JP4557413B2 - ピンチバルブ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学工場、半導体製造、食品、バイオなどの各種産業分野における流体輸送配管に用いられるピンチバルブに関し、更に詳しくは、非常にコンパクトで、バルブの開閉に対する管体の耐久性を向上させたピンチバルブに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ピンチバルブは種々提案されているが、その中の一例が実公昭45−3264号公報に開示されている。これによると、図15、図16に示すように、脚台37と脚杆38とで構成される脚部材39上のシリンダー40に嵌装された上側と下側の2ヶのピストン41,42のうち、上側のピストン41は軸杆43の上端部に固定され、下側のピストン42は軸杆43に遊嵌された管軸44の上端部に固定されている。管軸44下辺には翼片45が設けられ、翼片45は連結棒46を介して下側挟圧子47に固定されている。一方軸杆43の下端部には上側挟圧子48が固定されている。また、流路部の両端部に嵌め込んだフランジ49間に横架した2ヶの横杆50と脚部材39とにより支承されたバルブ管体51の中央部を上側挟圧子48、下側挟圧子47間で挟圧し、シリンダー40に穿設された孔52,53,54に適宜圧搾空気を圧入することによってピストン41,42に連結する上側挟圧子48、下側挟圧子47を対称的に上下動させバルブ管体51を開放、閉塞させるようにしたものであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、現在、多種多様な配管や制御機器が配置され、複雑な配管設計がなされている半導体などの製造装置分野においては、装置自体のコンパクト化が推し進められている。それに伴い、該装置内配管に用いられるピンチバルブに対しても省スペース化のためのコンパクト化が切望され、該装置内のピンチバルブのコンパクト化は大きな課題であった。
しかしながら、前記構造のピンチバルブでは、駆動部と弁本体が別体になっている構造であり、シリンダー40と流路部であるバルブ管体51の間に脚部材39と脚台37および翼片45が設けられているため、該バルブの全高が高くなりコンパクトにすることはできなかった。そのため、半導体製造などの装置内配管におけるピンチバルブとしては全く使用できなかった。
【0004】
本発明は、以上のような従来技術の問題点に鑑みなされたものであり、従来のピンチバルブに比べバルブの全高が低く、非常にコンパクトであり、また、バルブ開閉運転における管体の耐久性を格段に向上させたピンチバルブを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明者らは鋭意研究した結果、駆動部と弁本体を一体化することによりピンチバルブ全体を非常にコンパクトにすることを見出し本発明を成すに至った。すなわち本発明の構成を、図1〜8を参照して説明すると、弾性体からなる管体1と、内部にシリンダー部2を有し上部に円盤状のシリンダー蓋3が接合されたシリンダー本体4と、シリンダー部2内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され、且つシリンダー本体4下面中央に設けられた貫通孔5を密封状態で貫通するように中央より垂下して設けられた連結部13を有するピストン11と、ピストン11の連結部13の下端部に固定され、シリンダー本体4の底面に流路軸線と直交して設けられた長円状スリット6内に収納される挟圧子15と、シリンダー本体4の下端面に接合固定され、流路軸線上に管体1を受容する溝17と溝17の両端部にさらに連結体受け20を受容する溝18が溝17よりも深く設けられた本体16と、一端に本体16の溝18と嵌合する嵌合部21を有し他端内部に連結対受け口23を有しさらに管体1を受容する貫通孔26を有する一対の連結体受け20と、シリンダー本体4周側面に設けられ、シリンダー部2底面及び内周面とピストン11下端面とで囲まれて形成された第1の空間部7と、シリンダー蓋3下端面とシリンダー部2内周面とピストン11上面とで囲まれた第2の空間部8とにそれぞれ連通される一対のエアー口9,10を具備することを第1の特徴とする。
【0006】
連結体受け20の嵌合部21の先端に抜け防止用凸部22が設けられ、また、本体16の溝18に抜け防止用凸部22を受容する凹溝19が設けられたことを第2の特徴とする。
【0007】
第2の空間部8に、シリンダー蓋3とピストン11とに接触させた状態でバネ35を装着させたことを第3の特徴とし、また、第1の空間部7に、シリンダー部2底面とピストン11とに接触させた状態でバネ35を装着させたことを第4の特徴とする。
【0008】
さらには、一端に外径が管体1の内径よりも大きく形成され管体1に挿入接続される挿入部31と他端の配管接続部32と中央の鍔部33とを有する連結体29が、キャップナット34を鍔部33と係合させ連結体受け20の外周に設けられた雄ネジ部24に螺合させることにより連結体受け20に嵌合固定されていることを第5の特徴とする。
【0009】
また、管体1の材質がEPDM、フッ素ゴム、シリコンゴム、またはこれらの複合体であることを第6の特徴とし、さらに、管体1がポリテトラフルオロエチレンとシリコンゴムとの複合体からなることを第7の特徴とする。
【0010】
本発明のピンチバルブの管体1はEPDM、フッ素ゴム、シリコンゴム、またはフッ素ゴムとシリコンゴムとの複合体などの弾性体であれば良く限定されるものではないが、フッ素ゴムとシリコンゴムとの複合体が特に好適なものとして挙げられる。
また、シリンダー本体4及び本体16は金属、プラスチックなどの剛性のあるものであれば特に限定されるものではないが、PVC又は、PVDF等のフッ素系樹脂のプラスチックが特に好適なものとして挙げられる。
また、連結体29はプラスチックなどの耐薬品性を有するものであれば特に限定されるものではないが、PTFE,PVDF,PFA等のフッ素系樹脂のプラスチックが特に好適なものとして挙げられる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施態様について図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定されないことは言うまでもない。図1は本発明のピンチバルブの第1の実施例に係る閉状態を示す縦断面図である。図2は図1のピンチバルブを側面(流路方向)から見た縦断面図である。図3は図2の開状態を示す縦断面図である。図4は図1におけるシリンダー本体の底面図である。図5は図1における本体の平面図である。図6は固定ボルト、ピストン及び挟圧子の分解正面図である。図7は図1における連結体受けの縦断面図である。図8は図7の連結体の右側面図である。図9は本発明のピンチバルブの第2の実施例にかかる閉状態を示す縦断面図である。図10は図9のピンチバルブを側面(流路方向)から見た縦断面図である。図11は図10の開状態を示す縦断面図である。図12は本発明のピンチバルブの第3の実施例に係る開状態を示す縦断面図である。図13は図12のピンチバルブを側面(流路方向)から見た縦断面図である。図14は図13の閉状態を示す縦断面図である。
【0012】
以下、図1乃至図8に基づいて本発明のPVDF製ピンチバルブの第1の実施例を説明する。1は内部を流体が流れるフッ素ゴムとシリコンゴムの複合体からなる管体である。管体1は例えばシリコンゴムが含浸されたPTFEシートを何層も接着積層することにより目的とする肉厚に形成されたものである。本実施例では管体1の材質はフッ素ゴムとシリコンゴムの複合体になっているがEPDM、シリコンゴム、フッ素ゴム及びこれらの複合体などの弾性体でも良く特に限定されるものではない。
【0013】
4はシリンダー本体で、円筒状空間を持つシリンダー部2を有し、上端部に円盤状のシリンダー蓋3がO−リングを介して螺合されている。シリンダー本体4の下面中央部には、ピストン連結部13が貫通する貫通孔5と、挟圧子15を収納する長円状のスリット6が連続して設けられている(図4参照)。また、シリンダー本体4の周側面には、シリンダー部2の内周面及び底面とピストン11の下端面とで形成される第1の空間部7と、シリンダー部2の内周面とシリンダー蓋3の下端面とピストン11の上端面とで形成される第2の空間部8とに、それぞれ外部エア供給機器など(図示せず)と連通させるエアー口9,10が設けられている。
【0014】
ピストン11は円盤状で周側面にO−リング12が装着され、シリンダー部2の内周面に上下動可能且つ密封状態に嵌合されている。ピストン連結部13はピストン中央より垂下して設けられ、前記シリンダー本体4の下面中央部に設けられた貫通孔5を密封状態で貫通しており、その先端部に挟圧子15が固定されている。本実施例ではピストン連結部13を貫通して設けられた固定ボルト14の先端部に螺着によって挟圧子15が固定されている。尚、挟圧子15の固定方法は連結部13を棒状に形成しその先端部に螺着、接着あるいは溶接などでも良く、特に限定されるものではない。
【0015】
挟圧子15は、管体1を押圧する部分の断面がかまぼこ状に形成されている。
また、挟圧子15は、流路軸線と直交するようにピストン連結部13に固定されており、バルブ開時にはシリンダー本体4の長円状スリット6内に収納されている。
【0016】
16はシリンダー本体4下端面にボルト・ナットなど(図示せず)で接合固定される本体であり、流路軸線上には管体1を受容する断面矩形状の溝17が設けられている。また、溝17の両端部には連結体受け20の嵌合部21を受容する溝18が溝17より深く設けられ、さらに溝18内部には連結体受け20の嵌合部21先端に設けられた抜け防止用凸部22を受容する凹溝19が設けられている。
【0017】
連結体受け20は、一端部に本体16の両端に設けられた溝18に嵌合される断面矩形状の嵌合部21が形成され、さらに嵌合部21の先端底部には本体16の溝18に設けられた凹溝19に嵌合される抜け防止用凸部22が設けられている。一方、他端部には連結体29の六角形の鍔部33を受容する断面同形の受け口23が設けられ、その外周面には雄ネジ部24が設けられている。雄ネジ部24と嵌合部21との間に位置する外周面には嵌合部21の対角線長と略同一の直径を有する環状の鍔部25が設けられている。鍔部25はシリンダー本体4及び本体16と接触し、連結体受け20が両本体の内部へ移動することを防止している。連結体受け20の内部では、嵌合部21に管体1の外径と略同径を有する貫通孔27が設けられ、またそれに連続して、受け口23に通じる連結体29の挿入部31に嵌合拡径された管体1の外径と略同径の貫通孔26が設けられている。したがって、連結体受け20の内周面には図7で明らかな如く段差部28が形成されている。この段差部28で管体1が連結体受け20内に挟持固定される。尚、本実施例では貫通孔27及びそれより拡径された貫通孔26が設けられているが、貫通孔27を全体に設けてもよい。
【0018】
連結体29は内部に流路30を有し、一端部には外径が管体1の内径よりも大きく形成され、管体1が拡径して挿入される挿入部31が設けられ、他端部には他の管体が接続される配管接続部32が設けられている。連結体29の外周中央部には両端部よりも拡径して断面六角形状の鍔部33が設けられている。連結体29は鍔部33を連結体受け20の受け口23に嵌合させ、鍔部33と係合させたキャップナット34を連結体受け20の外周に設けられた雄ネジ部24に螺合させることにより回動しないように連結体受け20に嵌合固定される。
【0019】
以上説明したごとく、本実施例のピンチバルブは、従来のピンチバルブのように駆動部と弁本体の間に脚部材と脚台及び翼片が不要な構造になっているため、バルブの全高が低く、体積が小さくなり従来のピンチバルブに比べはるかにコンパクトになっている。
【0020】
上記の構成からなる本実施例のピンチバルブの作動は次の通りである。
今、図1,2に示すようにピンチバルブ全閉の状態において、エアー口9から第1の空間部7へ圧縮空気を供給圧入するとともに第2空間部8からエアー口10により圧縮空気を排出すると、該空気圧により、ピストン11が側周面をシリンダー部2内周に摺接させながら上昇し始め、それに伴ってピストン11より垂下して設けられた連結部13を介して挟圧子15が上昇する。そしてついには挟圧子15上端面がシリンダー本体4の下端面に設けられた長円状スリット6の上端面に到達しピストン11及び挟圧子15の上昇は止まり、該ピンチバルブは全開状態となる(図3の状態)。
【0021】
次に、図3の全開状態において、エアー口10から第2の空間部8へ圧縮空気を供給圧入するとともに第1の空間部7内の圧縮空気をエアー口9から排除すると、該空気圧により、ピストン11が下降し始め、それに伴ってピストン11より垂下して設けられた連結部13を介して挟圧子15も下降する。そしてついにはピストン11下端面がシリンダー部2底面に到達しピストン11及び挟圧子15の下降は止まり、該ピンチバルブは全閉状態となる(図1,2の状態)。この時、挟圧子15の回り防止のため挟圧子15上端面はシリンダー本体4の長円状スリット6内に位置するようになっている。
【0022】
次に、図9乃至図11に基づいて、本発明の第2実施例である逆作動タイプのピンチバルブについて説明する。
35はバネで、ピストン11上端面とシリンダー蓋3下端面とで接触された状態でシリンダー部2内に装着されている。本実施例ではバネ35は1本装着されているが、必要とする付勢力に応じて装着する本数を増やしても良い。
【0023】
その他の構成は第1実施例と同様であるので説明は省略する。以上の構成からなる第2実施例の逆作動弁として作用するピンチバルブの作動は以下の通りである。
今、図9,10に示すようにピンチバルブが全閉状態において、エアー口9から第1空間部7へ圧縮空気を供給圧入すると、該空気圧によりピストン11はバネ35を圧縮しながらシリンダー部2内を上昇し始め、それに伴ってピストン11より垂下して設けられた連結部13を介して挟圧子15が上昇する。さらに上昇を続けついには挟圧子15上端面がシリンダー本体4の下端面に設けられた長円状スリット6上端面と接触しピストン11及び挟圧子15の上昇は止まり、該ピンチバルブは全開状態となる(図11の状態)。
【0024】
一方、図11に示す前記ピンチバルブの全開状態において、エアー口9から第一空間部7の圧縮空気を大気開放すると、バネ35に当接しているピストン11がバネ35の反発力により下降し始め、それに伴ってピストン11より垂下して設けられた連結部13を介して挟圧子15が下降する。そしてついにはピストン11下端面がシリンダー部2底面に到達しピストン11及び挟圧子15の下降は止まり、該ピンチバルブは全閉状態となる(図9,10の状態)。
【0025】
次に、図12乃至図14に基づいて、本発明の第3実施例である正作動タイプのピンチバルブについて説明する。
本実施例では、バネ35は、ピストン11下端面とシリンダー部2底面とで挟持された状態でシリンダー部2内に装着されている。シリンダー部2上部には、全周に渡ってストッパー部36が設けられ、ピストン11の下限を設定している。本実施例ではバネ35は1本装着されているが、必要とする付勢力に応じて装着する本数を増やしても良い。
【0026】
その他の構成は第1実施例と同様であるので説明は省略する。以上の構成からなる第3実施例の正作動弁として作用するピンチバルブの作動は以下の通りである。
今、図12,13に示すようにピンチバルブが全開状態にある時、エアー口10から第2空間部8へ圧縮空気を供給圧入すると、該空気圧によりピストン11がバネ35を圧縮しながらシリンダー部2内を下降し始め、それに伴ってピストン11より垂下して設けられた連結部13を介して挟圧子15が下降する。さらに下降を続けついにはピストン11下端面が、ストッパー36に到達しピストン11及び挟圧子15の下降は止まり、該ピンチバルブは全閉状態となる(図14の状態)。
【0027】
一方、図14に示す前記ピンチバルブの全閉状態において、エアー口10から第2の空間部8の圧縮空気を大気開放すると、バネ35に当接しているピストン11がバネ35の反発力により上昇し始め、それに伴ってピストン11より垂下して設けられた連結部13を介して挟圧子15が上昇する。そして、ついにはピストン11上端面がシリンダー蓋3下端面に到達しピストン11及び挟圧子15の上昇は止まり、該ピンチバルブは全開状態となる(図12,13の状態)。
【0028】
【発明の効果】
本発明は以上のような構造をしており、これを使用することにより以下の優れた効果が得られる。
1.従来品に比較してピンチバルブの全高が低く、非常にコンパクトであるため、すなわち、例えば矩形状のシリンダー本体の1辺を35mmまで、全高を93mmまで短縮できるため配管スペースが少なくてすむ。その為、複雑な配管設計がなされている半導体などの製造装置内での配管が可能になり、ひいては製造装置のコンパクト化も図れる。
2.従来品に比較して部品点数が少ない為、組立て易く、安価に製造できる。
3.管体を押圧する挟圧子をかまぼこ形状にすることにより従来品に比較して、管体の耐久性が向上し、ひいてはピンチバルブの耐用期間を飛躍的に延長することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のピンチバルブの第1の実施例に係る閉状態を示す縦断面図である。
【図2】図1を側面(流路方向)から見た縦断面図である。
【図3】図2の開状態を示す縦断面図である。
【図4】図1におけるシリンダー本体の底面図である。
【図5】図1における本体の平面図である。
【図6】固定ボルト、ピストン及び挟圧子の分解正面図である。
【図7】図1における連結体受けの縦断面図である。
【図8】図7の連結体の右側面図である。
【図9】本発明のピンチバルブの第2の実施例にかかる閉状態を示す縦断面図である。
【図10】図9のピンチバルブを側面(流路方向)から見た縦断面図である。
【図11】図10の開状態を示す縦断面図である。
【図12】本発明のピンチバルブの第3の実施例に係る開状態を示す縦断面図である。
【図13】図12のピンチバルブを側面(流路方向)から見た縦断面図である。
【図14】図13の閉状態を示す縦断面図である。
【図15】従来のピンチバルブの縦断側面図である。
【図16】従来のピンチバルブの一部切断正面図である。
【符号の説明】
1…管体
2…シリンダー部
3…シリンダー蓋
4…シリンダー本体
5…貫通孔
6…長円状スリット
7…第1空間部
8…第2空間部
9…エアー口
10…エアー口
11…ピストン
12…O−リング
13…連結部
14…固定ボルト
15…挟圧子
16…本体
17…溝
18…溝
19…凹溝
20…連結体受け
21…嵌合部
22…抜け防止用凸部
23…受け口
24…雄ネジ部
25…鍔部
26…貫通孔
27…貫通孔
28…段差部
29…連結体
30…流路
31…挿入部
32…配管接続部
33…鍔部
34…キャップナット
35…バネ
36…ストッパー
Claims (7)
- 弾性体からなる管体(1)と、内部シリンダー部(2)を有し上部に円盤状のシリンダー蓋(3)が接合されたシリンダー本体(4)と、シリンダー部(2)内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され且つシリンダー本体(4)下面中央に設けられた貫通孔(5)を密封状態で貫通するように中央より垂下して設けられた連結部(13)を有するピストン(11)と、ピストン(11)の連結部(13)の下端部に固定されシリンダー本体(4)の底面に流路軸線と直交して設けられた長円状スリット(6)内に収納される挟圧子(15)と、シリンダー本体(4)の下端面に接合固定され、流路軸線上に管体(1)を受容する溝(17)と溝(17)の両端部にさらに連結体受け(20)を受容する溝(18)が溝(17)よりも深く設けられた本体(16)と、一端に本体(16)の溝(18)と嵌合する嵌合部(21)を有し他端内部に連結体受け口(23)を有しさらに管体(1)を受容する貫通孔(26)を有する一対の連結体受け(20)と、シリンダー本体(4)周側面に設けられ、シリンダー部(2)底面及び内周面とピストン(11)下端面とで囲まれて形成された第1の空間部(7)と、シリンダー蓋(3)下端面とシリンダー部(2)内周面とピストン(11)上面とで囲まれた第2の空間部(8)とにそれぞれ連通される一対のエアー口(9)(10)を具備することを特徴とするピンチバルブ。
- 連結体受け(20)の嵌合部(21)の先端に抜け防止用凸部(22)が設けられ、また本体(16)の溝(18)に抜け防止用凸部(22)を受容する凹溝(19)が設けられたことを特徴とする請求項1に記載のピンチバルブ。
- 第2の空間部(8)に、シリンダー蓋(3)とピストン(11)に接触させた状態でバネ(35)を装着させたことを特徴とする請求項1又は2に記載のピンチバルブ。
- 第1の空間部(7)に、シリンダー部(2)底面とピストン(11)下端面に接触させた状態でバネを装着させたことを特徴とする請求項1又は2に記載のピンチバルブ。
- 一端に外径が管体(1)の内径よりも大きく形成され管体(1)に挿入接続される挿入部(31)と他端の配管接続部(32)と中央の鍔部(33)とを有する連結体(29)が、キャップナット(34)を鍔部(33)と係合させ、連結体受け(20)の外周に設けられた雄ネジ部(24)に螺合させることにより連結体受け(20)に嵌合固定されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のピンチバルブ。
- 管体(1)の材質がEPDM、フッ素ゴム、シリコンゴム、またはこれらの複合体であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のピンチバルブ。
- 管体(1)がポリテトラフルオロエチレンとシリコンゴムとの複合体からなることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のピンチバルブ。
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