JP2000033289A - ノズル並びに凹凸基材への塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイの製造装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラズマディスプレイのように一定の凹凸状
パターンが形成された基材の複数の凹部に、複数の吐出
孔を有するノズルから塗液を塗布するに際し、隣接する
凹部への塗布量を若干変えて、塗布された凹凸基板の輝
度むらを抑制することを課題とし、高生産性と高品質を
可能とするノズル並びに、凹凸基材への塗液の塗布装置
および方法並びにプラズマディスプレイパネルの製造装
置および方法を提供する。 【解決手段】 マニホールド部と、該マニホールド部の
内側から外側に開口する複数の吐出孔からなる吐出孔群
を有し、前記吐出孔群は吐出量の異なる少なくとも２種
類の吐出孔からなり、かつ、同種の吐出孔がノズル幅方
向に少なくとも一つおきに配列されていることを特徴と
するノズル、並びに凹凸基材への塗液の塗布装置、およ
びその塗布方法、並びにそれを用いたプラズマディスプ
レイの製造装置および方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に凹凸状の
特定のパターンが形成されたもの、特に一定形状の隔壁
を等ピッチで配置したプラズマディスプレイパネルや、
ストライプ形ブラックマトリックス式のカラー受像管の
パネル内面等における一定パターンの塗布に適用でき
る、ノズル、凹凸基板への塗液の塗布装置および塗布方
法、並びにこれらの装置および方法を使用したプラズマ
ディスプレイの製造装置および製造方法の改良、並びに
改良されたプラズマディスプレイパネルに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ディスプレイはその方式において
次第に多様化してきている。現在注目されているものの
一つが、従来のブラウン管よりも大型で薄型軽量化が可
能なプラズマディスプレイである。これは、一定ピッチ
で一方向に延びる隔壁によりストライプ状の凹凸部をガ
ラス基板上に形成し、該凹凸部の凹部に赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）の蛍光体を充填し、任意の部位を紫外
線により発光させ、所定のカラーパターンを表示するも
のである。

【０００３】蛍光体がストライプ状に構成されていると
いう構造は、ストライプ形ブラックマトリックス式のカ
ラー受像管のパネルも有している。

【０００４】このような構造のものを高い生産性と高品
質で製造するには、蛍光体を一定のパターン状に、塗り
分ける技術が重要となる。

【０００５】たとえば特開平１０−２７５４３号公報に
は、プラズマディスプレイパネルの隔壁間を対象に、一
個あるいは複数の吐出孔を有するノズルで塗布する方法
が開示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の凹凸
基材への塗液の塗布方法においては、ノズルの吐出孔が
１個の場合、複数の凹部に対して同時に塗布する方法に
は適用できず、塗布のために時間がかかる。

【０００７】また、ノズルの吐出孔が複数個の場合、各
吐出孔からの吐出量にばらつきがあると、塗布後の基板
には輝度むらが発生する。各吐出孔からの吐出量、つま
り吐出の際の圧力損失を揃えるためには、吐出孔の孔径
や孔長のばらつきを極力小さくする必要があるが、これ
は孔数が増せば増すほど難しくなる。また、ノズル製作
に要する時間、コストもかかる。

【０００８】ノズルの中に、１孔でも他と吐出量が異な
る吐出孔があれば、それによる輝度むらがすじ状に明確
に見えるようになる。また、隣接する吐出孔の吐出量差
はそれほど大きくなくても、多数配列された吐出孔の両
端に位置する吐出孔間の吐出量差が大きくなることがあ
る。吐出孔の配列方向に吐出量がある勾配をもって変化
するような場合である。このようなノズルを用いて、一
つの凹凸基板の異なる位置に対して数回塗布行程を繰り
返すと、隣接行程間の境界部に顕著なすじ状の輝度むら
（塗布厚みむら）が発生する。

【０００９】本発明者らは、このような問題について鋭
意検討した結果、ノズルの各吐出孔からの吐出量のばら
つきを極小に抑えるには限界があるとともに、それを敢
えて行おうとすると著しく高価な装置になり、機構も複
雑化するおそれがあることに着目するとともに、細かい
ピッチで配設された複数の凹部への塗布量を、隣接する
１凹部毎に意図的に若干変えても、人間の目は輝度むら
を認識できない（認識できる程の分解能を有していな
い）ことを見出し、これを利用することにより、複数の
吐出孔を有するノズルで塗布する場合の、各吐出孔から
の吐出量のばらつきによる輝度むらの発生を解消すべく
本発明を完成した。

【００１０】つまり、本発明の課題は、プラズマディス
プレイパネルの隔壁のように、一定の凹凸状のパターン
が形成された基材の複数の凹部に、複数の吐出孔を有す
るノズルから所定の塗液を塗布するに際し、各吐出孔か
らの吐出量のばらつきを極力小さく抑えるために努力す
るものではなく、隣接する凹部への塗布量を若干変え
て、塗布された凹凸基板の輝度むらを抑制することにあ
り、高生産性と高品質を可能とするノズル並びに、凹凸
基材への塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディ
スプレイパネルの製造装置および方法を提供することに
ある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のノズルは、マニホールド部と、該マニホー
ルド部の内側から外側に開口する複数の吐出孔からなる
吐出孔群を有し、前記吐出孔群は吐出量の異なる少なく
とも２種類の吐出孔からなり、かつ、同種の吐出孔がノ
ズル幅方向に少なくとも一つおきに配列されていること
を特徴とするものからなる。

【００１２】上記ノズルにおいては、上記吐出量の異な
る少なくとも２種類の吐出孔は、開口面積の異なる少な
くとも２種類の吐出孔、あるいは、吐出孔が長さの異な
る少なくとも２種類の吐出孔として構成できる。

【００１３】また、ノズルの吐出孔の配列については、
ノズル幅方向に全吐出孔が直線状に配列されていてもよ
く、ノズル幅方向に同種の吐出孔毎に直線状に配列され
ていてもよい。

【００１４】また、このように吐出量の異なる少なくと
も２種類の吐出孔が設けられるに際し、両端に位置する
吐出孔の種類は互いに異なるものであることが好まし
い。このようにすれば、同じノズルを用いて順次塗布行
程を繰り返す場合、隣接行程間の境界における隣接被塗
布凹部では、互いに異なる吐出孔からの塗液が塗布され
ることになる。

【００１５】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布装置は、表面に一方向にストライプ状に凹凸部が形成
されている凹凸基材を固定するテーブルと、前記凹凸基
材の凹凸部に対面して設けられた複数の吐出孔を有する
ノズルと、前記ノズルに塗液を供給する塗液供給手段
と、前記テーブルとノズルを３次元的に相対移動させる
移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置におい
て、前記ノズルに、上述のようなノズルを用いたことを
特徴とするものからなる。

【００１６】この凹凸基材への塗液の塗布装置において
は、上記ノズルの吐出孔のピッチが、凹凸基材の凸部ピ
ッチまたは凹部ピッチの３ｍ倍（ｍは自然数）である態
様を採用できる。たとえば、プラズマディスプレイパネ
ルでは異なる凹部に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３
色の蛍光体を塗布するので、このような吐出孔ピッチと
しておくことが好ましい。

【００１７】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布装置は、表面に一方向にストライプ状に一定ピッチで
凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル
と、前記凹凸基材の凹凸部に対面して設けられた複数の
吐出孔を有するノズルと、前記ノズルに塗液を供給する
塗液供給手段と、前記テーブルとノズルを３次元的に相
対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗
布装置において、前記ノズルの吐出孔のピッチが、前記
凹凸基材の凸部ピッチまたは凹部ピッチの３ｎ倍（ｎは
２以上の自然数）であり、かつ、塗布方向にｎ個以下の
ノズルを配したことを特徴とするものからなる。ここ
で、ノズルの個数を１個とし、そのノズルを吐出孔のピ
ッチ方向にずらして塗布を繰り返すことも可能であり、
ノズルを複数個塗布方向に配しておき、１回あるいは少
ない塗布行程の回数で、塗布すべき各凹部に同時に塗布
していくことも可能である。

【００１８】上記ｎ個以下（ｎは２以上の自然数）のノ
ズルの中には、他のノズルの吐出孔に対して吐出量の異
なる吐出孔を有するノズルを少なくとも１個含むことが
好ましい。吐出量の異なる吐出孔としては、他のノズル
の吐出孔に対して開口面積の異なる吐出孔、あるいは、
他のノズルの吐出孔に対して長さの異なる吐出孔に構成
できる。

【００１９】さらに、本発明に係る凹凸基材への塗液の
塗布装置は、表面に一方向にストライプ状に一定ピッチ
で凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル
と、前記凹凸基材の凹凸部に対面して設けられた複数の
吐出孔を有するノズルと、前記ノズルに塗液を供給する
塗液供給手段と、前記テーブルとノズルを３次元的に相
対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗
布装置において、前記ノズルの吐出孔のピッチが、吐出
孔の配列方向中央部において前記凹凸基材の凸部ピッチ
または凹部ピッチの３倍であり、かつ、少なくとも前記
ノズルの両端に位置する吐出孔とその内側に位置する吐
出孔との間のピッチが、前記凹凸基材の凸部ピッチまた
は凹部ピッチの６倍であることを特徴とするものからな
る。

【００２０】本発明に係るプラズマディスプレイの製造
装置は、塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの色に発光
する蛍光体粉末を含むペーストであって、上述のような
本発明に係る凹凸基材への塗液の塗布装置を用いたこと
を特徴とするものからなる。

【００２１】本発明に係る凹凸基材への塗液の塗布方法
は、表面に一方向にストライプ状に凹凸部が形成されて
いる凹凸基材と、前記凹凸基材の凹凸部に対面して設け
られた複数の吐出孔を有するノズルとを相対的に移動さ
せ、かつ、前記ノズルに塗液を供給して吐出孔から塗液
を吐出し、凹凸基材の選択された凹部に塗液を塗布する
塗布方法であって、隣り合う被塗布凹部には塗液の吐出
量を変えて塗布することを特徴とする方法からなる。

【００２２】この凹凸基材への塗液の塗布方法において
は、上選択された被塗布凹部が、凹凸基材の凸部ピッチ
または凹部ピッチの３ｍ倍（ｍは自然数）のピッチで配
された凹部であることが好ましい。

【００２３】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布方法は、表面に一方向にストライプ状に凹凸部が形成
されている凹凸基材と、前記凹凸基材の凹凸部に対面し
て設けられた複数の吐出孔を有するノズルとを相対的に
移動させ、かつ、前記ノズルに塗液を供給して吐出孔か
ら塗液を吐出し、凹凸基材の選択された凹部に塗液を塗
布する塗布方法であって、前記ノズルに、請求項１ない
し６のいずれかに記載のノズルを用いて塗布することを
特徴とする方法からなる。

【００２４】この凹凸基材への塗液の塗布方法において
は、上記ノズルに、吐出孔のピッチが前記凹凸基材の凸
部ピッチまたは凹部ピッチの３ｍ倍（ｍは自然数）であ
るものを用いて塗布することが好ましい。

【００２５】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布方法は、表面に一方向にストライプ状に凹凸部が形成
されている凹凸基材と、前記凹凸基材の凹凸部に対面し
て設けられた複数の吐出孔を有するノズルとを相対的に
移動させ、かつ、前記ノズルに塗液を供給して吐出孔か
ら塗液を吐出し、凹凸基材の選択された凹部に塗液を塗
布する塗布方法であって、前記ノズルに、吐出孔のピッ
チが前記凹凸基材の凸部ピッチまたは凹部ピッチの３ｎ
倍（ｎは２以上の自然数）のものを塗布方向にｎ個以下
用いて塗布することを特徴とする方法からなる。

【００２６】この凹凸基材への塗液の塗布方法において
は、上記ｎ個以下（ｎは２以上の自然数）のノズルの中
に、他のノズルの吐出孔に対して吐出量の異なる吐出孔
を有するノズルを少なくとも１個含むことが好ましい。
吐出量の異なる吐出孔としては、他のノズルの吐出孔に
対して開口面積の異なる吐出孔、あるいは、他のノズル
の吐出孔に対して長さの異なる吐出孔に構成できる。

【００２７】さらに、本発明に係る凹凸基材への塗液の
塗布方法は、表面に一方向にストライプ状に凹凸部が形
成されている凹凸基材と、前記凹凸基材の凹凸部に対面
して設けられた複数の吐出孔を有するノズルとを相対的
に移動させ、かつ、前記ノズルに塗液を供給して吐出孔
から塗液を吐出し、凹凸基材の選択された凹部に塗液を
塗布する塗布方法であって、前記ノズルに、吐出孔のピ
ッチが吐出孔の配列方向中央部において前記凹凸基材の
凸部ピッチまたは凹部ピッチの３倍であり、かつ、少な
くとも前記ノズルの両端に位置する吐出孔とその内側に
位置する吐出孔との間のピッチが、前記凹凸基材の凸部
ピッチまたは凹部ピッチの６倍であるものを用いて塗布
することを特徴とする方法からなる。

【００２８】本発明に係るプラズマディスプレイの製造
方法は、塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの色に発光
する蛍光体粉末を含むペーストであって、上述のような
本発明に係る凹凸基材への塗液の塗布方法を用いること
を特徴とする方法からなる。

【００２９】本発明に係るプラズマディスプレイパネル
は、一対の平行に配された基材の間に、電極および蛍光
体層が配設されガス媒体が封入された放電空間が形成さ
れ、電極による放電に伴って紫外線を発し、前記蛍光体
層で可視光に変換することによって発光するプラズマデ
ィスプレイパネルにおいて、同色に発光する、隣り合う
蛍光体層の厚みに差をもたせたことを特徴とするものか
らなる。

【００３０】この本発明に係るプラズマディスプレイパ
ネルにおいては、上記隣り合う蛍光体層の厚み差が２μ
ｍ以上であることが好ましい。また、隣り合う蛍光体層
の厚み差が１０μｍ以下であることが好ましい。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の望ましい実施の
形態を、図面を参照して説明する。まず、本発明の要部
である、ノズルやノズル周りの構成を説明する前に、本
発明に係る凹凸基材（たとえば、プラズマディスプレイ
パネル）への塗液の塗布装置の全体構成の例について説
明する。

【００３２】図１は、本発明の一実施態様に係る塗布装
置の全体斜視図、図２は図１のテーブル６とノズル２０
回りの模式図である。

【００３３】まず、塗液の塗布装置の全体構成について
説明する。図１は、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルの製造に適用される塗布装置の一例を示してい
る。この塗布装置は基台２を備えている。基台２上に
は、一対のガイド溝レール８が設けられており、このガ
イド溝レール８上にはテーブル６が配置されている。こ
のテーブル６の上面には、表面に凹凸が一定ピッチで一
方向にストライプ状に形成された基材４が、真空吸引に
よってテーブル面に固定可能となるように、サクション
面を構成する複数の吸着孔７が設けられている。また、
基材４は図示しないリフトピンによってテーブル６上を
昇降する。さらにテーブル６はスライド脚９を介してガ
イド溝レール８上をＸ軸方向に往復動自在となってい
る。

【００３４】一対のガイド溝レール８間には、図２に示
す送りねじ機構を構成するフィードスクリュー１０が、
テーブル６の下面に固定されたナット状のコネクタ１１
を貫通して延びている。フィードスクリュー１０の両端
部は軸受１２に回転自在に支持され、さらに片方の一端
にはＡＣサーボモータ１６が連結されている。

【００３５】図１に示すように、テーブル６の上方に
は、塗液吐出装置であるノズル２０がホルダー２２を介
して昇降機構３０、幅方向移動機構３６に連結してい
る。昇降機構３０は昇降可能な昇降ブラケット２８を備
えており、昇降機構３０のケーシング内部で一対のガイ
ドロッドに昇降自在に取り付けられている。また、この
ケーシング内にはガイドロッド間に位置してボールねじ
からなるフィードスクリュー（図示しない）もまた回転
自在に配置されており、ナット型のコネクタを介して昇
降ブラケット２８と連結されている。さらにフィードス
クリューの上端には図示しないＡＣサーボモータが接続
されており、このＡＣサーボモータの回転によって昇降
ブラケット２８を任意に昇降動作させることができるよ
うになっている。

【００３６】さらに、昇降機構３０はＹ軸移動ブラケッ
ト３２（アクチュエータ）を介して幅方向移動機構３６
に接続されている。幅方向移動機構３６はＹ軸移動ブラ
ケット３２をノズル２０の幅方向、すなわちＹ軸方向に
往復自在に移動させるものである。動作のために必要な
ガイドロッド、フィードスクリュー、ナット型コネクタ
ー、ＡＣサーボモータ等は、ケーシング内に昇降機構３
０と同じように配置されている。幅方向移動機構３６は
支柱３４により基台２上に固定されている。

【００３７】これらの構成によって、ノズル２０はＺ軸
とＹ軸方向に自在に移動させることができる。

【００３８】ノズル２０は、テーブル６の往復動方向と
直交する方向、つまりＹ軸方向に水平に延びているが、
これを直接保持するコの字形のホルダー２２は昇降ブラ
ケット２８内にて回転自在に支持されており、垂直面内
で自在に図中の矢印方向に回転することができる。

【００３９】このホルダ２２の上方には水平バー２４も
昇降ブラケット２８に固定されている。この水平バー２
４の両端部には、電磁作動型のリニアアクチュエータ２
６が取り付けられている。このリニアアクチュエータ２
６は水平バー２４の下面から突出する伸縮ロッドを有し
ており、これら伸縮ロッドがホルダ２２の両端部に接触
することによってホルダ２２の回転角度を規制すること
ができ、結果としてノズル２０の傾き度を任意に設定す
ることができる。

【００４０】さらに図１を参照すると、基台２の上面に
は逆Ｌ字形のセンサ支柱３８が固定されており、その先
端にはテーブル６上の基材４の凸部頂上の位置（高さ）
を測定する高さセンサ４０が取り付けられている。ま
た、高さセンサ４０の隣には、基材４の隔壁間の凹部の
位置を検知するカメラ７２が支柱７０に取り付けられて
いる。図２に示すように、カメラ７２は画像処理装置７
４に電気的に接続されており、隔壁間の凹部位置の変化
を定量的に求めることができる。

【００４１】さらに、テーブル６の一端には、センサー
ブラケット６４を介して、ノズル２０の開口部のある下
端面（開口部面）のテーブル６に対する垂直方向の位置
を検出するセンサー６６が取り付けられている。

【００４２】図２に示すように、ノズル２０はそのマニ
ホールド４１内に塗液４２が充填されており、開口部で
ある吐出孔４４が先端面上にならんでいる。そしてこの
吐出孔４４より塗液４２が吐出される。ノズル４０には
供給ホース４６が接続されており、さらに吐出用電磁切
換え弁４８、供給ユニット５０、吸引ホース５２、吸引
用電磁切換え弁５４、塗液タンク５６へと連なってい
る。塗液タンク５６には塗液４２が蓄えられている。塗
液４２は、赤色、緑色、青色のいずれかの色に発光する
蛍光体粉末を含むペーストからなる。

【００４３】供給ユニット５０の具体例としては、ピス
トン、ダイヤフラム型等の定容量ポンプ、チュービング
ポンプ、ギアポンプ、モーノポンプ、さらには液体を気
体の圧力で押し出す圧送コントローラ等がある。供給装
置コントローラ５８からの制御信号をうけて、供給ユニ
ット５０や、各々の電磁切換え弁の動作を行なわせ、塗
液タンク５６から塗液４２を吸引して、ノズル２０に塗
液４２を供給することができる。塗液タンク５６から定
容量ポンプへの塗液４２の吸引動作を安定化させるため
に、塗液タンク５６を密閉容器にして、空気、不活性ガ
スである窒素等の気体で圧力を付加してもよい。空気、
窒素等で常に一定の圧力を付加するには、塗液タンク５
６を空気、窒素等の供給装置に接続して圧力制御すれば
よい。圧力の大きさは０．０１〜１ＭＰａ、特に０．０
２〜０．５ＭＰａが好ましい。

【００４４】供給装置コントローラ５８はさらに、全体
コントローラ６０に電気的に接続されている。この全体
コントローラ６０には、モータコントローラ６２、高さ
センサー４０の電気入力等、カメラ７２の画像処理装置
７４からの情報等、すべての制御情報が電気的に接続さ
れており、全体のシーケンス制御を司れるようになって
いる。全体コントローラ６０は、コンピュータでも、シ
ーケンサでも、制御機能を持つものならばどのようなも
のでもよい。

【００４５】またモータコントローラ６２には、テーブ
ル６を駆動するＡＣサーボモータ１６や、昇降機構３０
と幅方向移動機構３６のそれぞれのアクチュエータ７
６、７８（たとえば、ＡＣサーボモータ）、さらにはテ
ーブル６の移動位置を検出する位置センサ６８からの信
号、ノズル２０の作動位置を検出するＹ、Ｚ軸の各々の
リニアセンサ（図示しない）からの信号などが入力され
る。なお、位置センサ６８を使用する代わりに、ＡＣサ
ーボモータ１６にエンコーダを組み込み、このエンコー
ダから出力されるパルス信号に基づき、テーブル６の位
置を検出することも可能である。

【００４６】次にこの塗布装置を使った塗布方法の基本
動作について説明する。まず塗布装置における各作動部
の原点復帰が行われるとテーブル６、ノズル２０は各々
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の準備位置に移動する。この時、塗液
タンク５６〜ノズル２０まで塗液はすでに充満されてお
り、吐出用電磁切換え弁４８は開、吸引用電磁切換え弁
５４は閉の状態にする。そして、テーブル６の表面には
図示しないリフトピンが上昇し、図示しないローダから
隔壁が一定ピッチのストライプ状に形成されている基材
４がリフトピン上部に載置される。

【００４７】次にリフトピンを下降させて基材４をテー
ブル６の上面に載置し、図示しないアライメント装置に
よってテーブル６上の位置決めが行われた後に基材２を
吸着する。

【００４８】次にテーブル６はカメラ７２と、高さセン
サー４０の真下に基材４の隔壁（凸部頂上）がくるまで
移動し、停止する。カメラ７２はテーブル６上に位置決
めされた基材４上の隔壁端部を写し出すようにあらかじ
め位置調整されており、画像処理によって一番端の凹部
の位置を検出し、カメラ基準点からの位置変化量ｌａを
求める。一方、カメラ７２の基準点と、所定のＹ軸座標
位置Ｙａにある時のホルダ２２に固定されたノズル２０
の最端部に位置する吐出孔４４間の長さｌｂは、事前の
調整時に測定し、情報として全体コントローラ６０に入
力しているので、画像処理装置７４からカメラ基準点か
らの隔壁凹部の位置変化量ｌａが電送されると、ノズル
２０の最端部に位置する吐出孔４４が隔壁端部の凹部の
真上となるＹ軸座標値Ｙｃを計算し（例えば、Ｙｃ＝Ｙ
ａ＋ｌｂ−ｌａ）、ノズル２０をその位置に移動させ
る。なお、カメラ７２は、ノズル２０やホルダ２２に取
り付けても同じ機能を持たせることができる。

【００４９】この間に高さセンサ４０は基材４の隔壁頂
上部の垂直方向の位置を検知し、テーブル６上面との位
置の差から基材４の隔壁頂上部の高さを算出する。この
高さに、あらかじめ与えておいたノズル２０開口部〜基
材４の隔壁頂上部間の間隙値を加算して、ノズル２０の
Ｚ軸リニアセンサー上での下降すべき値を演算し、その
位置にノズルを移動する。これによって、テーブル６上
での隔壁頂上部位置が基材ごとに変化しても、塗布に重
要なノズル２０開口部〜基材上の隔壁頂上部間の間隙を
常に一定に保てるようになる。

【００５０】次にテーブル６をノズル２０の方へ向けて
動作を開始させ、ノズル２０の開口部の真下に基材４の
塗布開始位置が到達する前に所定の塗布速度まで増速さ
せておく。テーブル６の動作開始位置と塗布開始位置ま
での距離は塗布速度まで増速できるよう十分確保できて
いなければならない。

【００５１】さらに基材４の塗布開始位置がノズル２０
の開口部の真下に至るまでの所に、テーブル６の位置を
検知する位置センサー６８を配置しておき、テーブル６
がこの位置に達したら、供給ユニット５０の動作を開始
して塗液４２のノズル２０への供給を開始する。ノズル
２０開口部より吐出される塗液４２が基材４に達するに
は、基材〜ノズル開口部間の間隙だけ時間遅れが生じ
る。そのため、事前に塗液４２をノズル２０に供給する
ことによって、基材４の塗布開始位置がノズル２０開口
部の丁度真下に来たところでノズル２０から吐出された
所定量の塗液４２が基板４に到達するので、ほとんど厚
みむらゼロの状態で塗布を開始することができる。塗液
４２の供給を開始する位置は位置センサー６８の設置場
所を変えて調整することができる。この位置センサー６
８の代わりに、モータあるいはフィードスクリューにエ
ンコーダを接続したり、テーブルにリニアセンサーを付
けたりすると、エンコーダやリニアセンサーの値で検知
しても同様なことが可能となる。

【００５２】塗布は、基材４の塗布終了位置がノズル２
０の開口部の真下付近に来るまで行われる。すなわち、
基材４はいつもテーブル６上の定められた位置に置かれ
ているから、基材４の塗布終了位置がノズル２０の開口
部の（ａ）たとえば真下にくる５ｍｍ前や、（ｂ）丁度
真下になる位置に相当するテーブル６の位置に、位置セ
ンサーやそのエンコーダ値をあらかじめ設定しておき、
テーブル６が（ａ）に対応する位置にきたら、全体コン
トローラ６０から供給装置コントローラ５８に停止指令
を出して塗液４２のノズル２０への供給を停止して、
（ｂ）の位置までスキージ塗工し、次いでテーブル６が
（ｂ）に対応する位置にきたら、ノズル２０を上昇させ
て完全に塗液４２をたちきる。塗液４２が比較的高粘度
の液体である場合には、単に塗液の供給を停止しただけ
では、残圧によるノズル２０開口部からの塗液吐出まで
も瞬時に停止することは難しい。そのために、塗液の供
給を停止するとと同時にノズル２０内のマニホールド４
１圧力を大気圧にすると、短時間で開口部からの塗液の
吐出停止が可能となるので、供給ユニットにこのような
機能をもたせるか、あるいは、供給ユニットの吐出電磁
切換え弁４８〜ノズル２０の間に大気開放バルブを設け
るのが望ましい。

【００５３】さて、塗布終了位置を通過しても、テーブ
ル６は動作を続け、終点位置にきたら停止する。このと
き塗布すべき部分がまだ残っている場合には、次の塗布
すべき開始位置までノズルをＹ軸方向に塗布幅分（ノズ
ルピッチ×穴数）移動して、以下テーブル６を反対方向
に移動させることを除いては同じ手順で塗布を行う。１
回目と同一のテーブル６の移動方向で塗布を行なうのな
ら、ノズル２０は次の塗布すべき開始位置までＹ軸方向
に移動、テーブル６はＸ軸準備位置まで復帰させる。

【００５４】そして塗布工程が完了したら、基材４をア
ンローダで移載する場所までテーブル６を移動して停止
させ、基材４の吸着を解除するとともに大気開放した後
に、リフトピンを上昇させて基材４をテーブル６の面か
ら引き離し、持ち上げる。

【００５５】このとき図示されないアンローダによって
基材４の下面が保持され、次の工程に基材４を搬送す
る。基材４をアンローダに受け渡したら、テーブル６は
リフトピンを下降させ原点位置に復帰する。

【００５６】このとき、吐出用電磁切換え弁４８を閉、
吸引用電磁切換え弁５４を開状態にして供給ユニット５
０を動作させ、塗液タンク５６から１枚の基材の塗布に
必要な量だけ塗液を供給する。

【００５７】なお、前述の塗液塗布装置の全体構成にお
いて、高さセンサー４０としては、レーザ、超音波等を
利用した非接触測定形式のもの、ダイヤルゲージ、差動
トランス等を利用した接触測定形式のもの等、測定可能
な原理のものならいかなるものを用いてもよい。

【００５８】また、塗液吐出装置の開口部の凹部に対す
る相対位置を検知する検知手段は、基材の凹部とノズル
の孔を各々別個に検知するカメラを用いた画像処理装置
により構成してもよい。

【００５９】さらにまた、前記実施態様では基材はＸ軸
方向に移動し、ノズルがＹ軸、Ｚ軸方向に移動する場合
での適用例について記述したが、ノズル２０と基材４が
相対的に３次元的に移動できる構造、形式のものである
のなら、テーブル、ノズルの移動方向はいかなる組み合
わせのものでもよい。

【００６０】たとえば、前述の実施態様では、塗布はテ
ーブルの移動、凹凸のピッチ方向への移動は、ノズルの
移動によって行う例を示したが、塗布をノズルの移動、
凹凸のピッチ方向への移動をテーブルの移動で行っても
よい。

【００６１】さらに、本発明における基材としては、ガ
ラス板の他、鉄板、アルミ板等、枚葉状のものならどの
ようなものでもよい。また、一種類の塗液を塗布する場
合について詳しく言及したが、赤、青、緑等の３色の蛍
光体を同時に塗布する場合にも本発明は適用できる。

【００６２】次に、本発明のノズル、それを用いた凹凸
基材への塗液の塗布装置および方法の基本技術思想につ
いて説明する。図３（Ａ）、（Ｂ）は、従来のノズルお
よびその塗布特性例を示している。図３（Ａ）に示すノ
ズル１０１は、複数の吐出孔１０２が一直線状に配列さ
れたもので、矢印は塗布方向を示している。このような
ノズル１０１を用いて、塗布行程を繰り返して凹凸基板
（図示略）の各凹部に塗液を塗布していくが、このとき
各塗布行程（各バッチ）間、とくにその境界部では、図
３（Ｂ）に示すような塗布量の境界が生じ、これが明確
な輝度むらとなって現れることがある。これは、ノズル
１０１内におけるマニホールドから各吐出孔１０２に至
るまでの圧力損失の変化（たとえば、ある勾配をもった
変化）などにより、それが図３（Ｂ）に示すような塗布
量のグラデーション（輝度のグラデーション）を引き起
こすためである。このような各バッチ間の境界部におけ
るむらを抑えるためには、前述した如く、極めて高精度
の吐出孔加工や、複雑な塗布量制御機構が必要である
が、現実的には限界があるとともに、それを敢えて行お
うとすると著しく高価なものになる。

【００６３】そこで本発明では、基本的に、人間の目
（視覚）の特性を利用し、以下のような新規な手法を用
いる。たとえば図４（Ａ）に示す、塗液を塗布すべき凹
部（溝）に対し１溝飛ばしのピッチで吐出孔１１２を配
列したノズル１１１の輝度（塗布量）の特性が図４
（Ｂ）に示すようなものであり、図４（Ｃ）に示す、同
じく、塗液を塗布すべき凹部（溝）に対し１溝飛ばしの
ピッチで吐出孔１１４を配列したノズル１１３の輝度
（塗布量）の特性が図４（Ｄ）に示すようなものである
場合、ノズル１１１とノズル１１３を、塗布方向Ｘと直
角の方向であるノズル幅方向に１溝ピッチ分ずらして塗
布すると（同時塗り、２回の別塗りにかかわらず）、塗
布された基材の輝度（塗布量）の特性は図５（Ｂ）に示
すようになる（図５（Ａ）は、ノズル１１１とノズル１
１３を１溝ピッチ分ずらして重ね合わせて塗布する場合
を示している）。すなわち、互いに異なる輝度（塗布
量）特性のノズル１１１とノズル１１３を用いて塗布さ
れる結果、隣接する塗布溝間では特性がでこぼこに変化
し、図３（Ｂ）や図４（Ｂ）、図４（Ｄ）に示した特性
に比べ、バッチ間境界部における輝度（塗布量）特性の
変動が目立たなくなる。これは、人間の目が、群（複数
本）で輝度（塗布量）が変わった場合は境界むらを認識
できるが、１本単位で変化した場合には分解能をもたず
認識できないことによる。本発明は、基本的にこの境界
ぼかし効果を利用したものである。さらに、図５（Ａ）
におけるノズル１１１とノズル１１３の吐出量を意図的
に変えると、図５（Ｃ）に示すような特性が得られ、図
５（Ｃ）に示す特性では、一層境界むらが消える。

【００６４】また、図６（Ａ）に示すような、塗液を塗
布すべき凹部（溝）に対し１溝飛ばしのピッチで吐出孔
１２２を配列したノズル１２１を用いて１回目の塗布と
２回目の塗布とをノズル幅方向に１溝ピッチ分ずらして
行う場合についても（順次塗工）、１回目の塗布と２回
目の塗布とを同じ吐出量に設定した場合には図６（Ｂ）
に示すような特性となって、やはり、１、２バッチ目と
３、４バッチ目との境界部での輝度（塗布量）特性の変
化が目立つことになるが、図６（Ｃ）に示すように、１
バッチ目の塗布と２バッチ目の塗布、３バッチ目の塗布
と４バッチ目の塗布とを互いに異なる吐出量に設定する
と、１、２バッチ目と３、４バッチ目との境界部での輝
度（塗布量）特性の変化は目立たなくなる。

【００６５】本発明では、基本的にこのような境界ぼか
し効果を利用し、以下のような各態様で実施できる。

【００６６】図７は、本発明の一実施態様に係るノズル
２０１を示しており、（Ａ）はその縦断面図、（Ｂ）は
それと直角方向における縦断面図、（Ｃ）は吐出孔２０
２が配列された底面図である。ノズル２０１には、塗液
の供給口２０３とマニホールド２０４が設けられてい
る。各吐出孔２０２は、円形の吐出孔からなり、同一の
直径（開口面積）の吐出孔２０２が隣接しないように直
線状に配列されている。つまり、吐出孔２０２は２種類
以上（本実施態様では３種類）の吐出孔からなり、同種
の吐出孔がノズル２０１の幅方向に互いに隣接しないよ
うに、少なくとも一つおきに配列されている。これによ
り、各隣接吐出孔における圧力損失が変わり、凹凸基材
の隣り合う被塗布凹部には塗液の吐出量を変えて塗布す
ることができる。したがって、凹凸基材に対してノズル
２０１の塗布行程を繰り返す場合においても、各塗布バ
ッチ間の境界部において輝度（塗布量）の変化を、人間
の目では認識できない程度に目立たなくすることが可能
になる。

【００６７】図７（Ｃ）に示すように、両端に位置する
吐出孔２０２の開口面積を変えておくことにより、バッ
チ間の境界部における輝度（塗布量）の変化を一層目立
たなくすることができる。吐出孔２０２は、直径の異な
る２種類であってもよい。

【００６８】図８は、別の実施態様に係るノズル２１１
を示している。本実施態様では、２種類以上（本実施態
様では３種類）の開口面積の吐出孔２１２が、同種の吐
出孔がノズル２１１の幅方向に互いに隣接しないよう
に、少なくとも一つおきに配列されているとともに、同
じ開口面積の吐出孔毎に直線状に配列されている。吐出
孔径が異なれば圧力損失も異なり、塗布開始・終了位置
が微妙に異なってくるので、各孔径毎の位置ずれ量を予
測し、あらかじめ各孔径の吐出孔位置をずらしておくこ
とが好ましい。吐出孔２１２は、直径の異なる２種類で
あってもよい。また、両端に位置する吐出孔の直径が異
なることが好ましい。

【００６９】図９（Ａ）、（Ｂ）は、さらに別の実施態
様に係るノズル２２１を示している。本実施態様では、
吐出孔２２２をパイプ部材２２３から構成し、同一の長
さの吐出孔が互いに隣接しないように直線状に配列され
たノズル２２１に構成されている。これにより、凹凸基
材の、隣り合う被塗布凹部には塗液の吐出量を変えて塗
布することができる。このように、吐出孔の孔長を変え
ることによっても、各吐出孔の圧力損失を変えて、互い
に隣接する吐出孔からの吐出量を意図的に変えることが
でき、とくにバッチ間の境界部における輝度（塗布量）
の変化を目立たなくすることができる。吐出孔２２２
は、孔長の異なる２種類であってもよい。また、両端に
位置する吐出孔の孔長が異なることが好ましい。

【００７０】図１０（Ａ）、（Ｂ）は、図９の変形例に
係るノズル２３１を示している。本実施態様では、吐出
孔２３２をノズル２３１の構成部材に直接形成してい
る。ノズル２３１の下面を段付き形状部２３３に形成
し、各段部に合わせて吐出孔２３２を穿設することによ
り、各吐出孔２３２の孔長を変化させることができる。
このような構成によっても吐出孔の孔長を変えることが
でき、各吐出孔の圧力損失を変えて、互いに隣接する吐
出孔からの吐出量を意図的に変えることができ、とくに
バッチ間の境界部における輝度（塗布量）の変化を目立
たなくすることができる。吐出孔２３２は、孔長の異な
る２種類であってもよい。また、両端に位置する吐出孔
の孔長が異なることが好ましい。

【００７１】図１１（Ａ）、（Ｂ）は、図９の別の変形
例に係るノズル２４１を示している。本実施態様では、
吐出孔２４２をパイプ部材２４３から構成し、同一の長
さの吐出孔が互いに隣接しないように構成されていると
ともに、同じ孔長の吐出孔毎に直線状に配列されてい
る。吐出孔の孔長が異なれば圧力損失も異なり、塗布開
始・終了位置が微妙に異なってくるので、各孔長毎の位
置ずれ量を予測し、あらかじめ各孔長の吐出孔位置をず
らしておくことが好ましい。吐出孔２４２は、孔長の異
なる２種類であってもよい。また、両端に位置する吐出
孔の孔長が異なることが好ましい。

【００７２】図１２（Ａ）、（Ｂ）は、図１０の変形例
に係るノズル２５１を示している。本実施態様では、吐
出孔２５２をノズル２５１の構成部材に直接形成してい
る。ノズル２５１の下面を段付き形状部２５３に形成
し、各段部に合わせて吐出孔２５２を穿設することによ
り、各吐出孔２５２の孔長を変化させることができる。
そして、同一の長さの吐出孔が互いに隣接しないように
構成されているとともに、同じ孔長の吐出孔毎に直線状
に配列されている。吐出孔の孔長が異なれば圧力損失も
異なり、塗布開始・終了位置が微妙に異なってくるの
で、各孔長毎の位置ずれ量を予測し、あらかじめ各孔長
の吐出孔位置をずらしておくことが好ましい。吐出孔２
５２は、孔長の異なる２種類であってもよい。また、両
端に位置する吐出孔の孔長が異なることが好ましい。

【００７３】以上の各ノズルは、吐出孔のピッチが、凹
凸基板の凸部ピッチまたは凹部ピッチの３ｍ倍（ｍは自
然数）であることが好ましい。これによって、赤、緑、
青の３色の塗液を順次塗布するプラズマディスプレイパ
ネルの製造にも容易に対応できる。

【００７４】図１３は、本発明の一実施態様に係る凹凸
基材への塗液の塗布方法を示している。本実施態様で
は、ノズル２６１には、凹凸基材２６３の凸部または凹
部ピッチの６倍のピッチで吐出孔２６２が設けられてお
り、ノズル２６１の１個を用いて、まず所定塗布領域に
対し１バッチ目が塗布された後、破線で示すようにその
ノズル２６１が幅方向に凹凸基材２６３の凸部または凹
部ピッチの３倍のピッチ分ずらされて２バッチ目の塗布
が行われる。１バッチ目と２バッチ目の吐出量を変える
ことにより、被塗布凹部（凹凸基材２６３の３つおきの
凹部）の互いに隣接する凹部には、互いに異なる塗布量
で塗布されることになり、とくにバッチ間（１、２バッ
チ目と３、４バッチ目との間）の境界部における輝度
（塗布量）の変化を目立たなくすることができる。吐出
量を変える方法としては、たとえばバッチ間で吐出圧力
を変える方法がある。

【００７５】図１４は、図１３の変形例に係る凹凸基材
への塗液の塗布方法を示している。本実施態様では、凹
凸基材２７３の凸部または凹部ピッチの６倍のピッチで
吐出孔２７２が設けられたノズルがノズル２７１ａ、２
７１ｂと２個配されており、各ノズル２７１ａ、２７１
ｂからの塗液が実質的に同時に塗布される。ノズル２７
１ａとノズル２７１ｂはノズル幅方向に吐出孔が凹凸基
材２７３の凸部または凹部ピッチの３倍のピッチ分ずら
されており、それぞれのノズルの個体差で塗布量を変え
ることができるようになっている。各ノズル２７１ａ、
２７１ｂは、独立に制御（移動、塗布）できるものであ
ってもよく、凸部または凹部ピッチの３倍ずらして連結
し、一緒に移動するものでもよい。このとき、塗布制御
（塗布タイミング等）は別々に制御することが好まし
い。また、各ノズルの相対位置を微調整できる手段を有
していてもよい。さらに、それぞれのノズルは、吐出孔
の開口面積や孔長を変えてもよい。

【００７６】図１５は、本発明の別の実施態様に係る凹
凸基材への塗液の塗布方法を示している。本実施態様で
は、ノズル２８１の吐出孔２８２のピッチを、吐出孔２
８２の配列方向中央部においては凹凸基材２８３の凸部
または凹部ピッチの３倍とし、両端に位置する吐出孔と
その内側に位置する吐出孔のピッチのみを、凸部または
凹部ピッチの６倍（１凹部を飛ばす）としたノズル２８
１に構成している。

【００７７】図１５に示すように、１回目のバッチでは
実線で示す位置にて塗布し、次の２回目のバッチでは破
線で示す位置にて塗布して、順次塗工時に、１回目塗布
時に塗布しなかった最終孔とその内側の吐出孔の間の凹
部に、２回目塗布時の第１孔で塗布する。これにより、
順次塗工時に発生するバッチ間での境界むらが解消され
る。

【００７８】図１６は、図１５の変形例に係る凹凸基材
への塗液の塗布方法を示している。本実施態様では、ノ
ズル２９１の吐出孔２９２のピッチを、吐出孔２９２の
配列方向中央部においては凹凸基材２９３の凸部または
凹部ピッチの３倍とし、両端に位置する吐出孔とその内
側に位置する吐出孔との間、さらにその内側に位置する
吐出孔との間のピッチのみを、凸部または凹部ピッチの
６倍（それぞれ１凹部を飛ばす）としたノズル２９１に
構成している。

【００７９】図１６に示すように、１回目のバッチでは
実線で示す位置にて塗布し、次の２回目のバッチでは破
線で示す位置にて塗布して、順次塗工時に、１回目塗布
時に塗布しなかった端部側の２つの凹部に、２回目塗布
時の第１孔および第２孔で塗布する。これにより、順次
塗工時に発生するバッチ間での境界むらが解消される。
このように、ノズルに配列された吐出孔の総数が多い場
合には、端部における凹部飛ばしの部位を拡大すること
ができる。この端部における凹部飛ばしの部位は、少な
くとも両端に位置する吐出孔とその内側に位置する吐出
孔との間に設ければよい。

【００８０】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のノズル並
びに凹凸基材への塗液の塗布装置および方法によれば、
複数の吐出孔から吐出され塗布される塗液の、とくにバ
ッチ間の境界部における目立つ塗布むらを解消でき、見
た目の塗布量、輝度のばらつきを小さくして、塗布品質
を向上することができるとともに、安価に長時間にわた
って安定な塗布が可能となる。そして、凹凸基材の各凹
部への塗布量ばらつきを小さくするために、ノズルの吐
出孔の孔径精度あるいは孔長精度を極限まで突き詰める
必要がないので、ノズルを安価に製作できる。

【００８１】本発明のプラズマディスプレイの製造装置
および方法によれば、上記凹凸基材への塗液の塗布装置
および方法を使用しているので、品質の高いプラズマデ
ィスプレイパネルを、高い生産性で製造することが可能
となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係る塗液の塗布装置の全
体斜視図である。

【図２】図１の装置のテーブルとノズル周りの構成を示
す模式図である。

【図３】従来のノズルの特性を示す説明図であって、
（Ａ）はノズルの概略構成図、（Ｂ）はその塗布特性図
である。

【図４】本発明のノズルの特性を説明するための説明図
であって、（Ａ）はノズルの概略構成図、（Ｂ）はその
塗布特性図、（Ｃ）は別のノズルの概略構成図、（Ｄ）
はその塗布特性図である。

【図５】本発明のノズルの特性を説明するための説明図
であって、（Ａ）はノズルの配置を示す概略構成図、
（Ｂ）はその塗布特性図、（Ｃ）は別の塗布特性図であ
る。

【図６】本発明のノズルの特性を説明するための説明図
であって、（Ａ）はノズルの概略構成図、（Ｂ）はその
塗布特性図、（Ｃ）は別の塗布特性図である。

【図７】本発明の一実施態様に係るノズルの概略構成図
で、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）と直角方向にお
ける縦断面図、（Ｃ）は底面図である。

【図８】本発明の別の実施態様に係るノズルの底面図で
ある。

【図９】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの概
略構成図で、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は底面図であ
る。

【図１０】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの
概略構成図で、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は底面図であ
る。

【図１１】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの
概略構成図で、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は底面図であ
る。

【図１２】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの
概略構成図で、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は底面図であ
る。

【図１３】本発明の一実施態様に係る塗液の塗布方法を
示す、ノズルと凹凸基板の平面図である。

【図１４】本発明の別の実施態様に係る塗液の塗布方法
を示す、ノズルと凹凸基板の平面図である。

【図１５】本発明のさらに別の実施態様に係る塗液の塗
布方法を示す、ノズルと凹凸基板の平面図である。

【図１６】本発明のさらに別の実施態様に係る塗液の塗
布方法を示す、ノズルと凹凸基板の平面図である。

【符号の説明】

２ 基台 ４ 基材 ６ テーブル ８ ガイド溝レール １０ フィードスクリュー １６ ＡＣサーボモータ ２０ ノズル ２６ リニアアクチュエータ ３０ 昇降機構 ３６ 幅方向移動機構 ４０ 高さセンサー ４２ 塗液 ４４ 吐出孔 ５０ 供給ユニット ５６ 塗液タンク ５８ 供給装置コントローラ ６０ 全体コントローラ ６６ センサー ７２ カメラ ２０１、２１１、２２１、２３１、２４１、２５１、２
６１、２７１ａ、２７１ｂ、２８１、２９１ ノズル ２０２、２１２、２２２、２３２、２４２、２５２、２
６２、２７２、２８２、２９２ 吐出孔 ２０３ 塗液供給口 ２０４ マニホールド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐野 高男 滋賀県大津市園山１丁目１番１号 東レ株 式会社滋賀事業場内 Ｆターム(参考） 4F033 AA00 AA01 AA14 BA03 CA01 CA11 DA05 EA06 GA08 GA10 JA01 LA01 NA01 5C028 FF16 HH04 HH14 5C040 DD13

Claims (27)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マニホールド部と、該マニホールド部の
   内側から外側に開口する複数の吐出孔からなる吐出孔群
   を有し、前記吐出孔群は吐出量の異なる少なくとも２種
   類の吐出孔からなり、かつ、同種の吐出孔がノズル幅方
   向に少なくとも一つおきに配列されていることを特徴と
   するノズル。
2. 【請求項２】 前記吐出量の異なる少なくとも２種類の
   吐出孔が開口面積の異なる少なくとも２種類の吐出孔か
   らなる、請求項１に記載のノズル。
3. 【請求項３】 前記吐出量の異なる少なくとも２種類の
   吐出孔が長さの異なる少なくとも２種類の吐出孔からな
   る、請求項１に記載のノズル。
4. 【請求項４】 ノズル幅方向に全吐出孔が直線状に配列
   されている、請求項１ないし３のいずれかに記載のノズ
   ル。
5. 【請求項５】 ノズル幅方向に同種の吐出孔毎に直線状
   に配列されている、請求項１ないし３のいずれかに記載
   のノズル。
6. 【請求項６】 両端に位置する吐出孔の種類が互いに異
   なっている、請求項１ないし５のいずれかに記載のノズ
   ル。
7. 【請求項７】 表面に一方向にストライプ状に凹凸部が
   形成されている凹凸基材を固定するテーブルと、前記凹
   凸基材の凹凸部に対面して設けられた複数の吐出孔を有
   するノズルと、前記ノズルに塗液を供給する塗液供給手
   段と、前記テーブルとノズルを３次元的に相対移動させ
   る移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置にお
   いて、前記ノズルに、請求項１ないし６のいずれかに記
   載のノズルを用いたことを特徴とする凹凸基材への塗液
   の塗布装置。
8. 【請求項８】 前記ノズルの吐出孔のピッチが、前記凹
   凸基材の凸部ピッチまたは凹部ピッチの３ｍ倍（ｍは自
   然数）である、請求項７に記載の凹凸基材への塗液の塗
   布装置。
9. 【請求項９】 表面に一方向にストライプ状に一定ピッ
   チで凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブ
   ルと、前記凹凸基材の凹凸部に対面して設けられた複数
   の吐出孔を有するノズルと、前記ノズルに塗液を供給す
   る塗液供給手段と、前記テーブルとノズルを３次元的に
   相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の
   塗布装置において、前記ノズルの吐出孔のピッチが、前
   記凹凸基材の凸部ピッチまたは凹部ピッチの３ｎ倍（ｎ
   は２以上の自然数）であり、かつ、塗布方向にｎ個以下
   のノズルを配したことを特徴とする凹凸基材への塗液の
   塗布装置。
10. 【請求項１０】 前記ｎ個以下（ｎは２以上の自然数）
    のノズルの中に、他のノズルの吐出孔に対して吐出量の
    異なる吐出孔を有するノズルを少なくとも１個含む、請
    求項９に記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
11. 【請求項１１】 前記吐出量の異なる吐出孔が、他のノ
    ズルの吐出孔に対して開口面積の異なる吐出孔である、
    請求項１０に記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
12. 【請求項１２】 前記吐出量の異なる吐出孔が、他のノ
    ズルの吐出孔に対して長さの異なる吐出孔である、請求
    項１０に記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
13. 【請求項１３】 表面に一方向にストライプ状に一定ピ
    ッチで凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテー
    ブルと、前記凹凸基材の凹凸部に対面して設けられた複
    数の吐出孔を有するノズルと、前記ノズルに塗液を供給
    する塗液供給手段と、前記テーブルとノズルを３次元的
    に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液
    の塗布装置において、前記ノズルの吐出孔のピッチが、
    吐出孔の配列方向中央部において前記凹凸基材の凸部ピ
    ッチまたは凹部ピッチの３倍であり、かつ、少なくとも
    前記ノズルの両端に位置する吐出孔とその内側に位置す
    る吐出孔との間のピッチが、前記凹凸基材の凸部ピッチ
    または凹部ピッチの６倍であることを特徴とする凹凸基
    材への塗液の塗布装置。
14. 【請求項１４】 塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの
    色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求
    項７ないし１３のいずれかに記載の凹凸基材への塗液の
    塗布装置を用いたことを特徴とするプラズマディスプレ
    イの製造装置。
15. 【請求項１５】 表面に一方向にストライプ状に凹凸部
    が形成されている凹凸基材と、前記凹凸基材の凹凸部に
    対面して設けられた複数の吐出孔を有するノズルとを相
    対的に移動させ、かつ、前記ノズルに塗液を供給して吐
    出孔から塗液を吐出し、凹凸基材の選択された凹部に塗
    液を塗布する塗布方法であって、隣り合う被塗布凹部に
    は塗液の吐出量を変えて塗布することを特徴とする凹凸
    基材への塗液の塗布方法。
16. 【請求項１６】 前記選択された被塗布凹部が、前記凹
    凸基材の凸部ピッチまたは凹部ピッチの３ｍ倍（ｍは自
    然数）のピッチで配された凹部である、請求項１５に記
    載の凹凸基材への塗液の塗布方法。
17. 【請求項１７】 表面に一方向にストライプ状に凹凸部
    が形成されている凹凸基材と、前記凹凸基材の凹凸部に
    対面して設けられた複数の吐出孔を有するノズルとを相
    対的に移動させ、かつ、前記ノズルに塗液を供給して吐
    出孔から塗液を吐出し、凹凸基材の選択された凹部に塗
    液を塗布する塗布方法であって、前記ノズルに、請求項
    １ないし６のいずれかに記載のノズルを用いて塗布する
    ことを特徴とする凹凸基材への塗液の塗布方法。
18. 【請求項１８】 前記ノズルに、吐出孔のピッチが前記
    凹凸基材の凸部ピッチまたは凹部ピッチの３ｍ倍（ｍは
    自然数）であるものを用いて塗布する、請求項１７に記
    載の凹凸基材への塗液の塗布方法。
19. 【請求項１９】 表面に一方向にストライプ状に凹凸部
    が形成されている凹凸基材と、前記凹凸基材の凹凸部に
    対面して設けられた複数の吐出孔を有するノズルとを相
    対的に移動させ、かつ、前記ノズルに塗液を供給して吐
    出孔から塗液を吐出し、凹凸基材の選択された凹部に塗
    液を塗布する塗布方法であって、前記ノズルに、吐出孔
    のピッチが前記凹凸基材の凸部ピッチまたは凹部ピッチ
    の３ｎ倍（ｎは２以上の自然数）のものを塗布方向にｎ
    個以下用いて塗布することを特徴とする凹凸基材への塗
    液の塗布方法。
20. 【請求項２０】 前記ｎ個以下（ｎは２以上の自然数）
    のノズルの中に、他のノズルの吐出孔に対して吐出量の
    異なる吐出孔を有するノズルを少なくとも１個含む、請
    求項１９に記載の凹凸基材への塗液の塗布方法。
21. 【請求項２１】 前記吐出量の異なる吐出孔が、他のノ
    ズルの吐出孔に対して開口面積の異なる吐出孔である、
    請求項２０に記載の凹凸基材への塗液の塗布方法。
22. 【請求項２２】 前記吐出量の異なる吐出孔が、他のノ
    ズルの吐出孔に対して長さの異なる吐出孔である、請求
    項２０に記載の凹凸基材への塗液の塗布方法。
23. 【請求項２３】 表面に一方向にストライプ状に凹凸部
    が形成されている凹凸基材と、前記凹凸基材の凹凸部に
    対面して設けられた複数の吐出孔を有するノズルとを相
    対的に移動させ、かつ、前記ノズルに塗液を供給して吐
    出孔から塗液を吐出し、凹凸基材の選択された凹部に塗
    液を塗布する塗布方法であって、前記ノズルに、吐出孔
    のピッチが吐出孔の配列方向中央部において前記凹凸基
    材の凸部ピッチまたは凹部ピッチの３倍であり、かつ、
    少なくとも前記ノズルの両端に位置する吐出孔とその内
    側に位置する吐出孔との間のピッチが、前記凹凸基材の
    凸部ピッチまたは凹部ピッチの６倍であるものを用いて
    塗布することを特徴とする凹凸基材への塗液の塗布方
    法。
24. 【請求項２４】 塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの
    色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求
    項１５ないし２３のいずれかに記載の凹凸基材への塗液
    の塗布方法を用いることを特徴とするプラズマディスプ
    レイの製造方法。
25. 【請求項２５】 一対の平行に配された基材の間に、電
    極および蛍光体層が配設されガス媒体が封入された放電
    空間が形成され、電極による放電に伴って紫外線を発
    し、前記蛍光体層で可視光に変換することによって発光
    するプラズマディスプレイパネルにおいて、同色に発光
    する、隣り合う蛍光体層の厚みに差をもたせたことを特
    徴とするプラズマディスプレイパネル。
26. 【請求項２６】 前記隣り合う蛍光体層の厚み差が２μ
    ｍ以上である、請求項２５に記載のプラズマディスプレ
    イパネル。
27. 【請求項２７】 前記隣り合う蛍光体層の厚み差が１０
    μｍ以下である、請求項２５または２６に記載のプラズ
    マディスプレイパネル。