JP2016191405A - ダイアフラムバルブ、流体制御装置およびこれらを用いた半導体製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記流体流路の一部を画定するように前記バルブボディに設けられて弁体として機能するダイアフラムと、
前記ダイアフラムが画定する流体流路の断面積を変更するように第1の方向に移動可能に保持された前記ダイアフラムを操作する操作部材と、
前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動可能に保持され、前記操作部材と係合することにより前記操作部材を駆動する駆動部材と、
を有することを特徴とする。
さらに好適には、前記駆動部材を含む駆動機構を有し、
前記第1の方向から見て、前記駆動機構の少なくとも一部が前記バルブボディのベース部の側面から横方向に突出している。
前記複数の流体制御機器の少なくとも一つが上記したいずれかのダイアフラムバルブである、ことを特徴とする。
図1Aおよび図1Bは、本発明の一実施形態に係る流体制御装置1の正面図および断面図である。また、図2A〜2Cは本発明の一実施形態に係るダイアフラムバルブ10の構造を示す図であって、図2A,2Bはバルブの開放状態を示している。図3A,3Bは図2A,2Bのダイアフラムバルブ10の遮断状態を示している。なお、図2B,3Bにおいて、後述するダイアフラム押さえ30およびコネクタ40については、説明の便宜上、断面にしていない。
この流体制御装置1は、半導体製造プロセスに使用され、例えば、マスフローコントローラの入口側又は出口側の各種ガスの通路を開閉するのに用いられる。なお、本実施形態では、ガスを対象にしているが、これに限定されるわけではなく、液体にも適用可能である。
流体制御装置1において、収容ボックス110内には、水平方向に沿って延在する支持部材120が収容ボックス110の背面側の壁面に固定されている。この支持部材120上に、支持部材120の長手方向に沿って複数のダイアフラムバルブ10が配列されている。すなわち、収容ボックス110内には、ダイアフラムバルブ10が集積されている。
バルブボディ11は、ガス流路12Aおよび12Bを画定しており、各ガス流路12Aおよび12Bの一端部は、底面11aで開口しており、それぞれ出入口11b,11bが形成されている。バルブボディ11のベース部11Bの四隅には、ねじ孔11cがそれぞれ形成されている。ねじ孔11cは、図1A,1Bに示すブロック状の継手部材131および132とバルブボディ11とを締結するのに用いられる。なお、ブロック状の継手部材131は、ガス流路12Aと配管140とを連結している。ブロック状の継手部材132は、支持部材120に固定されているとともに、ガス流路12Bと配管150が側面に接続されたブロック状の継手部材133とを連結している。これにより、配管140と配管150とが連通している。
ダイアフラム20は、バルブシート13よりも大きな直径を有する円板状に形成され、例えば、ステンレス、NiCo系合金などの金属やフッ素系樹脂で形成されている。図2A,2Bに示すように、バルブが開放されている状態では、ダイアフラム20はバルブシート13に対して凹状に湾曲しており、ガス流路12Aとガス流路12Bとを連通するガス流路12Cを画定している。後述するように、ダイアフラム20が変形することにより、バルブシート13とダイアフラム20との間のガス流路の断面積が変化し、図3A,3Bに示すように、ダイアフラム20がバルブシート13に押し付けられることにより、ガス流路12Cが遮断される。
ボンネット17の下端面とバルブボディ11の上側に形成された環状の支持部11sとの間には、ダイアフラム20の外周縁部と押さえアダプタ15が介在しており、バルブボディ11と螺合するボンネットナット19を締め付けることにより、ボンネット17,ダイアフラム20および押さえアダプタ15がバルブボディ11に固定されるようになっている。
アクチュエータボディ60は、操作方向A1,A2に直交する方向に伸びる、案内孔60aおよびシリンダを形成する内周壁面60bを有し、案内孔60aおよび内周壁面60bによりステムピストン70が操作方向A1,A2に直交する駆動方向B1,B2に移動可能に案内保持されている。
ステムピストン70の先端側の軸部72には、OリングR2を保持する小径の保持部73が形成され、後端側の軸部79には、OリングR4を保持する小径の保持部77が形成されている。ステムピストン70の中途には、拡径されたピストン部74が形成され、ピストン部74の外周にコイルバネ90の一端を受け止めるバネ受け部75およびOリングR3を保持する保持部76が一体的に形成されている。保持部76の先端側の端面76aは、アクチュエータボディ60の内周壁面60bに隣接する端面60cと当接可能となっており、端面60cはステムピストン70のB1方向への移動を規制するストッパとして機能する。
ステムピストン70の内部には、エア流路78が形成され、このエア流路78は一端がステムピストン70の後端面で開口するとともに、先端側の軸部72とピストン部74との境界部で開口している。
OリングR2は、ステムピストン70の軸部72とアクチュエータボディ60との間をシールしており、OリングR3は、ピストン部74の外周の保持部76とアクチュエータボディ60の内周壁面60bとの間をシールしている。これにより、アクチュエータボディ60とステムピストン70との間には、気密な閉空間SP1が形成されている。気密な閉空間SP1は、エア流路78と連通している。
ステムピストン70のバネ受け部75とアクチュエータキャップ80の底部81との間には、コイルバネ90が設けられており、このコイルバネ90は、ステムピストン70をB1方向へ常時付勢している。
図3Aに示すように、アクチュエータキャップ80のエア供給路82への圧縮エアの供給を停止したバルブ閉状態では、閉空間SP1内の圧力は大気圧と同じであり、ステムピストン70はコイルバネ90の付勢力によって、保持部76の端面76aがアクチュエータボディ60の端面60cに当接する位置にある。この状態では、コネクタ40がB1方向の最も前進した位置にあり、コネクタ40のカム面42fとダイアフラム押さえ30のカム面30fとの間のカム作用により、ダイアフラム押さえ30はA2方向へ最も押し下げられた位置となる。この結果、ダイアフラム20はA2方向へ押圧されて変形し、バルブシート13に対して凸状に湾曲するとともにバルブシート13に押し付けられる。この結果、ガス流路12Cは遮断される。
図4Aと図1Aとを比較すると分かるように、いずれの場合も、バルブボディ11のベース部11Bの仕様は標準化されているので、集積度はすでに高められており、本実施形態の収容ボックス110と比較例の収容ボックス610の幅寸法WAは同じである。
一方、図4Bからわかるように、ダイアフラムバルブ510の駆動機構部分であるヘッド511は、バルブボディ11の上方に伸びている。このため、図4Bと図1Bとを比較すると、収容ボックス110の高さLAと比較例の収容ボックス610の高さLBは、LA<LBとなる。したがって、本実施形態の収容ボックス110のほうが比較例よりも容積が小さく、集積度が高いことがわかる。
図4Bを参照すると、ダイアフラムバルブ510の右側には無駄なスペースSPが形成されていることがわかる。本実施形態によれば、ダイアフラム押さえ30と、これを駆動する駆動機構とを分離し、駆動機構をバルブボディ11の外形から横方向に突出させることで、無駄なスペースSPの有効活用をして集積度を高めることが可能となる。加えて、バルブボディ11は標準化されたものを使用できるため、製造コストの上昇も最低限に抑制できる。
上記実施形態では、カム機構を用いて運動方向を変換する場合を例に挙げたが、これに限定されるわけではなく、運動方向を変更できる機構であればいずれの機構も採用可能である。
上記実施形態では、ダイアフラム20とダイアフラム押さえ30とが分離しているが、これに限定されるわけではなく、ダイアフラムとこれを操作する操作部材とが連結していても良い。
上記実施形態では、開閉バルブ(ダイアフラムバルブ)を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるわけではなく、開閉だけでなく流量調整可能なバルブにも適用可能である。
上記実施形態では、ダイアフラムバルブを集積化した流体制御装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるわけではなく、ダイアフラムバルブに加えて、マスフローコントローラ等のその他の流体制御機器を集積した流体制御装置にも適用可能である。
上記実施形態では、ベース部の仕様が標準化された矩形状の底面をもつブロック状のバルブボディ11を例示したが、本発明はこれに限定されるわけではなく、将来的に仕様が標準化される可能性のある形状、例えば、円柱形状等の種々のブロック状のバルブボディにも適用可能である。
10 ダイアフラムバルブ
11 バルブボディ
13 バルブシート
15 押さえアダプタ
17 ボンネット
19 ボンネットナット
20 ダイアフラム
30 ダイアフラム押さえ(操作部材)
40 コネクタ
41 上側部材
42 下側部材
50 カバー
60 アクチュエータボディ
70 ステムピストン(駆動部材)
80 アクチュエータキャップ
90 コイルバネ
R1,R2,R3,R4 Oリング
BT ボルト
110 収容ボックス
Claims (7)
- 流体流路を画定するとともに、ブロック状のベース部を有するバルブボディと、
前記流体流路の一部を画定するように前記バルブボディに設けられて弁体として機能するダイアフラムと、
前記ダイアフラムが画定する流体流路の断面積を変更するように第1の方向に移動可能に保持された前記ダイアフラムを操作する操作部材と、
前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動可能に保持され、前記操作部材と係合することにより前記操作部材を駆動する駆動部材と、
を有することを特徴とするダイアフラムバルブ。 - 前記駆動部材の前記第2の方向の運動は、カム作用により前記操作部材の第1の方向の運動に変換される、ことを特徴とする請求項1に記載のダイアフラムバルブ。
- 前記バルブボディは、前記ベース部の底面に前記流体流路の開口を有し、前記底面にブロック状継手部材を適用可能に形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載のダイアフラムバルブ。
- 前記駆動部材を含む駆動機構を有し、
前記第1の方向から見て、前記駆動機構の少なくとも一部が前記バルブボディのベース部の側面から横方向に突出している、ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のダイアフラムバルブ。 - 複数の流体制御機器が集積化された流体制御装置であって、
前記複数の流体制御機器の少なくとも一つが請求項1〜4のいずれかに記載のダイアフラムバルブである、ことを特徴とする流体制御装置。 - 半導体製造プロセスにおいて使用される流体を制御する流体制御機器として、請求項1〜4のいずれかに記載のダイアフラムバルブを用いることを特徴とする半導体製造方法。
- 半導体製造プロセスにおいて使用される流体を制御する流体制御装置として、請求項5の流体制御装置を用いることを特徴とする半導体製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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WO2020085033A1 (ja) * | 2018-10-26 | 2020-04-30 | 株式会社フジキン | 流体供給システム、流体制御装置、及び半導体製造装置 |
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