CN113374949A

CN113374949A - 一种质量流量控制器

Info

Publication number: CN113374949A
Application number: CN202110554479.3A
Authority: CN
Inventors: 罗宗昌; 梁沁沁; 唐彬; 郑家誉; 蒋再新; 安希胜; 李汉锋
Original assignee: Electric Power Research Institute of Guangxi Power Grid Co Ltd
Current assignee: Electric Power Research Institute of Guangxi Power Grid Co Ltd
Priority date: 2021-05-20
Filing date: 2021-05-20
Publication date: 2021-09-10

Abstract

一种质量流量控制器，包括比例电磁阀、阀座、第一管路组件、第二管路组件、保护罩；阀座的两侧面下端各连接有第一管路组件；保护罩两侧对角方向各连接有第二管路组件；比例电磁阀和阀座之间、阀座和保护罩之间与阀座和保护罩之间分别设有第一密封垫、第二密封垫与第三密封垫，密封垫均为紫铜材质。本发明保护罩和比例电磁阀之间形成一个空腔体内并且相关的密封方式均是金属硬密封，通过第二管路在这个空腔体内充满同种高纯气体，保证内外气体一致。这样能有效的防止留在空腔中的其他气体通过比例电磁阀渗入第一管路中，保证了第一管路中高纯气体的纯度。

Description

一种质量流量控制器

技术领域

本发明属于高纯气体流量控制技术领域，具体涉及一种流量控制器。

背景技术

质量流量控制器是一种精确测量气体流量并能自动控制气体流量的仪器，目前，没有适用于高纯度气体(气体的纯度为99.99999％)的质量流量控制器。

市面上的质量流量控制器的密封配件大多为橡胶件。现有的一种质量流量控制器，它的进/出口密封螺母与压环是一体，材质是PEEK(一种工程塑料)，与之对应的阀座材质是铝合金，比例电磁阀和阀座之间的密封件是橡胶O型圈，比例电磁阀本身的密封材质是橡胶。上述零件材质会影响密封效果，有几率造成外部环境气体渗入质量流量控制器管路内，从而降低了管路内高纯度气体的纯度，影响实验结果。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种的气体质量流量控制器。

为了解决上述技术问题，本发明了如下的技术方案：

一种质量流量控制器，其特征在于，包括比例电磁阀、阀座、第一管路组件、第二管路组件、保护罩；所述阀座的两侧面下端各连接有第一管路组件；所述比例电磁阀和阀座连接，且所述比例电磁阀和阀座之间设有第一密封垫；所述阀座和保护罩连接，且所述阀座和保护罩之间设置第二密封垫；所述保护罩两侧对角方向各连接有第二管路组件，且所述保护罩和所述第二管路组件之间设有第三密封垫；所述第一密封垫、第二密封垫和第三密封垫均为紫铜材质。

其中，所述第一管路组件包括第一密封压环、第一接头和第一管路，所述第一密封压环、第一接头和第一管路依次连接。

其中，所述第二管路组件包括第二接头、第二密封压环、第二接头螺母和第二管路，所述第二接头、第二密封压环、第二接头螺母和第二管路依次连接。

其中，所述第一密封压环、第一接头和第一管路均为不锈钢材质。

其中，所述第二接头、第二密封压环、第二接头螺母和第二管路均为不锈钢材质。

其中，所述保护罩上设有密封连接器，所述保护罩和所述密封连接器焊接连接。

其中，所述密封连接器为玻璃烧结真空密封端子。

其中，所述比例电磁阀的引出线通过焊接方式连接至所述玻璃烧结真空密封端子上的可阀针。

其中，所述阀座为不锈钢材质。

本发明所达到的有益效果是：

本发明只有第一管道的进出口暴露在环境中，其余零件均在保护罩中。第一管路组件材质均为不锈钢，用金属密封方式实现管路密封，能够有效的阻止外界的环境气体渗入第一管路中。保护罩和比例电磁阀之间形成一个空腔体内并且相关的密封方式均是金属硬密封，通过第二管路在这个空腔体内充满同种高纯气体，保证内外气体一致。这样能有效的防止留在空腔中的其他气体通过比例电磁阀渗入第一管路中，保证了第一管路中高纯气体的纯度。

本质量流量控制器是闭环质量流量调节，对气体流量调节的精度高；工作时能做到无人值守。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的分解结构示意图；

图2是本发明的结构示意图；

图3是本发明气体流动示意图；

图中：1-比例电磁阀；2-阀座；3-第一管路组件；31-第一管路；32-第一接头；33-第一气密封压环；4-第二管路组件；41-第二管路；42-第二接头螺母；43-第二密封压环；44-第二接头；5-保护罩；6-第一密封垫；7-第二密封垫；8-第三密封垫；9-密封连接器；91-可阀针；10-引出线。

具体实施方式

下面结合附图对本公开实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本公开的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本公开的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。本公开还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本公开的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

如图1和2所示，一种质量流量控制器，包括比例电磁阀1、阀座2、第一管路组件3、第二管路组件4、保护罩5；阀座2的两侧面下端各连接有第一管路组件3；比例电磁阀1和阀座2连接，且比例电磁阀1和阀座2之间设有第一密封垫6；阀座2和保护罩5连接，且阀座2和保护罩5之间设置第二密封垫7；保护罩5两侧对角方向各连接有第二管路组件4，且保护罩5和第二管路组件4之间设有第三密封垫8。第一管路组件3包括第一密封压环33、第一接头32和第一管路31，第一密封压环33、第一接头32和第一管路31依次连接。第二管路组件4包括第二接头44、第二密封压环43、第二接头螺母42和第二管路41，第二接头44、第二密封压环43、第二接头螺母42和第二管路41依次连接。

质量流量控制器是一种精确丈量气体流量的仪表，不仅具有质量流量计的功能，还能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。本发明的质量流量控制器适用于氦气、氩气、氙气等高纯度气体的测量，密封效果好。

本发明比例电磁阀1和阀座2之间、阀座2和保护罩5之间与阀座2和保护罩之间分别设有第一密封垫6、第二密封垫7与第三密封垫8，且密封垫6/7/8均为紫铜材质。紫铜材质具有良好的无磁性、导电性、导热性能、抗压性、有韧性、耐腐蚀性、耐磨性和抗压性。紫铜密封垫一般在使用前进行退火处理，其目的是让紫铜密封垫变软，以达到更好的密封效果。它的密封原理是两个结合面将紫铜密封垫挤压变形，使得紫铜密封垫的两个表面与两个结合面紧密贴合没有丝毫缝隙，从而得到密封效果。由于其机械强度高，压缩回弹性好，也适用于温度剧变的场合。

本发明只有第一管道31的进出口暴露在环境中，其余零件均在保护罩5中，且第一管路组件3材质均为不锈钢，用金属密封方式实现管路密封。如图3所示，使用时，第一管路31充入待测气体，第二管路41充入同种待测气体。保护罩3和比例电磁阀1之间的空腔内与第一管路31充满同种高纯气体，且相关的密封方式均是金属硬密封，保证内外气体一致。这样能有效的防止留在空腔中的其他气体通过比例电磁阀1渗入第一管路31中，保证了第一管路31中高纯气体的纯度。

本发明保护罩5上设有密封连接器9，保护罩5和密封连接器9焊接连接。密封连接器9为玻璃烧结真空密封端子。比例电磁阀的引出线10通过焊接方式连接至玻璃烧结真空密封端子上的可阀针91。玻璃烧结真空密封端子密封性能强，抗正压，保低压，而且在温度高，压强大的状态是不漏气，满足密封连接器的高精度、高可靠性的要求。玻璃烧结真空密封端子同一般绝缘材料一样，它具有良好的电性能参数，玻璃的绝缘电阻和介质耐压完全满足连接器是设计要求，它还具有很强的防腐蚀能力，适用于恶劣环境。玻璃烧结真空密封端子较好的机械强度。由于玻璃与金属密封，是通过玻璃液与金属氧化层互相浸润，形成混合化学键，这种化学键结合力远大于塑料粘附金属的结合力。所以用玻璃与金属封装的连接器具有足够的抗拉和抗扭强度。玻璃是一种无机非金属材料，它具有较高的软化点温度，而且它在较高温度环境中使用时不会释放任何有害成分。适用于连接与人接触的部件，例如可视面板。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以上仅为说明本发明的实施方式，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，凡在本发明的精神和原则之内，不经过创造性劳动所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种质量流量控制器，其特征在于，包括比例电磁阀、阀座、第一管路组件、第二管路组件、保护罩；

所述阀座的两侧面下端各连接有第一管路组件；

所述比例电磁阀和阀座连接，且所述比例电磁阀和阀座之间设有第一密封垫；

所述阀座和保护罩连接，且所述阀座和保护罩之间设置第二密封垫；

所述保护罩两侧对角方向各连接有第二管路组件，且所述保护罩和所述第二管路组件之间设有第三密封垫；

所述第一密封垫、第二密封垫和第三密封垫均为紫铜材质。

2.根据权利要求1所述的一种质量流量控制器，其特征在于，所述第一管路组件包括第一密封压环、第一接头和第一管路，所述第一密封压环、第一接头和第一管路依次连接。

3.根据权利要求2所述的一种质量流量控制器，其特征在于，所述第一密封压环、第一接头和第一管路均为不锈钢材质。

4.根据权利要求1所述的一种质量流量控制器，其特征在于，所述第二管路组件包括第二接头、第二密封压环、第二接头螺母和第二管路，所述第二接头、第二密封压环、第二接头螺母和第二管路依次连接。

5.根据权利要求4所述的一种质量流量控制器，其特征在于，所述第二接头、第二密封压环、第二接头螺母和第二管路均为不锈钢材质。

6.根据权利要求1所述的一种质量流量控制器，其特征在于，所述保护罩上设有密封连接器，所述保护罩和所述密封连接器焊接连接。

7.根据权利要求6所述的一种质量流量控制器，其特征在于，所述密封连接器为玻璃烧结真空密封端子。

8.根据权利要求7所述的一种质量流量控制器，其特征在于，所述比例电磁阀的引出线通过焊接方式连接至所述玻璃烧结真空密封端子上的可阀针。

9.根据权利要求1所述的一种质量流量控制器，其特征在于，所述阀座为不锈钢材质。