JP2003053248A - 塗液の塗布装置および塗布方法、並びにプラズマディスプレイパネル用部材の製造方法およびプラズマディスプレイパネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 塗液を基材に、高生産性と高品質をもって塗
布できるようにする。 【解決手段】 塗布ノズルを用いて基材に塗液を塗布す
るための塗布装置であって、前記塗布ノズルへの塗液供
給源は、塗液を貯蔵する１次塗液タンクと２次塗液タン
クからなり、前記１次塗液タンクから前記２次塗液タン
クへ塗液を供給し、前記２次塗液タンクから前記塗布ノ
ズル内へ塗液を供給することを特徴とする塗液の塗布装
置、塗布方法、それを用いて製造したプラズマディスプ
レイパネルおよびその製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル（以下、ＰＤＰと略称することもある。）、
液晶カラーフィルター（以下、ＬＣＭと略称することも
ある。）、光学フィルタ、プリント基板、半導体等の製
造分野に使用されるものであり、特に高粘度塗液を塗布
するＰＤＰ製造工程における、ガラス基板などの被塗布
対象物表面に非接触で塗液を吐出しながら薄膜パターン
を形成する塗液の塗布装置および塗布方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】近年、ディスプレイはその方式において
次第に多様化してきている。現在注目されているものの
一つが、従来のブラウン管よりも大型で薄型軽量化が可
能なプラズマディスプレイである。これは、前面板と背
面板の間に形成された放電空間内で放電を生じさせ、こ
の放電によりキセノンガスから波長１４７ｎｍを中心と
する紫外線が生じて、この紫外線が蛍光体を励起するこ
とによって表示が可能となる。Ｒ（赤）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）に発光する蛍光体を塗り分けた放電セルを駆動回
路によって発光させることにより、フルカラー表示に対
応できる。

【０００３】また、最近活発に開発が進められているＡ
Ｃ型プラズマディスプレイは、表示電極／誘電体層／保
護層を形成した前面ガラス板と、アドレス電極／誘電体
層／隔壁層／蛍光体層を形成した背面ガラス板とを貼り
合わせ、ストライプ状の隔壁で仕切られた放電空間内に
Ｈｅ−Ｘｅ、または、Ｎｅ−Ｘｅの混合ガスを封入した
構造を有している。

【０００４】Ｒ、Ｇ、Ｂの各蛍光体層は、粉末状の蛍光
体粒子を主成分とする蛍光体ペーストが背面板に形成さ
れた各色毎に一方向に延びる隔壁により形成された凹凸
部の凹部にストライプ状に充填されてなる。

【０００５】蛍光体がストライプ状に構成されていると
いう構造は、ストライプ形ブラックマトリックス式のカ
ラー受像管のパネルも有している。

【０００６】このような構造のものを高い生産性と高品
質で製造するには、蛍光体を一定のパターン状に塗り分
ける技術が重要となる。

【０００７】例えば、特開平１０−２７５４３号公報に
は、プラズマディスプレイパネルの隔壁間を対象に、一
個あるいは複数の吐出孔を有する塗布ノズルで塗布する
方法が開示されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記塗布ノ
ズルに塗液を供給する塗液の供給装置としては、塗液を
貯蔵するタンクと、タンクからペーストを送り出すポン
プと、それらを繋ぐ配管を組み合わせたものが一般的で
ある。

【０００９】そして前記塗布ノズルは、内部に塗液溜ま
りと塗液上部の空間を有し、この上部空間に圧空を導入
し、その圧力で塗液を塗布ノズルより押し出す構造が必
要である。なぜなら、塗布ノズル内に塗液を充満させ、
塗液を貯蔵タンクからポンプで定量液送して吐出孔から
押し出し、基材に塗布する構造では、特に塗液である蛍
光体ペーストの粘度が高い場合、配管内壁による圧力損
失や、ポンプから塗布ノズルまでの配管に樹脂製のチュ
ーブを使用する場合、配管は伸縮を起こすので、蛍光体
ペースト押出時に圧力損失が生じ、塗布開始の遅れが顕
著となり、塗布端面処理が難しくなるためである。

【００１０】しかし、前記の塗液上部に空間を有する塗
布ノズルでは、蛍光体ペーストを基材へ塗布した後、塗
布した量と同量の蛍光体ペースト量を再び塗布ノズル内
へ供給する必要がある。この時、蛍光体ペーストの再供
給量が少な過ぎると塗布ノズル内の蛍光体ペーストはや
がて無くなり、塗布ムラなどの塗布不能を引き起こす。
再供給量が多過ぎると塗布ノズル内に蛍光体ペーストが
あふれてしまい、塗布ノズルから予期せぬ吐出を行って
しまう。更にプラズマディスプレイパネルの製造におい
ては、基材には様々な大きさや品種のものがあり、それ
に塗布する蛍光体ペーストの量や塗布形状も様々であ
る。従って、その様々な塗布量に応じて、塗布ノズルへ
の蛍光体ペーストを精密かつ適量供給し、塗布ノズル内
の蛍光体ペースト量を一定に保つ必要があり、それがで
きなければ、塗布作業を安定して継続することができな
い。また、塗布ノズルから吐出する蛍光体ペーストの吐
出量は、塗布ノズル内に溜めている蛍光体ペーストの自
重と塗液上部空間に供給される圧空の圧力の和により決
まるため、吐出量を一定に保つためにも蛍光体ペースト
を一定量に保っておく必要がある。この場合、蛍光体ペ
ースト量を確認するために、基材への塗布終了毎に塗布
ノズルを塗布装置から取り外し、塗布ノズル内へ蛍光体
ペーストを供給し、所定量であることを確認することは
出来るが、塗布作業の効率が著しく低下してしまう。し
たがって、塗布作業を安定的に効率よく継続するために
は、塗布ノズル内の蛍光体ペースト量を検出し、塗布に
よる減少分に応じて蛍光体ペーストを再供給する装置機
能が必要となる。

【００１１】また、前記塗布ノズル内の蛍光体ペースト
は、それを貯蔵した塗液タンクから供給されるわけだ
が、基材へ塗布中の、内部が加圧状態の塗布ノズルには
蛍光体ペーストを供給することはできない。そのため、
基材への塗布が一旦終了し、次の塗布を開始するまでの
間に行わなければならない。従って、この塗布ノズルへ
の蛍光体ペースト供給時間は直接タクトタイム、つま
り、基材の生産量に大きく影響する。そのために、蛍光
体ペーストの供給時間はなるべく短いほうが好ましい。
しかし、高粘度の蛍光体ペーストの場合、配管内壁の圧
損が大きいために、蛍光体ペーストを供給するのに時間
を要する。

【００１２】蛍光体ペーストの供給時間を短くする方法
として、まず、配管長を短くする、つまり、塗液タンク
を塗布ノズルに近づける方法がある。しかし、生産性の
観点から、塗液タンクは一度に大量の蛍光体ペーストを
貯蔵できる大容量タンクが望ましく、塗布ノズルの近く
に設置するのは難しい。ましてや、ノズルを移動させな
がら塗布する装置であると、それはできない。また、配
管径を大きくする方法もあるが、蛍光体ペーストを配管
中を充満させることを考えれば、必要以上に蛍光体ペー
ストが必要になり、不経済である。

【００１３】そこで本発明の課題は、基材、特にプラズ
マディスプレイパネルの隔壁のように、一定の凹凸状の
パターンが形成された基材の複数の凹部に、塗布ノズル
から所定の蛍光体ペーストを塗布するに際し、常に塗布
ノズル内へ適正量の蛍光体ペーストを短時間で供給で
き、長時間にわたって連続して安定した塗布作業が行
え、これによって、基材の高生産性と高品質を可能とす
る塗液の塗布装置および塗布方法およびプラズマディス
プレイパネル用部材の製造方法並びにプラズマディスプ
レイパネルを提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る塗液の塗布装置は、塗布ノズルを用い
て基材に塗液を塗布するための塗布装置であって、前記
塗布ノズルへの塗液供給源は、塗液を貯蔵する１次塗液
タンクと２次塗液タンクからなり、前記１次塗液タンク
から前記２次塗液タンクへ塗液を供給し、前記２次塗液
タンクから前記塗布ノズル内へ塗液を供給することを特
徴とするものからなる。

【００１５】この塗液の塗布装置においては、２次塗液
タンクは、１次塗液タンクより少ない塗液を貯蔵する容
量であることが好ましい。また、塗布ノズル内の塗液量
を検出する検出手段を有し、その検出結果に応じて塗布
ノズルと２次塗液タンクの間に設置した塗液制御弁を開
閉制御し、２次塗液タンクから塗布ノズルへ塗液を供給
することが好ましい。塗布ノズル内の塗液量の検出手段
としては、塗液に対し非接触である手段を用いることが
でき、塗布ノズル内の塗液量を塗液に対し非接触で検出
する手段としては、たとえば、塗液液面高さを検出する
センサーを用いることができる。また、塗布ノズル内の
塗液量を塗液に対し非接触で検出する手段として、塗液
を含めた塗布ノズルの重量検出手段を用いることもでき
る。

【００１６】また本発明においては、上記塗液制御弁が
非摺動開閉構造を有するものであることが好ましい。

【００１７】また、本発明に係る塗液の塗布装置におい
ては、２次塗液タンク内の塗液量を検出する検出手段を
有し、その検出結果に応じて１次塗液タンクと２次塗液
タンクの間に設置した塗液制御弁を開閉制御し、１次塗
液タンクから２次塗液タンクへ塗液を供給する構造を採
用することができる。

【００１８】上記２次塗液タンク内の塗液量の検出手段
としては、塗液に対し非接触である手段を用いることが
できる。２次塗液タンク内の塗液量を非接触で検出する
手段としては、塗液液面高さを検出するセンサー、ある
いは、塗液を含めた２次塗液タンクの重量検出手段を用
いることができる。また、上記１次塗液タンクと２次塗
液タンクの間に設置した塗液制御弁として、非摺動開閉
構造を有するものを用いることが好ましい。

【００１９】また、本発明に係る塗液の塗布装置におい
ては、１次塗液タンクが、および／または、２次塗液タ
ンクが、塗液を真空脱泡する手段と、塗液を撹拌処理す
る手段を有することが好ましい。

【００２０】また、本発明に係る塗液の塗布装置におい
ては、基材を固定するテーブルと、基材に対面して設け
られ、基材に所定量の塗液を塗布する塗布ノズルと、テ
ーブルと塗布ノズルとを３次元的に相対移動させる移動
手段を備えているものから構成できる。

【００２１】このような本発明に係る塗液の塗布装置に
おいては、基材の表面に、塗液が塗布されるストライプ
状の凹部が複数形成されている場合の塗液の塗布装置と
して、あるいは、基材の表面に、塗液が塗布される格子
状の凹部が複数形成されている場合の塗液の塗布装置と
して好適なものである。

【００２２】本発明に係る塗液の塗布方法は、上述のよ
うな塗液の塗布装置を用いて塗液を塗布することを特徴
とする方法からなる。また、本発明に係る塗液の塗布方
法においては、塗布ノズルが基材に塗液を塗布していな
い間に、２次塗液タンクから塗布ノズルへ塗液を供給
し、および／または、１次塗液タンクから２次塗液タン
クへ塗液を供給することが好ましい。

【００２３】また、本発明は、基材がプラズマディスプ
レイ用発光基板であって、塗液が赤色、緑色、青色のい
ずれかの色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであ
り、上記記載の塗布装置を用いて塗布する工程を含むこ
とを特徴とするプラズマディスプレイパネル用部材の製
造方法を提供する。

【００２４】さらに本発明は、上記方法により製造した
プラズマディスプレイパネル用部材を用いたことを特徴
とするプラズマディスプレイパネルを提供する。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の望ましい実施の
形態を、図面を参照して説明する。まず、本発明に係る
塗液の塗布装置の全体構成、とくに凹凸基材（たとえ
ば、プラズマディスプレイパネル用部材）への塗液の塗
布装置の全体構成の例について説明する。

【００２６】図１は、本発明の一実施態様に係る塗布装
置の全体斜視図、図２は図１のテーブル６とノズル２０
周りの模式図、図３はノズル２０を塗布方向から見た断
面模式図である。

【００２７】まず、塗液の塗布装置の全体構成について
説明する。図１は、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルの製造に適用される塗布装置の一例を示してい
る。この装置は基台２を備えている。基台２上には、一
対のガイド溝レール８が設けられており、このガイド溝
レール８上にはテーブル６が配置されている。このテー
ブル６の上面には、表面に凹凸が一定ピッチで一方向に
ストライプ状に形成された基材４が真空吸引によってテ
ーブル面に固定可能となるように、複数の吸引孔７が設
けられている。また、基材４は図示しないリフトピンに
よってテーブル６上を昇降する。さらに、テーブル６は
スライド脚９を介してガイド溝レール８上をＸ軸方向に
往復動自在となっている。

【００２８】一対のガイド溝レール８間には、図２に示
す送りねじ機構を構成するフィードスクリュー１０が、
テーブル６の下面に固定されたナット状のコネクタ１１
を貫通して延びている。フィードスクリュー１０の両端
部は軸受１２に回転自在に支持され、さらにその一端に
はＡＣサーボモータ１６が自在継手１４を介して連結さ
れている。

【００２９】図１に示すように、テーブル６の上方に
は、塗液を吐出するノズル２０がホルダー２２を介して
昇降機構３０、幅方向移動機構３６に連結している。昇
降機構３０は昇降可能な昇降ブラケット２８を備えてお
り、昇降機構３０のケーシング内部で一対のガイドロッ
ドに昇降自在に取り付けられている。また、このケーシ
ング内には、ガイドロッド間に位置してボールねじから
なるフィードスクリュー（図示しない）もまた回転自在
に配置されており、ナット型のコネクタを介して昇降ブ
ラケット２８と連結されている。さらにフィードスクリ
ューの上端には、図示しないＡＣサーボモータが接続さ
れており、このＡＣサーボモータの回転によって昇降ブ
ラケット２８を任意に昇降動作させることができるよう
になっている。

【００３０】さらに、昇降機構３０はＹ軸移動ブラケッ
ト３２（アクチュエータ）を介して幅方向移動機構３６
に接続されている。幅方向移動機構３６はＹ軸移動ブラ
ケット３２をノズルの幅方向、すなわちＹ軸方向に往復
動自在に移動させるものである。動作のために必要なガ
イドロッド、フィードスクリュー、ナット型コネクタ
ー、ＡＣサーボモータ等は、ケーシング内に昇降機構３
０と同じように配置されている。幅方向移動機構３６は
支柱３４により基台２上に固定されている。

【００３１】これらの構成によって、ノズル２０はＺ軸
とＹ軸方向に自在に移動させることができる。

【００３２】さらに図１を参照すると、基台２の上面に
は逆Ｌ字形のセンサ支柱３８が固定されており、その先
端にはテーブル６上の基材４の凸部頂上の位置（高さ）
を測定する高さセンサ４０が取り付けられている。ま
た、高さセンサ４０の隣には、基材４の凹凸部の位置を
検知するカメラ７２が支柱７０に取り付けられている。
図２に示すように、カメラ７２は画像処理装置７４に電
気的に接続されており、凹凸部位置の変化を定量的に求
めることができる。

【００３３】さらに、テーブル６の一端には、センサブ
ラケット６４を介して、ノズル２０の吐出孔４４のある
下端面（吐出孔面）のテーブル６に対する垂直方向の位
置を検知するセンサ６６が取り付けられている。

【００３４】ここで、ノズル２０へ塗液および圧空を供
給して吐出させる部分について、本発明の塗布装置の一
実施態様を図２および図３に示す。ノズル２０はその内
部に塗液溜まり部７７を有し、塗液の液面上部に空間部
７６を有する。空間部７６には圧空供給ホース８１，圧
空制御弁８２，減圧弁８４，圧空源８６と連なってお
り、任意の圧力の圧空が供給できる構成となっている。
圧空制御弁８２は全体コントローラ６０により開閉制御
される。圧空制御弁８２は塗液塗布時に開状態に制御さ
れ、ノズル２０内の空間部７６に供給された圧空の押圧
力により吐出孔４４から塗液を吐出させる。吐出孔４４
は塗液の塗布幅に応じてその孔径を１０〜５００μｍの
間に設定するとよい。

【００３５】本発明の塗布ノズルは前述のように、通常
の使用時においても内部が塗液によって完全に充填され
ることはなく、塗液上部の空間部を有する。

【００３６】そこで本発明の一実施態様の塗布ノズル
は、塗布ノズル内部に、塗液溜まり部へ塗液を分散して
供給する塗液分散手段を有する。塗液分散手段は、塗液
４２の流れを遮る障壁構造物と、遮られた塗液４２の流
れを逃がす流路によって構成される。具体的には複数孔
を配置した板状体やスリットを設けた板状体、メッシュ
を有するフィルター等が挙げられる。このような塗液分
散手段によって、内部に空間部を有するノズルにおいて
も、塗液が塗液溜まり部へ到達するまでの流路を規定す
ることができる。

【００３７】特に、図３に示すような、塗液供給ノズル
７８を塗布ノズル内に有する構造のものが好ましい。塗
液供給ノズル７８は、天板８０と組み合わせて構成され
ており、分散孔９４がノズル２０の長手方向に配列され
ている。従って、塗液供給ノズル７８へ供給された塗液
４２は、一旦塗液供給ノズル７８内に充満し、それから
ノズル２０の長手方向に配列された分散孔９４からノズ
ル２０内の塗液溜まり部７７へ分散吐出される。

【００３８】このとき分散孔９４は、少なくとも２孔以
上であることが望ましく、数多く設けられている程好ま
しい。また分散孔９４の直径は、全分散孔から均一量の
塗液を吐出できるよう、５〜０．５ｍｍ程度であること
が好ましい。また、前記実施態様において、分散孔９４
はスリット状開口部でもよく、その場合、塗液供給ノズ
ルの下部にノズル長手方向に長く設けることが望まし
い。

【００３９】また、塗液供給ノズルは、天板８０を取り
外すことで塗液供給ノズル内部が開放でき、洗浄作業を
行える構成であることが好ましい。

【００４０】ノズル２０内の塗液量は、塗布動作が停止
する毎に検知される。本発明の塗布装置においては、ノ
ズル２０内の塗液量を塗液に対し非接触で検出する検出
手段を有する。非接触の検出手段を用いることにより、
塗液の汚染を防ぐことができる。図３に、塗液量の非接
触検出手段である非接触変位計８８を用いて塗液溜まり
部７７の液面を測定する構成を示す。非接触変位計８８
は全体コントローラ６０と電気的に接続され、全体コン
トローラ６０はその検出信号に応じて、供給装置コント
ローラ５８を制御する。また、非接触変位計８８をノズ
ル２０に直接固定せず、別部材であるセンサブラケット
９０に固定する構成にすることで、ノズル２０の交換時
も非接触変位計８８は常に別部材に固定された状態にあ
り、ノズル交換の度にセンサ位置合わせ等の調整をする
必要が無い。

【００４１】前記センサブラケット９０は、ノズル２０
の形状仕様の違いにより検出液面高さレベルが異なるこ
とも考慮して、非接触変位計８８の位置を高さ方向に移
動調整可能で、任意の位置で固定できるものが望まし
い。本発明において、非接触変位計８８はレーザー式、
超音波式等非接触検出できるセンサであれば適用でき、
中でも検出精度や検出レンジの広さからレーザー式変位
計が最も好ましい。この場合、ノズル２０には透明プレ
ート９２を取り付けて、液面を検出できるよう配慮す
る。

【００４２】また図４に示すように、ノズル２０内の塗
液量検知手段はノズル重量を測定することでも同様の結
果が得られる。重量検知センサ９６は、ノズル２０とノ
ズル２０を支持するホルダ２２との間に設置し、ノズル
２０とノズル内部の塗液４２の重量のみ測定することが
望ましいが、ノズル２０の重量変化を測定できる部分で
あれば設置場所は問わない。重量検知センサ９６は、非
接触変位計８８と同様に全体コントローラ６０と電気的
に接続され、全体コントローラ６０は前述の通り、その
検出信号に応じて供給装置コントローラ５８を制御す
る。重量検知センサ９６は検知重量を電気信号に変換で
きるロードセルを用いることが最も好ましい。

【００４３】前記塗液供給ノズル７８には、フィルタ４
７、塗液供給ホース４６、塗液制御弁４８、容量が小さ
く、軽量の２次塗液タンク９７が接続されている。さら
に、２次塗液タンク９７には、塗液補給ホース９８、塗
液制御弁９９、固定式、大容量の１次塗液タンク１００
が連なっている。１次塗液タンク１００、２次塗液タン
ク９７には塗液４２が蓄えられており、圧空制御弁５
４、５５を介して圧空源５０に接続されている。

【００４４】２次塗液タンク９７に小容量、軽量のもの
を採用することで、ノズル２０の近くに設けることがで
き、ノズル移動塗布であれば、ノズルと一緒に移動させ
るように設置することができる。これにより、２次塗液
タンク９７からノズル２０へ短時間で塗液を供給するこ
とができる。

【００４５】２次塗液タンク９７への塗液の補給は、１
次塗液タンク１００から行なう。１次塗液タンク１００
と２次塗液タンク９７の間の塗液補給ホース９８の長さ
は長くなり、１次塗液タンク１００から２次塗液タンク
への塗液の補給速度は遅くなるが、２次塗液タンク９７
からノズル２０へ塗液を供給していない時はいつでも、
１次塗液タンク１００から２次塗液タンク９７へ塗液を
補給し続けることができるので、２次塗液タンク内の塗
液が無くならないようすることができる。

【００４６】また、２次塗液タンク９７は、タンク内の
塗液量を塗液に対し非接触で検出する手段を有するのが
好ましい。非接触の検出手段を用いることにより、塗液
の汚染を防ぐことができる。図５には、塗液量の非接触
検出手段である非接触変位計１０１を用いて２次塗液タ
ンク内の液面を測定する構成を示す。非接触変位計１０
１は全体コントローラ６０と電気的に接続され、全体コ
ントローラ６０はその検出信号に応じて、供給装置コン
トローラ５８を制御する。非接触検出手段としては、ノ
ズル２０と同様に、レーザー式、超音波式等、非接触で
検出できるセンサーであれば適用できる。この場合、２
次塗液タンクには透明プレート１０２を取り付けて液面
を検出できるように配慮する。

【００４７】ノズル２０での基材への塗布作業と、それ
によるノズル２０への、２次塗液タンク９７からの塗液
の供給作業を繰り返すと、２次塗液タンク９７内の塗液
液面が下がる。その塗液液面高さを非接触変位計１０１
で検出し、その検出信号を全体コントローラ６０へ送信
する。２次塗液タンク９７内の塗液液面高さの下限値と
上限値を別途設定しておき、全体コントローラ６０は塗
液液面の下降量から、１次塗液タンク１００から２次塗
液タンク９７への塗液補給命令を供給装置コントローラ
５８へ送信する。供給装置コントローラ５８は、塗液制
御弁９９と圧空制御弁５５を操作し、圧空源５０から圧
空を１次塗液タンク１００に供給し、１次塗液タンク１
００から塗液を必要量だけ塗液補給ホース９８を通じて
２次塗液タンク９７へ補給する。この場合、逐次液面を
検出しながら全体コントローラ６０がフィードバック制
御で供給装置コントローラ５８を制御し、所定の液面高
さ、つまり上限値に到達した時点で塗液供給を停止する
方法が好ましい。所定の塗液量を供給した後、塗液制御
弁９９、圧空制御弁５５を閉じ、塗液補給を停止する。

【００４８】また、１次塗液タンク１００から２次塗液
タンク９７、２次塗液タンク９７から塗布ノズルへの塗
液の液送方法としては、それぞれの間のホース中に定容
量ポンプを設置し、ポンプ輸送してもよい。

【００４９】また、圧空源５０は、空気、窒素等の気体
供給装置が好ましく、減圧弁が設置され（図示しない）
圧力が調整できることが好ましい。

【００５０】また、塗液液面の非接触検出手段の別の態
様として、図６に示すように、塗布ノズルと同様に２次
塗液タンク重量を測定することでも同様の結果が得られ
る。重量検知センサ１０３は、２次塗液タンク９７と２
次塗液タンクを支持するホルダ１０４との間に設置し、
２次塗液タンク９７とタンク内部の塗液４２の重量のみ
を測定することが望ましいが、２次塗液タンク９７の重
量変化を測定できる部分であれば設置場所は問わない。
重量検知センサ１０３は非接触変位計１０１と同様に全
体コントローラ６０と電気的に接続され、全体コントロ
ーラ６０は前記と同様にその検出信号に応じて、供給装
置コントローラ５８を制御する。重量検知センサは検知
重量を電気信号に変換できるロードセルを用いることが
最も好ましい。

【００５１】また図５、図６の実施態様において、塗液
制御弁９９は、図２、図３、図４の実施態様と同様、弁
の開閉部分が非摺動型のタイプを用いるのが好ましい。
これにより塗液４２への摩耗粉混入を未然に防ぎ、プラ
ズマディスプレイパネルの製造において異物混入による
発光不良欠点を防ぐことができる。また、１次塗液タン
クにも、２次塗液タンクと同様に、塗液量を塗液に対し
非接触で検出する手段を有してもよい。

【００５２】図７は、２次塗液タンク９７から塗布ノズ
ル２０へ、１次塗液タンク１００から２次塗液タンク９
７への塗液の供給・補給タイミングを模式的に表した図
である。

【００５３】２次塗液タンク９７から塗布ノズル２０へ
の塗液の供給は、塗布ノズル２０が基材へ塗布していな
い時、つまり、基材への塗布が一旦終了し、次の基材へ
塗布を開始するそれまでの間のインターバルに行なう。
このインターバルは、主に基材と塗布ノズルの位置合わ
せ等に費やされるが、タクトタイムを考えれば、このイ
ンターバル内で、塗布ノズルへの塗液供給をすますのが
好ましい。従って前述の方法が好ましい。

【００５４】また、１次塗液タンク１００から２次塗液
タンク９７への塗液の補給は、２次塗液タンク９７から
塗布ノズル２０へ塗液を供給していない時に行い、塗布
ノズル２０が塗布作業中であってもよい。

【００５５】２次塗液タンク９７から塗布ノズル２０へ
の塗液供給能力と供給時間、および１次塗液タンク１０
０から２次塗液タンク９７への塗液供給能力と供給時間
は、塗布ノズル２０及び２次塗液タンク９７が空になら
ないように設計すればよい。また、１次塗液タンクの容
量は、生産１ロット分の基材枚数を塗布するのに使用す
る塗液の量であってもよいが、更に連続で塗布する場合
は、２次塗液タンクに塗液が残っている間であれば、２
次塗液タンクから塗布ノズルへ塗液を供給することがで
きるので、この間に１次塗液タンクに塗液を人手により
補給したり、あるいは、塗液が入った別の１次塗液タン
クに交換することで、連続塗布生産が可能となる。

【００５６】また、塗液中の泡による塗布欠点を無くす
ために、１次塗液タンク１００には真空ポンプ１０５に
より、真空配管１１１、真空配管弁１１２を介して塗液
を真空脱泡できる手段を有するのが好ましい。また、脱
泡した塗液を２次塗液タンク９７へ補給する時、空気が
再び混入するのを防止するために、２次塗液タンク９７
の塗液補給口１０６をパイプ形状にして絶えず塗液補給
口は塗液中に浸漬しているようにするか、２次塗液タン
クの内壁と伝わすようにするのが好ましい。なお、１次
塗液タンク１００や２次塗液タンク９７には圧力計１１
３を設けて内部圧力を確認できるようにしておくことが
好ましい。

【００５７】また、１次塗液タンク１００は大容量とす
ることができるが、長い間塗液をタンク中に静置してお
くと、塗液中の組成物が分離して変質する可能性があ
り、それを防止するために、塗液を撹拌処理できる手段
を有するのが好ましい。また、真空脱泡を効率的に行な
うためにも撹拌処理は有効である。撹拌処理手段は、１
次塗液タンク１００のフタ１０７を貫通して取り付けら
れた支持棒１０８と、支持棒の上に取り付けられたモー
タ１０９と、下に取り付けられた撹拌羽根１１０から構
成される。

【００５８】またノズル２０内の塗液量は塗布動作が停
止する毎に検知される。上記実施態様に係る塗布装置に
おいては、塗布ノズル内の塗液量を塗液に対し非接触で
検出する検出手段を有する。非接触の検出手段を用いる
ことにより、塗液の汚染を防ぐことができる。図３には
塗液量の非接触検出手段である非接触変位計８８を用い
て塗液溜まり部７７の液面を測定する構成を示したが、
非接触変位計８８は全体コントローラ６０と電気的に接
続され、全体コントローラ６０はその検出信号に応じ
て、供給装置コントローラ５８を制御する。また、非接
触変位計８８はノズル２０に直接固定せず、別部材であ
るセンサブラケット９０で固定されているため、Ｒ、
Ｇ、Ｂの塗液塗布のためのノズル２０交換時も非接触変
位計８８は常に別部材に固定された状態にある。前記セ
ンサブラケット９０はノズル２０の形状仕様の違いによ
り検出液面高さレベルが異なることも考慮して非接触変
位計８８の位置を高さ方向に移動調整可能で、任意の位
置で固定できるものが望ましい。本発明において非接触
変位計８８は、レーザー式、超音波式等非接触検出でき
るセンサであれば適用でき、中でも検出精度や検出レン
ジの広さからレーザー式変位計が最も望ましい。この場
合ノズル２０には透明プレート９２を取り付け液面を検
出できるよう配慮する。

【００５９】また図４に示したように、ノズル２０内の
塗液量検知手段は、ノズル重量を測定することでも同様
の結果が得られる。重量検知センサ９６はノズル２０と
ノズル２０を支持するホルダ２２との間に設置し、ノズ
ル２０とノズル内部の塗液４２の重量のみ測定すること
が望ましいが、ノズル２０の重量変化を測定できる部分
であれば設置場所は問わない。重量検知センサ９６は非
接触変位計８８と同様に全体コントローラ６０と電気的
に接続され、全体コントローラは前記と同様にその検出
信号に応じて、供給装置コントローラ５８を制御する。
重量検知センサは検知重量を電気信号に変換できるロー
ドセルを用いることが最も望ましい。

【００６０】また前記実施態様においてモータコントロ
ーラ６２には、テーブル６を駆動するＡＣサーボモータ
１６や、昇降機構３０と幅方向移動機構３６のそれぞれ
のアクチュエータ９１，９３（たとえば、ＡＣサーボモ
ータ）、さらにはテーブル６の移動位置を検出する位置
センサ６８からの信号、ノズル２０の作動位置を検出す
るＹ、Ｚ軸の各々のリニアセンサ（図示しない）からの
信号などが入力される。なお、位置センサ６８を使用す
る代わりに、ＡＣサーボモータ１６にエンコーダを組み
込み、このエンコーダから出力されるパルス信号に基づ
き、テーブル６の位置を検出することも可能である。

【００６１】なお、前述の塗液塗布装置の全体構成にお
いて、高さセンサー４０としては、レーザ、超音波等を
利用した非接触測定形式のもの、ダイヤルゲージ、差動
トランス等を利用した接触測定形式のもの等、測定可能
な原理のものならいかなるものを用いてもよい。

【００６２】また、塗布ノズルの吐出孔４４が凹部と対
応する相対位置を検知する検知手段は、基材の凹部と吐
出孔を各々別個に検知するカメラを用いた画像処理装置
により構成してもよい。

【００６３】次にこの塗布装置を使った塗布方法の基本
動作について説明する。まず塗布装置における各作動部
の原点復帰が行われるとテーブル６、ノズル２０は各々
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の準備位置に移動する。この時、ノズ
ル２０内は所定の塗液量が既に溜められており、塗液制
御弁４８，圧空制御弁５４、圧空制御弁８２は閉状態と
しておく。そして、テーブル６の表面には図示しないリ
フトピンが上昇し、図示しないローダから隔壁が一定ピ
ッチのストライプ状に形成されている基材４がリフトピ
ン上部に載置される。

【００６４】次にリフトピンを下降させて基材４をテー
ブル６の上面に載置し、図示しないアライメント装置に
よってテーブル６上の位置決めが行われた後に基材２を
吸着する。

【００６５】次にテーブル６がカメラ７２と、高さセン
サー４０の真下に基材４の隔壁（凸部頂上）がくるまで
移動し、停止する。カメラ７２はテーブル６上に位置決
めされた基材４上の隔壁端部を写し出すようにあらかじ
め位置調整されており、画像処理によって一番端の凹部
の位置を検出し、カメラ基準点からの位置変化量ｌａを
求める。一方、カメラ７２の基準点と、所定のＹ軸座標
位置Ｙａにある時のホルダ２２に固定されたノズル２０
の最端部に位置する吐出孔４４間の長さｌｂは、事前の
調整時に測定し、情報として全体コントローラ６０に入
力しているので、画像処理装置７４からカメラ基準点か
らの隔壁凹部の位置変化量ｌａが電送されると、ノズル
２０の最端部に位置する吐出孔４４が隔壁端部の凹部の
真上となるＹ軸座標値Ｙｃを計算し（例えば、Ｙｃ＝Ｙ
ａ＋ｌｂ−ｌａ）、ノズル２０をその位置に移動させ
る。なお、カメラ７２は、ノズル２０やホルダ２２に取
り付けても同じ機能を持たせることができる。

【００６６】この間に高さセンサー４０は基材４の隔壁
頂上部の垂直方向の位置を検知し、テーブル６上面との
位置の差から基材４の隔壁頂上部の高さを算出する。こ
の高さに、あらかじめ与えておいたノズル２０吐出孔〜
基材４の隔壁頂上部間の間隙値を加算して、ノズル２０
のＺ軸リニアセンサー上での下降すべき値を演算し、そ
の位置にノズルを移動する。これによって、テーブル６
上での隔壁頂上部位置が基材ごとに変化しても、塗布に
重要なノズル２０吐出孔〜基材上の隔壁頂上部間の間隙
を常に一定に保てるようになる。

【００６７】次にテーブル６をノズル２０の方へ向けて
動作を開始させ、ノズル２０の吐出孔４４の真下に基材
４の塗布開始位置が到達する前に所定の塗布速度まで増
速させておく。テーブル６の動作開始位置と塗布開始位
置までの距離は塗布速度まで増速できるよう十分確保で
きていなければならない。

【００６８】さらに基材４の塗布開始位置がノズル２０
の吐出孔４４の真下に至るまでの所に、テーブル６の位
置を検知する位置センサー６８を配置しておき、テーブ
ル６がこの位置に達したら、圧空制御弁８２を開状態に
駆動させ、減圧弁８４によってあらかじめ所定の圧力に
調整された圧空をノズル２０へ供給する。ノズル２０へ
供給された圧空は空間部７６へ導入され、塗液溜まり部
７７の液面に圧力を加え、塗液４２が吐出孔４４より吐
出される。塗液４２の供給を開始する位置は位置センサ
ー６８の設置場所を変えて調整することができる。この
位置センサー６８の代わりに、モータあるいはフィード
スクリューにエンコーダを接続したり、テーブルにリニ
アセンサーを付けたりすると、エンコーダやリニアセン
サーの値で検知しても同様なことが可能となる。

【００６９】塗布は、基材４の塗布終了位置がノズル２
０の吐出孔４４の真下付近に来るまで行われる。すなわ
ち、基材４はいつもテーブル６上の定められた位置に置
かれているから、基材４の塗布終了位置がノズル２０の
吐出孔４４の（ａ）たとえば真下にくる５ｍｍ前や、
（ｂ）丁度真下になる位置に相当するテーブル６の位置
に、位置センサーやそのエンコーダ値をあらかじめ設定
しておき、テーブル６が（ａ）に対応する位置にきた
ら、全体コントローラ６０から圧空制御弁８２を閉状態
にする駆動指令を出し圧空の供給を停止して、（ｂ）の
位置まで塗工し、次いでテーブル６が（ｂ）に対応する
位置にきたら、ノズル２０を上昇させて完全に塗液４２
をたちきる。塗液４２が比較的高粘度の液体である場合
には、単に圧空の供給を停止しただけでは、残圧による
ノズル２０吐出孔からの塗液吐出までも瞬時に停止する
ことは難しい。そのために、圧空の供給を停止すると同
時にノズル２０内の空間部７６の圧力を大気圧にする
と、短時間で吐出孔４４からの塗液の吐出停止が可能と
なるので、圧空制御弁８２にこのような機能をもたせる
か、あるいは、圧空制御弁８２〜ノズル２０の間に大気
開放バルブを設けるのが望ましい。

【００７０】さて、塗布終了位置を通過しても、テーブ
ル６は動作を続け、終点位置にきたら停止する。ノズル
２０への塗液補充工程はこのテーブル６が停止した状態
で行う。塗布作業によりノズル２０内の塗液液面は既に
下がっているので、非接触変位計８８により塗液液面高
さを検出しその検出信号を全体コントローラ６０へ送信
する。全体コントローラ６０は塗液液面の下降量から、
塗液供給指令を供給装置コントローラ５８へ送信する。
供給装置コントローラ５８は塗液制御弁４８と圧空制御
弁５４を操作し圧空を塗液タンク５６に供給し、塗液タ
ンク５６から塗液必要量を供給ホース４６、フィルタ４
７を通じて塗液供給ノズル７８へ注入する。塗液供給ノ
ズル７８内に充満した塗液はその分散孔９４から塗液溜
まり部７７へ降り注ぎ、長手方向へ均一に塗液供給す
る。この場合、あらかじめ圧力と時間から演算した塗液
量を供給するのではなく、逐次液面を検出しながら全体
コントローラ６０がフィードバック制御で供給装置コン
トローラ５８を制御し、所定の液面高さに到達した時点
で塗液供給を停止する方法でも良い。更にこの場合塗液
４２の粘性により液面が水平となるには時間遅れがある
ことが予想される為、あらかじめ遅れ時間を予測した所
定液面高さより低い位置で供給停止するような予測制御
が望ましい。所定の塗液量を供給した後、塗液制御弁４
８，圧空制御弁５４を閉じ、塗液供給を停止する。

【００７１】また次に塗布すべき部分がまだ残っている
場合には、次の塗布すべき開始位置までノズルをＹ軸方
向に塗布幅分（ノズルピッチ×孔数）移動して、以下テ
ーブル６を反対方向に移動させることを除いては同じ手
順で塗布を行う。１回目と同一のテーブル６の移動方向
で塗布を行なうのなら、ノズル２０は次の塗布すべき開
始位置までＹ軸方向に移動し、テーブル６はＸ軸準備位
置まで復帰させる。

【００７２】そして塗布工程が完了したら、基材４をア
ンローダで移載する場所までテーブル６を移動して停止
させ、基材４の吸着を解除するとともに大気開放した後
に、リフトピンを上昇させて基材４をテーブル６の面か
ら引き離し、持ち上げる。

【００７３】このとき図示されないアンローダによって
基材４の下面が保持され、次の工程に基材４を搬送す
る。基材４をアンローダに受け渡したら、テーブル６は
リフトピンを下降させ原点位置に復帰する。

【００７４】また、前記実施態様では基材はＸ軸方向に
移動し、ノズルがＹ軸、Ｚ軸方向に移動する場合での適
用例について記述したが、ノズル２０と基材４が相対的
に３次元的に移動できる構造、形式のものであるのな
ら、テーブル、ノズルの移動形式はいかなる組み合わせ
のものでもよい。

【００７５】たとえば、前述の実施態様では、塗布はテ
ーブルの移動、凹凸のピッチ方向への移動は、ノズルの
移動によって行う例を示したが、塗布をノズルの移動、
凹凸のピッチ方向への移動をテーブルの移動で行っても
よい。

【００７６】また、一種類の塗液を塗布する場合につい
て詳しく言及したが、赤、青、緑等の３色の蛍光体を同
時に塗布する場合にも本発明は適用できる。

【００７７】さらに使用できる塗布条件としては、塗布
速度が０．１〜１０ｍ／分、より好ましくは、０．５〜
８ｍ／分である。

【００７８】また、別の実施態様として図５に示すよう
に、塗液供給ノズル７８には、フィルタ４７、塗液供給
ホース４６、塗液制御弁４８、容量が小さく、軽量の２
次塗液タンク９７が連なっている。さらに、２次塗液タ
ンク９７には、塗液補給ホース９８、塗液制御弁９９、
固定式、大容量の１次塗液タンク１００が連なってい
る。１次塗液タンク１００、２次塗液タンク９７には塗
液４２が蓄えられており、圧空制御弁５４、５５を介し
て圧空源５０に接続されている。

【００７９】２次塗液タンク９７に小容量、軽量のもの
を採用することで、塗布ノズル４２の近くに設けること
ができ、ノズル移動塗布であれば、ノズルと一緒に移動
させるように設置することができる。これにより、２次
塗液タンク９７から塗布ノズル２０へ短時間で塗液を供
給することができる。

【００８０】２次塗液タンク９７への塗液の補給は、１
次塗液タンク１００から行なう。１次塗液タンク１００
と２次塗液タンク９７の間の塗液補給ホース９８の長さ
は長くなり、１次塗液タンク１００から２次塗液タンク
への塗液の補給速度は遅くなるが、２次塗液タンク９７
から塗布ノズル１００へ塗液を供給していない時はいつ
でも、１次塗液タンク１００から２次塗液タンク９７へ
塗液を補給し続けることができるので、２次塗液タンク
内の塗液が無くならないようすることができる。

【００８１】また、２次塗液タンク９７は、タンク内の
塗液量を塗液に対し非接触で検出する手段を有するのが
好ましい。非接触の検出手段を用いることにより、塗液
の汚染を防ぐことができる。図５には、塗液量の非接触
検出手段である非接触変位計１０１を用いて２次塗液タ
ンク内の液面を測定する構成を示す。非接触変位計１０
１は全体コントローラ６０と電気的に接続され、全体コ
ントローラ６０はその検出信号に応じて、供給装置コン
トローラ５８を制御する。非接触検出手段としては、塗
布ノズルと同様に、レーザー式、超音波式等、非接触で
検出できるセンサーであれば適用できる。この場合、塗
布ノズルと同様に、２次塗液タンクには透明プレート１
０２を取り付けて液面を検出できるように配慮する。

【００８２】塗布ノズル２０での基材への塗布作業と、
それによる塗布ノズル２０への、２次塗液タンク９７か
らの塗液の供給作業を繰り返すと、２次塗液タンク９７
内の塗液液面が下がる。その塗液液面高さを非接触変位
計１０１で検出し、その検出信号を全体コントローラ６
０へ送信する。２次塗液タンク９７内の塗液液面高さの
下限値と上限値を別途設定しておき、全体コントローラ
６０は塗液液面の下降量から、１次塗液タンク１００か
ら２次塗液タンク９７への塗液補給命令を供給装置コン
トローラ５８へ送信する。供給装置コントローラ５８
は、塗液制御弁９９と圧空制御弁５５を操作し、圧空源
５０から圧空を１次塗液タンク１００に供給し、１次塗
液タンク１００から塗液を必要量だけ塗液補給ホース９
８を通じて２次塗液タンク９７へ補給する。この場合、
逐次液面を検出しながら全体コントローラ６０がフィー
ドバック制御で供給装置コントローラ５８を制御し、所
定の液面高さ、つまり上限値に到達した時点で塗液供給
を停止する方法が好ましい。所定の塗液量を供給した
後、塗液制御弁９９、圧空制御弁５５を閉じ、塗液補給
を停止する。

【００８３】また、１次塗液タンク１００から２次塗液
タンク９７、２次塗液タンク９７から塗布ノズルへの塗
液の液送方法としては、それぞれの間のホース中に定容
量ポンプを設置し、ポンプ輸送してもよい。

【００８４】また、圧空源５０は、図２〜図４の実施態
様と同様、空気、窒素等の気体供給装置が好ましく、減
圧弁が設置され（図示しない）圧力が調整できることが
好ましい。

【００８５】また、塗液液面の非接触検出手段の別の態
様として、図６に示すように、塗布ノズルと同様に２次
塗液タンク重量を測定することでも同様の結果が得られ
る。重量検知センサ１０３は、２次塗液タンク９７と２
次塗液タンクを支持するホルダ１０４との間に設置し、
２次塗液タンク９７とタンク内部の塗液４２の重量のみ
を測定することが望ましいが、２次塗液タンク９７の重
量変化を測定できる部分であれば設置場所は問わない。
重量検知センサ１０３は非接触変位計１０１と同様に全
体コントローラ６０と電気的に接続され、全体コントロ
ーラ６０は前記と同様にその検出信号に応じて、供給装
置コントローラ５８を制御する。重量検知センサは検知
重量を電気信号に変換できるロードセルを用いることが
最も好ましい。

【００８６】また図５、図６の実施態様において、塗液
制御弁９９は、図２、図３、図４の実施態様と同様、弁
の開閉部分が非摺動型のタイプを用いるのが好ましい。
これにより塗液４２への摩耗粉混入を未然に防ぎ、プラ
ズマディスプレイパネルの製造において異物混入による
発光不良欠点を防ぐことができる。

【００８７】図７は、２次塗液タンク９７から塗布ノズ
ル２０へ、１次塗液タンク１００から２次塗液タンク９
７への塗液の供給・補給タイミングを模式的に表した図
である。

【００８８】２次塗液タンク９７から塗布ノズル２０へ
の塗液の供給は、塗布ノズル２０が基材へ塗布していな
い時、つまり、基材への塗布が一旦終了し、次の基材へ
塗布を開始するそれまでの間のインターバルに行なう。
このインターバルは、主に基材と塗布ノズルの位置合わ
せ等に費やされるが、タクトタイムを考えれば、このイ
ンターバル内で、塗布ノズルへの塗液供給をすますのが
好ましい。従って前述の方法が好ましい。

【００８９】また、１次塗液タンク１００から２次塗液
タンク９７への塗液の補給は、２次塗液タンク９７から
塗布ノズル２０へ塗液を供給していない時に行い、塗布
ノズル２０が塗布作業中であってもよい。

【００９０】２次塗液タンク９７から塗布ノズル２０へ
の塗液供給能力と供給時間、および１次塗液タンク１０
０から２次塗液タンク９７への塗液供給能力と供給時間
は、塗布ノズル２０及び２次塗液タンク９７が空になら
ないように設計すればよい。

【００９１】また、塗液中の泡による塗布欠点を無くす
ために、１次塗液タンク１００には真空ポンプ１０５に
より、塗液を真空脱泡できる手段を有するのが好まし
い。また、脱泡した塗液を２次塗液タンク９７への補給
する時、空気が再び混入するのを防止するために、２次
塗液タンク９７の塗液補給口１０６をパイプ形状にして
絶えず塗液補給口は塗液中に浸漬しているようにする
か、２次塗液タンクの内壁と伝わすようにするのが好ま
しい。

【００９２】また、１次塗液タンク１００は大容量とす
ることができるが、長い間塗液をタンク中に静置してお
くと、塗液中の組成物が分離して変質する可能性があ
り、それを防止するために、塗液を撹拌処理できる手段
を有するのが好ましい。また、真空脱泡を効率的に行な
うためにも撹拌処理は有効である。撹拌処理手段は、１
次塗液タンク１００のフタ１０７を貫通して取り付けら
れた支持棒１０８と、支持棒の上に取り付けられたモー
タ１０９と、下に取り付けられた撹拌羽根１１０から構
成される。

【００９３】また本発明の塗液の塗布装置および塗布方
法は、プラズマディスプレイパネル用部材における蛍光
体塗布工程に好ましく適用することができる。

【００９４】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の塗液の塗
布装置および塗布方法によれば、１次塗液タンクと２次
塗液タンクというように、塗液タンクを２つ有すること
で、２次塗液タンクを小さくすることができ、塗布ノズ
ルに近づけることができるため、短時間で塗布ノズル内
に安定して塗液を供給することができるとともに、長時
間運転が可能となる。

【００９５】また、２次塗液タンクに塗液が残っている
間であれば、２次塗液タンクから塗布ノズルへ塗液を供
給することができるので、この間に１次塗液タンクに塗
液を人手により補給したり、あるいは、塗液が入った別
の１次塗液タンクに交換することができるため、更に連
続塗布生産が可能となる。

【００９６】また、本発明の塗液の塗布装置および塗布
方法によれば、塗布ノズル内の塗液量が非接触で測定で
きるため、塗液内に異物を混入させることなくクリーン
な状態で所定の塗液量を維持し、塗布に使用することが
できる。

【００９７】また、塗液供給のための制御弁が非摺動開
閉構造であるため、摺動部分で発生する金属粉の混入が
無く、塗液をクリーンな状態で塗布に使用できる。前記
非接触変位計や非摺動開閉構造制御弁により、ノズル詰
まりを未然に防止し、塗布品質を低下させる異物混入問
題を解消することができる。

【００９８】また上記装置を用いることにより塗布基材
の高生産性と高品質化が可能な塗布方法が得られる。

【００９９】また、本発明のプラズマディスプレイパネ
ル用部材の製造方法およびプラズマディスプレイによれ
ば、前記塗液の塗布装置および塗布方法を使用するの
で、品質の高いプラズマディスプレイパネルを、長期に
渡って安定生産が可能となり、結果的に高い生産性、か
つ、安価に製造することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係る塗液の塗布装置の全
体斜視図である。

【図２】図１の装置のテーブルとノズル周りの構成を示
す模式図である。

【図３】図１の装置におけるノズルを塗布方向から見た
断面模式図である。

【図４】塗液量検知手段がノズル重量測定である本発明
の一実施態様の断面模式図である。

【図５】２次塗液タンク内の塗液量検知手段が液面レベ
ルの測定である本発明の一実施態様の断面概略図であ
る。

【図６】２次塗液タンク内の塗液量検知手段がタンク重
量測定である本発明の一実施態様の断面概略図である。

【図７】２次塗液タンク９７から塗布ノズル２０へ、１
次塗液タンク１００から２次塗液タンク９７への塗液の
供給・補給タイミングを模式的に表した図である。

【符号の説明】

２ 基台 ４ 基材 ６ テーブル ８ ガイド溝レール １０ フィードスクリュー １１ コネクタ １２ 軸受 １４ 自在継手 １６ ＡＣサーボモータ ２０ ノズル ２２ ホルダ ２４ 水平バー ２６ リニアアクチュエータ ２８ 昇降ブラケット ２９ 伸縮ロッド ３０ 昇降機構 ３２ Ｙ軸移動ブラケット ３４ 支柱 ３６ 幅方向移動機構 ３８ センサ支柱 ４０ 高さセンサー ４２ 塗液 ４４ 吐出孔 ４６ 塗液供給ホース ４７ フィルタ ４８ 塗液制御弁 ５０ 圧空源 ５４、５５ 圧空制御弁 ５６ 塗液タンク ５８ 供給装置コントローラ ６０ 全体コントローラ ６２ モータコントローラ ６６ センサー ６８ 位置センサ ７０ 支柱 ７２ カメラ ７４ 画像処理装置 ７６ 空間部 ７７ 塗液溜まり部 ７８ 塗液供給ノズル ８０ 天板 ８１ 圧空供給ホース ８２ 圧空制御弁 ８４ 減圧弁 ８６ 圧空源 ８８ 非接触変位計 ９０ センサブラケット ９２ 透明プレート ９４ 分散孔 ９６ 重量検知センサ ９７ ２次塗液タンク ９８ 塗液補給ホース ９９ 塗液制御弁 １００ １次塗液タンク １０１ 非接触変位計 １０２ 透明プレート １０３ 重量検知センサ １０４ ホルダ １０５ 真空ポンプ １０６ 塗液補給口 １０７ フタ １０８ 支持棒 １０９ モータ １１０ 撹拌羽根 １１１ 真空配管 １１２ 真空配管弁 １１３ 圧力計

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｂ (72)発明者 宮川 辰哉 滋賀県大津市園山１丁目１番１号 東レ株 式会社滋賀事業場内 Ｆターム(参考） 4D075 AC01 AC06 AC73 AC84 AC88 AC91 CA47 CA48 DA07 DB13 DC24 EA14 EC11 4F042 AA06 AB00 BA02 CA01 CB03 CB08 CB10 CB24 DD45 DF09 DF15 DF26 DF31 ED05 5C028 FF01 FF16 5C040 FA01 FA02 GG09 JA13 MA22 MA23 MA26

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗布ノズルを用いて基材に塗液を塗布す
   るための塗布装置であって、前記塗布ノズルへの塗液供
   給源は、塗液を貯蔵する１次塗液タンクと２次塗液タン
   クからなり、前記１次塗液タンクから前記２次塗液タン
   クへ塗液を供給し、前記２次塗液タンクから前記塗布ノ
   ズル内へ塗液を供給することを特徴とする塗液の塗布装
   置。
2. 【請求項２】 前記２次塗液タンクは、前記１次塗液タ
   ンクより少ない塗液を貯蔵する容量であることを特徴と
   する、請求項１に記載の塗液の塗布装置。
3. 【請求項３】 前記２次塗液タンク内の塗液量を検出す
   る検出手段を有し、その検出結果に応じて前記１次塗液
   タンクと前記２次塗液タンクの間に設置した塗液制御弁
   を開閉制御し、１次塗液タンクから２次塗液タンクへ塗
   液を供給することを特徴とする、請求項１または２に記
   載の塗液の塗布装置。
4. 【請求項４】 前記２次塗液タンク内の塗液量の検出手
   段は、塗液に対し非接触であることを特徴とする、請求
   項３に記載の塗液の塗布装置。
5. 【請求項５】 前記２次塗液タンク内の塗液量を非接触
   で検出する手段が、塗液の液面高さを検出するセンサー
   であることを特徴とする、請求項４に記載の塗液の塗布
   装置。
6. 【請求項６】 前記２次塗液タンク内の塗液量を非接触
   で検出する手段が、塗液を含めた２次塗液タンクの重量
   検出手段であることを特徴とする、請求項４に記載の塗
   液の塗布装置。
7. 【請求項７】 前記１次塗液タンクと２次塗液タンクの
   間に設置した塗液制御弁が非摺動開閉構造を有すること
   を特徴とする、請求項３〜６のいずれかに記載の塗液の
   塗布装置。
8. 【請求項８】 前記塗布ノズル内の塗液量を検出する検
   出手段を有し、その検出結果に応じて塗布ノズルと前記
   ２次塗液タンクの間に設置した塗液制御弁を開閉制御
   し、前記２次塗液タンクから塗布ノズルへ塗液を供給す
   ることを特徴とする、請求項１〜７のいずれかに記載の
   塗液の塗布装置。
9. 【請求項９】 前記塗布ノズル内の塗液量の検出手段
   は、塗液に対し非接触であることを特徴とする、請求項
   ８に記載の塗液の塗布装置。
10. 【請求項１０】 前記塗布ノズル内の塗液量を塗液に対
    し非接触で検出する手段が、塗液の液面高さを検出する
    センサーであることを特徴とする、請求項９に記載の塗
    液の塗布装置。
11. 【請求項１１】 前記塗布ノズル内の塗液量を塗液に対
    し非接触で検出する手段が、塗液を含めた塗布ノズルの
    重量検出手段であることを特徴とする、請求項９に記載
    の塗液の塗布装置。
12. 【請求項１２】 前記塗布ノズルと２次塗液タンクの間
    に設置した塗液制御弁が非摺動開閉構造を有することを
    特徴とする、請求項８〜１１のいずれかに記載の塗液の
    塗布装置。
13. 【請求項１３】 前記１次塗液タンク、および／また
    は、前記２次塗液タンクは、塗液を真空脱泡する手段
    と、塗液を撹拌処理する手段を有することを特徴とす
    る、請求項１〜１２のいずれかに記載の塗液の塗布装
    置。
14. 【請求項１４】 基材を固定するテーブルと、前記基材
    に対面して設けられ、基材に所定量の塗液を塗布する塗
    布ノズルと、テーブルと塗布ノズルとを３次元的に相対
    移動させる移動手段を備えたことを特徴とする、請求項
    １〜１３のいずれかに記載の塗液の塗布装置。
15. 【請求項１５】 前記基材の表面に、塗液が塗布される
    ストライプ状の凹部が複数形成されている、請求項１４
    に記載の塗液の塗布装置。
16. 【請求項１６】 前記基材の表面に、塗液が塗布される
    格子状の凹部が複数形成されている、請求項１４に記載
    の塗液の塗布装置。
17. 【請求項１７】 請求項１〜１６のいずれかに記載の塗
    布装置を用いて塗液を塗布することを特徴とする、塗液
    の塗布方法。
18. 【請求項１８】 前記塗布ノズルが基材に塗液を塗布し
    ていない間に、前記２次塗液タンクから前記塗布ノズル
    へ塗液を供給し、および／または、前記１次塗液タンク
    から前記２次塗液タンクへ塗液を供給することを特徴と
    する、請求項１７に記載の塗液の塗布方法。
19. 【請求項１９】 前記基材がプラズマディスプレイ用発
    光基板であって、前記塗液が赤色、緑色、青色のいずれ
    かの色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであり、請
    求項１〜１６のいずれかに記載の塗布装置を用いて塗布
    する工程を含むことを特徴とする、プラズマディスプレ
    イパネル用部材の製造方法。
20. 【請求項２０】 請求項１９に記載の方法により製造し
    たプラズマディスプレイパネル用部材を用いたことを特
    徴とするプラズマディスプレイパネル。