TW201913727A - 泵裝置及基板處理裝置 - Google Patents

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日商斯庫林集團股份有限公司
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Abstract

本發明之泵裝置具備泵室、活塞、馬達、及控制部。控制部參照噴出命令、理論資訊及活塞之目前位置而特定出假想終點。控制部參照修正圖表，將假想終點修正為目標位置。控制部向馬達輸出使活塞自出發位置移動至目標位置之驅動命令。

Description

泵裝置及基板處理裝置
本發明係關於一種噴出液體之泵裝置及處理基板之基板處理裝置。基板例如為半導體晶圓、液晶顯示器用基板、有機EL (Electroluminescence：電致發光)用基板、FPD(Flat Panel Display：平面顯示器)用基板、光顯示器用基板、磁碟用基板、磁光碟用基板、光罩用基板、太陽電池用基板等。
日本特開2006-60251號公報揭示具備馬達、泵、控制部及顯示部之基板處理裝置。馬達驅動泵。馬達為脈衝馬達。泵噴出抗蝕劑液。作業者將泵之控制資訊輸入控制部。控制資訊例如為噴出時間及噴出速度。控制部基於控制資訊控制馬達。控制部藉由驅動脈衝控制馬達。控制部基於控制資訊算出抗蝕劑液之噴出量。顯示部顯示藉由控制部算出之抗蝕劑液之噴出量。
作業者進而將抗蝕劑液之噴出量之修正值輸入控制部。修正值為每特定驅動脈衝之噴出量之實測值。於該情形時，控制部藉由修正值修正算出之抗蝕劑液之噴出量。作業者進而將抗蝕劑液之目標噴出量輸入控制部。於該情形時，以實際噴出之噴出量與輸入控制部之抗蝕劑之目標噴出量相等之方式，控制部藉由修正值修正控制資訊所規定之噴出時間或噴出速度。
[發明所欲解決之問題]
然而，於具有此種構成之先前例之情形時，具有以下問題。 即，於每特定驅動脈衝之噴出量非一定時，即使只修正噴出時間或噴出速度，亦無法適當地調整抗蝕劑之噴出量。每特定驅動脈衝之噴出量非一定之情形係指例如隨著脈衝數之增加，每特定驅動脈衝之噴出量偏差之情形。
本發明係鑑於如此之情況而完成者，目的在於提供一種可精度良好地調整噴出液體之量之泵裝置及基板處理裝置。 [解決問題之技術手段]
本發明係為了達成此種目的，採用如下之構成。 即，本發明係一種泵裝置，其係噴出液體者，且具備：泵室，其收容液體，藉由上述泵室內之容積減少而將上述泵室內之液體向上述泵室外噴出；可動構件，其設置為可移動，可改變上述泵室內之容積；致動器，其連接於上述可動構件，使上述可動構件移動；控制部，其控制上述致動器；上述控制部係參照包含自上述泵室噴出之液體之噴出量之目標值即目標噴出量相關之資訊之噴出命令、上述可動構件之位置及上述噴出量之理論關係相關之理論資訊、及上述可動構件之出發位置，特定出假想終點；參照上述可動構件之位置及上述噴出量之理論關係與上述可動構件之位置及上述噴出量之實際之關係的差異相關之修正資訊，將上述假想終點修正為目標位置；將使上述可動構件自上述出發位置移動至上述目標位置之驅動命令輸出至上述致動器。
控制部使用噴出命令、理論資訊及出發位置特定出假想終點。控制部使用修正資訊將假想終點修正為目標位置。控制部基於目標位置控制致動器。致動器使可動構件自出發位置移動至目標位置。伴隨著可動構件之移動，使泵室之內容積減少，泵室將液體噴出泵室外。
此處，目標位置並非假想終點本身，而是假想終點經修正後之位置。尤其，使用於修正之修正資訊係關於可動構件之位置及噴出量之理論關係與可動構件之位置及噴出量之實際關係的差異之資訊。因此，無論假想終點在哪個位置，控制部皆可特定出適當之目標位置。由此，可使泵室實際噴出之液體量較佳地近似於噴出命令所規定之目標噴出量。即，根據泵裝置，可精度良好地調整實際之噴出量。
於上述泵裝置中，較佳為，上述理論資訊將上述可動構件自第1基準位置到達第1位置時之上述噴出量之理論值與上述第1位置建立對應，上述修正資訊將理論位置與實際位置建立對應；上述可動構件自第2基準位置到達上述理論位置時之上述噴出量之上述理論值，與上述可動構件自上述第2基準位置到達與上述理論位置建立對應之上述實際位置時之上述噴出量之實際值相等。
理論資訊將第1位置與噴出量之理論值建立對應。第1位置為可動構件自第1基準位置到達之位置。噴出量之理論值為可動構件自第1基準位置到達第1位置時之理論噴出量。正因為理論資訊為如此構成，故控制部可使用理論資訊較佳地特定出假想終點。
修正資訊將理論位置與實際位置建立對應。此處，可動構件自第2基準位置到達理論位置時之噴出量之理論值與可動構件自第2基準位置到達實際位置時之噴出量之實際值相等。換言之，修正資訊中之理論位置係為了噴出任意之噴出量(例如，第1量)之液體，可動構件應自第2基準位置到達之理論位置。修正資訊之實際位置係為了噴出與任意之噴出量同量(例如，第1量)之液體可動構件應自第2基準位置到達之實際位置。正因為修正資訊為如此構成，故控制部可使用修正資訊將假想終點較佳地修正為目標位置。
於上述泵裝置中，較佳為，上述出發位置為上述可動構件之目前位置，上述控制部參照上述修正資訊，將上述可動構件之上述目前位置修正為假想起點，且參照上述噴出命令、上述理論資訊及上述假想起點，特定出上述假想終點。
控制部使用修正資訊將目前位置修正為假想起點。控制部特定出以假想起點為基準之假想終點。藉此，控制部可適當地特定出自目前位置出發之可動構件之目標位置。因此，無論可動構件之目前位置在哪個位置，均可將可動構件之目前位置設為出發位置。
於上述之泵裝置中，較佳為，上述控制部係將上述修正資訊中和與上述可動構件之上述目前位置相等之上述實際位置建立對應之上述理論位置特定為上述假想起點；將上述理論資訊中和與上述假想起點相等之上述第1位置建立對應之上述噴出量之上述理論值特定為初始噴出量；特定出上述初始噴出量與上述目標噴出量之和即合計量；將於上述理論資訊中與上述合計量相等之上述噴出量之上述理論值建立對應之上述第1位置特定為上述假想終點；將於上述修正資訊中和與上述假想終點相等之上述理論位置建立對應之上述實際位置特定為上述目標位置。
藉由控制部進行上述之處理，控制部可較佳地特定假想起點、假想終點及目標位置。
於上述泵裝置中，較佳為，上述泵裝置具備檢測上述致動器之驅動量及上述可動構件之位置之至少任一者之感測器，上述控制部基於上述感測器之檢測結果，特定上述可動構件之上述目前位置。
由於泵裝置具備感測器，故控制部可較好地特定出可動構件之實際位置。因此，控制部可較好地特定出可動構件之目前位置。
於上述泵裝置中，較佳為，上述控制部藉由內插上述修正資訊所包含之上述理論位置及上述實際位置之直線或曲線，推定上述假想終點及上述目標位置之至少任一者。
藉由內插修正資訊，可精度良好地推定與假想終點相等之理論位置。進而，可精度良好地推定出與推定為與假想終點相等之理論位置建立對應之實際位置。控制部將推定之實際位置視為目標位置。因此，即使於假設修正資訊不包含與假想終點相等之理論位置之情形時，亦可較佳地特定出目標位置。
於上述之泵裝置中，較佳為，上述噴出命令包含與自上述泵室噴出之液體之流量的目標值即目標流量相關之資訊，上述控制部係參照上述理論資訊，將用於以上述目標流量自上述泵室噴出液體之上述可動構件之理論之移動速度特定為理論速度；參照上述修正資訊，將上述理論速度修正為修正速度；將使上述可動構件以上述修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器。
控制部使用噴出命令與理論資訊特定理論速度。控制部使用修正資訊將理論速度修正為修正速度。控制部基於修正速度控制致動器。具體而言，驅動命令包含使可動構件以修正速度移動之命令。致動器使可動構件以修正速度移動。泵室以對應於修正速度之流量噴出液體。
此處，修正速度並非理論速度本身，而是理論速度經修正後之速度。尤其，使用於修正之修正資訊係關於可動構件之位置及噴出量之理論關係與可動構件之位置及噴出量之實際關係的差異之資訊。因此，可使泵室實際噴出之液體之流量較佳地近似於目標流量。即，可精度良好地調整泵室噴出之液體之流量。
於上述泵裝置中，較佳為，上述控制部係參照上述修正資訊，特定出上述出發位置與上述目標位置之間所含之複數個區間；參照上述修正資訊，將上述理論速度修正為上述區間之各者中之上述修正速度；將用於使上述可動構件以上述區間各者中之上述修正速度遍於上述區間各者移動之驅動命令輸出至上述致動器。
控制部特定複數個區間。控制部於每個區間修正理論速度。藉此，控制部特定出各區間之修正速度。控制部基於各區間之修正速度控制致動器。具體而言，驅動命令包含使可動構件以各區間中之上述修正速度於整個各區間移動之命令。如此，控制部可精細地設定可動構件之移動速度。因此，可使泵室實際噴出之液體之流量進一步近似於目標流量。即，可進一步精度良好地調整泵室實際噴出之液體之流量。
於上述泵室裝置中，較佳為，上述修正資訊包含位於上述出發位置與上述目標位置之間之上述實際位置即1個中間實際位置，上述區間為自上述出發位置至上述中間實際位置之第1區間、及自上述中間實際位置至上述目標位置之第2區間。
控制部可使用中間實際位置，較佳地特定出包含於出發位置與目標位置之間之2個區間(具體而言為第1區間與第2區間)。
於上述泵裝置中，上述修正資訊包含與上述中間實際位置建立對應之上述理論位置即1個中間理論位置，上述控制部係參照上述修正資訊，將上述可動構件之上述目前位置修正為假想起點；特定出自上述假想起點至上述中間理論位置之假想第1區間，特定出自上述中間理論位置至上述假想終點之假想第2區間；藉由將上述第1區間之距離除以上述假想第1區間之距離所得之值乘以上述理論速度，算出第1修正速度，藉由將上述第2區間之距離除以上述假想第2區間之距離所得之值乘以上述理論速度，算出第2修正速度；將使上述可動構件遍於上述第1區間以上述第1修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器，將使上述可動構件遍於上述第2區間以上述第2修正速度移動之移動命令輸出至上述致動器。
藉由控制部進行上述之處理，可分別較佳地特定出2個區間之修正速度。具體而言，控制部可分別較佳地特定出第1區間中之第1修正速度與第2區間中之第2修正速度。控制部基於第1修正速度與第2修正速度控制致動器。具體而言，驅動命令包含於整個第1區間使可動構件以第1修正速度移動之命令與於整個第2區間使可動構件以第2修正速度移動之命令。
於上述泵裝置中，較佳為，上述修正資訊包含位於上述出發位置與上述目標位置之間之上述實際位置即複數個中間實際位置，上述區間為自上述出發位置至最靠近上述出發位置之上述中間實際位置之第1區間、相鄰之2個上述中間實際位置之間之中間區間、及自最靠近上述目標位置之上述中間實際位置至上述目標位置之第2區間。
控制部使用複數個中間實際位置，可較佳地特定出包含於出發位置與目標位置之間之3個以上之區間。具體而言，控制部可較佳地特定出1個第1區間、1個第2區間及1個以上之中間區間。
於上述泵裝置中，較佳為，上述修正資訊包含與上述中間實際位置之各者建立對應之上述理論位置即複數個中間理論位置，上述控制部係參照上述修正資訊，將上述可動構件之上述目前位置修正為假想起點；特定出自上述假想起點至最靠近上述假想起點之上述中間理論位置之假想第1區間，特定出相鄰之2個上述第中間理論位置之間之假想中間區間，特定出自最靠近上述假想終點之上述中間理論位置至上述假想終點之假想第2區間；藉由將上述第1區間之距離除以上述假想第1區間之距離所得之值乘以上述理論速度，算出第1修正速度，藉由將上述中間區間之距離除以上述假想中間區間之距離所得之值乘以上述理論速度，算出中間修正速度，將上述第2區間之距離除以上述假想第2區間之距離所得之值乘以上述理論速度，算出第2修正速度；將使上述可動構件遍於上述第1區間以上述第1修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器，將使上述可動構件遍於上述中間區間以上述中間修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器，將使上述可動構件遍於上述第2區間以上述第2修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器。
藉由控制部進行上述處理，可分別較佳地特定3個以上之區間中之修正速度。具體而言，控制部可分別較佳地特定出第1區間中之第1修正速度、第2區間中之第2修正速度及中間區間中之中間修正速度。控制部基於第1修正速度、第2修正速度及中間修正速度控制致動器。具體而言，驅動命令包含於整個第1區間使可動構件以第1修正速度移動之命令、於整個中間區間使可動構件以中間修正速度移動之命令、及於整個第2區間使可動構件以第2修正速度移動之命令。
於上述泵裝置中，較佳為，上述控制部具有記憶上述理論資訊與上述修正資訊之記憶部。
由於控制部具備記憶部，故控制部始終可參照理論資訊與修正資訊。因此，控制部可順利地特定出目標位置。
於上述泵裝置中，較佳為，上述控制部自上述泵裝置之外部機器接收上述噴出命令，上述噴出命令不包含上述可動構件之上述出發位置、上述可動構件之目前位置及上述可動構件之上述目標位置相關之資訊。
噴出命令不包含關於可動構件之出發位置、目前位置及目標位置之資訊。因此，噴出命令較簡單。因此，外部機器可以簡單之命令控制泵裝置。
又，本發明係一種基板處理裝置，其係對基板進行處理者，且具備：保持部，其保持基板；噴嘴，其將處理液供給至由上述保持部保持之基板；及泵裝置，其連接連通於上述噴嘴；上述泵裝置具備：泵室，其收容處理液，藉由上述泵室內之容積減少而將上述泵室內之處理液噴出至上述噴嘴；可動構件，其被設置為可移動，可改變上述泵室內之容積；致動器，其連接於上述可動構件，使上述可動構件移動；及控制部，其控制上述致動器；上述控制部係參照包含自上述泵室噴出之處理液之噴出量之目標值即目標噴出量相關之資訊的噴出命令、上述可動構件之位置及上述噴出量之理論關係相關之理論資訊、及上述可動構件之出發位置，特定出假想終點；參照上述可動構件之位置及上述噴出量之理論關係與上述可動構件之位置及上述噴出量之實際關係的差異相關之修正資訊，將上述假想終點修正為目標位置；將使上述可動構件自上述出發位置移動至上述目標位置之驅動命令輸出至上述致動器。
基板處理裝置具備泵裝置。泵裝置將自泵室噴出之處理液輸送至噴嘴。處理液係用於處理基板之液體。泵裝置可使實際之噴出量較佳地近似於噴出命令所規定之目標噴出量。即，泵裝置可精度良好地調整供給至噴嘴之處理液之量。因此，可精度良好地調整噴嘴供給至基板之處理液之量。具體而言，可使噴嘴供給至基板之處理液之量較佳地近似於目標噴出量。即，可精度良好地調整供給至基板之處理液之量。因此，可較佳地提高施加於基板之處理品質。
另，本說明書亦揭示如以下之泵裝置之發明。
(1)如上述之泵裝置，其中上述出發位置係預先決定之位置，假想起點係於上述修正資訊中和與上述出發位置相等之實際位置建立對應之理論位置，上述控制部參照上述目標噴出量、上述理論資訊、上述假想起點，特定上述假想終點。
可動構件之出發位置為預先決定之位置，且，假想起點於修正資訊中和與出發位置相等之實際位置建立對應之理論位置之情形時，假想起點亦為預先決定之位置。即，假想起點為已知。於該情形時，控制部不特定出假想起點，而是特定出假想終點。即，控制部可省略特定假想起點之處理。藉此，可簡化控制部之處理。
(2)如上述之泵裝置，其中上述控制部執行以下處理： 參照上述修正資訊，特定包含於上述出發位置與上述目標位置之間之複數個區間； 參照上述修正資訊，藉由和與上述區間之各者之兩端之位置相等之上述實際位置建立對應之上述理論位置，特定出所規定之假想區間； 參照上述理論資訊與上述噴出命令，分別特定出上述假想區間之各者中上述可動構件之上述理論速度； 參照上述修正資訊，將上述假想區間之各者之上述理論速度修正為上述區間之各者之上述修正速度。
控制部特定出複數個區間。控制部特定出複數個假想區間。控制部特定出各假想區間之理論速度。控制部修正各假想區間之理論速度。藉此，控制部特定出各區間之修正速度。如此，控制部可進而精細地設定可動構件之移動速度。因此，可使泵室實際噴出之液體之流量較佳地更近似於目標流量。
(3)如上述之泵裝置，其中上述修正資訊包含與上述中間實際位置建立對應之上述理論位置即1個中間理論位置； 上述控制部執行以下處理： 特定出自上述假想起點至上述中間理論位置之假想第1區間、與自上述中間理論位置至上述假想終點之假想第2區間； 參照上述理論資訊與上述噴出命令，特定出上述假想第1區間之上述理論速度即第1理論速度； 參照上述理論資訊與上述噴出命令，特定出上述假想第2區間之上述理論速度即第2理論速度； 藉由將上述第1區間之距離除以上述假想第1區間之距離所得之值乘以上述第1理論速度，算出第1修正速度； 藉由將上述第2區間之距離除以上述假想第2區間之距離所得之值乘以上述第2理論速度，算出第2修正速度； 將使上述可動構件於整個上述第1區間以上述第1修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器； 將使上述可動構件於整個上述第2區間以上述第2修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器。
控制部特定出2個假想區間(具體而言，為假想第1區間與假想第2區間)。控制部分別特定出2個假想區間中之理論速度(具體而言，為第1理論速度與第2理論速度)。控制部分別修正2個假想區間中之理論速度，分別特定出2個區間中之修正速度(具體而言，為第1修正速度與第2修正速度)。藉此，控制部可進而精細地設定可動構件之移動速度。
(4)如上述泵裝置，其中上述修正資訊包含與上述中間實際位置之各者建立對應之上述理論位置即複數個中間理論位置； 上述控制部執行以下處理： 特定出自上述假想起點至最靠近上述假想起點之上述中間理論位置之假想第1區間； 特定出相鄰之2個上述中間理論位置之間之假想中間區間； 特定出自最靠近上述假想終點之上述中間理論位置至上述假想終點之假想第2區間； 參照上述理論資訊與上述噴出命令，特定出上述假想第1區間之上述理論速度即第1理論速度； 參照上述理論資訊與上述噴出命令，特定出上述假想中間區間之上述理論速度即中間理論速度； 參照上述理論資訊與上述噴出命令，特定出上述假想第2區間中之上述理論速度即第2理論速度； 藉由將上述第1區間之距離除以上述假想第1區間之距離所得之值乘以上述第1理論速度，算出第1修正速度； 藉由將上述中間區間之距離除以上述假想中間區間之距離所得之值乘以上述中間理論速度，算出中間修正速度； 藉由將上述第2區間之距離除以上述假想第2區間之距離所得之值乘以上述第2理論速度，算出第2修正速度； 將使上述可動構件於整個上述第1區間以上述第1修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器； 將使上述可動構件於整個上述中間區間以上述中間修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器； 將使上述可動構件於整個上述第2區間以上述第2修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器。
控制部特定出3個以上之假想區間(具體而言，為1個假想第1區間、1個假想第2區間及1個以上之假想中間區間)。控制部分別特定出3個以上之假想區間中之理論速度(具體而言，為1個第1理論速度、1個第2理論速度、及1個以上之中間理論速度)。控制部分別修正3個以上之假想區間中之理論速度。藉此，控制部分別特定出3個以上之區間中之修正速度(具體而言，為1個第1修正速度、1個第2修正速度、及1個以上之中間修正速度)。如此，控制部可進而精細地設定可動構件之移動速度。
(5)如上述之泵裝置，其中具備可動隔片構件，其區劃上述泵室之至少一部分，且藉由上述可動構件之移動而變形。
泵裝置具備可動隔片構件。因此，藉由致動器使可動構件移動，可較佳地改變泵室內之容積。
(6)如上述之泵裝置，其中上述可動隔片構件為隔膜、管式隔膜(tubephragm)及波紋管之至少任一者。
藉此，可較佳地實現可動隔片構件。
以下，參照圖式說明本發明之實施形態。 圖1係顯示實施形態之基板處理裝置之概略構成之圖。實施形態之基板處理裝置1係進行對基板(例如，半導體晶圓)W供給處理液之處理的裝置。
1.基板處理裝置1之概要 基板處理裝置1具備保持部3與旋轉馬達5。保持部3以大致水平保持基板W。保持部3例如吸附保持基板W之背面(下表面)。旋轉馬達5連結於保持部3之底部中央。旋轉馬達5使保持部3大致繞鉛直軸旋轉。藉此，保持於保持部3之基板W大致繞鉛直軸旋轉。
基板處理裝置1具備噴嘴7與杯器9。噴嘴7可移動地設置於位於保持部3上方之噴出位置。噴嘴7對保持於保持部3之基板W噴出處理液。杯器9係以包圍保持部3之側方之方式配置。杯器9接收並回收自基板W飛散之處理液。
基板處理裝置1具備配管11與處理液供給源13。配管11具有與噴嘴7連通連接之第1端。配管11具有與處理液供給源13連通連接之第2端。處理液供給源13例如為貯存處理液之處理液槽。處理液例如為抗蝕劑膜材料或各種塗膜材料、藥液、稀釋劑、純水。處理液供給源13之處理液通過配管11內自處理液供給源13流入噴嘴7。
基板處理裝置1具備泵裝置15。泵裝置15設置於配管11上。泵裝置15吸入自處理液供給源13供給之處理液，將吸入之處理液發送至噴嘴7。處理液為本發明之液體之例。
此處，將泵裝置15之上游側之配管11稱為「一次側配管11a」，將泵裝置15之下游側之配管11稱為「二次側配管11b」。一次側配管11a具有連通連接於泵裝置15之第1端及連接於處理液供給源13之第2端。二次側配管11b具有連通連接於泵裝置15之第1端及連接於噴嘴7之第2端。
基板處理裝置1具備開關閥17、18。開關閥17設置於一次側配管11a上。開關閥17打開關閉一次側配管11a內之處理液之流路。開關閥18設置於二次側配管11b上。開關閥18打開關閉二次側配管11b內之處理液之流路。
2.泵裝置15之構成 泵裝置15具備泵室21。泵室21具有內部空間。內部空間例如呈圓筒形狀。泵室21於其內部空間收容處理液。泵室21連通連接於一次側配管11a及二次側配管11b。
泵室21由框體22與隔膜23予以劃分。框體22呈圓筒形狀。框體22具有形成開口之一端部。框體22無法變形。更具體而言，框體22不會因後述之活塞25之移動而變形。框體22與一次側配管11a及二次側配管11b連接。隔膜23安裝於框體22之一端部，閉合框體22之開口，藉此將泵室21閉合。隔膜23能夠變形。更具體而言，隔膜23會因後述之活塞25之移動而變形。隔膜23之材質例如為合成樹脂。藉由隔膜23變形，使得泵室21內之容積變化。藉由泵室21內之容積減少，泵室21將泵室21內之處理液向泵室21外(二次側配管11b)噴出。藉由泵室21內之容積增加，泵室21自泵室21外(一次側配管11a)將處理液吸入泵室21內。隔膜23為本發明之可動隔片構件之例。
於以下，將自泵室21噴出之處理液之量適當稱作「噴出量」。
泵裝置15具備活塞25與馬達27。活塞25具有與馬達27連結之第1端。馬達27使活塞25移動。如此，將活塞25設置為可移動。活塞25為本發明之可動構件之例。
馬達27與活塞25經由將馬達27之旋轉運動轉換為活塞25之直線運動之未圖示之機構連結。當馬達27正轉及反轉時，活塞25相對於馬達27往返直線移動。圖1例示活塞25移動之方向D1、D2。活塞25之移動距離與馬達27之旋轉量(角度)成正比。活塞25之移動距離與馬達27之旋轉速度成正比。
馬達27為步進馬達。馬達27由脈衝(電性脈衝信號)予以驅動。馬達27之旋轉量及活塞25之移動量與脈衝數成正比。馬達27之旋轉速度及活塞25之移動速度與脈衝率(脈衝頻率)成正比。馬達27為本發明之致動器之例。
活塞25具有安裝於隔膜23之外表面之第2端。活塞25與隔膜23連接。藉由活塞25相對於泵室21移動，隔膜23變形，且泵室21內之容積變化。活塞25朝方向D1移動時，活塞25接近泵室21，泵室21內之容積減少。活塞朝方向D2移動時，活塞25自泵室21遠離，泵室21內之容積增加。
泵裝置15具備編碼器29。編碼器29安裝於馬達27。編碼器29檢測馬達27之旋轉量。編碼器29為本發明之感測器之例。
泵裝置15具備控制部31。控制部31與馬達27及編碼器29電性連接。控制部31控制馬達27。控制部31接收編碼器29之檢測結果。
控制部31進而與泵裝置15之外部機器(未圖示)可通信地連接。外部機器例如為控制泵裝置15之上位控制部及藉由使用者操作之輸入部之至少任一者。控制部31自外部機器接收噴出命令C。噴出命令C包含關於目標噴出量之資訊與關於目標流量之資訊。目標噴出量為噴出量之目標值。目標流量為自泵室21噴出之處理液之流量之目標值。
控制部31具有記憶部32、運算部33及驅動電路34。記憶部32記憶理論資訊A與修正資訊B。運算部33參照記憶於記憶部32之理論資訊A與修正資訊B，處理噴出命令C。驅動電路34將對應於運算部33之處理結果之驅動命令(脈衝)輸出至馬達27。
理論資訊A係關於活塞25之位置及噴出量之理論關係。
例如，理論資訊A將第1位置與噴出量之理論值建立對應。第1位置為活塞25自第1基準位置到達之位置。噴出量之理論值為理論之噴出量。具體而言，噴出量之理論值為活塞25自第1基準位置到達第1位置時之理論噴出量。如以上，理論資訊A為以第1基準位置為基準之資訊。第1位置為活塞25之理論位置。
圖2係模式性例示理論資訊之圖。於圖2所示之理論資訊A係以基於脈衝數之第1位置[pls]為橫軸，以噴出量之理論值[cc]為縱軸之圖表。脈衝數[pls]為表示活塞25位置之指標。於圖2之理論資訊A中，第1基準位置為0[pls]。即，第1基準位置之噴出量之理論值為0[cc]。具體而言，第1位置與第1基準位置相等時，噴出量之理論值為0[cc]。於圖2之理論資訊A中，例如，第1位置100[pls]與噴出量之理論值1[cc]建立對應。此係表示活塞25自第1基準位置(0[pls])到達100[pls]之第1位置時，噴出量之理論值為1[cc]。
理論資訊A為例如表示活塞25之位置及噴出量之關係之樣式、理論資料、及設計資料。
修正資訊B係關於活塞25之位置及噴出量之理論關係與活塞25之位置及噴出量之實際關係之差異。
例如，修正資訊B將理論位置與實際位置建立對應。此處，修正資訊B中之理論位置與實際位置具有以下之關係。活塞25自第2基準位置到達理論位置時之噴出量之理論值與活塞25自第2基準位置到達對應於理論位置之實際位置時之噴出量之實際值相等。換言之，修正資訊B中之理論位置係為了噴出任意之噴出量(例如，第1量)之處理液時活塞25自第2基準位置理論上應到達之位置。修正資訊B之實際位置係為了噴出與任意之噴出量(例如，第1量)同量之處理液時活塞自第2基準位置實際上應到達之位置。如以上，修正資訊B為以第2基準位置為基準之資訊。理論位置為活塞25之理論位置。理論位置與噴出量之理論值之關係與理論資訊A所規定之第1位置與噴出量之理論值之關係相同。第1位置與理論位置本質上相同。於本說明書中，為了與修正資訊B中之理論位置區別，將理論資訊A中之位置稱作「第1位置」。實際位置為活塞25之實際之位置。實際位置為例如活塞25之位置的實測值，或活塞25之位置的實驗值。噴出量之實際值為實際之噴出量。噴出量之實際值為例如噴出量之實測值或噴出量之實驗值。
圖3係模式性地例示修正資訊之圖。圖3所示之修正資訊B係理論位置與實際位置建立對應之表。修正資訊B包含7組相互建立對應之理論位置及實際位置。為了方便起見，圖3顯示配對序號0、1、2、…6。理論位置及實際位置分別藉由脈衝數[pls]記載。作為參考，圖3顯示噴出量。圖3所示之噴出量意指噴出量之理論值及噴出量之實際值之兩者。於圖3之修正資訊B中，第2基準位置為0[pls]。即，第2基準位置之噴出量為0[cc]。具體而言，理論位置與第2基準位置相等時，噴出量之理論值為0[cc]，且實際位置與第2基準位置相等時，噴出量之實際值為0[cc]。如此，第2基準位置與理論資訊A之第1基準位置相同。
於圖3之修正資訊B之配對序號[1]中，理論位置50[pls]與實際位置25[pls]建立對應。此係表示活塞25自第2基準位置(0[pls])移動至理論位置50[pls]時之噴出量之理論值(0.5[cc])與活塞25自第2基準位置移動至實際位置25[pls]時之噴出量之實際值(0.5[cc])相等。
另，活塞25自第2基準位置移動至理論位置時之噴出量之理論值藉由理論資訊A予以特定。活塞25自第2基準位置到達之實際位置、及活塞25自第2基準位置到達實際位置時之噴出量之實際值藉由實驗等測定。因此，修正資訊B基於以下之2者生成。 1.理論資訊A 2.活塞25之位置及噴出量之實際關係 修正資訊B所包含之理論位置與理輪資訊A所包含之第1位置相比亦可為離散的。修正資訊B所包含之理論位置之範圍與理論資訊A所包含之第1位置之範圍相比亦可較小。
控制部31例如藉由執行各種處理之處理器(例如，中央運算處理裝置(CPU))、成為運算處理之作業區域之RAM(Random-Access Memory：隨機存取記憶體)或記憶各種資訊之半導體記憶體而實現。
3.泵裝置15之動作例 圖4係顯示泵裝置15之動作順序之圖。
＜步驟S1＞噴出命令之接收 控制部31自未圖示之外部機器接收噴出命令C。噴出命令C包含關於目標噴出量之資訊與關於目標流量之資訊。
＜步驟S2＞ 目前位置之特定 運算部33基於編碼器29之檢測結果，特定出活塞25之目前位置。目前位置例如為運算部33進行本步驟S2之處理之時點之活塞25的位置。或者，目前位置例如為泵裝置15(泵室21)完成處理液之吸入動作之時點之活塞25的位置。目前位置例如為泵裝置15(泵室21)完成處理液之吸入動作後，泵裝置15(泵室21)開始處理液之噴出動作前之時點之活塞25之位置。如下所述，控制部31將活塞25之目前位置作為活塞25之出發位置予以處理。
＜步驟S3＞ 假想起點之特定 運算部33參照記憶部32所記憶之修正資訊B，將活塞25之目前位置修正為假想起點。具體而言，運算部33於修正資訊B中與活塞25之目前位置相等之實際位置建立對應之理論位置特定為假想起點。換言之，控制部31將目前位置視作修正資訊B中之實際位置，使用修正資訊B將實際位置轉換為理論位置，將轉換之理論位置決定為假想起點。
此處，基於以下所示之處理條件1，例示運算部33進行之處理。 (處理條件1) 目標噴出量：2.25[cc] 目標流量：1[cc/sec] 活塞25之目前位置Q：25[pls] 理論資訊A：圖2所示之圖表 修正資訊B：圖3所示之表
圖5係模式性地表示基於處理條件1特定出目標位置之處理的圖。圖5上段之圖係繪製圖3所示之修正資訊B之圖表。以下，將圖5上段之圖表稱作「修正圖表Bg」。修正圖表Bg之橫軸為理論位置，修正圖表Bg之縱軸為實際位置。於修正圖表Bg中標注於點P之數字0、1、…、6表示修正資訊B之配對序號。例如，點P1為配對序號1之理論位置及實際位置之座標。圖5下段之圖為與圖2相同之理論資訊A。
參照圖3與圖5。於處理條件1中，運算部33按照以下順序特定出假想起點q。由於活塞25之目前位置Q為25[pls]，故與活塞25之目前位置Q相等之實際位置為25[pls]。於修正資訊B中與實際位置25[pls]建立對應之理論位置為50[pls]。因此，50[pls]為假想起點q。修正圖表Bg中之符號a係模式性地表示特定出假想起點q之處理。
＜步驟S4＞ 假想終點之特定 運算部33參照噴出命令C、理論資訊A及假想起點，特定出假想終點。具體而言，運算部33將理論資訊A中對應於與假想起點相等之位置之噴出量的理論值特定為初始噴出量。運算部33特定出初始噴出量與目標噴出量之和即合計量。控制部31將理論資訊A中對應於與合計量相等之噴出量之理論值的第1位置特定為假想終點。
參照圖3與圖5。於處理條件1中，運算部33按照以下順序特定出假想終點r。由於假想終點q為50[pls]，故與假想終點q相等之第1位置為50[pls]。於理論資訊A中與第1位置50[pls]建立對應之噴出量之理論值為0.5[cc]。因此，0.5[cc]為初始噴出量。圖5之理論資訊A中之符號b係模式性地表示特定出初始噴出量之處理。
噴出命令C所規定之目標噴出量為2.25[cc]。因此，初始噴出量與目標噴出量之合計量為2.75[cc]。圖5之理論資訊A中之符號c模式性地表示特定出合計量之處理。
於理論資訊A中，對應於與合計量相等之噴出量的理論值之第1位置為275[pls]。因此，275[pls]為假想終點r。圖5之理論資訊A中之符號d係模式性表示特定出假想終點r之處理。
＜步驟S5＞ 目標位置之特定 運算部33參照修正資訊B，將假想終點修正為目標位置。具體而言，將修正資訊B中和與假想終點相等之理論位置建立對應之實際位置特定為目標位置。換言之，控制部31使用修正資訊B，將假想終點逆轉換為目標位置。
參照圖3與圖5。於處理條件1中，運算部33按照以下順序特定出目標位置R。由於假想終點r為275[pls]，故與假想終點r相等之理論位置為275[pls]。於修正資訊B中與理論位置275[pls]建立對應之實際位置為200[pls]。因此，200[pls]為目標位置R。修正圖表Bg中之符號e係模式性表示特定出目標位置R之處理。
＜步驟S6＞區間之特定 運算部33參照修正資訊B，特定出包含於目前位置與目標位置之間之區間。各區間彼此不重疊。修正資訊B包含位於目前位置與目標位置之間之實際位置。換言之，修正資訊B包含大於目前位置、且小於目標位置之實際位置。區間藉由於修正資訊B中位於目前位置與目標位置之間之實際位置予以區分。於以下，將位於目前位置與目標位置之間之實際位置適當稱為「中間實際位置」。
於處理條件中，運算部33按照以下順序特定出區間。由於目前位置Q為25[pls]，目標位置R為200[pls]，故包含於修正資訊B之實際位置50[pls]、120[pls]分別為中間實際位置。即，修正資訊B包含2個中間實際位置50[pls]、120[pls]。最靠近目前位置Q之中間實際位置為50[pls]。最靠近目標位置R之中間實際位置為120[pls]。因此，包含於目前位置Q至目標位置R之間之區間為以下3者。 ・第1區間：目前位置Q(25[pls])至中間實際位置(50[pls]) ・中間區間：中間實際位置(50[pls])至中間實際位置(120[pls]) ・第2區間：中間實際位置(120[pls])至目標位置R(200[pls])。
＜步驟S7＞ 假想區間之特定 運算部33參照修正資訊B，特定出對應於各區間之假想區間。換言之，控制部31使用修正資訊B，將各區間轉換為假想區間。各假想區間包含於假想起點與假想終點之間。各假想區間藉由和與各區間之兩端之位置相等之實際位置建立對應之理論位置而規定。各假想區間藉由於修正資訊B中與中間實際位置建立對應之理論位置予以區分。於以下，將與中間實際位置建立對應之理論位置適當地稱為「中間理論位置」。
於處理條件1中，運算部33按照以下順序特定出假想區間。假想起點q為50[pls]。假想終點r為275[pls]。於修正資訊B中與中間實際位置50[pls]建立對應之中間理論位置為100[pls]。於修正資訊B中與中間實際位置120[pls]建立對應之中間理論位置為200[pls]。最靠近假想起點q之中間理論位置為100[pls]。最靠近假想終點r之中間理論位置為200[pls]。因此，假想區間為以下之3者。 ・假想第1區間：假想起點q(50[pls])至中間理論位置(100[pls]) ・假想中間區間：中間理論位置(100[pls])至中間理論位置(200[pls]) ・假想第2區間：中間理論位置(200[pls])至假想終點r(275[pls])
此處，假想第1區間與第1區間對應。假想中間區間與中間區間對應。假想第2區間與第2區間對應。
＜步驟S8＞理論速度之特定 運算部33參照理論資訊A，特定出理論速度。理論速度係用於以目標流量噴出處理液之活塞25之理論移動速度。即，運算部33參照理論資訊A，將用於以目標流量噴出處理液之活塞25之理論移動速度特定為理論速度。
於處理條件1中，運算部33按照以下順序特定出理論速度。噴出命令C所規定之目標流量為1[cc/sec]。於理論資訊A中，噴出量之理論值與第1基準位置與第1位置之差成正比。第1基準位置與第1位置之差相當於活塞25之移動距離。因此，於理論資訊A中，噴出量之理論值與活塞25之移動距離成正比。具體而言，活塞25之移動距離每增加100[pls]，噴出量之理論值增加1[cc]。因此，活塞25之理論速度於任意一個假想區間中一律為100[pls/sec]。此處，脈衝率[pls/sec]為表示活塞25速度之指標。
＜步驟S9＞ 修正速度之特定 運算部33參照修正資訊B，將理論速度修正為修正速度。具體而言，控制部31每區間地修正理論速度。藉此，控制部31特定出各區間之修正速度。各區間之修正速度係將各區間之距離除以與各區間對應之假想區間之距離所得之值乘以理論速度之值。此處，區間之距離為區間之第1端之位置與區間之第2端之位置之差。假想區間之距離為假想區間之第1端之位置與假想區間之第2端之位置之差。
於處理條件1中，運算部33按照以下順序特定出修正速度。將上述第1區間、中間區間及第2區間之修正速度分別稱為「第1修正速度」、「中間修正速度」及「第2修正速度」。
第1修正速度藉由下述之式算出。 第1修正速度=理論速度×(第1區間之距離)÷(假想第1區間之距離)=100×(50-25)÷(100-50)=50[pls/sec]
中間修正速度藉由下述之式算出。 中間修正速度=理論速度×(中間區間之距離)÷(假想中間區間之距離)=100×(120-25)÷(200-100)=70[pls/sec]
第2修正速度藉由下述之式算出。 第2修正速度=理論速度×(第2區間之距離)÷(假想第2區間之距離)=100×(200-120)÷(275-200)=107[pls/sec]
＜步驟S10＞ 驅動命令之輸出 運算部33將特定出之目標位置及修正速度賦予至驅動電路34。驅動電路34將與目標位置及修正速度相應之驅動命令輸出至馬達27。具體而言，驅動命令為使活塞25自目前位置移動至目標位置之命令。進而，驅動命令係使活塞25以修正速度移動之命令。更具體而言，驅動命令係使活塞25於整個各區間以對應於各區間之修正速度移動之命令。
於處理條件1中，驅動電路34將以下之3個驅動命令輸出至馬達27。 ・整個第1區間(即，自目前位置Q(25[pls])至中間實際位置(50[pls]))，以第1修正速度(50[pls/sec])使活塞25移動之驅動命令 ・整個中間區間(即，自中間實際位置(50[pls])至中間實際位置(120[pls]))，以中間修正速度(70[pls/sec])使活塞25移動之驅動命令 ・整個第2區間(即，自中間實際位置(120[pls])至目標位置R(200[pls]))，以第2修正速度(107[pls/sec])使活塞25移動之驅動命令
＜步驟S11＞ 處理液之噴出 馬達27根據驅動命令使活塞25移動。活塞25之出發位置為目前位置。活塞25以修正速度自目前位置移動至目標位置。藉由活塞25之移動，泵室21內之容積減少，泵室21將泵室21內之處理液噴出至泵室21外。泵室21噴出與活塞25之移動距離(即，自目前位置至目標位置之距離)相應之量之處理液。泵室21以對應於活塞25之移動速度之流量噴出處理液。
4.基板處理裝置1之動作例 簡單說明基板處理裝置1對基板W進行液處理之動作。保持部3保持基板W。噴嘴7移動至噴出位置。開關閥17關閉。開關閥18打開。控制部31根據1個噴出命令C，控制馬達27。藉此，活塞25移動，泵室21向二次側配管11b噴出處理液。二次側配管11b將處理液輸送至噴嘴7。噴嘴7將處理液供給至保持於保持部3之基板W。噴嘴7將處理液供給至基板W時，旋轉馬達5亦可使基板W旋轉。
活塞25到達目標位置後，活塞25靜止。泵裝置15結束處理液之噴出，噴嘴7結束處理液之供給。藉此，泵裝置15根據1個噴出命令C，完成處理液之噴出動作。
接著，泵裝置15進行處理液之吸入動作。具體而言，開關閥17打開，開關閥18關閉。活塞25自泵室21後退。泵室21內之容積增加，泵室21自一次側配管11a吸入處理液。
於泵裝置15完成處理液之吸入動作後，開關閥17關閉，開關閥18打開。泵裝置15根據接下來之噴出命令C開始動作。
4.本實施形態之效果 泵裝置15具備控制部31。控制部31參照噴出命令C、理論資訊A及目前位置，特定出假想終點。控制部31使用修正資訊B將假想終點修正為目標位置。此處，修正資訊B係活塞25之位置及噴出量之理論關係與活塞25之位置及噴出量之實際關係之差異相關的資訊。因此，無論假想終點被決定於哪個位置，均可特定出適當之目標位置。因此，可使泵室21實際噴出之處理液之量較佳地近似於噴出命令C所規定之目標噴出量。即，可精度良好地調整處理液之噴出量。
理論資訊A將活塞25自第1基準位置到達之第1位置、與活塞25自第1基準位置到達第1位置時之噴出量之理論值建立對應。因此，控制部31可使用理論資訊A較佳地特定出假想終點。
修正資訊B將理論位置與實際位置建立對應。此處，活塞25自第2基準位置到達理論位置時之噴出量之理論值，與活塞25自第2基準位置到達修正資訊B中與理論位置建立對應之實際位置時之噴出量之實際值相等。換言之，修正資訊B係將為了噴出任意噴出量之處理液而理論上活塞25應自第2基準位置到達之理論位置、與為了噴出與任意噴出量相同噴出量之處理液而活塞25應自第2基準位置實際到達之實際位置建立對應。因此，控制部31可使用修正資訊B將假想終點適當修正為目標位置。
理論資訊A之第1基準位置與修正資訊B之第2基準位置相同。因此，無論假想終點處於哪個位置，控制部31均可使用修正資訊B將假想終點容易地修正為目標位置。同樣地，無論活塞25之目前位置為哪個位置，控制部31均可使用修正資訊B將目前位置容易地修正為假想起點。
控制部31參照修正資訊B，將活塞25之目前位置修正為假想起點。控制部31參照噴出命令C、理論資訊A、及假想起點，特定出以假想起點為基準之假想終點。藉此，控制部31可較佳地特定出位於目前位置之活塞25應到達之目標位置。因此，無論活塞25之目前位置處於哪個位置，皆可將活塞25之目前位置設為出發位置。
控制部31將於修正資訊B中和與活塞25之目前位置相等之實際位置建立對應之理論位置特定為假想起點。藉由該處理，控制部31可較佳地特定出假想起點。
控制部31將理論資訊A中和與假想起點相等之位置建立對應之噴出量之理論值特定為初始噴出量。控制部31特定出初始噴出量與目標噴出量之和即合計量。進而，控制部31將理論資訊A中和與合計量相等之噴出量之理論值建立對應之第1位置特定為假想終點。藉由該一連串之處理，控制部31可較佳地特定出假想終點。
控制部31將於修正資訊B中和與假想終點相等之理論位置建立對應之實際位置特定為目標位置。藉由該處理，控制部31可較佳地特定出目標位置。
泵裝置15具備編碼器29。因此，控制部31可較佳地特定出活塞25之目前位置。
控制部31參照噴出命令C與理論資訊A，特定出活塞25之理論速度。控制部31使用修正資訊B，將理論速度修正為修正速度。此處，修正資訊B係關於活塞25之位置及噴出量之理論關係與活塞25之位置及噴出量之實際關係之差異的資訊。因此，活塞25之假想終點決定於哪個位置之情況下，均可特定出適當之修正速度。因此，可使泵室21實際噴出之處理液之流量較佳地近似於噴出命令C所規定之目標流量。即，可精度良好地調整處理液之流量。
控制部31使用修正資訊B，特定出包含於目前位置與目標位置之間之複數個區間。控制部31使用修正資訊B，每區間地修正理論速度，分別特定出各區間之修正速度。藉此，控制部31可精細地設定活塞25之移動速度。因此，可使泵室21實際噴出之處理液之流量進一步近似於目標流量。
控制部31使用2個中間實際位置，較佳地特定出自目前位置至目標位置之間所包含之3個區間(即，第1區間、中間區間、及第2區間)。
控制部31自第1區間之距離、假想第1區間之距離及理論速度算出第1修正速度。且，控制部31將使活塞25於整個第1區間以第1修正速度移動之驅動命令輸出至馬達27。藉此，活塞25於第1區間移動時，可使泵室21實際噴出之處理液之流量較佳地近似於目標流量。
同樣地，控制部31算出中間區間之中間修正速度，將使活塞25於整個中間區間以中間修正速度移動之驅動命令輸出至馬達27。藉此，活塞25於中間區間移動時亦可使泵室21實際噴出之處理液之流量較佳地近似於目標流量。
同樣地，控制部31算出第2區間之第2修正速度，將使活塞25於整個第2區間以第2修正速度移動之驅動命令輸出至馬達27。藉此，活塞25於第2區間移動時亦可使泵室21實際噴出之處理液之流量較佳地近似於目標流量。
控制部31具有記憶部32。因此，控制部31可始終參照理論資訊A與修正資訊B。因此，控制部31可順利地特定出目標位置。
控制部31自外部機器接收噴出命令C。藉此，控制部31可較佳地特定出目標位置等。
噴出命令C所規定之目標噴出量係僅與活塞25之移動距離關聯之資訊。同樣地，噴出命令C所規定之目標流量係僅與活塞25之移動速度關聯之資訊。因此，目標噴出量及目標流量並非關於活塞25之出發位置、活塞25之目前位置及活塞25之目標位置的資訊。如此，噴出命令C不包含關於活塞25之出發位置、活塞25之目前位置及活塞25之目標位置的資訊。因此，噴出命令C較為簡單。因此，外部機器可藉由簡單之噴出命令C控制泵裝置15。
基板處理裝置1具備泵裝置15。因此，可使實際供給至基板W之處理液之量較佳地近似於目標噴出量。即，可精度良好地調整供給至基板W之處理液之量。因此，可較佳地提高施加於基板W之處理品質。
泵室21之一部分係藉由隔膜23劃分。因此，藉由馬達27使活塞25移動，可適當地改變泵室21內之容積。
本發明並非限定於上述實施形態，可如下述般變化實施。
(1)基於上述之處理條件1，修正資訊B包含與目前位置相等之實際位置及與假想終點相等之理論位置，但並未限定於此。例如，修正資訊B亦可不包含與目前位置相等之實際位置。修正資訊B亦可不包含與假想終點相等之理論位置。即使為本變化實施形態，控制部31亦可藉由內插修正資訊B，將目前位置修正為假想起點。同樣地，控制部31可藉由內插修正資訊B將假想終點修正為目標位置。
圖6係模式性地表示內插修正資訊B之直線之圖。圖6係顯示繪製圖3之修正資訊B之圖表。以下，將圖6所示之圖表稱作「修正圖表Bg」。
圖6進而以虛線表示內插修正資訊B之直線L。直線L係以線段連接點P0、P1、P2、…、P6者。直線L為連結鄰接之2個點P之線段之集合。鄰接之2個點P例如為點P0與點P1。因此，直線L包含例如連接點P0與點P1之線段。直線L例如為折線。控制部31藉由直線L而內插於修正資訊B所包含之理論位置及實際位置。控制部31使用直線L推定與假想終點相等之理論位置。進而，控制部31使用直線L將與推定之理論位置建立對應之實際位置推定作為目標位置。
例如，假想終點r可設為350[pls]。修正資訊B不包含與假想終點r(350[pls])相等之理論位置。於該情形時，控制部31於步驟S4進行以下之處理。控制部31特定出於直線L上理論位置為350[pls]之點。直線L將理論位置350[pls]與實際位置375[pls]建立對應。控制部31基於直線L，特定出與理論位置350[pls]建立對應之實際位置為375[pls]。控制部31將實際位置375[pls]處理為目標位置R。圖6之修正圖表Bg中之符號f係模式性地表示藉由直線L推定目標位置之處理。
同樣地，即使於修正資訊B不包含與活塞25之目前位置相等之實際位置之情形，控制部31亦可藉由直線L較佳地推定對應於目前位置之假想起點。具體而言，控制部31基於直線L，特定出和與目前位置相等之實際位置建立對應之理論位置。控制部31將特定出之理論位置推定為假想起點。
另，於上述之變形實施形態中，控制部31以直線L內插修正資訊B，但並未限定於此。例如，控制部31亦可以曲線內插修正資訊B。例如，控制部31亦可藉由內插修正資訊B所包含之理論位置及實際位置之曲線，推定假想終點及目標位置之至少任一者。例如，控制部31亦可藉由內插修正資訊B所包含之理論位置及實際位置之曲線，推定出發位置、目前位置及假想起點之至少任一者。例如，控制部31亦可藉由內插修正資訊B所包含之理論位置及實際位置之曲線，推定目標位置及假想起點之至少任一者。藉由以曲線內插修正資訊B，可提高假想終點及目標位置等之推定精度。另一方面，於以直線L內插修正資訊B之態樣中，可減輕控制部31之處理。
(2)基於上述之處理條件1，修正資訊B所包含之中間實際位置之數為2個，但並未限定於此
例如，修正資訊B所包含之中間實際位置之數可為3個以上。於該態樣中，於步驟S6中，控制部31特定出包含於目前位置與目標位置之間之4個以上之區間。具體而言，控制部31特定出1個第1區間、1個第2區間及2個以上之中間區間。於步驟S7中，控制部31特定出4個以上之假想區間。具體而言，控制部31特定出1個假想第1區間、1個假想第2區間、及2個以上之假想中間區間。於步驟S9中，控制部31特定出4個以上之修正速度。具體而言，控制部31特定出1個第1修正速度、1個第2修正速度、及2個以上之中間修正速度。
例如，修正資訊B所包含之中間實際位置之數亦可為1個。於該態樣中，於步驟S6中，控制部31特定出2個區間。2個區間為自目前位置至中間實際位置之第1區間與自中間實際位置至目標位置之第2區間。於步驟S7中，控制部31特定出2個假想區間。具體而言，修正資訊B包含與中間實際位置建立對應之上述理論位置即1個中間理論位置。控制部31特定出自假想起點至中間理論位置之假想第1區間。控制部31特定出自中間理論位置至假想終點之假想第2區間。於步驟S9中，控制部31特定出2個修正速度。具體而言，控制部31藉由將第1區間之距離除以假想第1區間之距離所得之值乘以理論速度，算出第1修正速度。控制部31藉由將第2區間之距離除以假想第1區間之距離所得之值乘以上述第2理論速度，算出第2修正速度。於步驟S10中，控制部31將使活塞25於整個第1區間以第1修正速度移動之驅動命令輸出至馬達27。控制部31將使活塞25於整個第2區間以第2修正速度移動之驅動命令輸出至馬達27。
例如，修正資訊B所包含之中間實際位置之數亦可為0。即，修正資訊B亦可不包含中間實際位置。於該情形時，控制部31省略特定出區間之處理(步驟S6)、特定出假想區間之處理(步驟S7)。於步驟S9中，控制部31特定出1個修正速度。具體而言，控制部31藉由將目前位置與目標位置之距離除以假想起點與假想終點之距離所得之值乘以理論速度，算出修正速度。於步驟S10中，控制部31將使活塞25自目前位置以修正速度移動至目標位置之驅動命令輸出至馬達27。
(3)於上述實施形態中例示之理論資訊A中，噴出量之理論值與活塞25之移動距離成正比。因此，活塞25之理論速度與活塞25之位置無關，係恒定。然而，本發明並非限於此。於理論資訊A中噴出量之理論值亦可不與活塞25之移動距離成正比。活塞25之理論速度亦可不對應於活塞25之位置而變動。於本變形實施形態中，較佳為，控制部31參照理論資訊A，分別特定出各假想區間之理論速度。
具體而言，於步驟S8中，控制部31特定出假想第1區間之第1理論速度、假想中間區間之中間理論速度、及假想第2區間之第2理論速度。於步驟S9中，控制部31參照修正資訊B，將第1理論速度修正為第1修正速度，將中間理論速度修正為中間修正速度，將第2理論速度修正為第2修正速度。具體而言，控制部31藉由以第1區間之距離除以假想第1區間之距離所得之值乘以第1理論速度，算出第1修正速度。控制部31藉由以中間區間之距離除以假想中間區間之距離所得之值乘以中間理論速度，算出中間修正速度。控制部31藉由將第2區間之距離除以假想第2區間之距離所得之值乘以第2理論速度，算出第2修正速度。藉此，即使於活塞25之理論速度根據活塞25之位置而變動之情形，控制部31亦可適當地設定活塞25之移動速度。
(4)於上述實施形態中，活塞25之出發位置為活塞25之目前位置。即，活塞25之出發位置並未預先決定。活塞25之出發位置亦可並非始終為相同位置。然而，本發明並非限於此。例如，活塞25之出發位置亦可不為活塞25之目前位置。例如，活塞25之出發位置亦可為預先決定之位置。例如，活塞25之出發位置亦可始終為相同位置。
例如，控制部31於泵裝置15進行處理液之吸入動作時，亦可使活塞25始終後退至特定之位置。藉此，可容易地保持活塞25之出發位置為特定位置。
出發位置例如亦可為與理論資訊A之第1基準位置相等之位置。或者，出發位置亦可為與修正資訊B之第2基準位置相等之位置。
於本變化實施形態中，無需基於編碼器29之檢測結果特定出活塞25之目前位置，活塞25之出發位置為已知。因此，控制部31亦可省略步驟S2之處理(目前位置之特定)。藉此，可簡化控制部31之處理。進而，泵裝置15亦可不具備編碼器29。藉由省略編碼器29，可簡化泵裝置15之構成。
由於活塞25之出發位置為預先決定之位置，故假想起點亦為預先決定之位置。即，假想起點為已知。因此，控制部31亦可省略步驟S3之處理(假想起點之特定)。藉此，可進而簡化控制部31之處理。
於本變形實施形態中，活塞25之出發位置並未限定為目前位置。因此，較佳為將記載於實施形態之步驟S6之說明之「目前位置」改讀為「出發位置」。例如，於本變形實施形態中，控制部31特定出包含於「出發位置」與目標位置之間之區間。例如，於本變形實施形態中，控制部31將自「出發位置」至中間實際位置之區間特定為第1區間。
(5)於上述實施形態中，修正資訊B之數量為1個，但並未限定於此。修正資訊B之數量亦可為複數個。例如，修正資訊B亦可包含第1修正資訊、及與第1修正資訊不同之第2修正資訊。控制部31亦可基於處理液之條件，選擇第1修正資訊及第2修正資訊之任一者，參照所選擇之第1修正資訊及第2修正資訊之任一者，將假想終點修正為目標位置。處理液之條件例如為處理液之種類、處理液之粘度、處理液之密度及處理液之使用溫度之至少任一者。進而，記憶部32較佳為記憶第1修正資訊及第2修正資訊。
(6)於上述之實施形態中，理論資訊A之數量為1個，但並未限定於此。理論資訊A之數量可為複數個。例如，理論資訊A亦可包含第1理論資訊、及與第1理論資訊不同之第2理論資訊。控制部31基於處理液之條件，選擇第1理論資訊及第2理論資訊之任一者，參照所選擇之第1理論資訊及第2理論資訊之任一者，特定出假想終點。處理液之條件例如為處理液之種類、處理液之粘度、處理液之密度及處理液之使用溫度之至少任一者。進而，記憶部32較佳為記憶第1理論資訊及第2理論資訊。
(7)於上述之實施形態中，理論資訊A及修正資訊B係以脈衝數表示活塞25之位置，但並未限定於此。例如，理論資訊A及修正資訊B之至少任一者亦可將活塞25之位置以與第1/第2基準位置之距離表示。
(8)於上述之實施形態中，將理論速度及修正速度以脈衝率[pls/sec]表示，但並未限定於此。例如，亦可將理論速度及修正速度以每單位時間之距離表示。
(9)於上述實施形態中，理論資訊A之形式為圖表，但並未限定於此。例如，理論資訊A之形式亦可為函數或表。於上述實施形態中，修正資訊B之形式為表，但並未限定於此。例如，修正資訊B之形式亦可為函數或圖表。
(10)於上述之實施形態中，第2基準位置與第1基準位置相同，但並未限定於此。即，第2基準位置亦可與第1基準位置不同。
圖7係模式性顯示變化實施形態之修正資訊之圖。於圖7所示之修正資訊B中，第2基準位置為25[pls]。即，第2基準位置之噴出量為0[cc]。代替圖3所示之修正資訊B，使用圖7所示之修正資訊B，控制部31亦可特定出與實施形態相同之目標位置。
(11)於上述實施形態中，噴出命令C亦可包含關於目標流量之資訊，但並未限定於此。即，噴出命令C亦可不包含關於目標流量之資訊。於本變化實施形態中，控制部31省略步驟S6至S9之處理，不特定出修正速度。於步驟S10中，控制部31將使活塞25僅自目前位置移動至目標位置之驅動命令輸出至馬達27。即，控制部31不將關於活塞25之移動速度之驅動命令輸出至馬達27。
(12)於上述之實施形態中，噴出命令C包含關於目標噴出量及目標流量之資訊，但並未限定於此。例如，噴出命令C亦可包含目標噴出量、目標流量、目標噴出時間之任意二者。目標噴出量藉由目標流量與目標噴出時間唯一決定。目標流量藉由目標噴出量與目標噴出時間唯一決定。因此，即使為本變化實施形態，亦可自包含於噴出命令C之2個資訊唯一特定出目標噴出量及目標流量。
(13)於上述之實施形態中，作為關於目標噴出量之資訊，例示處理液之量[cc]，但並未限定於此。於噴出量藉由活塞25之移動距離唯一決定之情形時，關於目標噴出量之資訊亦可藉由活塞25之移動距離規定。於上述實施形態中，作為關於目標流量之資訊，例示每單位時間之處理液之量[cc/sec]，但並未限定於此。於流量藉由活塞25之移動速度唯一決定之情形時，關於目標流量之資訊亦可藉由活塞25之移動速度規定。
(14)於上述之實施形態中，可動隔片構件(具體而言，為隔膜23)劃分泵室21之一部分，但並未限定於此。即，可動隔片構件亦可劃分泵室21之全部。
(15)於上述實施形態中，可動隔片構件為隔膜23，但並未限定於此。可動隔片構件例如亦可為管式隔膜或波紋管。
(16)於上述之實施形態中，活塞25連接於可動隔片構件(隔膜23)，但並未限定於此。活塞25亦可不接觸於可動隔離構件。於上述實施形態中，活塞25直接使可動隔片構件(隔膜23)變形，但並未限定於此。例如，活塞25亦可間接地使可動隔片構件變形。例如，活塞25亦可經由間接液或作動流體，使可動隔片構件變形。例如，活塞25亦可藉由改變間接液或作動流體之壓力，使可動隔片構件變形。
(17)於上述實施例中，雖例示有活塞25作為可動構件，但並未限定於此。可動構件例如亦可為桿或軸。
(18)於上述之實施形態中，馬達27為步進馬達，但並未限定於此。例如，馬達27例如亦可為伺服馬達。於上述實施形態中，例示馬達27作為致動器，但並未限定於此。泵裝置15具有之致動器亦可為氣缸。氣缸亦可稱為空壓驅動缸體。於本變化實施形態中，控制部31控制氣缸。例如，控制部31亦可藉由控制電空調節器，控制氣缸之動力源即空氣壓力。藉此，控制部31可較佳地控制氣缸。
(19)於上述實施形態中，泵裝置15具備檢測馬達27之旋轉量之編碼器29，但並未限定於此。例如，泵裝置15亦可具備檢測活塞25之位置之感測器。根據本變化實施形態，控制部31亦可基於感測器之檢測結果較佳地特定出活塞25之目前位置。
(20)於上述實施形態中，泵裝置15具備編碼器29，但並未限定於此。例如，控制部31亦可基於截至目前輸出至馬達27之驅動命令，特定出活塞25之目前位置。例如，控制部31亦可基於截至目前輸出至馬達27之脈衝數之累算值，特定出活塞25之目前位置。於本變化實施形態中，泵裝置15亦可不具備於實施形態中說明之編碼器29。藉由省略編碼器29，可簡化泵裝置15之構成。
(21)於上述之實施形態中，1個控制部31控制包括泵室21、活塞25及馬達27之1個單元，但並未限定於此。1個控制部31亦可控制複數個單元。
(22)關於上述之各實施形態及上述(1)至(21)中說明之各變化實施形態，亦可進而將各構成置換成或組合於其他變化實施形態之構成等而適當變更。
本發明係只要不脫離其思想或本質，則可以其他具體形式實施，因此，作為表示發明之範圍者，並非參照以上說明，而應參照所附加之申請專利範圍。
1‧‧‧基板處理裝置
3‧‧‧保持部
5‧‧‧旋轉馬達
7‧‧‧噴嘴
9‧‧‧杯器
11‧‧‧配管
11a‧‧‧一次側配管
11b‧‧‧二次側配管
13‧‧‧處理液供給源
15‧‧‧泵裝置
17‧‧‧開關閥
18‧‧‧開關閥
21‧‧‧泵室
22‧‧‧框體
23‧‧‧隔膜(可動隔片構件)
25‧‧‧活塞(可動構件)
27‧‧‧馬達
29‧‧‧編碼器(感測器)
31‧‧‧控制部
32‧‧‧記憶部
33‧‧‧運算部
34‧‧‧驅動電路
a‧‧‧特定假想起點q之處理
A‧‧‧理論資訊
b‧‧‧特定初始噴出量之處理
B‧‧‧修正資訊
Bg‧‧‧修正圖表
c‧‧‧特定合計量之處理
C‧‧‧噴出命令
d‧‧‧特定假想終點r之處理
D1‧‧‧方向
D2‧‧‧方向
e‧‧‧特定目標位置R之處理
f‧‧‧藉由直線L推定目標位置之處理
L‧‧‧直線
P0～P6‧‧‧點
Q‧‧‧目前位置
q‧‧‧假想起點
R‧‧‧目標位置
r‧‧‧特定假想終點
S1～S11‧‧‧步驟
W‧‧‧基板
雖然為了說明發明而圖示有當前認為較佳之若干個形態，但應理解，發明並非限定於如圖示之構成及手段。 圖1係表示實施形態之基板處理裝置之概略構成之圖。 圖2係模式性地例示理論資訊之圖。 圖3係模式性地例示修正資訊之圖。 圖4係顯示泵裝置之動作順序之圖。 圖5係模式性顯示特定出目標位置之處理之圖。 圖6係模式性顯示內插修正資訊之直線之圖。 圖7係模式性顯示變形實施形態之修正資訊之圖。

Claims (15)

  1. 一種泵裝置，其係噴出液體者，且具備： 泵室，其收容液體，藉由上述泵室內之容積減少而將上述泵室內之液體向上述泵室外噴出； 可動構件，其設置為可移動，且可改變上述泵室內之容積； 致動器，其連接於上述可動構件，使上述可動構件移動； 控制部，其控制上述致動器； 上述控制部係 參照包含自上述泵室噴出之液體之噴出量之目標值即目標噴出量相關之資訊的噴出命令、上述可動構件之位置及上述噴出量之理論關係相關之理論資訊、及上述可動構件之出發位置，特定出假想終點； 參照上述可動構件之位置及上述噴出量之理論關係與上述可動構件之位置及上述噴出量之實際關係的差異相關之修正資訊，將上述假想終點修正為目標位置； 將使上述可動構件自上述出發位置移動至上述目標位置之驅動命令輸出至上述致動器。
  2. 如請求項1之泵裝置，其中 上述理論資訊將上述可動構件自第1基準位置到達第1位置時之上述噴出量之理論值與上述第1位置建立對應； 上述修正資訊將理論位置與實際位置建立對應； 上述可動構件自第2基準位置到達上述理論位置時之上述噴出量之上述理論值，與上述可動構件自上述第2基準位置到達與上述理論位置建立對應之上述實際位置時之上述噴出量之實際值相等。
  3. 如請求項2之泵裝置，其中 上述出發位置為上述可動構件之目前位置； 上述控制部係 參照上述修正資訊，將上述可動構件之上述目前位置修正為假想起點； 參照上述噴出命令、上述理論資訊及上述假想起點，特定出上述假想終點。
  4. 如請求項3之泵裝置，其中 上述控制部係 將上述修正資訊中和與上述可動構件之上述目前位置相等之上述實際位置建立對應之上述理論位置特定為上述假想起點； 將上述理論資訊中和與上述假想起點相等之上述第1位置建立對應之上述噴出量之上述理論值特定為初始噴出量； 特定出上述初始噴出量與上述目標噴出量之和即合計量； 將於上述理論資訊中和與上述合計量相等之上述噴出量之上述理論值建立對應之上述第1位置特定為上述假想終點； 將上述修正資訊中和與上述假想終點相等之上述理論位置建立對應之上述實際位置特定為上述目標位置。
  5. 如請求項3之泵裝置，其中 上述泵裝置具備檢測上述致動器之驅動量及上述可動構件之位置之至少任一者之感測器； 上述控制部基於上述感測器之檢測結果，特定出上述可動構件之上述目前位置。
  6. 如請求項2之泵裝置，其中 上述控制部藉由內插上述修正資訊所包含之上述理論位置及上述實際位置之直線或曲線，推定上述假想終點及上述目標位置之至少任一者。
  7. 如請求項2之泵裝置，其中 上述噴出命令包含自上述泵室噴出之液體之流量的目標值即目標流量相關之資訊； 上述控制部係 參照上述理論資訊，將用於以上述目標流量自上述泵室噴出液體之上述可動構件之理論移動速度特定為理論速度； 參照上述修正資訊，將上述理論速度修正為修正速度； 將使上述可動構件以上述修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器。
  8. 如請求項7之半導體裝置，其中 上述控制部係 參照上述修正資訊，特定出上述出發位置與上述目標位置之間所含的複數個區間； 參照上述修正資訊，將上述理論速度修正為上述區間各者之上述修正速度； 將用於使上述可動構件以上述區間各者中之上述修正速度遍於上述區間各者移動之驅動命令輸出至上述致動器。
  9. 如請求項8之泵裝置，其中 上述修正資訊包含位於上述出發位置與上述目標位置之間之上述實際位置即1個中間實際位置； 上述區間為自上述出發位置至上述中間實際位置之第1區間、及自上述中間實際位置至上述目標位置之第2區間。
  10. 如請求項9之泵裝置，其中 上述修正資訊包含與上述中間實際位置建立對應之上述理論位置即1個中間理論位置； 上述控制部係 參照上述修正資訊，將上述可動構件之上述目前位置修正為假想起點； 特定出自上述假想起點至上述中間理論位置之上述假想第1區間， 特定出自上述中間理論位置至上述假想終點之假想第2區間； 藉由將上述第1區間之距離除以上述假想第1區間之距離所得之值乘以上述理論速度，算出第1修正速度， 藉由將上述第2區間之距離除以上述假想第2區間之距離所得之值乘以上述理論速度，算出第2修正速度， 將使上述可動構件遍於上述第1區間以上述第1修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器； 將使上述可動構件遍於上述第2區間以上述第2修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器。
  11. 如請求項8之泵裝置，其中 上述修正資訊包含位於上述出發位置與上述目標位置之間之上述實際位置即複數個中間實際位置； 上述區間為自上述出發位置至最靠近上述出發位置之上述中間實際位置之第1區間、相鄰之2個上述中間實際位置之間之中間區間、及自最靠近上述目標位置之上述中間實際位置至上述目標位置之第2區間。
  12. 如請求項11之泵裝置，其中 上述修正資訊包含與上述中間實際位置各者建立對應之上述理論位置即複數個中間理論位置； 上述控制部係 參照上述修正資訊，將上述可動構件之上述目前位置修正為假想起點； 特定出自上述假想起點至最靠近上述假想起點之上述中間理論位置之假想第1區間； 特定出相鄰之2個上述中間理論位置之間之假想中間區間； 特定出最靠近上述假想終點之上述中間理論位置至上述假想終點之假想第2區間； 藉由將以上述第1區間之距離除以上述假想第1區間之距離所得之值乘以上述理論速度，算出第1修正速度； 藉由將以上述中間區間之距離除以上述假想中間區間之距離所得之值乘以上述理論速度，算出中間修正速度； 藉由將以上述第2區間之距離除以上述假想第2區間之距離所得之值乘以上述理論速度，算出第2修正速度； 將使上述可動構件遍於上述第1區間以上述第1修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器； 將使上述可動構件遍於上述中間區間以上述中間修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器； 將使上述可動構件遍於上述第2區間以上述第2修正速度移動之驅動命令輸出至上述致動器。
  13. 如請求項1之半導體裝置，其中 上述控制部具有記憶上述理論資訊與上述修正資訊之記憶部。
  14. 如請求項1之泵裝置，其中 上述控制部自上述泵裝置之外部機器接收上述噴出命令； 上述噴出命令不包含上述可動構件之上述出發位置、上述可動構件之目前位置及上述可動構件之上述目標位置相關之資訊。
  15. 一種基板處理裝置，其係對基板進行處理者，且具備： 保持部，其保持基板； 噴嘴，其對由上述保持部保持之基板供給處理液； 泵裝置，其連通連接於上述噴嘴； 上述泵裝置具備： 泵室，其收容處理液，且藉由上述泵室內之容積減少而將上述泵室內之處理液向上述噴嘴噴出； 可動構件，其設置為可移動，可改變上述泵室內之容積； 致動器，其連接於上述可動構件，使上述可動構件移動；及 控制部，其控制上述致動器； 上述控制部係 參照包含自上述泵室噴出之處理液之噴出量之目標值即目標噴出量相關之資訊的噴出命令、上述可動構件之位置及上述噴出量之理論關係相關之理論資訊、及上述可動構件之出發位置，特定出假想終點； 參照上述可動構件之位置及上述噴出量之理論關係與上述可動構件之位置及上述噴出量之實際關係的差異相關之修正資訊，將上述假想終點修正為目標位置； 將使上述可動構件自上述出發位置移動至上述目標位置之驅動命令輸出至上述致動器。
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