JP2012037048A - バルブ用アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エアー駆動のアクチュエータでピストン25の推力を拡大して弁35を締め切る推力拡大機構30を内蔵するバルブ用アクチュエータである。推力拡大機構30は、弁駆動用出力軸部26の上部のディスク面38上に複数のボール28が配置され、ボール28は、シャフト43下端の固定ディスク面50と、円錐形状のテーパ面状部31を有するテーパ面状部面48との間に挟持される。ピストン25の作動により、ボール28がディスク面38と固定ディスク面50との間を移動して、ピストン25の推力が出力軸部26に拡大して出力される。
【選択図】図1
Description
更に、ダイヤフラム弁を高圧流体用として用いる場合には、弁体による密閉性を高めるためにアクチュエータによるダイヤフラム動作時の推力を高める必要が生じる。この場合、一般的に、高圧流体用のアクチュエータは、ピストンとシリンダとを有する機構を備え、このピストン・シリンダ機構により押圧体の推力を高めるようになっている。更に、ピストンの推力をより高めるために、シリンダ構造を二段や三段などの複数段に設ける場合もある。
この推力を上げるためにはシリンダを複数段に設ける必要が生じるが、この場合、全体が大型化すると共に、部品点数も増加してコストアップにつながっていた。
このとき、テーパ面状部を直線とした場合にはこの直線部でのボールによる拡大率が一定になり、二段テーパとした場合には二段の拡大率に変化するだけであるため、スプリング荷重の減少とともに出力推力も減少するおそれがあるが、テーパ面状部面、固定ディスク面、或はディスク面の何れか一つを曲面に形成することで、スプリング荷重が減少した場合でも弁開から弁閉まで連続的に出力推力を増加させることが可能になる。
複数段のシリンダを必要とすることなく全体の小型化と内部構造を単純化し、部品点数の削減を図りつつバルブ作動用の推力を高めてバルブのシール性を向上できる。このため、高圧流体用のバルブに好適であり、テーパ面状部により荷重を分散させているため、ボールやピストン、固定ディスク面の消耗を抑えて耐久性を向上できる。ピストン、出力軸部、ボール、シャフト下端の固定ディスク面を本体内に一体に組み込んでユニット化できるため、バルブへの取付けや取付け後の調整等も容易になる。
複数段のシリンダを要することなく全体の小型化と内部構造を単純化し、部品点数の削減を図りつつバルブ作動用の推力を高めてバルブのシール性を向上できる。このため、高圧流体用のバルブに好適であり、テーパ面状部により荷重を分散させて耐久性を向上でき、バルブへの組付けや調整も容易になる。
このように効率よく推力を拡大して伝達できることで、アクチュエータ本体20を小型化した場合でも高圧弁の高推力や大流量のための高ストローク化に対応できる。この場合、例えば、アクチュエータ本体を一般的なアクチュエータ径の70%程度の大きさに設けた場合であっても、一般的なアクチュエータと同等の圧力・流量に対応可能になる。
このアクチュエータ本体70は、1個のピストン71と固定ディスク27との間にスプリング55を配置してピストン71の背面からのエア圧力を供給して弁35を閉止する構造になっている。これにより、このアクチュエータ本体70は、ピストン71の推力を推力拡大機構30により出力軸部26に拡大して出力する構造のノーマリーオープンタイプになっている。図示しないが、このノーマリーオープンタイプの場合にも、ノーマリークローズの場合と同様に複数段のピストンを重ねて構成できる。
このように、ボール28の代わりにローラカム102を用いて推力拡大機構101を設けることができ、さらには、推力拡大機構をこれら以外の構造に設けることもできる。このアクチュエータ本体100の場合にも、前述したアクチュエータ本体20の場合と同様に、弁を駆動する推力拡大機構101の出力推力を弁開から弁閉に向かって全ストロークで増加させることができる。
このアクチュエータ本体80は、内部に推力拡大機構を有しない一段のシリンダ構造を有するアクチュエータ構造になっており、前述したアクチュエータ本体20、70と同一のベース体22を共通化して利用したものである。
このように、ベース体22を共通化して、内部構造の異なるアクチュエータ本体20、70、80を構成することができるため、バルブの用途や使用箇所などに応じて内部構造や大きさの異なるアクチュエータとして製品の付加価値を高めることができる。更には、例えば、メタルダイヤフラムバルブ以外の上下動により作動する構造のバルブを取付けることも可能であり、何れの場合においても、ベース体の雄螺子とバルブの雌螺子とを螺合することにより簡単に着脱可能な構成に設けることができる。
25 ピストン
26 出力軸部
27 固定ディスク
28 ボール(移動部材)
29 ディスク
30 推力拡大機構
31 テーパ面状部
35 バルブ(弁)
43 シャフト
48、97 テーパ面状部面
50 テーパ面
55 スプリング
102 ローラカム
103 第1ローラ部材
104 第2ローラ部材
105 固定部材
Claims (5)
- ピストンで作動するエアー駆動のアクチュエータでピストンの推力を拡大して弁を締め切る推力拡大機構を内蔵するバルブ用アクチュエータにおいて、前記推力拡大機構は、弁駆動用出力軸部の上部に設けたディスク面上に移動部材である複数個のボールを配置し、これらのボールをアクチュエータ本体に固定したシャフト下端の固定ディスク面とピストンの内側をくり抜いてピストンの内周開口側に沿って広がった円錐形状のテーパ面状部を形成したテーパ面状部面との間に挟持して構成されており、前記ピストンの作動により前記ディスク面に載置された前記ボールが前記ディスク面と固定ディスク面との間を移動することによって、前記ピストンの推力を前記出力軸部に拡大して出力するようにしたことを特徴とするバルブ用アクチュエータ。
- ピストンで作動するエアー駆動のアクチュエータでピストンの推力を拡大して弁を締め切る推力拡大機構を内蔵するバルブ用アクチュエータにおいて、前記推力拡大機構は、アクチュエータ本体に固定したシャフト下端の固定部材に移動部材であるローラカムを軸着し、このローラカムの上端に設けた第1ローラ部材を、ピストンの内側をくり抜いてピストンの内周開口側に沿って広がった円錐形状のテーパ面状部を形成したテーパ面状部面に移動自在に当接し、ローラカムの下端に設けた第2ローラ部材を弁軸駆動用出力軸部のディスク面に押圧して前記ピストンの推力を前記出力軸部に拡大して出力するようにしたことを特徴とするバルブ用アクチュエータ。
- 弁を駆動する前記推力拡大機構の出力推力を弁開から弁閉に向かって全ストロークで増加させるようにした請求項1又は2に記載のバルブ用アクチュエータ。
- 前記テーパ面状部面、固定ディスク面及びディスク面の何れかを、二段のテーパ又は円弧部或は曲面部に形成した請求項1乃至3の何れか1項に記載のバルブ用アクチュエータ。
- 前記シャフトを前記アクチュエータ本体の上部に螺着して固定し、この螺着構造によって前記シャフトを上下に調整可能に設けて前記固定ディスクまたはローラカムの位置を調整可能に設けた請求項1乃至4の何れか1項に記載のバルブ用アクチュエータ。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN107152545A (zh) * | 2017-07-10 | 2017-09-12 | 中国船舶重工集团公司第七0三研究所 | 一种油压曲线可分段调节的机械式调压阀 |
JP2018123872A (ja) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | 株式会社キッツエスシーティー | バルブ用アクチュエータとこれを備えたダイヤフラムバルブ |
CN110296246A (zh) * | 2018-03-23 | 2019-10-01 | 浙江三花智能控制股份有限公司 | 电子膨胀阀 |
WO2021100455A1 (ja) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | 株式会社フジキン | 高圧バルブ用アクチュエータ |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6484874B1 (ja) | 2018-08-30 | 2019-03-20 | 三菱重工環境・化学エンジニアリング株式会社 | ストーカ炉 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04312274A (ja) * | 1991-04-09 | 1992-11-04 | Nippon Daiyabarubu Kk | 弁駆動部 |
JPH0659669U (ja) * | 1991-12-04 | 1994-08-19 | ブイエスイー バクウムテヒニーク ゲーエムベーハー | 微小流量調節弁 |
JPH08247307A (ja) * | 1995-03-13 | 1996-09-27 | Fujikin:Kk | 制御器 |
JP2009281521A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Fujikura Rubber Ltd | 倍力開閉弁 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04312274A (ja) * | 1991-04-09 | 1992-11-04 | Nippon Daiyabarubu Kk | 弁駆動部 |
JPH0659669U (ja) * | 1991-12-04 | 1994-08-19 | ブイエスイー バクウムテヒニーク ゲーエムベーハー | 微小流量調節弁 |
JPH08247307A (ja) * | 1995-03-13 | 1996-09-27 | Fujikin:Kk | 制御器 |
JP2009281521A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Fujikura Rubber Ltd | 倍力開閉弁 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015535327A (ja) * | 2012-09-26 | 2015-12-10 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | 調節可能な弁軸およびピストンアセンブリを有する流体制御弁 |
JP2018123872A (ja) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | 株式会社キッツエスシーティー | バルブ用アクチュエータとこれを備えたダイヤフラムバルブ |
WO2018142718A1 (ja) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | 株式会社キッツエスシーティー | バルブ用アクチュエータとこれを備えたダイヤフラムバルブ |
CN110214244A (zh) * | 2017-01-31 | 2019-09-06 | 株式会社开滋Sct | 阀用致动器和具备它的隔膜阀 |
KR20190111933A (ko) * | 2017-01-31 | 2019-10-02 | 가부시키가이샤 깃츠 에스시티 | 밸브용 액추에이터와 이것을 구비한 다이아프램 밸브 |
US10883614B2 (en) | 2017-01-31 | 2021-01-05 | Kitz Sct Corporation | Valve actuator and diaphragm valve including the same |
KR102454097B1 (ko) * | 2017-01-31 | 2022-10-14 | 가부시키가이샤 깃츠 에스시티 | 밸브용 액추에이터와 이것을 구비한 다이아프램 밸브 |
CN107152545A (zh) * | 2017-07-10 | 2017-09-12 | 中国船舶重工集团公司第七0三研究所 | 一种油压曲线可分段调节的机械式调压阀 |
CN110296246A (zh) * | 2018-03-23 | 2019-10-01 | 浙江三花智能控制股份有限公司 | 电子膨胀阀 |
CN110296246B (zh) * | 2018-03-23 | 2020-08-21 | 浙江三花智能控制股份有限公司 | 电子膨胀阀 |
WO2021100455A1 (ja) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | 株式会社フジキン | 高圧バルブ用アクチュエータ |
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