JP2019150741A - 液体供給装置、基板処理装置および液体供給方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体中の気泡を好適に検知できる液体供給装置、基板処理装置および液体供給方法を提供する。【解決手段】処理液供給装置１１は、ポンプ室２１とピストン２７と圧力センサ２９と弁１７−１９と記憶部３３と制御部３１を備える。制御部３１は、圧力センサ２９によって検出された検出結果を取得する。制御部３１は、ピストン２７と弁１７−１９を制御することによって加圧動作を実行させる。加圧動作は、弁１７−１９がポンプ室２１を閉塞している状態においてピストン２７がポンプ室２１を押圧することより、ポンプ室２１の圧力を高くする動作である。制御部３１は、さらに、加圧動作の実行中に検出された圧力センサ２９の検出結果と記憶部３３に記憶される基準情報とに基づいて、ポンプ室２１が気泡を含むか否かを判定する判定処理を実行する。【選択図】図１

Description

本発明は、液体供給装置、基板処理装置および液体供給方法に関する。

特許文献１は、塗布装置を開示する。塗布装置は、ポンプと配管とノズルと圧力センサを備える。配管は、ポンプとノズルに接続される。塗布工程では、ポンプが配管を通じてノズルに塗布液を供給し、ノズルが塗布液を基板に吐出する。塗布工程を行っているとき、圧力センサは、配管を流れる塗布液の圧力を検出する。圧力センサによって検出された検出結果に基づいて、塗布液中の気泡を検知する。気泡が検知されない場合、次の塗布工程を行う。気泡が検知された場合、次の塗布工程を行わない。

特開２００８−１７８８１７号公報

しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。従来例は、塗布工程の実行中に気泡を検知する。より具体的には、ポンプから配管に出された塗布液中の気泡を検知する。気泡を検知したときには既に、気泡を含む塗布液が基板に供給されている。その結果、基板に対する処理の品質が低下するおそれがある。

さらに、従来例は、配管を流れている塗布液の圧力を検出する。配管を流れている塗布液の圧力は、気泡以外の要因で変動するおそれがある。例えば、配管が可撓性を有する場合、配管を流れている塗布液の圧力は、配管の撓み量によって容易に変動する。このように、配管を流れている塗布液の圧力は、外乱の影響を受けやすい。このため、気泡を検知する精度が低下するおそれがある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、液体中の気泡を好適に検知できる液体供給装置、基板処理装置および液体供給方法を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明は、液体供給装置において、液体を収容するポンプ室と、前記ポンプ室に対して移動可能に設けられ、前記ポンプ室を押圧する可動部材と、前記ポンプ室の圧力を検出する圧力センサと、前記ポンプ室を閉塞可能な弁と、基準情報を記憶する記憶部と、前記圧力センサによって検出された検出結果を取得する制御部と、を備え、前記制御部は、前記可動部材と前記弁を制御することによって加圧動作を実行させ、前記加圧動作は、前記弁が前記ポンプ室を閉塞している状態において前記可動部材が前記ポンプ室を押圧することより、前記ポンプ室の圧力を高くする動作であり、前記制御部は、さらに、前記加圧動作の実行中に検出された前記検出結果と前記記憶部に記憶される前記基準情報とに基づいて、前記ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する判定処理を実行する液体供給装置である。

液体供給装置は、可動部材と弁を備えている。このため、ポンプ室を好適に加圧できる。
判定処理はポンプ室が気泡を含むか否かを判定する。このため、判定処理は、液体中の気泡を適切に検知できる。
判定処理は、加圧動作の実行中に検出された検出結果に基づいて実行される。すなわち、判定処理は、加圧動作の実行中に検出された検出結果を基礎とする。加圧動作の実行中におけるポンプ室の圧力は、気泡の影響を受けやすい。このため、判定処理は、液体中の気泡を精度良く検知できる。判定処理は、検出結果のみならず、基準情報に基づいて実行される。このため、判定処理は、ポンプ室が気泡を含むか否かを的確に判定できる。よって、液体中の気泡を一層好適に検知できる。

上述の液体供給装置において、前記制御部は、前記加圧動作の実行中における前記ポンプ室の圧力の瞬時値、および、前記加圧動作の実行中における前記ポンプ室の圧力の波形の少なくともいずれかに基づいて、前記判定処理を実行することが好ましい。言い換えれば、上述の液体供給装置において、前記判定処理の基礎とする前記検出結果は、圧力の瞬時値、および、圧力の波形の少なくともいずれかを含むことが好ましい。検出結果が圧力の瞬時値である場合、ポンプ室が気泡を含むか否かを効率良く判定できる。すなわち、判定処理を簡素化できる。検出結果が圧力の波形である場合、ポンプ室が気泡を含むか否かを精度良く判定できる。

上述の液体供給装置において、前記判定処理は、さらに、前記加圧動作の実行中に検出された前記検出結果と前記基準情報に基づいて、前記ポンプ室に含まれる気泡の大きさを判定することが好ましい。加圧動作の実行中におけるポンプ室の圧力は、気泡の大きさの影響を受けやすい。このため、判定処理は、液体中の気泡の大きさを精度良く検知できる。

上述の液体供給装置において、前記ポンプ室に連通する吐出流路を備え、前記制御部は、前記可動部材と前記弁を制御することによって、前記ポンプ室から前記吐出流路に液体を出す吐出動作を実行させ、前記制御部は、１回の前記吐出動作を実行するごとに、前記加圧動作および前記判定処理を実行することが好ましい。これによれば、気泡がポンプ室から吐出流路に出ることを、未然に防止できる。

上述の液体供給装置において、前記制御部は、前記吐出動作の終了と同時に前記加圧動作を開始させ、前記吐出動作と前記加圧動作にわたって前記可動部材による前記ポンプ室への押圧を継続させることが好ましい。これによれば、吐出動作および加圧動作の全体に要する時間を好適に短縮できる。さらに、吐出動作の終了時においても、ポンプ室はまだ加圧されている。このため、吐出動作の終了時において、弁は吐出流路における液体の流れを適切に止めることができる。

上述の液体供給装置において、前記判定処理において前記ポンプ室が気泡を含まないと判定されたとき、前記制御部は、前記加圧動作の終了と同時に前記吐出動作を開始させ、前記加圧動作と前記吐出動作にわたって前記可動部材による前記ポンプ室への押圧を継続させることが好ましい。これによれば、加圧動作および吐出動作の全体に要する時間を好適に短縮できる。さらに、吐出動作の開始時において、ポンプ室は既に加圧されている。このため、吐出動作の開始時において、ポンプ室から吐出流路に液体を円滑に出すことができる。

上述の液体供給装置において、前記ポンプ室に連通する排出流路を備え、前記制御部は、前記可動部材と前記弁を制御することによって前記ポンプ室から前記排出流路に気泡を出す排出動作を実行させ、前記判定処理において前記ポンプ室が気泡を含まないと判定されたとき、前記制御部は前記吐出動作を実行させ、前記判定処理において前記ポンプ室が気泡を含むと判定されたとき、前記制御部は前記排出動作を実行させることが好ましい。ポンプ室から吐出流路に気泡を出すことなく、ポンプ室から気泡を排出できる。

上述の液体供給装置において、前記判定処理において前記ポンプ室が気泡を含むと判定されたとき、前記制御部は前記排出動作を２回以上、繰り返し実行させることが好ましい。これによれば、ポンプ室から気泡をより確実に排出できる。

上述の液体供給装置において、前記制御部は、さらに、前記加圧動作の実行中に検出された前記検出結果と前記基準情報に基づいて、前記排出動作を実行する回数を決定する決定処理を実行し、前記制御部は、前記決定処理において決定された回数だけ、前記排出動作を繰り返し実行させることが好ましい。これによれば、ポンプ室から気泡を、確実、かつ、効率良く排出できる。

本発明は、基板に処理を行う基板処理装置において、基板を保持する保持部と、請求項１から８のいずれかに記載の前記液体供給装置と、前記ポンプ室に連通され、前記保持部に保持される基板に液体を供給するノズルと、を備えた基板処理装置である。

基板処理装置は、上述した液体供給装置を備える。このため、液体中の気泡を好適に検知できる。よって、基板に対する処理の品質を好適に保つことができる。

本発明は、液体を供給する液体供給装置において、液体を収容する第１ポンプ室と、前記第１ポンプ室に対して移動可能に設けられ、前記第１ポンプ室を押圧する第１可動部材と、液体を収容する第２ポンプ室と、前記第２ポンプ室に対して移動可能に設けられ、前記第２ポンプ室を押圧する第２可動部材と、前記第２ポンプ室の圧力を検出する圧力センサと、液体を濾過するフィルタと、前記第１ポンプ室に接続され、前記第１ポンプ室に液体を入れる第１吸入流路と、前記第１ポンプ室と前記フィルタに接続され、前記第１ポンプ室から前記フィルタに液体を送る第１吐出流路と、前記フィルタと前記第２ポンプ室に接続され、前記フィルタから前記第２ポンプ室に液体を送る第２吸入流路と、前記第２ポンプ室に接続され、前記第２ポンプ室から液体を出す第２吐出流路と、前記第１ポンプ室と前記第２ポンプ室に接続され、前記第２ポンプ室から前記第１ポンプ室に液体を戻す戻り流路と、前記フィルタに接続され、前記フィルタから気体を排出する排出流路と、前記第１吸入流路、前記第１吐出流路、前記第２吸入流路、前記第２吐出流路、前記戻り流路および前記排出流路を開閉する複数の弁と、基準情報を記憶する記憶部と、前記圧力センサによって検出された検出結果を取得する制御部と、を備え、前記制御部は、前記第２可動部材と前記弁を制御することによって加圧動作を実行させ、前記加圧動作は、前記弁が前記第２ポンプ室を閉塞している状態において前記第２可動部材が前記第２ポンプ室を押圧することにより、前記第２ポンプ室の圧力を高くする動作であり、前記制御部は、さらに、前記加圧動作の実行中に検出された前記検出結果と前記記憶部に記憶される前記基準情報とに基づいて、前記第２ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する判定処理を実行する液体供給装置である。

液体供給装置は、第２可動部材と弁を備えている。このため、第２ポンプ室を好適に加圧できる。判定処理は第２ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する。このため、判定処理は、液体中の気泡を適切に検知できる。判定処理は、加圧動作の実行中に検出された検出結果に基づいて実行される。加圧動作の実行中における第２ポンプ室の圧力は、気泡の影響を受けやすい。このため、判定処理は、液体中の気泡を精度良く検知できる。判定処理は、検出結果のみならず、基準情報に基づいて実行される。このため、判定処理は、第２ポンプ室が気泡を含むか否かを的確に判定できる。よって、液体中の気泡を一層好適に検知できる。

上述の液体供給装置において、前記制御部は、前記第１可動部材と前記第２可動部材と前記弁を制御することによって第１吸入動作と第２吸入動作と吐出動作を実行させ、前記第１吸入動作は、前記第１吸入流路から前記第１ポンプ室に液体を入れる動作であり、前記第２吸入動作は、前記第１吐出流路、前記フィルタおよび前記第２吸入流路を通じて、前記第１ポンプ室から前記第２ポンプ室に液体を入れる動作であり、前記吐出動作は、前記第２ポンプ室から前記第２吐出流路に液体を出す動作であり、前記制御部は、前記第２吸入動作と前記吐出動作と前記第１吸入動作を、この順に実行させ、前記制御部は、前記第２吸入動作の後で前記吐出動作の前の第１期間、および、前記吐出動作の後で前記第１吸入動作の前の第２期間の少なくともいずかに、前記加圧動作と前記判定処理を実行することが好ましい。１回の吐出動作を実行するごとに、判定処理は第２ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する。このため、気泡が第２ポンプ室から第２吐出流路に出ることを、未然に防止できる。

上述の液体供給装置において、前記制御部は、前記第１可動部材と前記第２可動部材と前記弁を制御することによって第１吸入動作と第２吸入動作と戻し動作と吐出動作を実行させ、前記第１吸入動作は、前記第１吸入流路から前記第１ポンプ室に液体を入れる動作であり、前記第２吸入動作は、前記第１吐出流路、前記フィルタおよび前記第２吸入流路を通じて、前記第１ポンプ室から前記第２ポンプ室に液体を入れる動作であり、前記戻し動作は、前記戻り流路を通じて前記第２ポンプ室から前記第１ポンプ室に液体を戻す動作であり、前記吐出動作は、前記第２ポンプ室から前記第２吐出流路に液体を出す動作であり、前記制御部は、前記第２吸入動作と前記戻し動作と前記吐出動作と前記第１吸入動作を、この順に実行させ、前記制御部は、前記戻し動作の後で前記吐出動作の前の第１期間、および、前記吐出動作の後で前記第１吸入動作の前の第２期間の少なくともいずかに、前記加圧動作と前記判定処理を実行することが好ましい。１回の吐出動作を実行するごとに、判定処理は第２ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する。このため、気泡が第２ポンプ室から第２吐出流路に出ることを、未然に防止できる。

上述の液体供給装置において、前記制御部は、前記第１可動部材と前記第２可動部材と前記弁を制御することによって排出動作を実行させ、前記排出動作は、前記戻り流路を通じて前記第２ポンプ室から前記第１ポンプ室に気泡を戻し、前記第１吐出流路を通じて前記第１ポンプ室から前記フィルタに気泡を送り、かつ、前記フィルタから前記排出流路に気泡を排出する動作であり、前記判定処理において前記第２ポンプ室が気泡を含むと判定されたとき、前記制御部は前記排出動作を実行させることが好ましい。第２ポンプ室から吐出流路に気泡を出すことなく、第２ポンプ室から気泡を排出できる。

本発明は、液体を供給する液体供給装置において、液体を収容する第１ポンプ室と、前記第１ポンプ室に対して移動可能に設けられ、前記第１ポンプ室を押圧する第１可動部材と、前記第１ポンプ室の圧力を検出する第１圧力センサと、液体を収容する第２ポンプ室と、前記第２ポンプ室に対して移動可能に設けられ、前記第２ポンプ室を押圧する第２可動部材と、液体を濾過するフィルタと、前記第１ポンプ室に接続され、前記第１ポンプ室に液体を入れる第１吸入流路と、前記第１ポンプ室と前記フィルタに接続され、前記第１ポンプ室から前記フィルタに液体を送る第１吐出流路と、前記フィルタと前記第２ポンプ室に接続され、前記フィルタから前記第２ポンプ室に液体を送る第２吸入流路と、前記第２ポンプ室に接続され、前記第２ポンプ室から液体を出す第２吐出流路と、前記第１ポンプ室と前記第２ポンプ室に接続され、前記第２ポンプ室から前記第１ポンプ室に液体を戻す戻り流路と、前記フィルタに接続され、前記フィルタから気体を排出する排出流路と、前記第１吸入流路、前記第１吐出流路、前記第２吸入流路、前記第２吐出流路、前記戻り流路、前記排出流路を開閉する複数の弁と、基準情報を記憶する記憶部と、前記第１圧力センサによって検出された第１検出結果を取得する制御部と、を備え、前記制御部は、前記第１可動部材と前記弁を制御することによって第１加圧動作を実行させ、前記第１加圧動作は、前記弁が前記第１ポンプ室を閉塞している状態において前記第１可動部材が前記第１ポンプ室を押圧することより、前記第１ポンプ室の圧力を高くする動作であり、前記制御部は、さらに、前記第１加圧動作の実行中に検出された前記第１検出結果と前記記憶部に記憶される前記基準情報とに基づいて、前記第１ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する第１判定処理を実行する液体供給装置である。

液体供給装置は、第１可動部材と弁を備えている。このため、第１ポンプ室を好適に加圧できる。第１判定処理は第１ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する。このため、第１判定処理は、液体中の気泡を適切に検知できる。第１判定処理は、第１加圧動作の実行中に検出された第１検出結果に基づいて実行される。第１加圧動作の実行中における第１ポンプ室の圧力は、気泡の影響を受けやすい。このため、第１判定処理は、液体中の気泡を精度良く検知できる。第１判定処理は、第１検出結果のみならず、基準情報に基づいて実行される。このため、第１判定処理は、第１ポンプ室が気泡を含むか否かを的確に判定できる。よって、液体中の気泡を一層好適に検知できる。

上述の液体供給装置において、前記制御部は、前記第１可動部材と前記弁を制御することによって第１排出動作を実行させ、前記第１排出動作は、前記第１吐出流路を通じて前記第１ポンプ室から前記フィルタに気泡を送り、かつ、前記フィルタから前記排出流路に気泡を排出する動作であり、前記第１判定処理において前記第１ポンプ室が気泡を含むと判定されたとき、前記制御部は前記第１排出動作を実行させることが好ましい。第１ポンプ室から第２ポンプ室に気泡を送ることなく、第１ポンプ室から気泡を排出できる。

上述の液体供給装置において、前記第２ポンプ室の圧力を検出する第２圧力センサを備え、前記制御部は、前記第２圧力センサによって検出された第２検出結果を取得し、前記制御部は、前記第２可動部材と前記弁を制御することによって第２加圧動作を実行させ、前記第２加圧動作は、前記弁が前記第２ポンプ室を閉塞している状態において前記第２可動部材が第２ポンプ室を押圧することにより、前記第２ポンプ室の圧力を変更する動作であり、前記制御部は、さらに、前記第２加圧動作の実行中に検出された前記第２検出結果と前記記憶部に記憶される前記基準情報とに基づいて、前記第２ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する第２判定処理を実行することが好ましい。液体供給装置は、第２可動部材と弁を備えている。このため、第２ポンプ室を好適に加圧できる。第２判定処理は第２ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する。このため、第２判定処理は、液体中の気泡を適切に検知できる。第２判定処理は、第２加圧動作の実行中に検出された第２検出結果に基づいて実行される。第２加圧動作の実行中における第２ポンプ室の圧力は、気泡の影響を受けやすい。このため、第２判定処理は、液体中の気泡を精度良く検知できる。第２判定処理は、第２検出結果のみならず、基準情報に基づいて実行される。このため、第２判定処理は、第２ポンプ室が気泡を含むか否かを的確に判定できる。このため、液体中の気泡を一層好適に検知できる。

上述の液体供給装置において、制御部は、前記第１可動部材と前記第２可動部材と前記弁を制御することによって第２排出動作を実行させ、前記第２排出動作は、前記戻り流路を通じて前記第２ポンプ室から前記第１ポンプ室に気泡を戻し、前記第１吐出流路を通じて前記第１ポンプ室から前記フィルタに気泡を送り、かつ、前記フィルタから前記排出流路に気泡を排出する動作であり、前記第２判定処理において前記第２ポンプ室が気泡を含むと判定されたとき、前記制御部は前記第２排出動作を実行させることが好ましい。第２ポンプ室から吐出流路に気泡を出すことなく、第２ポンプ室から気泡を排出できる。

本発明は、液体供給方法において、液体を収容するポンプ室が閉塞されている状態において前記ポンプ室を押圧することにより、前記ポンプ室の圧力を高くする加圧工程と、前記加圧工程の実行中に前記ポンプ室の圧力を検出する圧力検出工程と、前記圧力検出工程によって検出された検出結果に基づいて、前記ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する判定工程と、を備える液体供給方法である。

判定工程は、ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する。このため、判定工程は、液体中の気泡を適切に検知できる。判定工程は、加圧工程の実行中に検出された検出結果に基づいて実行される。加圧工程の実行中におけるポンプ室の圧力は、気泡の影響を受けやすい。このため、判定工程は、液体中の気泡を精度良く検知できる。

上述の液体供給方法において、前記判定工程において前記ポンプ室が気泡を含まないと判定されたとき、前記ポンプ室の液体を吐出流路に出す吐出工程と、前記判定工程において前記ポンプ室が気泡を含むと判定されたとき、前記ポンプ室の気泡を排出流路に出す排出工程と、を備えることが好ましい。ポンプ室から吐出流路に気泡を出すことなく、ポンプ室から気泡を排出できる。

本発明によれば、液体中の気泡を好適に検知できる。

実施形態１に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。 処理液供給装置の動作の手順を示すフローチャートである。 図３（ａ）は吸入動作を模式的に示す図であり、図３（ｂ）は吐出動作を模式的に示す図であり、図３（ｃ）は加圧動作を模式的に示す図であり、図３（ｄ）は排出動作を模式的に示す図である。 ポンプ室の圧力と時間の関係を模式的に示す図である。 実施形態２に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。 実施形態２に係る処理液供給装置の動作の手順を示すフローチャートである 第１吸入動作を模式的に示す図である。 第２吸入動作を模式的に示すである。 パージ動作を模式的に示す図である。 加圧動作を模式的に示す図である。 吐出動作を模式的に示す図である。 排出動作を模式的に示す図である。 第２ポンプ室の圧力と時間の関係を模式的に示す図である。 変形実施形態に係る処理液供給装置の動作の手順を示すフローチャートである。 図１５（ａ）は第１加圧動作を模式的に示す図であり、図１５（ｂ）は第１排出動作を模式的に示す図である。

＜実施形態１＞
以下、図面を参照して本発明の実施形態１を説明する。
図１は、実施形態１に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。実施形態１に係る基板処理装置１は、基板（例えば、半導体ウエハ）Ｗに処理を行う装置である。処理は、例えば、基板Ｗに処理液を供給する液処理である。

基板Ｗは、例えば、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ用基板、有機ＥＬ(Electroluminescence)用基板、ＦＰＤ(Flat Panel Display)用基板、光ディスプレイ用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、太陽電池用基板である。

１．基板処理装置１の概要
基板処理装置１は、保持部３と回転モータ５を備える。保持部３は基板Ｗを保持する。具体的には、保持部３は基板Ｗを略水平姿勢で保持する。保持部３は、例えば、基板Ｗの裏面（下面）を吸着保持する。回転モータ５は、保持部３の底部中央に連結する。回転モータ５は、保持部３を略鉛直軸回りに回転させる。これにより、保持部３に保持された基板Ｗは、略鉛直軸回りに回転する。

基板処理装置１は、ノズル７とカップ９を備える。ノズル７は保持部３に保持される基板Ｗに処理液を供給する。ノズル７は、保持部３の上方にあたる吐出位置に移動可能に設けられる。ノズル７が吐出位置にあるとき、ノズル７は保持部３に保持される基板Ｗの上面に処理液を吐出する。カップ９は、保持部３の側方を囲むように配置される。カップ９は、基板Ｗから飛散した処理液を受けとめて回収する。

基板処理装置１は処理液供給源１０と処理液供給装置１１を備える。処理液供給源１０は、例えば、処理液を貯留するタンクである。処理液は、例えば、レジスト膜材料や各種の塗膜材料、薬液、シンナー、純水である。処理液供給装置１１は処理液を供給する。具体的には、処理液供給装置１１は、処理液供給源１０からノズル７に処理液を供給する。

処理液供給装置１１は、本発明における液体供給装置の例である。処理液は、本発明における液体の例である。

２．処理液供給装置１１の構成
処理液供給装置１１は、ポンプ装置１３を備える。ポンプ装置１３は、処理液供給源１０から処理液を吸入し、吸入した処理液をノズル７に吐き出す。

処理液供給装置１１は、吸入管１４と吐出管１５と排出管１６を備える。吸入管１４は、処理液供給源１０とポンプ装置１３に接続される。具体的には、吸入管１４は、処理液供給源１０に接続される第１端と、ポンプ装置１３に接続される第２端を有する。吐出管１５は、ポンプ装置１３とノズル７に接続される。具体的には、吐出管１５は、ポンプ装置１３に接続される第１端と、ノズル７に接続される第２端を有する。排出管１６は、ポンプ装置１３に接続される。具体的には、排出管１６は、ポンプ装置１３に接続される第１端を有する。排出管１６は、例えば、不図示の処理液回収部に接続される。

処理液供給装置１１は弁１７、１８、１９を備える。弁１７は吸入管１４上に設けられる。弁１７は、吸入管１４内における流路を開閉する。弁１８は吐出管１５上に設けられる。弁１８は、吐出管１５内における流路を開閉する。弁１９は、排出管１６上に設けられる。弁１９は、排出管１６内における流路を開閉する。弁１７−１９は、互いに独立して作動可能である。

吸入管１４内における流路は、本発明における吸入流路の例である。吐出管１５内における流路は、本発明における吐出流路の例である。排出管１６内における流路は、本発明における排出流路の例である。

ポンプ装置１３は、処理液を収容するポンプ室２１を備える。ポンプ室２１は空間である。

ポンプ装置１３は、筐体２２とダイヤフラム２６を備える。筐体２２とダイヤフラム２６は、ポンプ室２１を区画する。筐体２２は、例えば、円筒形状を呈する。筐体２２は、筐体２２の内部に内部空間を有する。筐体２２の内部空間は、ポンプ室２１に相当する。筐体２２は、開放されている一端部を有する。一端部は、例えば、筐体２２の底部である。ダイヤフラム２６は、筐体２２の一端部に取り付けられる。ダイヤフラム２６は、筐体２２の一端部を覆う。ダイヤフラム２６は、可撓性を有する。ダイヤフラム２６は、例えば、ローリングダイヤフラムである。ダイヤフラム２６の材質は、例えば合成樹脂である。このように、ポンプ室２１は、筐体２２とダイヤフラム２６によって区画される。

筐体２２は、開口２３、２４、２５を有する。開口２３−２５はそれぞれ、ポンプ室２１に連通する。開口２３は、吸入管１４の第２端に接続される。開口２４は、吐出管１５の第１端に接続される。開口２５は、排出管１６の第１端に接続される。これにより、ポンプ室２１は吸入管１４と吐出管１５と排出管１６に連通される。ポンプ室２１は処理液供給源１０に連通される。ポンプ室２１はノズル７に連通される。

弁１７−１９は、ポンプ室２１を閉塞可能である。具体的には、弁１７−１９がそれぞれ吸入管１４と吐出管１５と排出管１６を閉じているとき、ポンプ室２１は閉塞される。

ポンプ装置１３はピストン２７とモータ２８を備える。ピストン２７とモータ２８は、ポンプ室２１の外部に設けられる。モータ２８は、ピストン２７をポンプ室２１に対して移動させる。このように、ピストン２７は、ポンプ室２１に対して移動可能に設けられる。

具体的には、ピストン２７は、ダイヤフラム２６に取り付けられる第１端を有する。ピストン２７は、モータ２８に連結される第２端を有する。より詳しくは、ピストン２７とモータ２８は、モータ２８の回転運動をピストン２７の直線運動に変換する不図示の機構を介して連結される。モータ２８は、例えばステッピングモータである。モータ２８が正転及び逆転すると、ピストン２７はモータ２８に対して往復直線移動する。図１は、ピストン２７が移動する方向Ｄ１、Ｄ２を例示する。ピストン２７が方向Ｄ１に移動するとき、ピストン２７はポンプ室２１に近づく。ピストン２７が方向Ｄ２に移動するとき、ピストン２７はポンプ室２１から遠ざかる。

ピストン２７がポンプ室２１に対して移動するとき、ピストン２７はダイヤフラム２６を変形させ、ピストン２７はポンプ室２１の容積を変える。ピストン２７が方向Ｄ１に移動するとき、ポンプ室２１の容積は減少する。ピストンが方向Ｄ２に移動するとき、ポンプ室２１の容積は増加する。なお、ピストン２７がポンプ室２１に対して移動するとき、筐体２２は変形しない。

さらに、ピストン２７は、ポンプ室２１を押圧する。具体的には、ピストン２７は、方向Ｄ１の力をポンプ室２１に作用させる。

ピストン２７は、本発明における可動部材の例である。ダイヤフラム２６は、本発明における可動隔壁部材の例である。

ポンプ装置１３は、ポンプ室２１の圧力を検出する圧力センサ２９を備える。圧力センサ２９は、例えば、筐体２２に取り付けられている。

処理液供給装置１１は、制御部３１を備える。制御部３１は、弁１７−１９とモータ２８と圧力センサ２９に、通信可能に接続される。制御部３１は弁１７−１９とモータ２８を制御する。ここで、制御部３１がモータ２８を制御することは、制御部３１がピストン２７を制御することと同義である。制御部３１は圧力センサ２９によって検出された検出結果を取得する。

処理液供給装置１１は、記憶部３３を備える。記憶部３３は基準情報を記憶する。基準情報は、ポンプ室２１の圧力に関する情報である。基準情報は、基板処理装置１および処理液供給装置１１の動作前に予め設定されている。記憶部３３は、制御部３１に、通信可能に接続される。制御部３１は、記憶部３３に記憶される基準情報を参照する。

制御部３１は、例えば、各種処理を実行するプロセッサ（例えば、中央演算処理装置（ＣＰＵ））、演算処理の作業領域となるＲＡＭ（Random-Access Memory）と、各種情報を記憶する半導体メモリを備える。記憶部３３は、半導体メモリおよびハードディスクの少なくともいずれかを備える。

３．動作
実施形態１に係る基板処理装置１および処理液供給装置１１の動作例を説明する。図２は、処理液供給装置１１の動作の手順を示すフローチャートである。処理液供給装置１１の動作は、吸入動作（ステップＳ１）と吐出動作（ステップＳ２）と加圧動作（ステップＳ３）と判定処理（ステップＳ４）と副吸入動作（ステップＳ５）と排出動作（ステップＳ６）を含む。制御部３１は、吸入動作と吐出動作を、この順に実行させる。この一連の動作は、繰り返される。制御部３１は、吐出動作の後で吸入動作の前の期間に、加圧動作と判定処理を実行する。判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定されたときに限り、制御部３１は副吸入動作と排出動作を実行させる。

図３（ａ）−３（ｄ）は、処理液供給装置１１の動作を模式的に示す図である。なお、図３（ａ）−３（ｄ）は、便宜上、図１に比べて簡略化して示す。図３（ａ）−３（ｄ）は、便宜上、ポンプ室２１に収容される処理液に、符号Ｒを付す。

以下の説明では、ポンプ室２１が既に処理液Ｒで満たされているものとする。

［ステップＳ１：吸入動作］
図３（ａ）は、吸入動作を模式的に示す図である。制御部３１は、弁１７−１９とピストン２７を制御することによって、吸入動作を実行させる。吸入動作は、吸入管１４からポンプ室２１に処理液Ｒを入れる動作である。

具体的には、弁１７は吸入管１４を開く。弁１８、１９は吐出管１５および排出管１６を閉じる。ピストン２７は、方向Ｄ２に移動し、ポンプ室２１から遠ざかる。これにより、ポンプ室２１の容積が増大する。ポンプ室２１は、吸入管１４から処理液Ｒを吸入する。

［ステップＳ２：吐出動作］
図３（ｂ）は、吐出動作を模式的に示す図である。制御部３１は、弁１７−１９とピストン２７を制御することによって、吐出動作を実行させる。吐出動作は、ポンプ室２１から吐出管１５に処理液Ｒを出す動作である。

具体的には、弁１８は吐出管１５を開く。弁１７、１９は吸入管１４および排出管１６を閉じる。ピストン２７はポンプ室２１を押圧する。ピストン２７は、方向Ｄ１に移動し、ポンプ室２１に近づく。これにより、ポンプ室２１の容積が減少する。ポンプ室２１は吐出管１５に処理液Ｒを吐き出す。

処理液Ｒは、吐出管１５を通じてノズル７に供給される。ノズル７は、保持部３に保持された基板Ｗに処理液Ｒを供給する。これにより、１枚の基板Ｗに処理が行われる。

［ステップＳ３：加圧動作］
図３（ｃ）は、加圧動作を模式的に示す図である。制御部３１は、弁１７−１９とピストン２７を制御することによって、加圧動作を実行させる。加圧動作は、弁１７−１９がポンプ室２１を閉塞している状態においてピストン２７がポンプ室２１を押圧することにより、ポンプ室２１の圧力を高くする動作である。

具体的には、弁１７−１９はそれぞれ、吸入管１４、吐出管１５および排出管１６を閉じる。これにより、ポンプ室２１は閉塞される。ポンプ室２１が閉塞された状態において、ピストン２７がポンプ室２１を押圧する。具体的には、ピストン２７は、方向Ｄ１の力Ｆをポンプ室２１に作用させる。これにより、ポンプ室２１の圧力が上昇する。すなわち、ポンプ室２１の処理液Ｒの圧力が上昇する。

加圧動作において、ピストン２７はポンプ室２１に対して方向Ｄ１に移動してもよいし、移動しなくてもよい。すなわち、加圧動作において、ピストン２７はポンプ室２１に近づいてもよいし、近づかなくてもよい。

制御部３１は、吐出動作の終了と同時に加圧動作を開始させる。制御部３１は、吐出動作と加圧動作にわたって、ピストン２７によるポンプ室２１への押圧を継続させる。弁１８が吐出管１５を閉じた瞬間に、吐出動作から加圧動作に切り替わる。

加圧動作の期間は、例えば、１秒以下である。加圧動作の期間は、例えば、０．１秒から０．３秒の範囲内である。加圧動作は、ポンプ室２１の圧力を、例えば数１０［ｋＰａ］に加圧する。加圧動作は、ポンプ室２１の圧力を、例えば２０［ｋＰａ］に加圧する。なお、本明細書では、圧力を、大気圧を基準としたゲージ圧で表記する。

加圧動作の実行中、圧力センサ２９は、ポンプ室２１の圧力を検出する。

［ステップＳ４：判定処理］
制御部３１は、加圧動作の実行中に検出される圧力センサ２９の検出結果を取得する。制御部３１は、記憶部３３から基準情報を取得する。制御部３１は、加圧動作の実行中に検出された圧力センサ２９の検出結果と記憶部３３に記憶される基準情報に基づいて、判定処理を実行する。判定処理は、ポンプ室２１が気泡を含むか否かを判定する処理である。
判定処理は、加圧動作の実行中に、実行されてもよい。

ここで、判定処理の原理について説明する。本発明者は、ポンプ室２１が気泡を含むか否かによって、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１の圧力が、比較的に大きく変動することを知見した。

図４は、ポンプ室２１の圧力と時間の関係を模式的に示す図である。図４の横軸は、時間である。図４の縦軸は、ポンプ室２１の圧力である。

吐出動作は、時刻ｔ１に終了する。加圧動作は、時刻ｔ１に開始される。加圧動作は、時刻ｔ３に終了する。加圧動作は、時刻ｔ１−ｔ３の期間に実行される。

波形Ａ、Ｂはともに、ポンプ室２１の圧力の時間的な変化を示す。波形Ａは、気泡を含まないポンプ室２１の圧力に関する情報である。波形Ｂは、気泡を含むポンプ室２１の圧力に関する情報である。波形Ａ、Ｂは、基板処理装置１および処理液供給装置１１の動作前に、実験またはシミュレーションによって取得される。

時刻ｔ１−ｔ３の期間に大部分において、波形Ａは波形Ｂよりも低い。例えば、時刻ｔ２における波形Ａの瞬時値ａ２は、時刻ｔ２における波形Ｂの瞬時値ｂ２よりも高い。ここで、時刻ｔ２は、例えば、時刻ｔ１から、所定の時間ｔａが経過する時点である。時刻ｔ２は、時刻ｔ１−ｔ３の期間内の時点である。時刻ｔ２と時間ｔａは、波形Ａ、Ｂの違いが明瞭に表れるように、適宜に設定される。例えば、時間ｔａは、時刻ｔ１−ｔ３の期間の半分であってもよい。

このように、ポンプ室２１が気泡を含まない場合に比べて、ポンプ室２１が気泡を含む場合には、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１の圧力の上昇が抑制される。

波形Ｂが波形Ａよりも低い原因は、ポンプ室２１の気泡がポンプ室２１の圧力の上昇を緩和しているからと考えられる。言い換えれば、ポンプ室２１の気泡がクッションの役割を果たしているからと考えられる。

上述した知見に基づいて、判定処理の原理は、以下の通りである。加圧動作の実行中に検出された圧力センサ２９の検出結果が波形Ｂよりも波形Ａに近い場合、ポンプ室２１は気泡を含まないと判定する。加圧動作の実行中に検出された圧力センサ２９の検出結果が波形Ａよりも波形Ｂに近い場合、ポンプ室２１は気泡を含むと判定する。

判定処理の具体例を説明する。基準情報は、波形Ａ、Ｂに基づいて、決定される。基準情報は、例えば、瞬時値ａ２と閾値ｃを含む。閾値ｃは、例えば、瞬時値ａ２、ｂ２に基づいて決定される。閾値ｃは、例えば、瞬時値ａ２と瞬時値ｂ２の差と同等またはそれよりも小さい。

制御部３１は、圧力センサ２９の検出結果から、所定の時点における瞬時値ｄを抽出する。所定の時点は、例えば、加圧動作が開始された時刻から所定の時間ｔａが経過する時点である。制御部３１は、瞬時値ａ２と瞬時値ｄの差ｅを算出する。制御部３１は、差ｅが閾値ｃ未満であるか否かを判断する。差ｅが閾値ｃ未満である場合、ポンプ室２１が気泡を含まないと制御部３１は判定する。ポンプ室２１が気泡を含まないと判定されたとき、ステップＳ１に戻る。差ｅが閾値ｃ以上である場合、ポンプ室２１が気泡を含むと制御部３１は判定する。ポンプ室２１が気泡を含むと判定されたとき、ステップＳ５に進む。

［ステップＳ５：副吸入動作］
制御部３１は、弁１７−１９とピストン２７を制御することによって、副吸入動作を実行させる。副吸入動作は、吸入動作と同じである。より詳しくは、副吸入動作と吸入動作とは、実行するタイミングが異なるだけであり、動作の内容は同じである。すなわち、副吸入動作は、吸入管１４からポンプ室２１に処理液Ｒを入れる動作である。このため、副吸入動作の説明を省略する。

［ステップＳ６：排出動作］
図３（ｄ）は、排出動作を模式的に示す図である。制御部３１は、弁１７−１９とピストン２７を制御することによって、排出動作を実行させる。排出動作は、ポンプ室２１から排出管１６に気泡を出す動作である。

具体的には、弁１９は排出管１６を開く。弁１７、１８は吸入管１４および吐出管１５を閉じる。ピストン２７は、方向Ｄ１に移動し、ポンプ室２１に近づく。これにより、ポンプ室２１の容積が減少する。ポンプ室２１は、気泡を排出管１６に吐き出す。ポンプ室２１は、気泡とともに処理液Ｒを排出管１６に吐き出す。

排出動作の終了後、ステップＳ１に戻る。

上述した処理液供給装置１１の動作は、本発明における液体供給方法の例である。吐出動作は、本発明における吐出工程の例である。加圧動作は、本発明における加圧工程の例である。加圧動作の実行中における圧力センサ２９の動作は、本発明における圧力検出工程の例である。判定処理は、本発明における判定工程の例である。排出動作は、本発明における排出工程の例である。

４．効果
実施形態１によれば、以下の効果を奏する。

制御部３１は判定処理を実行する。これにより、ポンプ室２１に収容される処理液Ｒ中の気泡を好適に検知できる。

判定処理はポンプ室２１が気泡を含むか否かを判定する。ポンプ室２１は外乱の影響を受けにくい。特に、閉塞されたポンプ室２１は外乱の影響を一層受けにくい。このため、判定処理は、処理液Ｒ中の気泡を適切に検知できる。

処理液供給装置１１は、弁１７−１９を備える。このため、ポンプ室２１を好適に閉塞できる。処理液供給装置１１は、さらに、ピストン２７を備える。このため、ポンプ室２１を好適に加圧できる。

制御部３１は、加圧動作の実行中に検出された圧力センサ２９の検出結果に基づいて、判定処理を実行する。すなわち、制御部３１は、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１の圧力に基づいて、判定処理を実行する。判定処理は、加圧動作の実行中に検出された圧力センサ２９の検出結果に基づいて実行される。すなわち、判定処理は、加圧動作の実行中に検出された圧力センサ２９の検出結果を基礎とする。上述したとおり、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１の圧力は、気泡の影響を受けやすい。このため、判定処理は、処理液Ｒ中の気泡を精度良く検知できる。

処理液供給装置１１は、圧力センサ２９を備える。このため、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１の圧力を好適に検出できる。

制御部３１は、さらに、基準情報に基づいて、判定処理を実行する。判定処理は、さらに、基準情報に基づいて実行される。すなわち、判定処理は、基準情報を基礎とする。このため、判定処理は、ポンプ室２１が気泡を含むか否かを的確に判定できる。よって、処理液Ｒ中の気泡を、より一層好適に検知できる。

処理液供給装置１１は、記憶部３３を備える。このため、制御部３１は、基準情報を好適に参照できる。

制御部３１は、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１の圧力の瞬時値ｄに基づいて、判定処理を実行する。すなわち、判定処理の基礎とする検出結果は、圧力の瞬時値ｄを含む。これによれば、制御部３１は、ポンプ室２１が気泡を含むか否かを効率良く判定できる。すなわち、判定処理における演算量を軽減できる。

基準情報は、波形Ａ、Ｂに基づいて決定される。より詳細に言えば、基準情報は、気泡を含まないポンプ室２１に対して加圧動作を実行したときのポンプ室２１の圧力と、気泡を含むポンプ室２１に対して加圧動作を実行したときのポンプ室２１の圧力に基づいて、決定される。このため、判定処理は、ポンプ室２１が気泡を含むか否かを精度良く判定できる。

基準情報は、瞬時値ａ２を含む。このため、判定処理は、加圧動作の実行中に検出された圧力センサ２９の検出結果を、基準情報と好適に比較できる。

判定処理は、基準情報（瞬時値ａ２）と検出結果（瞬時値ｄ）の差ｅに基づいて、ポンプ室２１が気泡を含むか否かを判定する。このため、判定処理は、ポンプ室２１が気泡を含むか否かを適切に判定できる。

基準情報は、さらに閾値ｃを含む。このため、判定処理は、基準情報と検出結果の差ｅに基づいて、好適に判定できる。

制御部３１は、１回の吐出動作を実行するごとに、加圧動作および判定処理を実行する。このため、気泡がポンプ室２１から吐出管１５に出ることを、未然に防止できる。

制御部３１は、１回の吸入動作を実行するごとに、加圧動作および判定処理を実行する。このため、吸入管１４からポンプ室２１に入った気泡を、速やかに検知できる。

制御部３１は、吐出動作の終了と同時に加圧動作を開始させる。このため、吐出動作および加圧動作の全体に要する時間を好適に短縮できる。

制御部３１は、吐出動作と加圧動作にわたってピストン２７によるポンプ室２１への押圧を継続させる。このため、吐出動作の終了時においても、ポンプ室２１はまだ加圧されたままである。このため、吐出動作が終了する時（すなわち、弁１８が吐出管１５を閉じる時）、吐出管１５内における処理液Ｒの流れを適切に止めることができる。その結果、ノズル７の液切れを向上できる。具体的には、吐出動作の終了時に、ノズル７による処理液Ｒの吐出を適切に停止できる。例えば、吐出動作の終了後に、ノズル７から処理液Ｒが垂れることを好適に防止できる。

判定処理においてポンプ室２１が気泡を含まないと判定されたとき、制御部３１は、吐出動作を実行させる。これにより、ポンプ室２１は、気泡を含まない処理液Ｒを吐出管１４に吐き出すことができる。その結果、気泡を含まない処理液Ｒを基板Ｗに供給できる。

判定処理においてポンプ室２１が気泡を含まないと判定されたとき、制御部３１は、排出動作を実行させることなく、吐出動作を実行させる。このため、排出動作を不必要に実行することを好適に防止できる。

判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定されたとき、制御部３１は排出動作を実行させる。これにより、ポンプ室２１から気泡を自動的に排出できる。具体的には、処理液供給装置１１の動作を停止させることなく、ポンプ室２１から気泡を排出し、その後、吐出動作を適切に実行できる。

判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定された後で、吐出動作の前に、制御部３１は排出動作を実行させる。このため、ポンプ室２１が吐出管１４に気泡を吐き出すことを好適に防止できる。

排出動作は、ポンプ室２１の気泡を、ポンプ室２１の処理液Ｒとともに、排出管１６に排出する。これにより、ポンプ室２１から排出管１６に、気泡を円滑に出すことができる。さらに、排出管１６内において気泡を円滑に流すことができる。

判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定されたとき、制御部３１は、排出動作に加えて、副吸入動作を実行させる。より詳しくは、判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定された後で、吐出動作の前に、制御部３１は、排出動作に加えて、副吸入動作を実行させる。このため、ポンプ室２１の気泡を一層円滑に排出できる。

基板処理装置１は、上述した処理液供給装置１１を備える。このため、ポンプ室２１における気泡を好適に検知できる。よって、基板Ｗに対する処理の品質を好適に保つことができる。

具体的には、処理液供給装置１１は、気泡を含まない処理液Ｒを基板Ｗに供給できる。よって、基板Ｗに対する処理の品質を好適に保つことができる。

＜実施形態２＞
以下、図面を参照して本発明の実施形態２を説明する。なお、実施形態１と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。

図５は、実施形態２に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。実施形態２に係る基板処理装置１は、処理液供給装置１１以外の構成に関して、実施形態１と略同じである。実施形態２に係る基板処理装置１は、処理液供給装置１１の構成の点で、実施形態１と異なる。

１．処理液供給装置１１の構成
処理液供給装置１１は、２つのポンプ装置１３を備える。以下では、２つのポンプ装置１３を区別する場合、「第１ポンプ装置１３ａ」、「第２ポンプ装置１３ｂ」と呼ぶ。

第１ポンプ装置１３ａの各要素の名前に、適宜に「第１」を付加する。第１ポンプ装置１３の各要素の符号に、適宜に「ａ」を付加する。例えば、第１ポンプ装置１３ａのポンプ室２１を、「第１ポンプ室２１ａ」と適宜に呼ぶ。同様に、第２ポンプ装置１３ｂの各要素の名前に、適宜に「第２」を付加する。第２ポンプ装置１３の各要素の符号に、適宜に「ｂ」を付加する。例えば、第２ポンプ装置１３ｂのポンプ室２１を、「第２ポンプ室２１ｂ」と適宜に呼ぶ。

第１ピストン２７ａは、本発明における可動部材と第１可動部材の例である。第２ピストン２７ｂは、本発明における可動部材と第２可動部材の例である。

処理液供給装置１１は、処理液を濾過するフィルタ４１を備える。フィルタ４１は、例えば、処理液から処理液中の異物などを分離・除去する。フィルタ４１は、フィルタ本体４２と複数（例えば３つ）の接続口４３、４４、４５を備えている。フィルタ本体４２は、濾過材と一次側流路と二次側流路（いずれも不図示）を含む。濾過材は、例えば多孔性の膜である。一次側流路は、濾過材の一次側に形成される処理液の流路である。二次側流路は、濾過材の二次側に形成される処理液の流路である。接続口４３は、一次側流路の入口である。接続口４４は、二次側流路の出口である。接続口４５は、フィルタ本体４２内の気体を排出するための排出口である。接続口４５は、フィルタ本体４２内の処理液も排出可能である。

処理液供給装置１１は、配管５１−５６を備える。

配管５１は、第１ポンプ室２１ａに接続される。具体的には、配管５１は、第１ポンプ室２１ａの開口２３ａに接続される第１端を有する。配管５１は、第１ポンプ室２１ａに処理液を入れる。さらに、配管５１は、処理液供給源１０に接続される。具体的には、配管５１は、処理液供給源１０に接続される第２端を有する。配管５１は、処理液供給源１０から第１ポンプ室２１ａに処理液を送る。

配管５２は、第１ポンプ室２１ａとフィルタ４１に接続される。配管５２は、第１ポンプ室２１ａの開口２３ｂに接続される第１端と、フィルタ４１の接続口４３に接続される第２端を有する。配管５２は、第１ポンプ室２１ａからフィルタ４１に処理液を送る。

配管５３は、フィルタ４１と第２ポンプ室２１ｂに接続される。配管５３は、フィルタ４１の接続口４４に接続される第１端と、第２ポンプ室２１ｂの開口２３ｂに接続される第２端を有する。配管５３は、フィルタ４１から第２ポンプ室２１ｂに処理液を送る。

配管５４は、第２ポンプ室２１ｂに接続される。配管５４は、第２ポンプ室２１ｂの開口２４ｂに接続される第１端を有する。配管５４は、第２ポンプ室２１ｂから処理液を出す。配管５４は、さらに、ノズル７に接続される。配管５４は、ノズル７に接続される第２端を有する。配管５４は、第２ポンプ室２１ｂからノズル７に処理液を供給する。

配管５５は、第２ポンプ室２１ｂと第１ポンプ室２１ａに接続される。配管５５は、第２ポンプ室２１ｂの開口２５ｂに接続される第１端と、第１ポンプ室２１ａの開口２５ａに接続される第２端を有する。配管５５は、第２ポンプ室２１ｂから第１ポンプ室２１ａに処理液を戻す。

配管５６は、フィルタ４１に接続される。配管５６は、フィルタ４１の接続口４５に接続される第１端を有する。配管５６は、例えば、不図示の処理液回収部に接続される。配管５６は、フィルタ４１から気体（気泡を含む）を排出する。配管５６は、さらに、フィルタ４１から処理液を排出する。

処理液供給装置１１は弁６１−６６を備える。弁６１は配管５１上に設けられる。弁６１は、配管５１内における流路を開閉する。すなわち、弁６１は配管５１を開閉する。同様に、弁６２−６６は配管５２−５６上に設けられる。弁６２−６６は、配管５２−５６内における流路を開閉する。すなわち、弁６２−６６は配管５２−５６を開閉する。

配管５１内における流路は、本発明における第１吸入流路の例である。配管５２内における流路は、本発明における第１吐出流路の例である。配管５３内における流路は、本発明における第２吸入流路の例である。配管５４内における流路は、本発明における第２吐出流路の例である。配管５５内における流路は、本発明における戻り流路の例である。配管５６内における流路は、本発明における排出流路の例である。

配管５１は、本発明における第１吸入管の例である。配管５２は、本発明における第１吐出管の例である。配管５３は、本発明における第２吸入管の例である。配管５４は、本発明における第２吐出管の例である。配管５５は、本発明における戻り管の例である。配管５６は、本発明における排出管の例である。

制御部３１は、第１モータ２８ａと第２モータ２８ｂと第１圧力センサ２９ａと第２圧力センサ２９ｂと弁６１−６６に、通信可能に接続される。制御部３１は第１モータ２８ａと第２モータ２８ｂと弁６１−６６を制御する。ここで、制御部３１が第１モータ２８ａを制御することは、制御部３１が第１ピストン２７ａを制御することと同義である。
制御部３１が第２モータ２８ｂを制御することは、制御部３１が第２ピストン２７ｂを制御することと同義である。制御部３１は、第１圧力センサ２９ａによって検出された検出結果および第２圧力センサ２９ｂによって検出された検出結果を取得する。

２．動作
実施形態２に係る基板処理装置１および処理液供給装置１１の動作例を説明する。図６は、処理液供給装置１１の動作の手順を示すフローチャートである。処理液供給装置１１の動作は、第１吸入動作（ステップＳ１１）と第２吸入動作（ステップＳ１２）とパージ動作（ステップＳ１３）と加圧動作（ステップＳ１４）と判定処理（ステップＳ１５）と吐出動作（ステップＳ１６）と決定処理（ステップＳ１７）と排出動作（ステップＳ１８）と第１副吸入動作（ステップＳ１９）と第２副吸入動作（ステップＳ２０）を含む。制御部３１は、第１吸入動作と第２吸入動作とパージ動作と吐出動作を、この順に実行させる。この一連の動作は、繰り返される。よって、制御部３１は、第２吸入動作とパージ動作と吐出動作と第１吸入動作を、この順に実行させる、と言うこともできる。制御部３１は、パージ動作の後で吐出動作の前の期間に、加圧動作と判定処理を実行する。判定処理において第２ポンプ室２１ｂが気泡を含むと判定されたときに限り、制御部３１は排出動作と第１副吸入動作と第２副吸入動作を実行させる。

図７−１２は、処理液供給装置１１の動作の模式的に示す図である。なお、図７−１２は、便宜上、図５に比べて簡略化して示す。図７−１２は、便宜上、第１ポンプ室２１ａおよび第２ポンプ室２１ｂに収容される処理液に、符号Ｒを付す。

以下の説明では、第１ポンプ室２１ａと第２ポンプ室２１ｂが、既に処理液Ｒで満たされているものとする。

［ステップＳ１１：第１吸入動作］
図７は、第１吸入動作を模式的に示す図である。制御部３１は、ピストン２７（すなわち、第１ピストン２７ａおよび第２ピストン２７ｂ）と弁６１−６６を制御することによって、第１吸入動作を実行させる。第１吸入動作は、配管５１から第１ポンプ室２１ａに処理液Ｒを入れる動作である。

具体的には、弁６１は配管５１を開く。弁６２−６６は配管５２−５６を閉じる。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａから遠ざかる。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａの容積を増大させる。これにより、第１ポンプ室２１ａは、配管５１から処理液Ｒを吸入する。第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂに対して静止する。第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂの容積を変えない。

［ステップＳ１２：第２吸入動作］
図８は、第２吸入動作を模式的に示すである。制御部３１は、ピストン２７と弁６１−６６を制御することによって、第２吸入動作を実行させる。第２吸入動作は、配管５２、５３とフィルタ４１を通じて、第１ポンプ室２１ａから第２ポンプ室２１ｂに処理液Ｒを入れる動作である。

具体的には、弁６２、６３は配管５２、５３を開く。弁６１、６４−６６は配管５１、５４−５６を閉じる。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａを押圧する。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａに近づく。第１ピストン２７ａはポンプ室２１の容積を減少させる。第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂから遠ざかる。第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂの容積を増大させる。第１ポンプ室２１ａは配管５２に処理液Ｒを吐き出す。処理液Ｒはフィルタ４１に入る。フィルタ４１は処理液Ｒを濾過する。濾過された処理液Ｒがフィルタ４１から配管５３に出る。第２ポンプ室２１ｂは、配管５３から処理液Ｒを吸入する。このように、第１ポンプ室２１ａから第２ポンプ室２１ｂに処理液Ｒを送る。

［ステップＳ１３：パージ動作］
図９は、パージ動作を模式的に示す図である。制御部３１は、ピストン２７と弁６１−６６を制御することによって、パージ動作を実行させる。パージ動作は、配管５５を通じて第２ポンプ室２１ｂから第１ポンプ室２１ａに処理液Ｒを戻す動作である。第２ポンプ室２１ｂから第１ポンプ室２１ａに戻す処理液Ｒの量は、比較的に少ない。

具体的には、弁６１、６５は配管５１、５５を開く。弁６２−６４、６６は配管５２−５４、５６を閉じる。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａに対して静止する。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａの容積を変えない。第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂを押圧する。第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂに少し近づく。第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂの容積を少し減少させる。第２ポンプ室２１ｂは、配管５５に処理液Ｒを吐き出す。処理液Ｒは、配管５５を通じて第１ポンプ室２１ａに入る。さらに、処理液Ｒは、第１ポンプ室２１ａから配管５１に出る。

［ステップＳ１４：加圧動作］
図１０は、加圧動作を模式的に示す図である。制御部３１は、ピストン２７と弁６１−６６を制御することによって、加圧動作を実行させる。加圧動作は、弁６１−６６が第２ポンプ室２１ｂを閉塞している状態において第２ピストン２７ｂが第２ポンプ室２１ｂを押圧することにより、第２ポンプ室２１ｂの圧力を高くする動作である。

具体的には、弁６３−６５は配管５３−５５を閉じる。これにより、第２ポンプ室２１ｂは閉塞される。第２ポンプ室２１ｂが閉塞された状態において、第２ピストン２７ｂが第２ポンプ室２１ｂを押圧する。具体的には、第２ピストン２７ｂは、方向Ｄ１の力Ｆを第２ポンプ室２１ｂに作用させる。これにより、第２ポンプ室２１ｂの圧力が上昇する。
すなわち、第２ポンプ室２１ｂの処理液Ｒの圧力が上昇する。

加圧動作では、第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂに対して方向Ｄ１に移動してもよいし、移動しなくてもよい。すなわち、加圧動作では、第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂに近づいてもよいし、近づかなくてもよい。

加圧動作では、弁６１、６２、６６は配管５１、５２、５６を閉じる。加圧動作では、第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａに対して静止する。

加圧動作の実行中、第２圧力センサ２９ｂは、第２ポンプ室２１ｂの圧力を検出する。

［ステップＳ１５：判定処理］
制御部３１は、加圧動作の実行中に検出された第２圧力センサ２９ｂの検出結果を取得する。制御部３１は、記憶部３３から基準情報を取得する。制御部３１は、加圧動作の実行中に検出された第２圧力センサ２９ｂの検出結果と記憶部３３に記憶される基準情報に基づいて、判定処理を実行する。判定処理は、第２ポンプ室２１ｂが気泡を含むか否かを判定する処理である。判定処理は、加圧動作の実行中に、実行されてもよい。

基準情報について説明する。図１３は、第２ポンプ室２１ｂの圧力と時間の関係を模式的に示す図である。図１３の横軸は、時間である。図１３の縦軸は、第２ポンプ室２１ｂの圧力である。

パージ動作は、時刻ｔ１１に終了する。加圧動作は、時刻ｔ１１に開始される。

波形Ｇ、Ｈ、Ｉはともに、加圧動作中における第２ポンプ室２１ｂの圧力の時間的な変化を示す。波形Ｇは、気泡を含まない第２ポンプ室２１ｂの圧力の波形である。波形Ｈ、Ｉは、気泡を含む第２ポンプ室２１ｂの圧力の波形である。波形Ｇ、Ｈ、Ｉは、基板処理装置１および処理液供給装置１１の動作前に、実験またはシミュレーションによって取得される。

波形Ｇ、Ｈ、Ｉは、時刻ｔ１１−ｔ１２の期間において、上昇する。波形Ｇ、Ｈ、Ｉは、時刻ｔ１２以降において、略一定の値を維持する。時刻ｔ１１−ｔ１２の期間において、波形Ｇは、波形Ｈ、Ｉよりも高い。このように、第２ポンプ室２１ｂが気泡を含まない場合に比べて、第２ポンプ室２１ｂが気泡を含む場合には、加圧動作の実行中における第２ポンプ室２１ｂの圧力の上昇が抑制される。より詳細には、第２ポンプ室２１ｂが気泡を含まない場合に比べて、第２ポンプ室２１ｂが気泡を含む場合には、加圧動作を開始した直後における第２ポンプ室２１ｂの圧力の上昇が抑制される。

波形Ｇは、時刻ｔ１１−ｔ１２の期間において、急峻に上昇し、急峻に下降する。すなわち、波形Ｇは、スパイク状の部分を有する。波形Ｇは、突出したピークを有する。波形Ｇは、時刻ｔ１１−ｔ１２の期間における波形Ｇの最大値ｇを含む。

波形Ｈは、時刻ｔ１１−ｔ１２の期間において、急峻に上昇し、急峻に下降する。すなわち、波形Ｈも、スパイク状の部分を有する。ただし、波形Ｈにおけるスパイク状の部分は、波形Ｇにおけるスパイク状の部分に比べて小さい。波形Ｈのピークは、波形Ｇのピークに比べて低い。時刻ｔ１１−ｔ１２の期間における波形Ｈの最大値ｈは、時刻ｔ１１−ｔ１２の期間における波形Ｇの最大値ｇよりも低い。

波形Ｉは、時刻ｔ１１−ｔ１２の期間において、急峻に上昇するが、急峻に下降しない。すなわち、波形Ｉは、スパイク状の部分を有しない。波形Ｉのピークは、波形Ｈのピークに比べて低い。時刻ｔ１１−ｔ１２の期間における波形Ｉの最大値ｉは、最大値ｈよりも低い。

なお、時刻ｔ１２は、時刻ｔ１から、所定の時間ｔｂが経過する時点である。時刻ｔ１２は、波形Ｇ、Ｈ、Ｉの違いが明瞭に表れるように、適宜に設定される。

基準情報は、波形Ｇ、Ｈ、Ｉに基づいて決定される。基準情報は、下限値ｊを含む。下限値ｊは、例えば、最大値ｇよりも低く、かつ、最大値ｈと同等またはそれよりも高い。

制御部３１は、第２圧力センサ２９ｂの検出結果から、所定の期間における最大値ｋを抽出する。最大値ｋは、瞬時値である。所定の期間の始期は、例えば、加圧動作が開始された時刻である。所定の期間の終期は、例えば、加圧動作が開始された時刻から時間ｔｂが経過する時刻である。

制御部３１は、最大値ｋと下限値ｊを比較する。最大値ｋが下限値ｊ以上である場合、第２ポンプ室２１ｂが気泡を含まないと制御部３１は判定する。第２ポンプ室２１ｂが気泡を含まないと判定されたとき、ステップＳ１６に進む。最大値ｋが下限値ｊ未満である場合、第２ポンプ室２１ｂが気泡を含むと制御部３１は判定する。第２ポンプ室２１ｂが気泡を含むと判定されたとき、ステップＳ１７に進む。

［ステップＳ１６：吐出動作］
図１１は、吐出動作を模式的に示す図である。制御部３１は、ピストン２７と弁６１−６６を制御することによって、吐出動作を実行させる。吐出動作は、第２ポンプ室２１ｂから配管５４に処理液Ｒを出す動作である。

具体的には、弁６４は配管５４を開く。弁６１−６３、６５、６６は配管５１−５３、５５、５６を閉じる。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａに対して静止する。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａの容積を変えない。第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂを押圧する。第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂに近づく。第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂの容積を減少させる。第２ポンプ室２１ｂは、配管５４に処理液Ｒを吐き出す。

処理液Ｒは、配管５４を通じてノズル７に供給される。ノズル７は、保持部３に保持された基板Ｗに処理液Ｒを供給する。これにより、１枚の基板Ｗに処理が行われる。

判定処理において第２ポンプ室２１ｂが気泡を含まないと判定されたとき、制御部３１は、加圧動作の終了と同時に吐出動作を開始させる。言い換えれば、判定処理において第２ポンプ室２１ｂが気泡を含まないと判定されたとき、制御部３１は、吐出動作を開始する時まで、加圧動作を実行させる。このため、加圧動作の期間は、１秒以上でもよいし、１秒以下でもよい。制御部３１は、加圧動作と吐出動作にわたって、第２ピストン２７ｂによる第２ポンプ室２１ｂへの押圧を継続させる。弁６４が配管５４を開いた瞬間に、パージ動作から吐出動作に切り替わる。

吐出動作の終了後、ステップＳ１に戻る。

［ステップＳ１８：決定処理］
制御部３１は、加圧動作の実行中に検出された第２圧力センサ２９ｂの検出結果と記憶部３３に記憶される基準情報に基づいて、決定処理を実行する。決定処理は、排出動作を実行する回数Ｎを決定する処理である。

ここで、決定処理の原理について説明する。本発明者は、第２ポンプ室２１ｂに含まれる気泡の大きさによって、加圧動作の実行中における第２ポンプ室２１ｂの圧力が、比較的に大きく変動することを知見した。

図１３を参照する。波形Ｈは、比較的に小さな気泡を含む第２ポンプ室２１ｂの圧力の波形である。波形Ｇは、比較的に大きな気泡を含む第２ポンプ室２１ｂの圧力の波形である。上述したとおり、加圧動作における波形Ｉのピークは、加圧動作における波形Ｈのピークに比べて低い。このように、第２ポンプ室２１ｂに含まれる気泡が大きいほど、加圧動作の実行中における第２ポンプ室２１ｂの圧力の上昇が抑えられる。

さらに、本発明者は、気泡が比較的に大きい場合、気泡が比較的に小さい場合に比べて、気泡を容易に排出できることを知見した。これは、気泡が大きいほど、気泡が第２ポンプ室２１ｂから容易に出ることができ、かつ、気泡が配管５１−５６内の流路を容易に流れることができるからと考えられる。

上述した知見に基づいて、決定処理の原理は、以下の通りである。加圧動作の実行中に検出された第２圧力センサ２９ｂの検出結果が波形Ｈに近い場合、ポンプ室２１の気泡は比較的に小さいと判定する。さらに、ポンプ室２１の気泡が比較的に小さいと判定された場合、排出動作を実行させる回数Ｎを比較的に大きな値に決定する。加圧動作の実行中に検出された第２圧力センサ２９ｂの検出結果が波形Ｉに近い場合、ポンプ室２１の気泡は比較的に大きいと判定できる。さらに、ポンプ室２１の気泡が比較的に大きいと判定された場合、排出動作を実行させる回数Ｎを比較的に小さな値に決定する。

決定処理の具体例を説明する。

基準情報は、所定値ｍを含む。所定値ｍは、波形Ｈ、Ｉに基づいて決定される。所定値ｍは、例えば、最大値ｈ以下であり、かつ、最大値ｉ以上である。制御部３１は、加圧動作の実行中に検出された第２圧力センサ２９ｂの検出結果として、最大値ｋを用いる。制御部３１は、最大値ｋが所定値ｍよりも大きいか否かを判断する。最大値ｋが所定値ｍ未満である場合、回数Ｎを値ｎ１に決定する。最大値ｋが所定値ｍ以上である場合、回数Ｎを値ｎ２に決定する。ただし、値ｎ２は、値ｎ１よりも大きい。値ｎ１、ｎ２は、整数である。値ｎ１は、例えば３である。値ｎ２は、例えば５である。

ここで、排出動作をｎ１回だけ繰り返し実行したとき、決定処理の時点で第２ポンプ室２１ｂに収容される処理液Ｒの全てを排出できることが好ましい。例えば、第２ポンプ室２１ｂは最大容積Ｖを有するとする。１回の排出動作によって第２ポンプ室２１ｂから出る処理液Ｒの量を、排出量Ｑｏｕｔとする。この場合、値ｎ１は、最大容積Ｖを排出量Ｑｏｕｔで除した値ｐ以上であることが好ましい。これによれば、決定処理後で吐出動作前に実行されるｎ１回の排出動作によって、最大容積Ｖ以上の処理液Ｒを第２ポンプ室２１ｂから排出できる。さらに、値ｎ２は、値ｐの２倍以上であることが好ましい。これによれば、決定処理後で吐出動作前に実行されるｎ２回の排出動作によって、最大容積Ｖの２倍以上の処理液Ｒを第２ポンプ室２１ｂから排出できる。

ここで、最大容積Ｖは、例えば、第２ピストン２７ｂが第２ポンプ室２１ｂから最も遠い位置にあるときの第２ポンプ室２１ｂの容積である。

［ステップＳ１８：排出動作］
図１２は、排出動作を模式的に示す図である。制御部３１は、ピストン２７と弁６１−６６を制御することによって、排出動作を実行させる。排出動作は、配管５５を通じて第２ポンプ室２１ｂから第１ポンプ室２１ａに気泡を戻し、配管５２を通じて第１ポンプ室２１ａからフィルタ４１に気泡を送り、かつ、フィルタ４１から配管５６に気泡を排出する動作である。

具体的には、弁６２、６５、６６は配管５２、５５、５６を開く。弁６１、６３、６４は配管５１、５３、５４を閉じる。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａに対して静止する。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａの容積を変えない。第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂに近づく。第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂの容積を減少させる。第２ポンプ室２１ｂは配管５５に気泡を吐き出す。気泡は、配管５５から第１ポンプ室２１ａに入る。気泡は、配管５２を通じて、第１ポンプ室２１ａからフィルタ４１に送られる。さらに、気泡は、フィルタ４１から配管５６に出る。処理液Ｒも、気泡ともに流れる。具体的には、処理液Ｒは、第１ポンプ室２１ａ、フィルタ４１および配管５２、５５を通じて、第２ポンプ室２１ｂから配管５６に流れる。

これにより、１回の排出動作が終了する。制御部３１は、決定処理の後に実行された排出動作の回数を計数する。

［ステップＳ１９：第１副吸入動作］
制御部３１は、ピストン２７と弁６１−６６を制御することによって、第１副吸入動作を実行させる。第１副吸入動作は、第１吸入動作と同じである。すなわち、第１副吸入動作は、配管５１から第１ポンプ室２１ａに処理液Ｒを入れる動作である。

［ステップＳ２０：第２副吸入動作］
制御部３１は、ピストン２７と弁６１−６６を制御することによって、第２副吸入動作を実行させる。第２副吸入動作は、第２吸入動作と同じである。すなわち、第２副吸入動作は、配管５２、５３とフィルタ４１を通じて、第１ポンプ室２１ａから第２ポンプ室２１ｂに処理液Ｒを入れる動作である。

［ステップＳ２１：排出動作をＮ回、実行したか？］
制御部３１は、計数された排出動作の回数と、決定処理において決定された回数Ｎに基づいて、決定処理の後に排出動作をＮ回、実行したか否かを判断する。排出動作をＮ回、実行していないと判断された場合、ステップ１８に戻る。排出動作をＮ回、実行したと判断された場合、ステップ１３に戻る。これにより、制御部３１は、排出動作を、決定処理において決定された回数Ｎだけ繰り返し実行させる。

上述したパージ動作は、本発明における戻し動作の例である。加圧動作は、本発明における加圧動作と第２加圧動作の例である。第２圧力センサ２９ｂの検出結果は、本発明における検出結果と第２検出結果の例である。判定処理は、本発明における判定処理と第２判定処理の例である。排出動作は、本発明における排出動作と第２排出動作の例である。

上述した処理液供給装置１１の動作は、本発明における液体供給方法の例である。吐出動作は、本発明における吐出工程の例である。加圧動作は、本発明における加圧工程の例である。加圧動作の実行中における第２圧力センサ２９ｂの動作は、本発明における圧力検出工程の例である。判定処理は、本発明における判定工程の例である。排出動作は、本発明における排出工程の例である。

３．効果
実施形態２によれば、実施形態１と同様の効果を奏する。さらに、実施形態２によれば、以下の効果を奏する。

制御部３１は、加圧動作と判定処理を実行する。このため、第２ポンプ室２１ｂに含まれる気泡を好適に検知できる。

判定処理の基礎とする検出結果は、最大値ｋを含む。最大値ｋは、加圧動作の実行中における第２ポンプ室２１ｂの圧力の瞬時値である。したがって、制御部３１は、加圧動作の実行中における第２ポンプ室２１ｂの圧力の瞬時値に基づいて、判定処理を実行する。これによれば、制御部３１は、ポンプ室２１が気泡を含むか否かを効率良く判定できる。すなわち、判定処理における演算量を軽減できる。

基準情報は、下限値ｊを含む。このため、判定処理は、下限値ｊと最大値ｋの大小関係によって、第２ポンプ室２１ｂが気泡を含むか否かを判定できる。すなわち、判定処理は、実施形態１で説明した閾値ｃを用いない。このため、判定処理を簡素化できる。基準情報は、閾値ｃを含まなくてもよい。

判定処理において第２ポンプ室２１ｂが気泡を含むと判定されたとき、制御部３１は排出動作を実行させる。このため、第２ポンプ室２１ｂから気泡を自動的に排出できる。

制御部３１は、パージ動作の後で吐出動作の前の期間に、加圧動作および判定処理を実行する。このため、吐出動作において第２ポンプ室２１ｂから配管５４に気泡を出すことを未然に防止できる。

判定処理において気泡を含まないと判定されたとき、制御部３１は、加圧動作の終了と同時に吐出動作を開始させる。このため、加圧動作および吐出動作の全体に要する時間を好適に短縮できる。

制御部３１は、加圧動作と吐出動作にわたって第２ピストン２７ｂによる第２ポンプ室２１ｂへの押圧を継続させる。このため、吐出動作の開始時において、第２ポンプ室２１ｂは既に加圧されている。このため、吐出動作を開始した瞬間から、第２ポンプ室２１ｂから配管５４に処理液Ｒを円滑に出すことができる。

制御部３１は、排出動作の後であって吐出動作の前に、加圧動作および判定処理を再び実行する。再び実行される加圧動作および判定処理において、第２ポンプ室２１ｂから気泡が除去されたか否かを確認できる。さらに、第２ポンプ室２１ｂから気泡が除去されたことが確認されるまで、排出動作を続ける。よって、第２ポンプ室２１ｂから気泡を確実に除去できる。

排出動作は、配管５２、５５、５６を使用して、第２ポンプ室２１ｂの気泡を排出する。このため、第２ポンプ室２１ｂから配管５４に気泡を出すことなく、第２ポンプ室２１ｂの気泡を除去できる。

第２ポンプ室２１ｂが気泡を含むと判定されたとき、制御部３１は排出動作を繰り返し実行させる。これにより、第２ポンプ室２１ｂの気泡を一層確実に排出できる。

決定処理は、加圧動作の実行中に検出された第２圧力センサ２９ｂの検出結果と基準情報に基づいて、排出動作を実行する回数Ｎを決定する。このため、このため、回数Ｎを適切に決定できる。

決定処理の基礎とする検出結果は、最大値ｋを含む。最大値ｋは、加圧動作の実行中における第２ポンプ室２１ｂの圧力の瞬時値である。したがって、制御部３１は、加圧動作の実行中における第２ポンプ室２１ｂの圧力の瞬時値に基づいて、決定処理を実行する。これによれば、決定処理における演算量を軽減できる。

制御部３１は、決定処理において決定された回数Ｎだけ、排出動作を繰り返し実行させる。具体的には、決定処理の後で吐出動作の前に、制御部３１は排出動作をＮ回、実行させる。このため、第２ポンプ室２１ｂから気泡を、確実、かつ、効率良く排出できる。

決定処理は、第２ポンプ室２１ｂに含まれる気泡の大きさに応じて、回数Ｎを決定する。換言すれば、決定処理は、第２ポンプ室２１ｂに含まれる気泡の大きさに応じて、回数Ｎを変更する。このため、回数Ｎを適切に決定できる。

決定処理は、気泡が大きくなるにしたがって回数Ｎが少なくなるように、回数Ｎを決定する。具体的には、第２ポンプ室２１ｂに含まれる気泡が大きいと判断される場合、決定処理は、回数Ｎとして値ｎ１を決定する。第２ポンプ室２１ｂに含まれる気泡が小さいと判断される場合、決定処理は、回数Ｎとして、値ｎ１よりも大きな値ｎ２を決定する。これにより、気泡が比較的に大きい場合には、排出動作を実行する回数を減らす。これにより、排出動作に要する時間を短縮できる。気泡が比較的に小さい場合には、排出動作を実行する回数を増やす。これにより、第２ポンプ室２１ｂから気泡を確実に排出できる。

回数Ｎの値ｎ１が値ｐ以上である場合、決定処理の時点で第２ポンプ室２１ｂに収容される処理液Ｒの全てを排出する。よって、第２ポンプ室２１ｂから気泡を的確に除去できる。

回数Ｎの値ｎ２が値ｐの２倍以上である場合、決定処理の時点で第２ポンプ室２１ｂに収容される処理液Ｒの全てを排出する。よって、第２ポンプ室２１ｂから気泡を一層的確に除去できる。

判定処理において第２ポンプ室２１ｂが気泡を含むと判定されたとき、制御部３１は、排出動作に加えて、第１副吸入動作および第２副吸入動作を実行させる。より詳しくは、判定処理において第２ポンプ室２１ｂが気泡を含むと判定された後で、吐出動作の前に、制御部３１は、排出動作に加えて、第１副吸入動作および第２副吸入動作を実行させる。このため、決定処理の時点で第２ポンプ室２１ｂに収容されている処理液Ｒを、新たな処理液Ｒに置換できる。よって、第２ポンプ室２１ｂから気泡を好適に排出できる。

本発明は、上記実施形態１、２に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した実施形態１では、制御部３１は、吐出動作の後で吸入動作の前の期間に、加圧動作および判定処理を実行する。ただし、これに限られない。例えば、制御部３１は、吸入動作の後で吐出動作の前の期間に、加圧動作および判定処理を実行してもよい。制御部３１は、吸入動作の後で吐出動作の前の期間、および、吐出動作の後で吸入動作の前の期間に、加圧動作および判定処理を実行してもよい。

（２）上述した実施形態２では、制御部３１は、パージ動作の後で吐出動作の前の期間に、加圧動作および判定処理を実行する。ただし、これに限られない。例えば、制御部３１は、吐出動作の後で第１吸入動作の前の期間に、加圧動作および判定処理を実行してもよい。制御部３１は、吐出動作の後で第１吸入動作の前の期間、および、パージ動作の後で吐出動作の前の期間に、加圧動作および判定処理を実行してもよい。

（３）上述した実施形態１、２では、１回の吐出動作を実行するごとに、加圧動作および判定処理を実行する。ただし、これに限られない。２回以上の吐出動作を実行するごとに、加圧動作および判定処理を実行してもよい。

（４）上述した実施形態１では、１回の吸入動作を実行するごとに、加圧動作および判定処理を実行する。ただし、これに限られない。２回以上の吸入動作を実行するごとに、加圧動作および判定処理を実行してもよい。実施形態２についても、同様に変更してもよい。

（５）上述した実施形態１では、排出動作の後で吐出動作の前の期間に、加圧動作および判定処理を実行しない。ただし、これに限られない。排出動作の後で吐出動作の前の期間に、再び加圧動作と判定処理を実行してもよい。具体的には、図２に示すフローチャートにおいて、ステップＳ６の終了後、ステップＳ３に戻ってもよい。

（６）上述した実施形態２では、第１ポンプ室２１ａに関連する加圧動作と判定処理を実行しない。このため、第１圧力センサ２９ａを省略してもよい。

（７）上述した実施形態２では、第１ポンプ室２１ａに関連する加圧動作および判定処理を実行しない。ただし、これに限られない。例えば、第１ポンプ室２１ａに関連する第１加圧動作および第１判定処理を実行してもよい。例えば、第１ポンプ室２１ａに関連する第１加圧動作および第１判定処理と、第２ポンプ室２１ｂに関連する第２加圧動作および第２判定処理を実行してもよい。

図１４は、変形実施形態に係る処理液供給装置１１の動作の手順を示すフローチャートである。実施形態２と同じ動作については、適宜に説明を省略する。

変形実施形態に係る処理液供給装置１１の動作は、第１吸入動作（ステップＳ２１）と第１加圧動作（ステップＳ２２）と第１判定処理（ステップＳ２３）と第２吸入動作（ステップＳ２４）と吐出動作（ステップＳ２５）と第１排出動作（ステップＳ２６）を含む。制御部３１は、第１吸入動作と第２吸入動作と吐出動作を、この順に実行させる。この一連の動作は、繰り返される。制御部３１は、第１吸入動作の後で第２吸入動作の前の期間に、第１加圧工程と第１判定工程を実行する。第１判定処理において第１ポンプ室２１ａが気泡を含むと判定されたときに限り、制御部３１は第１排出動作を実行させる。なお、処理液供給装置１１の動作は、パージ動作と第１副吸入動作と第２副吸入動作を含まない。

図１５は、処理液供給装置１１の動作の模式的に示す図である。なお、図１５は、便宜上、図５に比べて簡略化して示す。図１５は、便宜上、第１ポンプ室２１ａおよび第２ポンプ室２１ｂに収容される処理液に、符号Ｒを付す。

［ステップＳ２２：第１加圧工程］
図１５（ａ）は、第１加圧動作を模式的に示す図である。制御部３１は、ピストン２７と弁６１−６６を制御することによって、第１加圧動作を実行させる。第１加圧動作は、弁６１−６６が第１ポンプ室２１ａを閉塞している状態において第１ピストン２７ａが第１ポンプ室２１ａを押圧することにより、第１ポンプ室２１ａの圧力を高くする動作である。

具体的には、弁６１、６２、６５は配管５１、５２、５５を閉じる。これにより、第１ポンプ室２１ａは閉塞される。第１ポンプ室２１ａが閉塞された状態において、第１ピストン２７ａが第１ポンプ室２１ａを押圧する。具体的には、第１ピストン２７ａは、方向Ｄ１の力Ｆを第１ポンプ室２１ａに作用させる。これにより、第１ポンプ室２１ａの圧力が上昇する。

第１加圧動作では、弁６３、６４、６６６は配管５３、５４、５６を閉じる。第１加圧動作では、第２ピストン２７ｂは第２ポンプ室２１ｂに対して静止する。

第１加圧動作の実行中、第１圧力センサ２９ａは、第１ポンプ室２１ａの圧力を検出する。

［ステップＳ２３：第１判定処理］
制御部３１は、第１加圧動作の実行中に検出された第１圧力センサ２９ａの検出結果を取得する。制御部３１は、記憶部３３から基準情報を取得する。制御部３１は、第１加圧動作の実行中に検出された第１圧力センサ２９ａの検出結果と記憶部３３に記憶される基準情報に基づいて、第１判定処理を実行する。第１判定処理は、第１ポンプ室２１ａが気泡を含むか否かを判定する処理である。

第１判定処理に使用する基準情報は、実施形態２の判定処理（ステップ１５）が使用する基準情報と同じであってもよいし、異なっていてもよい。

第１ポンプ室２１ａが気泡を含まないと判定されたとき、ステップＳ２４に進む。第１ポンプ室２１ａが気泡を含むと判定されたとき、ステップＳ２６に進む。

［ステップＳ２６：第１排出動作］
図１５（ｂ）は、第１排出動作を模式的に示す図である。制御部３１は、ピストン２７と弁６１−６６を制御することによって、第１排出動作を実行させる。第１排出動作は、配管５２を通じて第１ポンプ室２１ａからフィルタ４１に気泡を送り、かつ、フィルタ４１から配管５６に気泡を排出する動作である。

具体的には、弁６２、６６は配管５２、５６を開く。弁６１、６３−６５は配管５１、５３−５５を閉じる。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａを押圧する。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａに近づく。第１ピストン２７ａは第１ポンプ室２１ａの容積を減少させる。第１ポンプ室２１ａは配管５２に気泡を吐き出す。気泡は、配管５２からフィルタ４１に入る。さらに、気泡は、フィルタ４１から配管５６に出る。処理液Ｒも、気泡とともに、フィルタ４１および配管５２を通じて、第１ポンプ室２１ａから配管５６に流れる。

第１排出動作の終了後、ステップＳ２１に戻る。

本変形実施形態によれば、制御部３１は、第１加圧動作と第１判定処理を実行する。このため、第１ポンプ室２１ａに含まれる気泡を好適に検知できる。

第１判定処理において第１ポンプ室２１ａが気泡を含むと判定されたとき、制御部３１は、第１排出動作を実行させる。このため、第１ポンプ室２１ａから気泡を自動的に排出できる。

第１排出動作は、配管５２、５６を使用して、第１ポンプ室２１ａの気泡を排出する。このため、第１ポンプ室２１ａから配管５４に気泡を送ることなく、第１ポンプ室２１ａの気泡を除去できる。すなわち、第１ポンプ室２１ａから第２ポンプ室２１ｂに気泡を送ることなく、第１ポンプ室２１ａの気泡を除去できる。

本変形実施形態では、制御部３１は、第１吸入動作の後で第２吸入動作の前の期間に、第１加圧動作と第１判定処理を実行する。ただし、これに限られない。例えば、制御部３１は、第２吸入動作の後でパージ動作の前の期間に、第１加圧動作および第１判定処理を実行してもよい。例えば、制御部３１は、パージ動作の後で第１吸入動作の前の期間に、第１加圧動作および第１判定処理を実行してもよい。

本変形実施形態のように、第２ポンプ室２１ｂに関連する第２加圧動作と第２判定処理を実行しない場合、第２圧力センサ２９ｂを省略してもよい。

上述した第１加圧動作は、本発明における加圧動作と第１加圧動作の例である。第１圧力センサ２９ａの検出結果は、本発明における検出結果と第１検出結果の例である。第１判定処理は、本発明における判定処理と第１判定処理の例である。第１排出動作は、本発明における排出動作と第１排出動作の例である。

上述した処理液供給装置１１の動作は、本発明における液体供給方法の例である。吐出動作は、本発明における吐出工程の例である。第１加圧動作は、本発明における加圧工程の例である。第１加圧動作の実行中における第１圧力センサ２９ａの動作は、本発明における圧力検出工程の例である。第１判定処理は、本発明における判定工程の例である。第１排出動作は、本発明における排出工程の例である。

（８）上述した実施形態１、２では、判定処理において、ポンプ室２１に含まれる気泡の大きさを判定しない。ただし、これに限られない。判定処理は、さらに、加圧動作の実行中に検出された圧力センサ２９の検出結果と記憶部３３に記憶される基準情報に基づいて、ポンプ室２１に含まれる気泡の大きさを判定してもよい。言い換えれば、制御部３１は、加圧動作の実行中に検出された圧力センサ２９の検出結果と記憶部３３に記憶される基準情報に基づいて、前記ポンプ室が気泡を含むか否かを判定し、かつ、ポンプ室２１に含まれる気泡の大きさを判定する判定処理を実行してもよい。

（９）上述した実施形態１、２では、制御部３１は、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１／第２ポンプ室２１ｂの圧力の瞬時値に基づいて、判定処理を実行する。すなわち、判定処理の基礎とする検出結果は、所定の時点に検出された瞬時値ｄまたは最大値ｋである。ただし、これに限られない。例えば、判定処理の基礎とする検出結果は、所定の期間に検出された圧力の波形を含んでもよい。言い換えれば、判定処理の基礎とする検出結果は、所定の期間に検出された圧力の時系列データを含んでもよい。あるいは、判定処理の基礎とする検出結果は、所定の期間に検出された圧力の平均値を含んでもよい。例えば、判定処理の基礎とする検出結果は、圧力の瞬時値、圧力の波形および圧力の平均値の少なくともいずれかを含んでもよい。要するに、判定処理の基礎とする検出結果は、加圧動作の実行中に検出された、圧力の瞬時値、圧力の波形および圧力の平均値の少なくともいずれかを含んでもよい。言い換えれば、制御部３１は、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１／第２ポンプ室２１ｂの圧力の瞬時値、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１／第２ポンプ室２１ｂの圧力の波形、および、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１／第２ポンプ室２１ｂの圧力の平均値の少なくともいずれかに基づいて、判定処理を実行してもよい。なお、所定の期間は、加圧動作が実行される期間の全部または一部である。すなわち、所定の期間は加圧動作が実行される期間の少なくとも一部である。

決定処理の基礎とする検出結果についても、同様に変更してもよい。例えば、決定処理の基礎とする検出結果は、加圧動作の実行中に検出された、圧力の瞬時値、圧力の波形および圧力の平均値の少なくともいずれかを含んでもよい。例えば、制御部３１は、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１／第２ポンプ室２１ｂの圧力の瞬時値、圧力の波形、および、圧力の平均値の少なくともいずれかに基づいて、決定処理を実行してもよい。

判定処理の基礎とする検出結果に応じて、基準情報についても適宜に変更してもよい。決定処理の基礎とする検出結果に応じて、基準情報についても適宜に変更してもよい。例えば、基準情報は、波形Ａ、Ｂ、Ｇ、Ｈ、Ｉの少なくともいずれかを含んでもよい。

（１０）上述した実施形態１では、判定処理の基礎とする検出結果は、１つの瞬時値ｄである。ただし、これに限られない。判定処理の基礎とする検出結果は、複数の瞬時値を含んでもよい。すなわち、判定処理は、加圧動作の実行中に検出された、１つ、または、２つ以上の圧力の瞬時値に基づいて、実行されてもよい。言い換えれば、制御部３１は、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１の、１つ、または、２つ以上の圧力の瞬時値に基づいて、判定処理を実行してもよい。実施形態２についても、同様に変更してもよい。

決定処理の基礎とする検出結果についても、同様に変更してもよい。

（１１）上述した実施形態１、２では、基準情報は、波形Ａ、Ｂ、Ｇ、Ｈ、Ｉに基づいて決定される。ただし、これに限られない。基準情報は、加圧動作の実行中におけるポンプ室２１の圧力に関する情報に基づいて、決定されてもよい。

（１２）上述した実施形態２では、基準情報は下限値ｊを含む。ただし、これに限られない。例えば、基準情報は、さらに、上限値を含んでもよい。最大値ｋが下限値ｊ以上で、かつ、上限値以下である場合、判定処理は、第２ポンプ室２１ｂが気泡を含まないと判定してもよい。例えば、基準情報は、許容範囲を含んでもよい。加圧動作の実行中に検出された圧力センサ２９の検出結果が許容範囲内にある場合、判定処理は、第２ポンプ室２１ｂが気泡を含まないと判定してもよい。

（１３）上述した実施形態１は、判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定されたとき、排出動作を１回、実行する。ただし、これに限られない。すなわち、判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定されたとき、制御部３１は、排出動作を２回以上、実行させてもよい。より具体的には、判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定された後で、吐出動作の前に、制御部３１は、排出動作を２回以上、実行させてもよい。

（１４）上述した実施形態１において、排出動作による処理液Ｒの排出量を適宜に設定してもよい。例えば、判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定されたとき、制御部３１は、排出動作によって、ポンプ室２１の最大容積以上の処理液Ｒをポンプ室２１から排出させてもよい。より詳しくは、判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定された後で、吐出動作の前に、制御部３１は、１回または２回以上の排出動作によって、ポンプ室２１の最大容積以上の処理液Ｒをポンプ室２１から排出させてもよい。実施形態２についても、同様に変更できる。

例えば、判定処理においてポンプ室２１の気泡が比較的に大きいと判定されたとき、制御部３１は、排出動作によって、ポンプ室２１の最大容積以上の処理液Ｒをポンプ室２１から排出させてもよい。例えば、判定処理においてポンプ室２１の気泡が比較的に小さいと判定されたとき、制御部３１は、排出動作によって、ポンプ室２１の最大容積の２倍以上の処理液Ｒをポンプ室２１から排出させてもよい。実施形態２についても、同様に変更できる。

ここで、最大容積は、例えば、ピストン２７がポンプ室２１から最も遠い位置にあるときのポンプ室２１の容積である。

（１５）上述した実施形態１、２は、排出動作を実行する。ただし、これに限られない。すなわち、排出動作を実行しなくてもよい。例えば、判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定されたとき、制御部３１は処理液供給装置１１の動作を停止してもよい。処理液供給装置１１の停止後、手動によってポンプ室２１の気泡を除去してもよい。例えば、判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定されたとき、制御部３１は、判定処理の結果をユーザーに報知してもよい。

（１６）上述した実施形態１、２では、排出動作はポンプ室２１から気泡とともに処理液Ｒを排出する。ただし、これに限られない。例えば、排出動作は、ポンプ室２１から処理液Ｒを排出しなくてもよい。すなわち、排出動作は、ポンプ室２１から気泡のみを排出してもよい。

（１７）上述した実施形態１、２では、排出動作は、気泡とともに処理液Ｒを排出する。ただし、これに限られない。排出された処理液Ｒから気泡を除去し、気泡が除去された処理液Ｒを、ポンプ室２１に戻してもよい。

（１８）上述した実施形態１では、排出動作は、ポンプ室２１から排出管１６に気泡を出す動作である。ただし、これに限られない。排出動作を適宜に変更してもよい。例えば、液体供給装置１１がポンプ室２１に連通するフィルタを備える場合、排出動作を、フィルタを通じてポンプ室２１から気泡を出す動作に変更してもよい。本変形実施例によっても、ポンプ室２１の気泡がノズル７に流入することを好適に防止できる。

例えば、フィルタは吐出管１５上に設けられる。フィルタは、ポンプ室２１とノズル７の間に配置される。フィルタは、フィルタ本体と、フィルタ本体内の気体を排出するための排出口を備える。この場合、排出動作を、吐出管１５を通じてポンプ室２１からフィルタに気泡を送り、かつ、排出口を通じてフィルタから気泡を出す動作に変更してもよい。

（１９）上述した実施形態１では、制御部３１は、排出動作の前に副吸入動作を実行させる。ただし、これに限られない。例えば、制御部３１は、排出動作の後に副吸入動作を実行させてもよい。上述した実施形態２では、制御部３１は、排出動作の後に第１副吸入動作を実行させる。ただし、これに限られない。例えば、制御部３１は、排出動作の前に第１副吸入動作を実行させてもよい。上述した実施形態２では、制御部３１は、排出動作の後に第２副吸入動作を実行させる。ただし、これに限られない。例えば、制御部３１は、排出動作の前に第２副吸入動作を実行させてもよい。

（２０）上述した実施形態１では、処理液供給装置１１の動作は、副吸入動作を含む。ただし、これに限られない。例えば、副吸入動作を省略してもよい。上述した実施形態２では、処理液供給装置１１の動作は、第１副吸入動作と第２副吸入動作を含む。ただし、これに限られない。例えば、第１副吸入動作および第２副吸入動作の少なくともいずれかを省略してもよい。

（２１）上述した実施形態１において、副吸入動作による処理液Ｒの吸入量を適宜に設定してもよい。例えば、判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定されたとき、制御部３１は、副吸入動作によって、ポンプ室２１の最大容積以上の処理液Ｒをポンプ室２１に入れてもよい。より詳しくは、判定処理においてポンプ室２１が気泡を含むと判定された後で、吐出動作の前に、制御部３１は、１回または２回以上の副吸入動作によって、ポンプ室２１の最大容積以上の処理液Ｒをポンプ室２１に入れてもよい。実施形態２についても、同様に変更できる。

例えば、判定処理においてポンプ室２１の気泡が比較的に大きいと判定されたとき、制御部３１は、副吸入動作によって、ポンプ室２１の最大容積以上の処理液Ｒをポンプ室２１に入れてもよい。例えば、判定処理においてポンプ室２１の気泡が比較的に小さいと判定されたとき、制御部３１は、副吸入動作によって、ポンプ室２１の最大容積の２倍以上の処理液Ｒをポンプ室２１に入れてもよい。実施形態２についても、同様に変更できる。

（２２）上述した実施形態２では、処理液供給装置１１の動作は、パージ動作を含む。ただし、これに限られない。例えば、パージ動作を省略してもよい。本変形実施形態の場合、制御部３１は、第１吸入動作と第２吸入動作と吐出動作を、この順に実行させる。この一連の動作は、繰り返される。よって、制御部３１は、第２吸入動作と吐出動作と第１吸入動作を、この順に実行させる、と言うこともできる。例えば、制御部３１は、第２吸入動作の後で吐出動作の前の期間に、加圧動作および判定処理を実行させてもよい。例えば、制御部３１は、吐出動作の後で第１吸入動作の前の期間に、加圧動作および判定処理を実行してもよい。例えば、制御部３１は、吐出動作の後で第１吸入動作の前の期間、および、第２吸入動作の後で吐出動作の前の期間に、加圧動作および判定処理を実行してもよい。

（２３）上述した実施形態１、２では、ポンプ室２１と連通する開口２３−２５の数は、３つである。ただし、これに限られない。ポンプ室２１と連通する開口の数は、１つ、または、２つでもよい。本変形実施形態の場合、例えばポンプ室２１に接続される配管を分岐することによって、ポンプ室２１に連通する吸入流路と吐出流路と排出流路を形成できる。さらに、配管上に三方弁などを設けることによって、吸入流路と吐出流路と排出流路を適宜に切り換えることができる。あるいは、ポンプ室２１と連通する開口の数は、４つ以上であってもよい。

（２４）上述した実施形態１、２は、可動隔壁部材として、ダイヤフラム２６を例示した。ただし、これに限られない。可動隔壁部材は、例えば、チューブフラムまたはベローズであってもよい。

（２５）上述した実施形態１、２では、ダイヤフラム２６は、ポンプ室２１の一部を区画した。ただし、これに限られない。可動隔壁部材はポンプ室２１の全部を区画してもよい。

（２６）上述した実施形態１、２では、ピストン２７は、ダイヤフラム２６に接続する。ただし、これに限られない。ピストン２７は、ダイヤフラム２６に接触しなくてもよい。上述した実施形態１、２では、ピストン２７はダイヤフラム２６を直接的に押圧する。ただし、これに限られない。例えば、ピストン２７はダイヤフラム２６を間接的に押圧してもよい。例えば、ピストン２７は、間接液または作動流体を介して、ダイヤフラム２６を押圧してもよい。あるいは、ピストン２７は、ポンプ室２１（ポンプ室２１の処理液Ｒ）に接触してもよい。ピストン２７は、ポンプ室２１（ポンプ室２１の処理液Ｒ）を直接的に押圧してもよい。

（２７）上述した実施形態１、２では、可動部材としてピストン２７を例示する。ただし、これに限られない。可動部材は、例えば、ロッドまたはシャフトでもよい。

（２８）上述した実施形態１、２では、吸入管１４／配管５１は、処理液供給源１０に直接的に接続される。ただし、これに限られない。例えば、吸入管１４／配管５１は、処理液供給源１０に間接的に接続されてもよい。実施形態１、２では、吐出管１５／配管５４は、ノズル７に直接的に接続される。ただし、これに限られない。例えば、吐出管１５／配管５４は、ノズル７に間接的に接続されてもよい。

（２９）上述した各実施形態１、２および上記（１）から（２８）で説明した各変形実施形態については、さらに各構成を他の変形実施形態の構成に置換または組み合わせるなどして適宜に変更してもよい。

１ … 基板処理装置
３ … 保持部
７ … ノズル
１３ … ポンプ装置
１３ａ … 第１ポンプ装置
１３ｂ … 第２ポンプ装置
１４ … 吸入管
１５ … 吐出管
１６ … 排出管
１７−１９ … 弁
２１ … ポンプ室
２１ａ … 第１ポンプ室（ポンプ室）
２１ｂ … 第２ポンプ室（ポンプ室）
２２ … 筐体
２６ … ダイヤフラム（可動隔壁部材）
２７ … ピストン（可動部材）
２７ａ … 第１ピストン（可動部材、第１可動部材）
２７ｂ … 第２ピストン（可動部材、第２可動部材）
２９ … 圧力センサ
２９ａ … 第１圧力センサ（圧力センサ、第１圧力センサ）
２９ｂ … 第２圧力センサ（圧力センサ、第２圧力センサ）
３１ … 制御部
３３ … 記憶部
５１ … 配管（第１吸入管）
５２ … 配管（第１吐出管）
５３ … 配管（第２吸入管）
５４ … 配管（第２吐出管）
５５ … 配管（戻り管）
５６ … 配管（排出管）
６１−６６ … 弁
ａ２ … 瞬時値（基準情報）
ｃ … 閾値（基準情報）
ｄ … 瞬時値（圧力センサの検出結果）
ｊ … 下限値（基準情報）
ｋ … 最大値（圧力センサの検出結果）
ｍ … 所定値（基準情報）
Ｎ、ｎ１、ｎ２ … 決定処理において決定される回数
Ｒ … 処理液（液体）
Ｗ … 基板

Claims (20)

1. 液体供給装置において、
   液体を収容するポンプ室と、
   前記ポンプ室に対して移動可能に設けられ、前記ポンプ室を押圧する可動部材と、
   前記ポンプ室の圧力を検出する圧力センサと、
   前記ポンプ室を閉塞可能な弁と、
   基準情報を記憶する記憶部と、
   前記圧力センサによって検出された検出結果を取得する制御部と、
   を備え、
   前記制御部は、前記可動部材と前記弁を制御することによって加圧動作を実行させ、
   前記加圧動作は、前記弁が前記ポンプ室を閉塞している状態において前記可動部材が前記ポンプ室を押圧することより、前記ポンプ室の圧力を高くする動作であり、
   前記制御部は、さらに、前記加圧動作の実行中に検出された前記検出結果と前記記憶部に記憶される前記基準情報とに基づいて、前記ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する判定処理を実行する液体供給装置。
2. 請求項１に記載の液体供給装置において、
   前記制御部は、前記加圧動作の実行中における前記ポンプ室の圧力の瞬時値、および、前記加圧動作の実行中における前記ポンプ室の圧力の波形の少なくともいずれかに基づいて、前記判定処理を実行する
   液体供給装置。
3. 請求項１または２に記載の液体供給装置において、
   前記判定処理は、さらに、前記加圧動作の実行中に検出された前記検出結果と前記基準情報に基づいて、前記ポンプ室に含まれる気泡の大きさを判定する
   液体供給装置。
4. 請求項１から３のいずれかに記載の液体供給装置において、
   前記ポンプ室に連通する吐出流路を備え、
   前記制御部は、前記可動部材と前記弁を制御することによって、前記ポンプ室から前記吐出流路に液体を出す吐出動作を実行させ、
   前記制御部は、１回の前記吐出動作を実行するごとに、前記加圧動作および前記判定処理を実行する
   液体供給装置。
5. 請求項４の液体供給装置において、
   前記制御部は、前記吐出動作の終了と同時に前記加圧動作を開始させ、前記吐出動作と前記加圧動作にわたって前記可動部材による前記ポンプ室への押圧を継続させる
   液体供給装置。
6. 請求項４または５の液体供給装置において、
   前記判定処理において前記ポンプ室が気泡を含まないと判定されたとき、前記制御部は、前記加圧動作の終了と同時に前記吐出動作を開始させ、前記加圧動作と前記吐出動作にわたって前記可動部材による前記ポンプ室への押圧を継続させる
   液体供給装置。
7. 請求項４から６のいずれかに記載の液体供給装置において、
   前記ポンプ室に連通する排出流路を備え、
   前記制御部は、前記可動部材と前記弁を制御することによって前記ポンプ室から前記排出流路に気泡を出す排出動作を実行させ、
   前記判定処理において前記ポンプ室が気泡を含まないと判定されたとき、前記制御部は前記吐出動作を実行させ、
   前記判定処理において前記ポンプ室が気泡を含むと判定されたとき、前記制御部は前記排出動作を実行させる
   液体供給装置。
8. 請求項７の液体供給装置において、
   前記判定処理において前記ポンプ室が気泡を含むと判定されたとき、前記制御部は前記排出動作を２回以上、繰り返し実行させる
   液体供給装置。
9. 請求項７または８の液体供給装置において、
   前記制御部は、さらに、前記加圧動作の実行中に検出された前記検出結果と前記基準情報に基づいて、前記排出動作を実行する回数を決定する決定処理を実行し、
   前記制御部は、前記決定処理において決定された回数だけ、前記排出動作を繰り返し実行させる
   液体供給装置。
10. 基板に処理を行う基板処理装置において、
    基板を保持する保持部と、
    請求項１から９のいずれかに記載の前記液体供給装置と、
    前記ポンプ室に連通され、前記保持部に保持される基板に液体を供給するノズルと、
    を備えた基板処理装置。
11. 液体を供給する液体供給装置において、
    液体を収容する第１ポンプ室と、
    前記第１ポンプ室に対して移動可能に設けられ、前記第１ポンプ室を押圧する第１可動部材と、
    液体を収容する第２ポンプ室と、
    前記第２ポンプ室に対して移動可能に設けられ、前記第２ポンプ室を押圧する第２可動部材と、
    前記第２ポンプ室の圧力を検出する圧力センサと、
    液体を濾過するフィルタと、
    前記第１ポンプ室に接続され、前記第１ポンプ室に液体を入れる第１吸入流路と、
    前記第１ポンプ室と前記フィルタに接続され、前記第１ポンプ室から前記フィルタに液体を送る第１吐出流路と、
    前記フィルタと前記第２ポンプ室に接続され、前記フィルタから前記第２ポンプ室に液体を送る第２吸入流路と、
    前記第２ポンプ室に接続され、前記第２ポンプ室から液体を出す第２吐出流路と、
    前記第１ポンプ室と前記第２ポンプ室に接続され、前記第２ポンプ室から前記第１ポンプ室に液体を戻す戻り流路と、
    前記フィルタに接続され、前記フィルタから気体を排出する排出流路と、
    前記第１吸入流路、前記第１吐出流路、前記第２吸入流路、前記第２吐出流路、前記戻り流路および前記排出流路を開閉する複数の弁と、
    基準情報を記憶する記憶部と、
    前記圧力センサによって検出された検出結果を取得する制御部と、
    を備え、
    前記制御部は、前記第２可動部材と前記弁を制御することによって加圧動作を実行させ、
    前記加圧動作は、前記弁が前記第２ポンプ室を閉塞している状態において前記第２可動部材が前記第２ポンプ室を押圧することにより、前記第２ポンプ室の圧力を高くする動作であり、
    前記制御部は、さらに、前記加圧動作の実行中に検出された前記検出結果と前記記憶部に記憶される前記基準情報とに基づいて、前記第２ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する判定処理を実行する
    液体供給装置。
12. 請求項１１に記載の液体供給装置において、
    前記制御部は、前記第１可動部材と前記第２可動部材と前記弁を制御することによって第１吸入動作と第２吸入動作と吐出動作を実行させ、
    前記第１吸入動作は、前記第１吸入流路から前記第１ポンプ室に液体を入れる動作であり、
    前記第２吸入動作は、前記第１吐出流路、前記フィルタおよび前記第２吸入流路を通じて、前記第１ポンプ室から前記第２ポンプ室に液体を入れる動作であり、
    前記吐出動作は、前記第２ポンプ室から前記第２吐出流路に液体を出す動作であり、
    前記制御部は、前記第２吸入動作と前記吐出動作と前記第１吸入動作を、この順に実行させ、
    前記制御部は、前記第２吸入動作の後で前記吐出動作の前の第１期間、および、前記吐出動作の後で前記第１吸入動作の前の第２期間の少なくともいずかに、前記加圧動作と前記判定処理を実行する
    液体供給装置。
13. 請求項１１に記載の液体供給装置において、
    前記制御部は、前記第１可動部材と前記第２可動部材と前記弁を制御することによって第１吸入動作と第２吸入動作と戻し動作と吐出動作を実行させ、
    前記第１吸入動作は、前記第１吸入流路から前記第１ポンプ室に液体を入れる動作であり、
    前記第２吸入動作は、前記第１吐出流路、前記フィルタおよび前記第２吸入流路を通じて、前記第１ポンプ室から前記第２ポンプ室に液体を入れる動作であり、
    前記戻し動作は、前記戻り流路を通じて前記第２ポンプ室から前記第１ポンプ室に液体を戻す動作であり、
    前記吐出動作は、前記第２ポンプ室から前記第２吐出流路に液体を出す動作であり、
    前記制御部は、前記第２吸入動作と前記戻し動作と前記吐出動作と前記第１吸入動作を、この順に実行させ、
    前記制御部は、前記戻し動作の後で前記吐出動作の前の第１期間、および、前記吐出動作の後で前記第１吸入動作の前の第２期間の少なくともいずかに、前記加圧動作と前記判定処理を実行する
    液体供給装置。
14. 請求項１１から１３のいずれかに記載の液体供給装置において、
    前記制御部は、前記第１可動部材と前記第２可動部材と前記弁を制御することによって排出動作を実行させ、
    前記排出動作は、前記戻り流路を通じて前記第２ポンプ室から前記第１ポンプ室に気泡を戻し、前記第１吐出流路を通じて前記第１ポンプ室から前記フィルタに気泡を送り、かつ、前記フィルタから前記排出流路に気泡を排出する動作であり、
    前記判定処理において前記第２ポンプ室が気泡を含むと判定されたとき、前記制御部は前記排出動作を実行させる
    液体供給装置。
15. 液体を供給する液体供給装置において、
    液体を収容する第１ポンプ室と、
    前記第１ポンプ室に対して移動可能に設けられ、前記第１ポンプ室を押圧する第１可動部材と、
    前記第１ポンプ室の圧力を検出する第１圧力センサと、
    液体を収容する第２ポンプ室と、
    前記第２ポンプ室に対して移動可能に設けられ、前記第２ポンプ室を押圧する第２可動部材と、
    液体を濾過するフィルタと、
    前記第１ポンプ室に接続され、前記第１ポンプ室に液体を入れる第１吸入流路と、
    前記第１ポンプ室と前記フィルタに接続され、前記第１ポンプ室から前記フィルタに液体を送る第１吐出流路と、
    前記フィルタと前記第２ポンプ室に接続され、前記フィルタから前記第２ポンプ室に液体を送る第２吸入流路と、
    前記第２ポンプ室に接続され、前記第２ポンプ室から液体を出す第２吐出流路と、
    前記第１ポンプ室と前記第２ポンプ室に接続され、前記第２ポンプ室から前記第１ポンプ室に液体を戻す戻り流路と、
    前記フィルタに接続され、前記フィルタから気体を排出する排出流路と、
    前記第１吸入流路、前記第１吐出流路、前記第２吸入流路、前記第２吐出流路、前記戻り流路、前記排出流路を開閉する複数の弁と、
    基準情報を記憶する記憶部と、
    前記第１圧力センサによって検出された第１検出結果を取得する制御部と、
    を備え、
    前記制御部は、前記第１可動部材と前記弁を制御することによって第１加圧動作を実行させ、
    前記第１加圧動作は、前記弁が前記第１ポンプ室を閉塞している状態において前記第１可動部材が前記第１ポンプ室を押圧することより、前記第１ポンプ室の圧力を高くする動作であり、
    前記制御部は、さらに、前記第１加圧動作の実行中に検出された前記第１検出結果と前記記憶部に記憶される前記基準情報とに基づいて、前記第１ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する第１判定処理を実行する
    液体供給装置。
16. 請求項１５に記載の液体供給装置において、
    前記制御部は、前記第１可動部材と前記弁を制御することによって第１排出動作を実行させ、
    前記第１排出動作は、前記第１吐出流路を通じて前記第１ポンプ室から前記フィルタに気泡を送り、かつ、前記フィルタから前記排出流路に気泡を排出する動作であり、
    前記第１判定処理において前記第１ポンプ室が気泡を含むと判定されたとき、前記制御部は前記第１排出動作を実行させる
    液体供給装置。
17. 請求項１５または１６に記載の液体供給装置において、
    前記第２ポンプ室の圧力を検出する第２圧力センサを備え、
    前記制御部は、前記第２圧力センサによって検出された第２検出結果を取得し、
    前記制御部は、前記第２可動部材と前記弁を制御することによって第２加圧動作を実行させ、
    前記第２加圧動作は、前記弁が前記第２ポンプ室を閉塞している状態において前記第２可動部材が第２ポンプ室を押圧することにより、前記第２ポンプ室の圧力を変更する動作であり、
    前記制御部は、さらに、前記第２加圧動作の実行中に検出された前記第２検出結果と前記記憶部に記憶される前記基準情報とに基づいて、前記第２ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する第２判定処理を実行する
    液体供給装置。
18. 請求項１７に記載の液体供給装置において、
    制御部は、前記第１可動部材と前記第２可動部材と前記弁を制御することによって第２排出動作を実行させ、
    前記第２排出動作は、前記戻り流路を通じて前記第２ポンプ室から前記第１ポンプ室に気泡を戻し、前記第１吐出流路を通じて前記第１ポンプ室から前記フィルタに気泡を送り、かつ、前記フィルタから前記排出流路に気泡を排出する動作であり、
    前記第２判定処理において前記第２ポンプ室が気泡を含むと判定されたとき、前記制御部は前記第２排出動作を実行させる
    液体供給装置。
19. 液体供給方法において、
    液体を収容するポンプ室が閉塞されている状態において前記ポンプ室を押圧することにより、前記ポンプ室の圧力を高くする加圧工程と、
    前記加圧工程の実行中に前記ポンプ室の圧力を検出する圧力検出工程と、
    前記圧力検出工程によって検出された検出結果に基づいて、前記ポンプ室が気泡を含むか否かを判定する判定工程と、
    を備える液体供給方法。
20. 請求項１９に記載の液体供給方法において、
    前記判定工程において前記ポンプ室が気泡を含まないと判定されたとき、前記ポンプ室の液体を吐出流路に出す吐出工程と、
    前記判定工程において前記ポンプ室が気泡を含むと判定されたとき、前記ポンプ室の気泡を排出流路に出す排出工程と、
    を備える液体供給方法。