CN100381732C - 加长行程的阀及隔膜 - Google Patents

Abstract

一种特别适用于处理腐蚀性流体的、具有能延长阀的服务寿命的性能的加长行程的提升阀。该阀包括一个具有由高抗疲劳含氟聚合物材料制成的湿隔膜及由高强度含氟聚合物材料制成的、以抵挡加长的阀行程施加的高压力负载的隔膜垫座的两部分一级隔膜组件。在单个一级隔膜组件中，这两层的组合将形成高耐用的、抗腐蚀性化学物质的、能在长行程提升阀中使用的且具有较长服务寿命的隔膜。

Description

加长行程的阀及隔膜

相关申请

本申请要求名称为“加长行程的阀及隔膜”的分别于2003年7月11日提出的第60/486,301号及于2003年7月14日提出的第60/486,959号美国临时专利申请的优先权，这两项申请的全部内容均被引用于此。

技术领域

本发明总的来说涉及阀，尤其涉及高流动性的、用于控制腐蚀性流体的流动的加长行程的阀。

背景技术

半导体工业使用各种类型的阀以控制流体，包括高腐蚀性流体的流动。至关重要的是这些阀在流体流动过程中不会造成使流体变得停滞并退化或捕获固体引起流体污染的静态点或死点。在半导体制造中流体有时必须有相当的流量，重要的是用于管道系统的任何阀不造成不适当的压力损失或流量限制。另外，由于高腐蚀性流体经常用于半导体工业中，将潜在的泄漏源或密封的数量保持在最低限度也是很重要的。

这些阀必须由抗腐蚀性流体性能高的材料制成。总的来说，腐蚀性流体与金属部分的接触应当避免。与流体接触的部件典型地由含氟聚合物，例如过氟烷氧基(PFA)、聚偏氟乙烯(PVDF)或聚四氟乙烯(PTFE)形成。典型地，部分与流体直接接触的阀，例如阀本体、阀和阀座、一级隔膜及密封或衬垫将由含氟聚合物材料形成。

通常通过使用加长行程的驱动器将阀提高一更大的距离来增加阀与阀座之间的间隙可减少通过提升阀的流动限制。然而，在使用含氟聚合物隔膜的阀中，一个问题是这种隔膜总的来说不具有长的疲劳寿命，其将在相对短的时间内磨损。此外，具有足够的弹性、能与加长行程的驱动器恰当地配合的含氟聚合物隔膜容易受损且容易过载，从而导致阀过早的损坏。在关键的半导体加工操作中，阀的损坏将在加工中引起代价惨重的延误且造成关键设备及产品的损坏。

在工业中，仍需要有用于腐蚀性流体、具有能延长阀的服务寿命的性能的加长行程的提升阀。

发明内容

本发明提供一种特别适用于处理腐蚀性流体的加长行程的提升阀，与现有的阀相比其具有能延长阀的服务寿命的性能。该阀包括一个具有由高抗疲劳含氟聚合物材料制成的湿隔膜及由高强度含氟聚合物材料制成的、以抵挡加长的阀行程施加的高压力负载的隔膜垫座的两部分一级隔膜组件。在单个一级隔膜组件中，这两层的组合将形成高耐用的、抗腐蚀性化学物质的、能在长行程提升阀中使用的且具有较长服务寿命的隔膜。其直接结果是阀的耐用性和服务寿命得到改进，从而使加工效率得到提高，成本降低。

承上述，隔膜阀包括形成进口通道、出口通道及流体室的阀本体。流体室具有内壁和开口侧。进口通道与出口通道在内壁形成开口使得流体可以在进口通道、出口通道及流体室之间流通。阀座部分包围流体室内的进口通道开口。弹性隔膜组件用于密封地闭合流体室的开口侧。弹性隔膜具有正对流体室内部的阀部分，且可选择性地放置在至少一个阀部分与阀座部分密封地接合以阻塞流体流动穿过阀的阀闭合位置及放置在阀部分与阀座隔开以使流体流动穿过阀的阀开启位置。弹性隔膜组件包括具有由抗疲劳含氟聚合物材料形成的一级隔膜构件及由高强度含氟聚合物材料形成的邻近隔膜垫座构件的一级隔膜组件。隔膜组件还可包括与一级隔膜组件隔开的二级隔膜。阀还可包括与弹性隔膜组件可操作地连接用于选择性地将弹性隔膜组件置于阀开启及阀闭合位置的驱动组件。

附图说明

图1为本发明的阀的立体图；

图2为图1所示的阀的俯视图；

图3为本发明的阀的分解图；

图4为沿图2中4-4部分的剖视图，表示位于阀闭合位置的阀；

图5为沿图2中5-5部分的剖视图，表示位于阀开启位置的阀；

图6为图4中一部分的放大剖视图；

图7为图5中一部分的放大剖视图；

图8为沿图2中8-8部分的剖视图；及

图9为本发明的阀的另一实施例的剖视图。

具体实施方式

加长行程的阀10总的来说包括本体12、隔膜组件14及驱动组件16。本体12具有带有一对凸出螺纹短接管20、22的中心部分18。进口通道24从螺纹短接管20延伸至中心部分18内，其向上转且在流体室26终结。阀座28包围流体室26内的进口通道24的终端。出口通道30从流体室26延伸穿过中心部分18和螺纹短接管22。配合环32从中心部分18向上延伸，且具有用于安装将在下文描述的隔膜组件14及驱动组件16的内部螺纹区域34及外部螺纹区域36。每一个螺纹短接管20、22具有用于安装螺纹压接套筒40的螺纹区域38以便阀10可固定于管道或导管(图中未示)。另外，当然任何其它类型的配件或接头，包括锥形接头、直螺纹接头或焊接件可用于将管道或导管连接至阀10。

隔膜组件14总的来说包括一级隔膜组件42、隔膜护圈44、二级隔膜46及阀杆48。一级隔膜组件42总的来说包括湿隔膜50及隔膜垫座52。湿隔膜50最好是由高抗疲劳含氟聚合物材料形成，优选PTFE材料。目前，用于湿隔膜50的最优选的材料是由日本大金工业株式会社制造的大金M112。另一种优选材料是“HyQ”PTFE。隔膜垫座52最好是由高强度改性含氟聚合物材料形成，优选PTFE材料。目前，用于隔膜垫座52的最优选的材料是由德拉瓦州纽瓦克的戈尔公司制造的

当然，很容易理解，作为另一种选择，湿隔膜50可由高强度改性含氟聚合物材料制造，且隔膜垫座52可由高抗疲劳含氟聚合物材料制造。

湿隔膜50具有通过薄的弹性部分58连接的中心部分54及外围环56。外围环56密封地安装在本体12的中心部分18的朝上的槽60内。阀构件62从中心部分54向下凸出且具有带有底部表面66的扩大突出部分64倾斜的密封部分68形成于底部表面66上，其位置及大小与阀座28密封地配合。凹槽70形成于中心部分54的顶部表面72，且具有用于安装将在下文描述的阀杆48的内部螺纹73。

隔膜护圈44具有外部螺纹区域74且与配合环32的内部螺纹区域34相螺合。湿隔膜50及隔膜垫座52压在隔膜护圈44与本体12的凸肩76之间，在图6和图7中看得最清楚。当隔膜护圈44被拧紧时，外围环56被压进槽60中，从而在一级隔膜组件42的外围形成密封。隔膜护圈44具有中心孔78。阀杆48延伸穿过中心孔78以啮合凹槽70。

二级隔膜46覆盖隔膜护圈44，且具有通过薄的弹性部分84连接的外围环80及中心环82。中心环82中的孔86套在阀杆48的中间部分88上且与阀杆48的中间部分88接合。当外围环80装在配合环32的上部凸肩94内时，二级隔膜46的底部表面90与阀杆48的凸肩92接合。倘若一级隔膜组件42发生泄漏，二级隔膜46将用作上部阻挡层，且二级隔膜46可由任何适宜弹性及抗疲劳的、具有适当强度特性的材料制成。目前最优选的是将PTFE、织物及含氟弹性体材料的合成物用于二级隔膜46。优选的含氟弹性体材料是由德拉瓦州威尔明顿市的杜邦弹性体公司制造的

阀杆48具有下螺纹部分96、扩大部分98、阶梯形中间部分88及上螺纹部分100。下螺纹部分96具有用于与一级隔膜组件42内的凹槽70的内部螺纹73螺合的外部螺纹102。扩大部分98具有压在一级隔膜组件42的顶部表面72上的底部表面104。上螺纹部分100与将在下文描述的驱动组件16螺合。

驱动组件16总的来说包括活塞106，弹簧组108，密封环110、112，壳体114及护圈环116。活塞106滑动地安装在壳体114内，且总的来说包括通过连接板部分122连接的阀杆部分118及活塞导向部分120。阀杆部分118具有从底侧126延伸的内孔124。内孔124可具有用于安装阀杆48的上螺纹部分100的内部螺纹128。活塞导向部分120具有外围槽130，该外围槽130的尺寸可以安装密封环110，该密封环110与壳体114的内壁132形成滑动的密封。阀杆部分118、连接板部分122及活塞导向部分120的排列方向最好使得活塞106成具有向上的凹槽134的杯状。弹簧组108装在凹槽134内，且压靠于凹槽134的内表面136及壳体114的内壁132以便将向下靠的力施加于活塞106及隔膜组件14。在图示的实施例中，弹簧组108包括外部弹簧138、中间弹簧140及内部弹簧142。然而，很容易理解，弹簧组108可包括任何数量和结构的、与和阀一起使用的流体压力及和阀10一起使用的特别的驱动器的特征相容的弹簧。也很容易理解，虽然这里描述了通常闭合型阀结构，但是本发明的隔膜组件14也可应用于通常开启型阀的设计中。

壳体114具有在顶壁146内的孔144。活塞106的阀杆部分118延伸穿过孔144且在孔144内滑动。密封环112套在阀杆部分118上且安装于外围槽147内。密封环112用于防止穿过孔144且在阀杆部分118的周围的泄漏。壳体114也具有被护圈环116接合的外围凸缘148。护圈环116具有内部螺纹150，该内部螺纹150螺合配合环32的外部螺纹区域36以将驱动组件16夹持于本体12。机动的或手动的驱动设备(图中未示)可与阀杆部分118接合以实现在壳体114内的活塞106的选择性移动。

可以提供从在一级隔膜组件42的外围的区域154延伸的泄漏信号口152以提供流体泄漏穿过或流过一级隔膜组件42的指示。泄漏信号口152可由小的含氟聚合物插塞(图中未示)密封，该插塞将被泄漏施加的流体压力喷出。此外，如图9所示，可提供螺纹短接管153以连接导管(图中未示)以便任何穿过泄漏口152的流体泄漏可远离阀10的周围。

在操作中，弹簧组108在阀闭合位置通常向下推着活塞106及隔膜组件14，以使阀构件62与阀座28密封地接合，闭塞穿过阀10的流体流动。然后，活塞106可逆着弹簧组108的推力选择性地向上移位，以将阀构件62移至阀开启位置而远离阀座28，从而使流体能流过进口通道24、流体室26和出口通道30。因此，隔膜组件14和阀构件62可选择性地置于阀开启或阀关闭位置。

图9表示了加长行程的阀156的另一实施例。阀156总的来说包括本体158、隔膜组件160及驱动组件162。本体158具有带有一对凸出螺纹短接管166、168的中心部分164。进口通道170从螺纹短接管166延伸至中心部分164内，其向上转且在流体室172终结。阀座174包围流体室172内的进口通道170的终端。出口通道176从流体室172延伸穿过中心部分164和螺纹短接管168。配合环178从中心部分164向上延伸，且具有用于安装上述隔膜组件160及驱动组件162的内部螺纹区域180及外部螺纹区域182。此外，每一个螺纹短接管166、168具有用于安装螺纹压接套筒186的螺纹区域184。

隔膜组件160总的来说包括湿隔膜组件188、隔膜护圈190及阀杆192。一级隔膜组件188总的来说包括湿隔膜194及隔膜垫座196。此外，湿隔膜194最好是由高抗疲劳含氟聚合物材料形成，优选PTFE材料，例如大金M112或“HyQ”PTFE。隔膜垫座196最好是由高强度改良含氟聚合物材料形成，优选PTFE，例如

湿隔膜194具有通过薄的弹性部分202连接的中心部分198及外围环200。外围环200密封地安装在本体158的中心部分164的朝上的槽204内。阀构件206从中心部分198向下凸出且具有带有底部表面210的扩大突出部分208。倾斜的密封部分212形成于底部表面210上，其位置及大小与阀座174密封地配合。凹槽214形成于中心部分198的顶部表面216，且具有用于安装阀杆192的内部螺纹218。

隔膜护圈190具有外部螺纹区域220且与配合环178的内部螺纹区域180相螺合。湿隔膜194及隔膜垫座196压在隔膜护圈190与本体158的凸肩222之间。当隔膜护圈190被拧紧时，外围环200被压进槽204中，从而在湿隔膜组件188的外围形成密封。隔膜护圈190具有中心孔224。阀杆192延伸穿过中心孔224以啮合凹槽214。

阀杆192具有下螺纹部分226、扩大部分228及上螺纹部分230。下螺纹部分226具有用于螺合湿隔膜组件188内的凹槽214的内部螺纹218的外部螺纹232。扩大部分228具有压在湿隔膜组件188的顶部表面216上的底部表面232。上螺纹部分230与将在下文描述的驱动组件162螺合。

驱动组件162总的来说包括活塞234，弹簧组236，密封环238、240，壳体242及护圈环244。活塞234滑动地安装在壳体242内，且总的来说包括通过连接板部分250连接的阀杆部分246及活塞导向部分248。阀杆部分246具有从底侧254延伸的内孔252。内孔252可具有用于安装阀杆192的上螺纹部分230的内部螺纹256。活塞导向部分248具有外围槽258，该外围槽258的尺寸可以安装密封环238，该密封环238与壳体242的内壁260形成滑动的密封。阀杆部分246、连接板部分250及活塞导向部分248的排列方向最好使得活塞234成具有向上的凹槽262的杯状。弹簧组236装在凹槽262内，且压靠于凹槽262的内表面264及壳体242的内壁260以便将向下靠的力施加于活塞234及隔膜组件160。在图示的实施例中，弹簧组236包括外部弹簧266、中间弹簧268及内部弹簧270。然而，很容易理解，弹簧组236可包括任何数量和结构的、与和阀一起使用的流体压力及和阀156一起使用的特别的驱动器的特征相容的弹簧。也很容易理解，虽然这里描述了通常闭合型阀结构，本发明的隔膜组件160也可应用于通常开启型阀的设计中。

壳体242具有在顶壁274内的孔272。活塞234的阀杆部分246延伸穿过孔272且在孔272内滑动。密封环240套在阀杆部分246上且安装于外围槽276内。密封环240用于防止穿过孔272且在阀杆部分246的周围的泄漏。壳体242也具有被护圈环244接合的外围凸缘278。护圈环244具有内部螺纹280，该内部螺纹280螺合配合环178的外部螺纹区域182以将驱动组件162夹持于本体158。机动的或手动的驱动设备(图中未示)可与阀杆部分246接合以实现在壳体242内的活塞234的选择性移动。

在图9所示的实施例中，用O-环提供二级密封。活塞234具有向下垂的、形成凹槽284的活塞导向部分282。阀杆192的扩大部分228安装在凹槽284内。隔膜护圈190具有朝上的凹槽286。O-环288装在凹槽286内且装在活塞导向部分282的外表面290周围。此外，隔膜护圈190具有朝外的凹槽292以在隔膜扩圈190与壳体242的内壁260之间安装O-环294。另外，本体158的配合环178具有在上表面298内的凹槽246以在配合环178与壳体242之间安装O-环300。这些O-环288、294、300提供附加的防止因破裂或流体的渗漏造成的泄漏穿过湿隔膜组件188的密封。

可以提供从在湿隔膜组件188的外围的区域304延伸的泄漏信号口302以提供流体泄漏穿过或流过湿隔膜组件188的指示。泄漏信号口302可由小的含氟聚合物插塞(图中未示)密封，该插塞将被泄漏施加的流体压力喷出。此外，可提供配件306以连接导管(图中未示)以便任何穿过泄漏口302的流体泄漏可远离阀152的周围。

本发明的隔膜组件14、160比现有技术具有显著的优点。一级/湿隔膜组件42、188的两部分构造包括由高抗疲劳含氟聚合物材料制成的湿隔膜及由高强度含氟聚合物材料制成的以抵挡加长的阀行程施加的高压力负载的隔膜垫座。在单个一级隔膜组件中，这两层的组合将形成高耐用的、抗腐蚀性化学物质的、能在长行程提升阀中使用的且具有较长服务寿命的隔膜。其直接结果是阀的耐用性和服务寿命将得到改进，从而使得加工效率得到提高，成本降低。虽然这里说明了两种位置通常闭合的两通提升阀，但是容易理解，本发明的隔膜组件适用于更大范围的、包括通常开启的，以及三、四通阀的加长行程的阀结构。

Claims (27)

1.一种隔膜阀，其特征是包括：

阀本体，其形成进口通道、出口通道及具有内壁和开口侧的流体室，每一个上述进口通道与上述出口通道在上述内壁形成开口，使得流体能在上述进口通道、上述出口通道及上述流体室之间流通；

阀座部分，其包围流体室内的进口通道开口；

弹性隔膜组件，其密封地闭合上述流体室的开口侧且具有正对上述流体室内部的阀部分，上述弹性隔膜组件可选择性地在至少一个上述阀部分与上述阀座部分密封地接合以阻塞流体流动穿过上述阀的阀闭合位置与上述阀部分与上述阀座隔开以使流体流动穿过上述阀的阀开启位置之间转换，上述弹性隔膜组件包括由一级隔膜构件及隔膜垫座构件组成的一级隔膜组件，该一级隔膜构件产生一对相对的表面且由薄的抗疲劳含氟聚合物材料形成，该隔膜垫座构件邻近一级隔膜构件的一对相对的表面的其中一个，且与其同时延伸，隔膜垫座构件由薄的高强度含氟聚合物材料形成，上述弹性隔膜组件还包括与上述一级隔膜组件隔开的二级隔膜；及

驱动组件，其与上述弹性隔膜组件可操作地连接，用于选择性地将上述弹性隔膜组件置于每一个上述阀开启及上述阀闭合位置。

2.根据权利要求1所述的隔膜阀，其特征是上述高强度含氟聚合物材料是PTFE。

3.根据权利要求1所述的隔膜阀，其特征是上述抗疲劳含氟聚合物材料是PTFE。

4.根据权利要求1所述的隔膜阀，其特征是上述阀本体由PTFE材料形成。

5.根据权利要求1所述的隔膜阀，其特征是上述驱动组件包括与上述阀本体可操作地连接的壳体及滑动地安装在上述壳体内的活塞。

6.根据权利要求5所述的隔膜阀，其特征是上述驱动组件还包括向上述活塞施加靠力，使得上述驱动组件靠向上述阀开启或上述阀关闭位置之一的弹簧组。

7.根据权利要求5所述的隔膜阀，其特征是上述隔膜阀包括用于将弹性隔膜组件夹持于隔膜阀内的隔膜护圈。

8.根据权利要求7所述的隔膜阀，其特征是隔膜护圈具有中心孔，其中一部分活塞滑动地位于隔膜护圈的中心孔内，且其中阀还包括一对O-环，其中一个O-环密封地安装在活塞与壳体的内壁之间，且另一个O-环密封地安装在隔膜护圈与延伸穿过该隔膜护圈的一部分活塞之间的中心孔内。

9.根据权利要求5所述的隔膜阀，其特征是阀还包括安装在弹性隔膜组件上方的二级隔膜。

10.一种隔膜阀，其特征是：

阀本体，其形成进口通道、出口通道及具有内壁和开口侧的流体室，每一个上述进口通道与上述出口通道在上述内壁形成开口，使得流体能在上述进口通道、上述出口通道及上述流体室之间流通形成流动路线；

阀座装置，其在流体室内且放置在上述流动路线内；

隔膜装置，其密封地闭合上述流体室的开口侧，隔膜装置具有可选择性地与上述阀座装置接合的阀装置，上述阀装置可选择性地在至少一个上述阀装置阻塞上述流动路线的闭合位置与上述阀装置与上述阀座装置隔开以使上述流动路线不被阻塞的开启位置之间转换，上述隔膜装置包括至少一个隔膜构件及一个隔膜垫座构件，该隔膜构件产生一对相对的表面且由薄的抗疲劳含氟聚合物材料形成，该隔膜垫座构件邻近一级隔膜构件的一对相对的表面的其中一个，且与其同时延伸，隔膜垫座构件由薄的高强度含氟聚合物材料形成；及

驱动装置，其与上述隔膜装置可操作地连接用于选择性地将上述隔膜装置置于每一个上述阀开启及上述阀闭合位置。

11.根据权利要求10所述的隔膜阀，其特征是上述高强度含氟聚合物材料是PTFE。

12.根据权利要求10所述的隔膜阀，其特征是上述抗疲劳含氟聚合物材料是PTFE。

13.根据权利要求10所述的隔膜阀，其特征是上述阀本体由PTFE材料形成。

14.根据权利要求10所述的隔膜阀，其特征是上述驱动装置包括与上述阀本体可操作地连接的壳体及滑动地安装在上述壳体内的活塞。

15.根据权利要求14所述的隔膜阀，其特征是上述驱动装置还包括向上述活塞施加靠力，使得上述驱动装置靠向上述阀开启或上述阀关闭位置之一的弹簧组。

16.根据权利要求10所述的隔膜阀，其特征是上述隔膜装置包括由抗疲劳含氟聚合物材料形成的一级隔膜构件及由高强度含氟聚合物材料形成的邻近隔膜垫座构件组成的一级隔膜组件，其中上述隔膜装置还包括与上述一级隔膜组件隔开的二级隔膜。

17.一种隔膜阀，其特征是包括：

(a)形成进口及出口的阀本体；

(b)放置在上述进口与出口之间的阀座；及

(c)包括一级隔膜与二级隔膜的隔膜结构，上述一级隔膜具有可与上述阀座选择性地接合以阻塞流体流动穿过上述进口与出口的阀部分，上述一级隔膜包括由产生一对相对的表面的一级隔膜构件及隔膜垫座构件，该隔膜垫座构件邻近一级隔膜构件的一对相对的表面的其中一个，且与其同时延伸，其中上述一级隔膜构件与上述隔膜垫座构件的其中一个由薄的高强度含氟聚合物材料形成，且另一个由薄的抗疲劳含氟聚合物材料形成；及

(d)与上述隔膜结构可操作地连接的驱动组件，用于选择性地放置上述隔膜结构，以阻塞穿过上述隔膜阀的流动。

18.根据权利要求17所述的隔膜阀，其特征是上述高强度含氟聚合物材料是PTFE。

19.根据权利要求17所述的隔膜阀，其特征是上述抗疲劳含氟聚合物材料是PTFE。

20.根据权利要求17所述的隔膜阀，其特征是上述阀本体由PTFE材料形成。

21.根据权利要求17所述的隔膜阀，其特征是上述驱动组件包括与上述阀本体可操作地连接的壳体及滑动地安装在上述壳体内的活塞。

22.根据权利要求21所述的隔膜阀，其特征是上述驱动组件还包括向上述活塞施加靠力，使得上述驱动组件靠向上述阀开启或上述阀关闭位置之一的弹簧组。

23.一种隔膜阀，其特征是包括：

(a)形成进口及出口的阀本体；

(b)放置在上述进口与出口之间的阀座；

(c)具有可与上述阀座选择性地接合以阻塞流体流动穿过上述进口与出口的阀部分的湿隔膜组件，上述湿隔膜组件包括由产生一对相对的表面的一级隔膜构件及隔膜垫座构件，该隔膜垫座构件邻近一级隔膜构件的一对相对的表面的其中一个，且与其同时延伸，其中上述一级隔膜构件与上述隔膜垫座构件的其中一个由薄的高强度含氟聚合物材料形成，且另一个由薄的抗疲劳含氟聚合物材料形成；

(d)与上述阀本体可操作地连接的壳体，在上述壳体内滑动地安装有活塞，活塞与湿隔膜组件可操作地连接以使湿隔膜组件与活塞可选择性地放置；

(e)与本体可操作地连接用于将湿隔膜组件夹持于阀内的隔膜护圈，隔膜护圈具有中心孔，一部分活塞滑动地位于隔膜护圈的中心孔内；及

(f)一对O-环，其中一个O-环密封地安装在活塞与壳体的内壁之间，且另一个O-环密封地安装在隔膜护圈与延伸穿过该隔膜护圈的一部分活塞之间的中心孔内。

24.根据权利要求23所述的隔膜阀，其特征是上述高强度含氟聚合物材料是PTFE。

25.根据权利要求23所述的隔膜阀，其特征是上述抗疲劳含氟聚合物材料是PTFE。

26.根据权利要求23所述的隔膜阀，其特征是上述阀本体由PTFE材料形成。

27.根据权利要求23所述的隔膜阀，其特征是还包括与上述活塞可操作地连接的驱动器，用于选择性地放置上述湿隔膜组件，以阻塞穿过上述隔膜阀的流动。

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