JP7446618B2 - 流体供給システム、流体制御装置、及び半導体製造装置 - Google Patents
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Description
本態様に係る流体供給システムは、流体制御機器及び継手が直列に配管で接続された流体ラインを並列に複数配列した流体供給システムであって、各流体ラインは、これらの配列方向を含む平面で見たとき、配列方向と実質的に直交する延設方向に直線状に延設され、各流体制御機器は、配管が接続される接続面を同一方向に向けて配列方向に並んで配置され、配管の直径は、接続面の配列方向における面幅以下であり、継手の直径は、接続面の配列方向における面幅以上であり、配列方向に隣り合う各配管は、継手が延設方向に互いにずれた位置に位置付けられ、配列方向と延設方向との双方と実質的に直交する交差方向を規定したとき、配列方向に隣り合う各配管の少なくとも何れか一方は、継手を交差方向に向けて互いにずれた位置に位置付ける屈曲部を有する。
一方、本態様に係る半導体製造装置は、前述した流体制御装置を備え、流体制御装置から延設された配管が接続され、流体制御装置から供給される流体を処理するチャンバと、流体制御装置とチャンバとの間の配管に設けられ、流体制御装置からチャンバに供給される流体の流量を制御する開閉バルブとをさらに備える。
図1は、流体供給システム1の斜視図を示す。流体供給システム1は、流体制御機器2及び継手4が直列に配管6a、6b(以下、代表して配管6と称することもある)で接続された流体ライン8を並列に複数配列して構成されている。なお、流体ライン8は延設方向Xに延設されるとともに配列方向Yに配列され、延設方向Xと配列方向Yとの双方と実質的に直交するのは交差方向Zであると規定して以降の各図面について説明する。
図4は、配管構造16を図3の配列方向Yから見た側面図を示す。
図5は、配管構造16においてメスナット22のトルク付与部24にスパナ28でトルクを付与するときの斜視図を示す。
図7(a)に示すように、従来の半導体製造装置40は、流体制御装置であるガスボックス44と、ガスボックス44から延設された配管46が接続され、ガスボックス44から供給されるガスを処理するチャンバ48と、ガスボックス44とチャンバ48との間の配管46に設けられ、ガスボックス44からチャンバ48に供給されるガスの流量を制御する開閉バルブ50とを備えている。
一方、図7(b)に示すように、本実施形態の半導体製造装置42は、前述した流体制御装置12(以下、ガスボックス12とも称する。図7(b)への図示も同様である。)、前述した配管6と、従来と同様のチャンバ48と、従来と同様の開閉バルブ50とを一部に備えている。
例えば、流体供給システム1は、ガス供給システムに限らず、液体も含む流体供給システムに広く適用可能であり、また、流体制御装置12は半導体製造装置42等の半導体製造プロセスに限らず、種々のプロセスに適用することも可能である。
2 流体制御機器
2a、2b 接続面
4 継手
6、6a、6b 配管
8 流体ライン
12 ガスボックス、流体制御装置
14 筐体
18 屈曲部
20 オスナット(第1継手部材)
22 メスナット(第2継手部材)
24 トルク付与部
42 半導体製造装置
48 チャンバ
50 開閉バルブ
Dp 配管の直径
Dd1、Dd2 継手の直径
W 接続面の面幅
X 延設方向
Y 配列方向
Z 交差方向
Claims (4)
- 流体制御機器及び継手が直列に配管で接続された流体ラインを並列に複数配列した流体供給システムであって、
前記各流体ラインは、これらの配列方向を含む平面で見たとき、前記配列方向と実質的に直交する延設方向に直線状に延設され、
前記各流体制御機器は、前記配管が接続される接続面を同一方向に向けて前記配列方向に並んで配置され、
前記配管の直径は、前記接続面の前記配列方向における面幅以下であり、前記継手の直径は、前記面幅以上であり、
前記配列方向に隣り合う前記各配管は、前記継手が前記延設方向に互いにずれた位置に位置付けられ、
前記配列方向と前記延設方向との双方と実質的に直交する交差方向を規定したとき、
前記配列方向に隣り合う前記各配管の少なくとも何れか一方は、前記継手を前記交差方向に向けて互いにずれた位置に位置付ける屈曲部を有する、流体供給システム。 - 前記継手は、
第1継手部材と、
前記第1継手部材に螺合される第2継手部材と、
前記第1継手部材に対する前記第2継手部材の螺合に際して回転トルクが付与されるトルク付与部と
を有し、
前記配列方向と前記延設方向との双方と実質的に直交する交差方向を規定したとき、
前記配列方向に隣り合う前記各配管は、前記継手の少なくとも前記トルク付与部が前記延設方向と前記交差方向との双方に互いにずれた位置に位置付けられる、請求項1に記載の流体供給システム。 - 請求項1又は2に記載の流体供給システムを筐体に収容してなる、流体制御装置。
- 請求項3に記載の流体制御装置を備える半導体製造装置であって、
前記流体制御装置から延設された前記配管が接続され、前記流体制御装置から供給される流体を処理するチャンバと、
前記流体制御装置と前記チャンバとの間の前記配管に設けられ、前記流体制御装置から前記チャンバに供給される流体の流量を制御する開閉バルブと
を備える、半導体製造装置。
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