JP6185510B2 - 微量液体ディスペンサ - Google Patents
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Description
前記ノズルに液体を供給する液体通路と、
前記液体通路の途中の部分に形成した内容積が増減するように変形可能な中間通路部分と、
前記中間通路部分を内容積が減少するように変形させて、当該中間通路部分から前記液体通路の上流側および下流側の双方に液体を押出し、前記下流側に押し出された液体によって前記ノズルから微量液体を流出させる通路変形機構と、
前記ノズル、前記中間通路部分が形成された部材、および前記液体通路における前記ノズルから前記中間通路部分までの間の下流側通路部分が形成された部材を、一体のユニットとして、前記ノズルの中心軸線の方向に移動させるユニット微動機構と、
を有していることを特徴としている。
化しても内容積が変化しない剛性の管を用いて形成しておけばよい。
前記液体を貯留する液体貯留部を備え、当該液体貯留部から前記液体通路を介して前記ノズルに前記液体を供給する液体供給部と、
前記液体供給部、前記液体通路および前記ノズルが取り付けられているディスペンサ架台と、
前記液体貯留部から前記液体通路を介して前記ノズルの先端口まで液体を充填した液体充填状態を形成するための真空充填機構と
を有しており、
前記真空充填機構は、
前記ディスペンサ架台から取り外した前記液体貯留部、前記液体通路および前記ノズルを収納可能な真空チャンバと、
前記真空チャンバに収納された前記液体貯留部から前記液体通路を介して前記ノズルに前記液体を供給するために、前記液体貯留部に圧力流体を供給する圧力流体供給部と
を備えており、
前記液体充填状態が形成された後の前記液体貯留部、前記液体通路および前記ノズルが、再び、前記ディスペンサ架台に取り付け可能である。
の代わりに加圧・減圧機構を用いることもできる。この場合には、減圧状態にして円筒通路11の内容積を増加させた状態で粘性液体9を円筒通路11に取り込み、加圧状態に切り替えて円筒通路11の内容積を減少させて粘性液体9を押し出す。円筒通路11の内容積の増減による粘性液体9の押出し量を増やすことができる。
ナット33を備えている。電動モータ31は下向き姿勢で垂直に配置され、この下側にボールねじ32が同軸に連結されている。
部分10の内容積が減少する(図3(a)のステップST3)。
ノズル4の先端口4aから一度に吐出あるいは滴下させる液体量
ノズル4の先端口4aの内径寸法
液体の粘度
上流側通路部分6Aの側の液体通路抵抗と、下流側通路部分6Bおよびノズル4を含む下流側の液体通路抵抗との比
金属ペースト(Ag、Cu、ハンダ等)
樹脂液材(シリコーン接着剤、UV硬化樹脂、フォト・レジスト、UV硬化接着剤、その他の各種樹脂液剤)
フィラー入り液材(フィラー:蛍光粒子、シリカ粒子、フリット・ガラス、酸化チタン、各種ナノマイクロ粒子等)
光学部品製造への適用(遮光材塗布、アパーチャ形成、レンズ面への各種液材塗布)
電子部品への極微小量の接着剤滴下(LED、水晶発振子、MEMS、パワー・デバイス等)
FPD、撮像センサのガラス貼り合わせ
Agナノペーストによる配線(ITOへの補助配線、微小エリアへの配線形成等)
図5は、微量液体ディスペンサ1に用いるのに適した真空充填機構の一例を示す説明図である。真空充填機構200を用いて、シリンジ7から液体通路6を通してノズル4の先端口4aに至るまで、残留気泡の無い液体充填状態が形成される。真空充填機構200は、微量液体ディスペンサ1のディスペンサ架台に組み付けた構成とすることができる。この代わりに、真空充填機構200を、微量液体ディスペンサ1とは独立した付属ユニットとして製造することも可能である。
びノズル4を取付け、これらを接続した状態にする。シリンジ7には、脱泡状態の液体が所定量だけ貯留されている。
2 ワーク台
3 ワーク
3a ワーク表面
4 ノズル
4a 先端口
4b 中心軸線
5 3軸機構
6 液体通路
6A 上流側通路部分
6B 下流側通路部分
7 シリンジ
7a 吐出口
8 ポンプ
9 粘性液体
10 中間通路部分(容量可変通路部分)
10a 上流端開口
10b 下流端開口
11 円筒通路
11a、11b 端板
11c 円筒状胴部
12 圧力室
13 加圧機構
14 制御部
15 操作・表示部
16 流量調整弁
20 微動ユニット
21 直動機構
22 観察光学系ユニット
23 支持ブロック
24 支持フレーム
25 背面板部分
26 天板部分
31 電動モータ
32 ボールねじ
33 ボールナット
34 垂直取付け板
35,36 通路管
37 フレキシブルチューブ
38 供給管
200 真空充填機構
201 機構架台
202 真空チャンバ
203 真空吸引源
204 圧力流体供給源
205 取付け板
Claims (16)
- 筒状のノズルの先端口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーの微量液体を流出させる微量液体ディスペンサであって、
前記ノズルに液体を供給する液体通路と、
前記液体通路の途中の部分に形成した内容積が増減するように変形可能な中間通路部分と、
前記中間通路部分を内容積が減少するように変形させて、当該中間通路部分から前記液体通路の上流側および下流側の双方に液体を押出し、前記下流側に押し出された液体によって前記ノズルから微量液体を流出させる通路変形機構と、
前記ノズル、前記中間通路部分が形成された部材、および前記液体通路における前記ノズルから前記中間通路部分までの間の下流側通路部分が形成された部材を、一体のユニットとして、前記ノズルの中心軸線の方向に移動させるユニット微動機構と、
を有していることを特徴とする微量液体ディスペンサ。 - 前記液体通路における前記中間通路部分の上流端に接続されている上流側通路部分が形成された部材は、前記ユニット微動機構の移動方向に撓み可能である請求項1に記載の微量液体ディスペンサ。
- 前記ユニット微動機構による前記ユニットの移動を制御して、前記ノズルの先端口と微量液滴の塗布対象のワーク表面との間のギャップを制御するギャップ制御部を有している請求項1に記載の微量液体ディスペンサ。
- 前記ノズルの先端口から塗布対象のワークの表面部分に塗布される微量液体の流出状態を観察する観察光学系ユニットと、
前記流出状態に基づき前記ユニット微動機構による前記ユニットの移動を制御する制御部と、
を有している請求項1に記載の微量液体ディスペンサ。 - 前記ユニット微動機構は、モータ、当該モータによって回転するボールねじ、および、当該ボールねじの回転に伴って当該ボールねじの軸線方向にスライドするボールナットを備えた直動機構であり、
前記ユニットは、前記ボールナットに搭載されている請求項1に記載の微量液体ディスペンサ。 - 前記液体通路から前記ノズルの先端口まで液体を充填した液体充填状態で、前記中間通路部分の内容積が減少するように当該中間通路部分を変形させた場合に、当該中間通路部分から前記下流側通路部分に押し出される液体量が、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーの微小量となるように、当該液体量と前記上流側に押し戻される液体量との比率が、1:100〜1:500に設定されている請求項1に記載の微量液体ディスペンサ。
- 前記ノズルおよび前記下流側通路部分は、内部を流れる液体の圧力が変化しても内容積が変化しない通路部分である請求項1に記載の微量液体ディスペンサ。
- 前記通路変形機構は、前記中間通路部分の外周を取り囲む密閉外周空間の内圧を変化させることにより、前記中間通路部分の内容積を増減させる請求項1に記載の微量液体ディスペンサ。
- 前記ノズルは、その先端口の内径寸法が500μm以下の微小径ノズルである請求項1
に記載の微量液体ディスペンサ。 - 前記液体は、粘度が1Pa・s〜100Pa・sの高粘度液材である請求項1に記載の微量液体ディスペンサ。
- 前記ノズルの先端口から塗布対象のワークの表面部分に塗布される微量液体の流出状態および前記先端口と前記ワークの表面部分との間のギャップを観察する観察光学系ユニットと、
前記観察光学系ユニットによって得られる前記流出状態および前記ギャップに基づき、前記ユニット微動機構による前記ユニットの移動を制御する制御部と、
を有しており、
前記ノズルおよび前記下流側通路部分は、内部を流れる液体の圧力が変化しても内容積が変化しない通路部分であり、
前記液体通路における前記中間通路部分の上流端に接続されている上流側通路部分が形成された部材は、前記ノズルの中心軸線の方向に撓み可能であり、
前記ノズルは、その先端口の内径寸法が500μm以下の微小径ノズルである
請求項1に記載の微量液体ディスペンサ。 - 前記液体通路から前記ノズルの先端口まで液体を充填した液体充填状態で、前記中間通路部分の内容積が減少するように当該中間通路部分を変形させた場合に、当該中間通路部分から前記下流側通路部分に押し出される液体量が、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーの微小量となるように、当該液体量と前記上流側に押し戻される液体量との比率が、1:100〜1:500に設定されている請求項11に記載の微量液体ディスペンサ。
- 前記ユニット微動機構は、モータ、当該モータによって回転するボールねじ、および、当該ボールねじの回転に伴って当該ボールねじの軸線方向にスライドするボールナットを備えた直動機構であり、
前記ユニットは、前記ボールナットに搭載されている請求項11に記載の微量液体ディスペンサ。 - 前記通路変形機構は、前記中間通路部分の外周を取り囲む密閉外周空間の内圧を変化させることにより、前記中間通路部分の内容積を増減させる請求項11に記載の微量液体ディスペンサ。
- 前記液体は、粘度が1Pa・s〜100Pa・sの高粘度液材である請求項11に記載の微量液体ディスペンサ。
- 前記液体を貯留する液体貯留部を備え、当該液体貯留部から前記液体通路を介して前記ノズルに前記液体を供給する液体供給部と、
前記液体供給部、前記液体通路および前記ノズルが取り付けられているディスペンサ架台と、
前記液体貯留部から前記液体通路を介して前記ノズルの先端口まで液体を充填した液体充填状態を形成するための真空充填機構と
を有しており、
前記真空充填機構は、
前記ディスペンサ架台から取り外した前記液体貯留部、前記液体通路および前記ノズルを収納可能な真空チャンバと、
前記真空チャンバに収納された前記液体貯留部から前記液体通路を介して前記ノズルに前記液体を供給するために、前記液体貯留部に圧力流体を供給する圧力流体供給部と
を備えており、
前記液体充填状態が形成された後の前記液体貯留部、前記液体通路および前記ノズルが、再び、前記ディスペンサ架台に取り付け可能である請求項1ないし15のうちのいずれか一つの項に記載の微量液体ディスペンサ。
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- 2015-05-12 JP JP2015097229A patent/JP6185510B2/ja active Active
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