JP6663225B2 - 逆止弁機構、その逆止弁機構を用いるノズル機構及びペースト塗布装置 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims description 193
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 54
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 43
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 43
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 19
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 19
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 11
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 46
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 10
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
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- Check Valves (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
なお、TFT基板が下側として前述しているが、CF基板が下側となっても良い。
ここでは、本実施形態1に係る逆止弁機構110(図5参照)がペースト塗布装置1(図1参照)に搭載されているノズル機構5(図2参照)に用いられている場合を想定して説明する。
以下、図1及び図2を参照して、本実施形態1で用いるペースト塗布装置1の全体の構成につき説明する。図1はペースト塗布装置1の全体の構成を示す斜視図である。図2はペースト塗布装置1の主要部の構成を示す斜視図である。
図1に示すように、ペースト塗布装置1は、架台2、基板載置テーブル3、θ軸回転機構4、ノズル機構5a〜5d、ガントリ6a,6b、主制御部7a、副制御部7b、モニタ8、及び、キーボード9を有している。
基板載置テーブル3は、塗布材の塗布対象(ここでは、TFT基板用のガラス基板19)が載置されるテーブルである。
θ軸回転機構4は、基板載置テーブル3とともにガラス基板19をθ軸周りに回転駆動する機構である。
ノズル機構5a〜5dは、塗布材を塗布対象に塗布する機構である。ここでは、ペースト状の液体であるシール材を塗布材とし、ガラス基板19を塗布対象とし、シール材をガラス基板19に塗布する場合を想定して説明する。ノズル機構5a〜5dの構成及び動作は、同じである。以下、ノズル機構5a〜5dを総称する場合に「ノズル機構5」と称する。ノズル機構5の具体的な構成については後記する「ノズル機構の構成」の章で説明する。
ガントリ6a,6bは、ノズル機構5を水平面内の任意の方向(ここでは、X軸方向)に移動させる移動機構である。
主制御部7aは、ペースト塗布装置1の全体の動作を制御する制御部である。
副制御部7bは、ペースト塗布装置1の各部位(例えば、ガントリ6や後記する電空レギュレータ15a,15b(図2参照)等)の動作を制御する制御部である。
モニタ8は、各種の情報が表示される表示装置である。
キーボード9は、各種の情報をペースト塗布装置1に入力する入力装置である。
図2に示すように、ペースト塗布装置1は、ノズル機構5の周囲に、保持部10、位置検出部11、上下動機構12、及び、固定部14を有している。
位置検出部11は、ノズル機構5のフレーム61上の位置(すなわち、Y軸方向の位置)を検出する機構である。
上下動機構12は、ノズル機構5を上下方向(すなわち、Z軸方向)に移動させるZ軸方向移動機構である。
固定部14は、ノズル機構5を後記するZ軸方向移動部材12bに固定させる機構である。
Z軸方向移動部材12bは、ノズル機構5が取り付けられる部材である。
Z軸サーボモータ12cは、Z軸方向移動部材12bとともに、ノズル機構5を上下動させる駆動源である。
以下、図3〜図5を参照して、ノズル機構5の構成につき説明する。図3はノズル機構5の構成を示す斜視図である。図4はノズル機構5の分解した構成を示す斜視図である。図5はノズル機構5及び逆止弁機構110の内部の構成を示す断面図である。なお、ノズル機構5は、従来のノズル機構の親ペースト収納筒に相当する構成要素として後記するシリンジ51(図2参照)を有している。また、ノズル機構5は、従来のノズル機構の子ペースト収納筒が削除されている代わりに、後記する貯留部53a(図4参照)を後記するシリンジホルダ53の内部に有している。
シリンジ51は、ノズル機構5に補充されたシール材を貯蔵するタンクである。
ノズル52は、シール材を吐出する部材である。
シリンジホルダ53は、シリンジ51とノズル52を保持するブロック部材である。
封止部材56は、シリンジホルダ53に形成された後記する取込口53fを封止する部材である。
ジョイント111は、シリンジ51とシリンジホルダ53との間に接続される部材である。
貯留部53aは、ノズル52に送り込むシール材を一時的に貯留する部位である。
シリンジ取付部53bは、ジョイント111を介して、シリンジ51が取り付けられる部位である。
ノズル取付部53cは、ノズル52が取り付けられる部位である。
取込口53fは、電空レギュレータ15b(図2参照)から送られた圧縮エアを取り込む開口部である。
シート状体54は、弾性材によってシート状に形成された部材である。
スペーサ55は、シート状体54よりも高い剛性の材料でシート状に形成された、シート状体54とは別のシート状体である。
送込流路53dは、シリンジ取付部53bと貯留部53aとをつなぐシール材の流路である。
吐出流路53eは、貯留部53aとノズル52(ノズル取付部53c)とをつなぐシール材の流路である。
送込流路53dは、後記するジョイント内流路115a及び後記するリング溝内流路115bとともに、シリンジ51から貯留部53aに補充用のシール材を送り込む補充流路116を形成している。ノズル機構5は、補充流路116に対し、シール材の逆流(ここでは、貯留部53a側からシリンジ51側に向かう流れ)を止めるための逆止弁機構110を有している。
以下、図5及び図6を参照して、逆止弁機構110の構成及び動作につき説明する。図6は、逆止弁機構110の動作を示す模式図である。図6(a)は、シール材の吐出前又は吐出中の逆止弁機構110の状態を示しており、図6(b)は、シール材の吐出後におけるシール材の補充中の逆止弁機構110の状態を示している。
シャフト112は、ジョイント111の先端部(下端部)に形成された突出部である。本実施形態1では、シャフト112は、Oリング121を支持する支持部材として機能する。
Oリング121は、ゴム等の弾性体によってリング状に形成されたリング部材である。
本実施形態1に係る逆止弁機構110は、Oリング121にかかる第1圧力P1と第2圧力P2とを利用して、Oリング121を逆止弁として機能させている。このような逆止弁機構110は、従来の逆止弁機構と比較した場合に、以下のような効果を得ることができる。
実施形態1に係る逆止弁機構110は、逆止弁用のリング部材(Oリング121)が径方向に広がるように弾性変形する構造になっている。
これに対して、本実施形態2では、逆止弁用のリング部材(Oリング171)が斜め方向にずれるように弾性変形する構造になっている逆止弁機構110Aを提供する(図7及び図8参照)。
シャフト162は、Oリング171,172を支持する支持部材である。
Oリング171は、逆止弁用のリング部材(つまり、後記する第2流路157から後記する第1流路156へのシール材の逆流を止める逆止弁として機能させるためのリング部材)である。
Oリング172は、封止用のリング部材(つまり、シール材が後記する差込部154から外部に漏れ出ることを防止するためのリング部材)である。
Oリング171,172は、ともに、ゴム等の弾性体によってリング状に形成されている。
突起部163は、押さえ部164からシャフト162の軸方向に突出するように形成された部位である。
押さえ部164は、シャフト162が後記する差込部154に差し込まれたときに、Oリング171を後記する傾斜面部155に押さえ付ける部位である。
リング溝165は、Oリング172が嵌め込まれる溝部である。
リング溝165は、押さえ部164の周面に形成されている。
シャフト161aは、シリンジ取付部53bに差し込まれる部位である。
ジョイント内流路161bは、ジョイント161の内部に形成された流路である。
第1流路156は、シリンジホルダ153の側面部分(具体的には、シリンジ取付部53bの開口部分)から差込部154の終端部分154aに亘って形成された流路である。
第2流路157は、差込部154の終端部分154aからノズル機構5の奥方向に向かって形成された流路である。第2流路157は、貯留部53aに接続されている。
本実施形態2に係る逆止弁機構110Aは、Oリング171にかかる第1圧力P1と第2圧力P2とを利用して、Oリング171を逆止弁として機能させている。このような逆止弁機構110Aは、逆止弁(Oリング171)を駆動する外部装置を必要としないため、実施形態1に係る逆止弁機構110と同様に、簡素でかつ小型な構造にすることができる。
すなわち、実施形態1に係る逆止弁機構110は、第1圧力P1と第2圧力P2との関係に応じて逆止弁用のリング部材としてのOリング121を径方向に弾性変形させている。かかる構成では、Oリング121を弾性変形させようとする圧力に抗する反力が分散し難い。そのため、反力が比較的強い。このような逆止弁機構110では、設計に手間がかかる可能性がある。つまり、逆止弁機構110では、Oリング121が第1圧力P1と第2圧力P2との関係に応じてリング溝内流路115bを適切に閉鎖したり開放したりするように設計・検証するための比較的長い時間が必要になる可能性がある。
その結果、逆止弁機構110Aは、実施形態1に係る逆止弁機構110に比べて、逆止弁用のリング部材(Oリング171)を適切な形状に弾性変形し易くすることができる。
しかも、本実施形態2に係る逆止弁機構110Aによれば、実施形態1に係る逆止弁機構110に比べて、逆止弁用のリング部材(Oリング171)を適切な形状に弾性変形し易くすることができる。
2 架台
3 基板載置テーブル
4 θ軸回転機構
5(5a〜5d) ノズル機構
6(6a,6b) ガントリ(移動機構)
7a 主制御部
7b 副制御部
8 モニタ
9 キーボード
10 保持部
11 位置検出部
12 上下動機構
12a Z軸ガイド
12b Z軸方向移動部材
12c Z軸サーボモータ
14 固定部
15a 電空レギュレータ(第1加圧機構)
15b 電空レギュレータ(第2加圧機構)
16a,16b チューブ
19 基板
51 シリンジ(流動元)
51a 接続部
52 ノズル
53,153 シリンジホルダ(ブロック部材)
53a 貯留部(流動先)
53b シリンジ取付部(取付部)
53c ノズル取付部
53d 送込流路
53e 吐出流路
53f 取込口
54 シート状体
55 スペーサ(別のシート状体)
56 封止部材
56a 接続部
61a,61b フレーム
110,110A 逆止弁機構
111,161 ジョイント
112,162 シャフト(支持部材)
112a,165 リング溝
113 連結部
115a ジョイント内流路(支持部材内流路)
115b リング溝内流路
116,116A 補充流路
121,171 Oリング(逆止弁用のリング部材)
154 差込部
154a 終端部分
155 傾斜面部
156 第1流路
157 第2流路
161a シャフト
161b ジョイント内流路
163 突起部
164 押さえ部
172 Oリング(封止用のリング部材)
Claims (4)
- 弾性体によってリング状に形成されたリング部材と、
前記リング部材を支持する支持部材と、
前記支持部材の先端部が差し込まれたブロック部材と、を有し、
前記支持部材は、前記リング部材のリングを貫通する突起部と、前記リング部材を押さえ付ける押さえ部と、を備えており、
前記ブロック部材は、前記支持部材の先端部が差し込まれた差込部を備えるとともに、当該ブロック部材の側面部分から前記差込部に亘って形成された第1流路と、前記差込部の終端部分から奥方向に向かって形成された第2流路と、を備えており、
前記差込部の終端部分は、奥方向に向かって傾斜して狭くなる傾斜面部を備えており、
前記リング部材は、
流動元側から流動先側に向かって流れる流体の流路であって、前記第1流路を流動元側とし、前記第2流路を流動先側とし、前記差込部の終端部分を通るように形成された前記流路に対して、当該流路の途中部分を塞ぐように配置されており、かつ、
流動元側から当該リング部材にかかる第1圧力が流動先側から当該リング部材にかかる第2圧力よりも高いときに、弾性変形することによって、前記流路を開放し、一方、前記第1圧力が前記第2圧力よりも低いときに、復元することによって、前記流路を閉鎖する構造になっているとともに、前記押さえ部及び前記傾斜面部の双方と同時に当接することによって、前記差込部の終端部分で前記流路を塞ぐ構造になっている
ことを特徴とする逆止弁機構。 - 請求項1に記載の逆止弁機構において、
前記リング部材は、前記第1圧力が前記第2圧力よりも高いときに、前記傾斜面部に沿って流動先側にずれるように弾性変形することによって、前記押さえ部との間に隙間を形成する
ことを特徴とする逆止弁機構。 - 流体を貯蔵するタンクと、
前記流体を吐出するノズルと、
前記タンク及び前記ノズルを支持するブロック部材と、を有し、
前記ブロック部材は、前記タンクに近い側を流動元側とし、前記ノズルに近い側を流動先側とし、流動元側から流動先側に向かって流れる流体の流路と、前記流体の流れを止める逆止弁機構と、を内部に備えており、
前記逆止弁機構は、弾性体によってリング状に形成されたリング部材と、前記リング部材を支持する支持部材と、を有し、
前記支持部材は、前記リング部材のリングを貫通する突起部と、前記リング部材を押さえ付ける押さえ部と、を備えており、
前記ブロック部材は、前記支持部材の先端部が差し込まれた差込部を備えるとともに、当該ブロック部材の側面部分から前記差込部に亘って形成された第1流路と、前記差込部の終端部分から奥方向に向かって形成された第2流路と、を備えており、
前記差込部の終端部分は、奥方向に向かって傾斜して狭くなる傾斜面部を備えており、
前記リング部材は、
前記第1流路を流動元側とし、前記第2流路を流動先側とし、前記差込部の終端部分を通るように形成された前記流路に対して、当該流路の途中部分を塞ぐように配置されており、かつ、
流動元側から当該リング部材にかかる第1圧力が流動先側から当該リング部材にかかる第2圧力よりも高いときに、弾性変形することによって、前記流路を開放し、一方、前記第1圧力が前記第2圧力よりも低いときに、復元することによって、前記流路を閉鎖する構造になっているとともに、前記押さえ部及び前記傾斜面部の双方と同時に当接することによって、前記差込部の終端部分で前記流路を塞ぐ構造になっている
ことを特徴とするノズル機構。 - 流体を貯蔵するタンクと、前記流体を吐出するノズルと、前記タンク及び前記ノズルを支持するブロック部材と、を備えるノズル機構と、
前記流体の塗布対象である基板を載置する基板載置テーブルと、
前記ノズル機構及び前記基板載置テーブルのいずれか一方又は双方を移動体として移動させる移動機構と、
圧縮エアを前記ノズル機構のタンクに送り込む第1加圧機構と、
圧縮エアを前記ノズル機構のブロック部材に送り込む第2加圧機構と、を有し、
前記ブロック部材は、前記タンクに近い側を流動元側とし、前記ノズルに近い側を流動先側とし、流動元側から流動先側に向かって流れる流体の流路と、前記流体の流れを止める逆止弁機構と、を内部に備えており、
前記逆止弁機構は、弾性体によってリング状に形成されたリング部材と、前記リング部材を支持する支持部材と、を有し、
前記支持部材は、前記リング部材のリングを貫通する突起部と、前記リング部材を押さえ付ける押さえ部と、を備えており、
前記ブロック部材は、前記支持部材の先端部が差し込まれた差込部を備えるとともに、当該ブロック部材の側面部分から前記差込部に亘って形成された第1流路と、前記差込部の終端部分から奥方向に向かって形成された第2流路と、を備えており、
前記差込部の終端部分は、奥方向に向かって傾斜して狭くなる傾斜面部を備えており、
前記リング部材は、
前記第1流路を流動元側とし、前記第2流路を流動先側とし、前記差込部の終端部分を通るように形成された前記流路に対して、当該流路の途中部分を塞ぐように配置されており、かつ、
流動元側から当該リング部材にかかる第1圧力が流動先側から当該リング部材にかかる第2圧力よりも高いときに、弾性変形することによって、前記流路を開放し、一方、前記第1圧力が前記第2圧力よりも低いときに、復元することによって、前記流路を閉鎖する構造になっているとともに、前記押さえ部及び前記傾斜面部の双方と同時に当接することによって、前記差込部の終端部分で前記流路を塞ぐ構造になっている
ことを特徴とするペースト塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016006137A JP6663225B2 (ja) | 2016-01-15 | 2016-01-15 | 逆止弁機構、その逆止弁機構を用いるノズル機構及びペースト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016006137A JP6663225B2 (ja) | 2016-01-15 | 2016-01-15 | 逆止弁機構、その逆止弁機構を用いるノズル機構及びペースト塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017125589A JP2017125589A (ja) | 2017-07-20 |
JP6663225B2 true JP6663225B2 (ja) | 2020-03-11 |
Family
ID=59364284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016006137A Expired - Fee Related JP6663225B2 (ja) | 2016-01-15 | 2016-01-15 | 逆止弁機構、その逆止弁機構を用いるノズル機構及びペースト塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6663225B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49100156A (ja) * | 1972-11-13 | 1974-09-21 | ||
US3857405A (en) * | 1973-11-30 | 1974-12-31 | R Heideman | Interchangeable right angle or inline flow control valve |
JPS5092927U (ja) * | 1973-12-25 | 1975-08-05 | ||
US4549565A (en) * | 1984-03-05 | 1985-10-29 | Bs&B Safety Systems, Inc. | Reclosing rupture disk assembly |
JPS6213874A (ja) * | 1985-07-09 | 1987-01-22 | Minolta Camera Co Ltd | 逆止弁 |
JP5699682B2 (ja) * | 2011-02-25 | 2015-04-15 | 株式会社アドヴィックス | 逆止弁 |
JP5897263B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2016-03-30 | 株式会社日立製作所 | ペースト塗布ヘッド,ペースト塗布装置及びペースト塗布方法 |
-
2016
- 2016-01-15 JP JP2016006137A patent/JP6663225B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017125589A (ja) | 2017-07-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20161121 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20161221 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190110 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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