특정한다. 각 구간은 서로 겹치지 않는다. 보정 정보(B)는, 현재 위치와 목표 위치 사이에 위치하는 실제 위치를 포함한다. 바꿔 말하면, 보정 정보(B)는, 현재 위치보다 크고, 또한 목표 위치보다 작은 실제 위치를 포함한다. 구간은, 보정 정보(B)에 있어서 현재 위치와 목표 위치 사이에 위치하는 실제 위치에 의해 구분된다. 이하에서는, 현재 위치와 목표 위치 사이에 위치하는 실제 위치를 적절히 「중간 실제 위치」라고 부른다.

처리 조건 1에서는, 연산부(33)는 이하의 순서로 구간을 특정한다. 현재 위치(Q)가 25[pls]이고, 목표 위치(R)가 200[pls]이므로, 보정 정보(B)에 포함되는 실제 위치 50[pls], 120[pls]은 각각, 중간 실제 위치이다. 즉, 보정 정보(B)는, 2개의 중간 실제 위치 50[pls], 120[pls]을 포함한다. 현재 위치(Q)에 가장 가까운 중간 실제 위치는 50[pls]이다. 목표 위치(R)에 가장 가까운 중간 실제 위치는 120[pls]이다. 따라서, 현재 위치(Q)로부터 목표 위치(R)까지의 사이에 포함되는 구간은, 이하의 3개이다.

·제1 구간 : 현재 위치(Q)(25[pls])로부터 중간 실제 위치(50[pls])까지

·중간 구간 : 중간 실제 위치(50[pls])에서 중간 실제 위치(120[pls])까지

·제2 구간 : 중간 실제 위치(120[pls])로부터 목표 위치(R)(200[pls])까지

<스텝 S7> 가상 구간의 특정

연산부(33)는, 보정 정보(B)를 참조하여, 각 구간에 대응하는 가상 구간을 특정한다. 바꿔 말하면, 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 사용하여, 각 구간을 가상 구간으로 변환한다. 각 가상 구간은, 가상 시점과 가상 종점의 사이에 포함된다. 각 가상 구간은, 각 구간의 양단의 위치와 동일한 실제 위치에 대응되는 이론 위치에 의해 규정된다. 각 가상 구간은, 보정 정보(B)에 있어서 중간 실제 위치에 대응되는 이론 위치에 의해 구분된다. 이하에서는, 중간 실제 위치에 대응되는 이론 위치를 적절히, 「중간 이론 위치」라고 부른다.

처리 조건 1에서는, 연산부(33)는 이하의 순서로 가상 구간을 특정한다. 가상 시점(q)은 50[pls]이다. 가상 종점(r)은 275[pls]이다. 보정 정보(B)에 있어서 중간 실제 위치 50[pls]에 대응되는 중간 이론 위치는 100[pls]이다. 보정 정보(B)에 있어서 중간 실제 위치 120[pls]에 대응되는 중간 이론 위치는 200[pls]이다. 가상 시점(q)에 가장 가까운 중간 이론 위치는 100[pls]이다. 가상 종점(r)에 가장 가까운 중간 이론 위치는 200[pls]이다. 따라서, 가상 구간은 이하의 3개이다.

·가상 제1 구간 : 가상 시점(q)(50[pls])에서부터 중간 이론 위치(100[pls])까지

·가상 중간 구간 : 중간 이론 위치(100[pls])에서부터 중간 이론 위치(200[pls])까지

·가상 제2 구간 : 중간 이론 위치(200[pls])로부터 가상 종점(r)(275[pls])까지

여기서, 가상 제1 구간은 제1 구간과 대응한다. 가상 중간 구간은 중간 구간과 대응한다. 가상 제2 구간은 제2 구간과 대응한다.

<스텝 S8> 이론 속도의 특정

연산부(33)는, 이론 정보(A)를 참조하여 이론 속도를 특정한다. 이론 속도는, 목표 유량으로 처리액을 토출하기 위한 피스톤(25)의 이론적인 이동 속도이다. 즉, 연산부(33)는, 이론 정보(A)를 참조하여, 목표 유량으로 처리액을 토출하기 위한 피스톤(25)의 이론적인 이동 속도를 이론 속도로 특정한다.

처리 조건 1에서는, 연산부(33)는 이하의 순서로 이론 속도를 특정한다. 토출 명령(C)에 규정되는 목표 유량은 1[cc/sec]이다. 이론 정보(A)에서는, 토출량의 이론값은 제1 기준 위치와 제1 위치의 차에 비례한다. 제1 기준 위치와 제1 위치의 차는, 피스톤(25)의 이동 거리에 상당한다. 따라서, 이론 정보(A)에서는, 토출량의 이론값은 피스톤(25)의 이동 거리에 비례한다. 구체적으로는, 피스톤(25)의 이동 거리가 100[pls] 증가할 때마다, 토출량의 이론값은 1[cc] 증가한다. 따라서, 피스톤(25)의 이론 속도는, 어느 가상 구간에 있어서도 일률적으로 100[pls/sec]이다. 여기서, 펄스레이트[pls/sec]는, 피스톤(25)의 속도를 나타내는 지표이다.

<스텝 S9> 수정 속도의 특정

연산부(33)는, 보정 정보(B)를 참조하여, 이론 속도를 수정 속도로 보정한다. 구체적으로는, 제어부(31)는, 이론 속도를 구간마다 보정한다. 이로써, 제어부(31)는, 각 구간에 있어서의 수정 속도를 특정한다. 각 구간에 있어서의 수정 속도는, 각 구간의 거리를 각 구간에 대응하는 가상 구간의 거리로 나눈 값을, 이론 속도에 곱한 값이다. 여기서, 구간의 거리는, 구간의 제1 단에 있어서의 위치와 구간의 제2 단에 있어서의 위치의 차이다. 가상 구간의 거리는, 가상 구간의 제1 단에 있어서의 위치와 가상 구간의 제2 단에 있어서의 위치의 차이다.

처리 조건 1에서는, 연산부(33)는 이하의 순서로 수정 속도를 특정한다. 상기 서술한 제1 구간, 중간 구간 및 제2 구간에 있어서의 수정 속도를 각각, 「제1 수정 속도」, 「중간 수정 속도」및 「제2 수정 속도」라고 부른다.

제1 수정 속도는 하기 식에 의해 산출한다.

제1 수정 속도=이론 속도×(제1 구간의 거리)÷(가상 제1 구간의 거리)

=100×(50-25)÷(100-50)

=50[pls/sec]

중간 수정 속도는 하기 식에 의해 산출한다.

중간 수정 속도=이론 속도×(중간 구간의 거리)÷(가상 중간 구간의 거리)

=100×(120-50)÷(200-100)

=70[pls/sec]

제2 수정 속도는 하기 식에 의해 산출한다.

제2 수정 속도=이론 속도×(제2 구간의 거리)÷(가상 제2 구간의 거리)

=100×(200-120)÷(275-200)

=107[pls/sec]

<스텝 S10> 구동 명령의 출력

연산부(33)는, 특정된 목표 위치 및 수정 속도를 구동 회로(34)에 부여한다. 구동 회로(34)는, 목표 위치 및 수정 속도에 따른 구동 명령을 모터(27)에 출력한다. 구체적으로는, 구동 명령은, 피스톤(25)을 현재 위치로부터 목표 위치까지 이동시키는 명령이다. 또한 구동 명령은, 피스톤(25)을 수정 속도로 이동시키는 명령이다. 보다 구체적으로는, 구동 명령은, 피스톤(25)을 각 구간에 걸쳐 각 구간에 따른 수정 속도로 이동시키는 명령이다.

처리 조건 1에서는, 구동 회로(34)는 이하의 3개의 구동 명령을 모터(27)에 출력한다.

·제1 구간에 걸쳐(즉, 현재 위치(Q)(25[pls])로부터 중간 실제 위치(50[pls])까지), 제1 수정 속도(50[pls/sec])로, 피스톤(25)을 이동시키는 구동 명령

·중간 구간에 걸쳐(즉, 중간 실제 위치(50[pls])로부터 중간 실제 위치(120[pls])까지), 중간 수정 속도(70[pls/sec])로, 피스톤(25)을 이동시키는 구동 명령

·제2 구간에 걸쳐(즉, 중간 실제 위치(120[pls])로부터 목표 위치(R)(200[pls])까지), 제2 수정 속도(107[pls/sec])로, 피스톤(25)을 이동시키는 구동 명령

<스텝 S11> 처리액의 토출

모터(27)가 구동 명령에 따라 피스톤(25)을 이동시킨다. 피스톤(25)의 출발 위치는 현재 위치이다. 피스톤(25)은, 현재 위치로부터 목표 위치까지 수정 속도로 이동한다. 피스톤(25)의 이동에 의해, 펌프실(21) 내의 용적은 감소하고, 펌프실(21)은, 펌프실(21) 내의 처리액을 펌프실(21) 밖으로 토출한다. 펌프실(21)은, 피스톤(25)의 이동 거리(즉, 현재 위치로부터 목표 위치까지의 거리)에 따른 양의 처리액을 토출한다. 펌프실(21)은, 피스톤(25)의 이동 속도에 따른 유량으로 처리액을 토출한다.

4. 기판 처리 장치(1)의 동작예

기판 처리 장치(1)가 기판(W)에 액처리를 실시하는 동작을 간단하게 설명한다. 유지부(3)는 기판(W)을 유지한다. 노즐(7)이 토출 위치로 이동한다. 개폐 밸브(17)는 폐쇄되어 있다. 개폐 밸브(18)는 개방되어 있다. 제어부(31)가 1개의 토출 명령(C)에 따라 모터(27)를 제어한다. 이로써, 피스톤(25)이 이동하고, 펌프실(21)이 2차측 배관(11b)에 처리액을 토출한다. 2차측 배관(11b)은, 처리액을 노즐(7)에 보낸다. 노즐(7)은, 유지부(3)에 유지되는 기판(W)에 처리액을 공급한다. 노즐(7)이 처리액을 기판(W)에 공급할 때, 회전 모터(5)는 기판(W)을 회전시켜도 된다.

피스톤(25)이 목표 위치에 도달한 후, 피스톤(25)이 정지한다. 펌프 장치(15)는 처리액의 토출을 종료하고, 노즐(7)은 처리액의 공급을 종료한다. 이로써, 펌프 장치(15)는, 1개의 토출 명령(C)에 따른 처리액의 토출 동작을 완료한다.

계속해서, 펌프 장치(15)는, 처리액의 흡입 동작을 실시한다. 구체적으로는, 개폐 밸브(17)가 개방되고, 개폐 밸브(18)가 폐쇄된다. 피스톤(25)이 펌프실(21)로부터 후퇴한다. 펌프실(21) 내의 용적이 증가하고, 펌프실(21)은 1차측 배관(11a)으로부터 처리액을 흡입한다.

펌프 장치(15)가 처리액의 흡입 동작을 완료한 후, 개폐 밸브(17)가 폐쇄되고, 개폐 밸브(18)가 개방된다. 펌프 장치(15)는, 다음의 토출 명령(C)에 따른 동작을 개시한다.

4. 본 실시형태의 효과

펌프 장치(15)는 제어부(31)를 구비한다. 제어부(31)는, 토출 명령(C)과 이론 정보(A)와 현재 위치를 참조하여, 가상 종점을 특정한다. 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 사용하여 가상 종점을 목표 위치로 보정한다. 여기서, 보정 정보(B)는, 피스톤(25)의 위치 및 토출량의 이론적인 관계와 피스톤(25)의 위치 및 토출량의 실제의 관계의 차이에 관한 정보이다. 이 때문에, 가상 종점이 어느 위치로 결정되었을 경우에도, 적절한 목표 위치를 특정할 수 있다. 따라서, 펌프실(21)이 실제로 토출하는 처리액의 양을, 토출 명령(C)에 규정되는 목표 토출량에 바람직하게 근사시킬 수 있다. 즉, 처리액의 토출량을 양호한 정밀도로 조정할 수 있다.

이론 정보(A)는, 피스톤(25)이 제1 기준 위치로부터 도달하는 제1 위치와, 피스톤(25)이 제1 기준 위치로부터 제1 위치에 도달할 때의 토출량의 이론값을 대응시킨다. 이 때문에, 제어부(31)는, 이론 정보(A)를 사용하여 가상 종점을 바람직하게 특정할 수 있다.

보정 정보(B)는, 이론 위치와 실제 위치를 대응시킨다. 여기서, 피스톤(25)이 제2 기준 위치로부터 이론 위치에 도달할 때의 토출량의 이론값은, 피스톤(25)이 제2 기준 위치로부터, 보정 정보(B)에 있어서 이론 위치에 대응되는 실제 위치에 도달할 때의 토출량의 실제값과 동일하다. 바꾸어 말하면, 보정 정보(B)는, 임의의 토출량의 처리액을 토출시키기 위해서 피스톤(25)이 제2 기준 위치로부터 이론적으로 도달해야 할 이론 위치와, 임의의 토출량과 동일한 토출량의 처리액을 토출시키기 위해 피스톤(25)이 제2 기준 위치로부터 실제로 도달해야 할 실제 위치를 대응시킨다. 이 때문에, 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 사용하여 가상 종점을 목표 위치로 바람직하게 보정할 수 있다.

이론 정보(A)의 제1 기준 위치는, 보정 정보(B)의 제2 기준 위치와 동일하다. 이 때문에, 가상 종점이 어떠한 위치이어도, 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 사용하여 가상 종점을 목표 위치에 용이하게 보정할 수 있다. 동일하게, 피스톤(25)의 현재 위치가 어떠한 위치이어도, 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 사용하여 현재 위치를 가상 시점에 용이하게 보정할 수 있다.

제어부(31)는, 보정 정보(B)를 참조하여, 피스톤(25)의 현재 위치를 가상 시점으로 보정한다. 제어부(31)는, 토출 명령(C)과 이론 정보(A)와 가상 시점을 참조하여, 가상 시점을 기준으로 하는 가상 종점을 특정한다. 이로써, 제어부(31)는, 현재 위치에 있는 피스톤(25)이 도달해야 할 목표 위치를 바람직하게 특정할 수 있다. 따라서, 피스톤(25)의 현재 위치가 어느 위치이어도, 피스톤(25)의 현재 위치를 출발 위치로 할 수 있다.

제어부(31)는, 보정 정보(B)에 있어서 피스톤(25)의 현재 위치와 동일한 실제 위치에 대응되는 이론 위치를, 가상 시점으로 특정한다. 이 처리에 의해, 제어부(31)는 가상 시점을 바람직하게 특정할 수 있다.

제어부(31)는, 이론 정보(A)에 있어서 가상 시점과 동일한 위치에 대응되는 토출량의 이론값을, 초기 토출량으로 특정한다. 제어부(31)는, 초기 토출량과, 목표 토출량의 합인 합계량을 특정한다. 또한 제어부(31)는, 이론 정보(A)에 있어서 합계량과 동일한 토출량의 이론값에 대응되는 제1 위치를, 가상 종점으로 특정한다. 이 일련의 처리에 의해, 제어부(31)는 가상 종점을 바람직하게 특정할 수 있다.

제어부(31)는, 보정 정보(B)에 있어서 가상 종점과 동일한 이론 위치에 대응되는 실제 위치를, 목표 위치로 특정한다. 이 처리에 의해, 제어부(31)는 목표 위치를 바람직하게 특정할 수 있다.

펌프 장치(15)는 인코더(29)를 구비한다. 이 때문에, 제어부(31)는 피스톤(25)의 현재 위치를 바람직하게 특정할 수 있다.

제어부(31)는, 토출 명령(C)과 이론 정보(A)를 참조하여, 피스톤(25)의 이론 속도를 특정한다. 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 사용하여, 이론 속도를 수정 속도로 보정한다. 여기서, 보정 정보(B)는, 피스톤(25)의 위치 및 토출량의 이론적인 관계와 피스톤(25)의 위치 및 토출량의 실제의 관계의 차이에 관한 정보이다. 이 때문에, 피스톤(25)의 가상 종점이 어느 위치에 결정되었을 경우에도, 적절한 수정 속도를 특정할 수 있다. 따라서, 펌프실(21)이 실제로 토출하는 처리액의 유량을, 토출 명령(C)에 규정되는 목표 유량에 바람직하게 근사시킬 수 있다. 즉, 처리액의 유량을 양호한 정밀도로 조정할 수 있다.

제어부(31)는, 보정 정보(B)를 사용하여, 현재 위치와 목표 위치 사이에 포함되는 복수의 구간을 특정한다. 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 사용하여, 이론 속도를 구간마다 보정하고, 각 구간에 있어서의 수정 속도를 각각 특정한다. 이로써, 제어부(31)는, 피스톤(25)의 이동 속도를 미세하게 설정할 수 있다. 따라서, 펌프실(21)이 실제로 토출하는 처리액의 유량을, 목표 유량에 더욱 근사시킬 수 있다.

제어부(31)는, 2개의 중간 실제 위치를 사용하여, 현재 위치로부터 목표 위치 사이에 포함되는 3개의 구간(즉, 제1 구간과 중간 구간과 제2 구간)을 바람직하게 특정할 수 있다.

제어부(31)는, 제1 구간의 거리와 가상 제1 구간의 거리와 이론 속도로부터, 제1 수정 속도를 산출한다. 그리고, 제어부(31)는, 피스톤(25)을 제1 구간에 걸쳐 제1 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 모터(27)에 출력한다. 이로써, 피스톤(25)이 제1 구간을 이동할 때, 펌프실(21)이 실제로 토출하는 처리액의 유량을, 목표 유량에 바람직하게 근사시킬 수 있다.

동일하게, 제어부(31)는, 중간 구간에 있어서의 중간 수정 속도를 산출하고, 피스톤(25)을 중간 구간에 걸쳐 중간 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 모터(27)에 출력한다. 이로써, 피스톤(25)이 중간 구간을 이동할 때에도, 펌프실(21)이 실제로 토출하는 처리액의 유량을, 목표 유량에 바람직하게 근사시킬 수 있다.

동일하게, 제어부(31)는, 제2 구간에 있어서의 제2 수정 속도를 산출하고, 피스톤(25)을 제2 구간에 걸쳐 제2 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 모터(27)에 출력한다. 이로써, 피스톤(25)이 제2 구간을 이동할 때에도, 펌프실(21)이 실제로 토출하는 처리액의 유량을, 목표 유량에 바람직하게 근사시킬 수 있다.

제어부(31)는 기억부(32)를 갖는다. 이 때문에, 제어부(31)는 이론 정보(A)와 보정 정보(B)를 항상 참조할 수 있다. 이 때문에, 제어부(31)는 목표 위치 등을 원활하게 특정할 수 있다.

제어부(31)는, 외부 기기로부터 토출 명령(C)을 받는다. 이로써, 제어부(31)는, 목표 위치 등을 바람직하게 특정할 수 있다.

토출 명령(C)에 규정되는 목표 토출량은, 피스톤(25)의 단순한 이동 거리에 관련하는 정보이다. 동일하게, 토출 명령(C)에 규정되는 목표 유량은, 피스톤(25)의 단순한 이동 속도에 관련하는 정보이다. 따라서, 목표 토출량 및 목표 유량은, 피스톤(25)의 출발 위치, 피스톤(25)의 현재 위치, 및 피스톤(25)의 목표 위치에 관한 정보는 아니다. 이와 같이, 토출 명령(C)은, 피스톤(25)의 출발 위치, 피스톤(25)의 현재 위치, 및 피스톤(25)의 목표 위치에 관한 정보를 포함하지 않는다. 이 때문에, 토출 명령(C)은 간소하다. 따라서, 외부 기기는, 간소한 토출 명령(C)에 의해 펌프 장치(15)를 제어할 수 있다.

기판 처리 장치(1)는, 펌프 장치(15)를 구비한다. 이 때문에, 기판(W)에 실제로 공급되는 처리액의 양을, 목표 토출량에 바람직하게 근사시킬 수 있다. 즉, 기판(W)에 공급되는 처리액의 양을, 양호한 정밀도로 조정할 수 있다. 따라서, 기판(W)에 실시하는 처리의 품질을 바람직하게 향상시킬 수 있다.

펌프실(21)의 일부는, 다이아프램(23)에 의해 구획된다. 이 때문에, 모터(27)가 피스톤(25)을 이동시킴으로써, 펌프실(21) 내의 용적을 바람직하게 바꿀 수 있다.

본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.

(1) 상기 서술한 처리 조건 1하에서는, 보정 정보(B)는, 현재 위치와 동일한 실제 위치 및 가상 종점과 동일한 이론 위치를 포함하고 있었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 보정 정보(B)는, 현재 위치와 동일한 실제 위치를 포함하지 않아도 된다. 보정 정보(B)는, 가상 종점과 동일한 이론 위치를 포함하지 않아도 된다. 본 변형 실시형태이어도, 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 보간함으로써, 현재 위치를 가상 시점으로 보정할 수 있다. 동일하게, 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 보간함으로써, 가상 종점을 목표 위치로 보정할 수 있다.

도 6은, 보정 정보(B)를 보간하는 직선을 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 6은, 도 3의 보정 정보(B)를 플롯한 그래프를 나타낸다. 이하, 도 6에 나타내는 그래프를, 「보정 그래프 Bg」라고 부른다.

도 6은, 추가로 보정 정보(B)를 보간하는 직선 L을 파선으로 나타낸다. 직선 L은, 점 P0, P1, P2,…, P6을 선분으로 연결한 것이다. 직선 L은, 인접하는 2개의 점 P를 연결하는 선분의 집합이다. 인접하는 2개의 점 P는, 예를 들어 점 P0과 점 P1이다. 따라서, 직선 L은, 예를 들어 점 P0과 점 P1을 연결하는 선분을 포함한다. 직선 L은, 예를 들어 꺾은 선이다. 제어부(31)는, 보정 정보(B)에 포함되는 이론 위치 및 실제 위치를 직선 L에 의해 보간한다. 제어부(31)는, 직선 L을 사용하여, 가상 종점과 동일한 이론 위치를 추정한다. 또한 제어부(31)는, 직선 L을 사용하여, 추정된 이론 위치에 대응되는 실제 위치를, 목표 위치로서 추정한다.

예를 들어, 가상 종점(r)이 350[pls]인 것으로 한다. 보정 정보(B)는, 가상 종점(r)(350[pls])과 동일한 이론 위치를 포함하지 않는다. 이 경우, 제어부(31)는 스텝 S4에 있어서 이하의 처리를 실시한다. 제어부(31)는, 직선 L 상에 있어서, 이론 위치가 350[pls]인 점을 특정한다. 직선 L은, 이론 위치 350[pls]을, 실제 위치 375[pls]에 대응시킨다. 제어부(31)는, 직선 L에 의거하여, 이론 위치 350[pls]에 대응되는 실제 위치가 375[pls]인 것을 특정한다. 제어부(31)는, 실제 위치 375[pls]를 목표 위치(R)로 취급한다. 도 6의 보정 그래프 Bg에 있어서의 부호 f는, 직선 L에 의해 목표 위치를 추정하는 처리를 모식적으로 나타낸다.

동일하게, 보정 정보(B)가, 피스톤(25)의 현재 위치와 동일한 실제 위치를 포함하지 않는 경우에도, 제어부(31)는, 직선 L에 의해, 현재 위치에 대응하는 가상 시점을 바람직하게 추정할 수 있다. 구체적으로는, 제어부(31)는, 직선 L에 의거하여, 현재 위치와 동일한 실제 위치에 대응되는 이론 위치를 특정한다. 제어부(31)는, 특정된 이론 위치를 가상 시점으로 추정한다.

또한, 상기 서술한 변형 실시형태에서는, 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 직선 L로 보간했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 곡선으로 보간해도 된다. 예를 들어, 제어부(31)는, 보정 정보(B)에 포함되는 이론 위치 및 실제 위치를 보간하는 곡선에 의해, 가상 종점 및 목표 위치 중 적어도 어느 하나를 추정해도 된다. 예를 들어, 제어부(31)는, 보정 정보(B)에 포함되는 이론 위치 및 실제 위치를 보간하는 곡선에 의해, 출발 위치, 현재 위치 및 가상 시점 중 적어도 어느 하나를 추정해도 된다. 예를 들어, 제어부(31)는, 보정 정보(B)에 포함되는 이론 위치 및 실제 위치를 보간하는 곡선에 의해, 목표 위치 및 가상 시점 중 적어도 어느 하나를 추정해도 된다. 보정 정보(B)를 곡선으로 보간함으로써, 가상 종점 및 목표 위치 등의 추정 정밀도를 향상시킬 수 있다. 한편, 보정 정보(B)를 직선 L로 보간하는 양태에서는, 제어부(31)에 있어서의 처리를 경감시킬 수 있다.

(2) 상기 서술한 처리 조건 1하에서는, 보정 정보(B)에 포함되는 중간 실제 위치의 수는 2개였지만, 이것에 한정되지 않는다.

예를 들어, 보정 정보(B)에 포함되는 중간 실제 위치의 수는 3개 이상이어도 된다. 이 양태에서는, 스텝 S6에서는, 제어부(31)는, 현재 위치와 목표 위치 사이에 포함되는 4개 이상의 구간을 특정한다. 구체적으로는, 제어부(31)는, 1개의 제1 구간과 1개의 제2 구간과 2개 이상의 중간 구간을 특정한다. 스텝 S7에서는, 제어부(31)는, 4개 이상의 가상 구간을 특정한다. 구체적으로는, 제어부(31)는, 1개의 가상 제1 구간과 1개의 가상 제2 구간과 2개 이상의 가상 중간 구간을 특정한다. 스텝 S9에서는, 제어부(31)는, 4개 이상의 수정 속도를 특정한다. 구체적으로는, 제어부(31)는, 1개의 제1 수정 속도와 1개의 제2 수정 속도와 2개 이상의 중간 수정 속도를 특정한다.

예를 들어, 보정 정보(B)에 포함되는 중간 실제 위치의 수는 1개이어도 된다. 이 양태에서는, 스텝 S6에서는, 제어부(31)는 2개의 구간을 특정한다. 2개의 구간은, 현재 위치로부터 중간 실제 위치까지의 제1 구간과, 중간 실제 위치로부터 목표 위치까지의 제2 구간이다. 스텝 S7에서는, 제어부(31)는, 2개의 가상 구간을 특정한다. 구체적으로는, 보정 정보(B)는, 중간 실제 위치에 대응되는 상기 이론 위치인 1개의 중간 이론 위치를 포함한다. 제어부(31)는, 가상 시점으로부터 중간 이론 위치까지의 가상 제1 구간을 특정한다. 제어부(31)는, 중간 이론 위치로부터 가상 종점까지의 가상 제2 구간을 특정한다. 스텝 S9에서는, 제어부(31)는, 2개의 수정 속도를 특정한다. 구체적으로는, 제어부(31)는, 제1 구간의 거리를 가상 제1 구간의 거리로 나눈 값을 이론 속도에 곱함으로써, 제1 수정 속도를 산출한다. 제어부(31)는, 제2 구간의 거리를 가상 제1 구간의 거리로 나눈 값을 상기 제2 이론 속도에 곱함으로써, 제2 수정 속도를 산출한다. 스텝 S10에서는, 제어부(31)는, 피스톤(25)을 제1 구간에 걸쳐 제1 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 모터(27)에 출력한다. 제어부(31)는, 피스톤(25)을 제2 구간에 걸쳐 제2 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 모터(27)에 출력한다.

예를 들어, 보정 정보(B)에 포함되는 중간 실제 위치의 수는 0이어도 된다. 즉, 보정 정보(B)는 중간 실제 위치를 포함하지 않아도 된다. 이 경우, 제어부(31)는, 구간을 특정하는 처리(스텝 S6)와, 가상 구간을 특정하는 처리(스텝 S7)를 생략한다. 스텝 S9에서는, 제어부(31)는 1개의 수정 속도를 특정한다. 구체적으로는, 제어부(31)는, 현재 위치와 목표 위치의 거리를 가상 시점과 가상 종점의 거리로 나눈 값을 이론 속도에 곱함으로써, 수정 속도를 산출한다. 스텝 S10에서는, 제어부(31)는, 피스톤(25)을 현재 위치로부터 목표 위치로 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 모터(27)에 출력한다.

(3) 상기 서술한 실시형태에서 예시한 이론 정보(A)에서는, 토출량의 이론값이 피스톤(25)의 이동 거리에 비례한다. 이 때문에, 피스톤(25)의 이론 속도는, 피스톤(25)의 위치에 관계없이 일정했다. 단, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 이론 정보(A)에 있어서 토출량의 이론값이 피스톤(25)의 이동 거리에 비례하지 않아도 된다. 피스톤(25)의 이론 속도가 피스톤(25)의 위치에 따라 변동되어도 된다. 본 변형 실시형태에서는, 제어부(31)는, 이론 정보(A)를 참조하여, 각 가상 구간에 있어서의 이론 속도를 각각 특정하는 것이 바람직하다.

구체적으로는, 스텝 S8에서는, 제어부(31)는, 가상 제1 구간에 있어서의 제1 이론 속도와, 가상 중간 구간에 있어서의 중간 이론 속도와, 가상 제2 구간에 있어서의 제2 이론 속도를 특정한다. 스텝 S9에서는, 제어부(31)는, 보정 정보(B)를 참조하여, 제1 이론 속도를 제1 수정 속도로 보정하고, 중간 이론 속도를 중간 수정 속도로 보정하고, 제2 이론 속도를 제2 수정 속도로 보정한다. 구체적으로는, 제어부(31)는, 제1 구간의 거리를 가상 제1 구간의 거리로 나눈 값을, 제1 이론 속도에 곱함으로써, 제1 수정 속도를 산출한다. 제어부(31)는, 중간 구간의 거리를 가상 중간 구간의 거리로 나눈 값을, 중간 이론 속도에 곱함으로써, 중간 수정 속도를 산출한다. 제어부(31)는, 제2 구간의 거리를 가상 제2 구간의 거리로 나눈 값을, 제2 이론 속도에 곱함으로써, 제2 수정 속도를 산출한다. 이로써, 피스톤(25)의 이론 속도가 피스톤(25)의 위치에 따라 변동되는 경우에도, 제어부(31)는, 피스톤(25)의 이동 속도를 적절히 설정할 수 있다.

(4) 상기 서술한 실시형태에서는, 피스톤(25)의 출발 위치는 피스톤(25)의 현재 위치이었다. 즉, 피스톤(25)의 출발 위치는 미리 정해져 있지 않았다. 피스톤(25)의 출발 위치는, 항상 동일한 위치가 아니어도 되었다. 단, 본 발명은, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 피스톤(25)의 출발 위치는 피스톤(25)의 현재 위치가 아니어도 된다. 예를 들어, 피스톤(25)의 출발 위치는 미리 정해진 위치이어도 된다. 예를 들어, 피스톤(25)의 출발 위치는 항상 동일한 위치이어도 된다.

예를 들어, 제어부(31)는, 펌프 장치(15)가 처리액의 흡입 동작을 실시할 때, 피스톤(25)을 항상 소정의 위치까지 후퇴시켜도 된다. 이에 의하면, 피스톤(25)의 출발 위치를 소정의 위치에 용이하게 유지할 수 있다.

출발 위치는, 예를 들어, 이론 정보(A)의 제1 기준 위치와 동일한 위치이어도 된다. 혹은, 출발 위치는, 보정 정보(B)의 제2 기준 위치와 동일한 위치이어도 된다.

본 변형 실시형태에서는, 인코더(29)의 검출 결과에 의거하여 피스톤(25)의 현재 위치를 특정할 것도 없이, 피스톤(25)의 출발 위치는 이미 알려진 바와 같다. 이 때문에, 제어부(31)는, 스텝 S2에 있어서의 처리(현재 위치의 특정)를 생략해도 된다. 이로써, 제어부(31)의 처리를 간소화할 수 있다. 또한 펌프 장치(15)는, 인코더(29)를 구비하지 않아도 된다. 인코더(29)를 생략함으로써, 펌프 장치(15)의 구성을 간소화할 수 있다.

피스톤(25)의 출발 위치가 미리 정해진 위치이므로, 가상 시점도 미리 정해진 위치이다. 즉, 가상 시점은 이미 알려진 바와 같다. 이 때문에, 제어부(31)는, 스텝 S3에 있어서의 처리(가상 시점의 특정)를 생략해도 된다. 이로써, 제어부(31)의 처리를 더욱 간소화할 수 있다.

본 변형 실시형태에서는, 피스톤(25)의 출발 위치는, 현재 위치라고는 단정할 수 없다. 이 때문에, 실시형태의 스텝 S6의 설명에 기재되는 「현재 위치」를, 「출발 위치」로 바꾸어 읽는 것이 바람직하다. 예를 들어, 본 변형 실시형태에서는, 제어부(31)는, 「출발 위치」와 목표 위치 사이에 포함되는 구간을 특정한다. 예를 들어, 본 변형 실시형태에서는, 제어부(31)는, 「출발 위치」로부터 중간 실제 위치까지의 구간을 제1 구간으로 특정한다.

(5) 상기 서술한 실시형태에서는, 보정 정보(B)의 수는 1개였지만, 이것에 한정되지 않는다. 보정 정보(B)의 수는 복수이어도 된다. 예를 들어, 보정 정보(B)는, 제1 보정 정보와, 제1 보정 정보와는 상이한 제2 보정 정보를 포함해도 된다. 제어부(31)는, 처리액의 조건에 의거하여, 제1 보정 정보 및 제2 보정 정보 중 어느 하나를 선택하고, 선택된 제1 보정 정보 및 제2 보정 정보 중 어느 하나를 참조하여, 가상 종점을 목표 위치로 보정해도 된다. 처리액의 조건은, 예를 들어, 처리액의 종류, 처리액의 점도, 처리액의 밀도 및 처리액의 사용 온도 중 적어도 어느 하나이다. 또한 기억부(32)는, 제1 보정 정보 및 제2 보정 정보를 기억하는 것이 바람직하다.

(6) 상기 서술한 실시형태에서는, 이론 정보(A)의 수는 1개였지만, 이것에 한정되지 않는다. 이론 정보(A)의 수는 복수이어도 된다. 예를 들어, 이론 정보(A)는, 제1 이론 정보와, 제1 이론 정보와는 상이한 제2 이론 정보를 포함해도 된다. 제어부(31)는, 처리액의 조건에 의거하여, 제1 이론 정보 및 제2 이론 정보 중 어느 하나를 선택하고, 선택된 제1 이론 정보 및 제2 이론 정보 중 어느 하나를 참조하여, 가상 종점을 특정해도 된다. 처리액의 조건은, 예를 들어, 처리액의 종류, 처리액의 점도, 처리액의 밀도 및 처리액의 사용 온도 중 적어도 어느 하나이다. 또한 기억부(32)는, 제1 이론 정보 및 제2 이론 정보를 기억하는 것이 바람직하다.

(7) 상기 서술한 실시형태에서는, 이론 정보(A) 및 보정 정보(B)는, 피스톤(25)의 위치를 펄스수로 표기했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 이론 정보(A) 및 보정 정보(B) 중 적어도 어느 하나는, 피스톤(25)의 위치를, 제1/제2 기준 위치로부터의 거리로 표기해도 된다.

(8) 상기 서술한 실시형태에서는, 이론 속도 및 수정 속도를, 펄스레이트[pls/sec]로 표기했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 이론 속도 및 수정 속도를, 단위 시간당의 거리로 표기해도 된다.

(9) 상기 서술한 실시형태에서는, 이론 정보(A)의 형식은 그래프였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 이론 정보(A)의 형식은, 함수 또는 표이어도 된다. 상기 서술한 실시형태에서는, 보정 정보(B)의 형식은 표였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 보정 정보(B)의 형식은 함수 또는 그래프이어도 된다.

(10) 상기 서술한 실시형태에서는, 제2 기준 위치는 제1 기준 위치와 동일했지만, 이것에 한정되지 않는다. 즉, 제2 기준 위치는, 제1 기준 위치와 상이해도 된다.

도 7은, 변형 실시형태에 있어서의 보정 정보를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 7에 나타내는 보정 정보(B)에서는, 제2 기준 위치는 25[pls]이다. 즉, 제2 기준 위치에 있어서의 토출량은 0[cc]이다. 도 3에 나타내는 보정 정보(B) 대신에, 도 7에 나타내는 보정 정보(B)를 사용해도, 제어부(31)는, 실시형태와 동일한 목표 위치를 특정할 수 있다.

(11) 상기 서술한 실시형태에서는, 토출 명령(C)은, 목표 유량에 관한 정보를 포함하고 있었지만, 이것에 한정되지 않는다. 즉, 토출 명령(C)은, 목표 유량에 관한 정보를 포함하지 않아도 된다. 본 변형 실시형태에서는, 제어부(31)는, 스텝 S6 내지 S9의 처리를 생략하고, 수정 속도를 특정하지 않는다. 스텝 S10에서는, 제어부(31)는, 피스톤(25)을 현재 위치로부터 목표 위치에 단순히 이동시키는 구동 명령을 모터(27)에 출력한다. 즉, 제어부(31)는, 피스톤(25)의 이동 속도에 관한 구동 명령을 모터(27)에 출력하지 않는다.

(12) 상기 서술한 실시형태에서는, 토출 명령(C)은, 목표 토출량 및 목표 유량에 관한 정보를 포함하지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 토출 명령(C)은, 목표 토출량과 목표 유량과 목표 토출 시간 중 어느 2개를 포함해도 된다. 목표 토출량은, 목표 유량과 목표 토출 시간에 의해 일의적(一義的)으로 정해진다. 목표 유량은, 목표 토출량과 목표 토출 시간에 의해 일의적으로 정해진다. 따라서 본 변형 실시형태이어도, 토출 명령(C)에 포함되는 2개의 정보로부터, 목표 토출량 및 목표 유량을 일의적으로 특정할 수 있다.

(13) 상기 서술한 실시형태에서는, 목표 토출량에 관한 정보로서, 처리액의 양[cc]을 예시했지만, 이것에 한정되지 않는다. 토출량이 피스톤(25)의 이동 거리에 의해 일의적으로 정해지는 경우에는, 목표 토출량에 관한 정보는 피스톤(25)의 이동 거리에 의해 규정되어도 된다. 상기 서술한 실시형태에서는, 목표 유량에 관한 정보로서, 단위 시간당의 처리액의 양[cc/sec]을 예시했지만, 이것에 한정되지 않는다. 유량이 피스톤(25)의 이동 속도에 의해 일의적으로 정해지는 경우에는, 목표 유량에 관한 정보는 피스톤(25)의 이동 속도에 의해 규정되어도 된다.

(14) 상기 서술한 실시형태에서는, 가동 격벽 부재(구체적으로는, 다이아프램(23))는 펌프실(21)의 일부를 구획했지만, 이것에 한정되지 않는다. 즉, 가동 격벽 부재는 펌프실(21)의 전부를 구획해도 된다.

(15) 상기 서술한 실시형태에서는, 가동 격벽 부재는 다이아프램(23)이었지만, 이것에 한정되지 않는다. 가동 격벽 부재는, 예를 들어, 튜브프램 또는 벨로스이어도 된다.

(16) 상기 서술한 실시형태에서는, 피스톤(25)은, 가동 격벽 부재(다이아프램(23))에 접속했지만, 이것에 한정되지 않는다. 피스톤(25)은, 가동 격벽 부재에 접촉하지 않아도 된다. 상기 서술한 실시형태에서는, 피스톤(25)은 가동 격벽 부재(다이아프램(23))를 직접적으로 변형하지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 피스톤(25)은 가동 격벽 부재를 간접적으로 변형해도 된다. 예를 들어, 피스톤(25)은, 간접액 또는 작동 유체를 통하여, 가동 격벽 부재를 변형시켜도 된다. 예를 들어, 피스톤(25)은, 간접액 또는 작동 유체의 압력을 바꿈으로써, 가동 격벽 부재를 변형시켜도 된다.

(17) 상기 서술한 실시형태에서는, 가동 부재로서 피스톤(25)을 예시했지만, 이것에 한정되지 않는다. 가동 부재는, 예를 들어, 로드 또는 샤프트이어도 된다.

(18) 상기 서술한 실시형태에서는, 모터(27)는 스테핑 모터였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 모터(27)는, 예를 들어, 서보 모터이어도 된다. 상기 서술한 실시형태에서는, 액추에이터로서 모터(27)를 예시했지만, 이것에 한정되지 않는다. 펌프 장치(15)가 갖는 액추에이터는, 에어 실린더이어도 된다. 에어 실린더는, 공압 구동 실린더라고도 불린다. 본 변형 실시형태에서는, 제어부(31)는 에어 실린더를 제어한다. 예를 들어, 제어부(31)는, 전공 레귤레이터를 제어함으로써, 에어 실린더의 동력원인 에어 압력을 제어해도 된다. 이에 의하면, 제어부(31)는 에어 실린더를 바람직하게 제어할 수 있다.

(19) 상기 서술한 실시형태에서는, 펌프 장치(15)는, 모터(27)의 회전량을 검출하는 인코더(29)를 구비하지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 펌프 장치(15)는, 피스톤(25)의 위치를 검출하는 센서를 구비해도 된다. 본 변형 실시형태에 의해서도, 제어부(31)는, 센서의 검출 결과에 의거하여 피스톤(25)의 현재 위치를 바람직하게 특정할 수 있다.

(20) 상기 서술한 실시형태에서는, 펌프 장치(15)는 인코더(29)를 구비하지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제어부(31)는, 현재까지 모터(27)에 출력한 구동 명령에 의거하여, 피스톤(25)의 현재 위치를 특정해도 된다. 예를 들어, 제어부(31)는, 현재까지 모터(27)에 출력한 펄스수의 적산값에 의거하여, 피스톤(25)의 현재 위치를 특정해도 된다. 본 변형 실시형태에서는, 펌프 장치(15)는, 실시형태에서 설명한 인코더(29)를 구비하지 않아도 된다. 인코더(29)를 생략함으로써, 펌프 장치(15)의 구성을 간소화할 수 있다.

(21) 상기 서술한 실시형태에서는, 1개의 제어부(31)는, 펌프실(21), 피스톤(25) 및 모터(27)로 이루어지는 1개의 유닛을 제어했지만, 이것에 한정되지 않는다. 1개의 제어부(31)가 복수의 유닛을 제어해도 된다.

(22) 상기 서술한 각 실시형태 및 상기 (1) 내지 (21)에서 설명한 각 변형 실시형태에 대해서는, 또한 각 구성을 다른 변형 실시형태의 구성으로 치환 또는 조합하는 등으로 하여 적절히 변경해도 된다.

본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 일탈하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있고, 따라서, 발명의 범위를 나타내는 것으로서, 이상의 설명이 아니라, 부가된 클레임을 참조해야 한다.

1: 기판 처리 장치 3: 유지부
7: 노즐 15: 펌프 장치
21: 펌프실 23: 다이아프램(가동 격벽 부재)
25: 피스톤(가동 부재) 27: 모터
29: 인코더(센서) 31: 제어부
32: 기억부 33: 연산부
34: 구동 회로 A: 이론 정보
B: 보정 정보 C: 토출 명령
Q: 현재 위치 q: 가상 시점
R: 목표 위치 r: 가상 종점
W: 기판

Claims

액체를 토출하는 펌프 장치로서,
액체를 수용하는 펌프실로서, 상기 펌프실 내의 용적의 감소에 의해 상기 펌프실 내의 액체를 상기 펌프실 밖으로 토출하는 상기 펌프실과,
이동 가능하게 설치되고, 상기 펌프실 내의 용적을 바꾸는 가동 부재와,
상기 가동 부재에 접속되고, 상기 가동 부재를 이동시키는 액추에이터와,
상기 액추에이터를 제어하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부는,
상기 펌프실로부터 토출되는 액체의 토출량의 목표값인 목표 토출량에 관한 정보를 포함하는 토출 명령과, 상기 가동 부재의 위치 및 상기 토출량의 이론적인 관계에 관한 이론 정보와, 상기 가동 부재의 출발 위치를 참조하여, 가상 종점을 특정하고,
상기 가동 부재의 위치 및 상기 토출량의 이론적인 관계와 상기 가동 부재의 위치 및 상기 토출량의 실제의 관계의 차이에 관한 보정 정보를 참조하여, 상기 가상 종점을 목표 위치로 보정하고,
상기 가동 부재를 상기 출발 위치로부터 상기 목표 위치로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하고,
상기 이론 정보는, 상기 가동 부재가 제1 기준 위치로부터 제1 위치에 도달할 때의 상기 토출량의 이론값과, 상기 제1 위치를 대응시키고,
상기 보정 정보는, 이론 위치와 실제 위치를 대응시키고,
상기 가동 부재가 제2 기준 위치로부터 상기 이론 위치에 도달할 때의 상기 토출량의 상기 이론값은, 상기 가동 부재가 상기 제2 기준 위치로부터, 상기 이론 위치에 대응되는 상기 실제 위치에 도달할 때의 상기 토출량의 실제값과 동일한, 펌프 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 출발 위치는, 상기 가동 부재의 현재 위치이고,
상기 제어부는,
상기 보정 정보를 참조하여, 상기 가동 부재의 상기 현재 위치를 가상 시점(始點)으로 보정하고,
상기 토출 명령과 상기 이론 정보와 상기 가상 시점을 참조하여, 상기 가상 종점을 특정하는, 펌프 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 제어부는,
상기 보정 정보에 있어서 상기 가동 부재의 상기 현재 위치와 동일한 상기 실제 위치에 대응되는 상기 이론 위치를, 상기 가상 시점으로 특정하고,
상기 이론 정보에 있어서 상기 가상 시점과 동일한 상기 제1 위치에 대응되는 상기 토출량의 상기 이론값을, 초기 토출량으로 특정하고,
상기 초기 토출량과 상기 목표 토출량의 합인 합계량을 특정하고,
상기 이론 정보에 있어서 상기 합계량과 동일한 상기 토출량의 상기 이론값에 대응되는 상기 제1 위치를, 상기 가상 종점으로 특정하고,
상기 보정 정보에 있어서 상기 가상 종점과 동일한 상기 이론 위치에 대응되는 상기 실제 위치를, 상기 목표 위치로 특정하는, 펌프 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 펌프 장치는, 상기 액추에이터의 구동량 및 상기 가동 부재의 위치 중 적어도 어느 하나를 검출하는 센서를 구비하고,
상기 제어부는, 상기 센서의 검출 결과에 의거하여, 상기 가동 부재의 상기 현재 위치를 특정하는, 펌프 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제어부는, 상기 보정 정보에 포함되는 상기 이론 위치 및 상기 실제 위치를 보간하는 직선 또는 곡선에 의해, 상기 가상 종점 및 상기 목표 위치 중 적어도 어느 하나를 추정하는, 펌프 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 토출 명령은, 상기 펌프실로부터 토출되는 액체의 유량의 목표값인 목표 유량에 관한 정보를 포함하고,
상기 제어부는,
상기 이론 정보를 참조하여, 상기 목표 유량으로 상기 펌프실로부터 액체를 토출하기 위한 상기 가동 부재의 이론적인 이동 속도를, 이론 속도로 특정하고,
상기 보정 정보를 참조하여, 상기 이론 속도를 수정 속도로 보정하고,
상기 가동 부재를 상기 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하는, 펌프 장치.
청구항 6에 있어서,
상기 제어부는,
상기 보정 정보를 참조하여, 상기 출발 위치와 상기 목표 위치 사이에 포함되는 복수의 구간을 특정하고,
상기 보정 정보를 참조하여, 상기 이론 속도를, 상기 구간의 각각에 있어서의 상기 수정 속도로 보정하고,
상기 가동 부재를, 상기 구간의 각각에 있어서의 상기 수정 속도로, 상기 구간의 각각에 걸쳐 이동시키기 위한 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하는, 펌프 장치.
청구항 7에 있어서,
상기 보정 정보는, 상기 출발 위치와 상기 목표 위치 사이에 위치하는 상기 실제 위치인 1개의 중간 실제 위치를 포함하고,
상기 구간은,
상기 출발 위치로부터 상기 중간 실제 위치까지의 제1 구간과,
상기 중간 실제 위치로부터 상기 목표 위치까지의 제2 구간인, 펌프 장치.
청구항 8에 있어서,
상기 보정 정보는, 상기 중간 실제 위치에 대응되는 상기 이론 위치인 1개의 중간 이론 위치를 포함하고,
상기 제어부는,
상기 보정 정보를 참조하여, 상기 가동 부재의 현재 위치를 가상 시점으로 보정하고,
상기 가상 시점으로부터 상기 중간 이론 위치까지의 가상 제1 구간을 특정하고,
상기 중간 이론 위치로부터 상기 가상 종점까지의 가상 제2 구간을 특정하고,
상기 제1 구간의 거리를 상기 가상 제1 구간의 거리로 나눈 값을 상기 이론 속도에 곱함으로써, 제1 수정 속도를 산출하고,
상기 제2 구간의 거리를 상기 가상 제2 구간의 거리로 나눈 값을 상기 이론 속도에 곱함으로써, 제2 수정 속도를 산출하고,
상기 가동 부재를 상기 제1 구간에 걸쳐 상기 제1 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하고,
상기 가동 부재를 상기 제2 구간에 걸쳐 상기 제2 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하는, 펌프 장치.
청구항 7에 있어서,
상기 보정 정보는, 상기 출발 위치와 상기 목표 위치 사이에 위치하는 상기 실제 위치인 복수의 중간 실제 위치를 포함하고,
상기 구간은,
상기 출발 위치로부터 상기 출발 위치에 가장 가까운 상기 중간 실제 위치까지의 제1 구간과,
이웃하는 2개의 상기 중간 실제 위치 사이의 중간 구간과,
상기 목표 위치에 가장 가까운 상기 중간 실제 위치로부터 상기 목표 위치까지의 제2 구간인, 펌프 장치.
청구항 10에 있어서,
상기 보정 정보는, 상기 중간 실제 위치의 각각에 대응되는 상기 이론 위치인 복수의 중간 이론 위치를 포함하고,
상기 제어부는,
상기 보정 정보를 참조하여, 상기 가동 부재의 현재 위치를 가상 시점으로 보정하고,
상기 가상 시점으로부터 상기 가상 시점에 가장 가까운 상기 중간 이론 위치까지의 가상 제1 구간을 특정하고,
이웃하는 2개의 상기 중간 이론 위치 사이의 가상 중간 구간을 특정하고,
상기 가상 종점에 가장 가까운 상기 중간 이론 위치로부터 상기 가상 종점까지의 가상 제2 구간을 특정하고,
상기 제1 구간의 거리를 상기 가상 제1 구간의 거리로 나눈 값을 상기 이론 속도에 곱함으로써, 제1 수정 속도를 산출하고,
상기 중간 구간의 거리를 상기 가상 중간 구간의 거리로 나눈 값을 상기 이론 속도에 곱함으로써, 중간 수정 속도를 산출하고,
상기 제2 구간의 거리를 상기 가상 제2 구간의 거리로 나눈 값을 상기 이론 속도에 곱함으로써, 제2 수정 속도를 산출하고,
상기 가동 부재를 상기 제1 구간에 걸쳐 상기 제1 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하고,
상기 가동 부재를 상기 중간 구간에 걸쳐 상기 중간 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하고,
상기 가동 부재를 상기 제2 구간에 걸쳐 상기 제2 수정 속도로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하는, 펌프 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제어부는, 상기 이론 정보와 상기 보정 정보를 기억하는 기억부를 갖는, 펌프 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제어부는, 상기 펌프 장치의 외부 기기로부터 상기 토출 명령을 받고,
상기 토출 명령은, 상기 가동 부재의 상기 출발 위치, 상기 가동 부재의 현재 위치, 및 상기 가동 부재의 상기 목표 위치에 관한 정보를 포함하지 않는, 펌프 장치.
기판에 처리를 실시하는 기판 처리 장치로서,
기판을 유지하는 유지부와,
상기 유지부에 유지되는 기판에 처리액을 공급하는 노즐과,
상기 노즐에 연통 접속되는 펌프 장치를 구비하고,
상기 펌프 장치는,
처리액을 수용하는 펌프실로서, 상기 펌프실 내의 용적의 감소에 의해 상기 펌프실 내의 처리액을 상기 노즐에 토출하는 상기 펌프실과,
이동 가능하게 설치되고, 상기 펌프실 내의 용적을 바꾸는 가동 부재와,
상기 가동 부재에 접속되고, 상기 가동 부재를 이동시키는 액추에이터와,
상기 액추에이터를 제어하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부는,
상기 펌프실로부터 토출되는 처리액의 토출량의 목표값인 목표 토출량에 관한 정보를 포함하는 토출 명령과, 상기 가동 부재의 위치 및 상기 토출량의 이론적인 관계에 관한 이론 정보와, 상기 가동 부재의 출발 위치를 참조하여, 가상 종점을 특정하고,
상기 가동 부재의 위치 및 상기 토출량의 이론적인 관계와 상기 가동 부재의 위치 및 상기 토출량의 실제의 관계의 차이에 관한 보정 정보를 참조하여, 상기 가상 종점을 목표 위치로 보정하고,
상기 가동 부재를 상기 출발 위치로부터 상기 목표 위치로 이동시키는 구동 명령을 상기 액추에이터에 출력하고,
상기 이론 정보는, 상기 가동 부재가 제1 기준 위치로부터 제1 위치에 도달할 때의 상기 토출량의 이론값과, 상기 제1 위치를 대응시키고,
상기 보정 정보는, 이론 위치와 실제 위치를 대응시키고,
상기 가동 부재가 제2 기준 위치로부터 상기 이론 위치에 도달할 때의 상기 토출량의 상기 이론값은, 상기 가동 부재가 상기 제2 기준 위치로부터, 상기 이론 위치에 대응되는 상기 실제 위치에 도달할 때의 상기 토출량의 실제값과 동일한, 기판 처리 장치.
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