JP2011125779A - 塗布方法および塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吐出ヘッド51内部のバッファ空間BFに送り込まれるペースト状塗布液の粘度の変化によって各吐出口515からの吐出開始タイミングがばらつく。あらかじめ各吐出口515ごとに吐出開始タイミングを求めておき、それに基づくタイミングでサックバックシリンジ52のピストン522を押し込むことにより、吐出口515近傍のキャビティ517に貯留された塗布液を押し出して吐出させる。これにより吐出のタイミングを調整してばらつきを抑える。
【選択図】図2
Description
3 ステージ(基板保持手段)
51 吐出ヘッド
52 サックバックシリンジ(調整手段)
53 タンク(塗布液供給手段)
55 撮像部(検知手段)
514 ノズルチップ
515 吐出口
517 キャビティ(貯留部)
522 ピストン(制御部)
523 アクチュエータ(制御部)
BF バッファ空間(液溜め空間)
W 基板
Claims (10)
- 複数の吐出口を有する吐出ヘッドにペースト状の塗布液を圧送し、前記吐出口から吐出させた前記塗布液を基板に塗布する塗布方法において、
前記吐出ヘッドに圧送された前記塗布液が前記吐出口のそれぞれから吐出開始されるタイミングを調整する調整工程と、
前記吐出ヘッドを基板に対し相対移動させて、前記基板の主面に対向する所定の塗布開始位置に位置決めする位置決め工程と、
前記塗布開始位置に位置決めされた前記吐出ヘッドに前記塗布液を圧送して前記吐出口から吐出させるとともに前記吐出ヘッドと前記基板とを前記基板の主面に沿った方向に相対移動させて、前記塗布液を前記基板主面に塗布する塗布工程と
を備えることを特徴とする塗布方法。 - 前記吐出口のそれぞれに対し、当該吐出口に連通して前記塗布液を貯留する貯留部を設けておき、前記調整工程では、前記貯留部に貯留された塗布液を前記吐出口に送出するタイミングを前記吐出口のそれぞれについて個別に設定する請求項1に記載の塗布方法。
- 前記塗布工程では、前記吐出ヘッドへの前記塗布液の圧送開始タイミングと同期させて、前記吐出口に連通させた前記貯留部からの前記塗布液の送出を前記調整工程で設定されたタイミングで開始する請求項2に記載の塗布方法。
- 前記塗布工程において前記吐出口からの前記塗布液の吐出を停止するときには、前記吐出ヘッドへの前記塗布液の圧送を停止するとともに前記吐出口近傍に残留する塗布液を前記貯留部に流入させる請求項2または3に記載の塗布方法。
- 前記塗布工程では、前記吐出口のうち少なくとも1つから吐出された前記塗布液が前記基板主面に到達したことを検知してから前記吐出ヘッドと前記基板との相対移動を開始する請求項1ないし4のいずれかに記載の塗布方法。
- 基板を保持する基板保持手段と、
内部に液溜め空間を有するとともに、該液溜め空間に連通する複数の吐出口を有する吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドの前記液溜め空間に、ペースト状の塗布液を圧送する塗布液供給手段と、
前記複数の吐出口のそれぞれに対応して前記液溜め空間から前記吐出口に至る流路上に設けられ、当該吐出口からの前記塗布液の吐出開始タイミングを調整する調整手段と、
前記吐出ヘッドを基板に対向する所定の塗布開始位置に位置決めするとともに、前記吐出ヘッドと前記基板とを前記基板の主面に沿った方向に相対移動させる移動手段と
を備えることを特徴とする塗布装置。 - 前記調整手段は、前記液溜め空間から前記吐出口に至る流路に連通し前記塗布液を貯留する貯留部と、前記貯留部から前記流路への前記塗布液の送出を制御する制御部とを備える請求項6に記載の塗布装置。
- 前記制御部は、前記塗布液供給手段から前記液溜め空間への前記塗布液の圧送が停止されると、前記流路内の前記塗布液を前記貯留部に流入させて前記吐出口からの前記塗布液の吐出を停止させる請求項7に記載の塗布装置。
- 前記複数の吐出口それぞれから吐出される前記塗布液を検知する検知手段を備え、前記調整手段は、前記検知手段による検知結果に基づいて前記吐出口のそれぞれについて個別に設定された吐出開始タイミングで、それぞれの前記吐出口から前記塗布液を吐出させる請求項6ないし8のいずれかに記載の塗布装置。
- 前記移動手段は、前記吐出口のうち少なくとも1つから吐出された前記塗布液が前記基板主面に到達したことが前記検知手段により検知されると前記吐出ヘッドと前記基板との相対移動を開始する請求項9に記載の塗布装置。
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