KR20120106632A

KR20120106632A - 페이스트 도포 헤드, 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법

Info

Publication number: KR20120106632A
Application number: KR1020120026867A
Authority: KR
Inventors: 츠요시 와타나베; 시게루 이시다; 이사무 마루야마; 샤오동 쟝; 마사타카 와타나베
Original assignee: 가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
Priority date: 2011-03-18
Filing date: 2012-03-16
Publication date: 2012-09-26
Also published as: KR101364674B1; TWI513514B; TW201302317A; JP5897263B2; CN102671823B; JP2012196600A; CN102671823A

Abstract

본 발명은, 대형 유리 기판에 고정세한 패턴으로 시일재를 고정밀도로 도포할 수 있게 한다.
페이스트 도포 헤드에서는, 대용량의 친페이스트 수납통(23)과 소용량의 자페이스트 수납통(24)이 설치되어 있고, 이 친페이스트 수납통(23)에는, 다량의 페이스트가 수납되어 있다. 자페이스트 수납통(24)에서는, 유리 기판으로의 페이스트 패턴의 묘화시, 그곳에 수납되어 있는 페이스트가 노즐(22)로부터 토출된다. 자페이스트 수납통(24) 내에서의 페이스트의 수납량이 적어지면, 구분 밸브(30)가 개방되어 친페이스트 수납통(23)과 자페이스트 수납통(24)이 페이스트 종점 유로(27)를 통해 연통되어, 친페이스트 수납통(23) 내의 페이스트가 자페이스트 수납통(24)에 보충된다.

Description

페이스트 도포 헤드, 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법{PASTE APPLICATION HEAD, PASTE APPLICATION APPARATUS AND PASTE APPLICATION METHOD}

본 발명은, 기판 상에 페이스트를 정량으로 도포하는 장치 및 방법에 관련된 것으로서, 특히, 액정 표시 패널 등의 제조 과정에서 사용되는 시일재로서의 페이스트를 유리 기판에 양호한 정밀도로 도포하기 위한 페이스트 도포 헤드, 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법에 관한 것이다.

액정 표시 패널의 제조에서는, 제조 비용의 저감을 도모하기 위하여, 사이즈가 큰 유리 기판이 사용되며, 그 유리 기판의 기판면을 복수의 영역으로 구분하여 각각의 영역에서 동일한 형상의 페이스트 패턴을 묘화하고, 각각의 영역으로 분할하여 분할한 영역마다 액정 표시 패널을 형성할 수 있게 하고 있다. 이와 같이, 사용되는 유리 기판의 사이즈가 커지고, 모따기 수도 많아져 1장의 유리 기판으로부터 복수개의 액정 표시 패널이 얻어지도록 하고 있다.

그리고, 이를 위한 연구로서, 도포되는 페이스트인 시일재의 수명도 개선되고 있기 때문에, 유리 기판 상에 토출하는 시일재를 수납해 두기 위한 페이스트 수납통을 용량이 큰 것으로 바꾸는 제안이 이루어지고 있다. 이에 의해, 페이스트 수납통에서의 시일재의 충전량을 많게 할 수 있다. 그러나, 페이스트 수납통에 수납되어 있는 시일재를, 유리 기판 상으로의 소정 패턴의 묘화를 위하여, 노즐로부터 이 유리 기판 상에 토출시키기 위해서는, 페이스트 수납통 내에 에어압(공기압)이 가해지는 것인데, 페이스트 수납통의 용량을 크게 하면, 시일재가 페이스트 수납통으로부터 토출됨에 따라 페이스트 수납통의 빈 용량(공기가 존재하는 공간)이 커지고, 에어압을 변화시켜 페이스트 수납통 내의 시일재에 가해지는 압량(壓量)을 조정하고자 하여도, 이 빈 용량 내의 공기를 통해 압력이 시일재의 표면에 전달되게 되므로, 시일재로의 가압력의 조정에 시간적 지연이 발생하게 된다. 이 때문에, 미세한 페이스트 패턴을 양호한 정밀도로 묘화하기 위해서는, 묘화 조건, 특히, 페이스트 수납통 내의 시일재로의 가감압의 조정을 빈번히 행할 필요가 있게 되어, 제어가 대응하기 어려운 것이 된다.

또한, 페이스트 도포량을 미소화하는 것에 수반하여, 액정 표시 패널의 유리판의 외주부(外周部)에 상당하는 유리 기판의 위치에 프레임 형상의 패턴으로 시일재를 도포하는 경우, 시일재의 도포량을 적게 하는 경향이 있어, 고정밀도로 안정적인 시일재의 도포가 요구된다. 이 때문에, 유리 기판의 대형화 대응과 시일재로의 세세한 가감압 조정을 서로 양립시키기가 어려워지고 있다.

이에 대하여, 시일재의 토출량을 미세 조정할 수 있도록 한 것으로서, 스크루식의 페이스트 도포 장치가 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

이 특허문헌 1에 기재된 페이스트 도포 장치는, 가담부(加擔部)에 노즐이 형성되어 있는 실린더 내부의 통 형상의 공간 내에 나선 형상의 볼록 형상부가 2개 이상 설치된 막대 형상의 스크루가 설치된 구성을 이루며, 이 스크루를 서보 모터로 회전시키고, 또한 저류 용기 내에 저류되어 있는 시일재를 파이프를 통해 이 실린더의 내부 공간 내에 공급하도록 함으로써, 이 공급된 시일재는 회전하는 스크루의 볼록 형상부에 의해 노즐로부터 압출되는 것이다. 여기서, 이 기술에서는, 스크루의 회전 각도에 따라 토출량을 제어할 수 있고, 이에 의해, 시일재의 토출량 편차를 적게 할 수 있다고 하고 있다.

일본 공개특허공보 제2007-136397호

그러나, 스크루식의 페이스트 도포 장치에서는, 스크루 자체나 그 구동원이 되는 모터, 모터의 제어 회로, 제어 소프트 등 부수되는 구성부가 증가되어 간다. 또한, 페이스트 수납통 내에 충전한 후에 시일재와 접촉하는 구성 부품은 정기적으로 세정할 필요가 있고, 스크루 부분의 분해, 조립시의 스크루의 외주와 실린더의 내부 용기의 내벽면과의 갭 관리 등의 취급이 번잡해져, 막대한 시간을 요하게 된다.

또한, 외부로부터 이물질이 혼입된 경우에는, 구성 부품이 복잡하기 때문에, 분해하였을 때에 이물질을 확실하게 제거할 수 있는가라는 우려가 있어, 세정시의 보수성을 양호하게 할 수 없다는 문제가 있다. 또한, 스크루를 회전시키므로, 구동부의 지점에서 마모에 의한 이물질 발생도 발생하기 쉬워진다.

이상으로부터, 세정 시간을 요하는 것에 의한 택트, 또한, 이물질의 혼입 리스크 면에서 문제가 있다.

본 발명의 목적은, 이러한 문제를 해결하여, 대형 유리 기판에 고정세(高精細)한 시일재의 도포를 실현하는 페이스트 도포 헤드, 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 페이스트 도포 헤드는, 도포재를 수납하는 도포재 수납통이 충전한 도포재를 수납해 두는 친(親)페이스트 수납통과 도포재를 일시적으로 보존하는 자(子)페이스트 수납통으로 이루어지고, 친페이스트 수납통과 자페이스트 수납통에는, 에어압을 인가하는 에어압 인가 수단을 구비하고, 친페이스트 수납통으로부터 도포재를 꺼내는 취출구로부터의 도포재의 유로는 구분 밸브에 연결되고, 구분 밸브로부터의 도포재의 유로는 자페이스트 수납통에 연결되며, 자페이스트 수납통으로부터의 도포재의 유로는, 도포재를 기판에 토출하는 노즐에 연결되어 있고, 또한, 자페이스트 수납통의 상부에 도포재의 보존량을 검출하는 도포재 보존량 검출 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명에 의한 페이스트 도포 헤드는, 친페이스트 수납통의 에어압 인가 수단이, 친페이스트 수납통으로부터 자페이스트 수납통으로 상기 도포재를 보급할 때, 구분 밸브가 열림과 함께, 친페이스트 수납통 내에 에어압을 인가하고, 자페이스트 수납통의 에어압 인가 수단은, 노즐로부터 도포재를 토출할 때, 구분 밸브가 닫힘과 함께, 자페이스트 수납통 내에 에어압을 인가하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명에 의한 페이스트 도포 헤드는, 자페이스트 수납통의 도포재 보존량 검출 수단이, 도포재의 액면(液面)에서의 광학적 반사광을 수광하여 도포재의 보존량을 검출하는 센서인 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명에 의한 페이스트 도포 헤드는, 자페이스트 수납통의 용적이, 친페이스트 수납통의 용적에 비하여 충분히 작은 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 페이스트 도포 장치는, 도포재를 충전한 도포재 수납통과 도포재 수납통으로부터의 도포 재료를 토출하는 노즐 토출구를 구비한 1 또는 복수의 도포 헤드를 이동 가능하게 설치된 갠트리가 1 또는 복수대 가대 상에 설치되고, 가대 상에 설치된 기판 재치(載置) 테이블에 탑재된 기판에 대하여 갠트리가 이동하고, 갠트리에 대하여 도포 헤드가 이동함으로써, 기판에 대하여 도포 헤드가 이동하고, 노즐 토출구로부터 기판 상으로 도포재를 토출시키는 것으로서, 도포 헤드의 도포재를 수납하는 도포재 수납통은, 충전한 도포재를 수납해 두는 친페이스트 수납통과 도포재를 일시적으로 보존하는 자페이스트 수납통으로 이루어지고, 친페이스트 수납통과 자페이스트 수납통은, 에어압을 인가하는 수단을 구비하고, 친페이스트 수납통으로부터 도포재를 꺼내는 취출구로부터의 도포재의 유로는 구분 밸브에 연결되고, 구분 밸브로부터의 도포재의 유로는 자페이스트 수납통에 연결되며, 자페이스트 수납통으로부터의 도포재의 유로는, 도포재를 기판에 토출하는 노즐에 연결되어 있고, 또한, 자페이스트 수납통의 상부에 도포재의 보존량을 검출하는 도포재 보존량 검출 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명에 의한 페이스트 도포 장치는, 친페이스트 수납통의 에어압 인가 수단이, 친페이스트 수납통으로부터 자페이스트 수납통으로 도포재를 보급할 때, 구분 밸브가 열림과 함께, 친페이스트 수납통 내에 에어압을 인가하고, 자페이스트 수납통의 에어압 인가 수단은, 노즐로부터 도포재를 토출할 때, 구분 밸브가 닫힘과 함께, 자페이스트 수납통 내에 에어압을 인가하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명에 의한 페이스트 도포 장치는, 자페이스트 수납통의 도포재 보존량 검출 수단이, 도포재의 액면에서의 광학적 반사광을 수광하여 도포재의 보존량을 검출하는 센서인 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명에 의한 페이스트 도포 장치는, 자페이스트 수납통의 용적이, 친페이스트 수납통의 용적에 비하여 충분히 작은 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 페이스트 도포 방법은, 도포재를 충전한 도포재 수납통과 도포재 수납통으로부터의 도포 재료를 토출하는 노즐 토출구를 구비한 1 또는 복수의 도포 헤드를 이동 가능하게 설치된 갠트리가 1 또는 복수대 가대 상에 설치되고, 가대 상에 설치된 기판 재치 테이블에 탑재된 기판에 대하여 갠트리가 이동하고, 갠트리에 대하여 도포 헤드가 이동함으로써, 기판에 대하여 도포 헤드가 이동하고, 노즐 토출구로부터 기판 상으로 도포재를 토출시키는 것으로서, 도포 헤드의 도포재를 수납하는 도포재 수납통은, 충전한 도포재를 수납해 두는 친페이스트 수납통과 도포재를 일시적으로 보존하는 자페이스트 수납통으로 이루어지고, 친페이스트 수납통과 자페이스트 수납통은, 에어압을 인가 가능하게 하고, 친페이스트 수납통으로부터 도포재를 꺼내는 취출구로부터의 도포재의 유로는 구분 밸브에 연결되고, 구분 밸브로부터의 도포재의 유로는 자페이스트 수납통에 연결되며, 자페이스트 수납통으로부터의 도포재의 유로는, 도포재를 기판에 토출하는 노즐에 연결되어 있고, 또한, 자페이스트 수납통의 상부에 도포재의 보존량을 검출하여, 자페이스트 수납통 내의 도포재의 감소에 따라 친페이스트 수납통으로부터 도포재를 정기적으로 보충하면서 기판 상에 도포재를 도포하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명에 의한 페이스트 도포 방법은, 친페이스트 수납통으로부터 자페이스트 수납통으로 도포재를 보급할 때, 구분 밸브가 열림과 함께, 친페이스트 수납통 내에 에어압을 인가하고, 노즐로부터 도포재를 토출할 때, 구분 밸브가 닫힘과 함께, 자페이스트 수납통 내에 에어압을 인가하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명에 의한 페이스트 도포 방법은, 자페이스트 수납통 내의 도포재 보존량이, 자페이스트 수납통 내에서의 도포재의 액면에서의 광학적 반사광을 수광하여 검출하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명에 의한 페이스트 도포 방법은, 자페이스트 수납통의 용적이, 친페이스트 수납통의 용적에 비하여 충분히 작은 것을 특징으로 하는 것이다.

페이스트의 수납 용량이 큰 친페이스트 수납통과 수납 용량이 작은 자페이스트 수납통을 사용하고, 자페이스트 수납통의 페이스트를 노즐로부터 토출하여, 친페이스트 수납통으로부터 자페이스트 수납통으로 페이스트를 보급을 행하는 것이기 때문에, 자페이스트 수납통에서의 페이스트로의 가감압 조정을 양호한 정밀도로 행할 수 있고, 페이스트의 도포량을 적게 할 수 있어 미세한 도포 페이스트 패턴을 고정밀도로 형성할 수 있으며, 자페이스트 수납통으로의 페이스트의 보강을 간단히 행할 수 있다.

도 1은 본 발명에 의한 페이스트 도포 장치의 일 실시형태를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 있어서의 도포 헤드의 일 실시형태의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2에 나타내는 도포 헤드의 페이스트 수납/토출부(20)의 일 구체예를 나타내는 외관 사시도이다.
도 4는 도 3에서의 각 부를 보다 상세하게 나타내는 도면이다.
도 5는 도 3, 도 4에 있어서의 유로 블록 내의 구성의 일 구체예를 나타내는 투시도이다.
도 6은 도 1에 나타내는 실시형태에서 유리 기판 상에 도포하는 페이스트 패턴의 일 구체예를 나타내는 도면이다.
도 7은 도 1에 나타내는 실시형태의 도 5에 나타내는 페이스트 패턴의 도포 묘화 동작의 일 구체예를 나타내는 플로우차트이다.
도 8은 본 발명에 의한 도포 헤드의 다른 실시형태를 나타내는 구성도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 이용하여 설명한다.

도 1은 본 발명에 의한 페이스트 도포 장치의 일 실시형태를 나타내는 사시도로서, 1은 가대, 2A, 2B는 프레임, 3A, 3B는 고정부, 4A?4D는 가동부, 5A?5D는 도포 헤드, 6은 기판 유지반, 7은 θ축 회전 테이블, 8은 유리 기판, 9는 주(主)제어부, 10은 부(副)제어부, 11은 모니터, 12는 키보드이다.

동 도면에 있어서, 가대(1) 상에는, 이 가대(1)의 X축 방향의 2개의 변부를 따라 각각 고정부(3A, 3B)가 설치되고, 일방의 고정부(3A)에 2개의 가동부(4A, 4C)가, 타방의 고정부(3B)에 2개의 가동부(4B, 4D)가 각각 설치되어 있다. 그리고, 대향하여 배치되는 가동부(4A, 4B)의 일방으로부터 타방에 걸쳐 Y축 방향을 따라 프레임(2A)이 설치되고, 대향하여 배치되는 가동부(4C, 4D)의 일방으로부터 타방에 걸쳐 Y축 방향을 따라 프레임(2B)이 설치되어 있다. 이들 고정부(3A, 3B)와 가동부(4A?4D)와 프레임(2A, 2B)이, 도포 헤드(5A?5D)의 X축 구동 기구를 이루고 있다.

프레임(2A)에는, 2개의 도포 헤드(5A, 5B)가 이 프레임(2A)의 길이 방향(즉, Y방향)으로 이동 가능하게 설치되어 있고, 또한, 프레임(2B)에는, 2개의 도포 헤드(5C, 5D)가 이 프레임(2B)의 길이 방향(즉, Y방향)으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이러한 이동을 위한 구동 기구는 프레임(2A, 2B)과 도포 헤드(5A?5D)에 설치되어 있고, 이하에서는, 이러한 구동 기구를 Y축 구동 기구라고 칭하는 경우도 있다.

가대(1) 상의 X축 구동 기구의 고정부(3A, 3B) 사이에는, 기판 유지반(6)이 설치되어 있는데, 또한 이 기판 유지반(6)을 θ축 방향으로 회전 가능하게 하기 위하여, θ축 회전 테이블(7)이 설치되고 이 θ축 회전 테이블(7) 상에 기판 유지반(6)이 설치되어 있다. 이 기판 유지반(6) 상에 유리 기판(8)이 흡착 유지된다. 또한, 가대(1)에는, 모니터(11)나 키보드(12)를 설치하고 있고, 주제어부(9)나 부제어부(10) 등을 내장하고 있다.

도 2는 도 1에 있어서의 도포 헤드(5A?5D)의 일 실시형태의 개략 구성을 나타내는 사시도로서, 13은 기대(基臺), 14는 검출부, 15는 Z축 서보 모터, 16은 Z축 가이드, 17은 Z축 테이블, 18은 화상 인식 카메라, 19는 광학식 거리계, 20은 페이스트 수납/토출부, 21은 노즐 지지구, 22는 노즐이다.

또한, 도포 헤드(5A?5D)의 구성, 동작은 동일하므로, 이들을 총칭하여, 도포 헤드(5)라고 하게 된다.

동 도면에 있어서, 도포 헤드(5)의 기대(13)는 프레임(2A, 2B)에 Y축 방향으로 이동 가능하게 장착되어 있는 것으로서, 이 가대(13)에 설치되어 있는 검출부(14)에 의해, 도포 헤드(5)의 프레임(2A, 2B) 상의 위치, 즉, 기판 유지반(6)(도 1)에서의 Y축 방향의 위치가 검출된다.

이 기대(13)에는, Z축 서보 모터(15)가 설치되고 Z축 가이드(16)가 장착되어 있으며, 이 Z축 가이드(16)에 Z축 테이블(17)이, Z축 가이드(16)에 대하여 Z축 방향(상하 방향)으로 이동 가능하게, 장착되어 있다. 또한, 이 Z축 테이블(17)에 광학식 거리계(19)와 화상 인식 카메라(18)가 설치되고, 이 광학식 거리계(19)에 페이스트 수납/토출부(20)가 설치되어 있다.

Z축 서보 모터(15)는, Z축 테이블(17) 상에 설치된 광학식 거리계(19)의 검출 결과에 기초하는 부제어부(10)(도 1)의 제어에 의해, Z축 가이드(16)를 따라 페이스트 수납/토출부(20)나 광학식 거리계(19), 화상 인식 카메라(18)를 Z축 방향으로 구동시킨다.

페이스트 수납/토출부(20)의 하단에는, 노즐 지지구(21)가 설치되어 있고, 그 선단부에는, 유리 기판(8)(도 1)을 향하여 페이스트 토출구가 열려 있는 노즐(22)이 장착되어 있다. 페이스트 수납/토출부(20)와 노즐(22)은, 노즐 지지구(21)를 통해 연통되어 있고, 노즐(22)의 페이스트 토출구의 위치는, 유리 기판(8)의 상면에서, 광학식 거리계(19)의 거리 계측 광의 반사점으로부터 어긋나 있지만, 매우 접근되어 있다. 그 어긋남량은, 유리 기판(8)의 표면의 요철에 의해 영향을 받지 않을 정도로 설정되어 있으므로, 광학식 거리계(19)의 계측 결과에 기초하여 Z축 서보 모터(15)를 제어함으로써, 유리 기판(8)의 표면의 굴곡(요철)에 맞추어 노즐(22)의 선단부를 상하시킴으로써, 유리 기판(8)의 표면(상면)까지의 수직 거리(간격)를 항상 일정하게 유지할 수 있다.

도 3은 도 2에 나타내는 도포 헤드(5)의 페이스트 수납/토출부(20)의 일 구체예를 나타내는 외관 사시도로서, 23은 친페이스트 수납통[친(親)시린지], 24는 자페이스트 수납통[자(子)시린지], 25는 구분 밸브용 실린더, 26은 유로 블록이고, 도 2에 대응하는 부분에는 동일 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.

동 도면에 있어서, 페이스트 수납/토출부(20)는 페이스트의 저장과 토출의 두 가지 기능을 가지고 있어, 페이스트의 저장 기능을 실행하기 위한 친페이스트 수납통(23)과 페이스트 토출 기능을 실행하기 위한 자페이스트 수납통(24)으로 구성되는 점이 큰 특징으로 되어 있다. 친페이스트 수납통(23)은, 보충된 도포재(여기서는, 시일재로서의 페이스트로 한다)를 수납해 두는 기능을 가지는 페이스트 수납통이고, 자페이스트 수납통(24)은, 대략 일정한 도포압으로 페이스트를 노즐(22)로부터 토출하여 묘화를 행하는 기능을 가지는 페이스트 수납통이다.

본 실시형태에서는, 친페이스트 수납통(23)으로서, 종래의 용량 120cc의 표준 시린지를 사용하고 있고, 페이스트의 충전은, 전용의 지그를 사용하면서 친페이스트 수납통(23)의 상부로부터 페이스트를 투입함으로써 행하여진다. 이 친페이스트 수납통(23)으로는, 시판의 충전 완료 페이스트 수납통을 사용하는 것도 가능하며, 그 때에는, 나사식 루어 테이퍼 사양으로 변경함으로써 대응하면 된다. 또한, 페이스트 도포용의 가압은 행하지 않기 때문에, 플라스틱제 시린지를 사용할 수도 있다.

자페이스트 수납통(24)에는, 묘화를 위하여 노즐(22)로부터 토출되는 페이스트가 수납되어 있고, 이 자페이스트 수납통에는, 친페이스트 수납통(23)에 저장되어 있는 페이스트가 충전된다. 자페이스트 수납통(24)의 용적은 약 0.5cc로서, 친페이스트 수납통(23)의 용적(120cc)의 약 1/250배의 비율로 하고 있으나, 통상적으로는 1/수십배 내지 1/수백배 정도의 비율의 용적인 페이스트 수납통을 사용해도 된다.

유량 블록(26)에는, 자페이스트 수납통(24)에서 노이즈 지지구(21)에 이르는 페이스트 토출 유로와, 친페이스트 수납통(23)으로부터 자페이스트 수납통으로 페이스트를 충전하기 위한 페이스트 충전 유로가 설치되어 있다. 구분 밸브용 실린더(25)는, 친페이스트 수납통(23)부터 자페이스트 수납통(24)까지의 이 페이스트 충전 유로를 개폐하는 구분 밸브를 동작시키기 위한 것이다.

도 4는 도 3에서의 각 부를 보다 상세하게 나타내는 도면으로서, 27은 친페이스트 수납통(23)측의 페이스트 충전 유로, 28은 페이스트 토출 유로, 29는 밸브실, 30은 구분 밸브, 31은 도포압 부가용 튜브, 32는 파이버 센서, 33은 에어 배관 튜브이며, 도 3에 대응하는 부분에는 동일 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.

동 도면에 있어서, 친페이스트 수납통(23)에는, 그 하단부에 페이스트 충전 유로(27)의 일방의 단부가 접속되어 있고, 이 페이스트 충전 유로(27)의 타방의 단부는 구분 밸브(30)가 수납되어 있는 밸브실(29)에 접속되어 있다. 이것을 친페이스트 수납통(23)측의 페이스트 충전 유로(27)라고 한다. 또한, 도시하지 않았으나, 이 밸브실(29)로부터 페이스트 토출 유로(28)에 연결한 페이스트 충전 유로, 즉, 자페이스트 수납통(24)측의 페이스트 충전 유로가 접속되어 있다.

통상, 구분 밸브(30)는, 구분 밸브용 실린더(25)가 동작하여 로드(도시 생략)가 눌려 있음으로써, 친페이스트 수납통(23)측의 페이스트 충전 유로(27)를 닫고 있고, 이에 의해, 페이스트 충전 유로 전체가 구분 밸브(30)에 의해 폐쇄 상태로 유지되어 있는데, 친페이스트 수납통(23)에 저장되어 있는 페이스트를 자페이스트 수납통(24)에 충전할 때에는, 구분 밸브용 실린더(25)가 작동하여 로드가 구분 밸브(30)를 당긴다. 이 때, 친페이스트 수납통(23)측의 페이스트 충전 유로(27) 내에는, 친페이스트 수납통(23)으로부터의 페이스트가 충전되어 있는데, 로드에 의해 구분 밸브(30)가 당겨지면, 친페이스트 수납통(23)측의 페이스트 충전 유로(27)가 개방된다. 이에 의해, 페이스트 충전 유로 전체가 개방 상태가 된다. 또한, 이 때에는, 친페이스트 수납통(23) 내에 에어압을 인가하는 수단으로서의 에어 배관 튜브(33)로부터 에어압이 인가되고, 이에 의해, 친페이스트 수납통(23)으로부터 페이스트 충전 유로(27)를 통해 자페이스트 수납통(24)으로 페이스트가 압송되고, 이 자페이스트 수납통(24)에 충전된다.

여기서, 페이스트 충전 유로(27)를 통해 페이스트를 압송할 때에 발생하는 페이스트의 압력은 자페이스트 수납통(24)으로부터의 페이스트 토출 유로(28)를 통해 노즐(22)측에도 가해지는데, 노즐(22)의 공경(孔徑)에 비하여, 자페이스트 수납통(24)의 내경이 훨씬 크기 때문에, 페이스트의 거의 전체가 자페이스트 수납통(24)측으로 압송된다. 또한, 페이스트의 물성에 따라서는, 노즐(22)로부터 페이스트가 누출될 우려도 있는데, 그 경우에는, 노즐(22)의 청소 동작에 있어서의 버림 묘화(본래의 묘화 위치와는 다른 위치에서 페이스트를 토출하는 처리)를 행함으로써, 노즐(22)에 불필요하게 부착된 페이스트를 제거하도록 한다.

자페이스트 수납통(24)에서는, 그 상부측에 설치된 파이버 센서(32)가 자페이스트 수납통(24) 내의 페이스트의 액면 위치를 검출함으로써, 자페이스트 수납통(24) 내에서의 페이스트의 수납량이 항상 감시되고 있고, 친페이스트 수납통(23)으로부터 페이스트 충전 유로(27)를 통해 자페이스트 수납통(24)에 충전되는 페이스트의 충전량이 미리 결정된 제1 문턱값에 도달하면, 그 충전이 완료된 것으로서, 구분 밸브용 실린더(25)가 동작하여 로드를 밀어넣어, 구분 밸브(30)가 페이스트 충전 유로(27)를 닫도록 한다. 또한, 이와 함께, 친페이스트 수납통(23)으로의 에어 배관 튜브(33)로부터의 에어압의 인가가 종료된다. 또한, 이 때의 제1 문턱값으로는, 예를 들어, 상기 0.5cc 정도로 하는데, 이에 한정하는 것은 아니다.

또한, 여기서는, 친페이스트 수납통(23)으로부터 자페이스트 수납통(24)으로 페이스트가 충전될 때만, 친페이스트 수납통(23) 내에 에어 배관 튜브(33)로부터 에어압이 인가되는 것으로 하였으나, 로드의 누름에 의해 구분 밸브(30)가 페이스트 충전 유로(27)를 닫을 수 있으면, 친페이스트 수납통(23) 내에 항상 에어 배관 튜브(33)로부터 에어압이 인가되어 있어도 된다.

한편, 자페이스트 수납통(24)에서는, 묘화 동작에 의해 수납되어 있는 페이스트가 적어져, 예를 들어, 세트된 유리 기판(8)에서의 페이스트 패턴을 전부 묘화할 수 없는 양의 제2 문턱값까지 수납량이 감소한 경우, 파이버 센서(32)는 이것을 검출하여 OFF한다. 또한, 자페이스트 수납통(24)에서의 친페이스트 수납통(23)으로부터의 페이스트의 충전에 의한 수납량이 상기 제1 문턱값 이상이 되면, 파이버 센서(32)는 이것을 검출하여 ON한다.

자동 운전에서는, 페이스트 패턴의 묘화에 의해 자페이스트 수납통(24) 내의 페이스트의 수납량이 상기 제2 문턱값 이하가 되었을 때에는, 이 때의 유리 기판의 묘화 동작이 종료되면, 파이버 센서(32)가 OFF된다. 그리고, 유리 기판(8)의 반입출 동작이 행하여지는데, 그 동작의 시간대(묘화 동작이 아닌 시간대)에 친페이스트 수납통(23)으로부터 자페이스트 수납통(24)으로의 상기 페이스트 충전 동작이 자동적으로 개시된다. 그리고, 자페이스트 수납통(24)에서의 페이스트의 수납량이 상기 제1 문턱값 이상이 되면, 파이버 센서(32)가 ON됨과 함께, 자페이스트 수납통(24)으로의 충전 동작을 종료한다. 이에 의해, 새롭게 장착된 다음의 유리 기판(8)에 대하여, 페이스트 패턴의 묘화 동작이 행하여지게 된다.

페이스트 패턴의 묘화 동작시에는, 구분 밸브(30)가 닫힌 상태에 있어서, 자페이스트 수납통(24)에 에어압을 하는 인가 수단으로서의 도포압 부가용 튜브(31)로부터 도포압(에어압)이 가해져도, 친페이스트 수납통(24)측으로 페이스트가 역류하는 것을 방지할 수 있다. 이러한 역류 방지 상태에서, 자페이스트 수납통(24) 내에는, 전공(電空) 레귤레이터(도시 생략)로부터 도포압 부가용 튜브(31)를 통해 약간의 에어압이 인가되고, 노즐(22)로부터 가압된 페이스트가 토출되어 유리 기판(8)(도 1)에 도포된다.

이 때문에, 자페이스트 수납통(24) 내에는, 파이버 센서(32)의 ON-OFF의 문턱값이 되는 위치에서 페이스트의 양이 대략 일정 상태로 안정되어, 자페이스트 수납통(24)의 빈 용량의 변동을 적게 할 수 있다. 파이버 센서(31)의 ON, OFF에 의해 자페이스트 수납통(24)에서의 충전 동작과 도포 동작을 빈번히 반복함으로써, 자페이스트 수납통(24) 내가 비게 되는 일은 없으며, 또한, 도포압의 변동도 억제할 수 있다.

한편, 종래와 같이, 친페이스트 수납통(23) 등과 같은 용적이 큰 페이스트 수납통만으로 관리한 경우에는, 페이스트의 소모에 따라 빈 용적이 많아지고, 공기가 압축성 유체이기 때문에, 압력을 가감 조정하여도, 먼저, 이 압력의 변화가 공기에 전달되고, 그 후, 페이스트에 전달되게 되기 때문에, 페이스트에 대한 압력 조정에 시간적인 지연이 발생하고, 그만큼 노즐로부터의 페이스트의 토출 동작에 변동이 생겨 묘화 처리가 불안정해진다. 그 점에서, 본 발명에서는, 친페이스트 수납통(23)에 대하여 소용적의 자페이스트 수납통(24)도 구비한 것으로서, 이 자페이스트 수납통으로부터 묘화를 위한 페이스트의 토출을 하는 것이기 때문에, 이 자페이스트 수납통에서도, 친페이스트 수납통(23)과 마찬가지로, 에어압을 인가하고 있지만, 본래 그 용적이 작은 데다, 파이버 센서(31)에 의한 감시로 빈 용적의 변동도 작게 할 수 있기 때문에, 인가하는 압력을 조정하는 수단으로서의 도시하지 않은 전공 레귤레이터의 제어에 대한 추종성이 향상되어, 토출량이 안정화된다. 즉, 이러한 단시간의 주기로 자페이스트 수납통(24)에 시일재(27)를 보급함으로써, 자페이스트 수납통(24) 내의 페이스트의 용량을 대략 일정한 상태로 유지하여, 안정적인 묘화 처리를 행할 수 있게 된다.

본 실시형태에서는, 자페이스트 수납통(24)의 용적은 약 0.5cc로서, 친페이스트 수납통(23) 용적의 약 1/250배의 비율로 하고 있으나, 통상적으로는 1/수십배?1/수백배 비율의 용적인 페이스트 수납통을 사용해도 된다.

또한, 이전에는, 페이스트를 도포한 후의 선폭 안정성의 문제로부터, 시단과 종단, 또한, 코너부에 있어서, 도포압을 미묘하게 관리할 필요가 종종 생기는 경우도 있었으나, 본 실시형태에 의하면, 페이스트로의 시간 지연이 없는 도포압의 관리가 가능하게 되므로, 패턴의 말단이나 코너부의 묘화도 안정화되게 되었다.

여기서, 친페이스트 수납통(23)에서는, 자페이스트 수납통(24)에 페이스트를 압송할 때만 에어 배관 튜브(33)로부터 에어압을 인가하고, 자페이스트 수납통(24)에서는, 페이스트를 유리 기판(8)에 묘화할 때만 도포압 부가용 튜브(31)로부터 에어압을 인가한다. 에어압 인가시 이외에는, 친페이스트 수납통(23), 자페이스트 수납통(24) 모두, 대기압에 개방된 상태로 하고 있다.

본 실시형태와 종래의 스크루식의 페이스트 수납통을 사용한 메커니컬 시린지 방식을 보수성의 면에서 비교해 보면, 앞서 설명한 바와 같이, 메커니컬 시린지 방식에서는, 복잡한 구성의 수단으로 이루어지고, 간극 조정이 곤란하여, 세정시의 보수성이 좋지 않다. 한편, 본 실시형태에 의한 자페이스트 수납통을 사용한 방식에 있어서의 세정에서는, 친페이스트 수납통(23), 자페이스트 수납통(24), 구분 밸브(30)나 페이스트 충전 유로(27)를 포함하는 유로 블록(26), 노즐(22), 유로 블록(26)에 부수되는 플러그나 개스킷류에 한정된다. 구분 밸브(30)의 구동원인 구분 밸브용 실린더(25)는, 페이스트에 접하는 경우가 없기 때문에, 장치 본체측에 고정된 채로 할 수 있고, 세정 대상은 되지 않는다. 따라서, 상기 종래의 스크루식의 도포 헤드에서의 회전 날개나 그 주변 부품의 세정에 비하여, 세정 대상의 점수도 적고, 복잡한 형상도 없으며, 또한, 분해나 재조립에 요하는 시간도 대폭 단축할 수 있다. 또한, 조립 후의 정밀도 조정 시간도 단축할 수 있고, 보수성이 현격하게 향상된다.

도 5는 도 3, 도 4에 있어서의 유로 블록(26) 내의 구성의 일 구체예를 나타내는 투시도로서, 23a, 24a는 페이스트 수납통 장착부, 27a는 페이스트 충전 유로, 29a는 전벽면(前壁面), 34는 흡입구, 35는 배출구이고, 앞선 도면에 대응하는 부분에는 동일 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.

동 도면에 있어서, 밸브실(29)의 전벽면(29a)에는, 흡입구(34)와 배출구(35)가 설치되어 있고, 이들 흡입구(34), 배출구(35)를 개폐하도록, 밸브(30)(도 4)가 이 전벽면(29a)에 맞닿거나, 그것으로부터 떨어진다.

친페이스트 수납통(23)측의 페이스트 충전 유로(27)는 장착부(23a)에 장착되어 있는 친페이스트 수납통(23)을 이 밸브실(29)의 흡입구(34)에 연결하는 것이고, 또한, 밸브실(29)의 배출구(35)는, 자페이스트 수납통(24)측의 페이스트 충전 유로(27a)에 의해, 장착부(24a)에 장착되어 있는 자페이스트 수납통(24)으로부터의 페이스트 토출 유로(28)에 연결되어 있다.

유리 기판(8)(도 1)에 페이스트를 도포할 때에는, 밸브실(29) 내에서는, 구분 밸브용 실린더(25)(도 4)의 작용에 의해, 구분 밸브(30)에 의해 흡입구(34)와 배출구(35)가 막혀 있고, 페이스트 충전 경로(27)는 차단 상태에 있다. 이에 의해, 자페이스트 수납통(23) 내의 페이스트가 페이스트 토출 유로(28)를 통해 노즐(22)로 보내진다. 또한, 자페이스트 수납통(23)에 페이스트를 충전할 때에는, 밸브실(29) 내에서는, 구분 밸브용 실린더(25)의 작용에 의해, 구분 밸브(30)가 밸브실(29)의 전벽면(29a)으로부터 떨어져 흡입구(34)와 배출구(35)가 개방 상태가 되고, 친페이스트 수납통(23)과 자페이스트 수납통(24)이 페이스트 충전 유로(27, 27a)를 통해 연통된 상태가 된다. 이에 의해, 상기와 같이, 친페이스트 수납통(23)으로부터 자페이스트 수납통(24)으로 페이스트가 충전된다.

도 6은 본 실시형태에서 유리 기판(8) 상에 도포하는 페이스트 패턴의 일 구체예를 나타내는 도면으로서, PTa?PTd는 페이스트 패턴, Sa?Sd는 페이스트 패턴(PTa?PTd)의 도포 개시 위치이다.

동 도면에 있어서, 본 구체예에서는, 도 1에 나타내는 4개의 도포 헤드(5A?5D)에 의해, 기판(8) 상에 4개의 페이스트 패턴(PTa?PTd)을 도포하는 것이다. 이들 페이스트 패턴(PTa?PTd)은, 동일 형상이며, 도포 개시 위치(Sa?Sd)부터 종료 위치까지의 2차원 경로 데이터가 설정되어 있다.

여기서, 페이스트 패턴(PTa)의 도포 개시 위치(Sa)는, 유리 기판(8)의 중심 0을 원점으로 하여, 좌표 (X1, Y1)에, 페이스트 패턴(PTb)의 도포 개시 위치(Sb)는, 동일하게 좌표 (X2, Y2)에, 페이스트 패턴(PTc)의 도포 개시 위치(Sc)는, 동일하게 좌표 (X3, Y3)에, 페이스트 패턴(PTd)의 도포 개시 위치(Sd)는, 동일하게 좌표(X4, Y4)에 각각 위치 설정되는 것으로 한다.

도 7은 이상의 실시형태의 도 6에 나타내는 페이스트 패턴의 도포 묘화 동작의 일 구체예를 나타내는 플로우차트이다.

동 도면에 있어서, 먼저, 전원을 투입하고(단계 100), 장치의 초기 설정을 한다(단계 200).

이 초기 설정에서는, 도 1에 있어서, 서보 모터를 구동시켜 θ축 회전 테이블(7)을 회전시킴으로써, 기판 유지반(6)을 θ축 방향으로 이동시켜 소정의 기준 각도로 위치 결정하고, 가동부(4A, 4B)와 도포 헤드(5A?5D)의 리니어 모터를 구동시킴으로써, 이들 도포 헤드(5A?5D)를 이동시켜 그들의 노즐 선단의 페이스트 토출구를 미리 결정된 소정의 원점 위치에 설정함과 함께, 페이스트 패턴(PTa?PTd)의 도포 개시 위치부터 종료 위치까지의 2차원 경로 데이터나 위치 결정용 마크 데이터, 페이스트 도포 높이[각 도포 헤드(5A?5D)에 대한 유리 기판(8)의 표면부터 노즐(22) 선단의 페이스트 토출구까지의 거리] 등의 설정을 행한다.

이들 데이터의 입력은 키보드(12)(도 1)로부터 행하고, 각 입력 데이터는 주제어부(9)(도 1)의 구성 요소인 마이크로 컴퓨터나 부제어부(10)(도 1)의 구성 요소인 마이크로 컴퓨터에 내장된 RAM에 저장함과 함께, 그들 제어부(9, 10)의 외부 기억 장치로서 포함되는 하드 디스크 등의 기억 매체에 기억 보관해 둔다.

이상의 초기 설정(단계 200)의 처리가 종료되면, 다음으로, 유리 기판(8)을 기판 유지반(6) 상에 재치하여 유지시킨다(단계 300).

계속해서, 유리 기판(8)의 위치 결정을 행한다(단계 400). 이 처리에서는, 도포 헤드(5A?5D)의 화상 인식 카메라(18)(도 3) 중 단계 200에서 초기 설정한 임의의 화상 인식 카메라(18)를 기판 유지반(6)에 재치한 유리 기판(8)의 위치 결정용 마크를 촬영할 수 있는 위치로 위치 결정하여, 이 위치 결정용 마크를 촬영한다. 촬영한 위치 결정용 마크의 중심(重心) 위치의 검출 결과에 기초하여 서보 모터로 θ축 회전 테이블(7)을 구동시킴으로써, 유리 기판(8)의 θ축 방향의 기울기를 보정한다.

단계 400의 유리 기판(8)의 위치 결정이 종료되면, 다음으로, 페이스트의 도포 동작이 행하여진다(단계 500). 도포 동작의 상세를 설명한다.

먼저, 유리 기판(8) 상에 미도포 패턴이 있는지의 여부, 즉, 도포해야 하지만, 아직 도포 묘화되어 있지 않은 패턴이 있는지의 여부를 확인한다. 도포 개시 시점에서는, 도포해야 할 모든 패턴이 미도포이기 때문에, 도포 헤드(5A?5D)를 다음의 도포 개시점으로 이동시킨다.

묘화 대상으로 하는 패턴(여기서는, 4개의 패턴)이 동일 형상인 것을 확인하고, 동일 패턴이면, 동시에 도포 가능한 패턴인 것을 확인한다.

다음으로, 도포 개시 위치에 각각의 노즐(22)이 서로 간섭 범위에 있는지의 여부의 확인을 행하고, 도포 개시점으로의 이동하는 처리를 행한다. 간섭하는 경우에는, 정지하여 기다리는 대기 동작을 행하도록 하고 있다.

도포 개시점으로의 이동이 종료되면, 도포 헤드(5A?5D)의 노즐(22)의 갭 설정 처리를 행한다. 이 갭이란, 유리 기판(8)의 페이스트 도포면으로부터의 노즐(22) 선단의 높이이며, 이 공정은, 도포 헤드(5A?5D)에 있어서, 그 Z축 서보 모터(15)(도 2)를 구동시켜 Z축 테이블(17)(도 2)을 Z축 방향으로 이동시키고, 각각의 노즐(22) 선단의 페이스트 토출구의 위치[유리 기판(8)의 상면으로부터의 거리]를 도포하는 페이스트 패턴(PTa?PTd)(도 6)의 도포 높이로 설정하는 것이다.

이를 위하여, 먼저, 각 도포 헤드(5A?5D)에 대해, 미리 설정되어 있는 이들의 노즐(22)에 대한 초기 이동 거리 데이터에 기초하여, 이들 노즐(22)을 이 초기 이동 거리만큼 하강시켜, 유리 기판(8)의 표면으로부터의 높이를 각각에 설치되어 있는 거리계[즉, 광학식 거리계(19)(도 3)]로 계측한다. 다음으로, 각 노즐(22)의 선단이 페이스트 패턴을 묘화하는 높이로 설정되어 있는지의 여부를 도포 헤드(5A?5D)마다 확인하고, 각각의 노즐(22)의 선단이 페이스트 패턴을 묘화하는 높이로 설정되어 있는 경우에는, 이 갭 설정의 공정이 종료가 된다.

또한, 노즐(22)의 선단이 페이스트 패턴을 묘화하는 높이로 설정되어 있지 않은 경우에는, 이 노즐을 미소 거리 하강시켜, 유리 기판(8)의 페이스트 도포면까지의 거리를 광학식 거리계(19)로 계측하고, 이러한 거리 계측과 노즐(22)의 미소 거리 하강을 반복하여 행하도록 하고, 모든 노즐(22)의 선단이 페이스트 패턴을 묘화하는 높이로 설정될 때까지 이 처리를 반복한다.

이상의 갭 설정의 처리가 종료되면, 다음으로, 페이스트 도포 이동 처리를 행한다. 각 도포 헤드(5A?5D)의 노즐(22) 선단의 페이스트 토출구가 유리 기판(8)에 대향한 상태에서, 이 페이스트 패턴 데이터에 따라, 도포 헤드(5A?5D)를 X, Y축 방향으로 이동시킴과 함께, 도포 헤드(5A?5D)의 자페이스트 수납통(24)(도 3, 도 4)에 약간의 에어압을 인가하여, 각 노즐(22) 선단의 페이스트 토출구로부터 페이스트의 토출을 개시시킨다. 이것으로, 페이스트 도포 공정(단계 500)이 행하여진다.

페이스트 도포 공정(단계 500)이 종료되면, 다음으로, 기판 유지반(6)(도 1)으로부터 페이스트 도포가 완료된 유리 기판(6)을 해제하고, 이 유리 기판(8)을 장치 밖으로 배출한다(단계 600). 복수장의 유리 기판(6)에 동일한 패턴으로 페이스트 패턴을 형성하는 경우에는(단계 700의 "No"), 새롭게 페이스트 패턴을 도포 묘화하는 기판(6)에 대해, 단계 300으로부터의 상기 동작이 재실행되고, 그 후, 모든 유리 기판(6)에 대하여 이러한 일련의 페이스트 패턴 묘화 처리가 종료되면(단계 700의 "Yes"), 작업 종료가 된다(단계 800).

이상과 같이, 본 실시형태에서는, 자페이스트 수납통(24)(도 3, 도 4)을 설치함으로써, 이 자페이스트 수납통(24) 내의 페이스트에 대한 도포압이 시종 안정되기 때문에, 도포한 페이스트 패턴(PTa?PTd)의 도포 개시 위치(Sa?Sd)나 각 종료단, 또한, 코너부에서도, 직선부와 동일하게 안정적인 도포량으로 할 수 있었다.

여기서, 복수장의 유리 기판(6)에 동일한 패턴으로 페이스트 패턴을 형성하는(단계 300?700의 반복) 처리에서는, 유리 기판(6)에서의 페이스트 패턴의 묘화 동작이 종료될 때마다, 유리 기판(6)의 반출입 동작이 행하여지는데, 이 도포 동작을 행하지 않는 시간대를 활용하여, 필요에 따라 전술한 친페이스트 수납통(24)측으로부터 자페이스트 수납통(24)으로의 페이스트의 충전 처리나 버림 묘화 처리를 행하도록 하고 있다. 이와 같이 함으로써, 자페이스트 수납통(24)으로의 페이스트의 보충(충전)은, 유리 기판(8)의 1장 반입?반출시마다 실행할 수 있다.

도 8은 본 발명에 의한 도포 헤드의 다른 실시형태를 나타내는 구성도로서, 36은 초음파 센서이고, 도 4에 대응하는 부분에는 동일 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.

동 도면에 있어서, 본 실시형태는, 도포 헤드(5)에서의 자페이스트 수납통(24) 내의 페이스트의 액면 레벨을 검지하는 수단으로서, 도 4에서의 파이버 센서(32) 대신에, 초음파 센서(36)를 사용하는 것이다. 페이스트 액면까지의 거리를 초음파를 송신하고 나서 수신할 때까지의 시간을 검지하는 점만이 도 4에 나타내는 구성의 도포 헤드(5)와 다를 뿐, 다른 구성 및 동작은 도 4에 나타내는 도포 헤드(5)와 동일하다.

이 액면 레벨의 검지 수단으로는, 자페이스트 수납통(24) 내의 페이스트의 양을 검출하는 것을 목적으로 하는 것이며, 이를 위하여, 이와 같이 초음파를 사용하는 것 이외에도, 자페이스트 수납통(24)의 외벽면에 광학식 투과 센서를 설치하는 방법이나 질량계를 사용하여 감시하는 방법 등으로 치환하여도 전혀 문제없다.

이상과 같이, 본 실시형태에서는, 친페이스트 수납통(23) 내의 페이스트의 잔존 용량의 영향을 받지 않게 됨으로써, 당초의 조건 설정에 의한 도포압의 설정값 그대로, 시종 안정적인 묘화가 가능하게 되었다.

또한, 처리 택트를 크게 저감시키지 않고, 세정 등의 보수가 가능하여, 이물질의 혼입 리스크를 저감시킬 수도 있게 되었다.

또한, 통상적인 도포뿐만 아니라, 석백(suck back)에 의한 도포압 관리 시간도 저감시킬 수 있기 때문에, 시점이나 종점에서의 단부에 있어서의 묘화가 안정화된다.

1 가대
2A, 2B 프레임
3A, 3B 고정부
4A?4D 가동부
5A?5D 도포 헤드
6 기판 유지반
7 θ축 회전 테이블
8 유리 기판
13 기대
14 검출부
15 Z축 서보 모터
16 Z축 가이드
17 Z축 테이블
18 화상 인식 카메라
19 광학식 거리계
20 페이스트 수납/토출부
21 노즐 지지구
22 노즐
23 친페이스트 수납통(친시린지)
24 자페이스트 수납통(자시린지)
23a, 24a 페이스트 수납통 장착부
25 구분 밸브용 실린더
26 유로 블록
27, 27a 페이스트 충전 유로
28 페이스트 토출 유로
29 밸브실
29a 전벽면
30 구분 밸브
31 도포압 부가용 튜브
32 파이버 센서
33 에어 배관 튜브
34 흡입구
35 배출구
36 초음파 센서

Claims

도포재를 수납하는 도포재 수납통은 충전한 당해 도포재를 수납해 두는 친(親)페이스트 수납통과 당해 도포재를 일시적으로 보존하는 자(子)페이스트 수납통으로 이루어지고,
당해 친페이스트 수납통과 당해 자페이스트 수납통에는, 에어압을 인가하는 에어압 인가 수단을 구비하고,
당해 친페이스트 수납통으로부터 당해 도포재를 꺼내는 취출구로부터의 당해 도포재의 유로는 구분 밸브에 연결되고, 당해 구분 밸브로부터의 당해 도포재의 유로는 당해 자페이스트 수납통에 연결되며,
당해 자페이스트 수납통으로부터의 당해 도포재의 유로는, 당해 도포재를 기판에 토출하는 노즐에 연결되어 있고,
또한, 당해 자페이스트 수납통의 상부에 당해 도포재의 보존량을 검출하는 도포재 보존량 검출 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 헤드.
제1항에 있어서,
상기 친페이스트 수납통의 상기 에어압 인가 수단은, 상기 친페이스트 수납통으로부터 상기 자페이스트 수납통으로 상기 도포재를 보급할 때, 상기 구분 밸브가 열림과 함께, 상기 친페이스트 수납통 내에 에어압을 인가하고,
상기 자페이스트 수납통의 상기 에어압 인가 수단은, 상기 노즐로부터 상기 도포재를 토출할 때, 상기 구분 밸브가 닫힘과 함께, 상기 자페이스트 수납통 내에 에어압을 인가하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 헤드.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 자페이스트 수납통의 상기 도포재 보존량 검출 수단은, 상기 도포재의 액면에서의 광학적 반사광을 수광하여 상기 도포재의 보존량을 검출하는 센서인 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 헤드.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자페이스트 수납통의 용적은, 상기 친페이스트 수납통의 용적에 비하여 충분히 작은 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 헤드.
도포재를 충전한 도포재 수납통과 당해 도포재 수납통으로부터의 도포재를 토출하는 노즐 토출구를 구비한 1 또는 복수의 도포 헤드를 이동 가능하게 설치된 갠트리가 1 또는 복수대 가대 상에 설치되고, 당해 가대 상에 설치된 기판 재치(載置) 테이블에 탑재된 기판에 대하여 당해 갠트리가 이동하고, 당해 갠트리에 대하여 당해 도포 헤드가 이동함으로써, 당해 기판에 대하여 당해 도포 헤드가 이동하고, 당해 노즐 토출구로부터 당해 기판 상으로 당해 도포재를 토출시키는 도포 장치에 있어서,
당해 도포 헤드의 도포재를 수납하는 당해 도포재 수납통은, 충전한 당해 도포재를 수납해 두는 친페이스트 수납통과 당해 도포재를 일시적으로 보존하는 자페이스트 수납통으로 이루어지고,
당해 친페이스트 수납통과 당해 자페이스트 수납통은, 에어압을 인가하는 수단을 구비하고,
당해 친페이스트 수납통으로부터 당해 도포재를 꺼내는 취출구로부터의 당해 도포재의 유로는 구분 밸브에 연결되고, 당해 구분 밸브로부터의 당해 도포재의 유로는 당해 자페이스트 수납통에 연결되며,
당해 자페이스트 수납통으로부터의 당해 도포재의 유로는, 당해 도포재를 기판에 토출하는 노즐에 연결되어 있고,
또한, 당해 자페이스트 수납통의 상부에 당해 도포재의 보존량을 검출하는 도포재 보존량 검출 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
제5항에 있어서,
상기 친페이스트 수납통의 상기 에어압 인가 수단은, 상기 친페이스트 수납통으로부터 상기 자페이스트 수납통으로 상기 도포재를 보급할 때, 상기 구분 밸브가 열림과 함께, 상기 친페이스트 수납통 내에 에어압을 인가하고,
상기 자페이스트 수납통의 상기 에어압 인가 수단은, 상기 노즐로부터 상기 도포재를 토출할 때, 상기 구분 밸브가 닫힘과 함께, 상기 자페이스트 수납통 내에 에어압을 인가하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
제5항 또는 제6항에 있어서,
상기 자페이스트 수납통의 상기 도포재 보존량 검출 수단은, 상기 도포재의 액면에서의 광학적 반사광을 수광하여 상기 도포재의 보존량을 검출하는 센서인 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자페이스트 수납통의 용적은, 상기 친페이스트 수납통의 용적에 비하여 충분히 작은 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
도포재를 충전한 도포재 수납통과 당해 도포재 수납통으로부터의 도포 재료를 토출하는 노즐 토출구를 구비한 1 또는 복수의 도포 헤드를 이동 가능하게 설치된 갠트리가 1 또는 복수대 가대 상에 설치되고, 당해 가대 상에 설치된 기판 재치 테이블에 탑재된 기판에 대하여 당해 갠트리가 이동하고, 당해 갠트리에 대하여 당해 도포 헤드가 이동함으로써, 당해 기판에 대하여 당해 도포 헤드가 이동하고, 당해 노즐 토출구로부터 당해 기판 상으로 당해 도포재를 토출시키는 도포 방법에 있어서,
당해 도포 헤드의 도포재를 수납하는 당해 도포재 수납통은, 충전한 당해 도포재를 수납해 두는 친페이스트 수납통과 당해 도포재를 일시적으로 보존하는 자페이스트 수납통으로 이루어지고,
당해 친페이스트 수납통과 당해 자페이스트 수납통은, 에어압을 인가 가능하게 하고,
당해 친페이스트 수납통으로부터 당해 도포재를 꺼내는 취출구로부터의 당해 도포재의 유로는 구분 밸브에 연결되고, 당해 구분 밸브로부터의 당해 도포재의 유로는 당해 자페이스트 수납통에 연결되며,
당해 자페이스트 수납통으로부터의 당해 도포재의 유로는, 당해 도포재를 기판에 토출하는 노즐에 연결되어 있고,
또한, 당해 자페이스트 수납통의 상부에 당해 도포재의 보존량을 검출하여, 당해 자페이스트 수납통 내의 당해 도포재의 감소에 따라 당해 친페이스트 수납통으로부터 당해 도포재를 정기적으로 보충하면서 당해 기판 상에 당해 도포재를 도포하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
제9항에 있어서,
상기 친페이스트 수납통으로부터 상기 자페이스트 수납통으로 상기 도포재를 보급할 때, 상기 구분 밸브가 열림과 함께, 상기 친페이스트 수납통 내에 에어압을 인가하고,
상기 노즐로부터 상기 도포재를 토출할 때, 상기 구분 밸브가 닫힘과 함께, 상기 자페이스트 수납통 내에 에어압을 인가하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
제9항 또는 제10항에 있어서,
상기 자페이스트 수납통 내의 상기 도포재 보존량은, 상기 자페이스트 수납통 내에서의 상기 도포재의 액면에서의 광학적 반사광을 수광하여 검출하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자페이스트 수납통의 용적은, 상기 친페이스트 수납통의 용적에 비하여 충분히 작은 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.