JP6353732B2 - ベローズポンプ装置 - Google Patents
ベローズポンプ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6353732B2 JP6353732B2 JP2014158570A JP2014158570A JP6353732B2 JP 6353732 B2 JP6353732 B2 JP 6353732B2 JP 2014158570 A JP2014158570 A JP 2014158570A JP 2014158570 A JP2014158570 A JP 2014158570A JP 6353732 B2 JP6353732 B2 JP 6353732B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- time
- state
- contraction
- contracted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/06—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having tubular flexible members
- F04B45/073—Pumps having fluid drive
- F04B45/0733—Pumps having fluid drive the fluid being actuated directly by a piston
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B11/00—Equalisation of pulses, e.g. by use of air vessels; Counteracting cavitation
- F04B11/005—Equalisation of pulses, e.g. by use of air vessels; Counteracting cavitation using two or more pumping pistons
- F04B11/0058—Equalisation of pulses, e.g. by use of air vessels; Counteracting cavitation using two or more pumping pistons with piston speed control
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/08—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having tubular flexible members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/08—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having tubular flexible members
- F04B43/10—Pumps having fluid drive
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/08—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having tubular flexible members
- F04B43/10—Pumps having fluid drive
- F04B43/113—Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve
- F04B43/1136—Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve with two or more pumping chambers in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/02—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having bellows
- F04B45/022—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having bellows with two or more bellows in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/06—Control using electricity
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/06—Control using electricity
- F04B49/065—Control using electricity and making use of computers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
- F04B53/10—Valves; Arrangement of valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
- F04B53/16—Casings; Cylinders; Cylinder liners or heads; Fluid connections
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2201/00—Pump parameters
- F04B2201/02—Piston parameters
- F04B2201/0201—Position of the piston
Description
このベローズポンプは、例えば、特許文献1に記載されているように、ポンプヘッドの左右方向(水平方向)の両側にポンプケースを連結して2つの空気室を形成し、各空気室の内部にそれぞれ左右方向に伸縮可能な一対のベローズを設け、各空気室に交互に加圧エアを供給することによって各ベローズを収縮又は伸長させるように構成されている。
この場合、駆動制御部は、上述のように制御するため、第1ベローズが最収縮状態となる手前で第2ベローズを確実に収縮させることができるとともに、第2ベローズが最収縮状態となる手前で第1ベローズを確実に収縮させることができる。
この場合、駆動制御部は、上述のように制御するため、第1ベローズの第1伸長時間及び第1収縮時間(第2ベローズの第2伸長時間及び第2収縮時間)に変動があっても、その変動に追従して、第1ベローズ(第2ベローズ)が最収縮状態となる手前で第2ベローズ(第1ベローズ)を確実に収縮させることができる。
[ベローズポンプの全体構成]
図1は、本発明の実施形態に係るベローズポンプ装置の概略構成図である。本実施形態のベローズポンプ装置は、例えば半導体製造装置において薬液や溶剤等の移送流体を一定量供給するときに用いられる。このベローズポンプ装置は、ベローズポンプ1と、当該ベローズポンプ1に加圧空気(作動流体)を供給するエアコンプレッサ等の空気供給装置2と、前記加圧空気の圧力を調整するレギュレータ3と、2個の第1及び第2切換バルブ4,5と、ベローズポンプ1の駆動を制御する制御部6とを備えている。
本実施形態のベローズポンプ1は、ポンプヘッド11と、このポンプヘッド11の左右方向(水平方向)の両側に取り付けられる一対のポンプケース12と、各ポンプケース12の内部において、ポンプヘッド11の左右方向の側面に取り付けられる2個の第1及び第2ベローズ13,14と、各ベローズ13,14の内部において、ポンプヘッド11の左右方向の側面に取り付けられる4個のチェックバルブ15,16と、を備えている。
第1及び第2ベローズ13,14は、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)やPFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)等のフッ素樹脂により有底筒形状に形成され、その開放端部に一体形成されたフランジ部13a,14aはポンプヘッド11の側面に気密状に押圧固定されている。第1及び第2ベローズ13,14の各周壁は蛇腹形状に形成され、互いに独立して水平方向に伸縮可能に構成されている。具体的には、第1及び第2ベローズ13,14は、後述する作動板19の外面がポンプケース12の底壁部12aの内方側面に当接する最伸長状態と、後述するピストン体23の内方側面がポンプケース12の底壁部12aの外方側面に当接する最収縮状態との間で伸縮するようになっている。
第1及び第2ベローズ13,14の底部の外面には、ボルト17及びナット18により作動板19が連結部材20の一端部とともに固定されている。
ポンプケース12は、有底円筒状に形成されており、その開口周縁部は、対応するベローズ13(14)のフランジ部13a(14a)に気密状に押圧固定されている。これにより、ポンプケース12の内部には気密状態が保持された吐出側空気室21が形成されている。
ポンプケース12には吸排気ポート22がそれぞれ設けられており、吸排気ポート22は、切換バルブ4(5)及びレギュレータ3を介して空気供給装置2に接続されている(図1参照)。これにより、空気供給装置2からレギュレータ3及び切換バルブ4(5)及び吸排気ポート22を介して吐出側空気室21の内部に加圧空気を供給することで、ベローズ13(14)が収縮するようになっている。
各ポンプケース12の底壁部12aの下方には、移送流体の吐出側空気室21への漏洩を検知するための漏洩センサ40が取り付けられている。
また、図2右側の吐出側空気室21が形成されたポンプケース12と、図2右側の吸込側空気室26が形成されたピストン体23及びシリンダ体25とにより、第2ベローズ14を最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第2エアシリンダ部(第2駆動装置)28が構成されている。
ポンプヘッド11は、PTFEやPFA等のフッ素樹脂から形成されている。ポンプヘッド11の内部には、流体の吸込通路34と吐出通路35とが形成されており、この吸込通路34及び吐出通路35は、ポンプヘッド11の外周面において開口し、当該外周面に設けられた吸込ポート及び吐出ポート(いずれも図示省略)に接続されている。吸込ポートは流体の貯留タンク等に接続され、吐出ポートは流体の移送先に接続される。また、吸込通路34及び吐出通路35は、それぞれポンプヘッド11の左右両側面に向けて分岐するとともに、ポンプヘッド11の左右両側面において開口する吸込口36及び吐出口37を有している。各吸込口36及び各吐出口37は、それぞれチェックバルブ15,16を介してベローズ13,14の内部と連通している。
各吸込口36及び各吐出口37には、チェックバルブ15,16が設けられている。
吸込口36に取り付けられたチェックバルブ15(以下、「吸込用チェックバルブ」ともいう)は、バルブケース15aと、このバルブケース15aに収容された弁体15bと、この弁体15bを閉弁方向に付勢する圧縮コイルバネ15cとを有している。バルブケース15aは有底円筒形状に形成されており、その底壁にはベローズ13,14の内部に連通する貫通孔15dが形成されている。弁体15bは、圧縮コイルバネ15cの付勢力により吸込口36を閉鎖(閉弁)し、ベローズ13,14の伸縮に伴う流体の流れによる背圧が作用すると吸込口36を開放(開弁)するようになっている。
これにより、吸込用チェックバルブ15は、自身が配置されているベローズ13,14が伸長したときに開弁して、吸込通路34からベローズ13,14内部に向かう方向(一方向)への流体の吸引を許容し、当該ベローズ13,14が収縮したときに閉弁して、ベローズ13,14内部から吸込通路34に向かう方向(他方向)への流体の逆流を阻止する。
次に、本実施形態のベローズポンプ1の動作を図3及び図4を参照して説明する。なお、図3及び図4においては第1及び第2ベローズ13,14の構成を簡略化して示している。
図3に示すように、第1ベローズ13が収縮し、第2ベローズ14が伸長した場合、ポンプヘッド11の図中左側に装着された吸込用チェックバルブ15及び吐出用チェックバルブ16の各弁体15b,16bは、第1ベローズ13内の流体から圧力を受けて各バルブケース15a,16aの図中右側にそれぞれ移動する。これにより吸込用チェックバルブ15が閉じるともに、吐出用チェックバルブ16が開き、第1ベローズ13内の流体が吐出通路35からポンプ外へ排出される。
以上の動作を繰り返し行うことで、左右のベローズ13,14は、交互に流体の吸引と排出とを行うことができる。
図1において、第1切換バルブ4は、空気供給装置2から第1エアシリンダ部27の吐出側空気室21及び吸込側空気室26への加圧空気の給排を切り換えるものであり、一対のソレノイド4a,4bを有する三位置の電磁切換弁からなる。各ソレノイド4a,4bは制御部6から指令信号を受けて励磁されるようになっている。
制御部6は、第1検知手段29及び第2検知手段31(図2参照)の検知信号に基づいて、各切換バルブ4,5を切り換えることで、ベローズポンプ1の第1エアシリンダ部27及び第2エアシリンダ部28の各駆動を制御するものである。
図5は、制御部6の内部構成を示すブロック図である。制御部6は、第1及び第2算出部6a,6bと、第1及び第2決定部6c,6dと、駆動制御部6eとを有している。
本実施形態の第1決定部6cは、例えば、以下の式を用いて第1時間差を決定する。
第1時間差=(第1伸長時間+第1収縮時間)/2
本実施形態の第2決定部6dは、例えば、以下の式を用いて第2時間差を決定する。
第2時間差=(第2伸長時間+第2収縮時間)/2
電源スイッチ8は、ベローズポンプ1への通電をオンオフ操作する操作指令を出力するものであり、その操作指令は制御部6に入力される。スタートスイッチ9は、ベローズポンプ1を駆動させる操作指令を出力するものであり、その操作指令は制御部6に入力される。停止スイッチ10は、第1ベローズ13及び第2ベローズ14をいずれも最収縮状態としたスタンバイ状態とする操作指令を出力するものである。
図6は、制御部6が行うベローズポンプ1の駆動制御の一例を示すタイムチャートである。電源スイッチ8がオフのとき、第1及び第2切換バルブ4、5(図1参照)は、中立位置に保持されている。したがって、電源スイッチ8がオフのとき、ベローズポンプ1の第1及び第2エアシリンダ部27,28の空気室21,26は大気に連通しているため、両空気室21,26内が大気圧でバランスした状態となるように、第1ベローズ13及び第2ベローズ14は、前記スタンバイ状態から少し伸長した位置で保持されている。
具体的には、駆動制御部6eは、第1切換バルブ4のソレノイド4aを消磁させるとともにソレノイド4bを励磁させ、第1ベローズ13を最収縮状態(スタンバイ状態)から最伸長状態まで伸長させる。これと同時に、駆動制御部6eは、第2切換バルブ5のソレノイド5aを消磁させるとともにソレノイド5bを励磁させ、第2ベローズ14も最収縮状態(スタンバイ状態)から最伸長状態まで伸長させる。
同様に、第2ベローズ14が最収縮状態から最伸長状態まで伸長するとき、第2算出部6bは、近接センサ31Aがオフになった時点(t1)から、近接センサ31Bがオンになる時点(t2)までの時間をカウントし、第2ベローズ14の第2伸長時間(t2−t1)を算出する。
その際、第1算出部6aは、近接センサ29Bがオフになった時点(t3)から、近接センサ29Aがオンになる時点(t4)までの時間をカウントし、第1ベローズ13の第1収縮時間(t4−t3)を算出する。
第1時間差=(第1伸長時間+第1収縮時間)/2=((t2−t1)+(t4−t3))/2
その際、第2算出部6bは、近接センサ31Bがオフになった時点(t4)から、近接センサ31Aがオンになる時点(t6)までの時間をカウントし、第2ベローズ14の第2収縮時間(t6−t4)を算出する。
第2時間差=(第2伸長時間+第2収縮時間)/2=((t2−t1)+(t6−t4))/2
同様に、第2算出部6b及び第2決定部6dにより、第2ベローズ14が1往復するたびに、上述のように第2伸長時間及び第2収縮時間が算出され、その算出された第2伸長時間及び第2収縮時間に基づいて第2時間差が決定される。
なお、第1ベローズ13が伸長動作を開始してから所定時間(t6−t5)後に、第2ベローズ14は最収縮状態となり、近接センサ31Bがオフからオンに切り換わるが、駆動制御部6eは、第2ベローズ14をしばらく最収縮状態のまま保持しておく。
また、駆動制御部6eは、ソレノイド4aを励磁させた時点(t8)から、上記で決定された第1時間差のカウントを開始する。
その際、第2ベローズ14が最伸長状態となった時点(t10)で、近接センサ31Bはオフからオンに切り換わるが、駆動制御部6eは、第2ベローズ14を最伸長状態のまま保持しておく。
また、駆動制御部6eは、ソレノイド5aを励磁させた時点(t11)から、上記で決定された第2時間差のカウントを開始する。
その際、第1ベローズ13が最伸長状態となった時点(t13)で、近接センサ29Bはオフからオンに切り換わるが、駆動制御部6eは、第1ベローズ13を最伸長状態のまま保持しておく。
また、駆動制御部6eは、ソレノイド4aを励磁させた時点(t14)から、直前に決定された第1時間差のカウントを開始する。この直前に決定された第1時間差は、第1ベローズ13の直前の1往復動作によって算出された第1伸長時間(t7−t5)及び第1収縮時間(t12−t8)に基づいて決定されたものである。
その際、第2ベローズ14が最伸長状態となった時点(t16)で、近接センサ31Bはオフからオンに切り換わるが、駆動制御部6eは、第2ベローズ14を最伸長状態のまま保持しておく。
また、駆動制御部6eは、ソレノイド5aを励磁させた時点(t17)から、直前に決定された第2時間差のカウントを開始する。この直前に決定された第2時間差は、第2ベローズ14の直前の1往復動作によって算出された第2伸長時間(t10−t9)及び第2収縮時間(t15−t11)に基づいて決定されたものである。
その際、第1ベローズ13が最伸長状態となった時点(t19)で、近接センサ29Bはオフからオンに切り換わるが、駆動制御部6eは、第1ベローズ13を最伸長状態のまま保持しておく。
また、本発明品の脈圧幅(最大吐出圧と最小吐出圧との差)は、従来のアキュムレータ内蔵タイプの脈圧幅よりも大きいが、従来のタイロッド連結タイプやアキュムレータ内蔵タイプの各脈圧幅に比べると減少しており、ポンプの脈動を低減できているのが分かる。
6a 第1算出部
6b 第2算出部
6c 第1決定部
6d 第2決定部
6e 駆動制御部
11 ポンプヘッド
13 第1ベローズ
14 第2ベローズ
15,16 チェックバルブ
27 第1エアシリンダ部(第1駆動装置)
28 第2エアシリンダ部(第2駆動装置)
29 第1検知手段
31 第2検知手段
34 吸込通路
35 吐出通路
Claims (2)
- 流体の吸込通路及び吐出通路が形成されたポンプヘッドと、
前記吸込通路及び吐出通路に対する一方向への流体の流れを許容するとともに他方向への流体の流れを阻止するチェックバルブと、
前記ポンプヘッドに互いに独立して伸縮自在に取り付けられ、伸長により前記吸込通路から内部に流体を吸い込み、収縮により内部から前記吐出通路に流体を吐出する第1及び第2ベローズと、
前記第1ベローズを最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第1駆動装置と、
前記第2ベローズを最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第2駆動装置と、
前記第1ベローズの伸縮状態を検知する第1検知手段と、
前記第2ベローズの伸縮状態を検知する第2検知手段と、
前記第1及び第2検知手段の各検知信号に基づいて、前記第1ベローズが最収縮状態となる手前で前記第2ベローズを最伸長状態から収縮させるとともに、前記第2ベローズが最収縮状態となる手前で前記第1ベローズを最伸長状態から収縮させるように、前記第1及び第2駆動装置を駆動制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記第1検知手段の検知信号に基づいて、前記第1ベローズの最収縮状態から最伸長状態までの第1伸長時間、及び最伸長状態から最収縮状態までの第1収縮時間を算出する第1算出部と、
前記第2検知手段の検知信号に基づいて、前記第2ベローズの最収縮状態から最伸長状態までの第2伸長時間、及び最伸長状態から最収縮状態までの第2収縮時間を算出する第2算出部と、
算出された前記第1伸長時間及び第1収縮時間に基づいて、最伸長状態の前記第1ベローズが収縮動作を開始する時点から、当該収縮動作により前記第1ベローズが最収縮状態となる手前で最伸長状態の前記第2ベローズが収縮動作を開始する時点までの第1時間差を決定する第1決定部と、
算出された前記第2伸長時間及び第2収縮時間に基づいて、最伸長状態の前記第2ベローズが収縮動作を開始する時点から、当該収縮動作により前記第2ベローズが最収縮状態となる手前で最伸長状態の前記第1ベローズが収縮動作を開始する時点までの第2時間差を決定する第2決定部と、
最伸長状態の前記第1ベローズが収縮動作を開始した時点から前記第1時間差が経過した時点で最伸長状態の前記第2ベローズの収縮動作を開始させるとともに、最伸長状態の前記第2ベローズが収縮動作を開始した時点から前記第2時間差が経過した時点で最伸長状態の前記第1ベローズの収縮動作を開始させるように、前記第1及び第2駆動装置を駆動制御する駆動制御部と、
を有していることを特徴とするベローズポンプ装置。 - 前記第1決定部は、直前に算出された前記第1伸長時間及び第1収縮時間に基づいて、前記第1時間差を決定し、
前記第2決定部は、直前に算出された前記第2伸長時間及び第2収縮時間に基づいて、前記第2時間差を決定し、
前記駆動制御部は、直前に決定された前記第1及び第2時間差に基づいて前記第1及び第2駆動装置を駆動制御する請求項1に記載のベローズポンプ装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014158570A JP6353732B2 (ja) | 2014-08-04 | 2014-08-04 | ベローズポンプ装置 |
US15/500,716 US10408207B2 (en) | 2014-08-04 | 2015-07-06 | Bellows pump device |
KR1020167036696A KR102310981B1 (ko) | 2014-08-04 | 2015-07-06 | 벨로즈 펌프 장치 |
EP15829635.0A EP3179104B1 (en) | 2014-08-04 | 2015-07-06 | Bellows pump device |
PCT/JP2015/069375 WO2016021351A1 (ja) | 2014-08-04 | 2015-07-06 | ベローズポンプ装置 |
CN201580053804.0A CN107002660B (zh) | 2014-08-04 | 2015-07-06 | 波纹管泵装置 |
TW104124826A TWI658210B (zh) | 2014-08-04 | 2015-07-31 | Telescopic pump device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014158570A JP6353732B2 (ja) | 2014-08-04 | 2014-08-04 | ベローズポンプ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016035241A JP2016035241A (ja) | 2016-03-17 |
JP6353732B2 true JP6353732B2 (ja) | 2018-07-04 |
Family
ID=55263625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014158570A Active JP6353732B2 (ja) | 2014-08-04 | 2014-08-04 | ベローズポンプ装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10408207B2 (ja) |
EP (1) | EP3179104B1 (ja) |
JP (1) | JP6353732B2 (ja) |
KR (1) | KR102310981B1 (ja) |
CN (1) | CN107002660B (ja) |
TW (1) | TWI658210B (ja) |
WO (1) | WO2016021351A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014217897A1 (de) * | 2014-09-08 | 2016-03-10 | Pressure Wave Systems Gmbh | Kompressorvorrichtung, eine damit ausgerüstete Kühlvorrichtung und ein Verfahren zum Betreiben der Kompressorvorrichtung und der Kühlvorrichtung |
JP7042639B2 (ja) * | 2018-02-07 | 2022-03-28 | 株式会社コガネイ | 液体供給装置 |
US20210380274A1 (en) * | 2018-10-01 | 2021-12-09 | Aeronext Inc. | Telescopic rod |
JP7272913B2 (ja) * | 2019-09-09 | 2023-05-12 | 日本ピラー工業株式会社 | ベローズポンプ装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4543044A (en) * | 1983-11-09 | 1985-09-24 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Constant-flow-rate dual-unit pump |
JPH03179184A (ja) | 1989-12-05 | 1991-08-05 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 往復動ポンプ |
US5224841A (en) * | 1992-04-24 | 1993-07-06 | Semitool, Inc. | Pneumatic bellows pump with supported bellows tube |
JPH08121342A (ja) | 1994-10-26 | 1996-05-14 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 定量供給ポンプ |
JP2808415B2 (ja) | 1994-12-12 | 1998-10-08 | 日本ピラー工業株式会社 | ポンプの脈動幅抑制装置 |
JP2000002187A (ja) * | 1998-06-15 | 2000-01-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ポンプ制御機構およびそれを用いた基板処理装置ならびにポンプ制御方法 |
JP2000310182A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Komatsu Ltd | アキシャルピストンポンプ又はモータとその駆動回路 |
JP3205909B2 (ja) * | 1999-10-25 | 2001-09-04 | 日本ピラー工業株式会社 | 脈動低減装置付きポンプ |
JP3375930B2 (ja) | 2000-03-06 | 2003-02-10 | 日本ピラー工業株式会社 | チェックバルブ |
JP2004293502A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-21 | Yamagiwa Kanagata:Kk | ベローズポンプ。 |
US8653066B2 (en) * | 2006-10-09 | 2014-02-18 | Charleston Laboratories, Inc. | Pharmaceutical compositions |
JP4884169B2 (ja) * | 2006-11-07 | 2012-02-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム |
CN102057160B (zh) * | 2009-06-10 | 2013-05-29 | 株式会社易威奇 | 双联往复运动泵 |
DE102010044697A1 (de) * | 2010-09-08 | 2012-03-08 | Robert Bosch Gmbh | Hydraulische Anordnung und Verfahren zur Ansteuerung von ventilgesteuerten Verdrängereinheiten |
JP5720888B2 (ja) | 2011-03-30 | 2015-05-20 | 株式会社イワキ | ベローズポンプ |
CN103388577A (zh) | 2012-05-09 | 2013-11-13 | 日本皮拉工业株式会社 | 液体用容积型泵 |
-
2014
- 2014-08-04 JP JP2014158570A patent/JP6353732B2/ja active Active
-
2015
- 2015-07-06 US US15/500,716 patent/US10408207B2/en active Active
- 2015-07-06 EP EP15829635.0A patent/EP3179104B1/en active Active
- 2015-07-06 KR KR1020167036696A patent/KR102310981B1/ko active IP Right Grant
- 2015-07-06 WO PCT/JP2015/069375 patent/WO2016021351A1/ja active Application Filing
- 2015-07-06 CN CN201580053804.0A patent/CN107002660B/zh active Active
- 2015-07-31 TW TW104124826A patent/TWI658210B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107002660B (zh) | 2019-04-05 |
WO2016021351A1 (ja) | 2016-02-11 |
TWI658210B (zh) | 2019-05-01 |
EP3179104A1 (en) | 2017-06-14 |
US20170218946A1 (en) | 2017-08-03 |
US10408207B2 (en) | 2019-09-10 |
JP2016035241A (ja) | 2016-03-17 |
EP3179104B1 (en) | 2019-03-27 |
TW201623797A (zh) | 2016-07-01 |
EP3179104A4 (en) | 2018-02-14 |
KR102310981B1 (ko) | 2021-10-07 |
KR20170039099A (ko) | 2017-04-10 |
CN107002660A (zh) | 2017-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6367645B2 (ja) | ベローズポンプ装置 | |
WO2016021350A1 (ja) | ベローズポンプ装置 | |
JP6353732B2 (ja) | ベローズポンプ装置 | |
KR102249282B1 (ko) | 벨로우즈 펌프 장치 | |
JP6780959B2 (ja) | ベローズポンプ装置 | |
JP6734704B2 (ja) | ベローズポンプ装置 | |
JP6387265B2 (ja) | ベローズポンプ装置 | |
US11920580B2 (en) | Bellows pump device | |
JP7120899B2 (ja) | ベローズポンプ装置 | |
WO2023139832A1 (ja) | ベローズポンプ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170309 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180109 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180529 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180611 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6353732 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |