JP2007058352A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 流路の開口面積を変化させることにより流体の流量を制御する流体制御弁と、
   流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器と、
   該流量計測器からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁または該流体制御弁を操作する機器へ出力する制御部と、
   を具備することを特徴とする流体制御装置。
2. 前記流体の流れを開放又は遮断するための開閉弁をさらに具備することを特徴とする請求項１に記載の流体制御装置。
3. 流体の圧力変動を減衰させる圧力調整弁をさらに具備することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体制御装置。
4. 前記弁および前記流量計測器が、独立した接続手段を用いずに直接接続されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の流体制御装置。
5. 前記弁および前記流量計測器が、一つのベースブロックに配設されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の流体制御装置。
6. 前記流体制御弁が、
   上部に弁室と、弁室に各々が連通している入口流路および出口流路とを有し、弁室底部中央に入口流路が連通している開口部が設けられた本体と、底部中央に貫通孔と、側面に呼吸口が設けられ、本体と第一ダイヤフラムを挟持固定しているシリンダーおよび上部に作動流体連通口が設けられ、シリンダーと第二ダイヤフラムの周縁部を挟持固定しているボンネットが一体的に固定されており、第一ダイヤフラムは肩部と、肩部の上に位置し後記ロッドの下部に嵌合固定される取り付け部、肩部の下に位置し後記弁体が固定される接合部、肩部から径方向に延出した薄膜部、薄膜部に続く厚肉部および厚肉部の周縁部に設けられたシール部が一体的に形成され、接合部には弁室の開口部に後記ロッドの上下動に伴って出入りする弁体が固定されており、一方、第二ダイヤフラムは中央穴を有し、その周辺の厚肉部と、厚肉部から径方向に延出した薄膜部および薄膜部の周縁部に設けられたシール部が一体的に形成され、底部に第一ダイヤフラムの取り付け部が固定されているロッドの上部に位置する肩部にダイヤフラム押えにより中央穴を貫通して挟持固定されており、また、ロッドは、その下方部がシリンダー底部の貫通孔内に遊嵌状態に配置され、かつ、シリンダーの段差部とロッドの肩部下面との間に径方向への移動が防止された状態で嵌合されたスプリングで支承されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の流体制御装置。
7. 前記流体制御弁が、
   上部ボンネットと下部ボンネットに内包されたモータ部とを有する電気式駆動部と、モータ部の軸に連結されたステムにより上下動される弁体を有するダイヤフラムと、ダイヤフラムによって電気式駆動部から隔離された弁室に各々連通する入口流路及び出口流路を有する本体とを具備する流量制御部からなることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の流体制御装置。
8. 前記流体制御弁が、
   弾性体からなる管体と、内部シリンダー部を有し上部にシリンダー蓋が接合されたシリンダー本体と、シリンダー部内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され且つシリンダー本体下面中央に設けられた貫通孔を密封状態で貫通するように中央より垂下して設けられた連結部を有するピストンと、ピストンの連結部の下端部に固定されシリンダー本体の底面に流路軸線と直交して設けられた長円状スリット内に収納される挟圧子と、シリンダー本体の下端面に接合固定され、流路軸線上に管体を受容する第１の溝と第１の溝の両端部にさらに連結体受けを受容する第２の溝が第１の溝よりも深く設けられた本体と、一端に本体の第２の溝と嵌合する嵌合部を有し他端内部に連結体受口を有しさらに管体を受容する貫通孔を有する一対の連結体受けと、シリンダー本体周側面に設けられ、シリンダー部底面及び内周面とピストン下端面とで囲まれて形成された第１空間部と、シリンダー蓋下端面とシリンダー部内周面とピストン上面とで囲まれた第二空間部とにそれぞれ連通される一対のエアー口を具備することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の流体制御装置。
9. 前記流体制御弁が、
   上部ボンネットと下部ボンネットに内包されたモータ部とを有する電気式駆動部と、モータ部の軸に連結されたステムにより上下動される挟圧子と、弾性体からなる管体と、下部ボンネットの下端面に接合固定され、流路軸線上に管体を受容する溝とを具備することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の流体制御装置。
10. 前記圧力調整弁が、
    下部中央に底部まで開放して設けられた第二の空隙と第二の空隙に連通する入口流路と上部に上面が開放して設けられ第二の空隙の径よりも大きい径を持つ第一の空隙と第一の空隙に連通する出口流路と第一の空隙と第二の空隙とを連通し第一の空隙の径よりも小さい径を有する連通孔とを有し、第二の空隙の上面が弁座とされた本体と、側面あるいは上面に設けられた給気孔と排出孔とに連通した円筒状の空隙を内部に有し、下端内周面に段差部が設けられたボンネットと、ボンネットの段差部に嵌挿され中央部に貫通孔を有するバネ受けと、下端部にバネ受けの貫通孔より小径の第一接合部を有し上部に鍔部が設けられボンネットの空隙内部に上下動可能に嵌挿されたピストンと、ピストンの鍔部下端面とバネ受けの上端面で挟持支承されているバネと、周縁部が本体とバネ受けとの間で挟持固定され、本体の第一の空隙に蓋する形で第一の弁室を形成する中央部が肉厚とされた第一ダイヤフラムと、上面中央にピストンの第一接合部にバネ受けの貫通孔を貫通して接合固定される第二接合部と、下面中央に本体の連通孔と貫通して設けられた第三接合部とを有する第一弁機構体と、本体の第二の空隙内部に位置し本体の連通孔より大径に設けられた弁体と、弁体上端面に突出して設けられ第一弁機構体の第三接合部と接合固定される第四接合部と、弁体下端面より突出して設けられたロッドと、ロッド下端面より径方向に延出して設けられた第二ダイヤフラムとを有する第二弁機構体と、本体の下方に位置し第二弁機構体の第二ダイヤフラム周縁部を本体との間で挟持固定する突出部を上部中央に有し、突出部の上端部に切欠凹部が設けられると共に切欠凹部に連通する呼吸孔が設けられているベースプレートとを具備し、ピストンの上下動に伴って第二弁機構体の弁体と本体の弁座とによって形成される流体制御部の開口面積が変化するように構成されていることを特徴とする請求項３乃至請求項５のいずれか１項に記載の流体制御装置。
11. 前記圧力調整弁が、
    内部に第一弁室、第一弁室の上部に設けられた段差部及び第一弁室と連通する入口流路を有する本体と、第二弁室とそれに連通する出口流路とを有し本体上部に接合される蓋体と、周縁部が第一弁室の上部周縁部に接合された第一ダイヤフラムと、周縁部が本体と蓋体とによって挟持された第二ダイヤフラムと、第一及び第二ダイヤフラムの中央に設けられた両環状接合部に接合され軸方向に移動自在となっているスリーブと、第一弁室の底部に固定されスリーブの下端との間に流体制御部を形成しているプラグとからなり、また本体の段差部の内周面と第一及び第二ダイヤフラムとに包囲された気室を有し、第二ダイヤフラムの受圧面積が第一ダイヤフラムの受圧面積より大きく構成され、前記気室に連通するエア供給が本体に設けられていることを特徴とする請求項３乃至請求項５のいずれか１項に記載の流体制御装置。
12. 前記流量計測器が、超音波流量計または超音波式渦流量計であることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の流体制御装置。
13. 前記流体制御弁の管体の材質がＥＰＤＭ、フッ素ゴム、シリコンゴム、またはこれらの複合体からなることを特徴とする請求項８または請求項９に記載の流体制御装置。
14. 前記流体制御弁の管体の材質がポリテトラフルオロエチレンとシリコンゴムとの複合体からなることを特徴とする請求項８または請求項９に記載の流体制御装置。