JP5989881B2 - 薬液供給システム - Google Patents
薬液供給システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5989881B2 JP5989881B2 JP2015189619A JP2015189619A JP5989881B2 JP 5989881 B2 JP5989881 B2 JP 5989881B2 JP 2015189619 A JP2015189619 A JP 2015189619A JP 2015189619 A JP2015189619 A JP 2015189619A JP 5989881 B2 JP5989881 B2 JP 5989881B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- flow rate
- working gas
- chemical
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
前記作動気体供給口へ前記作動気体を供給して前記変動部材を駆動するポンプ駆動部と、
前記ポンプ駆動部を操作して前記薬液の吸引と吐出とを行う制御部と、
前記作動気体供給口へ供給される作動気体の流量を計測する気体流量計測部と、
前記計測された作動気体の流量である計測流量に基づいて前記薬液の吸引量と吐出量の少なくとも一方を算出する薬液流量算出部と、
を備える薬液供給システム。
前記ポンプ駆動部と前記作動気体供給口とを接続し、前記作動気体が流れる作動気体流路と、
前記作動気体流路において前記作動気体の圧力を計測する圧力計測部と、
を備え、
前記薬液流量算出部は、前記計測された圧力である計測圧力に基づいて前記作動室における前記作動気体の圧力変化に起因する作動気体の流量である圧縮流量を算出し、前記計測流量から前記圧縮流量を減算することによって前記計測流量を補正する手段1に記載の薬液供給システム。
前記圧力計測部は、前記所定の時間間隔で前記計測圧力を取得し、
前記薬液供給システムは、予め設定されている初期状態の作動室の容積である初期容積を初期値として、前記所定の時間間隔で計測された計測流量を順次加算することによって作動室の容積を推定し、
前記圧縮流量は、前記推定された容積における前記作動気体の圧力変化と作動気体の流量の関係に基づいて、前記作動気体の圧力変化に起因する作動気体の流量として算出され、
前記作動気体の圧力変化は、前記所定の時間間隔で連続して計測された計測圧力に基づいて計測され、
前記初期状態の作動室の容積は、前記薬液の吸引量の算出においては前記吸引の開始時の容積であり、前記薬液の吐出量の算出においては前記吐出の開始時の容積である手段2に記載の薬液供給システム。
(1)上記の実施形態では、電空レギュレータ51が操作エアの圧力を正圧から負圧の設定圧となるまで一定の変化率で徐々に低下させるように制御したが、圧力低下の方法は、これに限定されるものではない。例えば、ポンプ駆動部59の排気配管60に絞りを装備するようにしても良い。
(2)上記実施の形態では、薬液としてレジスト液Rを半導体ウェハWに塗布する例が示されているが、薬液やプロセスの種類はこれに限られず、薬液の供給が行われるシステムに適用することができる。
(3)上記実施の形態では、作動室に給排される操作エア(空気)を例に挙げて説明したが、空気以外にも窒素等の他の作動気体を用いても良い。
(4)上記実施の形態では、電空レギュレータ51には真空発生源61を接続したが、たとえばエゼクタのように真空でなくても負圧が発生できれば良い。
(5)上記実施の形態では、吐出流量の観測値(算出値)をフィードバックするフィードバック制御が行われているが、必ずしも吐出流量の観測値をフィードバック量として利用する必要は無く、吐出流量の観測値を監視できるように構成しても良い。こうすれば、吸引側あるいは吐出側の流路のフィルタの仕様範囲内のろ過流量となっていることをリアルタイムで監視することもできる。
(6)上記実施の形態では、操作エアの圧力と流量とを計測しているが、たとえばポンプ内部の温度を計測して、その計測値を利用するようにしてもよい。
(7)上記実施の形態では、本発明は、吸引側バルブと吐出側バルブとをコントローラで制御して吸引と吐出とを行っているが、たとえばチェックバルブを使用して吸引と吐出とを実現するように構成しても良い。本発明は、一般に薬液吸引口と薬液吐出口とに連通するポンプ室を作動気体の供給で駆動するポンプに適用することができる。
(8)上記実施の形態では、本発明は、ダイアフラムポンプを適用されているが、たとえばベローズポンプにも適用可能である。本発明は、一般にポンプ室と作動室とに仕切る変動部材(変形部材やピストンのような移動部材)を作動気体の供給で駆動するポンプに適用することができる。
Claims (6)
- 薬液吸引口と薬液吐出口とに連通する内部空間が形成されているポンプ本体と、前記内部空間に連通する作動気体供給口と、前記薬液吸引口と前記薬液吐出口とに連通する側のポンプ室と前記作動気体供給口に連通する側の作動室とに仕切る変動部材と、を有する薬液供給用ポンプと、
前記薬液吸引口を開閉する吸引側バルブと、
前記薬液吐出口を開閉する吐出側バルブと、
前記作動気体供給口へ前記作動気体を供給して前記変動部材を駆動するポンプ駆動部と、
前記ポンプ駆動部を操作して前記薬液の吸引と吐出とを行う制御部と、
前記作動気体供給口へ供給される作動気体の流量を計測する気体流量計測部と、
を備え、
前記制御部は、前記吸引側バルブ及び前記吐出側バルブを閉状態にするとともに前記ポンプ駆動部を操作して前記作動室の圧力を変化させた際に、前記気体流量計測部により計測される前記作動気体の流量である計測流量、所定の時間間隔における前記作動室の圧力変化、及び前記所定の時間間隔から前記作動室の初期容積を算出する薬液供給システム。 - 前記薬液供給システムは、さらに、
前記ポンプ駆動部と前記作動気体供給口とを接続し、前記作動気体が流れる作動気体流路と、
前記作動気体流路において前記作動気体の圧力を計測する圧力計測部と、
を備え、
前記制御部は、前記圧力計測部により計測された圧力である計測圧力に基づいて前記作動室における前記作動気体の圧力変化に起因する作動気体の流量である圧縮流量を算出し、前記計測流量から前記圧縮流量を減算することによって前記計測流量を補正する請求項1に記載の薬液供給システム。 - 前記気体流量計測部は、前記所定の時間間隔で前記計測流量を取得し、
前記圧力計測部は、前記所定の時間間隔で前記計測圧力を取得し、
前記薬液供給システムは、前記初期容積を初期値として、前記所定の時間間隔で計測された計測流量を順次加算することによって作動室の容積を推定し、
前記圧縮流量は、前記推定された容積における前記作動気体の圧力変化と作動気体の流量の関係に基づいて、前記作動気体の圧力変化に起因する作動気体の流量として算出され、
前記作動気体の圧力変化は、前記所定の時間間隔で連続して計測された計測圧力に基づいて計測される請求項2に記載の薬液供給システム。 - 前記ポンプ駆動部は、前記作動気体の正圧と負圧とを前記作動気体供給口に印加し、前記負圧の印加によって前記薬液供給用ポンプへの薬液の供給と、前記正圧の印加によって前記薬液供給用ポンプからの薬液の吐出を行う請求項1乃至3のいずれか一項に記載の薬液供給システム。
- 前記変動部材は、可撓性の膜を有するダイアフラムである請求項1乃至4のいずれか一項に記載の薬液供給システム。
- 前記制御部は、前記算出された薬液の吸引量と吐出量の少なくとも一方をフィードバック量として使用して制御を行う請求項1乃至5のいずれか一項に記載の薬液供給システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015189619A JP5989881B2 (ja) | 2015-09-28 | 2015-09-28 | 薬液供給システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015189619A JP5989881B2 (ja) | 2015-09-28 | 2015-09-28 | 薬液供給システム |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014159718A Division JP5816726B2 (ja) | 2014-08-05 | 2014-08-05 | 薬液供給システム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015232335A JP2015232335A (ja) | 2015-12-24 |
JP2015232335A5 JP2015232335A5 (ja) | 2016-07-07 |
JP5989881B2 true JP5989881B2 (ja) | 2016-09-07 |
Family
ID=54933905
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015189619A Active JP5989881B2 (ja) | 2015-09-28 | 2015-09-28 | 薬液供給システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5989881B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10309428B2 (en) | 2015-11-27 | 2019-06-04 | Ckd Corporation | Method for controlling gas-pressure-driven apparatus and gas-pressure-driven apparatus |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4465063A (en) * | 1982-05-25 | 1984-08-14 | University Of Utah | Cardiac flow measurement system and method |
US5421208A (en) * | 1994-05-19 | 1995-06-06 | Baxter International Inc. | Instantaneous volume measurement system and method for non-invasively measuring liquid parameters |
-
2015
- 2015-09-28 JP JP2015189619A patent/JP5989881B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10309428B2 (en) | 2015-11-27 | 2019-06-04 | Ckd Corporation | Method for controlling gas-pressure-driven apparatus and gas-pressure-driven apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015232335A (ja) | 2015-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5779324B2 (ja) | 薬液供給システム | |
JP4694377B2 (ja) | 薬液供給システム | |
US8636477B2 (en) | Chemical supply system | |
JP2006316711A (ja) | 薬液供給システム及び薬液供給ポンプ | |
JP4855226B2 (ja) | 薬液供給システム及び薬液供給制御装置 | |
JP5816726B2 (ja) | 薬液供給システム | |
RU2006141599A (ru) | Многоцилиндровый насос с гидроприводом | |
US9279507B2 (en) | Three-port valve | |
JP2007154767A (ja) | チューブポンプ | |
JP5989881B2 (ja) | 薬液供給システム | |
JP6626322B2 (ja) | 気体圧駆動機器、及びその制御方法 | |
JP6353732B2 (ja) | ベローズポンプ装置 | |
JP6200786B2 (ja) | 加圧液体供給装置、二流体噴霧装置 | |
US20160363118A1 (en) | Liquid supply system and method for controlling liquid supply system | |
JP4768244B2 (ja) | 薬液供給システム及び薬液供給用ポンプ | |
JP6883325B2 (ja) | 液マイクロメータ | |
KR101763121B1 (ko) | 개선된 약액 가압 장치, 및 이를 구비한 약액 공급 장치 | |
JP4786965B2 (ja) | 薬液供給システム | |
JP4658248B2 (ja) | 薬液供給システム | |
JP4855056B2 (ja) | 液体供給システム | |
JP6596704B2 (ja) | ダイアフラムポンプ | |
JP2015232335A5 (ja) | ||
JP6622144B2 (ja) | 液体供給システム、及び液体供給システムの制御方法 | |
JP2008014140A (ja) | 流量制御空気駆動ポンプ | |
KR101668082B1 (ko) | 레진 분사 압력 맥동폭 제어 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151022 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160519 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160722 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160810 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Ref document number: 5989881 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |