JPS62283280A - インバ−ト式ベロ−ズ弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 発明の背景 本発明は、しゃ新井に関し、特にベローズ弁に関する。

本発明はインバート式ベローズ弁組立体に特に適用でき
るので、インバート式ベローズ弁組立体を参照して記載
する。しかし、本発明はもっと広い意味を有し、池の弁
が用いろれているものおよび池の弁が応用されているも
のにも有利に使用されつる。

ベローズ弁は、密封および清浄が最も重要である環境下
で通常用いられる。例えば、ベローズ弁は、系を流れる
種々の流体等をしゃ断する化学工業に使用される。多く
のこれらの流体の腐食性のために、弁の湿潤した部品間
の一層信頼できる密封関係が常に望まれる。

半導体工業のような他の工業においても、最終製品に欠
陥を導入しないように周囲環境ができるだ：す汚染物質
がないように維持されることが望まれる。過去において
は、適切の潤滑剤が協同するねじ部品間に必ず供給され
た。潤滑剤は、弁組立体には必要なものではあるけれど
も、半導体工業のように厳密に管理した環境下では汚染
物質と考えることができる。したがって、潤滑剤を減少
させることまたは潤滑剤をなくすことが清浄の観点から
極めて望ましい。

本発明は、前述の要求を満足しかつ先行の弁構造に関連
する問題および欠点を解決する新規で改良したインバー
ト式ベローズ弁を提供することにある。

発明の要約 本発明によると、弁部品間の高い密封に特に適しており
かつ弁の１吏用環境内の清浄を促進するインバート式弁
組立体が提供される。

本発明によると、ベローズ弁は弁座の両側に形成した弁
室に連通した流入通路および流出通路ををする弁本体を
含んでいる。弁ステムは弁室に配置されており弁座に選
択的に係合するように構成した部分を有している。閉鎖
部材は弁ステムの周囲に収容されていて弁本体の開放外
端に密封するように係合する。弁本体および閉鎖部材の
一方は弁本体および閉鎖部材の他方に密封するように係
合するように構成した突出部またはビードを含んでいる
。ベローズは弁ステムの下部部分を囲み、ベローズの一
端において弁ステムに密封状態で固着されており、ベロ
ーズの他端において閉鎖部材に密封状態で固着され、外
部圧力が系の流体によってベローズに作用される。

本発明の池の観点によれば、ステム先端が弁ステムの一
端にねじ込まれて固定され、弁ステムの他端にはステム
先端を取り替えている間ステムを所望の方向に保持する
手段が設）すられている。

本発明のさらに他の観点によれば、保持部材が弁ボンネ
ット、閉鎖部材、弁本体を互いに当接密封状態に保持す
るように弁本体に係合する。

本発明のさらに他の観点によれば、適所に配置したテー
パー面および間隔をへだてた軸線方向の面が協同する弁
部品間の厳密な整合を容易にする。

本発明の基本的な利点は種々の弁部品間の高い密封性に
ある。

一本発明の池の利点は弁組立体の作動によって清浄が損
なわれないことにある。

さらに池の利点は弁部品間で得られる正確な整合にある
。

実施例 本発明は、特定の部品及び部品の配列において物理的な
形態をとることができ、その好ましい実施例及び変形例
を本明細書中に詳細に説明し、本明細書の一部を成す添
付図面に図示する。

図面を参照すると、ここに示すもの（ま本発明の好まし
い実施例及び変形例を単に図示するためのものであって
、これらを限定するためのものではない。第１図は、イ
ンバート式ベローズ弁Δを示し、このベローズ弁は、弁
ステムＣを作動的に受入れる弁本体Ｂを有する。ベロー
ズＤは、一端が弁ステムに、他端が閉鎖部材已に密封固
定されている。弁ボンネットＦは弁本体から外方に延び
且つ保持部材Ｇで本体に保持される。アクチュエータＨ
は弁ステムの外端に固定され、更に弁ボンネットの外側
部分に連結されている。

更に詳細には、井水１：ｔＢは、第１通路すなわち流入
通路［０と、第２通路すなわち流出通路１２とを有し、
これらは弁室１４と流体連通している。

弁室は弁本体の外側部分に構成された第１端すなわち開
放端１６と、はぼ半径方向に延びた弁室の内側面２０に
沿って全体に配置された弁座１３とををする。当該技術
分野で周知のように、流入通路１０及び流出通路１２は
弁を流体システムに組み込むための流体接手等を受入れ
るようになっている。弁本体の分岐部の外端に設けられ
た、流入通路１０及び流出通路１２を含む雄ねじ領域２
２は単に流体接手構造の一つの種類を図示するものであ
る。同じ結果を得るため、他の適当な構造を本発明の範
囲及び意図から逸脱することなく使用することができる
。

弁ステムＣは、第１端すなわち内端３０と、第２端すな
わち外端３２とを有する。弁ステムの第１端３０は、弁
室１４内に特に弁室の開放端１６を介して受け入れられ
るようになっている。ステム先端副組立！、１ｔ３４は
、弁ステムの第１端の最内部分にねじ込まれている。ス
テム先端副組立体は、弁座１８と密封係合するようにな
った、ＫＥＬ−Ｆ（ミネソタ州セントポールのミネソタ
鉱業製造社（Ｍｉｎｎｅｓｏｔａ　Ｍｉｎｉｎｇ　ａｎ
ｄ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｃｏ、）の登録商標
）でつくられた、プレス嵌め先端インサート３６を有す
る。ＫＥＬ−Ｆの先端インサートは、ねじ領域、ステム
先端副組立体の穿孔個所のキャビティ及び弁ステムの内
端からの漏れを実質的になくす。勿論、同じ結果を得る
ため、ＫＥＬ−Ｆ材料に四散する性質を持つ他の材料を
使用することができる。

弁ステムの第１端の半径方向外方に延びたフランジ部分
３８は、ベローズＤの第１端と密接するようになった軸
線方向に延びた面３９を有するっベローズは、好ましい
実施例では、ステンレススチールで出来ており、第１図
に概略的に示すように、弁座に対する弁ステムの選択的
な軸線方向遅動に順応するように襞付けされ或いは折り
曲げらレル。ベローズの第１端４０はフランジ部分３８
：こ溶接され、又は他の方法で固定され、ベローズの第
２端４２は、同昧の手段で閉鎖部材すなわち溶接リング
已に密封固定される。ベローズをこの方法で取り付ける
ことにより、ベローズは、弁室内の流体によって外側圧
縮力を受ける。このような構造は一般にインバート式ベ
ローズと呼ばれ、内力よりも大きな外力に耐えることが
できるので望ましい。かくして、インバート式ベローズ
の使用により、弁を更に高いシステム圧力で使用するこ
とができる。付は加えると、このベローズ構造は、密封
構造体の寿命を長くする。周知のように、ベローズは、
弁ステムを弁室内のシステム流体から隔離するように機
能する。

第１図を参照しながら、今第３図、第４Ａ図及び第４Ｂ
図に注目すると、明らかに閉鎖部材Ｅは、該部材を貫通
するバルブステムＢを受け入れる環状構造を有している
。軸線方向に延びた外部表面部分５０が、これにベロー
ズの第２端をぴったりと受け入れるように設計されてい
る。半径方向に延びた面５２が表面部分５０から内方に
延びて、軸線方向の往復運動の間、弁ステムの行過ぎを
阻止する止め装置、即ち制限装置を形成する。制限面５
２は、閉鎖部材に対して弁ステムの移動を制限するため
に、弁ステムの肩５４と当接するようになっている。大
径フランジ５６が弁室の開放端１６上に横たわり、或い
はこれを閉鎖するように設計されている。特に、大径フ
ランジは、弁室の開放端１６に隣接して弁本体と密封係
合するようになって戸る。

ビード／−ル構造（第３図）の使用によって、開放端１
６で弁本体とフランジ５６との密封係合が行われる。好
ましく（マ、大径フランジの下面には、連続の丸い或い
は円弧状の環状ビード５８が設けろれる。このビードは
、弁室の開放端１６と円周取り囲み関係をなして弁本体
に形成されたほぼ平らな肩６０とｔ目互に係合可能に設
計されている。一層明らかとなるように、ビード５８と
平らな肩６０との厳密な係合によって、有利には、弁室
の開放端のまわりに液密ンールをつ（る。これにより、
加圧した流体は弁室に閉じ込められ、弁室からの漏れを
阻止する。理解されるように、例えば円弧状ビードを弁
本体に設置し、関連した平面を閉鎖部材に設けることに
よって、ビードシールの向きを逆にしてもよく、このよ
うな反転は、本発明の精神、趣旨の範囲内にあると思わ
れる。

加えて、閉鎖部材のテーパ面６２がビード５８かろ半径
方向内方に間隔をへだてた大径フランジの領域で大径フ
ランジの内面から、外方に突出しているっテーパ面６２
は、フランジの内面からその軸線方向長さに亘って半径
方向内方にテーパしているっテーパ面６２１ま、閉鎖部
材と弁本体との整合を容易にするように設計されている
。この関係によって弁ステムと弁座との整合を促進する
。

特に第３図を参照すると、明らかに、弁本体は、閉鎖部
材のテーパ面６２と協働関係を可能にするテーパ面６４
を有している。弁の組立の間、これらの互いに向き合っ
たテーパ面６２．６４は、閉鎖部材と弁本体との間の正
確な整合を確保する。

さらに、弁本体と密封ビード５８及び大径フランジ５６
０半径方向外方外周との間には、所定の空間、即ち隙間
が存在する。これにより、テーパ面６２．６４に沿って
組立整合をさらに確実にする。

第１図を参照すると、ブッシング部材６８が、閉鎖部材
の外端で内環状キャビティ７０に受け入れられている。

好ましい実施例では、このブッシング部材は青銅等の金
嘱で構成され、弁ステムをその所定長さに沿って支持す
るように設計された長手軸線方向の寸法を有している。

ブッシング部材は、システム流体から遠い方の領域で弁
ステムを正確に案内し、さらに弁組立体の清潔さを促進
する。

第１図及び第３図に示すように、弁ボンネットＦは、そ
の内端に半径方向外方に延びたフランジ７２を有し、該
フランジ７２は大径フランジ５６の外周寸法にほぼ近い
直径を有している。半径方向のフランジ７２は、接触領
域７３で大径フランジ５６の外方に向いた環状面と相互
に係合可能になっている。このようにして閉鎖部材は、
弁ボンネン）Ｆと井水ｆ、ｔＢとの間に軸線方向に介在
される。さらに、弁ボンネットは、その中に受け入れら
れた閉鎖８材の外部表面から半径方向に間隔をへたてる
ように寸法法めされた軸線方向に延びた内壁表面７４を
有している。

ベローズの密封完全性を監視し、弁ボンネツト室への加
圧流体の潜在的−な漏れを検出するために、ボンネン）
ｌし管（図示せず）を選択的に採用してもよい。漏し管
開口アロ　（第１図）が、在来の方法で、漏し管を受入
れために弁ボンネットの側壁を貫いて半径方向に延びて
いる。弁ボンネットＦはさろに、外側端部に雄ねじ領域
７８を設けた小径部を有する。この小径部材、弁ボンネ
ン）Ｆ及び関連したアクチュエータハウジングの間に〇
−リング等の第１シール部材８２を受け入れる外部肩８
０を形成している。

第１図及び第３図を参照し続けると、ボンネットナツト
すなわち保持部材Ｇが弁ボンネットＦ１閉鎖部材Ｅ、及
び弁本体Ｂと取り囲み関係をなして配置されている。ボ
ンネットナラ）Ｇは雌ねじ部分９２を有していて、弁本
体Ｂの雄ねじ領域９４と螺合している。開口９６は弁ボ
ンネン）Ｆの外部表面を受入れているが、その寸法は半
径方向フランジ７２の直径よりも小さνっＣうｌｕ、中
ンネットナットＧの内部には、弁ボンネン）Ｆの半径方
向フランジ７２とぴったりと係合するようになった半径
方向肩９８が形成されている。ボンネットナラ）Ｇを在
来のレンチ平面１００の領域において井水１．ｔＢに対
して前進させることにより肩９８を締めつｉすて、半径
方向フランジ７２と保持係合させる。一方、半径方向フ
ランジ７２は、閉鎖部材Ｅの大径フランジ５６の内面７
３に軸線方向の圧縮力を与える。これにより、丸いビー
ド５８を弁本体Ｂの概ね平らな！Ｂ６０に効果的な密封
関係に圧接させる（第３図）。

この構造によれば、ボンネットナツトＧの軸線方向の圧
縮力は、肩９８から出てフランジ７２、大径フランジ５
６を介して連続／−ルビード５３に伝達される。かくし
て、ボンネットナツトＧ１弁ボンネッ）Ｆ、閉鎖部材Ｅ
の間に半径方向の空間が形成されとしても、肩９８１ま
依然としてシールビード５８に軸線方向に整列する。上
記の弁構成要素を通して伝達される力は、シールビード
５８と井水休日の平らな肩６０との間に確実な密封関係
を提供する。

閉鎖部材Ｅと弁本体Ｂとの間にシール手段として丸いビ
ードを組み込むことにより、従来これらのあるいは類似
の当接面の間に配置されていたガスケットを除去するこ
とが出来るようになる。ビード構造はより確実な密封を
提供し、さらにボンネントナ７）Ｇを井水休日に締め付
；するのに必要なトルクをより小さｔ；ものとする。低
トルク（ま、ボンネットナツトＧのねじ山の潤滑の必要
性を減少させ或い）ま無くすることができるから、重要
な特徴である。Ｃ資浄度が最も重要な高純度システムに
おいて；ば、潤滑剤の排除或いは減少は極めて重要であ
る。

第２７−ル１＋４１（１２が弁ステムと弁ボンネットＦ
の上方部分の開口１０４との間に配置される。

￥２シール部材１（１２は、好ましくは、○−リング構
造であり、弁ステムの周りに運動用シールをなすように
設計されるっ第１図に示す実施例では、東？シール部、
材１（１２は弁ステム溝に受入ふれているが、変形例と
して弁ボンネットＦにシール部材受入溝を形成すること
ができることが理解される。

アクチュエータＨは、弁ステムに作動的に連結され、こ
れに選択的に往復運動を与えて弁を開閉する。特に、ア
クチュエータハウジング１０８は、弁ボンネッ）Ｆの小
径部分の雄ねじ７８と係合するように設計される。アク
チュエータＨは、アクチュエータ室１１２に構成された
ピストン１１０を内側位置すなわち閉弁位置にばね付勢
する常閉操作器として図示されている。図示したように
、弁ステムの外測端部３２は、ナラ）１１４とワッンマ
１１６によってピストン１１０に取り付けられている。

他の取り付は構造も本発明のＮ囲及び意図から逸脱する
ことなく同一の成果を得ることができる。ピストン外側
シール部材１１８が、ピストン１１０の外周とアクチュ
エータ室１１２との間に密封的に配置され、またピスト
ン内側シール部材１２０が弁ステムの外側端部とピスト
ン１１０との間に挿入される。

第１図に示す構造では、一対の同心ばね１２４がハウジ
ングの外部領域とピストンとの間に延び、したがって弁
ステムはその着座位置即ち閉弁位置に向かって常時付勢
されている。アクチュエータの外部領域に設けられたね
じ通気口１２６により排出空気をアクチュエータの室か
ら遠く離れた成る場所までバイブ移送することができ、
これ又、弁の清浄を促進する。

通気口１２６は明らかな用途として、空気抜きとしての
補助的な機能を果たす。通気口の直径は、工具、例えば
ねじ廻しを導入させてこれを、弁ステムの最も外側の端
に形成されたスロット又は溝１２８と作動係合させるこ
とができるほどの直径である。関連した工具（図示せず
）をスロット１２８に差し込むことによって、ステム先
端副組立体を交換している間、弁ステムが回転すること
はない。かくして、保守及び／又は交換が容易である。

アクチュエータ流体圧力を回転可能なターレット１３２
を介してピストンの内側に及ぼす。流体圧力をピストン
の内側に選択的に及ぼすことができるように、半径方向
に延びた開口Ｂ１３４が回転可能なターレフトとアクチ
ュエータの室１１２とを連通させている。十分な圧力が
ピストンの内面領域に作用してばね対１２４の閉弁力よ
りも大きな開弁力をつくる。アクチュエータのハウジン
グ１０８と回転可能なターレット１３２との間に密封装
置１３６．１３８を設けるのが良い。ピストンの内側−
１の流体圧力を選択的に制御することによりステム先端
を弁座１８に対し当該技術において公知の方法で交互に
開閉することができる。

／−ルビードを付は加えることにより所定の弁構成要素
間の潤滑の要求が軽減され、或いは無くなる。シールビ
ードと通気口及び細長いブッシングとをシステム流体か
ら遠く離れた領・域で結合することにより弁清浄作業が
はかどる。巧みに置いたテーパ面の使用且つ閉鎖部材、
弁ボンネット、ボン不フトナット間の間隔を保持する隙
間の使用は弁構成要素間の整合を高める。

第２図を参照して、低圧範囲向きに設計されたインバー
ト式ベローズの変形例の詳細な説明を行う。説明の便宜
上、同一の要素をプライム記号（′）の付いた同一の参
照番号で示し、新しい要素を新しい参照番号で示す。変
形例の大部分の構造要素及び大部分の機能的なりＦ撤は
第１図の好ましい実施側と同じなので、以下の詳細な説
明をかから好ましい実施例と構造上及び機能上著しく異
なるものに焦点をあてて行うつ別設の言及がな；すれば
プライム記号をもつ同一＃類番号の要素は全て実質的に
上述したように作動する。

第２図の構造では、顕著な差異は弁本体Ｂ′と閉鎖部！
；ｔＥ’　との間の整合作業にある。全体を１３６で指
示したシールビード５８′の半径方向外周部材、弁本体
と該弁本体の全体として軸方向の面１３３に沿って接触
するように設計されている。シールビードの外周部が弁
本体と一緒になってギャップを構成するような第１図の
実施例と異なり、この変形例では閉鎖部材、弁本体間の
整合はシールビードと弁本体との境界面に沿って起こる
が、／−ルビードと平；ｌ＋な”ｆＪ６０’との間の密
封機能にはなんら悪影響を及ぼさない。

さらに、テーパ面６２′は弁本体から半径方向内方に間
隔をへたてられている。かくして、シールビードの外周
１３６と弁本体１３８との間でのみ整合工程が生ずる。

これはシールビードに対して半径方向外側の整合工程を
構成し、一方上述の第１図の実施例はシールビードに対
して半径方向内側の整合工程を構成する。整合がテーパ
面６２′に沿って生じないので、変形例では、テーパ面
６４を第１図の弁室の開放端１６に形成する必要がない
ことは容易に明らかである。アクチュエータハウジング
１０８’は例えばねじ領域７８′が弁ボンネットＦ′に
螺合されている。第１シール部材８２′が弁ボンネット
の内部肩８０′に受け入れられている。第１ンール部材
はアクチュエータのハウジング１０８′に圧縮係合して
、アクチュエータＨ′と弁ボンネットＦ′との間を密封
する。

弁ステムの外端３２′は、ピストンＸ１０′のステム延
長部分１４０にしっかり連結されている。

この連結を達成するだめの同等の構造を本発明の範囲及
び意図から逸脱することｔ；シに用いても良いが、図示
のように、この相互連結はこれらの部材間の螺合からな
る。第２シール１材１（１２’がステム延長部分１４０
と弁ボンネットとの間で圧縮保持されている。二の運動
用シールは、ノ＼ウジングのアクチュエータ室１１２′
を密封するのに加えて、弁ボンネ−／　トに対してステ
ムを整列させるのを助ける。ピストン１１０′は、ピス
トンの外側シール部材１１８′によってアクチュエータ
室に密着している。第２図の実施例は低圧力の場合に用
いられるので、付勢力を及ぼして通常弁を閉じるために
は、単一のばね１２４′を必要とするに過ぎない。

例えば空気のような流体によりピストンの内側に圧力を
及ぼさせるように、流入口１４２が設計されている。こ
れを達成するために、第２ステム延長部分１４４がピス
トンの外側から外方に、すなわち一般的に第１ステム部
分１４０の方向と反対方向に延びている。通路１４６が
第２ステム延長部分及びピストンを軸線方向に貫通し、
ピストンの内側に隣接して配置された半径方向に交差し
た通路１４８と連通ずる。このようにして、流体圧をピ
ストンの内側に選択的に導入することができる。流体圧
をアクチュエータ室に与え、ばね１２４′の反対方向の
付勢力に打ち勝つように外向きの力をピストン１１Ｏ′
に及ぼすことができるっステム延長部分１４４とハウジ
ングの軸線方向に延びた円筒形フランジ［５２との間に
、運動用／−ル記材１５０が配置されている。勿論、第
２図に示した常閉弁構造を、公知の常開成いは復動８ｉ
ｉ造に代えても良い。

好適な実施例及び変形例を参照して本発明を説明してき
た。本明細書を読んで理解することによって、修正や変
形が他にも生ずることは明白である。添付の特許請求の
範囲或いはこれの均等物の範囲内でこのような修正や変
形を行う限りにおいては、あらゆるこのような修正や変
形を含むものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従って構成されたベローズ弁の垂直
断面図であり、 第２図は、本発明による変形例のベローズ弁の垂直断面
図であり、 東３図は、第１図の円で囲んだ部分の拡大詳細図であり
、 第４Ａ図は、本発明に依って形成された閉鎖部材の僅か
に拡大した詳細図であり、 第４Ｂ図は、第４．へ図の円で囲んだ部分の更に拡大し
た詳細図である。

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. （１）流体室を有する弁本体を含み、流入通路および流
   出通路が弁座の両側で前記室と流体連通しており、 細長い弁ステムを含み、前記ステムは、前記流入通路と
   前記流出通路の間で流体の流れを選択的に制御するため
   に前記弁座と協働するように前記室に作動的に受け入れ
   られた第１の端に弁部材を有し、前記ステムの第２の端
   は、前記室から外方に延びており、 ベローズを含み、前記ベローズは、前記ベローズに外部
   から作用する前記室のシステム流体から前記ステムを孤
   立させるために前記ステムの軸線部分に対して取り囲み
   関係をなして前記室に配置されており、 前記室の開放端で前記弁本体に密封的に係合し、かつ、
   前記ステムを貫通して受け入れる閉鎖部材を含み、前記
   閉鎖部材は、前記ベローズの一方の端に密封的に連結さ
   れ、かつ、開弁位置への弁ステムの運動の制限ストップ
   を構成する肩を有し、 前記弁本体および閉鎖部材のうちの他方の略平らな表面
   に密封係合するように前記弁本体および閉鎖部材のうち
   の一方から軸線方向外方に延びる連続的な弧状ビードと
   、 開弁位置と閉弁位置との間で前記ステムが往復式運動を
   行うように前記ステムの第２の端と作動的に関連したア
   クチュエータとを含むことを特徴とするインバート式ベ
   ローズ弁。
2. （２）前記弁本体と前記アクチュエータとの間に介在さ
   れ、かつ、前記閉鎖部材に衝合する弁ボンネットをさら
   に含むことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記
   載のインバート式ベローズ弁。
3. （３）前記閉鎖部材および弁ボンネットの間隔を隔てた
   軸線方向に延びる表面が、前記アクチュエータと前記弁
   ステムとの整合を容易にする隙間を作ることを特徴とす
   る特許請求の範囲第（２）項に記載のインバート式ベロ
   ーズ弁。
4. （４）前記弁本体に作動的に係合し、かつ、前記弁ボン
   ネット、前記閉鎖部材、および前記弁本体を衝合、即ち
   密封係合させて保持する保持部材をさらに含むことを特
   徴とする特許請求の範囲第（３）項に記載のインバート
   式ベローズ弁。
5. （５）前記弁部材は、前記弁ステムの第１の端にねじ込
   み式に固着されたステムの先端を含み、前記ステムの先
   端は、それによって変位可能な副組立体を構成すること
   を特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記載のインバ
   ート式ベローズ弁。
6. （６）前記弁本体および前記閉鎖部材のうちの一方は、
   互いにほぼ同軸に整合するのを容易にするように前記弁
   本体および前記閉鎖部材のうちの他方の表面と協働する
   テーパ面を備えていることを特徴とする特許請求の範囲
   第（１）項に記載のインバート式ベローズ弁。
7. （７）前記弁本体および前記閉鎖部材のうちの他方の前
   記表面はテーパしていることを特徴とする特許請求の範
   囲第（６）項に記載のインバート式ベローズ弁。
8. （８）前記テーパ面は前記弧状ビードから半径方向内側
   に配置されていることを特徴とする特許請求の範囲第（
   ６）項に記載のインバート式ベローズ弁。
9. （９）前記テーパ面は、前記閉鎖部材に設けられ、かつ
   、前記弧状ビードから半径方向内側に配置されているこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第（６）項に記載のイン
   バート式ベローズ弁。
10. （１０）前記テーパ面は前記弧状ビードから半径方向外
    側に配置されていることを特徴とする特許請求の範囲第
    （６）項に記載のインバート式ベローズ弁。
11. （１１）前記テーパ面は、前記閉鎖部材に設けられ、か
    つ、前記シールビードの外周に構成されていることを特
    徴とする特許請求の範囲第（６）項に記載のインバート
    式ベローズ弁。
12. （１２）前記アクチュエータは、アクチュエータ室を有
    するハウジングと、前記アクチュエータ室に受け入られ
    たピストンとを含み、前記ピストンは、前記弁ステムの
    第２の端に連結されていることを特徴とする特許請求の
    範囲第（１）項に記載のインバート式ベローズ弁。
13. （１３）前記ピストンは、開弁位置および閉弁位置のう
    ちの一方にばねによって付勢され、前記アクチュエータ
    は、前記ばねの付勢力に抗して作用し、前記開弁位置お
    よび閉弁位置のうちの他方に前記ピストンを移動させる
    ことを特徴とする特許請求の範囲第（１２）項に記載の
    インバート式ベローズ弁。
14. （１４）前記ハウジングは貫通して延びる開口を含み、
    前記開口は、前記ステムの先端の交換中前記弁ステムの
    第２の端を保持するために関連したツールを受け入れる
    ようになっていることを特徴とする特許請求の範囲第（
    １２）項に記載のインバート式ベローズ弁。
15. （１５）前記弁ボンネットと前記アクチュエータハウジ
    ングとの間に配置された第１のシール部材をさらに含み
    、前記シール部材は、圧縮されたとき前記弁ボンネット
    で前記アクチュエータを密封するようになっていること
    を特徴とする特許請求の範囲第（１２）項に記載のベロ
    ーズ弁。
16. （１６）前記シール部材と前記第２の端に隣接した弁ス
    テムとの間に配置された第２のシール部材をさらに含み
    、前記第２のシール部材は、圧縮されたとき前記アクチ
    ュエータを前記弁ボンネットと整合させるようになって
    いることを特徴とする特許請求の範囲第（１２）項に記
    載のベローズ弁。
17. （１７）第１および第２の通路を備えた弁室を有する弁
    本体を含み、第１および第２の通路は、弁座の両側で前
    記弁室と流体連通し、かつ、第１の開放端を有する前記
    弁室と流体連通して配置されており、 前記第１および第２の通路の間の流量を制御するために
    前記弁座と選択的に係合するように前記第１の端を通し
    て前記弁室に作動的に受け入れられた弁ステムと、 前記弁ステムをシステム流体から孤立させるために前記
    弁ステムの部分を密封的に取り囲み、前記室内のシステ
    ム流体による外部圧縮力を受けるように方向決めされた
    ベローズ部材と、前記弁ステムを前記弁室に保持するた
    めの装置と、 前記弁本体の一方および前記保持装置から外方に延び、
    前記弁座の他方および前記保持装置の略平らな表面と密
    封係合する略弧状の連続突出部とを含むことを特徴とす
    る弁組立体。
18. （１８）前記突出部は前記保持装置に形成されているこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第（１７）項に記載の弁
    組立体。
19. （１９）前記保持装置は、前記弁室から遠い方の領域で
    前記弁ステムを密に受け入れる細長いブッシング部材を
    有する閉鎖部材を含み、前記閉鎖部材は、前記弁本体と
    の軸線方向整合を容易にするためのテーパ面をさらに含
    むことを特徴とする特許請求の範囲第（１７）項に記載
    の弁組立体。
20. （２０）流入通路および流出通路を有する弁本体を含み
    、前記流入通路および前記流出通路は、弁室および、前
    記流入通路と前記流出通路との間に配置された弁座と流
    体連通しており、 前記弁座に選択的に密封係合するようになっった一方の
    端に変位可能なステム先端インサートを有する弁ステム
    を含み、弁ステムの第２の端が、前記弁室から外方に延
    びており、 前記一方の端に隣接して前記弁ステムを密封的に取り囲
    むベローズを含み、前記ベローズは１対の対向する端を
    有し、その一方の端は前記ステムに固着されており、 前記弁室と作動的に関連し、かつ、前記弁座に対してス
    テムの運動を可能にする閉鎖部材を含み、前記閉鎖部材
    は、前記弁ステムのまわりで前記弁室からの流体の流れ
    を阻止し、 前記ベローズの他方の端は前記閉鎖部材に密封係合し、
    それによって、システム流体は前記ベローズに外部圧縮
    力を加え、 前記弁本体の外端に隣接して配置され、かつ、前記閉鎖
    部材に衝合する弁ボンネットと、 前記閉鎖部材および弁本体を組立中整合させるための前
    記閉鎖部材および弁本体の合致したテーパ面と、 前記弁座に対して前記弁ステムの一方の端を選択的に前
    進させたり後退させたりするために前記弁ステムに作動
    的に固着されるアクチュエータ装置とを含むことを特徴
    とするベローズ弁。