JP2015138338A - 圧力式流量制御装置及びその流量制御開始時のオーバーシュート防止方法。 - Google Patents
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Abstract
Description
尚、上記ガス流量QをQ=KP1(但しKは定数)として演算する方式の圧力式流量制御装置は、一般にFCS−N型と呼ばれており、また、ガス流量QをQ=KP2 m(P1−P2)n(但しK、m、nは定数)として演算する方式の圧力式流量制御装置は、FCS−WR型と呼ばれている。
尚、図6において、P1,P2は圧力センサ、CVはコントロール弁、OLはオリフィス、OL1は小口径オリフィス、OL2は大口径オリフィス、ORVはオリフィス切換弁である。
本発明は、流量制御開始時の上記オーバーシュートの問題を解決せんとするものであり、パルス流量制御可能な圧力式流量制御装置及びその流量制御開始時のオーバーシュート防止方法の提供を発明の主要な課題とするものである。
即ち、本願請求項1の発明は、流体入口と流体出口間を連通する流体通路及び流体通路と排気出口間を連通する排気通路を設けた本体と、本体の流体入口側に固定されて流体通路の上流側を開閉する圧力制御用コントロール弁と、その下流側の流体通路内圧を検出する第1圧力センサと、前記排気通路の分岐箇所より下流の流体通路内に設けたオリフィスと、前記第1圧力センサの下流側の流体通路を開閉する開閉弁と、前記排気通路を開閉する排気制御用コントロール弁とから圧力式流量制御装置を構成し、当該圧力式流量制御装置による流体流量の制御開始前に圧力制御用コントロール弁と排気制御用コントロール弁を作動して圧力制御用コントロール弁と開閉弁の間の流体通路空間内を強制排気することにより、流量制御開始時のオーバーシュートを防止することを発明の基本構成とするものである。
図1は本発明の圧力式流量制御装置の基本構成を示す系統図であり、図2は本発明に係る圧力式流量制御装置の基本構成を示す縦断面図、図3は本発明に係る圧力式流量制御装置の平面図(a)と正面図(b)及びオリフィス内蔵型開閉弁の部分拡大断面図(c)である。
また、図4は、本発明に係る圧力式流量制御装置を用いたガス供給ボックスの構成を示す系統図である。
また、排気制御用コントロール弁7の構造及び作動は、圧力制御用コントロール弁6の場合と同一であり、ピエゾ駆動素子7aの伸長量調節により、弁開度制御が行なわれる。
尚、排気制御用コントロール弁7には、上記ピエゾ駆動式金属ダイヤフラム型開閉弁に代えて、公知の空気圧駆動式や電磁駆動式の開閉制御弁を用いることも可能であり、また、コントロール弁ではなく開閉弁を用いることも可能である。
更に、前記圧力制御用コントロール弁6、排気制御用コントロール弁7及び開閉弁8等の作動制御は、パネルコントロールボード14を介して全て自動的に行なわれることは、従前のこの種圧力式流量制御装置の場合と同様である。
なお、オリフィス内蔵型開閉弁については、上流側にオリフィスが下流側に弁体が設けられているが、この場合、立下り特性は、開閉弁の動作のみの影響を受け、また内容積が極小であるため、立上り特性における内容積の影響が小さい。オリフィス内蔵型開閉弁の取付け方向を反対にすることで、上流側に弁体が、下流側にオリフィスが設けられるが、この場合は立上り特性は開閉弁の動作のみの影響を受け、立下り特性における内容積の影響が小さい。
尚、図4において、21はガス供給口、22は供給側切換弁、23は出口側切換弁、 26は混合ガス供給ラインである。
尚、圧力式流量制御装置の作動原理や構成は既に公知であるため、ここではその詳細な説明を省略するものとしておる。
2 本体
2a 弁座
3 入口側ブロック
4 本体ブロック
5 出口側ブロック
6 圧力制御用コントロール弁
6a ピエゾ駆動素子
7 排気制御用コントロール弁
7a ピエゾ駆動素子
8 空気圧駆動型の開閉弁
8a 空気圧型弁駆動部
9 流体入口
10a 流体通路
10b 排気通路
10c 漏洩検査用通路
11 流体出口
12 排気出口
13 ガスケット
14 パネルコントロールボード
15 ケーシング
16 接続用コネクタ
17 円筒体
18 弾性体
19 弁体押さえ
20 弁体
21 ガス供給口
22 供給側切換弁
23 出口側開閉弁
24 出口側開閉弁
26 混合ガス供給ライン
27 真空排気ライン
28 真空ポンプ
29 プロセスチャンバ
30 弁座用リング
31 ステム
32 スプリング
33 押え筒体
34 孔部
P1 第1圧力センサ
P2 第2圧力センサ
OL オリフィス
G1〜G3 実ガス
Claims (13)
- 流体入口と流体出口間を連通する流体通路及び流体通路と排気出口間を連通する排気通路を設けた本体と、本体の流体入口側に固定されて流体通路の上流側を開閉する圧力制御用コントロール弁と、その下流側の流体通路内圧を検出する第1圧力センサと、前記排気通路の分岐箇所より下流の流体通路内に設けたオリフィスと、前記第1圧力センサの下流側の流体通路を開閉する開閉弁と、前記排気通路を開閉する排気用弁とから圧力式流量制御装置を構成し、当該圧力式流量制御装置による流量制御開始前に排気用弁を作動して圧力制御用コントロール弁と開閉弁の間の流体通路空間内を強制排気することにより、流量制御開始時のオーバーシュートを防止する構成としたことを特徴とする圧力式流量制御装置。
- 流量制御時に前記開閉弁を開閉することにより流量のパルス制御がなされる請求項1に記載の圧力式流量制御装置。
- 前記開閉弁がオリフィスの下流側に設けられる請求項1又は2に記載の圧力式流量制御装置。
- 前記排気用弁を制御弁とした請求項1乃至3に記載の圧力式流量制御装置
- 本体に、オリフィス下流側の流体通路内圧を検出する第2圧力センサを設け、圧力式流量制御装置をFCS-WR型圧力式流量制御装置とした請求項1に記載の圧力式流量制御装置。
- 第2圧力センサを、開閉弁下流側の流体通路内圧を検出するセンサとした請求項3に記載の圧力式流量制御装置。
- 前記オリフィス及び開閉弁を、オリフィスと開閉弁を一体的に組み付け固定した構成のオリフィス内蔵型弁により形成するようにした請求項1に記載の圧力式流量制御装置。
- 圧力式流量制御装置を、複数のオリフィスを並列状に連結し、切換弁により少なくとも一つのオリフィスに流体を流通させる構成のFCS-SN型の圧力式流量制御装置とした請求項1に記載の圧力式流量制御装置。
- 圧力式流量制御装置を、複数のオリフィスを並列状に連結し、切換弁により少なくとも一つのオリフィスに流体を流通させると共に、オリフィス下流側の流体通路内圧を検出する圧力センサを備えた構成のFCS-SWR型の圧力式流量制御装置とした請求項1に記載の圧力式流量制御装置。
- 圧力制御用コントロール弁を、ピエゾ素子駆動型の金属ダイヤフラム式制御弁とするようにした請求項1に記載の圧力式流量制御装置。
- 開閉弁を、空気圧駆動弁又は電磁駆動弁とするようにした請求項1に記載の圧力式流量制御装置。
- 排気出口に接続した真空ポンプにより排気通路内を強制排気する構成とした請求項1に記載の圧力式流量制御装置。
- 流体入口と流体出口間を連通する流体通路及び流体通路と排気出口間を連通する排気通路を設けた本体と、本体の流体入口側に固定されて流体通路の上流側を開閉する圧力制御用コントロール弁と、その下流側の流体通路内圧を検出する第1圧力センサと、前記排気通路の分岐箇所より下流の流体通路内に設けたオリフィスと、前記第1圧力センサの下流側の流体通路を開閉する開閉弁と、前記排気通路を開閉する排気用弁とから圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置による流量制御開始前に排気用弁を作動して圧力制御用コントロール弁と開閉弁間の流体通路空間内を強制排気することにより、流量制御開始時のオーバーシュートを防止する方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014008831A JP6321972B2 (ja) | 2014-01-21 | 2014-01-21 | 圧力式流量制御装置及びその流量制御開始時のオーバーシュート防止方法 |
CN201580002126.5A CN105940357B (zh) | 2014-01-21 | 2015-01-15 | 压力式流量控制装置及其流量控制开始时的超量防止方法 |
PCT/JP2015/000154 WO2015111391A1 (ja) | 2014-01-21 | 2015-01-15 | 圧力式流量制御装置及びその流量制御開始時のオーバーシュート防止方法 |
US15/110,208 US9841770B2 (en) | 2014-01-21 | 2015-01-15 | Pressure-type flow control device and method for preventing overshooting at start of flow control performed by said device |
KR1020167005843A KR101887364B1 (ko) | 2014-01-21 | 2015-01-15 | 압력식 유량 제어 장치 및 그 유량 제어 개시 시의 오버슈트 방지 방법 |
TW104101810A TWI537696B (zh) | 2014-01-21 | 2015-01-20 | Pressure flow control device and its flow control at the beginning of the over-prevention method |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017188129A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社フジキン | 流体制御装置、流体制御装置の制御方法、および、流体制御システム |
WO2020085033A1 (ja) * | 2018-10-26 | 2020-04-30 | 株式会社フジキン | 流体供給システム、流体制御装置、及び半導体製造装置 |
KR20200093031A (ko) | 2018-06-26 | 2020-08-04 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유량 제어 방법 및 유량 제어 장치 |
WO2023053724A1 (ja) * | 2021-09-30 | 2023-04-06 | 株式会社フジキン | オリフィス内蔵バルブおよび流量制御装置 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6372998B2 (ja) * | 2013-12-05 | 2018-08-15 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
JP6539482B2 (ja) * | 2015-04-15 | 2019-07-03 | 株式会社フジキン | 遮断開放器 |
US11144075B2 (en) | 2016-06-30 | 2021-10-12 | Ichor Systems, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
US10679880B2 (en) * | 2016-09-27 | 2020-06-09 | Ichor Systems, Inc. | Method of achieving improved transient response in apparatus for controlling flow and system for accomplishing same |
US10665430B2 (en) * | 2016-07-11 | 2020-05-26 | Tokyo Electron Limited | Gas supply system, substrate processing system and gas supply method |
JP6748586B2 (ja) * | 2016-07-11 | 2020-09-02 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給システム、基板処理システム及びガス供給方法 |
JP6786096B2 (ja) * | 2016-07-28 | 2020-11-18 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
JP7245600B2 (ja) * | 2016-12-15 | 2023-03-24 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置、及び、流量制御装置用プログラム |
GB2557670B (en) | 2016-12-15 | 2020-04-15 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Improved gas flow control |
JP7107648B2 (ja) * | 2017-07-11 | 2022-07-27 | 株式会社堀場エステック | 流体制御装置、流体制御システム、流体制御方法、及び、流体制御装置用プログラム |
WO2019208417A1 (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 株式会社フジキン | 流量制御方法および流量制御装置 |
DE102018004341A1 (de) * | 2018-05-31 | 2019-12-05 | Drägerwerk AG & Co. KGaA | Beatmungsgerät und Verfahren zum Betrieb eines Beatmungsgeräts |
US11859733B2 (en) * | 2019-07-31 | 2024-01-02 | Fujikin Incorporated | Valve device, fluid control device, and manufacturing method of valve device |
JP7045738B1 (ja) * | 2021-03-23 | 2022-04-01 | 株式会社リンテック | 常時閉型流量制御バルブ |
US20220372997A1 (en) * | 2021-05-24 | 2022-11-24 | Festo Se & Co. Kg | Fluid control system |
KR20230000975A (ko) * | 2021-06-25 | 2023-01-03 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 유체 제어 장치, 유체 제어 시스템, 유체 제어 장치용 프로그램 및 유체 제어 방법 |
WO2023182105A1 (ja) * | 2022-03-22 | 2023-09-28 | 株式会社フジキン | 流量制御装置の排気構造、排気方法及びそれを備えたガス供給システム及びガス供給方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6328875A (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-06 | Anelva Corp | ガス導入方法 |
JPH08338546A (ja) * | 1995-06-12 | 1996-12-24 | Fujikin:Kk | 圧力式流量制御装置 |
JPH109996A (ja) * | 1996-06-21 | 1998-01-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 流量制御装置 |
JPH1055218A (ja) * | 1996-08-12 | 1998-02-24 | Tadahiro Omi | 圧力式流量制御装置 |
JPH1145122A (ja) * | 1997-04-17 | 1999-02-16 | Applied Materials Inc | 動的ガス流コントローラ |
JP2003195948A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-11 | Tadahiro Omi | 改良型圧力式流量制御装置 |
JP2006330851A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Fujikin Inc | 改良型圧力式流量制御装置 |
WO2009141947A1 (ja) * | 2008-05-21 | 2009-11-26 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置を用いた流体の非連続式流量切替制御方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4550747A (en) * | 1983-10-05 | 1985-11-05 | Digital Hydraulics, Inc. | Digital fluid pressure flow rate and position control system |
US5739429A (en) * | 1995-07-13 | 1998-04-14 | Nordson Corporation | Powder coating system incorporating improved method and apparatus for monitoring flow rate of entrained particulate flow |
JP4137267B2 (ja) | 1999-01-28 | 2008-08-20 | 忠弘 大見 | オリフィス内蔵弁 |
JP4648098B2 (ja) * | 2005-06-06 | 2011-03-09 | シーケーディ株式会社 | 流量制御機器絶対流量検定システム |
WO2008078261A2 (en) | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Arrangement and method for influencing and/or detecting magnetic particles in a region of action |
-
2014
- 2014-01-21 JP JP2014008831A patent/JP6321972B2/ja active Active
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2015
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- 2015-01-15 KR KR1020167005843A patent/KR101887364B1/ko active IP Right Grant
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- 2015-01-20 TW TW104101810A patent/TWI537696B/zh active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6328875A (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-06 | Anelva Corp | ガス導入方法 |
JPH08338546A (ja) * | 1995-06-12 | 1996-12-24 | Fujikin:Kk | 圧力式流量制御装置 |
JPH109996A (ja) * | 1996-06-21 | 1998-01-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 流量制御装置 |
JPH1055218A (ja) * | 1996-08-12 | 1998-02-24 | Tadahiro Omi | 圧力式流量制御装置 |
JPH1145122A (ja) * | 1997-04-17 | 1999-02-16 | Applied Materials Inc | 動的ガス流コントローラ |
JP2003195948A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-11 | Tadahiro Omi | 改良型圧力式流量制御装置 |
JP2006330851A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Fujikin Inc | 改良型圧力式流量制御装置 |
WO2009141947A1 (ja) * | 2008-05-21 | 2009-11-26 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置を用いた流体の非連続式流量切替制御方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109074104B (zh) * | 2016-04-28 | 2021-07-16 | 株式会社富士金 | 流体控制系统以及流体控制装置的控制方法 |
CN109074104A (zh) * | 2016-04-28 | 2018-12-21 | 株式会社富士金 | 流体控制装置、流体控制装置的控制方法、以及流体控制系统 |
JPWO2017188129A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2019-03-07 | 株式会社フジキン | 流体制御装置、流体制御装置の制御方法、および、流体制御システム |
WO2017188129A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社フジキン | 流体制御装置、流体制御装置の制御方法、および、流体制御システム |
US11137779B2 (en) | 2016-04-28 | 2021-10-05 | Fujikin Incorporated | Fluid control device, method for controlling fluid control device, and fluid control system |
US11216016B2 (en) | 2018-06-26 | 2022-01-04 | Fujikin Incorporated | Flow rate control method and flow rate control device |
KR20200093031A (ko) | 2018-06-26 | 2020-08-04 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유량 제어 방법 및 유량 제어 장치 |
TWI725571B (zh) * | 2018-10-26 | 2021-04-21 | 日商富士金股份有限公司 | 流體供給系統、流體控制裝置以及半導體製造裝置 |
JPWO2020085033A1 (ja) * | 2018-10-26 | 2021-09-16 | 株式会社フジキン | 流体供給システム、流体制御装置、及び半導体製造装置 |
WO2020085033A1 (ja) * | 2018-10-26 | 2020-04-30 | 株式会社フジキン | 流体供給システム、流体制御装置、及び半導体製造装置 |
US11346505B2 (en) | 2018-10-26 | 2022-05-31 | Fujikin Incorporated | Fluid supply system, fluid control device, and semiconductor manufacturing device |
JP7446618B2 (ja) | 2018-10-26 | 2024-03-11 | 株式会社フジキン | 流体供給システム、流体制御装置、及び半導体製造装置 |
WO2023053724A1 (ja) * | 2021-09-30 | 2023-04-06 | 株式会社フジキン | オリフィス内蔵バルブおよび流量制御装置 |
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