KR101668082B1 - 레진 분사 압력 맥동폭 제어 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 고점도를 가지는 레진의 흐름에 영향을 미치지 않고 분사되는 레진의 압력이 과도하게 변화하지 않고 일정한 맥동폭 내에서 안정적으로 제어되도록 하는 레진 분사 압력 맥동폭 제어장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 레진 분사 압력 맥동폭 제어장치는 양측이 개구된 레진 압력 제어 공간이 직선 방향으로 형성된 하우징; 상기 레진 압력 제어 공간 내에 상기 하우징 내벽과 이격된 상태로 삽입되는 탄성 재질의 제어 튜브; 상기 제어 튜브 내부에 삽입되어 설치되며, 상기 제어 튜브와 밀착된 상태에서 레진이 이동할 수 있는 레진 이동홈이 표면에 다수개 형성되고 상기 제어 튜브의 수축 한계를 설정하는 수축 제한 수단; 상기 하우징의 일측단에 설치되며, 상기 제어튜브 내부로 레진을 유입시키는 레진 유입수단; 상기 하우징의 타측단에 설치되며, 상기 제어 튜브 내부를 통과한 레진을 유출시키는 레진 유출수단; 상기 하우징과 제어 튜브 사이의 공간에 특정한 제어 압력으로 조정된 기체를 공급하는 기체 공급수단; 상기 기체 공급수단에 상기 레진 유출수단에 의하여 유출되는 레진의 유출 압력값에 따라 상기 기체 공급수단에 의하여 공급되는 기체의 압력을 제어하는 제어부;를 포함한다.

Description

레진 분사 압력 맥동폭 제어 장치{THE DEVICE FOR CONTROLLING THE RANGE OF DISPENSING PRESSURE FLUCTUATION}

본 발명은 레진 분사 압력 맥동폭 제어 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고점도를 가지는 레진의 흐름에 영향을 미치지 않으며, 분사되는 레진의 압력이 과도하게 변화하지 않고 일정한 맥동폭 내에서 안정적으로 제어되도록 하는 레진 분사 압력 맥동폭 제어장치에 관한 것이다.

반도체 처리용 약액 등의 이송액을 왕복구동펌프에 의해 각부로 보내는 경우에, 이송 과정에서 이송액의 압력이 큰폭으로 변화되어 공정 관리에 어려움이 발생하는 경우가 많다.

따라서 이러한 약액 등의 이송에 있어서 압력 변동에 의한 맥동을 감쇠시키기 위하여 맥동 감쇠장치 등이 제안되고 있다. 일반적인 맥동 감쇠장치(1)는 도 1에 도시된 바와 같이, 본체 케이싱(10), 액실(20), 격막(30) 및 기실(40)을 구비하는 구조를 가진다. 여기에서 상기 케이싱(10)은 밀폐 상태의 장치 본체를 이루며, 상기 액실(20)은 이 케이싱(10) 내에 형성되어 왕복 펌프에 의한 이송액을 일시적으로 도입하여 이송액의 저류 작용을 수행하고 유출시키는 것이다. 또한 상기 격막(30)은 장치 본체 케이싱(10)에 설치되어 액실(20)에 대하여 신축 변형이 자유로운 구조를 가지며, 상기 격막(30)을 통하여 격리되어 압축공기가 봉입되는 기실(40)은 외부에서 공급되는 기체 압력에 의하여 상기 격막(30)을 가압한다.

그리고 이러한 구조를 가지는 맥동 감쇠 장치(1)는, 펌프의 토출압에 의한 맥동으로 격막(30)을 신축 변형시켜 액실(20)의 용량 변화에 의해 맥동을 감쇠시키는 메카니즘으로 구동된다.

그런데 이러한 구조의 맥동 감쇠 장치(1)는 점도가 높은 기판 합착용 레진 등에는 적합하지 않은 문제점이 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 고점도 레진의 흐름에 영향을 미치지 않으며, 분사되는 레진의 압력이 과도하게 변화하지 않고 일정한 맥동폭 내에서 안정적으로 제어되도록 하는 레진 분사 압력 맥동폭 제어장치를 제공하는 것이다.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 레진 분사 압력 맥동폭 제어장치는 양측이 개구된 레진 압력 제어 공간이 직선 방향으로 형성된 하우징; 상기 레진 압력 제어 공간 내에 상기 하우징 내벽과 이격된 상태로 삽입되는 탄성 재질의 제어 튜브; 상기 제어 튜브 내부에 삽입되어 설치되며, 상기 제어 튜브와 밀착된 상태에서 레진이 이동할 수 있는 레진 이동홈이 표면에 다수개 형성되고 상기 제어 튜브의 수축 한계를 설정하는 수축 제한 수단; 상기 하우징의 일측단에 설치되며, 상기 제어튜브 내부로 레진을 유입시키는 레진 유입수단; 상기 하우징의 타측단에 설치되며, 상기 제어 튜브 내부를 통과한 레진을 유출시키는 레진 유출수단; 상기 하우징과 제어 튜브 사이의 공간에 특정한 제어 압력으로 조정된 기체를 공급하는 기체 공급수단; 상기 기체 공급수단에 상기 레진 유출수단에 의하여 유출되는 레진의 유출 압력값에 따라 상기 기체 공급수단에 의하여 공급되는 기체의 압력을 제어하는 제어부;를 포함한다.

그리고 본 발명에서 상기 수축 제한 수단은, 상기 레진 유입수단측 말단이 유선형으로 형성되고, 상기 다수개으 레진 이동홈은 상기 수축 제한 수단의 외면에 일정한 간격으로 이격되어 형성되는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에서 상기 제어부는, 상기 기체 공급 수단의 기체 공급 압력(P_air)을 아래의 부등식의 범위 내에서 제어하는 것이 바람직하다.

nP_resin ≤ P_air ≤ P_resin

(여기에서 Pair는 기체 공급 압력, Presin은 목표 레진 공급 압력이고, n은 0 〈 n 〈 1 인 실수 )

본 발명에 따르면 점도가 높은 레진 등에 대해서 레진의 자연스러운 흐름을 그대로 유지하고, 통과 과정에서 레진이 정체되는 현상이 발생하지 않으면서도 고점도 레진의 분사 압력 맥동폭을 효과적이고 안정적으로 제어할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 종래의 맥동폭 감쇠 장치의 구조를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레진 분사 압력 맥동폭 제어 장치의 구조를 도시하는 도면이다.
도 3, 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제어 튜브의 움직임을 도시하는 도면들이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.

본 실시예에 따른 레진 분사 압력 맥동폭 제어 장치(100)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 하우징(110), 제어 튜브(120), 수축 제한 수단(130), 레진 유입수단(140), 레진 유출수단(150), 기체 공급수단(160) 및 제어부(도면에 미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

먼저 상기 하우징(110)은 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 맥동폭 제어장치(100)의 전체적인 외형을 이루며, 다른 구성요소들이 설치될 수 있는 공간을 제공한다. 그리고 상기 하우징(110)에는 도 2에 도시된 바와 같이, 양측이 개구된 레진 압력 제어 공간(112)이 직선 방향으로 형성된다.

다음으로 상기 제어 튜브(120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 하우징(110) 내부 특히, 상기 레진 압력 제어 공간(112) 내에 상기 하우징(110) 내벽과 이격된 상태로 삽입되는 구성요소이다. 그리고 상기 제어 튜브(120)는 탄성 재질 소재로 이루어지므로, 외력이 존재하면 변형되고, 외력이 제거되면 다시 원형으로 복원되는 특성을 가진다.

물론 상기 제어 튜브(120)와 상기 하우징(110) 내벽 사이의 공간(S)은 밀폐되도록 도 2에 도시된 바와 같이, O-링(122) 등에 의하여 밀봉된다.

다음으로 상기 수축 제한 수단(130)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제어 튜브(120) 내부에 삽입되어 설치되며, 상기 제어 튜브(120)의 수축 변형시에 그 수축 한계를 제한하는 기능을 수행한다.

그리고 상기 수축 제한 수단(130)은 전체적으로 원형 봉형태를 가지고며, 그 전단은 도 2에 도시된 바와 같이, 유선형으로 형성되며, 그 외면에는 도 3에 도시된 바와 같이, 레진 이동홈(132) 다수개가 일정 간격 이격되어 형성된다. 상기 레진 이동홈(132)에 의하여 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제어 튜브(120)와 상기 수축 제한 수단(130)이 밀착된 상태에서도 레진(R)이 상기 레진 이동홈(132)을 통하여 이동할 수 있는 것이다.

다음으로 상기 레진 유입수단(140)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 하우징(110)의 일측단에 설치되며, 상기 제어튜브(120) 내부로 레진을 유입시키는 구성요소이며, 상기 레진 유출수단(150)은 상기 하우징(110)의 타측단에 설치되며, 상기 제어 튜브(120) 내부를 통과한 레진을 유출시키는 구성요소이다.

다음으로 상기 기체 공급 수단(160)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 하우징(110)과 제어 튜브(120) 사이의 밀폐 공간(S)에 특정한 제어 압력으로 조정된 기체를 공급하는 구성요소이다. 상기 기체 공급수단(160)에 의하여 공급되는 기체 압력과 상기 제어 튜브(120) 내의 레진 압력의 상관관계에 의하여 상기 제어 튜브(120)가 변형되면서 레진이 일정한 압력을 가지면서 분사되는 것이다.

따라서 본 실시예에서 상기 제어부는 상기 레진 유출수단(150)에 의하여 유출되는 레진의 유출 압력값에 따라 상기 기체 공급수단(160)에 의하여 공급되는 기체의 압력을 제어하게 된다.

특히 상기 제어부는 상기 기체 공급 수단(160)의 기체 공급 압력(P_air)을 아래의 부등식의 범위 내에서 제어하는 것이 바람직하다.

nP_resin ≤ P_air ≤ P_resin

(여기에서 P_air는 기체 공급 압력, P_resin은 목표 레진 공급 압력이고, n은 0 〈 n 〈 1 인 실수 )

이하에서는 본 실시예에 따른 레진 분사 압력 맥동폭 제어장치(100)의 작동 과정을 설명한다.

먼저 레진 압력(P_resin)이 기체 공급 압력(P_air) 보다 큰 경우에는 도 3에 도시된 바와 같이, 제어 튜브(120)가 하우징(110) 방향으로 이동하여 많은 양의 레진(R)이 이동할 수 있는 상태가 된다.

한편 레진 압력(P_resin)이 기체 공급 압력(P_air) 보다 작은 경우에는 도 4에 도시된 바와 같이, 제어 튜브(120)가 수축 제한 수단(130) 방향으로 이동하여 적은 양의 레진(R)이 이동할 수 있는 상태가 된다.

따라서 상기 제어 뷰브(120)의 변동폭은 상기 하우징(110)과 수축 제한 수단(130)에 의하여 안정적으로 제한되며, 점도가 높은 레진은 상기 맥동폭 제어 장치(100)를 통과하면서 머무르는 현상이 전혀 발생하지 않고 자연스러운 흐름을 이어갈 수 있는 장점이 있다.

1 : 종래의 맥동폭 감쇠장치
100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 레진 분사 압력 맥동폭 제어 장치
110 : 하우징 120 : 제어 튜브
130 : 수축 제한 수단 140 : 레진 유입수단
150 : 레진 유출수단 160 : 기체 공급수단

Claims (3)

1. 양측이 개구된 레진 압력 제어 공간이 직선 방향으로 형성된 하우징;
   상기 레진 압력 제어 공간 내에 상기 하우징 내벽과 이격된 상태로 삽입되는 탄성 재질의 제어 튜브;
   상기 제어 튜브 내부에 삽입되어 설치되며, 상기 제어 튜브와 밀착된 상태에서 레진이 이동할 수 있는 레진 이동홈이 표면에 다수개 형성되고 상기 제어 튜브의 수축 한계를 설정하는 수축 제한 수단;
   상기 하우징의 일측단에 설치되며, 상기 제어튜브 내부로 레진을 유입시키는 레진 유입수단;
   상기 하우징의 타측단에 설치되며, 상기 제어 튜브 내부를 통과한 레진을 유출시키는 레진 유출수단;
   상기 하우징과 제어 튜브 사이의 공간에 특정한 제어 압력으로 조정된 기체를 공급하는 기체 공급수단;
   상기 기체 공급수단에 상기 레진 유출수단에 의하여 유출되는 레진의 유출 압력값에 따라 상기 기체 공급수단에 의하여 공급되는 기체의 압력을 제어하는 제어부;를 포함하며,
   상기 수축 제한 수단은,
   상기 레진 유입수단측 말단이 유선형으로 형성되고, 상기 다수개의 레진 이동홈은 상기 수축 제한 수단의 외면에 일정한 간격으로 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 레진 분사 압력 맥동폭 제어 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 제어부는,
   상기 기체 공급 수단의 기체 공급 압력을 아래의 부등식의 범위 내에서 제어하는 것을 특징으로 하는 레진 분사 압력 맥동폭 제어 장치.
   nP_resin ≤ P_air ≤ P_resin
   (여기에서 P_air는 기체 공급 압력, P_resin은 목표 레진 공급 압력이고, n은 0 〈 n 〈 1 인 실수 )

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