JP2000352468A - 自動弁 - Google Patents
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- JP2000352468A JP2000352468A JP11166531A JP16653199A JP2000352468A JP 2000352468 A JP2000352468 A JP 2000352468A JP 11166531 A JP11166531 A JP 11166531A JP 16653199 A JP16653199 A JP 16653199A JP 2000352468 A JP2000352468 A JP 2000352468A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/17—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being actuated by fluid pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/12—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with streamlined valve member around which the fluid flows when the valve is opened
- F16K1/123—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with streamlined valve member around which the fluid flows when the valve is opened with stationary valve member and moving sleeve
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- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 流体の圧力損失が小さく、優れた流量特性と
確実なシール性能が得られる小型自動弁を提供する。 【解決手段】 小型化された自動弁は、円筒状本体１
と、円筒状本体に軸方向移動可能に嵌挿したスリーブ２
と、中央部にスリーブの両端部に接合する円環状接合部
と外周部に環状突部とを有する第一及び第二のダイヤフ
ラム３，４と、ダイヤフラム３の環状突部を挟持して円
筒状本体の一端部と接合する第１ダイヤフラム押さえ５
と、ダイヤフラム４の環状突部を挟持して円筒状本体と
接合し底部中央にスリーブの下端部と圧接及び離間され
る弁体７が設けられ底部又は側面に流体流通口を有する
第２ダイヤフラム押さえ６とから構成され、さらに円筒
状本体１とダイヤフラム３，４とスリーブ２とによって
形成される上部及び下部の空隙１３，１４に連通する作
動流体供給口９，１０を有している。
確実なシール性能が得られる小型自動弁を提供する。 【解決手段】 小型化された自動弁は、円筒状本体１
と、円筒状本体に軸方向移動可能に嵌挿したスリーブ２
と、中央部にスリーブの両端部に接合する円環状接合部
と外周部に環状突部とを有する第一及び第二のダイヤフ
ラム３，４と、ダイヤフラム３の環状突部を挟持して円
筒状本体の一端部と接合する第１ダイヤフラム押さえ５
と、ダイヤフラム４の環状突部を挟持して円筒状本体と
接合し底部中央にスリーブの下端部と圧接及び離間され
る弁体７が設けられ底部又は側面に流体流通口を有する
第２ダイヤフラム押さえ６とから構成され、さらに円筒
状本体１とダイヤフラム３，４とスリーブ２とによって
形成される上部及び下部の空隙１３，１４に連通する作
動流体供給口９，１０を有している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、作動流体によって
動作する自動弁に関するものであり、さらに詳しくは主
として半導体産業における超純水ラインや化学産業にお
ける各種化学薬液ラインで用いられるコンパクトで常に
確実なシール性を有し、且つ流量特性の優れた自動弁に
関するものである。
動作する自動弁に関するものであり、さらに詳しくは主
として半導体産業における超純水ラインや化学産業にお
ける各種化学薬液ラインで用いられるコンパクトで常に
確実なシール性を有し、且つ流量特性の優れた自動弁に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体産業における超純水ライン
や化学産業における各種化学薬液ラインでは図７に示す
ようなエア駆動式の自動弁が多数使用されている。図７
によればこれらは本体部と駆動部とから成り、本体部は
ストップ弁構造を有し、ディスク部と弁座部が圧接・離
間されることにより開閉が行われ、駆動部はシリンダ、
ピストン及びロッドから成り、ロッド部先端にディスク
部が取り付けられている。ディスク部は外周に膜部と環
状突部を有するダイヤフラム構造をしており、環状突部
は本体とシリンダによって挟持されている。これによっ
て外部への流体の流出と、開閉動作時の発塵による流体
の汚染を防止している。また、ダイヤフラムの代替とし
てベローズを利用したものも知られている。
や化学産業における各種化学薬液ラインでは図７に示す
ようなエア駆動式の自動弁が多数使用されている。図７
によればこれらは本体部と駆動部とから成り、本体部は
ストップ弁構造を有し、ディスク部と弁座部が圧接・離
間されることにより開閉が行われ、駆動部はシリンダ、
ピストン及びロッドから成り、ロッド部先端にディスク
部が取り付けられている。ディスク部は外周に膜部と環
状突部を有するダイヤフラム構造をしており、環状突部
は本体とシリンダによって挟持されている。これによっ
て外部への流体の流出と、開閉動作時の発塵による流体
の汚染を防止している。また、ダイヤフラムの代替とし
てベローズを利用したものも知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構造を有する従来の自動弁は流路の形状が複雑で
流体の流れ方向の変化が激しく、圧力損失が大きいため
大流量を得たい場合には適当な構造であるとは言えず、
またスラリーを含む流体用として使用する場合では、弁
座部が摩耗し易くシール性能が低下するという問題もあ
る。また、弁本体と駆動部が別々に構成されているた
め、弁全体として大きくなり設置スペースが大きくなっ
ている。駆動部において摺動部が２ヶ所あるため動作時
の抵抗が大きくなって作動流体の圧力を瞬時にシール部
に伝えることができない。
ような構造を有する従来の自動弁は流路の形状が複雑で
流体の流れ方向の変化が激しく、圧力損失が大きいため
大流量を得たい場合には適当な構造であるとは言えず、
またスラリーを含む流体用として使用する場合では、弁
座部が摩耗し易くシール性能が低下するという問題もあ
る。また、弁本体と駆動部が別々に構成されているた
め、弁全体として大きくなり設置スペースが大きくなっ
ている。駆動部において摺動部が２ヶ所あるため動作時
の抵抗が大きくなって作動流体の圧力を瞬時にシール部
に伝えることができない。
【０００４】本発明は、上記従来の自動弁の問題点に鑑
みなされたもので、流体の圧力損失が小さく、スラリー
を含む薬液にも使用可能な優れた流量特性と、常に確実
なシール性能が得られ、全体的に小型化された自動弁を
提供することを目的とする。
みなされたもので、流体の圧力損失が小さく、スラリー
を含む薬液にも使用可能な優れた流量特性と、常に確実
なシール性能が得られ、全体的に小型化された自動弁を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の自動弁は、円筒
状本体と、該円筒状本体の内部に軸方向に移動可能に嵌
挿されたスリーブと、中央に該スリーブの両端部と接合
される円環状接合部と外周部に環状突部とを有する第一
及び第二のダイヤフラムと、一方のダイヤフラムの環状
突部を挟持して前記円筒状本体の一端部と接合される円
筒状の第一ダイヤフラム押さえと、他方のダイヤフラム
の環状突部を挟持して前記円筒状本体の他端部と接合さ
れ且つ底部中央に前記スリーブの下端部と圧接及び離間
される弁体が設けられ底部或いは側面に流体流通口を有
する円筒状の第二ダイヤフラム押さえとから構成され、
また前記円筒状本体とダイヤフラムとスリーブとによっ
て形成される上部空隙及び下部空隙にそれぞれ連通する
一対の作動流体供給口を有することを特徴とする。
状本体と、該円筒状本体の内部に軸方向に移動可能に嵌
挿されたスリーブと、中央に該スリーブの両端部と接合
される円環状接合部と外周部に環状突部とを有する第一
及び第二のダイヤフラムと、一方のダイヤフラムの環状
突部を挟持して前記円筒状本体の一端部と接合される円
筒状の第一ダイヤフラム押さえと、他方のダイヤフラム
の環状突部を挟持して前記円筒状本体の他端部と接合さ
れ且つ底部中央に前記スリーブの下端部と圧接及び離間
される弁体が設けられ底部或いは側面に流体流通口を有
する円筒状の第二ダイヤフラム押さえとから構成され、
また前記円筒状本体とダイヤフラムとスリーブとによっ
て形成される上部空隙及び下部空隙にそれぞれ連通する
一対の作動流体供給口を有することを特徴とする。
【０００６】また、上記自動弁において第一及び第二の
ダイヤフラムの少なくとも一方とスリーブとが一体に形
成されていることを特徴とするものである。
ダイヤフラムの少なくとも一方とスリーブとが一体に形
成されていることを特徴とするものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施態様について
図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定
されないことは言うまでもない。図１は本発明の自動弁
の閉状態を示す縦断面図である。図２は本発明の自動弁
の第二ダイヤフラム押さえの底面図である。図３は本発
明の自動弁の開状態を示す縦断面図である。図４は第一
及び第二ダイヤフラムとスリーブが一体で形成された本
発明の自動弁の縦断面図である。図５は流体流路を第一
及び第二ダイヤフラム押さえの側面に設けた本発明の自
動弁の縦断面図である。図６は本発明の自動弁を配管し
た状態を示す縦断面図である。
図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定
されないことは言うまでもない。図１は本発明の自動弁
の閉状態を示す縦断面図である。図２は本発明の自動弁
の第二ダイヤフラム押さえの底面図である。図３は本発
明の自動弁の開状態を示す縦断面図である。図４は第一
及び第二ダイヤフラムとスリーブが一体で形成された本
発明の自動弁の縦断面図である。図５は流体流路を第一
及び第二ダイヤフラム押さえの側面に設けた本発明の自
動弁の縦断面図である。図６は本発明の自動弁を配管し
た状態を示す縦断面図である。
【０００８】図において１は円筒状本体であり、内部中
央部には後記スリーブ２が軸方向に移動可能にすなわち
摺動自在に支承される縮径部１１が設けられており、ま
た縮径部１１の内周面には環状溝１２が設けられてお
り、Ｏ−リング８が装着されている。一方、円筒状本体
１の外周側面には、縮径部１１の下流側と上流側に位置
し、後記上部空隙１３と下部空隙１４にそれぞれ連通す
る作動流体供給口９，１０が設けられている。
央部には後記スリーブ２が軸方向に移動可能にすなわち
摺動自在に支承される縮径部１１が設けられており、ま
た縮径部１１の内周面には環状溝１２が設けられてお
り、Ｏ−リング８が装着されている。一方、円筒状本体
１の外周側面には、縮径部１１の下流側と上流側に位置
し、後記上部空隙１３と下部空隙１４にそれぞれ連通す
る作動流体供給口９，１０が設けられている。
【０００９】２は前記縮径部１１にＯ−リング８を介し
て軸方向に摺動自在に嵌挿されている円筒状のスリーブ
である。その外周上端部と下端部には後記第一ダイヤフ
ラム３と、第二ダイヤフラム４の円環状接合部１６，１
７が螺着される螺合部１８，１９が設けられている。ス
リーブ２の下端部はスリーブ２の上下動により後記弁体
７と圧接及び離間されるようになっている。
て軸方向に摺動自在に嵌挿されている円筒状のスリーブ
である。その外周上端部と下端部には後記第一ダイヤフ
ラム３と、第二ダイヤフラム４の円環状接合部１６，１
７が螺着される螺合部１８，１９が設けられている。ス
リーブ２の下端部はスリーブ２の上下動により後記弁体
７と圧接及び離間されるようになっている。
【００１０】３はドーナツ状に形成されたフッ素樹脂製
の第一ダイヤフラムであり、中央部には前記円環状接合
部１６が設けられており、外周縁部には断面矩形状の環
状突部２０が設けられている。第一ダイヤフラム３は円
環状接合部１６でスリーブ２の螺合部１８に螺着され、
一方、環状突部は円筒状の第一ダイヤフラム押さえ５の
端部外周面に設けられた環状段差部に嵌合され、第一ダ
イヤフラム押さえ５を円筒状本体１の端部内周面に螺着
させることにより、円筒状本体１と第一ダイヤフラム押
さえ５とにより挟持されている。従って前記作動流体供
給口９は、円筒状本体１と第一ダイヤフラム３とスリー
ブ２とによって囲まれて形成される上部空隙１３に連通
されることになる。
の第一ダイヤフラムであり、中央部には前記円環状接合
部１６が設けられており、外周縁部には断面矩形状の環
状突部２０が設けられている。第一ダイヤフラム３は円
環状接合部１６でスリーブ２の螺合部１８に螺着され、
一方、環状突部は円筒状の第一ダイヤフラム押さえ５の
端部外周面に設けられた環状段差部に嵌合され、第一ダ
イヤフラム押さえ５を円筒状本体１の端部内周面に螺着
させることにより、円筒状本体１と第一ダイヤフラム押
さえ５とにより挟持されている。従って前記作動流体供
給口９は、円筒状本体１と第一ダイヤフラム３とスリー
ブ２とによって囲まれて形成される上部空隙１３に連通
されることになる。
【００１１】４は第二ダイヤフラムであり、前記第一ダ
イヤフラムと同形状、同材質であるため説明は省略す
る。
イヤフラムと同形状、同材質であるため説明は省略す
る。
【００１２】６は円筒状の第二ダイヤフラム押さえであ
り、底部中央には後記弁体７が螺着にて固定されてお
り、弁体７の周囲には図２に示されるごとく流体流通口
１５が設けられている。弁体７の設け方は螺着に限定さ
れず、融着或いは一体成形等の方法でもよい。また、流
体流通口１５の数や形状も適宜選択でき特に限定される
ものではない。
り、底部中央には後記弁体７が螺着にて固定されてお
り、弁体７の周囲には図２に示されるごとく流体流通口
１５が設けられている。弁体７の設け方は螺着に限定さ
れず、融着或いは一体成形等の方法でもよい。また、流
体流通口１５の数や形状も適宜選択でき特に限定される
ものではない。
【００１３】第二ダイヤフラム押さえ６も前記ダイヤフ
ラム押さえ５と同様な構造にて第二ダイヤフラム４の周
縁部に設けられた環状突部２１を円筒状本体１に挟持固
定している。
ラム押さえ５と同様な構造にて第二ダイヤフラム４の周
縁部に設けられた環状突部２１を円筒状本体１に挟持固
定している。
【００１４】前記と同様に、前記作動流体供給口１０は
円筒状本体１と第二ダイヤフラム４とスリーブ２とによ
って囲まれて形成される下部空隙１４に連通されること
になる。
円筒状本体１と第二ダイヤフラム４とスリーブ２とによ
って囲まれて形成される下部空隙１４に連通されること
になる。
【００１５】尚、本発明において本体等の部材はＰＴＦ
Ｅ，ＰＦＡなどのフッ素樹脂が好適に使用されるが、ポ
リ塩化ビニル、ポリプロピレン等の他のプラスチック及
び金属でも良く、特に限定されるものではない。また、
ダイヤフラムの材質はＰＴＦＥ等のフッ素樹脂が好適に
使用されるが、ゴム及び金属でも良く、特に限定される
ものではない。
Ｅ，ＰＦＡなどのフッ素樹脂が好適に使用されるが、ポ
リ塩化ビニル、ポリプロピレン等の他のプラスチック及
び金属でも良く、特に限定されるものではない。また、
ダイヤフラムの材質はＰＴＦＥ等のフッ素樹脂が好適に
使用されるが、ゴム及び金属でも良く、特に限定される
ものではない。
【００１６】次に本実施態様の作動について説明する。
【００１７】図１は弁の閉状態を示しているが、この状
態で上方の作動流体供給口９に外部より作動流体（例え
ば圧縮された空気等）が注入されると、該作動流体が上
部空隙１３に導入され、その圧力で第一ダイヤフラム３
が押し上げられるためこれと接合されたスリーブ２は上
方へ引き上げられ、該スリーブ２の下端部は弁体７より
離間され弁が開状態となる（図３の状態）。この時、下
部空隙１４に滞留していた作動流体は下方の作動流体供
給口１０より排出される。上部空隙１３と下部空隙１４
とはスリーブ２を介してＯ−リング８で隔離されてお
り、スリーブ２が上下に移動しても作動流体が他方の空
隙へ漏れないようになっている。
態で上方の作動流体供給口９に外部より作動流体（例え
ば圧縮された空気等）が注入されると、該作動流体が上
部空隙１３に導入され、その圧力で第一ダイヤフラム３
が押し上げられるためこれと接合されたスリーブ２は上
方へ引き上げられ、該スリーブ２の下端部は弁体７より
離間され弁が開状態となる（図３の状態）。この時、下
部空隙１４に滞留していた作動流体は下方の作動流体供
給口１０より排出される。上部空隙１３と下部空隙１４
とはスリーブ２を介してＯ−リング８で隔離されてお
り、スリーブ２が上下に移動しても作動流体が他方の空
隙へ漏れないようになっている。
【００１８】一方、図３の状態で下方の作動流体供給口
１０から作動流体が注入されると、上記開作動時とは逆
の作動により前記スリーブ２の下端部が弁体７に圧接さ
れ弁は閉状態となる。尚、図３では自動弁の内部を流れ
る流体は上方向に流れることが示されているが、実用上
は下方向に流体を流してもよく、流体の流れ方向は特に
限定されない。
１０から作動流体が注入されると、上記開作動時とは逆
の作動により前記スリーブ２の下端部が弁体７に圧接さ
れ弁は閉状態となる。尚、図３では自動弁の内部を流れ
る流体は上方向に流れることが示されているが、実用上
は下方向に流体を流してもよく、流体の流れ方向は特に
限定されない。
【００１９】図４は本発明の第二の実施態様を示した縦
断面図である。前記第一の実施態様と異なる点は第一、
第二両ダイヤフラム３，４とスリーブ２とがフッ素樹脂
等で一体成形にて設けられている点である。こうするこ
とにより各々のダイヤフラムの中央部はスリーブ２に接
合する手間を省くことができ弁の組立作業が容易とな
る。尚、第一ダイヤフラム３とスリーブ２を一体成形に
て形成し、第二ダイヤフラム４をスリーブ２に螺着させ
る組み合わせ構造にしてもかまわない。弁の作動につい
ては第一の実施態様の場合と同一であるので説明は省略
する。
断面図である。前記第一の実施態様と異なる点は第一、
第二両ダイヤフラム３，４とスリーブ２とがフッ素樹脂
等で一体成形にて設けられている点である。こうするこ
とにより各々のダイヤフラムの中央部はスリーブ２に接
合する手間を省くことができ弁の組立作業が容易とな
る。尚、第一ダイヤフラム３とスリーブ２を一体成形に
て形成し、第二ダイヤフラム４をスリーブ２に螺着させ
る組み合わせ構造にしてもかまわない。弁の作動につい
ては第一の実施態様の場合と同一であるので説明は省略
する。
【００２０】図５は本発明の第三の実施態様を示した縦
断面図である。この実施態様においては、第一ダイヤフ
ラム押さえ２２と第二ダイヤフラム押さえ２３の流体流
通口２４，２５がその側面部に設けられている。従って
流体流路は湾曲された状態に形成されている。この場合
においては、円筒状本体１と両ダイヤフラム押さえ２
２，２３はボルト・ナット等で一体化されている。弁の
作動については前記と同一であるので説明は省略する。
断面図である。この実施態様においては、第一ダイヤフ
ラム押さえ２２と第二ダイヤフラム押さえ２３の流体流
通口２４，２５がその側面部に設けられている。従って
流体流路は湾曲された状態に形成されている。この場合
においては、円筒状本体１と両ダイヤフラム押さえ２
２，２３はボルト・ナット等で一体化されている。弁の
作動については前記と同一であるので説明は省略する。
【００２１】図６は第一の実施態様の自動弁が配管ライ
ンに設置された状態の一例を示す縦断面図である。該自
動弁とパイプとの接続においてはパイプ３０，３１が固
定されたボディキャップ２８，２９をＯ−リング３２，
３３を介してキャップナット２６，２７を円筒状本体１
の端部外周部に螺合させることにより自動弁の両側に固
定する方法で行われている。
ンに設置された状態の一例を示す縦断面図である。該自
動弁とパイプとの接続においてはパイプ３０，３１が固
定されたボディキャップ２８，２９をＯ−リング３２，
３３を介してキャップナット２６，２７を円筒状本体１
の端部外周部に螺合させることにより自動弁の両側に固
定する方法で行われている。
【００２２】
【発明の効果】本発明は以上説明したような構造をして
おり、これを使用することにより以下の優れた効果が得
られる。
おり、これを使用することにより以下の優れた効果が得
られる。
【００２３】（１）シール部材であるスリーブと作動流
体の圧力を受けるダイヤフラムとが直接に接合或いは一
体で形成されており、また摺動部が一ヶ所しかないの
で、動作時の力の伝達において損失が少なく、弁開閉の
安定性、確実性が増し、高いシール性能が得られる。
体の圧力を受けるダイヤフラムとが直接に接合或いは一
体で形成されており、また摺動部が一ヶ所しかないの
で、動作時の力の伝達において損失が少なく、弁開閉の
安定性、確実性が増し、高いシール性能が得られる。
【００２４】（２）流路形状は単純であり、流体の流れ
方向に大きな変化がなく優れた流量特性が得られる。し
たがって、スラリーを含む薬液用として使用してもシー
ル部の摩耗が少なく高いシール性能を長期に渡り維持す
ることができる。
方向に大きな変化がなく優れた流量特性が得られる。し
たがって、スラリーを含む薬液用として使用してもシー
ル部の摩耗が少なく高いシール性能を長期に渡り維持す
ることができる。
【００２５】（３）自動弁本体と駆動部とが一体で形成
されており、部品点数も少なくコンパクトである。
されており、部品点数も少なくコンパクトである。
【図１】本発明の自動弁の閉状態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の自動弁の第二ダイヤフラム押さえの底
面図である。
面図である。
【図３】本発明の自動弁の開状態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図４】本発明の自動弁において第一及び第二ダイヤフ
ラムとスリーブを一体で形成した場合を示す縦断面図で
ある。
ラムとスリーブを一体で形成した場合を示す縦断面図で
ある。
【図５】本発明の自動弁において流体流路を第一及び第
二ダイヤフラム押さえの側面に設けた場合を示す縦断面
図である。
二ダイヤフラム押さえの側面に設けた場合を示す縦断面
図である。
【図６】本発明の自動弁を配管した状態を示す縦断面図
である。
である。
【図７】従来の自動弁の縦断面図である。
１…円筒状本体 ２…スリーブ ３…第一ダイヤフラム ４…第二ダイヤフラム ５…第一ダイヤフラム押さえ ６…第二ダイヤフラム押さえ ７…弁体 ８…Ｏ−リング ９…作動流体供給口 １０…作動流体供給口 １１…縮径部 １２…環状溝 １３…上部空隙 １４…下部空隙 １５…流体流通口 １６…円環状接合部 １７…円環状接合部 １８…螺合部 １９…螺合部 ２０…環状突部 ２１…環状突部 ２２…第一ダイヤフラム押さえ ２３…第二ダイヤフラム押さえ ２４…流体流通口 ２５…流体流通口
Claims (2)
- 【請求項１】 円筒状本体と、該円筒状本体の内部に軸
方向に移動可能に嵌挿されたスリーブと、中央に該スリ
ーブの両端部と接合される円環状接合部と外周部に環状
突部とを有する第一及び第二のダイヤフラムと、一方の
ダイヤフラムの環状突部を挟持して前記円筒状本体の一
端部と接合される円筒状の第一ダイヤフラム押さえと、
他方のダイヤフラムの環状突部を挟持して前記円筒状本
体の他端部と接合され且つ底部中央に前記スリーブの下
端部と圧接及び離間される弁体が設けられ底部或いは側
面に流体流通口を有する円筒状の第二ダイヤフラム押さ
えとから構成され、また前記円筒状本体とダイヤフラム
とスリーブとによって形成される上部空隙及び下部空隙
にそれぞれ連通する一対の作動流体供給口を有すること
を特徴とする自動弁。 - 【請求項２】 前記第一及び第二ダイヤフラムの少なく
とも一方と前記スリーブとが一体に形成されていること
を特徴とする請求項１に記載の自動弁。
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| JP11166531A JP2000352468A (ja) | 1999-06-14 | 1999-06-14 | 自動弁 |
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