RU2006141599A - Многоцилиндровый насос с гидроприводом - Google Patents

Многоцилиндровый насос с гидроприводом Download PDF

Info

Publication number
RU2006141599A
RU2006141599A RU2006141599/06A RU2006141599A RU2006141599A RU 2006141599 A RU2006141599 A RU 2006141599A RU 2006141599/06 A RU2006141599/06 A RU 2006141599/06A RU 2006141599 A RU2006141599 A RU 2006141599A RU 2006141599 A RU2006141599 A RU 2006141599A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cylinder
cylinders
hydraulic
hydraulic fluid
movable
Prior art date
Application number
RU2006141599/06A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2344317C2 (ru
Inventor
Ян ЭЙСИМОНТТ (CH)
Ян ЭЙСИМОНТТ
Original Assignee
Гарниман С.А. (Uy)
Гарниман С.А.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Гарниман С.А. (Uy), Гарниман С.А. filed Critical Гарниман С.А. (Uy)
Publication of RU2006141599A publication Critical patent/RU2006141599A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2344317C2 publication Critical patent/RU2344317C2/ru

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/08Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having tubular flexible members
    • F04B43/10Pumps having fluid drive
    • F04B43/113Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/08Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having tubular flexible members
    • F04B43/10Pumps having fluid drive
    • F04B43/113Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve
    • F04B43/1136Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve with two or more pumping chambers in parallel

Abstract

1. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос, предназначенный, в частности, для перекачки тяжелых жидких сред; насос, включающий несколько цилиндров (10.1-10.12), каждый из которых имеет первую сторону (20) с первым входом и выходом (21) для перекачиваемой жидкости и вторую сторону (30) со вторым входом и выходом (31, 32) для гидроприводной жидкости; входы и выходы связанные с соответствующими клапанами (23, 24; 33, 34); подвижный сепаратор (40), расположенный внутри и движущийся поступательно вдоль оси цилиндра (10), имеющий первую сторону (40а), обращенную к первой стороне (20) цилиндра, и вторую сторону (40b), обращенную ко второй стороне (30) цилиндра, где:подвижный сепаратор (40) связан со внутренней частью (12) первой стороны (20) цилиндра посредством первой гибкой мембраны (45), имеющей форму сильфона, распрямляющейся и сжимающейся внутри цилиндра (10) вдоль его оси при поступательном движении подвижного сепаратора (40); первая сторона (40а) подвижного сепаратора, ограничивающая первую камеру (47), находящуюся внутри распрямляющейся и сжимающейся гибкой мембраны (45), и содержащую переменный объем перекачиваемой жидкости, связанный с первым входом и выходом (21);подвижный сепаратор (40) связан со внутренней частью (14) второй стороны (30) цилиндра посредством второй гибкой мембраны (46), имеющей форму сильфона, сжимающейся и распрямляющейся внутри цилиндра (10) вдоль его оси в противофазе с распрямлением и сжатием первой гибкой мембраны (45); вторая сторона (40b) подвижного сепаратора, ограничивающая вторую камеру (48), находящуюся внутри расширяющейся и сжимающейся гибкой мембраны (46), и содержащую переменный объем гидроприводной жидкости, связанный со в�

Claims (20)

1. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос, предназначенный, в частности, для перекачки тяжелых жидких сред; насос, включающий несколько цилиндров (10.1-10.12), каждый из которых имеет первую сторону (20) с первым входом и выходом (21) для перекачиваемой жидкости и вторую сторону (30) со вторым входом и выходом (31, 32) для гидроприводной жидкости; входы и выходы связанные с соответствующими клапанами (23, 24; 33, 34); подвижный сепаратор (40), расположенный внутри и движущийся поступательно вдоль оси цилиндра (10), имеющий первую сторону (40а), обращенную к первой стороне (20) цилиндра, и вторую сторону (40b), обращенную ко второй стороне (30) цилиндра, где:
подвижный сепаратор (40) связан со внутренней частью (12) первой стороны (20) цилиндра посредством первой гибкой мембраны (45), имеющей форму сильфона, распрямляющейся и сжимающейся внутри цилиндра (10) вдоль его оси при поступательном движении подвижного сепаратора (40); первая сторона (40а) подвижного сепаратора, ограничивающая первую камеру (47), находящуюся внутри распрямляющейся и сжимающейся гибкой мембраны (45), и содержащую переменный объем перекачиваемой жидкости, связанный с первым входом и выходом (21);
подвижный сепаратор (40) связан со внутренней частью (14) второй стороны (30) цилиндра посредством второй гибкой мембраны (46), имеющей форму сильфона, сжимающейся и распрямляющейся внутри цилиндра (10) вдоль его оси в противофазе с распрямлением и сжатием первой гибкой мембраны (45); вторая сторона (40b) подвижного сепаратора, ограничивающая вторую камеру (48), находящуюся внутри расширяющейся и сжимающейся гибкой мембраны (46), и содержащую переменный объем гидроприводной жидкости, связанный со вторым входом и выходом; а также:
кольцевая камера (49), заключенная между наружной поверхностью первой и второй мембран (45, 46) и внутренней стенкой цилиндра (10), которая в рабочем состоянии заполнена жидкостью, аналогичной гидроприводной жидкости по характеристикам.
2. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.1, включающий датчик для обнаружения посторонних примесей в гидравлической жидкости, содержащейся в камере (49).
3. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.1, где первый вход (21) связан с внешней аппаратурой, подающей перекачиваемую жидкость под требуемым регулируемым давлением, достаточным для приведения сепараторов (40) в движение хода всасывания вдоль оси цилиндров (10) от первой стороны (20) в направлении второй стороны (30).
4. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.3, где вышеупомянутая аппаратура используется для подачи перекачиваемой жидкости под давлением, создаваемым пневматическим способом.
5. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.1, имеющий приспособления (42, 43, 44) для ограничения длины хода при движении сепаратора (40) туда и обратно внутри каждого цилиндра (10).
6. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.5, где приспособление для ограничения длины хода подвижного сепаратора включает, по меньшей мере, один из остановов (42, 43), смонтированный и выступающий из первой и/или второй стороны (40а, 40b) подвижного сепаратора (40), и способный упираться во внутреннюю часть первой (20) или второй (30) стороны цилиндра (10).
7. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.1, обладающий приспособлениями (51, 53) для мониторинга положения подвижного сепаратора (40) внутри каждого цилиндра (10), и для управления открытием и закрытием вторых клапанов входа и выхода (33, 34) с тем, чтобы движение сепараторов (40) происходило на управляемой длине рабочего хода.
8. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.7, где упомянутые приспособления для мониторинга положения включают стержень (51), соединенный для поступательного движения с подвижным сепаратором (40), и проходящий через отверстие (52) во второй стороне (30) цилиндра, а также приспособления (53) для мониторинга положения стержня (51).
9. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.6, включающий приспособления для измерения подачи гидроприводной жидкости, покидающей цилиндры (10) через упомянутый выше выход (32).
10. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.9, где указанные приспособления (21, 53) для мониторинга положения и указанные измерительные приспособления связаны с дисплеем для отображения положений и направлений движения подвижных сепараторов (40) в цилиндрах (10).
11. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.1, где изменяющиеся объемы гидроприводной жидкости во вторых камерах (48) цилиндров (10.1-10.12) связаны через вторые входы и выходы (32, 33) с гидравлическим контуром (60) снаружи цилиндров, и где этот насос содержит заданный объем гидроприводной жидкости, равный сумме объемов гидроприводной жидкости во внешнем гидравлическом контуре и ее объемов в указанных вторых камерах (48) цилиндров; объем гидроприводной жидкости в отдельных цилиндрах (10), изменяющийся в процессе движения подвижных сепараторов (40) туда и обратно, в то время как сумма объемов гидроприводной жидкости в указанных вторых камерах (48) цилиндров (10.1-10.12) остается, в целом, постоянной и, в целом, равной 1/2 суммарному вытеснительному объему цилиндров (10.1-10.12), определяемому как объем гидроприводной жидкости, перемещаемой в каждом цилиндре (10) при полном ходе каждого подвижного сепаратора (40) туда и обратно, умноженный на количество цилиндров.
12. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.11, оснащенный приспособлением (65) для регулирования объема гидроприводной жидкости в гидравлическом контуре (60) чтобы скомпенсировать температурное расширение гидроприводной жидкости, и предназначенным для поддержания объема гидроприводной жидкости в цилиндрах (10.1-10.12), в целом, постоянным и всегда равным 1/2 суммарного вытеснительного объема всех цилиндров.
13. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.12, включающий компенсационное устройство (65), состоящее из цилиндра (66) для гидроприводной жидкости переменного объема, задаваемого подвижным звеном (67), передающим пневматически создаваемое давление гидроприводной жидкости.
14. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по п.1, устроенный таким образом, что при его работе подвижные сепараторы (40) движутся в ходе всасывания в направлении от первой стороны (20) ко второй стороне (30) цилиндра с постоянной, но регулируемой скоростью для всех цилиндров, и в направлении от второй стороны (30) к первой стороне (20) цилиндра с переменной скоростью, зависящей от объема гидроприводной жидкости, подаваемой в цилиндры - в ходе нагнетания.
15. Гидроприводной многоцилиндровый мембранный насос по любому из предыдущих пунктов, устроенный таким образом, что, по меньшей мере, один подвижный сепаратор (40) выполняет ход всасывания с относительно высокой скоростью, в то время как большее число подвижных сепараторов (40) выполняют ход нагнетания с относительно низкой скоростью.
16. Цилиндр гидроприводного многоцилиндрового насоса, охарактеризованного в любом из пп.1-15, имеющий первую сторону (20) с первым входом и выходом (21) для перекачиваемой жидкости, и вторую сторону (30) со вторым входом и выходом (31, 32) для гидроприводной жидкости; входы и выходы, связанные с соответствующими клапанами (23, 24, 25; 32, 33); подвижный сепаратор (40), расположенный внутри цилиндра (10) и поступательно движущийся вдоль его оси туда и обратно, имеющий первую сторону (40а), обращенную к первой стороне (20) цилиндра, и вторую сторону (40b), обращенную ко второй стороне (30) цилиндра, где
подвижный сепаратор (40) связан с внутренней частью (12) первой стороны (20) цилиндра посредством первой гибкой мембраны (45), имеющей форму сильфона, распрямляющейся и сжимающейся внутри цилиндра (10) вдоль его оси при движении подвижного сепаратора (40) туда и обратно внутри цилиндра; первая сторона (40а) подвижного сепаратора, ограничивающая первую камеру (47), находящуюся внутри распрямляющейся и сжимающейся гибкой мембраны (45), содержащей переменный объем перекачиваемой жидкости, связанный с первым входом и выходом (21);
подвижный сепаратор (40) связан со внутренней частью (14) второй стороны (30) цилиндра посредством второй гибкой мембраны (46), имеющей форму сильфона, сжимающейся и распрямляющейся внутри цилиндра (10) вдоль его оси в противофазе с распрямлением и сжатием первой гибкой мембраны (45); вторая сторона (40b) подвижного сепаратора (40), ограничивающая вторую камеру (48), находящуюся внутри расширяющейся и сжимающейся гибкой мембраны (46), содержащей переменный объем гидроприводной жидкости, связанный со вторым входом и выходом (32, 33); а также
кольцевая камера (49), заключенная между наружной поверхностью первой и второй мембран (45, 46) и внутренней стенкой цилиндра (10), которая в рабочем состоянии содержит жидкость, аналогичную гидроприводной жидкости по характеристикам.
17. Способ работы гидроприводного многоцилиндрового насоса, охарактеризованного в любом из пп.1-15, где первый вход и выход (21) связывают первые камеры (47) с перекачиваемой жидкостью под давлением, а вторые входы и выходы (31, 32) соединяют вторые камеры (48) с гидроприводной жидкостью,
способ, включающий:
приведение в движение подвижных сепараторов (40) нескольких цилиндров в направлении от первой стороны (20) ко второй стороне (30) вдоль оси цилиндра (10) при ходе всасывания чтобы заполнить первые камеры (47) перекачиваемой жидкостью и одновременно выдавить гидроприводную жидкость из соответствующих вторых камер (48),
сопутствующее этому приведение в движение подвижных сепараторов (40) остальных цилиндров в направлении от второй стороны (30) к первой стороне (20) вдоль оси цилиндра (10) при ходе нагнетания посредством заполнения вторых камер (48) гидроприводной жидкостью под давлением чтобы выдавить перекачиваемую жидкость из соответствующих первых камер (47),
а также, поддержание суммы объемов гидроприводной жидкости в указанных вторых камерах (48) цилиндров, в целом, постоянной и равной 1/2 суммарного вытеснительного объема цилиндров, определяемого как суммарный объем гидроприводной жидкости, перемещаемой в каждом цилиндре (10) в течение полного хода каждого подвижного сепаратора (40) туда и обратно внутри цилиндра, умноженный на количество цилиндров.
18. Способ по п.17, при котором все подвижные сепараторы (40) во время хода всасывания движутся с постоянной скоростью во всех цилиндрах (10.1-10.12), и с переменной скоростью, зависящей от объема гидроприводной жидкости, подаваемой в цилиндры - во время хода нагнетания.
19. Способ по п.17, при котором, по меньшей мере, один подвижный сепаратор (40) выполняет ход всасывания с относительно высокой скоростью, в то время как большее количество подвижных сепараторов (40) выполняют ход нагнетания с относительно низкой скоростью.
20. Способ по п.17, включающий запуск гидроприводного многоцилиндрового насоса согласно следующей процедуре:
заполнение цилиндров (10) различными объемами гидроприводной жидкости таким образом, чтобы цилиндры (10.1-10.12) содержали суммарный объем гидроприводной жидкости равный 1/2 суммарного вытеснительного объема цилиндровз (10.1-10.12);
приведение подвижных сепараторов (40) в поступательное движение с сохранением того же суммарного объема гидроприводной жидкости в цилиндрах (10.1-10.12).
RU2006141599/06A 2004-06-02 2005-06-02 Многоцилиндровый насос с гидроприводом RU2344317C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP04405335A EP1602830A1 (en) 2004-06-02 2004-06-02 Hydraulically driven multicylinder pumping machine
EP04405335.3 2004-06-02

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006141599A true RU2006141599A (ru) 2008-07-20
RU2344317C2 RU2344317C2 (ru) 2009-01-20

Family

ID=34932127

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006141599/06A RU2344317C2 (ru) 2004-06-02 2005-06-02 Многоцилиндровый насос с гидроприводом

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8096785B2 (ru)
EP (1) EP1602830A1 (ru)
CN (1) CN1973130B (ru)
CA (1) CA2568951C (ru)
RU (1) RU2344317C2 (ru)
WO (1) WO2005119063A1 (ru)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005039772A1 (de) * 2005-08-22 2007-03-08 Prominent Dosiertechnik Gmbh Magnetdosierpumpe
EP1947331A1 (en) * 2007-01-19 2008-07-23 Garniman SA Hydraulically Driven Machine Improvement
GB0707220D0 (en) * 2007-04-14 2007-05-23 Stratabolt Pty Ltd Improved pump
US8047815B2 (en) * 2007-07-13 2011-11-01 Integrated Designs L.P. Precision pump with multiple heads
US8317493B2 (en) * 2007-07-13 2012-11-27 Integrated Designs L.P. Precision pump having multiple heads and using an actuation fluid to pump one or more different process fluids
AU2008353297B2 (en) * 2008-03-20 2014-01-23 Garniman S.A. Hydraulically driven machine improvement
RU2451832C1 (ru) * 2008-03-20 2012-05-27 Гарниман С.А. Диафрагменный насос с гидравлическим приводом
WO2010017567A1 (en) * 2008-08-03 2010-02-11 Richard Roy Wood Pumping system
KR100998602B1 (ko) * 2008-08-29 2010-12-07 씨앤지하이테크 주식회사 약액 이송장치
CN101690506B (zh) * 2009-10-12 2012-01-11 韩学珍 多面道多机头静压麻花机
CN102064090B (zh) * 2010-10-15 2013-01-09 北京通美晶体技术有限公司 化合物半导体晶片清洗方法
CN104465314A (zh) * 2013-09-23 2015-03-25 弘塑科技股份有限公司 芯片堆叠结构的干燥方法及其系统
EP3052805B1 (en) 2013-10-02 2019-05-01 Saudi Arabian Oil Company Peristaltic submersible pump
DE102013112753A1 (de) * 2013-11-19 2015-05-21 Johnson Controls Advanced Power Solutions Gmbh Akkumulatoranordnung und Verfahren zu deren Herstellung
EP2913525A1 (en) 2014-02-26 2015-09-02 Garniman SA Hydraulically driven bellows pump
WO2015143459A2 (en) * 2014-03-20 2015-09-24 Erls Mining (Pty) Ltd Energy recovery
KR101885017B1 (ko) * 2014-07-10 2018-08-02 이글 고오교 가부시키가이샤 액체 공급 시스템
IT201600130566A1 (it) * 2016-12-23 2018-06-23 Eni Spa Apparecchiatura e metodo per la rimozione di idrocarburi da un corpo d'acqua
NO344401B1 (en) * 2017-07-04 2019-11-25 Rsm Imagineering As Method, system and use, of controlling working range of a pump bellows
RU2685353C1 (ru) * 2018-10-02 2019-04-18 Общество с ограниченной ответственностью "ТОРЕГ" Насосная установка
US11149723B2 (en) * 2019-12-31 2021-10-19 Psg California Llc Diaphragm pump leak detection
CN116538072B (zh) * 2023-07-06 2023-10-13 深圳华星恒泰泵阀有限公司 一种微型隔膜水泵的mcu调速智能控制系统

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1580479A (en) * 1924-12-27 1926-04-13 Frankenfield Budd Diaphragm pump
US2464095A (en) * 1945-02-07 1949-03-08 William L Nies Pump
US2468489A (en) * 1945-12-04 1949-04-26 Bendix Aviat Corp Hydraulic apparatus
US2613610A (en) * 1949-02-04 1952-10-14 Milton Roy Co Differential bellows pump
US2613607A (en) * 1949-10-27 1952-10-14 Milton Roy Co Bellows pump
US2951450A (en) * 1956-04-17 1960-09-06 John C Fisher Fluid pump
FR1315900A (fr) * 1961-12-14 1963-01-25 Perfectionnements au pompage de fluides
FR1328970A (fr) * 1962-04-21 1963-06-07 Commissariat Energie Atomique Pompe doseuse
US3099222A (en) * 1962-05-10 1963-07-30 Bendix Corp Pump
US3192860A (en) * 1963-10-28 1965-07-06 Universal Oil Prod Co Double-acting bellows pump
DE1653445A1 (de) * 1967-06-14 1971-07-22 Erich Goldbecker Doppeltwirkende Pumpe
JPS608485A (ja) * 1983-06-28 1985-01-17 Konan Denki Kk 容積ポンプ
US4488592A (en) * 1983-08-24 1984-12-18 Sperry Corporation Oscillating coolant pump
DE3408331C2 (de) * 1984-03-07 1986-06-12 Fresenius AG, 6380 Bad Homburg Pumpanordnung für medizinische Zwecke
US4902206A (en) * 1988-09-30 1990-02-20 Haluna Kabushiki Kaisha Bellows pump
US5141412A (en) * 1988-10-06 1992-08-25 Meinz Hans W Double acting bellows-type pump
SE462782B (sv) * 1989-01-16 1990-09-03 Guenther Georg Nabholz Implanterbar blodpump
US5195878A (en) * 1991-05-20 1993-03-23 Hytec Flow Systems Air-operated high-temperature corrosive liquid pump
US5308230A (en) * 1993-03-08 1994-05-03 Stainless Steel Products, Inc. Bellows pump
WO1994025755A1 (en) * 1993-05-05 1994-11-10 Fdp Engineering (Ireland) Ltd. Hydraulic fluid-driven, multicylinder, modular, reciprocating piston pump
US5375430A (en) * 1993-10-05 1994-12-27 Siegel; Israel Gravity powered shoe air conditioner
CA2191445A1 (en) * 1994-03-03 1995-09-08 John M. Simmons Pneumatically shifted reciprocating pump
FR2772436B1 (fr) * 1997-12-16 2000-01-21 Centre Nat Etd Spatiales Pompe a deplacement positif
TW390389U (en) * 1998-08-18 2000-05-11 United Microelectronics Corp The photo-resist feeding pump in photo-resist spreading machine
US6905314B2 (en) * 2001-10-16 2005-06-14 Baxter International Inc. Pump having flexible liner and compounding apparatus having such a pump
JP3574641B2 (ja) * 2002-04-19 2004-10-06 株式会社イワキ ポンプシステム
JP3989334B2 (ja) * 2002-08-23 2007-10-10 株式会社イワキ 2連往復動ベローズポンプ

Also Published As

Publication number Publication date
RU2344317C2 (ru) 2009-01-20
CA2568951A1 (en) 2005-12-15
WO2005119063B1 (en) 2006-02-16
US8096785B2 (en) 2012-01-17
EP1602830A1 (en) 2005-12-07
CN1973130B (zh) 2010-05-05
CA2568951C (en) 2013-07-30
CN1973130A (zh) 2007-05-30
US20080226466A1 (en) 2008-09-18
WO2005119063A1 (en) 2005-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2006141599A (ru) Многоцилиндровый насос с гидроприводом
JP2008133800A5 (ru)
KR101305982B1 (ko) 유압 액추에이터 및 유압 진동 시험 장치
US2752854A (en) Hydraulically actuated diaphragm pump
US20150260178A1 (en) Piston membrane pump
CA2730696C (en) Hydraulic fluid control system for a diaphragm pump
US9752566B2 (en) Air mass control for diaphragm pumps
JP5779324B2 (ja) 薬液供給システム
US20170350382A1 (en) Bellows pump apparatus
US8388321B2 (en) Positive displacement pump apparatus
KR100363748B1 (ko) 펌프의 맥동 감쇠장치
WO2016021351A1 (ja) ベローズポンプ装置
DE502005009362D1 (de) Schwingungserzeuger mit einem zwischen Druckkammern verschiebbar gelagerten Arbeitskolben
JP4855056B2 (ja) 液体供給システム
JP5989881B2 (ja) 薬液供給システム
KR200373914Y1 (ko) 저맥동 왕복동 펌프
RU2653719C1 (ru) Поршневой насос высокого давления
KR100955331B1 (ko) 유체작동 펌프 및 이 펌프를 구비하는 펌핑시스템
KR100539024B1 (ko) 저맥동 왕복동 펌프
GB718933A (en) An improved construction of reciprocating pump
JP2015113786A (ja) ベローズポンプ