JP6216195B2 - 定量吐出ポンプ - Google Patents
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Description
11−駆動部
12−検出部
13−調圧部
20−処理液タンク
30−ノズル部
51−吸入弁(吸入部)
61−吐出弁(吐出部)
110−ポンプ室
120−作動流体室
130−シリンダ部
140−ピストン(加圧部材)
150−シール部
160−調圧室
161−リリーフ弁
162−バイパス弁
170−圧力センサ(検出部)
Claims (9)
- ワークに対して処理液を供給するための処理液供給装置に用いられる定量吐出ポンプであって、
前記処理液の吸込口及び吐出口を有し、容積を拡縮自在に構成されたポンプ室と、
前記ポンプ室の容積を拡縮させるための作動流体が充填された作動流体室と、
前記作動流体室に連通するシリンダ部と、
前記シリンダ部内で前記作動流体室に向けて進退自在にされた加圧部材と、
前記加圧部材の進退方向について前記加圧部材を挟んで前記作動流体室の反対側を覆い、前記加圧部材の進退動作に追従して変形自在の隔壁を備え、内部に前記作動流体が充填されたシール部と、
前記作動流体室と前記シール部との間を選択的に連通させるバイパス路と、
前記シール部の容積を縮小する方向に付勢する調圧部と、
所定のタイミングで前記バイパス路を開放させる制御部と、を備えた定量吐出ポンプ。 - 前記制御部は、前記加圧部材が前記作動流体室から最も離れた原点位置に位置する状態で前記バイパス路を開放するリセット動作と、前記加圧部材を所定量だけ前記作動流体室側に移動させる加圧動作と、を順に行う請求項1に記載の定量吐出ポンプ。
- 前記吸込口を外部に開閉するリリーフ弁をさらに備え、
前記制御部は、前記リセット動作時に前記リリーフ弁を開放する請求項2に記載の定量吐出ポンプ。 - 前記シール部の圧力を測定する圧力センサをさらに備え、
前記制御部は、前記圧力センサの検出結果に基づいて前記リセット動作及び前記加圧動作を実行する請求項2又は3に記載の定量吐出ポンプ。 - 前記調圧部は、前記シール部に拡縮自在に連続する調圧室と、前記調圧室の容積を縮小する方向に付勢する付勢部材と、を備えた請求項1乃至4の何れかに記載の定量吐出ポンプ。
- 前記調圧部は、前記シール部の上部に連通する調圧室である請求項1乃至3の何れかに記載の定量吐出ポンプ。
- 前記調圧部は、前記シール部の上部に連通する調圧室であり、
前記調圧室に流入した作動流体の液面の高さを検出する液面センサをさらに備え、
前記制御部は、前記液面センサの検出結果に基づいて前記リセット動作及び前記加圧動作を実行する請求項2又は3に記載の定量吐出ポンプ。 - 前記ポンプ室の拡張方向の変形量を規定するストッパを備えた請求項1乃至7の何れかに記載の定量吐出ポンプ。
- 前記ポンプ室を拡張方向に付勢する弾性部材を備えた請求項8に記載の定量吐出ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013190065A JP6216195B2 (ja) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | 定量吐出ポンプ |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013190065A JP6216195B2 (ja) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | 定量吐出ポンプ |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2015055225A JP2015055225A (ja) | 2015-03-23 |
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Family
ID=52819800
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013190065A Active JP6216195B2 (ja) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | 定量吐出ポンプ |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6216195B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101763121B1 (ko) | 2016-02-29 | 2017-08-16 | 주식회사 나래나노텍 | 개선된 약액 가압 장치, 및 이를 구비한 약액 공급 장치 |
JP6920923B2 (ja) * | 2017-08-25 | 2021-08-18 | 株式会社Screenホールディングス | ポンプ装置および基板処理装置 |
JP2021105392A (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-26 | 学校法人 中央大学 | ポンプユニット及びポンプ並びに搬送物の特性検出方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07259741A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-10-09 | Nippon Soken Inc | ダイアフラムポンプ |
JP2000130334A (ja) * | 1998-10-26 | 2000-05-12 | Takuma Co Ltd | ダイアフラム式ポンプおよびダイアフラム損傷検知方法およびそれを備えたアンモニア吸収式冷凍機 |
JP2008038837A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Saginomiya Seisakusho Inc | 定量送液ポンプおよびそれを用いた薬液塗布装置 |
JP5210025B2 (ja) * | 2008-04-09 | 2013-06-12 | タツモ株式会社 | 定量吐出ポンプ |
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2013
- 2013-09-13 JP JP2013190065A patent/JP6216195B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
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JP2015055225A (ja) | 2015-03-23 |
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