WO2016021351A1 - ベローズポンプ装置 - Google Patents

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WO2016021351A1
WO2016021351A1 PCT/JP2015/069375 JP2015069375W WO2016021351A1 WO 2016021351 A1 WO2016021351 A1 WO 2016021351A1 JP 2015069375 W JP2015069375 W JP 2015069375W WO 2016021351 A1 WO2016021351 A1 WO 2016021351A1
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bellows
time
state
contraction
contracted
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PCT/JP2015/069375
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真照 山田
一清 手嶋
篤 中野
大輔 浦田
慶士 永江
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日本ピラー工業株式会社
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    • F04B2201/02—Piston parameters
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Definitions

  • the present invention relates to a bellows pump device.
  • a bellows pump may be used as a pump for feeding fluids such as chemicals and solvents.
  • this bellows pump for example, as described in Patent Document 1, two air chambers are formed by connecting pump cases on both sides in the left-right direction (horizontal direction) of the pump head, and the inside of each air chamber.
  • a pair of bellows that can be expanded and contracted in the left-right direction is provided, and each bellows is contracted or expanded by alternately supplying pressurized air to each air chamber.
  • the pump head is formed with a fluid suction passage and a discharge passage communicating with the inside of each bellows, and further allows a fluid flow in one direction with respect to the suction passage and the discharge passage, and a fluid flow in the other direction.
  • a check valve is provided to prevent this.
  • the check valve for the suction passage allows the flow of fluid from the suction passage into the bellows by opening when the bellows extends, and blocks the flow of fluid from the inside of the bellows to the suction passage by closing when the bellows contracts Is configured to do.
  • the check valve for the discharge passage is closed by the extension of the bellows to prevent the flow of fluid from the discharge passage into the bellows, and is opened by the contraction of the bellows, so that the fluid flow from the inside of the bellows to the discharge passage Is configured to allow.
  • the pair of bellows are integrally connected by a tie rod.
  • the other bellows When one of the bellows contracts and discharges fluid to the discharge passage, the other bellows is forcibly extended at the same time and the fluid is sucked from the suction passage.
  • the other bellows contracts and fluid is discharged into the discharge passage, at the same time, the one bellows is forcibly extended and fluid is sucked from the suction passage.
  • the bellows pump configured as described above has a problem that the discharge pressure drops to near zero (pulsation) at the timing of switching between discharging and sucking fluid.
  • an accumulator accumulator
  • Patent Document 2 an accumulator is attached to the discharge side of the bellows pump (see, for example, Patent Document 2), or one of a pair of bellows is replaced with an accumulator and a built-in bellows pump ( For example, it has been practiced to use Patent Document 3).
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a bellows pump device that can reduce pulsation on the discharge side without causing a significant increase in installation space or a decrease in discharge amount.
  • the bellows pump device allows a fluid flow in one direction with respect to the suction passage and the discharge passage and prevents a fluid flow in the other direction with respect to the pump head in which the fluid suction passage and the discharge passage are formed.
  • a first check valve and a second bellows which are attached to the pump head so as to be stretchable independently of each other, draw fluid from the suction passage by extension, and discharge fluid from the inside to the discharge passage by contraction.
  • a second driving device for causing the first bellows to expand and contract, first detecting means for detecting the expanding and contracting state of the first bellows, second detecting means for detecting the expanding and contracting state of the second bellows, and Based on the detection signals of the two detection means, the second bellows is contracted from the most extended state before the first bellows is in the most contracted state, and the second bellows is contracted before being in the most contracted state.
  • a control unit that drives and controls the first and second drive devices so that the one bellows is contracted from the most extended state.
  • the first bellows and the second bellows can be expanded and contracted independently of each other, and the second bellows is placed in the control unit immediately before the first bellows is in the most contracted state. Since the first bellows is contracted from the maximum stretched state before the second bellows reaches the maximum contracted state, the first bellows contracts from the contracted (discharged) one of the bellows. ), The other bellows is already contracted to discharge the fluid, so that the discharge pressure can be reduced from dropping at the switching timing. As a result, pulsation on the discharge side of the bellows pump device can be reduced.
  • the control unit has a first extension time from the most contracted state to the most extended state of the first bellows and a first contraction time from the most extended state to the most contracted state based on the detection signal of the first detecting means. And a second extension time from the most contracted state to the most extended state of the second bellows, and from the most extended state to the most contracted state, based on the detection signal of the first detection unit and the second detection means. Based on the calculated first extension time and the first contraction time, the contraction operation from the time when the first bellows in the most extended state starts the contraction operation based on the calculated first extension time and the first contraction time.
  • the first determining unit that determines a first time difference until the time when the second bellows in the most extended state starts the contraction operation before the first bellows is in the most contracted state, and the calculated second extension time And based on the second contraction time From the time when the second bellows in the most extended state starts contracting operation to the time when the first bellows in the most extended state starts contracting operation just before the second bellows is in the most contracted state by the contracting operation.
  • a second determining unit that determines a second time difference of the second bellows, and a contraction operation of the second bellows in the maximum extension state when the first time difference elapses from the time when the first bellows in the maximum extension state starts the contraction operation.
  • the first and the second bellows in the most extended state are started at the time when the second time difference elapses from the time when the second bellows in the most extended state starts to contract. It is preferable to have a drive control unit that drives and controls the second drive device. In this case, since the drive control unit performs control as described above, the second bellows can be reliably contracted before the first bellows is in the most contracted state, and the second bellows is in the most contracted state. Thus, the first bellows can be reliably contracted.
  • the first determination unit determines the first time difference based on the first extension time and the first contraction time calculated immediately before, and the second determination unit determines the second extension calculated immediately before.
  • the second time difference is determined based on the time and the second contraction time, and the drive control unit drives and controls the first and second drive devices based on the first and second time differences determined immediately before. It is preferable to do this.
  • the drive control unit performs control as described above, even if the first extension time and the first contraction time of the first bellows (the second extension time and the second contraction time of the second bellows) vary. Following the change, the second bellows (first bellows) can be reliably contracted before the first bellows (second bellows) reaches the most contracted state.
  • the pulsation on the discharge side can be reduced without causing a significant increase in installation space or a decrease in the discharge amount.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a bellows pump device according to an embodiment of the present invention.
  • the bellows pump device according to the present embodiment is used, for example, when supplying a certain amount of transfer fluid such as a chemical solution or a solvent in a semiconductor manufacturing apparatus.
  • the bellows pump device includes a bellows pump 1, an air supply device 2 such as an air compressor that supplies pressurized air (working fluid) to the bellows pump 1, a regulator 3 that adjusts the pressure of the pressurized air, and 2
  • the first and second switching valves 4 and 5 and a control unit 6 that controls the driving of the bellows pump 1 are provided.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the bellows pump according to the embodiment of the present invention.
  • the bellows pump 1 of the present embodiment includes a pump head 11, a pair of pump cases 12 attached to both sides of the pump head 11 in the left-right direction (horizontal direction), and the right and left sides of the pump head 11 inside each pump case 12.
  • Two first and second bellows 13, 14 attached to the side surface in the direction, and four check valves 15, 16 attached to the side surface in the left-right direction of the pump head 11 inside each bellows 13, 14, It has.
  • the first and second bellows 13 and 14 are formed in a bottomed cylindrical shape from a fluororesin such as PTFE (polytetrafluoroethylene) or PFA (tetrafluoroethylene / perfluoroalkyl vinyl ether copolymer), and open end portions thereof Are integrally fixed to the side surface of the pump head 11 in an airtight manner.
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • PFA tetrafluoroethylene / perfluoroalkyl vinyl ether copolymer
  • first and second bellows 13, 14 are in a fully extended state where an outer surface of a working plate 19 described later comes into contact with an inner side surface of the bottom wall portion 12 a of the pump case 12 and a piston body 23 described later.
  • the inner side surface expands and contracts between the most contracted state contacting the outer side surface of the bottom wall portion 12 a of the pump case 12.
  • An operation plate 19 is fixed to the outer surfaces of the bottom portions of the first and second bellows 13 and 14 together with one end of the connecting member 20 by bolts 17 and nuts 18.
  • the pump case 12 is formed in a bottomed cylindrical shape, and the opening peripheral edge thereof is airtightly fixed to the flange portion 13a (14a) of the corresponding bellows 13 (14). As a result, a discharge side air chamber 21 is formed in the pump case 12 so as to maintain an airtight state.
  • the pump case 12 is provided with an intake / exhaust port 22, and the intake / exhaust port 22 is connected to the air supply device 2 via the switching valve 4 (5) and the regulator 3 (see FIG. 1). Accordingly, the bellows 13 (14) contracts by supplying pressurized air from the air supply device 2 to the inside of the discharge-side air chamber 21 through the regulator 3, the switching valve 4 (5), and the intake / exhaust port 22. It is like that.
  • the connecting member 20 is supported on the bottom wall portion 12a of each pump case 12 so as to be slidable in the horizontal direction, and a piston body 23 is fixed to the other end of the connecting member 20 by a nut 24. ing.
  • the piston body 23 is supported so as to be slidable in the horizontal direction while maintaining an airtight state with respect to an inner peripheral surface of a cylindrical cylinder body 25 integrally provided on the outer side surface of the bottom wall portion 12a. Yes.
  • the space surrounded by the bottom wall portion 12a, the cylinder body 25, and the piston body 23 is a suction-side air chamber 26 in which an airtight state is maintained.
  • the cylinder body 25 is formed with an intake / exhaust port 25 a communicating with the suction side air chamber 26, and the intake / exhaust port 25 a is connected to the air supply device 2 via the switching valve 4 (5) and the regulator 3. (See FIG. 1).
  • the bellows 13 (14) is extended by supplying pressurized air from the air supply device 2 to the inside of the suction side air chamber 26 via the regulator 3, the switching valve 4 (5), and the intake / exhaust port 25a. It is like that.
  • a leakage sensor 40 for detecting leakage of the transfer fluid to the discharge-side air chamber 21 is attached below the bottom wall portion 12a of each pump case 12.
  • the time until the entire inside of the suction side air chamber 26 is filled with the pressurized air is the time until the whole inside of the discharge side air chamber 21 is filled with the pressurized air. It is shorter than time. That is, the extension time (suction time) for the bellows 13 (14) to extend from the most contracted state to the most extended state is less than the contraction time (discharge time) for the bellows 13 (14) to contract from the most extended state to the most contracted state. Is also shorter.
  • the first bellows 13 is formed by the pump case 12 in which the discharge side air chamber 21 on the left side of FIG. 2 is formed, and the piston body 23 and the cylinder body 25 that form the suction side air chamber 26 on the left side of FIG.
  • a first air cylinder portion (first driving device) 27 is configured to continuously expand and contract between the most extended state and the most contracted state.
  • the second bellows 14 is extended most by the pump case 12 in which the discharge side air chamber 21 on the right side of FIG. 2 is formed and the piston body 23 and the cylinder body 25 in which the suction side air chamber 26 on the right side of FIG. 2 is formed.
  • a second air cylinder portion (second drive device) 28 is configured to continuously expand and contract between the state and the most contracted state.
  • a pair of proximity sensors 29A and 29B are attached to the cylinder body 25 of the first air cylinder portion 27, and a detection plate 30 to be detected by the proximity sensors 29A and 29B is attached to the piston body 23.
  • the plate 30 to be detected is detected by reciprocating with the piston body 23 and alternately approaching the proximity sensors 29A and 29B.
  • the proximity sensor 29 ⁇ / b> A is a first most contraction detecting unit that detects the most contracted state of the first bellows 13, and is disposed at a position where the detected plate 30 is detected when the first bellows 13 is in the most contracted state.
  • the proximity sensor 29 ⁇ / b> B is a first maximum extension detection unit that detects the maximum extension state of the first bellows 13, and is disposed at a position to detect the detection plate 30 when the first bellows 13 is in the maximum extension state. Detection signals from the proximity sensors 29A and 29B are transmitted to the control unit 6.
  • the pair of proximity sensors 29 ⁇ / b> A and 29 ⁇ / b> B constitutes a first detection unit 29 that detects the expansion / contraction state of the first bellows 13.
  • a pair of proximity sensors 31A and 31B are attached to the cylinder body 25 of the second air cylinder portion 28, and a detection plate 32 detected by the proximity sensors 31A and 31B is attached to the piston body 23. Yes.
  • the detected plate 32 is detected by reciprocating together with the piston body 23 to alternately approach the proximity sensors 31A and 31B.
  • the proximity sensor 31 ⁇ / b> A is a second most contraction detection unit that detects the most contracted state of the second bellows 14, and is disposed at a position where the detected plate 32 is detected when the second bellows 14 is in the most contracted state.
  • the proximity sensor 31B is a second maximum extension detection unit that detects the maximum extension state of the second bellows 14, and is disposed at a position to detect the detection plate 32 when the second bellows 14 is in the maximum extension state. Detection signals from the proximity sensors 31A and 31B are transmitted to the control unit 6.
  • the pair of proximity sensors 31 ⁇ / b> A and 31 ⁇ / b> B constitute the second detection means 31 that detects the expansion / contraction state of the second bellows 14.
  • the compressed air generated by the air supply device 2 is detected by the pair of proximity sensors 29A and 29B of the first detection means 29 alternately, so that the suction side air chamber of the first air cylinder portion 27 is detected. 26 and the discharge-side air chamber 21 are alternately supplied. As a result, the first bellows 13 continuously expands and contracts.
  • the pressurized air is detected by the pair of proximity sensors 31A and 31B of the second detection means 31 alternately, so that the suction side air chamber 26 and the discharge side air of the second air cylinder portion 28 are detected. Alternately supplied to the chamber 21.
  • the second bellows 14 continuously expands and contracts. At that time, the expansion operation of the second bellows 14 is performed mainly when the first bellows 13 is contracted, and the contraction operation of the second bellows 14 is performed mainly when the first bellows 13 is expanded.
  • the first bellows 13 and the second bellows 14 alternately extend and contract, whereby the suction and discharge of the fluid into the bellows 13 and 14 are alternately performed, and the fluid is transferred. It has become so.
  • the pump head 11 is made of a fluororesin such as PTFE or PFA.
  • a fluid suction passage 34 and a discharge passage 35 are formed inside the pump head 11, and the suction passage 34 and the discharge passage 35 open at the outer peripheral surface of the pump head 11 and are provided on the outer peripheral surface.
  • the suction port and the discharge port (both not shown) are connected.
  • the suction port is connected to a fluid storage tank or the like, and the discharge port is connected to a fluid transfer destination.
  • the suction passage 34 and the discharge passage 35 respectively branch toward the left and right side surfaces of the pump head 11, and have a suction port 36 and a discharge port 37 that open on both the left and right side surfaces of the pump head 11.
  • Each suction port 36 and each discharge port 37 communicate with the inside of the bellows 13 and 14 via the check valves 15 and 16, respectively.
  • Each suction port 36 and each discharge port 37 are provided with check valves 15 and 16.
  • the check valve 15 (hereinafter also referred to as “suction check valve”) attached to the suction port 36 includes a valve case 15a, a valve body 15b accommodated in the valve case 15a, and a valve closing direction of the valve body 15b. And a compression coil spring 15c for urging the spring.
  • the valve case 15a is formed in a bottomed cylindrical shape, and a through hole 15d communicating with the inside of the bellows 13 and 14 is formed in the bottom wall.
  • the valve body 15b closes (closes) the suction port 36 by the urging force of the compression coil spring 15c, and opens (opens) the suction port 36 when back pressure due to the flow of fluid accompanying expansion and contraction of the bellows 13 and 14 acts. It is like that.
  • the suction check valve 15 opens when the bellows 13 and 14 on which the suction check valve 15 is arranged extend, and the fluid flows in the direction (one direction) from the suction passage 34 toward the inside of the bellows 13 and 14. The suction is allowed, and when the bellows 13 and 14 are contracted, the valve is closed to prevent the backflow of the fluid from the inside of the bellows 13 and 14 toward the suction passage 34 (the other direction).
  • a check valve 16 (hereinafter also referred to as “discharge check valve”) attached to the discharge port 37 includes a valve case 16a, a valve body 16b accommodated in the valve case 16a, and a valve closing direction of the valve body 16b. And a compression coil spring 16c for urging the spring.
  • the valve case 16a is formed in a bottomed cylindrical shape, and a through-hole 16d communicating with the inside of the bellows 13 and 14 is formed in the bottom wall.
  • the valve body 16b closes (closes) the through hole 16d of the valve case 16a by the urging force of the compression coil spring 16c, and when the back pressure due to the fluid flow accompanying the expansion and contraction of the bellows 13 and 14 acts, the through hole of the valve case 16a 16d is opened (opened).
  • the discharge check valve 16 opens when the bellows 13 and 14 on which the discharge check valve 16 is disposed contracts, and the fluid flows in the direction (one direction) from the inside of the bellows 13 and 14 toward the discharge passage 35. Allowing the outflow, the valve is closed when the bellows 13 and 14 are extended to prevent the backflow of the fluid from the discharge passage 35 toward the inside of the bellows 13 and 14 (other direction).
  • FIG.3 and FIG.4 show the configurations of the first and second bellows 13 and 14 in a simplified manner.
  • the valve bodies of the suction check valve 15 and the discharge check valve 16 mounted on the left side of the pump head 11 in the figure. 15b and 16b respectively receive pressure from the fluid in the first bellows 13 and move to the right side of the valve cases 15a and 16a in the drawing.
  • the suction check valve 15 is closed and the discharge check valve 16 is opened, and the fluid in the first bellows 13 is discharged from the discharge passage 35 to the outside of the pump.
  • valve bodies 15b, 16b of the suction check valve 15 and the discharge check valve 16 mounted on the right side of the pump head 11 in the drawing are shown in the drawing of the valve cases 15a, 16a by the suction action by the second bellows 14. Move to the right respectively.
  • the suction check valve 15 is opened, the discharge check valve 16 is closed, and the fluid is sucked into the second bellows 14 from the suction passage 34.
  • each valve body 15b, 16b receives pressure from the fluid in the second bellows 14 and moves to the left side of each valve case 15a, 16a in the figure.
  • the suction check valve 15 is closed and the discharge check valve 16 is opened, and the fluid in the second bellows 14 is discharged from the discharge passage 35 to the outside of the pump.
  • valve bodies 15b and 16b of the suction check valve 15 and the discharge check valve 16 mounted on the left side of the pump head 11 in the figure are shown in the figure of the valve cases 15a and 16a by the suction action of the first bellows 13, respectively.
  • the suction check valve 15 is opened, the discharge check valve 16 is closed, and the fluid is sucked into the first bellows 13 from the suction passage 34.
  • the left and right bellows 13 and 14 can alternately suck and discharge fluid.
  • the first switching valve 4 switches supply / discharge of pressurized air from the air supply device 2 to the discharge-side air chamber 21 and the suction-side air chamber 26 of the first air cylinder portion 27. It consists of a three-position electromagnetic switching valve having solenoids 4a and 4b. Each solenoid 4a, 4b is excited by receiving a command signal from the control unit 6.
  • the first switching valve 4 is held in a neutral position when both solenoids 4a and 4b are demagnetized, and the discharge side air chamber 21 (intake / exhaust port 22) and intake of the first air cylinder portion 27 from the air supply device 2 are sucked.
  • Supply of pressurized air to the side air chamber 26 (intake / exhaust port 25a) is shut off, and the discharge side air chamber 21 and the suction side air chamber 26 of the first air cylinder portion 27 are both opened to communicate with the atmosphere. ing.
  • the first switching valve 4 switches to the lower position in the figure, and pressurized air is supplied from the air supply device 2 to the discharge side air chamber 21 of the first air cylinder portion 27.
  • the suction side air chamber 26 of the first air cylinder portion 27 is opened in communication with the atmosphere. Thereby, the 1st bellows 13 can be shrunk.
  • the first switching valve 4 switches to the upper position in the figure, and pressurized air is supplied from the air supply device 2 to the suction side air chamber 26 of the first air cylinder portion 27.
  • the discharge-side air chamber 21 of the first air cylinder portion 27 is opened in communication with the atmosphere. Thereby, the 1st bellows 13 can be extended.
  • the second switching valve 5 switches supply and discharge of pressurized air from the air supply device 2 to the discharge side air chamber 21 and the suction side air chamber 26 of the second air cylinder portion 28, and a pair of solenoids 5a and 5b. And a three-position electromagnetic switching valve. Each solenoid 5a, 5b is excited by receiving a command signal from the control unit 6.
  • the second switching valve 5 is held in a neutral position when both solenoids 5a and 5b are demagnetized, and the discharge side air chamber 21 (intake / exhaust port 22) of the second air cylinder portion 28 and the intake air from the air supply device 2
  • the supply of pressurized air to the side air chamber 26 (intake / exhaust port 25a) is shut off, and the discharge side air chamber 21 and the suction side air chamber 26 of the second air cylinder portion 28 are both opened to communicate with the atmosphere. ing.
  • the second switching valve 5 switches to the lower position in the figure, and pressurized air is supplied from the air supply device 2 to the discharge side air chamber 21 of the second air cylinder portion 28.
  • the suction side air chamber 26 of the second air cylinder portion 28 is opened in communication with the atmosphere. Thereby, the 2nd bellows 14 can be shrunk.
  • the second switching valve 5 switches to the upper position in the figure, and pressurized air is supplied from the air supply device 2 to the suction side air chamber 26 of the second air cylinder portion 28.
  • the discharge-side air chamber 21 of the second air cylinder portion 28 is opened in communication with the atmosphere. Thereby, the 2nd bellows 14 can be extended.
  • a silencer 7 is provided to mute the exhaust sound.
  • FIG. 5 is a block diagram illustrating an internal configuration of the control unit 6.
  • the control unit 6 includes first and second calculation units 6a and 6b, first and second determination units 6c and 6d, and a drive control unit 6e.
  • the first calculation unit 6a Based on the detection signals of the pair of proximity sensors 29A and 29B, the first calculation unit 6a performs the first extension time from the most contracted state to the most extended state and the most extended state to the most contracted state in the first bellows 13.
  • the first contraction time is calculated.
  • the first calculator 6a calculates the elapsed time from the detection end time of the proximity sensor 29A to the detection time of the proximity sensor 29B as the first extension time.
  • the first calculation unit 6a calculates the elapsed time from the detection end time of the proximity sensor 29B to the detection time of the proximity sensor 29A as the first contraction time.
  • the second calculation unit 6b Based on the detection signals of the pair of proximity sensors 31A and 31B, the second calculation unit 6b performs the second extension time from the most contracted state to the most extended state and the most extended state to the most contracted state in the second bellows 14.
  • the second contraction time is calculated. Specifically, the second calculation unit 6b calculates the elapsed time from the detection end time of the proximity sensor 31A to the detection time of the proximity sensor 31B as the second extension time.
  • the second calculator 6b calculates the elapsed time from the detection end time of the proximity sensor 31B to the detection time of the proximity sensor 31A as the second contraction time.
  • the first determination unit 6c Based on the calculated first extension time and first contraction time, the first determination unit 6c starts the contraction operation of the first bellows 13 in the most extended state, and the first bellows 13 is moved by the contraction operation.
  • the first time difference until the time when the second bellows 14 in the most extended state starts the contraction operation before reaching the most contracted state is determined.
  • the 1st determination part 6c of this embodiment determines a 1st time difference using the following formula
  • First time difference (first extension time + first contraction time) / 2
  • the second determining unit 6d Based on the calculated second extension time and second contraction time, the second determining unit 6d starts the contraction operation of the second bellows 14 in the most extended state, and the second bellows 14 is moved by the contraction operation.
  • a second time difference is determined until the time when the first bellows 13 in the most extended state starts the contraction operation before reaching the most contracted state.
  • the drive control unit 6e drives and controls the first and second drive devices based on the determined first and second time differences. Specifically, the drive control unit 6e starts the contraction operation of the second bellows 14 in the maximum extension state when the first time difference elapses from the time when the first bellows 13 in the maximum extension state starts the contraction operation. At the time when the second time difference elapses from the time when the second bellows 14 in the most extended state starts the contraction operation, the first and second first bellows 13 are started to contract in the maximum extension state. 2 Drive control of the air cylinder parts 27 and 28 is performed.
  • the bellows pump device shown in FIG. 1 further includes a power switch 8, a start switch 9, and a stop switch 10.
  • the power switch 8 outputs an operation command for turning on / off the energization of the bellows pump 1, and the operation command is input to the control unit 6.
  • the start switch 9 outputs an operation command for driving the bellows pump 1, and the operation command is input to the control unit 6.
  • the stop switch 10 outputs an operation command for setting the first bellows 13 and the second bellows 14 in a standby state in which both are in the most contracted state.
  • FIG. 6 is a time chart showing an example of drive control of the bellows pump 1 performed by the control unit 6.
  • the first and second switching valves 4 and 5 (see FIG. 1) are held in the neutral position. Therefore, when the power switch 8 is off, the air chambers 21 and 26 of the first and second air cylinder portions 27 and 28 of the bellows pump 1 are in communication with the atmosphere.
  • the first bellows 13 and the second bellows 14 are held at a position slightly extended from the standby state so as to be in a balanced state.
  • the operator When starting the driving of the bellows pump 1, the operator turns on the power switch 8 and then turns on the stop switch 10 to move the first bellows 13 and the second bellows 14 to the standby state.
  • the drive control unit 6e excites the solenoid 4a of the first switching valve 4 and the solenoid 5a of the second switching valve 5, and simultaneously contracts the first bellows 13 and the second bellows 14 to the most contracted state.
  • the first bellows 13 and the second bellows 14 are held in a standby state.
  • the proximity sensor 29A. 31A will be in the ON state which detected the to-be-detected plates 30 and 32, respectively.
  • the drive control unit 6e first includes the first extension time and the first contraction time of the first bellows 13, the first extension time of the second bellows 14, and Control for calculating the first contraction time is executed. Specifically, the drive control unit 6e demagnetizes the solenoid 4a of the first switching valve 4 and excites the solenoid 4b to extend the first bellows 13 from the most contracted state (standby state) to the most extended state. At the same time, the drive controller 6e demagnetizes the solenoid 5a of the second switching valve 5 and excites the solenoid 5b, so that the second bellows 14 extends from the most contracted state (standby state) to the most extended state.
  • the first calculating unit 6a starts from the time (t1) when the proximity sensor 29A is turned off to the time (t2) when the proximity sensor 29B is turned on.
  • the first extension time (t2-t1) of the first bellows 13 is calculated.
  • the second calculating unit 6b starts from when the proximity sensor 31A is turned off (t1) to when the proximity sensor 31B is turned on ( The time until t2) is counted, and the second extension time (t2-t1) of the second bellows 14 is calculated.
  • the drive control unit 6e demagnetizes the solenoid 4b of the first switching valve 4 and excites the solenoid 4a, and only the first bellows 13 is contracted from the most extended state to the most contracted state.
  • the first calculation unit 6a counts the time from the time (t3) when the proximity sensor 29B is turned off to the time (t4) when the proximity sensor 29A is turned on, and the first contraction of the first bellows 13 is performed. Time (t4-t3) is calculated.
  • the first determination unit 6c determines the first time difference based on the calculated first extension time and first contraction time.
  • the 1st determination part 6c calculates a 1st time difference using the following formula
  • the drive control unit 6e demagnetizes the solenoid 5b of the second switching valve 5 and excites the solenoid 5a at the same time (t4) when the first bellows 13 contracts to the most contracted state, thereby causing the second bellows 14 to move. Shrink from the most extended state to the most contracted state.
  • the second calculation unit 6b counts the time from the time (t4) when the proximity sensor 31B is turned off to the time (t6) when the proximity sensor 31A is turned on, and the second contraction of the second bellows 14 is performed. Time (t6-t4) is calculated.
  • the second determination unit 6d determines the second time difference based on the calculated second extension time and second contraction time.
  • the 2nd determination part 6d calculates a 2nd time difference using the following formula
  • the drive controller 6e starts driving the first bellows 13 before the second bellows 14 is in the most contracted state.
  • the drive control unit 6e demagnetizes the solenoid 4a of the first switching valve 4 and excites the solenoid 4b before the second bellows 14 reaches the most contracted state (t5).
  • the 1st bellows 13 starts extension operation from the most contracted state.
  • the second bellows 14 is in the most contracted state, and the proximity sensor 31B is switched from off to on, but the drive control unit 6e The second bellows 14 is held in the most contracted state for a while.
  • the drive control unit 6e performs the first switching after a predetermined time (t8-t7) has elapsed.
  • the solenoid 4b of the valve 4 is demagnetized and the solenoid 4a is excited.
  • the drive control unit 6e starts counting the first time difference determined above from the time point (t8) when the solenoid 4a is excited.
  • the drive control unit 6e demagnetizes the solenoid 5a of the second switching valve 5 and excites the solenoid 5b. Thereby, while the 1st bellows 13 is carrying out contraction operation, the 2nd bellows 14 is extended from the maximum contraction state to the maximum extension state. At that time, when the second bellows 14 reaches the maximum extension state (t10), the proximity sensor 31B switches from off to on, but the drive control unit 6e holds the second bellows 14 in the maximum extension state. Keep it.
  • the drive control unit 6e demagnetizes the solenoid 5b of the second switching valve 5 and excites the solenoid 5a.
  • the 2nd bellows 14 starts contraction operation from the maximum extension state just before the 1st bellows 13 will be in the maximum contraction state (refer to Drawing 7).
  • the drive control part 6e starts the count of the 2nd time difference determined above from the time (t11) which excited the solenoid 5a.
  • the drive control unit 6e After the second bellows 14 starts contracting operation, when the proximity sensor 29A is switched from OFF to ON at the time (t12) when the first bellows 13 is in the most contracted state, the drive control unit 6e The solenoid 4a of the switching valve 4 is demagnetized and the solenoid 4b is excited. As a result, while the second bellows 14 is contracting, the first bellows 13 extends from the most contracted state to the most extended state. At that time, when the first bellows 13 reaches the maximum extension state (t13), the proximity sensor 29B switches from off to on, but the drive control unit 6e holds the first bellows 13 in the maximum extension state. Keep it.
  • the drive control unit 6e demagnetizes the solenoid 4b of the first switching valve 4 and excites the solenoid 4a.
  • the 1st bellows 13 starts contraction operation from the maximum extension state (refer to Drawing 8).
  • the drive control part 6e starts the count of the 1st time difference determined immediately before from the time (t14) which excited the solenoid 4a.
  • the first time difference determined immediately before this time was determined based on the first extension time (t7-t5) and the first contraction time (t12-t8) calculated by one reciprocating operation immediately before the first bellows 13. Is.
  • the drive control unit 6e After the first bellows 13 starts the contraction operation, when the proximity sensor 31A is switched from OFF to ON at the time (t15) when the second bellows 14 is in the most contracted state, the drive control unit 6e The solenoid 5a of the switching valve 5 is demagnetized and the solenoid 5b is excited. Thereby, while the 1st bellows 13 is carrying out contraction operation, the 2nd bellows 14 is extended from the maximum contraction state to the maximum extension state. At that time, when the second bellows 14 reaches the maximum extension state (t16), the proximity sensor 31B switches from OFF to ON, but the drive control unit 6e holds the second bellows 14 in the maximum extension state. Keep it.
  • the drive control unit 6e demagnetizes the solenoid 5b of the second switching valve 5 and excites the solenoid 5a. Thereby, the 2nd bellows 14 starts contraction operation from the maximum extension state before the 1st bellows 13 will be in the maximum contraction state. Moreover, the drive control part 6e starts the count of the 2nd time difference determined immediately before from the time (t17) when the solenoid 5a was excited.
  • the second time difference determined immediately before this was determined based on the second extension time (t10-t9) and the second contraction time (t15-t11) calculated by one reciprocating motion immediately before the second bellows 14. Is.
  • the drive control unit 6e After the second bellows 14 starts contracting operation, when the proximity sensor 29A is switched from OFF to ON at the time (t18) when the first bellows 13 is in the most contracted state, the drive control unit 6e The solenoid 4a of the switching valve 4 is demagnetized and the solenoid 4b is excited. As a result, while the second bellows 14 is contracting, the first bellows 13 extends from the most contracted state to the most extended state. At that time, when the first bellows 13 reaches the maximum extension state (t19), the proximity sensor 29B switches from off to on, but the drive control unit 6e holds the first bellows 13 in the maximum extension state. Keep it.
  • the drive control unit 6e demagnetizes the solenoid 4b of the first switching valve 4 and excites the solenoid 4a. Thereby, the 1st bellows 13 starts contraction operation from the maximum extension state before the 2nd bellows 14 will be in the maximum contraction state.
  • the drive control unit 6e moves the first bellows 13 from the most extended state before the second bellows 14 is in the most contracted state based on the first and second time differences determined immediately before.
  • the bellows pump 1 is driven and controlled so that the second bellows 14 is contracted from the maximum extension state before the first bellows 13 is in the maximum contraction state.
  • the bellows pump follows the variation and has an optimal timing. 1 can be driven and controlled. As a result, as shown in the lowermost part of FIG. 6, the discharge pressure of the bellows pump 1 rapidly decreases while the drive control unit 6 e controls the bellows pump 1 based on the first and second time differences. Therefore, the pulsation of the pump 1 can be suppressed.
  • the first and second time differences determined immediately before are used. However, if there is no change in the discharge time or the suction time, the first and first time differences determined immediately after the start of operation are used.
  • the bellows pump 1 may be driven and controlled using the second time difference. In this case, the extension operation and the contraction operation of the first and second bellows 13 and 14 may be switched at predetermined intervals using a timer or the like without using the proximity sensors 29A, 29B, 31A, and 31B. good.
  • the drive control unit 6e moves the first bellows 13 and the second bellows 14 to the standby state. At that time, when either one of the first bellows 13 and the second bellows 14 is performing the extending operation, the drive control unit 6e stops the extending operation and immediately starts the contracting operation. And if the 1st bellows 13 and the 2nd bellows 14 will be in a stand-by state, the operator will turn off power switch 8.
  • FIG. 9 is a table showing the results of the verification test of the bellows pump.
  • This verification test was conducted on the product of the present invention and three conventional bellows pumps having a maximum discharge amount of 40 liters.
  • the conventional three types of bellows pumps include a tie rod connection type in which a pair of bellows are integrally connected by a tie rod, an external accumulator type in which an accumulator is attached to the discharge side of the bellows pump, and a built-in accumulator type in which an accumulator is built in. I used one.
  • the pressure of pressurized air was set to 0.4 MPa, and the discharge pressure was set to 0.33 MPa.
  • surface has shown the ratio with respect to the numerical value of this invention product.
  • the flow rate of the product of the present invention is higher than that of the conventional three types of flow rates, and the fluid discharge rate is not decreased with respect to the conventional bellows pump.
  • the pulse pressure width (difference between the maximum discharge pressure and the minimum discharge pressure) of the product of the present invention is larger than the pulse pressure width of the conventional built-in accumulator type. It can be seen that the pulsation of the pump can be reduced because it is reduced compared to the width.
  • the footprint (occupied area in plan view) of the product of the present invention is slightly increased compared to the footprint of the conventional tie rod connection type and the built-in accumulator type, but compared to the footprint of the conventional external accumulator type. It can be seen that the installation space for the product of the present invention can be suppressed from increasing significantly.
  • the first bellows 13 and the second bellows 14 can be expanded and contracted independently of each other.
  • the bellows 14 is contracted from the maximum stretched state, and the first bellows 13 is driven and controlled to contract from the maximum stretched state before the second bellows 14 reaches the maximum contracted state. . That is, at the switching timing from contraction (discharge) to expansion (suction) of one bellows, the other bellows is already contracted to discharge the fluid, so that the discharge pressure drops at the switching timing is reduced. Can do. As a result, the pulsation on the discharge side of the bellows pump 1 can be reduced.
  • the bellows pump device does not need to secure a space for installing other members (accumulators) other than the bellows pump as in the case where the accumulator is attached to the discharge side of the conventional bellows pump. A significant increase in space can be suppressed. Furthermore, since the bellows pump device of the present embodiment discharges fluid using the pair of bellows 13 and 14 in the same manner as the bellows pump in which a pair of bellows is connected by a conventional tie rod, the amount of fluid discharged decreases. There is nothing.
  • control unit 6 uses the first time difference determined based on the first extension time and the first contraction time of the first bellows 13 to be in the maximum extension state before the first bellows 13 is in the maximum contraction state.
  • the second bellows 14 is contracted, and the second bellows 14 is stretched most before the second bellows 14 is in the most contracted state by using the second time difference determined based on the second extension time and the second contraction time of the second bellows 14.
  • the drive control can be performed so that the first bellows 13 in the state is contracted. Accordingly, the second bellows can be reliably contracted before the first bellows is in the most contracted state, and the first bellows can be reliably contracted before the second bellows is in the most contracted state.
  • the control unit 6 calculates the extension time and the contraction time of the first and second bellows 13 and 14 in advance and controls the drive. Even when the contraction time is unknown, the second bellows 14 (first bellows 13) can be reliably contracted before the first bellows 13 (second bellows 14) reaches the maximum contraction state.
  • the control part 6 controls drive based on the 1st and 2nd time difference determined immediately before, the 1st extension time of the 1st bellows 13 and the 1st contraction time (the 2nd extension time of the 2nd bellows 14) Even if there is a change in the second contraction time), the second bellows 14 (the first bellows 13) is surely followed by the change before the first bellows 13 (the second bellows 14) is in the most contracted state. Can be shrunk.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed within the scope of the invention described in the claims.
  • the first and second detection means 29 and 31 in the above embodiment are configured by proximity sensors, but may be configured by other detection means such as a limit switch.
  • the 1st and 2nd detection means 29 and 31 are detecting the maximum expansion state and the maximum expansion-contraction state of the 1st and 2nd bellows 13 and 14, you may make it detect another expansion-contraction state. good.
  • the first and second driving devices 27 and 28 in the present embodiment are driven by pressurized air, but may be driven by other fluids, motors, or the like.

Landscapes

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Abstract

設置スペースの大幅な増加や吐出量の減少を招くことなく吐出側の脈動を低減することができるベローズポンプ装置を提供する。ベローズポンプ装置は、ポンプヘッド（１１）に互いに独立して伸縮自在に取り付けられ、伸長により吸込通路（３４）から内部に流体を吸い込み、収縮により内部から吐出通路（３５）に流体を吐出する第１及び第２ベローズ（１３，１４）と、第１及び第２ベローズ（１３，１４）をそれぞれ伸縮動作させる第１及び第２エアシリンダ部（２７，２８）と、第１及び第２ベローズ（１３，１４）の伸縮状態をそれぞれ検知する第１及び第２検知手段（２９，３１）と、第１及び第２検知手段（２９，３１）の各検知信号に基づいて、一方のベローズ（１３，１４）が最収縮状態となる手前で他方のベローズ（１４，１３）を最伸長状態から収縮させるように、第１及び第２エアシリンダ部（２７，２８）を駆動制御する制御部（６）と、を備えている。

Description

ベローズポンプ装置
　本発明は、ベローズポンプ装置に関する。
　半導体製造や化学工業等において、薬液や溶剤等の流体を送給させるためのポンプとして、ベローズポンプが使用される場合がある。
　このベローズポンプは、例えば、特許文献１に記載されているように、ポンプヘッドの左右方向（水平方向）の両側にポンプケースを連結して２つの空気室を形成し、各空気室の内部にそれぞれ左右方向に伸縮可能な一対のベローズを設け、各空気室に交互に加圧エアを供給することによって各ベローズを収縮又は伸長させるように構成されている。
　ポンプヘッドには、各ベローズの内部と連通する流体の吸込通路と吐出通路とが形成され、さらに、吸込通路及び吐出通路に対する一方向への流体の流れを許容し、他方向への流体の流れを阻止するチェックバルブが設けられている。吸込通路用のチェックバルブは、ベローズの伸長により開くことによって吸込通路からベローズ内への流体の流れを許容し、ベローズの収縮により閉じることによって、当該ベローズ内から吸込通路への流体の流れを阻止するように構成されている。また、吐出通路用のチェックバルブは、ベローズの伸長により閉じることによって、吐出通路からベローズ内への流体の流れを阻止し、ベローズの収縮により開くことによって、ベローズ内から吐出通路への流体の流れを許容するように構成されている。
　一対のベローズは、タイロッドにより一体に連結されており、一方のベローズが収縮して吐出通路へ流体を吐出すると、これと同時に他方のベローズが強制的に伸長して吸込通路から流体が吸い込まれる。また、前記他方のベローズが収縮して吐出通路へ流体を吐出すると、これと同時に前記一方のベローズが強制的に伸長して吸込通路から流体が吸い込まれるようになっている。
　上記構成のベローズポンプは、流体の吐出と吸い込みとの切り換えタイミングにおいて、吐出圧力が一気にゼロ付近まで落ち込む現象（脈動）が問題となっている。従来は、この脈動を抑えるために、ベローズポンプの吐出側にアキュムレータ（蓄圧器）を取り付けたり（例えば、特許文献２参照）、一対のベローズのうちの一方をアキュムレータに替えて内蔵したベローズポンプ（例えば、特許文献３参照）を使用したりすることが行われていた。
特開２００１－２４８７４１号公報 特開平８－１５９０１６号公報 特開２００１－１２３９５９号公報
　しかし、特許文献２に記載されているアキュムレータを用いる場合、ベローズポンプとは別体のアキュムレータを設置しなければならないため、これらの設置に大きなスペースを必要としていた。また、特許文献３に記載されているアキュムレータを内蔵したベローズポンプの場合、片側のベローズだけで流体を吐出することになるため、一対のベローズを有するベローズポンプと比べて、流体の吐出量が減少するという問題があった。
　本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、設置スペースの大幅な増加や吐出量の減少を招くことなく吐出側の脈動を低減することができるベローズポンプ装置を提供することを目的とする。
　本発明のベローズポンプ装置は、流体の吸込通路及び吐出通路が形成されたポンプヘッドと、前記吸込通路及び吐出通路に対する一方向への流体の流れを許容するとともに他方向への流体の流れを阻止するチェックバルブと、前記ポンプヘッドに互いに独立して伸縮自在に取り付けられ、伸長により前記吸込通路から内部に流体を吸い込み、収縮により内部から前記吐出通路に流体を吐出する第１及び第２ベローズと、前記第１ベローズを最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第１駆動装置と、前記第２ベローズを最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第２駆動装置と、前記第１ベローズの伸縮状態を検知する第１検知手段と、前記第２ベローズの伸縮状態を検知する第２検知手段と、前記第１及び第２検知手段の各検知信号に基づいて、前記第１ベローズが最収縮状態となる手前で前記第２ベローズを最伸長状態から収縮させるとともに、前記第２ベローズが最収縮状態となる手前で前記第１ベローズを最伸長状態から収縮させるように、前記第１及び第２駆動装置を駆動制御する制御部と、を備えていることを特徴としている。
　上記のように構成されたベローズポンプ装置によれば、第１ベローズ及び第２ベローズを互いに独立して伸縮自在とし、制御部において、第１ベローズが最収縮状態となる手前で第２ベローズを最伸長状態から収縮させるとともに、第２ベローズが最収縮状態となる手前で第１ベローズを最伸長状態から収縮させるように駆動制御するようにしたので、一方のベローズの収縮（吐出）から伸長（吸い込み）への切り換えタイミングにおいて、他方のベローズは既に収縮して流体を吐出しているので、前記切り換えタイミングにおいて吐出圧力が落ち込むのを低減することができる。その結果、ベローズポンプ装置の吐出側の脈動を低減することができる。
　また、従来のベローズポンプの吐出側にアキュムレータを取り付けた場合のように、ベローズポンプ以外に他部材（アキュムレータ）を設置するスペースを確保する必要がないので、設置スペースが大幅に増加するのを抑制することができる。さらに、従来のタイロッドで一対のベローズを連結したベローズポンプと同様に、一対のベローズを用いて流体を吐出するため、流体の吐出量が減少することもない。
　前記制御部は、前記第１検知手段の検知信号に基づいて、前記第１ベローズの最収縮状態から最伸長状態までの第１伸長時間、及び最伸長状態から最収縮状態までの第１収縮時間を算出する第１算出部と、前記第２検知手段の検知信号に基づいて、前記第２ベローズの最収縮状態から最伸長状態までの第２伸長時間、及び最伸長状態から最収縮状態までの第２収縮時間を算出する第２算出部と、算出された前記第１伸長時間及び第１収縮時間に基づいて、最伸長状態の前記第１ベローズが収縮動作を開始する時点から、当該収縮動作により前記第１ベローズが最収縮状態となる手前で最伸長状態の前記第２ベローズが収縮動作を開始する時点までの第１時間差を決定する第１決定部と、算出された前記第２伸長時間及び第２収縮時間に基づいて、最伸長状態の前記第２ベローズが収縮動作を開始する時点から、当該収縮動作により前記第２ベローズが最収縮状態となる手前で最伸長状態の前記第１ベローズが収縮動作を開始する時点までの第２時間差を決定する第２決定部と、最伸長状態の前記第１ベローズが収縮動作を開始した時点から前記第１時間差が経過した時点で最伸長状態の前記第２ベローズの収縮動作を開始させるとともに、最伸長状態の前記第２ベローズが収縮動作を開始した時点から前記第２時間差が経過した時点で最伸長状態の前記第１ベローズの収縮動作を開始させるように、前記第１及び第２駆動装置を駆動制御する駆動制御部と、を有しているのが好ましい。
　この場合、駆動制御部は、上述のように制御するため、第１ベローズが最収縮状態となる手前で第２ベローズを確実に収縮させることができるとともに、第２ベローズが最収縮状態となる手前で第１ベローズを確実に収縮させることができる。
　前記第１決定部は、直前に算出された前記第１伸長時間及び第１収縮時間に基づいて、前記第１時間差を決定し、前記第２決定部は、直前に算出された前記第２伸長時間及び第２収縮時間に基づいて、前記第２時間差を決定し、前記駆動制御部は、直前に決定された前記第１及び第２時間差に基づいて前記第１及び第２駆動装置を駆動制御するのが好ましい。
　この場合、駆動制御部は、上述のように制御するため、第１ベローズの第１伸長時間及び第１収縮時間（第２ベローズの第２伸長時間及び第２収縮時間）に変動があっても、その変動に追従して、第１ベローズ（第２ベローズ）が最収縮状態となる手前で第２ベローズ（第１ベローズ）を確実に収縮させることができる。
　本発明のベローズポンプ装置によれば、設置スペースの大幅な増加や吐出量の減少を招くことなく吐出側の脈動を低減することができる。
本発明の実施形態に係るベローズポンプ装置の概略構成図である。 ベローズポンプの断面図である。 ベローズポンプの動作を示す説明図である。 ベローズポンプの動作を示す説明図である。 制御部の内部構成を示すブロック図である。 ベローズポンプの駆動制御の一例を示すタイムチャートである。 第１ベローズが最収縮状態となる手前で、最伸長状態の第２ベローズが収縮を開始した状態を示す断面図である。 第２ベローズが最収縮状態となる手前で、最伸長状態の第１ベローズが収縮を開始した状態を示す断面図である。 ベローズポンプの検証試験の結果を示す表である。
　次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
［ベローズポンプの全体構成］
　図１は、本発明の実施形態に係るベローズポンプ装置の概略構成図である。本実施形態のベローズポンプ装置は、例えば半導体製造装置において薬液や溶剤等の移送流体を一定量供給するときに用いられる。このベローズポンプ装置は、ベローズポンプ１と、当該ベローズポンプ１に加圧空気（作動流体）を供給するエアコンプレッサ等の空気供給装置２と、前記加圧空気の圧力を調整するレギュレータ３と、２個の第１及び第２切換バルブ４，５と、ベローズポンプ１の駆動を制御する制御部６とを備えている。
　図２は、本発明の実施形態に係るベローズポンプの断面図である。
　本実施形態のベローズポンプ１は、ポンプヘッド１１と、このポンプヘッド１１の左右方向（水平方向）の両側に取り付けられる一対のポンプケース１２と、各ポンプケース１２の内部において、ポンプヘッド１１の左右方向の側面に取り付けられる２個の第１及び第２ベローズ１３，１４と、各ベローズ１３，１４の内部において、ポンプヘッド１１の左右方向の側面に取り付けられる４個のチェックバルブ１５，１６と、を備えている。
［ベローズの構成］
　第１及び第２ベローズ１３，１４は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）等のフッ素樹脂により有底筒形状に形成され、その開放端部に一体形成されたフランジ部１３ａ，１４ａはポンプヘッド１１の側面に気密状に押圧固定されている。第１及び第２ベローズ１３，１４の各周壁は蛇腹形状に形成され、互いに独立して水平方向に伸縮可能に構成されている。具体的には、第１及び第２ベローズ１３，１４は、後述する作動板１９の外面がポンプケース１２の底壁部１２ａの内方側面に当接する最伸長状態と、後述するピストン体２３の内方側面がポンプケース１２の底壁部１２ａの外方側面に当接する最収縮状態との間で伸縮するようになっている。
　第１及び第２ベローズ１３，１４の底部の外面には、ボルト１７及びナット１８により作動板１９が連結部材２０の一端部とともに固定されている。
［ポンプケースの構成］
　ポンプケース１２は、有底円筒状に形成されており、その開口周縁部は、対応するベローズ１３（１４）のフランジ部１３ａ（１４ａ）に気密状に押圧固定されている。これにより、ポンプケース１２の内部には気密状態が保持された吐出側空気室２１が形成されている。
　ポンプケース１２には吸排気ポート２２がそれぞれ設けられており、吸排気ポート２２は、切換バルブ４（５）及びレギュレータ３を介して空気供給装置２に接続されている（図１参照）。これにより、空気供給装置２からレギュレータ３及び切換バルブ４（５）及び吸排気ポート２２を介して吐出側空気室２１の内部に加圧空気を供給することで、ベローズ１３（１４）が収縮するようになっている。
　また、各ポンプケース１２の底壁部１２ａには、前記連結部材２０が水平方向に摺動可能に支持されており、この連結部材２０の他端部にはピストン体２３がナット２４により固定されている。ピストン体２３は、前記底壁部１２ａの外方側面に一体に設けられた円筒状のシリンダ体２５の内周面に対して、気密状態を保持しながら水平方向へ摺動可能に支持されている。これにより、前記底壁部１２ａ、シリンダ体２５、及びピストン体２３とによって囲まれた空間は、気密状態が保持された吸込側空気室２６とされている。
　前記シリンダ体２５には吸込側空気室２６に連通する吸排気口２５ａが形成されており、この吸排気口２５ａは、前記切換バルブ４（５）及びレギュレータ３を介して空気供給装置２に接続されている（図１参照）。これにより、空気供給装置２からレギュレータ３及び切換バルブ４（５）及び吸排気口２５ａを介して吸込側空気室２６の内部に加圧空気を供給することで、ベローズ１３（１４）が伸長するようになっている。
　各ポンプケース１２の底壁部１２ａの下方には、移送流体の吐出側空気室２１への漏洩を検知するための漏洩センサ４０が取り付けられている。
　なお、本実施形態のベローズポンプ装置では、吸込側空気室２６の内部全体に加圧空気が充填されるまでの時間は、吐出側空気室２１の内部全体に加圧空気が充填されるまでの時間よりも短くなっている。つまり、ベローズ１３（１４）が最収縮状態から最伸長状態まで伸長する伸長時間（吸込時間）は、当該ベローズ１３（１４）が最伸長状態から最収縮状態まで収縮する収縮時間（吐出時間）よりも短くなっている。
　以上の構成により、図２左側の吐出側空気室２１が形成されたポンプケース１２と、図２左側の吸込側空気室２６を形成するピストン体２３及びシリンダ体２５とにより、第１ベローズ１３を最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第１エアシリンダ部（第１駆動装置）２７が構成されている。
　また、図２右側の吐出側空気室２１が形成されたポンプケース１２と、図２右側の吸込側空気室２６が形成されたピストン体２３及びシリンダ体２５とにより、第２ベローズ１４を最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第２エアシリンダ部（第２駆動装置）２８が構成されている。
　第１エアシリンダ部２７のシリンダ体２５には、一対の近接センサ２９Ａ，２９Ｂが取り付けられ、ピストン体２３には各近接センサ２９Ａ，２９Ｂにより検知される被検知板３０が取り付けられている。被検知板３０は、ピストン体２３とともに往復動することで、近接センサ２９Ａ，２９Ｂに交互に近接することにより検知される。
　近接センサ２９Ａは、第１ベローズ１３の最収縮状態を検知する第１最収縮検知部であり、第１ベローズ１３が最収縮状態のときに被検知板３０を検知する位置に配置されている。近接センサ２９Ｂは、第１ベローズ１３の最伸長状態を検知する第１最伸長検知部であり、第１ベローズ１３が最伸長状態のときに被検知板３０を検知する位置に配置されている。各近接センサ２９Ａ，２９Ｂの検知信号は制御部６に送信される。本実施形態では、上記一対の近接センサ２９Ａ，２９Ｂにより、第１ベローズ１３の伸縮状態を検知する第１検知手段２９が構成されている。
　同様に、第２エアシリンダ部２８のシリンダ体２５には、一対の近接センサ３１Ａ，３１Ｂが取り付けられ、ピストン体２３には各近接センサ３１Ａ，３１Ｂより検知される被検知板３２が取り付けられている。被検知板３２は、ピストン体２３とともに往復動することで、近接センサ３１Ａ，３１Ｂに交互に近接することにより検知される。
　近接センサ３１Ａは、第２ベローズ１４の最収縮状態を検知する第２最収縮検知部であり、第２ベローズ１４が最収縮状態のときに被検知板３２を検知する位置に配置されている。近接センサ３１Ｂは、第２ベローズ１４の最伸長状態を検知する第２最伸長検知部であり、第２ベローズ１４が最伸長状態のときに被検知板３２を検知する位置に配置されている。各近接センサ３１Ａ，３１Ｂの検知信号は制御部６に送信される。本実施形態では、一対の近接センサ３１Ａ，３１Ｂにより、第２ベローズ１４の伸縮状態を検知する第２検知手段３１が構成されている。
　空気供給装置２によって生成された加圧空気は、第１検知手段２９の一対の近接センサ２９Ａ，２９Ｂが被検知板３０を交互に検知することで、第１エアシリンダ部２７の吸込側空気室２６と吐出側空気室２１とに交互に供給される。これにより、第１ベローズ１３は連続して伸縮動作する。
　また、前記加圧空気は、第２検知手段３１の一対の近接センサ３１Ａ，３１Ｂが被検知板３２を交互に検知することで、第２エアシリンダ部２８の吸込側空気室２６と吐出側空気室２１とに交互に供給される。これにより、第２ベローズ１４は連続して伸縮動作する。その際、第２ベローズ１４の伸長動作は主に第１ベローズ１３の収縮動作時に行われ、第２ベローズ１４の収縮動作は主に第１ベローズ１３の伸長動作時に行われる。このように、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４は、交互に伸縮動作を繰り返すことで、各ベローズ１３，１４の内部への流体の吸込と吐出とが交互に行われ、当該流体が移送されるようになっている。
［ポンプヘッドの構成］
　ポンプヘッド１１は、ＰＴＦＥやＰＦＡ等のフッ素樹脂から形成されている。ポンプヘッド１１の内部には、流体の吸込通路３４と吐出通路３５とが形成されており、この吸込通路３４及び吐出通路３５は、ポンプヘッド１１の外周面において開口し、当該外周面に設けられた吸込ポート及び吐出ポート（いずれも図示省略）に接続されている。吸込ポートは流体の貯留タンク等に接続され、吐出ポートは流体の移送先に接続される。また、吸込通路３４及び吐出通路３５は、それぞれポンプヘッド１１の左右両側面に向けて分岐するとともに、ポンプヘッド１１の左右両側面において開口する吸込口３６及び吐出口３７を有している。各吸込口３６及び各吐出口３７は、それぞれチェックバルブ１５，１６を介してベローズ１３，１４の内部と連通している。
［チェックバルブの構成］
　各吸込口３６及び各吐出口３７には、チェックバルブ１５，１６が設けられている。
　吸込口３６に取り付けられたチェックバルブ１５（以下、「吸込用チェックバルブ」ともいう）は、バルブケース１５ａと、このバルブケース１５ａに収容された弁体１５ｂと、この弁体１５ｂを閉弁方向に付勢する圧縮コイルバネ１５ｃとを有している。バルブケース１５ａは有底円筒形状に形成されており、その底壁にはベローズ１３，１４の内部に連通する貫通孔１５ｄが形成されている。弁体１５ｂは、圧縮コイルバネ１５ｃの付勢力により吸込口３６を閉鎖（閉弁）し、ベローズ１３，１４の伸縮に伴う流体の流れによる背圧が作用すると吸込口３６を開放（開弁）するようになっている。
　これにより、吸込用チェックバルブ１５は、自身が配置されているベローズ１３，１４が伸長したときに開弁して、吸込通路３４からベローズ１３，１４内部に向かう方向（一方向）への流体の吸引を許容し、当該ベローズ１３，１４が収縮したときに閉弁して、ベローズ１３，１４内部から吸込通路３４に向かう方向（他方向）への流体の逆流を阻止する。
　吐出口３７に取り付けられたチェックバルブ１６（以下、「吐出用チェックバルブ」ともいう）は、バルブケース１６ａと、このバルブケース１６ａに収容された弁体１６ｂと、この弁体１６ｂを閉弁方向に付勢する圧縮コイルバネ１６ｃとを有している。バルブケース１６ａは有底円筒形状に形成されており、その底壁にはベローズ１３，１４の内部に連通する貫通孔１６ｄが形成されている。弁体１６ｂは、圧縮コイルバネ１６ｃの付勢力によりバルブケース１６ａの貫通孔１６ｄを閉鎖（閉弁）し、ベローズ１３，１４の伸縮に伴う流体の流れによる背圧が作用するとバルブケース１６ａの貫通孔１６ｄを開放（開弁）するようになっている。
　これにより、吐出用チェックバルブ１６は、自身が配置されているベローズ１３，１４が収縮したときに開弁して、ベローズ１３，１４内部から吐出通路３５に向かう方向（一方向）への流体の流出を許容し、当該ベローズ１３，１４が伸長したときに閉弁して、吐出通路３５からベローズ１３，１４内部に向かう方向（他方向）への流体の逆流を阻止する。
［ベローズポンプの動作］
　次に、本実施形態のベローズポンプ１の動作を図３及び図４を参照して説明する。なお、図３及び図４においては第１及び第２ベローズ１３，１４の構成を簡略化して示している。
　図３に示すように、第１ベローズ１３が収縮し、第２ベローズ１４が伸長した場合、ポンプヘッド１１の図中左側に装着された吸込用チェックバルブ１５及び吐出用チェックバルブ１６の各弁体１５ｂ，１６ｂは、第１ベローズ１３内の流体から圧力を受けて各バルブケース１５ａ，１６ａの図中右側にそれぞれ移動する。これにより吸込用チェックバルブ１５が閉じるともに、吐出用チェックバルブ１６が開き、第１ベローズ１３内の流体が吐出通路３５からポンプ外へ排出される。
　一方、ポンプヘッド１１の図中右側に装着された吸込用チェックバルブ１５及び吐出用チェックバルブ１６の各弁体１５ｂ，１６ｂは、第２ベローズ１４による吸引作用によって各バルブケース１５ａ，１６ａの図中右側にそれぞれ移動する。これにより吸込用チェックバルブ１５が開くとともに、吐出用チェックバルブ１６が閉じ、吸込通路３４から第２ベローズ１４内に流体が吸い込まれる。
　次に、図４に示すように、第１ベローズ１３が伸長し、第２ベローズ１４が収縮した場合、ポンプヘッド１１の図中右側に装着された吸込用チェックバルブ１５及び吐出用チェックバルブ１６の各弁体１５ｂ，１６ｂは、第２ベローズ１４内の流体から圧力を受けて各バルブケース１５ａ，１６ａの図中左側に移動する。これにより吸込用チェックバルブ１５が閉じるともに、吐出用チェックバルブ１６が開き、第２ベローズ１４内の流体が吐出通路３５からポンプ外へ排出される。
　一方、ポンプヘッド１１の図中左側に装着された吸込用チェックバルブ１５及び吐出用チェックバルブ１６の各弁体１５ｂ，１６ｂは、第１ベローズ１３による吸引作用によって各バルブケース１５ａ，１６ａの図中左側に移動する。これにより吸込用チェックバルブ１５が開くとともに、吐出用チェックバルブ１６が閉じ、吸込通路３４から第１ベローズ１３内に流体が吸い込まれる。
　以上の動作を繰り返し行うことで、左右のベローズ１３，１４は、交互に流体の吸引と排出とを行うことができる。
［切換バルブの構成］
　図１において、第１切換バルブ４は、空気供給装置２から第１エアシリンダ部２７の吐出側空気室２１及び吸込側空気室２６への加圧空気の給排を切り換えるものであり、一対のソレノイド４ａ，４ｂを有する三位置の電磁切換弁からなる。各ソレノイド４ａ，４ｂは制御部６から指令信号を受けて励磁されるようになっている。
　第１切換バルブ４は、両ソレノイド４ａ，４ｂが消磁状態のときには中立位置に保持されており、空気供給装置２から第１エアシリンダ部２７の吐出側空気室２１（吸排気ポート２２）及び吸込側空気室２６（吸排気口２５ａ）への加圧空気の供給は遮断され、第１エアシリンダ部２７の吐出側空気室２１及び吸込側空気室２６は、いずれも大気と連通して開放されている。
　また、第１切換バルブ４は、ソレノイド４ａが励磁されると、図中の下位置に切り換わり、空気供給装置２から第１エアシリンダ部２７の吐出側空気室２１に加圧空気が供給される。その際、第１エアシリンダ部２７の吸込側空気室２６は大気と連通して開放されている。これにより、第１ベローズ１３を収縮させることができる。
　さらに、第１切換バルブ４は、ソレノイド４ｂが励磁されると、図中の上位置に切り換わり、空気供給装置２から第１エアシリンダ部２７の吸込側空気室２６に加圧空気が供給される。その際、第１エアシリンダ部２７の吐出側空気室２１は大気と連通して開放されている。これにより、第１ベローズ１３を伸長させることができる。
　第２切換バルブ５は、空気供給装置２から第２エアシリンダ部２８の吐出側空気室２１及び吸込側空気室２６への加圧空気の給排を切り換えるものであり、一対のソレノイド５ａ，５ｂを有する三位置の電磁切換弁からなる。各ソレノイド５ａ，５ｂは制御部６から指令信号を受けて励磁されるようになっている。
　第２切換バルブ５は、両ソレノイド５ａ，５ｂが消磁状態のときには中立位置に保持されており、空気供給装置２から第２エアシリンダ部２８の吐出側空気室２１（吸排気ポート２２）及び吸込側空気室２６（吸排気口２５ａ）への加圧空気の供給は遮断され、第２エアシリンダ部２８の吐出側空気室２１及び吸込側空気室２６は、いずれも大気と連通して開放されている。
　また、第２切換バルブ５は、ソレノイド５ａが励磁されると、図中の下位置に切り換わり、空気供給装置２から第２エアシリンダ部２８の吐出側空気室２１に加圧空気が供給される。その際、第２エアシリンダ部２８の吸込側空気室２６は大気と連通して開放されている。これにより、第２ベローズ１４を収縮させることができる。
　さらに、第２切換バルブ５は、ソレノイド５ｂが励磁されると、図中の上位置に切り換わり、空気供給装置２から第２エアシリンダ部２８の吸込側空気室２６に加圧空気が供給される。その際、第２エアシリンダ部２８の吐出側空気室２１は大気と連通して開放されている。これにより、第２ベローズ１４を伸長させることができる。
　なお、各切換バルブ４，５の上流側には、各エアシリンダ部２７、２８の吐出側空気室２１内、または吸込側空気室２６内の加圧空気が大気に開放される際に発生する排気音を消音するためのサイレンサ７が設けられている。
［制御部の構成］
　制御部６は、第１検知手段２９及び第２検知手段３１（図２参照）の検知信号に基づいて、各切換バルブ４，５を切り換えることで、ベローズポンプ１の第１エアシリンダ部２７及び第２エアシリンダ部２８の各駆動を制御するものである。
　図５は、制御部６の内部構成を示すブロック図である。制御部６は、第１及び第２算出部６ａ，６ｂと、第１及び第２決定部６ｃ，６ｄと、駆動制御部６ｅとを有している。
　第１算出部６ａは、一対の近接センサ２９Ａ，２９Ｂの各検知信号に基づいて、第１ベローズ１３における最収縮状態から最伸長状態までの第１伸長時間、及び最伸長状態から最収縮状態までの第１収縮時間を算出するものである。具体的には、第１算出部６ａは、近接センサ２９Ａの検知終了時点から近接センサ２９Ｂの検知時点までの経過時間を第１伸長時間として算出する。また、第１算出部６ａは、近接センサ２９Ｂの検知終了時点から近接センサ２９Ａの検知時点までの経過時間を第１収縮時間として算出する。
　第２算出部６ｂは、一対の近接センサ３１Ａ，３１Ｂの各検知信号に基づいて、第２ベローズ１４における最収縮状態から最伸長状態までの第２伸長時間、及び最伸長状態から最収縮状態までの第２収縮時間を算出するものである。具体的には、第２算出部６ｂは、近接センサ３１Ａの検知終了時点から近接センサ３１Ｂの検知時点までの経過時間を第２伸長時間として算出する。また、第２算出部６ｂは、近接センサ３１Ｂの検知終了時点から近接センサ３１Ａの検知時点までの経過時間を第２収縮時間として算出する。
　第１決定部６ｃは、算出された前記第１伸長時間及び第１収縮時間に基づいて、最伸長状態の第１ベローズ１３が収縮動作を開始する時点から、当該収縮動作により第１ベローズ１３が最収縮状態となる手前で最伸長状態の第２ベローズ１４が収縮動作を開始する時点までの第１時間差を決定する。
　本実施形態の第１決定部６ｃは、例えば、以下の式を用いて第１時間差を決定する。
　第１時間差＝（第１伸長時間＋第１収縮時間）／２
　第２決定部６ｄは、算出された前記第２伸長時間及び第２収縮時間に基づいて、最伸長状態の第２ベローズ１４が収縮動作を開始する時点から、当該収縮動作により第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前で最伸長状態の第１ベローズ１３が収縮動作を開始する時点までの第２時間差を決定する。
　本実施形態の第２決定部６ｄは、例えば、以下の式を用いて第２時間差を決定する。
　第２時間差＝（第２伸長時間＋第２収縮時間）／２
　駆動制御部６ｅは、決定された前記第１及び第２時間差に基づいて、前記第１及び第２駆動装置を駆動制御する。具体的には、駆動制御部６ｅは、最伸長状態の第１ベローズ１３が収縮動作を開始した時点から前記第１時間差が経過した時点で、最伸長状態の第２ベローズ１４の収縮動作を開始させるとともに、最伸長状態の第２ベローズ１４が収縮動作を開始した時点から前記第２時間差が経過した時点で、最伸長状態の第１ベローズ１３の収縮動作を開始させるように、第１及び第２エアシリンダ部２７，２８を駆動制御する。
　図１に示すベローズポンプ装置は、電源スイッチ８と、スタートスイッチ９と、停止スイッチ１０とをさらに備えている。
　電源スイッチ８は、ベローズポンプ１への通電をオンオフ操作する操作指令を出力するものであり、その操作指令は制御部６に入力される。スタートスイッチ９は、ベローズポンプ１を駆動させる操作指令を出力するものであり、その操作指令は制御部６に入力される。停止スイッチ１０は、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４をいずれも最収縮状態としたスタンバイ状態とする操作指令を出力するものである。
［ベローズポンプの駆動制御］
　図６は、制御部６が行うベローズポンプ１の駆動制御の一例を示すタイムチャートである。電源スイッチ８がオフのとき、第１及び第２切換バルブ４、５（図１参照）は、中立位置に保持されている。したがって、電源スイッチ８がオフのとき、ベローズポンプ１の第１及び第２エアシリンダ部２７，２８の空気室２１，２６は大気に連通しているため、両空気室２１，２６内が大気圧でバランスした状態となるように、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４は、前記スタンバイ状態から少し伸長した位置で保持されている。
　ベローズポンプ１の駆動を開始させるときは、作業者によって電源スイッチ８をオン操作した後、停止スイッチ１０をオン操作し、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４をスタンバイ状態まで移動させる。具体的には、駆動制御部６ｅは、第１切換バルブ４のソレノイド４ａ及び第２切換バルブ５のソレノイド５ａを励磁させ、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４を同時に最収縮状態まで収縮させる。これにより、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４はスタンバイ状態に保持される。なお、このスタンバイ状態において、近接センサ２９Ａ．３１Ａは、それぞれ被検知板３０，３２を検知したオン状態となる。
　次に、作業者によりスタートスイッチ９がオン操作されると、駆動制御部６ｅは、最初に第１ベローズ１３の第１伸長時間及び第１収縮時間と、第２ベローズ１４の第１伸長時間及び第１収縮時間とを算出するための制御を実行する。
　具体的には、駆動制御部６ｅは、第１切換バルブ４のソレノイド４ａを消磁させるとともにソレノイド４ｂを励磁させ、第１ベローズ１３を最収縮状態（スタンバイ状態）から最伸長状態まで伸長させる。これと同時に、駆動制御部６ｅは、第２切換バルブ５のソレノイド５ａを消磁させるとともにソレノイド５ｂを励磁させ、第２ベローズ１４も最収縮状態（スタンバイ状態）から最伸長状態まで伸長させる。
　第１ベローズ１３が最収縮状態から最伸長状態まで伸長するとき、第１算出部６ａは、近接センサ２９Ａがオフになった時点（ｔ１）から、近接センサ２９Ｂがオンになる時点（ｔ２）までの時間をカウントし、第１ベローズ１３の第１伸長時間（ｔ２－ｔ１）を算出する。
　同様に、第２ベローズ１４が最収縮状態から最伸長状態まで伸長するとき、第２算出部６ｂは、近接センサ３１Ａがオフになった時点（ｔ１）から、近接センサ３１Ｂがオンになる時点（ｔ２）までの時間をカウントし、第２ベローズ１４の第２伸長時間（ｔ２－ｔ１）を算出する。
　次に、駆動制御部６ｅは、所定時間（ｔ３－ｔ２）経過後、第１切換バルブ４のソレノイド４ｂを消磁させるとともにソレノイド４ａを励磁させ、第１ベローズ１３のみを最伸長状態から最収縮状態まで収縮させる。
　その際、第１算出部６ａは、近接センサ２９Ｂがオフになった時点（ｔ３）から、近接センサ２９Ａがオンになる時点（ｔ４）までの時間をカウントし、第１ベローズ１３の第１収縮時間（ｔ４－ｔ３）を算出する。
　そして、第１決定部６ｃにおいて、算出された第１伸長時間及び第１収縮時間に基づいて第１時間差が決定される。本実施形態では、第１決定部６ｃは、以下の式を用いて第１時間差を算出する。
　第１時間差＝（第１伸長時間＋第１収縮時間）／２＝（（ｔ２－ｔ１）＋（ｔ４－ｔ３））／２
　次に、駆動制御部６ｅは、第１ベローズ１３が最収縮状態まで収縮した時点（ｔ４）と同時に、第２切換バルブ５のソレノイド５ｂを消磁させるとともにソレノイド５ａを励磁させ、第２ベローズ１４を最伸長状態から最収縮状態まで収縮させる。
　その際、第２算出部６ｂは、近接センサ３１Ｂがオフになった時点（ｔ４）から、近接センサ３１Ａがオンになる時点（ｔ６）までの時間をカウントし、第２ベローズ１４の第２収縮時間（ｔ６－ｔ４）を算出する。
　そして、第２決定部６ｄにおいて、算出された第２伸長時間及び第２収縮時間に基づいて第２時間差が決定される。本実施形態では、第２決定部６ｄは、以下の式を用いて第２時間差を算出する。
　第２時間差＝（第２伸長時間＋第２収縮時間）／２＝（（ｔ２－ｔ１）＋（ｔ６－ｔ４））／２
　なお、以降において、第１算出部６ａ及び第１決定部６ｃにより、第１ベローズ１３が１往復するたびに、上述のように第１伸長時間及び第１収縮時間が算出され、その算出された第１伸長時間及び第１収縮時間に基づいて第１時間差が決定される。
　同様に、第２算出部６ｂ及び第２決定部６ｄにより、第２ベローズ１４が１往復するたびに、上述のように第２伸長時間及び第２収縮時間が算出され、その算出された第２伸長時間及び第２収縮時間に基づいて第２時間差が決定される。
　一方、駆動制御部６ｅは、第２ベローズ１４が最収縮状態となる前に、第１ベローズ１３の駆動を開始する。具体的には、駆動制御部６ｅは、第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前の時点（ｔ５）で、第１切換バルブ４のソレノイド４ａを消磁させるとともにソレノイド４ｂを励磁させる。これにより、第１ベローズ１３は、最収縮状態から伸長動作を開始する。
　なお、第１ベローズ１３が伸長動作を開始してから所定時間（ｔ６－ｔ５）後に、第２ベローズ１４は最収縮状態となり、近接センサ３１Ｂがオフからオンに切り換わるが、駆動制御部６ｅは、第２ベローズ１４をしばらく最収縮状態のまま保持しておく。
　その後、第１ベローズ１３が最伸長状態となった時点（ｔ７）で、近接センサ２９Ｂがオフからオンに切り換わると、駆動制御部６ｅは、所定時間（ｔ８－ｔ７）経過後、第１切換バルブ４のソレノイド４ｂを消磁させるとともにソレノイド４ａを励磁させる。これにより、第１ベローズ１３は、最伸長状態から収縮動作を開始する。
　また、駆動制御部６ｅは、ソレノイド４ａを励磁させた時点（ｔ８）から、上記で決定された第１時間差のカウントを開始する。
　そして、第１ベローズ１３が収縮動作を開始してから所定時間（ｔ９－ｔ８）が経過すると、駆動制御部６ｅは、第２切換バルブ５のソレノイド５ａを消磁させるとともにソレノイド５ｂを励磁させる。これにより、第１ベローズ１３が収縮動作をしている間に、第２ベローズ１４は最収縮状態から最伸長状態まで伸長する。
　その際、第２ベローズ１４が最伸長状態となった時点（ｔ１０）で、近接センサ３１Ｂはオフからオンに切り換わるが、駆動制御部６ｅは、第２ベローズ１４を最伸長状態のまま保持しておく。
　次に、駆動制御部６ｅは、第１時間差（ｔ１１－ｔ８）が経過すると、第２切換バルブ５のソレノイド５ｂを消磁させるとともにソレノイド５ａを励磁させる。これにより、第１ベローズ１３が最収縮状態となる手前で、第２ベローズ１４は最伸長状態から収縮動作を開始する（図７参照）。
　また、駆動制御部６ｅは、ソレノイド５ａを励磁させた時点（ｔ１１）から、上記で決定された第２時間差のカウントを開始する。
　第２ベローズ１４が収縮動作を開始した後は、第１ベローズ１３が最収縮状態となった時点（ｔ１２）で、近接センサ２９Ａがオフからオンに切り換わると、駆動制御部６ｅは、第１切換バルブ４のソレノイド４ａを消磁させるとともにソレノイド４ｂを励磁させる。これにより、第２ベローズ１４が収縮動作をしている間に、第１ベローズ１３は最収縮状態から最伸長状態まで伸長する。
　その際、第１ベローズ１３が最伸長状態となった時点（ｔ１３）で、近接センサ２９Ｂはオフからオンに切り換わるが、駆動制御部６ｅは、第１ベローズ１３を最伸長状態のまま保持しておく。
　次に、駆動制御部６ｅは、第２時間差（ｔ１４－ｔ１１）が経過すると、第１切換バルブ４のソレノイド４ｂを消磁させるとともにソレノイド４ａを励磁させる。これにより、第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前で、第１ベローズ１３は最伸長状態から収縮動作を開始する（図８参照）。
　また、駆動制御部６ｅは、ソレノイド４ａを励磁させた時点（ｔ１４）から、直前に決定された第１時間差のカウントを開始する。この直前に決定された第１時間差は、第１ベローズ１３の直前の１往復動作によって算出された第１伸長時間（ｔ７－ｔ５）及び第１収縮時間（ｔ１２－ｔ８）に基づいて決定されたものである。
　第１ベローズ１３が収縮動作を開始した後は、第２ベローズ１４が最収縮状態となった時点（ｔ１５）で、近接センサ３１Ａがオフからオンに切り換わると、駆動制御部６ｅは、第２切換バルブ５のソレノイド５ａを消磁させるとともにソレノイド５ｂを励磁させる。これにより、第１ベローズ１３が収縮動作をしている間に、第２ベローズ１４は最収縮状態から最伸長状態まで伸長する。
　その際、第２ベローズ１４が最伸長状態となった時点（ｔ１６）で、近接センサ３１Ｂはオフからオンに切り換わるが、駆動制御部６ｅは、第２ベローズ１４を最伸長状態のまま保持しておく。
　次に、駆動制御部６ｅは、上記直前に決定された第１時間差（ｔ１７－ｔ１４）が経過すると、第２切換バルブ５のソレノイド５ｂを消磁させるとともにソレノイド５ａを励磁させる。これにより、第１ベローズ１３が最収縮状態となる手前で、第２ベローズ１４は最伸長状態から収縮動作を開始する。
　また、駆動制御部６ｅは、ソレノイド５ａを励磁させた時点（ｔ１７）から、直前に決定された第２時間差のカウントを開始する。この直前に決定された第２時間差は、第２ベローズ１４の直前の１往復動作によって算出された第２伸長時間（ｔ１０－ｔ９）及び第２収縮時間（ｔ１５－ｔ１１）に基づいて決定されたものである。
　第２ベローズ１４が収縮動作を開始した後は、第１ベローズ１３が最収縮状態となった時点（ｔ１８）で、近接センサ２９Ａがオフからオンに切り換わると、駆動制御部６ｅは、第１切換バルブ４のソレノイド４ａを消磁させるとともにソレノイド４ｂを励磁させる。これにより、第２ベローズ１４が収縮動作をしている間に、第１ベローズ１３は最収縮状態から最伸長状態まで伸長する。
　その際、第１ベローズ１３が最伸長状態となった時点（ｔ１９）で、近接センサ２９Ｂはオフからオンに切り換わるが、駆動制御部６ｅは、第１ベローズ１３を最伸長状態のまま保持しておく。
　次に、駆動制御部６ｅは、上記直前に決定された第２時間差（ｔ２０－ｔ１７）が経過すると、第１切換バルブ４のソレノイド４ｂを消磁させるとともにソレノイド４ａを励磁させる。これにより、第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前で、第１ベローズ１３は最伸長状態から収縮動作を開始する。
　これ以降、駆動制御部６ｅは、上述のように、直前に決定された第１及び第２時間差に基づいて、第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前で第１ベローズ１３を最伸長状態から収縮させるとともに、第１ベローズ１３が最収縮状態となる手前で第２ベローズ１４を最伸長状態から収縮させるようにベローズポンプ１を駆動制御する。
　したがって、流体の吐出負荷などによって第１及び第２収縮時間（吐出時間）や第１及び第２伸長時間（吸込時間）に変動があっても、その変動に追従して最適なタイミングでベローズポンプ１を駆動制御することができる。その結果、図６の最下部に示すように、ベローズポンプ１の吐出圧は、駆動制御部６ｅが第１及び第２時間差に基づいてベローズポンプ１を駆動制御している間は、急激に低下することなく一定の圧力範囲で推移するため、ポンプ１の脈動を抑えることができる。
　なお、本実施形態では、直前に決定された第１及び第２時間差を用いているが、上記吐出時間や吸込時間の変動が無い場合には、運転開始直後において最初に決定された第１及び第２時間差を用いてベローズポンプ１を駆動制御しても良い。この場合、第１及び第２ベローズ１３，１４の伸長動作と収縮動作の切り換えは、近接センサ２９Ａ，２９Ｂ，３１Ａ，３１Ｂを用いずに、タイマ等を用いて所定時間毎に切り換えるようにしても良い。
　ベローズポンプ１の駆動を停止させるときは、まず、作業者によって停止スイッチ１０をオン操作する。この操作信号を受けた駆動制御部６ｅは、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４をスタンバイ状態へ移動させる。その際、駆動制御部６ｅは、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４のいずれか一方が伸長動作を行っている場合は、その伸長動作を停止させて、すぐに収縮動作を開始させる。そして、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４がスタンバイ状態となると、作業者によって電源スイッチ８をオフ操作する。
　図９は、ベローズポンプの検証試験の結果を示す表である。この検証試験は、本発明品と、最大吐出量が４０リットルの従来の３種類のベローズポンプとについて行った。従来の３種類のベローズポンプとしては、一対のベローズをタイロッドにより一体に連結したタイロッド連結タイプと、ベローズポンプの吐出側にアキュムレータが取り付けられたアキュムレータ外付けタイプと、アキュムレータが内蔵されたアキュムレータ内蔵タイプのものを使用した。また、試験条件としては、加圧空気の圧力を０．４ＭＰａ、吐出圧力を０．３３ＭＰａとして比較した。なお、表のカッコ内の数値は、本発明品の数値に対する割合を示している。
　図９に示すように、本発明品の流量は、従来の３種類のタイプの流量よりも増加しており、従来のベローズポンプに対して流体の吐出量が減少していないことが分かる。
　また、本発明品の脈圧幅（最大吐出圧と最小吐出圧との差）は、従来のアキュムレータ内蔵タイプの脈圧幅よりも大きいが、従来のタイロッド連結タイプやアキュムレータ内蔵タイプの各脈圧幅に比べると減少しており、ポンプの脈動を低減できているのが分かる。
　また、本発明品のフットプリント（平面視における占有面積）は、従来のタイロッド連結タイプやアキュムレータ内蔵タイプのフットプリントに比べて若干増大しているが、従来のアキュムレータ外付けタイプのフットプリントに比べて縮小しており、本発明品の設置スペースが大幅に増加するのを抑制できているのが分かる。
　以上、本実施形態のベローズポンプ装置によれば、第１ベローズ１３及び第２ベローズ１４を互いに独立して伸縮自在とし、制御部６において、第１ベローズ１３が最収縮状態となる手前で第２ベローズ１４を最伸長状態から収縮させるとともに、第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前で第１ベローズ１３を最伸長状態から収縮させるように駆動制御するようにしたので、以下の作用効果を奏する。すなわち、一方のベローズの収縮（吐出）から伸長（吸い込み）への切り換えタイミングにおいて、他方のベローズは既に収縮して流体を吐出しているので、前記切り換えタイミングにおいて吐出圧力が落ち込むのを低減することができる。その結果、ベローズポンプ１の吐出側の脈動を低減することができる。
　また、本実施形態のベローズポンプ装置は、従来のベローズポンプの吐出側にアキュムレータを取り付けた場合のように、ベローズポンプ以外に他部材（アキュムレータ）を設置するスペースを確保する必要がないので、設置スペースが大幅に増加するのを抑制することができる。さらに、本実施形態のベローズポンプ装置は、従来のタイロッドで一対のベローズが連結されたベローズポンプと同様に、一対のベローズ１３，１４を用いて流体を吐出するため、流体の吐出量が減少することもない。
　また、制御部６は、第１ベローズ１３の第１伸長時間と第１収縮時間に基づいて決定された第１時間差を用いて、第１ベローズ１３が最収縮状態となる手前で最伸長状態の第２ベローズ１４を収縮させるとともに、第２ベローズ１４の第２伸長時間と第２収縮時間に基づいて決定された第２時間差を用いて、第２ベローズ１４が最収縮状態となる手前で最伸長状態の第１ベローズ１３を収縮させるように駆動制御することができる。これにより、第１ベローズが最収縮状態となる手前で第２ベローズを確実に収縮させることができるとともに、第２ベローズが最収縮状態となる手前で第１ベローズを確実に収縮させることができる。
　また、制御部６は、ベローズポンプ１の運転開始直後に、第１及び第２ベローズ１３，１４の伸長時間及び収縮時間を予め算出してから駆動制御するため、運転開始前にこれらの伸長時間及び収縮時間が不明な場合であっても、第１ベローズ１３（第２ベローズ１４）が最収縮状態となる手前で第２ベローズ１４（第１ベローズ１３）を確実に収縮させることができる。
　また、制御部６は、直前に決定された第１及び第２時間差に基づいて駆動制御するため、第１ベローズ１３の第１伸長時間及び第１収縮時間（第２ベローズ１４の第２伸長時間及び第２収縮時間）に変動があっても、その変動に追従して、第１ベローズ１３（第２ベローズ１４）が最収縮状態となる手前で第２ベローズ１４（第１ベローズ１３）を確実に収縮させることができる。
　本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内において適宜変更できるものである。例えば、上記実施形態における第１及び第２検知手段２９，３１は、近接センサによって構成されているが、リミットスイッチ等の他の検知手段により構成されていても良い。また、第１及び第２検知手段２９，３１は、第１及び第２ベローズ１３，１４の最伸長状態と最伸縮状態とを検知しているが、他の伸縮状態を検知するようにしても良い。さらに、本実施形態における第１及び第２駆動装置２７，２８は、加圧空気によって駆動させているが、他の流体やモータ等により駆動するようにしても良い。
６　制御部
６ａ　第１算出部
６ｂ　第２算出部
６ｃ　第１決定部
６ｄ　第２決定部
６ｅ　駆動制御部
１１　ポンプヘッド
１３　第１ベローズ
１４　第２ベローズ
１５，１６　チェックバルブ
２７　第１エアシリンダ部（第１駆動装置）
２８　第２エアシリンダ部（第２駆動装置）
２９　第１検知手段
３１　第２検知手段
３４　吸込通路
３５　吐出通路

Claims (3)

  1. 　流体の吸込通路及び吐出通路が形成されたポンプヘッドと、
    　前記吸込通路及び吐出通路に対する一方向への流体の流れを許容するとともに他方向への流体の流れを阻止するチェックバルブと、
    　前記ポンプヘッドに互いに独立して伸縮自在に取り付けられ、伸長により前記吸込通路から内部に流体を吸い込み、収縮により内部から前記吐出通路に流体を吐出する第１及び第２ベローズと、
    　前記第１ベローズを最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第１駆動装置と、
    　前記第２ベローズを最伸長状態と最収縮状態との間で連続して伸縮動作させる第２駆動装置と、
    　前記第１ベローズの伸縮状態を検知する第１検知手段と、
    　前記第２ベローズの伸縮状態を検知する第２検知手段と、
    　前記第１及び第２検知手段の各検知信号に基づいて、前記第１ベローズが最収縮状態となる手前で前記第２ベローズを最伸長状態から収縮させるとともに、前記第２ベローズが最収縮状態となる手前で前記第１ベローズを最伸長状態から収縮させるように、前記第１及び第２駆動装置を駆動制御する制御部と、
    　を備えていることを特徴とするベローズポンプ装置。
  2. 　前記制御部は、
    　　前記第１検知手段の検知信号に基づいて、前記第１ベローズの最収縮状態から最伸長状態までの第１伸長時間、及び最伸長状態から最収縮状態までの第１収縮時間を算出する第１算出部と、
    　　前記第２検知手段の検知信号に基づいて、前記第２ベローズの最収縮状態から最伸長状態までの第２伸長時間、及び最伸長状態から最収縮状態までの第２収縮時間を算出する第２算出部と、
    　　算出された前記第１伸長時間及び第１収縮時間に基づいて、最伸長状態の前記第１ベローズが収縮動作を開始する時点から、当該収縮動作により前記第１ベローズが最収縮状態となる手前で最伸長状態の前記第２ベローズが収縮動作を開始する時点までの第１時間差を決定する第１決定部と、
    　　算出された前記第２伸長時間及び第２収縮時間に基づいて、最伸長状態の前記第２ベローズが収縮動作を開始する時点から、当該収縮動作により前記第２ベローズが最収縮状態となる手前で最伸長状態の前記第１ベローズが収縮動作を開始する時点までの第２時間差を決定する第２決定部と、
    　　最伸長状態の前記第１ベローズが収縮動作を開始した時点から前記第１時間差が経過した時点で最伸長状態の前記第２ベローズの収縮動作を開始させるとともに、最伸長状態の前記第２ベローズが収縮動作を開始した時点から前記第２時間差が経過した時点で最伸長状態の前記第１ベローズの収縮動作を開始させるように、前記第１及び第２駆動装置を駆動制御する駆動制御部と、
    　を有している請求項１に記載のベローズポンプ装置。
  3. 　前記第１決定部は、直前に算出された前記第１伸長時間及び第１収縮時間に基づいて、前記第１時間差を決定し、
    　前記第２決定部は、直前に算出された前記第２伸長時間及び第２収縮時間に基づいて、前記第２時間差を決定し、
    　前記駆動制御部は、直前に決定された前記第１及び第２時間差に基づいて前記第１及び第２駆動装置を駆動制御する請求項２に記載のベローズポンプ装置。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014217897A1 (de) * 2014-09-08 2016-03-10 Pressure Wave Systems Gmbh Kompressorvorrichtung, eine damit ausgerüstete Kühlvorrichtung und ein Verfahren zum Betreiben der Kompressorvorrichtung und der Kühlvorrichtung
JP7042639B2 (ja) * 2018-02-07 2022-03-28 株式会社コガネイ 液体供給装置
WO2020070779A1 (ja) * 2018-10-01 2020-04-09 株式会社エアロネクスト 伸縮棒
JP7272913B2 (ja) * 2019-09-09 2023-05-12 日本ピラー工業株式会社 ベローズポンプ装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5224841A (en) * 1992-04-24 1993-07-06 Semitool, Inc. Pneumatic bellows pump with supported bellows tube
JP2000002187A (ja) * 1998-06-15 2000-01-07 Dainippon Screen Mfg Co Ltd ポンプ制御機構およびそれを用いた基板処理装置ならびにポンプ制御方法
WO2010143469A1 (ja) * 2009-06-10 2010-12-16 株式会社イワキ 二連往復動ポンプ

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4543044A (en) * 1983-11-09 1985-09-24 E. I. Du Pont De Nemours And Company Constant-flow-rate dual-unit pump
JPH03179184A (ja) * 1989-12-05 1991-08-05 Nippon Pillar Packing Co Ltd 往復動ポンプ
JPH08121342A (ja) 1994-10-26 1996-05-14 Nippon Pillar Packing Co Ltd 定量供給ポンプ
JP2808415B2 (ja) 1994-12-12 1998-10-08 日本ピラー工業株式会社 ポンプの脈動幅抑制装置
JP2000310182A (ja) * 1999-04-27 2000-11-07 Komatsu Ltd アキシャルピストンポンプ又はモータとその駆動回路
JP3205909B2 (ja) 1999-10-25 2001-09-04 日本ピラー工業株式会社 脈動低減装置付きポンプ
JP3375930B2 (ja) 2000-03-06 2003-02-10 日本ピラー工業株式会社 チェックバルブ
JP2004293502A (ja) * 2003-03-28 2004-10-21 Yamagiwa Kanagata:Kk ベローズポンプ。
SI2124556T1 (sl) * 2006-10-09 2015-01-30 Charleston Laboratories, Inc. Farmacevtske sestave
JP4884169B2 (ja) * 2006-11-07 2012-02-29 東京エレクトロン株式会社 処理システム
DE102010044697A1 (de) * 2010-09-08 2012-03-08 Robert Bosch Gmbh Hydraulische Anordnung und Verfahren zur Ansteuerung von ventilgesteuerten Verdrängereinheiten
JP5720888B2 (ja) 2011-03-30 2015-05-20 株式会社イワキ ベローズポンプ
CN103388577A (zh) 2012-05-09 2013-11-13 日本皮拉工业株式会社 液体用容积型泵

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5224841A (en) * 1992-04-24 1993-07-06 Semitool, Inc. Pneumatic bellows pump with supported bellows tube
JP2000002187A (ja) * 1998-06-15 2000-01-07 Dainippon Screen Mfg Co Ltd ポンプ制御機構およびそれを用いた基板処理装置ならびにポンプ制御方法
WO2010143469A1 (ja) * 2009-06-10 2010-12-16 株式会社イワキ 二連往復動ポンプ

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3179104A4 *

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