JP2008121703A

JP2008121703A - 弁

Info

Publication number: JP2008121703A
Application number: JP2006302831A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Hanada; 敏広花田; Kenro Yoshino; 研郎吉野
Original assignee: Asahi Organic Chemicals Industry Co Ltd
Current assignee: Asahi Yukizai Corp
Priority date: 2006-11-08
Filing date: 2006-11-08
Publication date: 2008-05-29

Abstract

【課題】吸引開始時から応答性良く一定流量で一定の吸引圧力による吸引を行うことができ、コンパクトで組み立て容易な弁を提供することを目的とする。
【解決手段】上部に弁室（５）が設けられ、弁室に連通する連通口（８）の周縁部に弁座（７）が形成され、連通口に連通する第一流路（９）と、弁室に連通する第二流路（１１）と、第一、第二流路を連通させるオリフィス部（１４）とを有する本体（１）と、弁座に圧接／離間されるダイヤフラム（１６）と、その外周縁を本体上部と挟持固定する蓋体（２１）とを具備する弁において、ダイヤフラムを一定の力で上方に付勢する付勢体を有し、蓋体下部にダイヤフラム上面と形成される空間部（２４）が設けられ、蓋体に空間部と外部とを連通する通気孔（２５）が設けられている。第一流路と第二流路とオリフィス部が略同一軸線上に配置され、付勢体はバネ（２７）とすることが好ましい。
【選択図】図１

Description

本発明は、オリフィスを有して一定流量の流体を流すことのできる弁に関するものであり、さらに詳しくは、主に負圧で流体が流れる弁において、吸引開始時にはオリフィス以外の流路を開放して流路の開口面積が大きく得られ一定時間後にオリフィス以外の流路を自動的に閉止して流路をオリフィスのみにすることで吸引開始時から応答性良く一定流量で一定の吸引圧力による吸引を行うことができ、コンパクトで組み立て容易な弁に関するものである。

従来、射出成型品の取出機には製品を真空吸着する機構が使用されていることが多い。一例として、図６に示すような射出成型品取出機及び取出システムに用いられる真空吸着機構があった（例えば、特許文献２参照）。その構成は、取出機の製品を取り出す部分の先端に弾性体からなる吸着パッド１０１が設けられ、この吸着パット１０１が真空源に配管接続された構成のものであり、その効果は、真空パッド１０１を製品１０２に押し付けた状態で吸着パッド１０１内部を減圧することで、製品１０２を吸着するものである。また、射出成型機が多数ある場合には、取出機も多数設置される。このときの各々の取出機に接続される真空源からの配管は、図７に示すように、真空ポンプ１０３から各々の取出機近傍まで主配管１０７が接続され、主配管１０７から多数に副配管１０８分岐して、各々の取出機の副配管１０８内で真空度を調節する真空レギュレータ１０４が接続され、さらにバルブ１０５を介して製品１０２を吸着する吸着パッド１０６が接続されている。製品を吸着する際には、予め配管１０７、１０８内部を減圧させておき、バルブ１０５を開いて吸着パッド１０６内部を減圧させて製品１０２を吸着させる。

ここで、図７の構成において吸着パッド１０６にひび割れや変形などの破損が発生すると、バルブ１０５を開いた際に、破損が発生した箇所から外部の空気を吸引してしまい、配管中に流れる空気の流量が増加してしまうので充分な製品の吸着ができなくなる。さらに破損が進むと、配管中に流れる空気の流量が過大となり、真空レギュレータ１０４で調圧できなくなるばかりか、主配管１０７の真空度が下がってしまい、他の取出機に接続された正常な吸着パッド１０６の真空度が不十分となり、配管接続されている取出機全体で吸着ミスが多発する恐れがあるという問題があった。

この問題を防ぐためには、流量を制限するためのオリフィスを吸着パッド１０６の手前の配管内に設ける方法があった。しかしながら、オリフィスによって流量が制限されているため、バルブ１０５を開いて吸着パッド１０６内部を減圧する際に、吸着パッド１０６内部の空気が減圧される時間がオリフィスがなかった時に比べて長くなり、設定された圧力に到達するまでに時間がかかる。そのため、製品を吸着保持するまでの時間が長くかかり、生産効率の悪化を招くという問題や、流量を制限しすぎると製品１０２や吸着パッド１０６の微細な変形によって確実な吸着ができなくなり、吸着ミスが発生し易くなるという問題があった。これを改善するには、吸引開始時には流量を多く流すことを可能にして配管内を短時間で減圧させるとともに、一定時間後には自動的に流路をオリフィスのみに切り替えることで一定流量に安定させることのできる弁が求められる。これはニードル弁などを用いて一定時間後に特定の開度に調節するように自動制御を行うことも可能であるが、開度を自動で制御するための制御部を新たに設け制御プログラムを設定するなど、制御に必要な部材が多くなり、部材のコストがかかる問題があった。

上記問題点を解決する方法として、従来では図８に示すような定流量リーク弁を用いる方法が考えられる（例えば、特許文献２参照）。その構成は、弁本体１１１の一端に設けた流入口１１２から延びる流入流路１１３と、他端に設けた流出口１１４から延びる流出流路１１５とが略直線上に配置されており、流入流路１１３と流出流路１１５との間にある隔壁１１６に連通孔１１７を設けた定流量リーク弁において、連通孔１１７は中空のパイプ１１８を隔壁１１６に貫通して設けることによって形成するものであった。その効果は、連通孔１１７として微小孔を加工する代わりに市販のパイプ１１８を用いるのでこの連通孔１１７の形成が容易であり、必要リーク流量の変更が簡単にでき、安価でかつ幅の広い流量範囲の定流量リーク弁を提供することができるものであった。なお、この定流量リーク弁は、正圧の流量制御を目的としているが、本発明の主な目的である負圧としても用いることも可能な構成である。

特開２００３−２３６８９９号公報（図４）特開平７−３５２４８号公報（図１）

しかしながら、前記従来の定流量リーク弁は、上記動作を行うためにはメタルダイヤフラム１１９を開閉駆動させる駆動部が必要なため動力源を用意する必要があり、また定流量リーク弁自体が大きく重量が重くなるという問題があった。さらに部品点数が多く組み立てが煩雑となり、バルブの製造コストが高くなるという問題があった。

本発明は、以上のような従来技術の問題点に鑑みなされたものであり、主に負圧で流体が流れる弁において、吸引開始時にはオリフィス以外の流路を開放して流路の開口面積が大きく得られ一定時間後にオリフィス以外の流路を自動的に閉止して流路をオリフィスのみにすることで吸引開始時から応答性良く一定流量で一定の吸引圧力による吸引を行うことができ、コンパクトで組み立て容易な弁を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための本発明は、上部に弁室が設けられ、該弁室に連通する連通口の周縁部に弁座が形成され、該連通口に連通する第一流路と、該弁室に連通する第二流路と、該第一流路と該第二流路を連通させるオリフィス部とを有する本体と、該弁座に圧接または離間されるダイヤフラムと、該ダイヤフラムの外周縁を該本体上部と挟持固定する蓋体とを具備する弁において、該ダイヤフラムを一定の力で上方に付勢する付勢体を有し、該蓋体下部に該ダイヤフラム上面と形成される空間部が設けられ、該蓋体に該空間部と外部とを連通する通気孔が設けられたことを第１の特徴とする。
また、前記第一流路と、前記第二流路と、前記オリフィス部が略同一軸線上に配置されてなることを第２の特徴とする。
また、前記付勢体がバネであり、前記弁座が前記弁室底面の中央から上方へ突出した突起部の上端面に形成され、該バネが該突起部の外周に該弁室底面と前記ダイヤフラム下面とで挟持されてなることを第３の特徴とする。
また、前記本体に、前記第一流路と前記第二流路とを連通させる雌ねじ孔が設けられ、該雌ねじ孔に螺合されるボルト体の中央に前記オリフィス部が設けられたことを第４の特徴とする。
さらに、前記蓋体の通気孔の直径が０．０３ｍｍ〜１mmで設けられたことを第５の特徴とする。

本発明において吸引圧力とは弁の流路内が負圧となり吸引が行われた時の流路内の圧力のことを言い、本発明の試験においては弁の第一流路９側に接続される真空ポンプ（図示せず）等により吸引が行われた時の弁の一次側（第一流路９側）の流路における負圧の圧力のことを言う。

また、本発明の弁を流れる流体は、特に空気を負圧によって吸引することが好適なものとして挙げられるが、流体は吸引が行われるのであれば気体でも液体でも良く、特に限定されない。

本発明は以上のような構造をしており、以下の優れた効果が得られる。
（１）弁を流れる流体の流量は、弁が開状態の時には大きな流量を流すことができ、弁が閉状態の時にはオリフィス部によって一定流量を流すことができる。
（２）吸引を開始して一定時間は弁が開状態であり、大きな流量を流すことで流路全体を短時間で減圧させることができ、弁室が減圧されると自動的にダイヤフラムがゆっくりと閉止されて、弁が閉状態になるとオリフィス部によって一定流量が流れるように流体の流れを制限することができる。
（３）吸引を開始してからタイムラグをほとんど生じることなく応答性良く設定された吸引圧力で安定した吸引を行うことができる。
（４）オリフィス部の孔径を変えたボルト体を交換することで容易に一定する流量を変更することができる。
（５）弁を構成する部品点数が少なく簡単な構成なので、弁自体を非常に軽量でコンパクトに設けることができ、容易に組み立てを行うことができる。

以下、本発明の第一の実施形態を図面を参照して説明するが、本発明が本実施形態に限定されないことは言うまでもない。図１は本発明の実施形態である弁の開状態を示す縦断面図である。図２は図１の弁の閉状態を示す縦断面図である。図３は流量と圧力変化の評価を行うための試験装置を示す概念構成図である。図４は図３の試験装置に図１の弁を用いた時の応答特性を示すグラフである。図５は図３の試験装置にオリフィスのみを用いた時の応答特性を示すグラフである。

図１において１は塩化ビニル樹脂（以下、ＰＶＣと記す）製の本体であり、本体１の上部には、内周面に雌ねじ部２が設けられた環状突部３と、環状突部３内周に環状溝４を有する。また上面には、環状溝４内周壁と後記ダイヤフラム１６と共に形成される弁室５が設けられている。弁室５の底面中央は上方へ突出した突起部６が設けられ、突起部６の中央には第一流路９に連通する連通口８が設けられており、突起部６の上端面の連通口８周縁部には弁座７が形成されている。また、弁室５には第二流路１１に連通する連通口１０が設けられている。本体１には、弁室５以外で第一流路９と第二流路１１とを連通する雌ねじ孔１２が設けられており、後記オリフィス部１４が形成されたボルト体１３が螺合されている。

本発明において本体１の材質は、必要物性を満たしていれば、ＰＶＣ、ＡＢＳ樹脂、ポリビリニデンフルオライド（以下、ＰＶＤＦと記す）、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥと記す）、ポリクロロトリフルオロエチレン（以下、ＰＣＴＦＥと記す）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（以下、ＰＦＡと記す）、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン（以下、ＰＥＥＫと記す）などの樹脂や、鉄、銅、アルミニウム、ステンレス、真鍮などの金属でも良く、特に限定されない。

１３はＰＥＥＫ製のボルト体であり、中央を貫通したφ０．５ｍｍのオリフィス部１４が設けられ、外周に雄ねじ部１５が設けられている。ボルト体１３の雄ねじ部１５は前記本体１の雌ねじ孔１２に螺合されることで、オリフィス部１４がオリフィスとして作用する。このとき前記本体１の第一流路９と、第二流路１１と、ボルト体１３のオリフィス部１４は略同一軸線上に配置されている。

また、本体１に設けられたオリフィス部１４は、本体１に直接第一流路９と第二流路１１を連通させる連通孔を設けてオリフィス部１４としても良く、図１に示すようにオリフィス部１４が設けられたボルト体１３を第一流路９と第二流路１１とを連通する雌ねじ孔１２に螺合させた構成にしても良い。ボルト体１３を設ける場合、孔径を変えたオリフィス部１４を交換することでオリフィス部１４でコントロールする流量を容易に変更することができるため好適である。

１６はＥＰＤＭ製のダイヤフラムであり、中央が厚肉に設けられ下面に前記弁座７と圧接、離間されて弁の開閉を行う弁体１７を有する中央部１８と、中央部１８の外周に延設された膜部１９と、膜部１９の外周縁に前記本体１の環状溝４に嵌合する環状係合部２０とを有している。

本発明においてダイヤフラム１６の材質は、エチレンプロピレンゴム（以下、ＥＰＤＭと記す）、ニトリルゴム、スチレンブタジエンゴム、フッ素ゴムなどのゴム製であっても良く、ＰＴＦＥ、ＰＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、ＰＦＡなど繰り返し疲労特性の良いフッ素樹脂製であっても良い。ダイヤフラム１６がゴム製の場合、ダイヤフラム１６内にビニロン、ナイロン、ポリエステルなどの強度の高い補強布が含まれても良い。

２１はＰＶＣ製の蓋体であり、外周に前記本体１の環状突部３に設けられた雌ねじ部２と螺合する雄ねじ部２２が設けられ、下部には底面に開口した凹部２３が設けられている。また、凹部２３の内周面と前記ダイヤフラム１６の上面とで空間部２４が形成され、空間部２４と外部とを連通させるφ０．１mmの通気孔２５が形成されている。また、蓋体２１の底面には円環状リブ部２６が設けられ、前記ダイヤフラム１６の環状係合部２０を蓋体２１と本体１とで螺合により挟持固定されている。このとき円環状リブ部２６が環状係合部２０を押圧するので、ダイヤフラム１６と蓋体２１と本体１とのシール性を向上させる。

２７は付勢体としてのＳＵＳ製のバネであり、このように、本発明において付勢体はバネであることが望ましい。本体１の突起部６に嵌挿した状態でダイヤフラム１６の中央部１８下面と弁室５底面との間で支承され、ダイヤフラム１６を上方に付勢している。

バネ２７の装着方法は、図１に示すように弁室５底面とダイヤフラム１６下面とで挟持させてバネ２７の弾性によりダイヤフラム１６を上方に付勢するように設置すると良く、組み立てが容易で弁をコンパクトに設けることができるので好適である。また、バネ２７を空間部２４内に位置させて上方からバネ２７の弾性によりダイヤフラム１６を上方へ引張るように付勢するように（図示せず）設けて、流路内にバネ２７を設置せずに流体がバネ２７に直接当たらないようにしても良い。また、付勢体は圧力室内に正圧（圧縮空気など）や負圧を発生させることにより付勢される力を用いても良い。これは例えば空間部２４内を負圧にすることでダイヤフラム１６を上方に付勢させて吸引開始に合わせて負圧を停止させるようにしても良く、圧縮空気を供給することによりダイヤフラム１６を上方に付勢するように（図示せず）に設けても良い。

次に、図1、図２に基づいて本発明の弁の作動を説明する。本実施形態の弁の第一流路９側に接続される流路に、上流より真空ポンプ（図示せず）と開閉弁（図示せず）を接続し、第二流路１１側から弁を通って吸引が行われる構成にする。

まず、弁の第一流路９側が減圧されずに弁内部に圧力がかかっていない状態では、ダイヤフラム１６がバネ２７によって上方に付勢され、弁体１７は弁座７から離間して弁は開状態になる（図１の状態）。

次に、開閉弁（図示せず）を閉にした状態で真空ポンプ（図示せず）を起動させて暫くしてから開閉弁を開にして吸引を行うと、弁は開状態であるため、弁二次側の流体が、弁座７とオリフィス部１４との両方を通って吸引され、大きな流量で弁を通過し始める。

ここで、吸引を続けると、弁室５内部の真空度が増加し、ダイヤフラム１６に加わる吸引圧力による下方向の力が増加する。その力が、バネ２７のダイヤフラム１６を上方に付勢する力より大きくなると、ダイヤフラム１６は下方向へと変位し、空間部２４の体積が増加する。しかしながら、空間部２４へ流入する外気量は、通気孔２５により制限されているため、空間部２４の体積変化は緩慢なものとなり、ダイヤフラム１６はゆっくりとした速度で変位し、十分な時間が経過した後に弁閉となる。そのため、ダイヤフラム１６の弁体１７が、弁座７に当接するまでの時間を遅延させることができ、その間は、二次側の流体が弁を大きな流量で通過することができる。

さらに吸引が続くと、弁はすでに閉状態であるため、二次側の流体はオリフィス部１４のみを通過して流れるため、流量は制限された状態で一定に安定する。

ここで、蓋体２１の通気孔２５の直径は０．０３ｍｍ〜１mmで設けられたことが望ましく、０．１ｍｍ〜１ｍｍであることがより望ましい。ダイヤフラム１６が下方向へ移動する速度が遅すぎてオリフィス部１４で流量を一定にするまでの時間を長くさせないために０．０３ｍｍ以上である必要があり、ダイヤフラム１６が下方向へ移動する速度が速くて二次側の減圧が不十分なうちに弁閉することを抑えるために１ｍｍ以下である必要がある。また、通気孔２５は孔の合計面積が直径１ｍｍの面積以内であれば複数設けても良く、通気孔２５には布、綿、スポンジなどでフィルターを設けても良い。

以上のことから、弁を流れる流体の流量は、吸引を開始して一定時間は大きな流量を流すことで流路全体を応答性良く短時間で減圧させることができ、弁閉後にはオリフィス部１４によって一定流量が流れることになる。この動作により、本発明の弁は吸引開始時からタイムラグがほとんど生じることなく応答性良く設定された吸引圧力で吸引することができ、さらに、一定時間後には過大な流体の通過を制限することができる。
これは、例えば射出成型品の取出機で製品を真空吸着して保持するような用途などで好適に用いられ、吸引開始時に充分な吸引圧力を得ることができるので吸着ミスが起こることを防止することができる。なお、本発明の弁は通気孔２５から空間部２４内に圧縮空気を供給することでダイヤフラム１６の開閉を行っても良い。この場合、流体は正圧と負圧の両方で用いることができる。

また、本発明の弁は負圧に対して自動的に弁の開度を制御できるにもかかわらず、部品点数が５つのみと少なく簡単な構成なので、弁自体を軽量でコンパクトに設けることができ、組み立てが非常に容易である。

また、本実施形態においてオリフィス部１４は、ボルト体１３に設けられた構成であるため、ボルト体１３のボルト頭の外径を第一流路９または第二流路１１の内径より小径に設けることで本体１より着脱自在となる。そのため、要求される流量に応じてオリフィス部１４の径を変えたボルト体１３を選択して付け変えることで幅広い流量範囲で使用することができる。

また、本実施形態において、第一流路９と第二流路１１とオリフィス部１４が略同一軸線上に配置されていると、閉弁した後の流体の流れに対して無駄な流体の流れがなくなり、流体抵抗が抑えられるため、より流量が安定するので好適である。また、オリフィス部１４がボルト体１３に設けられてた構成であれば、第一流路９または第二流路１１からボルト体１３の着脱を容易に行うことができる。

次に、図３に示すように本発明の弁を用いて、ニードル弁２８、流量計３０、二次側圧力センサ３１、試験に用いる弁３２、一次側圧力センサ３３、真空レギュレータ３４、開閉弁３６、真空ポンプ３７をこの順番で配管接続し、ニードル弁２８と流量計３０の間の配管を分岐させて開閉弁２９を接続し、真空レギュレータ３４と開閉弁３６の間の配管を分岐させて開閉弁３５を接続し、流量計３０、一次側圧力センサ３３、二次側圧力センサ３１にそれぞれ配線接続して流量、圧力を測定器３８で経時的に測定できる試験装置を用いて、以下の要領で試験を行った。なお、本試験装置の流量計３０は（株）キーエンス製デジタル流量センサ『ＦＤ−Ｖ４０』、一次側圧力センサ３３および二次側圧力センサ３１は（株）キーエンス製デジタル圧力センサ『ＡＰ−Ｖ４０』を使用して測定を行った。

＜試験手順＞
（１）図３の試験装置において、開閉弁３６を開にして、開閉弁２９と開閉弁３５を閉にした状態で、真空ポンプ３７を作動させて暫くして真空ポンプ３７の動作が安定した後、ニードル弁２８の開度を調節して流量計３０の測定値が４００ｍＬ／ｍｉｎになるように吸引する流体の流量を設定し、その後、真空レギュレータ３４を操作して一次側圧力センサ３３の測定値が試験で行う吸引圧力の設定値と同じになるよう設定する。
（２）開閉弁３６を閉にした後、開閉弁２９と開閉弁３５を開にして、試験装置の配管内の圧力を開放する。
（３）開閉弁２９と開閉弁３５とを閉にするのと開閉弁３６を開にするのを同時に行い、この時点を０秒として試験装置による吸引を開始し、流量計３０、一次側圧力センサ３３、二次側圧力センサ３１で測定された流量、一次側圧力、二次側圧力の経時変化を測定器３８に記録させる。

＜実験例１＞
図３の試験装置において配管の内径を４ｍｍとし、弁３２にオリフィス部１４をφ０．５ｍｍとした図１に示す本発明の弁を設置し、吸引圧力を−１０ｋＰａとしたときの流量、一次側圧力、二次側圧力の応答特性の試験を行った。試験結果を図４に示す。

＜実験例２＞
実験例１において、吸引圧力を−２０ｋＰａとしたときの流量、一次側圧力、二次側圧力の応答特性の試験を行った。試験結果を図４に示す。

＜実験例３＞
実験例１において、吸引圧力を−３０ｋＰａとしたときの流量、一次側圧力、二次側圧力の応答特性の試験を行った。試験結果を図４に示す。

＜比較例１＞
図３の試験装置において配管の内径を４ｍｍとし、弁３２にφ０．５ｍｍのオリフィスを設置し、吸引圧力を−１０ｋＰａとしたときの流量、一次側圧力、二次側圧力の応答特性の試験を行った。試験結果を図５に示す。

＜比較例２＞
比較例１において、吸引圧力を−２０ｋＰａとしたときの流量、一次側圧力、二次側圧力の応答特性の試験を行った。試験結果を図５に示す。

＜比較例３＞
比較例１において、吸引圧力を−３０ｋＰａとしたときの流量、一次側圧力、二次側圧力の応答特性の試験を行った。試験結果を図５に示す。

図４より、本発明の弁を用いた場合の圧力は、実施例１〜３では吸引を開始すると一次側の圧力と二次側の圧力はほぼ同じタイミングですぐに減圧されて設定圧力付近で安定する。図５より、オリフィス部１４のみの場合の圧力は、比較例１〜３では吸引を開始すると一次側の圧力はすぐに減圧されて設定圧力付近で安定するのに対し、二次側の圧力は吸引開始の一瞬はほとんど減圧されず、次第に減圧されて実験例の２〜３倍の時間をかけて設定圧力付近で安定する。

流量についても、図４より実験例１〜３が吸引を開始してすぐに設定流量より若干高い充分な流量を得た後に設定した流量で安定するのに対して、図５より比較例１〜３は吸引を開始してから実験例１〜３よりゆっくりと流量が上昇し、実験例１〜３の流量が安定するまでの時間の２〜３倍の時間をかけて流量が安定している。

以上のことから、本発明の弁を用いた場合は、オリフィスのみの場合に比べて圧力や流量が安定するまでの時間が１／３〜１／２で行うことができ、吸引を開始してからタイムラグがほとんど生じることなく応答性良く設定された吸引圧力で吸引することができる。

本発明の実施形態である弁の開状態を示す縦断面図である。図１の弁の閉状態を示す縦断面図である。流量と圧力変化の評価を行うための試験装置を示す概念構成図である。図３の試験装置に図１の弁を用いた時の応答特性を示すグラフである。図３の試験装置にオリフィスのみを用いた時の応答特性を示すグラフである。従来の射出成型品取出機及び取出システムに用いられる真空吸着機構を示す概念構成図である。従来の取出機が複数ある場合の配管接続状態を示す概念構成図である。従来の定流量リーク弁を示す縦断面図である。

符号の説明

１本体
２雄ねじ部
３環状突部
４環状溝
５弁室
６突起部
７弁座
８連通口
９第一流路
１０連通口
１１第二流路
１２雌ねじ孔
１３ボルト体
１４オリフィス部
１５雄ねじ部
１６ダイヤフラム
１７弁体
１８中央部
１９膜部
２０環状係合部
２１蓋体
２２雄ねじ部
２３凹部
２４空間部
２５通気孔
２６円環状リブ部
２７バネ
２８ニードル弁
２９開閉弁
３０流量計
３１二次側圧力センサ
３２弁
３３一次側圧力センサ
３４真空レギュレータ
３５開閉弁
３６開閉弁
３７真空ポンプ
３８測定器

Claims

上部に弁室が設けられ、該弁室に連通する連通口の周縁部に弁座が形成され、該連通口に連通する第一流路と、該弁室に連通する第二流路と、該第一流路と該第二流路を連通させるオリフィス部とを有する本体と、
該弁座に圧接または離間されるダイヤフラムと、
該ダイヤフラムの外周縁を該本体上部と挟持固定する蓋体とを具備する弁において、
該ダイヤフラムを一定の力で上方に付勢する付勢体を有し、
該蓋体下部に該ダイヤフラム上面と形成される空間部が設けられ、該蓋体に該空間部と外部とを連通する通気孔が設けられたことを特徴とする弁。
前記第一流路と、前記第二流路と、前記オリフィス部が略同一軸線上に配置されてなることを特徴とする請求項１記載の弁。
前記付勢体がバネであり、
前記弁座が前記弁室底面の中央から上方へ突出した突起部の上端面に形成され、
該バネが該突起部の外周に該弁室底面と前記ダイヤフラム下面とで挟持されてなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の弁。
前記本体に、前記第一流路と前記第二流路とを連通させる雌ねじ孔が設けられ、該雌ねじ孔に螺合されるボルト体の中央に前記オリフィス部が設けられたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の弁。
前記蓋体の通気孔の直径が０．０３ｍｍ〜１mmで設けられたことを特徴とする請求項1乃至請求項４のいずれか一項に記載の弁。