JP2000167463A

JP2000167463A - ノズル並びに塗液の塗布装置および塗布方法並びにプラズマディスプレイパネル用部材の製造方法

Info

Publication number: JP2000167463A
Application number: JP34825798A
Authority: JP
Inventors: Hideki Ikeuchi; 秀樹池内; Takao Sano; 高男佐野; Toshio Yasuda; 登志夫安田
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1998-12-08
Filing date: 1998-12-08
Publication date: 2000-06-20

Abstract

(57)【要約】【課題】基材、特にプラズマディスプレイパネルの隔
壁のように、一定の凹凸状のパターンが形成された基材
の複数の凹部に、複数の吐出孔を有するノズルから所定
の塗液を塗布するに際し、ノズルの耐摩耗性を向上させ
てノズルの長寿命化と長期に渡って安定な塗布を可能と
し、それによって、基材の高生産性と高品質を可能とす
るノズル並びに塗液の塗布装置および方法並びにプラズ
マディスプレイの製造装置および方法を提供する。【解決手段】基材を固定するテーブルと、基材に対面
して設けられ、基材に所定量の塗液を吐出するノズル
と、テーブルとノズルを３次元的に相対移動させる移動
手段とを備えた基材への塗液の塗布装置において、ノズ
ルの吐出孔を有する部材はセラミックス、または、セラ
ミックス皮膜がコーティングされていることを特徴とす
る塗液の塗布装置、および塗布方法、並びにそれを用い
たプラズマディスプレイの製造装置および方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に凹凸状の
特定のパターンが形成されたもの、特に一定形状の隔壁
を配置したプラズマディスプレイパネルや、ストライプ
形ブラックマトリックス式のカラー受像管のパネル内面
等における一定パターンの塗布に適用できる、ノズル、
並びに凹凸基板への塗液の塗布装置および塗布方法、並
びにこれらの装置および方法を使用したプラズマディス
プレイパネル用部材の製造方法の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ディスプレイはその方式において
次第に多様化してきている。現在注目されているものの
一つが、従来のブラウン管よりも大型で薄型軽量化が可
能なプラズマディスプレイである。これは、前面板と背
面板の間に形成された放電空間内で放電を生じさせ、こ
の放電によりキセノンガスから波長１４７ｎｍを中心と
する紫外線が生じて、この紫外線が蛍光体を励起するこ
とによって表示が可能となる。Ｒ（赤）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）に発光する蛍光体を塗り分けた放電セルを駆動回
路によって発光させることにより、フルカラー表示に対
応できる。

【０００３】また、最近活発に開発が進められているＡ
Ｃ型プラズマディスプレイは、表示電極／誘電体層／保
護層を形成した前面ガラス板と、アドレス電極／誘電体
層／隔壁層／蛍光体層を形成した背面ガラス板とを貼り
合わせ、ストライプ状の隔壁で仕切られた放電空間内に
Ｈｅ−Ｘｅ、または、Ｎｅ−Ｘｅの混合ガスを封入した
構造を有している。

【０００４】Ｒ、Ｇ、Ｂの各蛍光体層は、粉末状の蛍光
体粒子を主成分とする蛍光体ペーストが各色毎に一方向
に延びる隔壁により形成された凹凸部の凹部にストライ
プ状に充填されてなる。

【０００５】蛍光体がストライプ状に構成されていると
いう構造は、ストライプ形ブラックマトリックス式のカ
ラー受像管のパネルも有している。

【０００６】このような構造のものを高い生産性と高品
質で製造するには、蛍光体を一定のパターン状に、塗り
分ける技術が重要となる。

【０００７】たとえば特開平１０−２７５４３号公報に
は、プラズマディスプレイパネルの隔壁間を対象に、一
個あるいは複数の吐出孔を有するノズルで塗布する方法
が開示されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記ノズル
には一般的にステンレス鋼が用いられているが、前記し
たように、蛍光体ペーストには蛍光体粒子が含有されて
おり、これが研磨剤のような働きをして、ノズル孔が摩
耗しやすく耐久性が低下するという問題がある。

【０００９】また、摩耗粉が蛍光体ペーストに混入し
て、製品の品質を低下させるという問題もある。また、
ノズルの吐出孔が複数個の場合、各ノズル孔の摩耗量に
差があると吐出量にばらつきが生じ、塗布後の部材を用
いた表示装置には輝度むらが発生する。そこで本発明の
課題は、基材、特にプラズマディスプレイパネルの隔壁
のように、一定の凹凸状のパターンが形成された基材の
複数の凹部に、複数の吐出孔を有するノズルから所定の
塗液を塗布するに際し、ノズルの耐摩耗性を向上させて
ノズルの長寿命化と長期に渡って安定に塗布することに
あり、それによって、基材の高生産性と高品質を可能と
するノズル並びに塗液の塗布装置および塗布方法並びに
プラズマディスプレイパネル用部材の製造方法を提供す
ることにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、塗布
対象物に塗液を塗布するためのノズルであって、該ノズ
ル本体に形成された取付孔内に、ノズルの吐出孔が形成
された吐出孔形成部材を挿入して接合したことを特徴と
するノズル（第１のノズルタイプ）である。

【００１１】また本発明は、吐出孔の配列方向、およ
び、吐出孔の軸方向に対し垂直な方向に２つのブロック
を重ね合わせたものからなり、内部にマニホールド部を
有するとともに、２つのブロックの重ね合わせ面にマニ
ホールド部と外部とを連通する複数の貫通道をブロック
の重ね方向とは垂直な方向に設けることにより吐出孔を
形成し、かつ、２つのブロックの少なくとも１つはセラ
ミックスであることを特徴とするノズル（第２のノズル
タイプ）である。

【００１２】また本発明は、２つのブロックの間に板状
シムを重ね合わせたものからなり、内部にマニホールド
部を有するとともに、板状シムにマニホールド部と外部
とを連通する複数のスリットをブロックの長手方向に設
けることにより吐出孔を形成し、かつ、２つのブロック
と板状シムの少なくとも１つがセラミックスであること
を特徴とするノズル（第３のノズルタイプ）である。

【００１３】また本発明は、マニホールド部を有する部
材と、吐出孔を有する部材とが接合されたものからな
り、かつ、吐出孔を有する部材がセラミックスである
か、または、セラミックス皮膜によりコーティングされ
ていることを特徴とするノズル（第４のノズルタイプ）
である。

【００１４】さらに本発明は、基材を固定するテーブル
と、基材に対面して設けられ、基材に所定量の塗液を吐
出するノズルと、テーブルとノズルを３次元的に相対移
動させる移動手段とを備えた基材への塗液の塗布装置に
おいて、ノズルに、上記のノズルを用いたことを特徴と
する塗液の塗布装置である。

【００１５】さらに本発明は、表面に一方向にストライ
プ状に凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテー
ブルと、凹凸基材の凹凸部に対面して設けられ、凹部に
所定量の塗液を吐出するノズルと、テーブルとノズルを
３次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材
への塗液の塗布装置において、ノズルに、上記のノズル
を用いたことを特徴とする、凹凸基材への塗液の塗布装
置である。

【００１６】さらに本発明は、基材と、基材に対面して
設けられた複数の吐出孔を有するノズルとを相対的に移
動させ、かつ、吐出孔から塗液を吐出し、基材に塗液を
塗布する方法であって、ノズルに、上記のノズルを用い
て塗布することを特徴とする塗液の塗布方法である。

【００１７】さらに本発明は、表面に一方向にストライ
プ状に凹凸部が形成されている凹凸基材と、凹凸基材の
凹凸部に対面して設けられた複数の吐出孔を有するノズ
ルとを相対的に移動させ、かつ、吐出孔から塗液を吐出
し、凹凸基材の選択された凹部に塗液を塗布する方法で
あって、ノズルに、上記のノズルを用いて塗布すること
を特徴とする、凹凸基材への塗液の塗布方法である。

【００１８】さらに本発明は、プラズマディスプレイパ
ネル用部材の製造方法であって、ストライプ状に隔壁が
形成された基板と、基板の隔壁のある面に対面して設け
られた複数の吐出孔を有するノズルとを相対的に移動さ
せ、かつ、吐出孔から赤色、緑色、青色のいずれかの色
に発光する蛍光体粉末を含むペーストを吐出し、ノズル
に、請求項１ないし１３のいずれかに記載のノズルを用
いて塗布する工程を含むことを特徴とするプラズマディ
スプレイパネル用部材の製造方法である。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の望ましい実施の形
態を、図面を参照して説明する。

【００２０】まず、本発明の要部である、ノズルやノズ
ル周りの構成を説明する前に、本発明に係る塗液の塗布
装置の全体構成、とくに凹凸基材（たとえば、プラズマ
ディスプレイパネル部材用）への塗液の塗布装置の全体
構成の例について説明する。

【００２１】図１は、本発明の一実施態様に係る塗布装
置の全体斜視図、図２は図１のテーブル６とノズル２０
周りの模式図、図３は図１のノズル２０を下側からみた
拡大平面図である。

【００２２】まず、塗液の塗布装置の全体構成について
説明する。図１は、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルの製造に適用される塗布装置の一例を示してい
る。この装置は基台２を備えている。基台２上には、一
対のガイド溝レール８が設けられており、このガイド溝
レール８上にはテーブル６が配置されている。このテー
ブル６の上面には、表面に凹凸が一定ピッチで一方向に
ストライプ状に形成された基材４が、真空吸引によって
テーブル面に固定可能となるように、複数の吸引孔７が
設けられている。また、基材４は図示しないリフトピン
によってテーブル６上を昇降する。さらに、テーブル６
はスライド脚９を介してガイド溝レール８上をＸ軸方向
に往復動自在となっている。

【００２３】一対のガイド溝レール８間には、図２に示
す送りねじ機構を構成するフィードスクリュー１０が、
テーブル６の下面に固定されたナット状のコネクタ１１
を貫通して延びている。フィードスクリュー１０の両端
部は軸受１２に回転自在に支持され、さらに片方の一端
はＡＣサーボモータ１６が連結されている。

【００２４】図１に示すように、テーブル６の上方に
は、塗液を吐出するノズル２０がホルダー２２を介して
昇降機構３０、幅方向移動機構３６に連結している。昇
降機構３０は昇降可能な昇降ブラケット２８を備えてお
り、昇降機構３０のケーシング内部で一対のガイドロッ
ドに昇降自在に取り付けられている。また、このケーシ
ング内には、ガイドロッド間に位置してボールねじから
なるフィードスクリュー（図示しない）もまた回転自在
に配置されており、ナット型のコネクタを介して昇降ブ
ラケット２８と連結されている。さらにフィードスクリ
ューの上端には、図示しないＡＣサーボモータが接続さ
れており、このＡＣサーボモータの回転によって昇降ブ
ラケット２８を任意に昇降動作させることができるよう
になっている。

【００２５】さらに、昇降機構３０はＹ軸移動ブラケッ
ト３２（アクチュエータ）を介して幅方向移動機構３６
に接続されている。幅方向移動機構３６はＹ軸移動ブラ
ケット３２をノズルの幅方向、すなわちＹ軸方向に往復
動自在に移動させるものである。動作のために必要なガ
イドロッド、フィードスクリュー、ナット型コネクタ
ー、ＡＣサーボモータ等は、ケーシング内に昇降機構３
０と同じように配置されている。幅方向移動機構３６は
支柱３４により基台２上に固定されている。

【００２６】これらの構成によって、ノズル２０はＺ軸
とＹ軸方向に自在に移動させることができる。

【００２７】ノズル２０は、テーブル６の往復動方向と
直交する方向、つまりＹ軸方向に水平に延びているが、
これを直接保持するコの字形のホルダ２２は昇降ブラケ
ット２８内で回転自在に支持されており、垂直面内で自
在に図中の矢印方向に回転することができる。

【００２８】このホルダ２２の上方には水平バー２４も
昇降ブラケット２８に固定されている。この水平バー２
４の両端部には、電磁作動型のリニアアクチュエータ２
６が取り付けられている。このリニアアクチュエータ２
６は水平バー２４の下面から突出する伸縮ロッド２９を
有し、これら伸縮ロッド２９がホルダ２２の両端に接触
することによってホルダ２２の回転角度を規制すること
ができ、結果としてノズル２０の傾き度を任意に設定す
ることができる。

【００２９】さらに図１を参照すると、基台２の上面に
は逆Ｌ字形のセンサ支柱３８が固定されており、その先
端にはテーブル６上の基材４の凸部頂上の位置（高さ）
を測定する高さセンサ４０が取り付けられている。ま
た、高さセンサ４０の隣には、基材４の凹凸部の位置を
検知するカメラ７２が支柱７０に取り付けられている。
図２に示すように、カメラ７２は画像処理装置７４に電
気的に接続されており、凹凸部位置の変化を定量的に求
めることができる。

【００３０】さらに、テーブル６の一端には、センサブ
ラケット６４を介して、ノズル２０の吐出孔のある下端
面（吐出孔面）のテーブル６に対する垂直方向の位置を
検知するセンサ６６が取り付けられている。

【００３１】図２に示すように、ノズル２０はそのマニ
ホールド４１内に塗液４２が充填されており、吐出孔４
４がノズル先端面４５上で長手方向に一直線状にならん
でいる（図３参照）。そしてこの吐出孔４４より塗液４
２が吐出される。ノズル２０には供給ホース４６が接続
されており、さらに吐出用電磁切換え弁４８、供給ユニ
ット５０、吸引ホース５２、吸引用電磁切換え弁５４、
塗液タンク５６へと連なっている。塗液タンク５６には
塗液４２が蓄えられている。塗液４２は、赤色、緑色、
青色のいずれかの色に発光する蛍光体粉末を含むペース
トからなる。

【００３２】供給ユニット５０の具体例としては、ピス
トン、ダイヤフラム型等の定容量ポンプ、チュービング
ポンプ、ギアポンプ、モーノポンプ、さらには液体を気
体の圧力で押し出す圧送コントローラ等がある。供給装
置コントローラ５８からの制御信号をうけて、供給ユニ
ット５０や、各々の電磁切換え弁の動作を行わせ、塗液
タンク５６から塗液４２を吸引して、ノズル２０に塗液
４２を供給することができる。塗液タンク５６から定容
量ポンプへの塗液４２の吸引動作を安定化させるため
に、塗液タンク５６を密閉容器にして、空気、不活性ガ
スである窒素等の気体で圧力を付加してもよい。空気、
窒素等で常に一定の圧力を付加するには、塗液タンク５
６を空気、窒素等の供給装置に接続して圧力制御すれば
よい。圧力の大きさは０．０１〜１ＭＰａ、特に０．０
２〜０．５ＭＰａが好ましい。

【００３３】供給装置コントローラ５８はさらに、全体
コントローラ６０に電気的に接続されている。この全体
コントローラ６０には、モータコントローラ６２、高さ
センサ４０の電気入力等、カメラ７２の画像処理装置７
４からの情報等、すべての制御情報が電気的に接続され
ており、全体のシーケンス制御を司どれるようになって
いる。全体コントローラ６０は、コンピュータでも、シ
ーケンサでも、制御機能を持つものならばどのようなも
のでもよい。

【００３４】またモータコントローラ６２には、テーブ
ル６を駆動するＡＣサーボモータ１６や、昇降機構３０
と幅方向移動機構３６のそれぞれのアクチュエータ７
６，７８（たとえば、ＡＣサーボモータ）、さらにはテ
ーブル６の移動位置を検出する位置センサ６８からの信
号、ノズル２０の作動位置を検出するＹ、Ｚ軸の各々の
リニアセンサ（図示しない）からの信号などが入力され
る。なお、位置センサ６８を使用する代わりに、ＡＣサ
ーボモータ１６にエンコーダを組み込み、このエンコー
ダから出力されるパルス信号に基づき、テーブル６の位
置を検出することも可能である。

【００３５】次にこの塗布装置を使った塗布方法の基本
動作について説明する。

【００３６】まず塗布装置における各作動部の原点復帰
が行われるとテーブル６、ノズル２０は各々Ｘ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸の準備位置に移動する。この時、塗液タンク５
６〜ノズル２０まで塗液はすでに充満されており、吐出
用電磁切換え弁４８は開、吸引用電磁切換え弁５４は閉
の状態にする。そして、テーブル６の表面には図示しな
いリフトピンが上昇し、図示しないローダから隔壁が一
定ピッチのストライプ状に形成されている基材４がリフ
トピン上部に載置される。

【００３７】次にリフトピンを下降させて基材４をテー
ブル６の上面に載置し、図示しないアライメント装置に
よってテーブル６上の位置決めが行われた後に基材２を
吸着する。

【００３８】次にテーブル６がカメラ７２と、高さセン
サー４０の真下に基材４の隔壁（凸部頂上）がくるまで
移動し、停止する。カメラ７２はテーブル６上に位置決
めされた基材４上の隔壁端部を写し出すようにあらかじ
め位置調整されており、画像処理によって一番端の凹部
の位置を検出し、カメラ基準点からの位置変化量ｌａを
求める。一方、カメラ７２の基準点と、所定のＹ軸座標
位置Ｙａにある時のホルダ２２に固定されたノズル２０
の最端部に位置する吐出孔４４間の長さｌｂは、事前の
調整時に測定し、情報として全体コントローラ６０に入
力しているので、画像処理装置７４からカメラ基準点か
らの隔壁凹部の位置変化量ｌａが電送されると、ノズル
２０の最端部に位置する吐出孔４４が隔壁端部の凹部の
真上となるＹ軸座標値Ｙｃを計算し（例えば、Ｙｃ＝Ｙ
ａ＋ｌｂ−ｌａ）、ノズル２０をその位置に移動させ
る。なお、カメラ７２は、ノズル２０やホルダ２２に取
り付けても同じ機能を持たせることができる。

【００３９】この間に高さセンサー４０は基材４の隔壁
頂上部の垂直方向の位置を検知し、テーブル６上面との
位置の差から基材４の隔壁頂上部の高さを算出する。こ
の高さに、あらかじめ与えておいたノズル２０吐出孔〜
基材４の隔壁頂上部間の間隙値を加算して、ノズル２０
のＺ軸リニアセンサー上での下降すべき値を演算し、そ
の位置にノズルを移動する。これによって、テーブル６
上での隔壁頂上部位置が基材ごとに変化しても、塗布に
重要なノズル２０吐出孔〜基材上の隔壁頂上部間の間隙
を常に一定に保てるようになる。

【００４０】次にテーブル６をノズル２０の方へ向けて
動作を開始させ、ノズル２０の吐出孔の真下に基材４の
塗布開始位置が到達する前に所定の塗布速度まで増速さ
せておく。テーブル６の動作開始位置と塗布開始位置ま
での距離は塗布速度まで増速できるよう十分確保できて
いなければならない。

【００４１】さらに基材４の塗布開始位置がノズル２０
の吐出孔の真下に至るまでの所に、テーブル６の位置を
検知する位置センサー６８を配置しておき、テーブル６
がこの位置に達したら、供給ユニット５０の動作を開始
して塗液４２のノズル２０への供給を開始する。ノズル
２０吐出孔より吐出される塗液４２が基材４に達するに
は、基材〜ノズル吐出孔間の間隙だけ時間遅れが生じ
る。そのため、事前に塗液４２をノズル２０に供給する
ことによって、基材４の塗布開始位置がノズル２０吐出
孔の丁度真下に来たところでノズル２０から吐出された
所定量の塗液４２が基板４に到達するので、ほとんど厚
みむらゼロの状態で塗布を開始することができる。塗液
４２の供給を開始する位置は位置センサー６８の設置場
所を変えて調整することができる。この位置センサー６
８の代わりに、モータあるいはフィードスクリューにエ
ンコーダを接続したり、テーブルにリニアセンサーを付
けたりすると、エンコーダやリニアセンサーの値で検知
しても同様なことが可能となる。

【００４２】塗布は、基材４の塗布終了位置がノズル２
０の吐出孔の真下付近に来るまで行われる。すなわち、
基材４はいつもテーブル６上の定められた位置に置かれ
ているから、基材４の塗布終了位置がノズル２０の吐出
孔の（ａ）たとえば真下にくる５ｍｍ前や、（ｂ）丁度
真下になる位置に相当するテーブル６の位置に、位置セ
ンサーやそのエンコーダ値をあらかじめ設定しておき、
テーブル６が（ａ）に対応する位置にきたら、全体コン
トローラ６０から供給装置コントローラ５８に停止指令
を出して塗液４２のノズル２０への供給を停止して、
（ｂ）の位置までスキージ塗工し、次いでテーブル６が
（ｂ）に対応する位置にきたら、ノズル２０を上昇させ
て完全に塗液４２をたちきる。塗液４２が比較的高粘度
の液体である場合には、単に塗液の供給を停止しただけ
では、残圧によるノズル２０吐出孔からの塗液吐出まで
も瞬時に停止することは難しい。そのために、塗液の供
給を停止すると同時にノズル２０内のマニホールド４１
圧力を大気圧にすると、短時間で吐出孔からの塗液の吐
出停止が可能となるので、供給ユニットにこのような機
能をもたせるか、あるいは、供給ユニットの吐出電磁切
換え弁４８〜ノズル２０の間に大気開放バルブを設ける
のが望ましい。

【００４３】さて、塗布終了位置を通過しても、テーブ
ル６は動作を続け、終点位置にきたら停止する。このと
き塗布すべき部分がまだ残っている場合には、次の塗布
すべき開始位置までノズルをＹ軸方向に塗布幅分（ノズ
ルピッチ×孔数）移動して、以下テーブル６を反対方向
に移動させることを除いては同じ手順で塗布を行う。１
回目と同一のテーブル６の移動方向で塗布を行なうのな
ら、ノズル２０は次の塗布すべき開始位置までＹ軸方向
に移動し、テーブル６はＸ軸準備位置まで復帰させる。

【００４４】そして塗布工程が完了したら、基材４をア
ンローダで移載する場所までテーブル６を移動して停止
させ、基材４の吸着を解除するとともに大気開放した後
に、リフトピンを上昇させて基材４をテーブル６の面か
ら引き離し、持ち上げる。

【００４５】このとき図示されないアンローダによって
基材４の下面が保持され、次の工程に基材４を搬送す
る。基材４をアンローダに受け渡したら、テーブル６は
リフトピンを下降させ原点位置に復帰する。

【００４６】このとき、吐出用電磁切換え弁４８を閉、
吸引用電磁切換え弁５４を開状態にして供給ユニット５
０を動作させ、塗液タンク５６から１枚の基材の塗布に
必要な量だけの塗液を供給する。

【００４７】なお、前述の塗液塗布装置の全体構成にお
いて、高さセンサー４０としては、レーザ、超音波等を
利用した非接触測定形式のもの、ダイヤルゲージ、差動
トランス等を利用した接触測定形式のもの等、測定可能
な原理のものならいかなるものを用いてもよい。

【００４８】また、塗液吐出装置の吐出孔の凹部に対応
する相対位置を検知する検知手段は、基材の凹部とノズ
ルの孔を各々別個に検知するカメラを用いた画像処理装
置により構成してもよい。

【００４９】さらにまた、前記実施態様では基材はＸ軸
方向に移動し、ノズルがＹ軸、Ｚ軸方向に移動する場合
での適用例について記述したが、ノズル２０と基材４が
相対的に３次元的に移動できる構造、形式のものである
のなら、テーブル、ノズルの移動形式はいかなる組み合
わせのものでもよい。

【００５０】たとえば、前述の実施態様では、塗布はテ
ーブルの移動、凹凸のピッチ方向への移動は、ノズルの
移動によって行う例を示したが、塗布をノズルの移動、
凹凸のピッチ方向への移動をテーブルの移動で行っても
よい。

【００５１】さらに、本発明における基材としては、ガ
ラス板の他、鉄板、アルミ板等、枚葉状のものならどの
ようなものでもよい。また、一種類の塗液を塗布する場
合について詳しく言及したが、赤、青、緑等の３色の蛍
光体を同時に塗布する場合にも本発明は適用できる。

【００５２】次に、本発明のノズル、それを用いた塗液
の塗布装置および方法、凹凸基材への塗液の塗布装置お
よび方法について説明する。図４は、本発明の第１のノ
ズルタイプの一実施態様を示している。図４において、
ノズル８１は、吐出孔８４が形成された吐出孔形成部材
８２を別体とし、これをノズル本体８３に形成された取
付孔内に挿入して一体化されている。このような構造と
することにより、吐出孔形成部材に耐摩耗性等の優れた
材質のものを効率的に用いることが可能となる。もしく
は、磨耗等により消耗した吐出孔形成部材を交換するこ
とによりメンテナンスが容易となる。もしくは、吐液の
吐出量や粘度等の条件に合わせて最適な吐出孔のＬ／Ｄ
や断面形状を容易に適用することが可能となる。

【００５３】吐出孔形成部材８２は、耐摩耗性に優れる
セラミックスが好ましい。セラミックスの材質としては
特に限定されず、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２、Ｓｉ３Ｎ４、
ＳｉＣ等を含むセラミックス素材が適用できる。

【００５４】ノズル本体８３の材質としては、特に限定
されず、耐圧性、耐食性を有するものであればよい。従
って、ステンレス鋼等の金属や、吐出孔形成部材８２と
は別に成形されたセラミックスから構成してもよい。

【００５５】ノズル本体と吐出孔形成部材の固着方法
は、接着剤による接合、ろう付けによる接合、圧入によ
る固着等が好ましいが、それ以外にも固着できる方法で
あれば用いることができる。

【００５６】図５、図６、図７は、本発明の第１のノズ
ルの他の好ましい実施態様の概略縦断面図である。吐出
孔形成部材８２とノズル本体８３の結合部分に段部８５
を設け、この段部８５により吐出孔形成部材８２の抜け
を防止する。

【００５７】本発明の第１のノズルタイプの構造を特に
細かいピッチでの塗布に用いる場合には、図１９および
図２０（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示されるようなノズル
の実施態様が好ましい。すなわち本実施態様では、吐出
孔１３１ａと吐出孔１３１ｂはそれぞれ直線状に、２列
配列されている。さらに各列ごとには吐出孔ピッチの半
分だけずらしてある。１列配列の場合、吐出孔形成部材
１３１ａ、１３１ｂの外径以下の塗布ピッチをもって塗
布することはできないが、２列配列にして、さらに各列
ごとに吐出孔ピッチの半分だけずらすことにより、塗液
の塗布ピッチは１列配列の半分にすることができる。さ
らに狭いピッチで塗布する場合は、吐出孔の配列数を増
せばよい。

【００５８】本実施態様のように吐出孔が塗布方向に直
角な方向に２列以上配置されている場合は、列ごとに独
立して、マニホールド部を有することが好ましい。すな
わち、吐出孔１３１ａにはマニホールド１３３ａから塗
液が供給され、マニホールド１３３ａには、供給管１３
４ａ、供給口１３５ａを介して塗液が供給される。ま
た、吐出孔１３１ｂにはマニホールド１３３ｂから塗液
が供給され、マニホールド１３３ｂには、供給管１３４
ｂ、供給口１３５ｂを介して塗液が供給される。これら
塗液の供給系は、それぞれ独立に供給量が設定、制御で
きるようになっていることにより、塗布の開始、終了の
タイミングも各供給系独立に制御できるようになってお
り、塗布方向において、対応する吐出孔１３１ａと吐出
孔１３１ｂとは、同一の位置で塗布を開始し、同一の位
置で塗布を終了するよう制御される。

【００５９】上記実施態様では、各吐出孔の列を１台の
ノズル中に形成したが、もちろん各吐出孔を別々のノズ
ルに形成してもよい。たとえば図２１および図２２に示
すように、吐出孔１４１ａをノズル１４０ａに設け、吐
出孔１４１ｂをノズル１４０ｂに設ける。吐出孔１４１
ａには、供給管１４４ａ、供給口１４５ａ、マニホール
ド１４３ａを介して塗液が供給され、吐出孔１４１ｂに
は、供給管１４４ｂ、供給口１４５ｂ、マニホールド１
４３ｂを介して塗液が供給される。各塗液の供給系の供
給量、吐出のタイミングは、それぞれ独立に制御され、
対応する吐出孔１４１ａと吐出孔１４１ｂとは、塗布方
向において、同一の位置で塗布を開始し、同一の位置で
塗布を終了するよう制御される。ノズル１４０ａとノズ
ル１４０ｂとは、所定の位置関係に固定され、基材に対
し、相対的に、一体に移動されるが、各ノズルの相対位
置は、微調整できるようにしておくことがより好まし
い。

【００６０】図８、図９は、本発明の第２のノズルタイ
プの実施態様の一例の概略図である。図８および図９に
示す第２のノズルタイプのノズル９０は、２つのブロッ
クを組み合わせて（重ね合わせて）構成したもので、ブ
ロック９１、９２の合わせ面９１ａ、９２ａのうち、片
方のブロック９１の側に溝９３がノズル幅方向に並んで
形成されている。ブロック９１、９２の重ね合わせによ
り、これらの溝９３が吐出孔（貫通道）として形成され
る。このようなブロック重ね合わせタイプのノズル９０
においては、分解により、吐出孔を直接効果的にかつ容
易に洗浄できるので、繰り返し長期に渡って塗液を塗布
して生産する場合にも、異物やカスの溜まりや付着を防
止して、安定生産を持続することができる。ブロック９
１、９２を分解すれば溝部分が露出するので、溝部分を
直接洗浄することが可能となる。

【００６１】ブロック９１、９２の少なくとも１つはセ
ラミックスで構成され、これによりノズルの耐摩耗性が
飛躍的に向上し、ノズルの長寿命化と長期に渡って安定
な塗布が可能となり、それによって、塗液が塗布された
基材の高生産性と高品質が可能となる。セラミックスの
材質としては特に限定されず、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２、
Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＣ等を含むセラミックス素材が適用で
きる。断面形状はいかなる形状でもよいが、長方形や
半円形等が好ましい。９４は、内部に塗液を一定量蓄積
するための液だめ部としてのマニホールド、９５は、ノ
ズル９０内への塗液もしくは圧空の導入口を、それぞれ
示している。

【００６２】吐出孔９３の断面を形成している溝部分の
塗液吐出方向の長さは、０．３〜２０ｍｍの範囲にある
ことが望ましい。０．３ｍｍ以上とすることで溝を均一
長さで形成するのが容易となるとともに十分な流線が形
成され安定した吐出が可能となり、シール性も十分に得
ることができる。また２０ｍｍを越えると吐出圧力が飛
躍的に増大し、押し出しが困難となる傾向にある。溝の
断面のサイズとしては、長方形ならブロック重ね方向に
５０μｍ〜１ｍｍ、ピッチ方向に５０〜５００μｍ程度
の範囲が望ましい。使用する塗液の粘度が高くなるにし
たがって、サイズを大きくすることが望ましい。

【００６３】なお、図８、図９中では片側のブロック９
１に溝９３を形成する構造としたが、両方のブロックに
溝を形成してもよい。たとえば、ブロックの合わせ面を
中心とした長方形形状や、円形形状断面をもつもの等と
してもよい。

【００６４】図１０ないし図１２は、本発明の第３のノ
ズルタイプの一実施態様の概略図である。図１０、図１
２に示す第３のノズルタイプのノズル１００は、２つの
ブロック１０１、１０２の間に板状シム１０３を挟み込
み、これらを重ね合わせて構成したもので、板状シム１
０３の下部に一定ピッチのスリット１０４を形成してお
くことにより、このスリット１０４を貫通道、つまり、
吐出孔として構成するものである。１０５は、内部に塗
液を一定量蓄積するための液だめ部としてのマニホール
ド、１０６は、ノズル１００内への塗液もしくは圧空の
導入口を、それぞれ示している。このような櫛状のスリ
ット１０４を有する板状シム１０３を挟み込んで形成し
たノズル１００を用いることにより、ノズル１００を容
易に分解できるようになり、分解により、吐出孔を直接
効果的にかつ容易に洗浄できるので、繰り返し長期に渡
って生産する場合にも、異物やカスの溜まりや付着を防
止して、安定生産を持続することができる。

【００６５】ブロック１０１、１０２と板状シム１０３
の少なくとも１つはセラミックスよりなり、これにより
ノズルの耐摩耗性が飛躍的に向上し、ノズルの長寿命化
と長期に渡って安定な塗布が可能となり、それによっ
て、塗液が塗布された基材の高生産性と高品質が可能と
なる。セラミックスの材質としては特に限定されず、Ａ
ｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２、Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＣ等を含むセラ
ミックス素材が適用できる。

【００６６】板状シム１０３全体の面積はブロックの重
ね合わせる面の面積と同じにしてある。スリット１０４
の閉じている側はマニホールド１０５内まで達してお
り、マニホールド１０５内の塗液がスリット１０４を通
じて外部に安定して吐出されるためには、１ｍｍ以上は
スリット１０４がマニホールド部の液に接触している必
要がある。

【００６７】スリット１０４の幅（ノズル幅方向）は５
０〜５００μｍ、板状シム１０３の厚さは５０μｍ〜１
ｍｍが望ましい。各々の下限以下だと吐出圧が大きくな
って塗液の吐出が困難となる傾向にあり、上限より大き
いと停止時に塗液がたれ落ちてしまう傾向にある。ま
た、板状シム１０３のスリット部１０４が２つのブロッ
ク１０１、１０２によって押しつけられ挟み込まれてい
る部分の長さ（塗液の流路が一番狭くなる部分（または
吐出孔断面）の塗液吐出方向の長さ）は、０．３〜２０
ｍｍが望ましい。０．３ｍｍ以上とすることで吐出孔を
均一長さで形成するのが容易となるとともに十分な流線
が形成され安定した吐出が可能となり、シール性も十分
に得ることができる。また２０ｍｍを越えると吐出圧力
が飛躍的に増大し、押し出しが困難となる傾向にある。

【００６８】図１３、図１４は、本発明の第４のノズル
タイプの実施態様の例を示している。第４のノズルタイ
プは、マニホールド部１１１が加工されたマニホールド
部材１１７と、吐出孔１１２が加工された吐出孔部材１
１４を接合して構成されたノズルである。この構造とす
ることにより、吐出孔１１２を加工した後に、吐出孔部
材１１４の両面の表面粗度をむら無く均一に仕上げるこ
とができるため、これにより、均一で安定した塗液の吐
出が可能となる。

【００６９】第４のノズルタイプにおける吐出孔部材１
１４としては図１４のようにセラミックスよりなるもの
か、図１３のように吐出孔面１１５、１１６の少なくと
も一方、および／または吐出孔内壁面にセラミックス皮
膜１２０によりコーティングされているものが用いられ
る。吐出孔部材１１４を形成するセラミックスの材質と
しては特に限定されず、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２、Ｓｉ３
Ｎ４、ＳｉＣ等を含むセラミックス素材が適用できる。

【００７０】また、吐出孔形成部材１１４を皮膜コーテ
ィングするセラミックスの材質としては、Ａｌ２Ｏ３、
ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＷＣ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、Ｔｉ
ＡｌＮ等を含むセラミックスが適用される。

【００７１】上記のごとく、吐出孔部材１１４がセラミ
ックスよりなるか、または、セラミックス皮膜によりコ
ーティングされていることにより、ノズルの耐摩耗性が
飛躍的に向上し、ノズルの長寿命化と長期に渡って安定
な塗布が可能となり、それによって、塗液が塗布された
基材の高生産性と高品質が可能となる。

【００７２】マニホールド部材の材質としては、特に限
定されず、耐圧性、耐食性を有するものであればよい。
従って、ステンレス鋼等の金属や、吐出孔部材１１４と
は別に成形されたセラミックス、あるいは、セラミック
ス皮膜がコーティングされているものから構成してもよ
い。吐出孔部材１１４とマニホールド部材１１７の接合
方法としては、接着剤、拡散接合、レーザー溶接やボル
ト等による締結等がある。

【００７３】また、本発明のノズルタイプ４は、図１
５、図１６に示すように吐出孔部材１１４に補強材１１
８を貼り付けられていることが好ましい。吐出孔部材１
１４に補強材１１８を貼り付けることにより、マニホー
ルド部材と取り外しが可能な構成とした場合、衝撃等で
割れるおそれのあるセラミックスを保護することが可能
となる。

【００７４】また、本発明のノズルタイプ４は、吐出孔
部材１１４の吐出孔が開口している領域において平行度
０．１ｍｍ以下の板状体であることが好ましい。図１
７、図１８は、ノズルタイプ４の吐出孔部材１１４の吐
出孔が開口している領域が一定厚みの板状体であること
を示している。この厚みに関して、平行度を０．１ｍｍ
以下と規定することで、各々の吐出孔１１２の長さが等
しくなり、塗液が各々の吐出孔１１２を通過するときの
圧力損失を合わせることができる。これにより、吐出孔
間の吐出量ばらつきは小さくなり、精度の高い安定した
塗布が可能となる。

【００７５】本発明のノズルタイプ１、ノズルタイプ
２、ノズルタイプ３、ノズルタイプ４のいずれについて
も、ノズルの吐出孔の内壁の表面粗さの最大高さＲｍａ
ｘが２μｍ以下であることが好ましい。これにより、吐
出孔内壁の表面は十分な平滑性を有するので、吐出口中
に塗液中の粒子等が凝集して塊を形成することがなく、
塗液は吐出口中を円滑に流れる。

【００７６】また、本発明のノズルタイプ１、ノズルタ
イプ２、ノズルタイプ３、ノズルタイプ４のいずれにつ
いても、吐出孔の断面形状が、塗布時のノズルの進行方
向と吐出孔の開口軸によって規定される面に対して面対
称であることが好ましい。図２３ないし図２８は、本発
明の吐出孔の断面形状の態様例を示す。各図において、
吐出孔１１２は、塗布時のノズルの進行方向（紙面に対
して手前から奥もしくは奥から手前）と吐出孔の開口軸
１１３によって規定される面に対して面対称である断面
形状を有している。このようにすることで、吐出孔壁面
の長さは、吐出孔の全周にわたり一定となり、塗液が吐
出孔壁面からうける管摩擦抵抗は塗液に均等に働く。こ
れにより、塗液の速度分布は軸対称となり、吐出した塗
液が曲がったり、ぴくついたり、あるいは旋回すること
はない。

【００７７】吐出孔１１２の形状としては、図２３の円
形、図２４の長方形もしくは楕円形、図２５の角形、図
２６の双子円形、図２７の多角形、または、図２８の先
細りもしくは先太り等によるものがある。

【００７８】

【実施例】以下に、本発明を実施例を用いて、具体的に
説明する。ただし、本発明はこれに限定されない。な
お、実施例中の濃度（％）は特に断らない限り重量％で
ある。

【００７９】ガラス基板（旭硝子社製ＰＤ２００）上
に、感光性銀ペーストを用いて、線幅６０μｍ、ピッチ
２２０μｍの１６００本のアドレス電極を形成した。次
に、電極上にガラス粉末５０重量％、酸化チタン１５
％、エチルセルロース２０％、溶媒１５％からなるガラ
スペーストを塗布した後に、焼成して誘電体層を形成し
た。更に、誘電体層上に、隔壁間の中央に電極が配置さ
れる様に感光性ペースト法でピッチ２２０μｍ、高さ１
５０μｍ、幅６０μｍの隔壁を９６１本形成した。蛍光
体粉末３９ｇおよびバインダーポリマー（エチルセルロ
ース）８ｇ、溶媒（テルピネオール）５３ｇからなる蛍
光体ペーストを作製した。蛍光体粉末は、赤：（Ｙ，Ｇ
ｄ，Ｅｕ）ＢＯ３（累積平均粒子径２．７μｍ、比表面
積３．１ｍ２／ｃｍ３）、緑：（Ｚｎ，Ｍｎ）２ＳｉＯ
４（累積平均粒子径３．６μｍ、比表面積２．５ｍ２／
ｃｍ３）、青：（Ｂａ，Ｅｕ）ＭｇＡｌ１０Ｏ１７（累
積平均粒子径３．７μｍ、比表面積２．３ｍ２／ｃｍ
３）を用いた。まず、有機成分の各成分を水に６０℃で
加熱しながら溶解し、その後蛍光体粉末を添加し、混練
機で混練することによってペーストを作製した。粘度は
３５Ｐａ・ｓだった。

【００８０】次いで上記の各色のペーストを隔壁が形成
されたガラス基板上にストライプ状に塗布した。

【００８１】ノズルは、本発明の第４のノズルタイプの
ものを用いた。吐出孔部材として、Ａｌ２Ｏ３より成
り、吐出孔の断面形状が円形、吐出孔の内壁の表面粗さ
の最大高さＲｍａｘが０．１μｍである平行度が１０μ
ｍの板状体を用いた。吐出孔は、円形の断面形状で孔径
１５０μｍのものが孔ピッチ６６０μｍで１６個、１列
に配置されているものを用いた。これをステンレス鋼製
の補強部材を挟んでステンレス鋼製のマニホールド部材
と接合させ、ノズルとし、これを図１、図２に示すよう
な装置に設置し、これを塗布装置として用いた。

【００８２】まず、赤色蛍光体ペーストを所定の隔壁間
に塗布した。ノズル先端面と隔壁の上端の距離は１００
μｍにセットした。そして、圧送コントローラにより吐
出圧を０．４ＭＰａに調節し、ノズルを隔壁と平行に走
行させながら１６個の吐出孔から蛍光体ペーストを吐出
して隔壁間に塗布した。このとき、１回（１６本）塗布
が終了した位置において隔壁方向と垂直方向にノズルを
１０．５６ｍｍ移動させ、次は１回目と逆方向にノズル
を走行させながら隔壁間に２回目の塗布を行った。これ
を２０回繰り返して、赤色蛍光体の所定位置に３２０本
を塗布した。塗布終了後、塗布面を上にして８０℃で４
０分乾燥した。次に、赤色蛍光体を塗布した隣の隔壁間
に青色蛍光体ペーストを同様に３２０本塗布して乾燥し
た。さらに、青色蛍光体を塗布した隣の隔壁間に緑色蛍
光体ペーストを同様に３２０本塗布して乾燥した。そし
て、５００℃で３０分焼成し、プラズマディスプレイパ
ネル用の背面板を得た。

【００８３】蛍光体層の側面厚みと底面厚みを電子顕微
鏡で観察したところ、各色の蛍光体層が、側面、底面と
もに２０±５μｍの厚みに形成できた。また、蛍光体層
中に金属摩耗粉の混入は見られなかった。

【００８４】さらに、得られた背面板を前面板と合わせ
た後、封着、ガス封入して作製し、駆動回路を接続し
て、プラズマディスプレイパネルを作製した。吐出量の
ばらつきによる輝度むらがなく、また金属摩耗粉の混入
による品質の低下もなく、良好な表示特性と安定性を有
するプラズマディスプレイパネルが得られた。

【００８５】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のノズル並
びに塗液の塗布装置および方法によれば、ノズルの吐出
孔部材にセラミックスを用いるので、ノズルの耐摩耗性
が飛躍的に向上し、ノズルの長寿命化と長期に渡って安
定な塗布が可能となり、それによって、塗液が塗布され
た基材の高生産性と高品質が可能となる。

【００８６】本発明のプラズマディスプレイの製造装置
および方法によれば、このような凹凸基材への塗液の塗
布装置および方法を使用するので、品質の高いプラズマ
ディスプレイパネルを、長期に渡って安定生産が可能と
なり、結果的に高い生産性、かつ、安価に製造すること
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る塗液の塗布装置の一実施態様の全
体斜視図である。

【図２】図１の装置のテーブルとノズル周りの構成を示
す模式図である。

【図３】図１の装置におけるノズルを下側からみた拡大
平面図である。

【図４】本発明の第１のノズルタイプの一実施態様に係
るノズルの要部の概略縦断面図である。

【図５】本発明の第１のノズルタイプの好ましい実施態
様に係るノズルの要部の概略縦断面図である。

【図６】本発明の第１のノズルタイプのさらに他の好ま
しい実施態様に係るノズルの要部の概略縦断面図であ
る。

【図７】本発明の第１のノズルタイプのさらに他の好ま
しい実施態様に係るノズルの要部の概略縦断面図であ
る。

【図８】本発明の第２のノズルタイプの一実施態様に係
るノズルの概略縦断面図である。

【図９】図８のノズルの底面図である。

【図１０】本発明の第３のノズルタイプの一実施態様に
係るノズルの概略縦断面図である。

【図１１】図１０のノズルの板状シムの正面図である。

【図１２】図１０のノズルの底面図である。

【図１３】本発明の第４のノズルタイプの一実施態様に
係るノズルの概略縦断面図である。

【図１４】本発明の第４のノズルタイプの他の実施態様
に係るノズルの概略縦断面図である。

【図１５】本発明の第４のノズルタイプの好ましい実施
態様に係る吐出孔部材の正面図である。

【図１６】図１５の吐出孔部材の概略縦断面図である。

【図１７】本発明の第４のノズルタイプの他の好ましい
実施態様に係るノズルの概略縦断面図である。

【図１８】本発明の第４のノズルタイプのさらに他の好
ましい実施態様に係るノズルの概略縦断面図である。

【図１９】本発明の第１のノズルタイプのさらに他の好
ましい実施態様に係るノズルの斜視図である。

【図２０】図１９のノズルの内部構造を示す図であっ
て、（Ａ）はノズルの横断面図、（Ｂ）は縦断面図、
（Ｃ）は別の角度からみた縦断面図である。

【図２１】本発明の第１のノズルタイプのさらに他の好
ましい実施態様に係るノズルの斜視図である。

【図２２】図２１のノズルの内部構造を示す図であっ
て、（Ａ）はノズルの横断面図、（Ｂ）は縦断面図、
（Ｃ）は別の角度からみた縦断面図である。

【図２３】本発明のノズルの好ましい実施態様に係るノ
ズルの要部の縦断面図である。

【図２４】本発明のノズルの他の好ましい実施態様に係
るノズルの要部の縦断面図である。

【図２５】本発明のノズルのさらに他の好ましい実施態
様に係るノズルの要部の縦断面図である。

【図２６】本発明のノズルのさらに他の好ましい実施態
様に係るノズルの要部の縦断面図である。

【図２７】本発明のノズルのさらに他の好ましい実施態
様に係るノズルの要部の縦断面図である。

【図２８】本発明のノズルのさらに他の好ましい実施態
様に係るノズルの要部の縦断面図である。

【符号の説明】

２基台４基材６テーブル８ガイド溝レール１０フィードスクリュー１６ＡＣサーボモータ２０ノズル２６リニアアクチュエータ３０昇降機構３６幅方向移動機構４０高さセンサー４２塗液４４吐出孔４５ノズル先端面５０供給ユニット５６塗液タンク５８供給装置コントローラ６０全体コントローラ６６センサー７２カメラ８１ノズル８２吐出孔形成部材８３ノズル本体８４吐出孔８５段部９０ノズル９１、９２ブロック９１ａ、９２ａブロックの合わせ面９３溝（吐出孔）９４マニホールド（液だめ部）９５圧空もしくは塗液の供給口１００ノズル１０１、１０２ブロック１０３板状シム１０４スリット（吐出孔）１０５マニホールド（液だめ部）１０６圧空もしくは塗液の供給口１１０ノズル１１１マニホールド１１２吐出孔１１３吐出孔の開口方向の軸１１４吐出孔部材１１５、１１６吐出孔面１１７マニホールド部材１１８補強材１１９板状体１２０セラミックス皮膜１３０ノズル１３１ａ、１３１ｂ吐出孔形成部材１３２ノズル本体１３３ａ、１３３ｂマニホールド１３４ａ、１３４ｂ供給管１３５ａ、１３５ｂ供給口１４０ａ、１４０ｂノズル１４１ａ、１４１ｂ吐出孔１４３ａ、１４３ｂマニホールド１４４ａ、１４４ｂ供給管１４５ａ、１４５ｂ供給口

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Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】塗布対象物に塗液を塗布するためのノズル
であって、該ノズル本体に形成された取付孔内に、ノズ
ルの吐出孔が形成された吐出孔形成部材を挿入して接合
したことを特徴とするノズル。
【請求項２】吐出孔形成部材がセラミックスからなるこ
とを特徴とする請求項１に記載のノズル。
【請求項３】吐出孔形成部材の外壁と、取付孔の内壁と
の間隙に接着剤を充填してノズル本体と吐出孔形成部材
を接着接合することを特徴とする請求項１または２に記
載のノズル。
【請求項４】吐出孔形成部材の外壁と、取付孔の内壁と
の間隙にろうを充填してノズル本体と吐出孔形成部材を
ろう付け接合することを特徴とする請求項１または２に
記載のノズル。
【請求項５】吐出孔形成部材が、取付孔に圧入により固
着されていることを特徴とする請求項１または２に記載
のノズル。
【請求項６】取付孔の内壁面および／または吐出孔形成
部材の外壁面の吐出孔の軸方向に段部を設け、吐出孔形
成部材を取付孔内に固着することを特徴とする請求項１
ないし５のいずれかに記載のノズル。
【請求項７】吐出孔が、塗布方向に直角な方向に少なく
とも２列配置され、かつ、列ごとに独立して、マニホー
ルド部を有することを特徴とする請求項１ないし６のい
ずれかに記載のノズル。
【請求項８】塗布対象物に塗液を塗布するためのノズル
であって、吐出孔の配列方向、および、吐出孔の軸方向
に対し垂直な方向に２つのブロックを重ね合わせたもの
からなり、内部にマニホールド部を有するとともに、２
つのブロックの重ね合わせ面にマニホールド部と外部と
を連通する複数の貫通道をブロックの重ね方向とは垂直
な方向に設けることにより吐出孔を形成し、かつ、２つ
のブロックの少なくとも１つはセラミックスであること
を特徴とするノズル。
【請求項９】塗布対象物に塗液を塗布するためのノズル
であって、２つのブロックの間に板状シムを重ね合わせ
たものからなり、内部にマニホールド部を有するととも
に、板状シムにマニホールド部と外部とを連通する複数
のスリットをブロックの長手方向に設けることにより吐
出孔を形成し、かつ、２つのブロックと板状シムの少な
くとも１つがセラミックスであることを特徴とするノズ
ル。
【請求項１０】塗布対象物に塗液を塗布するためのノズ
ルであって、マニホールド部を有する部材と、吐出孔を
有する部材とが接合されたものからなり、かつ、吐出孔
を有する部材がセラミックスであるか、または、セラミ
ックス皮膜によりコーティングされていることを特徴と
するノズル。
【請求項１１】吐出孔を有する部材に補強材が貼られて
いることを特徴とする請求項１０に記載のノズル。
【請求項１２】吐出孔を有する部材の吐出孔が開口して
いる領域は平行度０．１ｍｍ以下の板状体であることを
特徴とする請求項１０または１１に記載のノズル。
【請求項１３】吐出孔の内壁の表面粗さの最大高さＲｍ
ａｘが２μｍ以下であることを特徴とする請求項１ない
し１２のいずれかに記載のノズル。
【請求項１４】基材を固定するテーブルと、基材に対面
して設けられ、基材に所定量の塗液を吐出するノズル
と、テーブルとノズルを３次元的に相対移動させる移動
手段とを備えた基材への塗液の塗布装置において、ノズ
ルに、請求項１ないし１３のいずれかに記載のノズルを
用いたことを特徴とする塗液の塗布装置。
【請求項１５】表面に一方向にストライプ状に凹凸部が
形成されている凹凸基材を固定するテーブルと、凹凸基
材の凹凸部に対面して設けられ、凹部に所定量の塗液を
吐出するノズルと、テーブルとノズルを３次元的に相対
移動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布
装置において、ノズルに、請求項１ないし１３のいずれ
かに記載のノズルを用いたことを特徴とする、凹凸基材
への塗液の塗布装置。
【請求項１６】基材と、基材に対面して設けられた複数
の吐出孔を有するノズルとを相対的に移動させ、かつ、
吐出孔から塗液を吐出し、基材に塗液を塗布する方法で
あって、ノズルに、請求項１ないし１３のいずれかに記
載のノズルを用いて塗布することを特徴とする塗液の塗
布方法。
【請求項１７】表面に一方向にストライプ状に凹凸部が
形成されている凹凸基材と、凹凸基材の凹凸部に対面し
て設けられた複数の吐出孔を有するノズルとを相対的に
移動させ、かつ、吐出孔から塗液を吐出し、凹凸基材の
選択された凹部に塗液を塗布する方法であって、ノズル
に、請求項１ないし１３のいずれかに記載のノズルを用
いて塗布することを特徴とする、凹凸基材への塗液の塗
布方法。
【請求項１８】プラズマディスプレイパネル用部材の製
造方法であって、ストライプ状に隔壁が形成された基板
と、基板の隔壁のある面に対面して設けられた複数の吐
出孔を有するノズルとを相対的に移動させ、かつ、吐出
孔から赤色、緑色、青色のいずれかの色に発光する蛍光
体粉末を含むペーストを吐出し、ノズルに、請求項１な
いし１３のいずれかに記載のノズルを用いて塗布する工
程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル
用部材の製造方法。