JP2002372159A - ピンチバルブ - Google Patents
ピンチバルブInfo
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- JP2002372159A JP2002372159A JP2001179207A JP2001179207A JP2002372159A JP 2002372159 A JP2002372159 A JP 2002372159A JP 2001179207 A JP2001179207 A JP 2001179207A JP 2001179207 A JP2001179207 A JP 2001179207A JP 2002372159 A JP2002372159 A JP 2002372159A
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- pinch valve
- piston
- cylinder
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/02—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm
- F16K7/04—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force
- F16K7/06—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force by means of a screw-spindle, cam, or other mechanical means
- F16K7/066—Wedge clamps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/02—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm
- F16K7/04—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force
- F16K7/07—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force by means of fluid pressure
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 全高が低く小型で微小流量の調整が可能なピ
ンチバルブを提供する。 【解決手段】 シリンダ本体１と、シリンダ本体に螺着
された筒状ハンドル３と、ハンドルとシリンダ本体との
間に螺着されたロックナット１０と、シリンダ本体とハ
ンドルとの内部に摺動可能に設けられた下端にバネ受け
５を有する接続棒４と、ハンドルとバネ受けとの間に配
設されたバネ６と、バネ受け下面に接合しシリンダ本体
内部を摺動するピストン７と、ピストンの下端部に取付
けられた挟圧子８と、弾性管体９を収容しシリンダ本体
の下側に設けられた本体２とからなり、挟圧子８がバネ
６の力で管体９を押圧して閉弁し、ピストン７とシリン
ダ本体１との間に空気を圧入することにより開弁するよ
うになっている。
ンチバルブを提供する。 【解決手段】 シリンダ本体１と、シリンダ本体に螺着
された筒状ハンドル３と、ハンドルとシリンダ本体との
間に螺着されたロックナット１０と、シリンダ本体とハ
ンドルとの内部に摺動可能に設けられた下端にバネ受け
５を有する接続棒４と、ハンドルとバネ受けとの間に配
設されたバネ６と、バネ受け下面に接合しシリンダ本体
内部を摺動するピストン７と、ピストンの下端部に取付
けられた挟圧子８と、弾性管体９を収容しシリンダ本体
の下側に設けられた本体２とからなり、挟圧子８がバネ
６の力で管体９を押圧して閉弁し、ピストン７とシリン
ダ本体１との間に空気を圧入することにより開弁するよ
うになっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、化学工場、半導体
製造、食品、バイオなどの各種産業分野における流体輸
送配管に用いられるピンチバルブに関するものであり、
更に詳しくは、非常にコンパクトで、バルブの開閉に対
する内部に配管された管体の耐久性を向上させたピンチ
バルブに関するものである。
製造、食品、バイオなどの各種産業分野における流体輸
送配管に用いられるピンチバルブに関するものであり、
更に詳しくは、非常にコンパクトで、バルブの開閉に対
する内部に配管された管体の耐久性を向上させたピンチ
バルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ピンチバルブは種々提案されてい
るが、その中の一例が実公昭４５−３２６４号公報に開
示されている。これによると、図１３、図１４に示すよ
うに、脚台４６と脚杆４７とで構成される脚部材４８上
のシリンダー４９に嵌装された上側と下側の２ヶのピス
トン５０，５１、のうち、上側のピストン５０は軸杆５
２の上端部に固定され、下側のピストン５１は軸杆４７
に遊嵌され管軸５３の上端部に固定されている。管軸５
３下辺には翼片５４が設けられ、翼片５４は連結棒５５
を介して下側挟圧子５６に固定されている。一方軸杆５
２の下端部には上側挟圧子５７が固定されている。ま
た、両端部に嵌め込んだフランジ５８間に横架した２ヶ
の横杆５９で脚部材４８に支承されたバルブ管体６０の
中央部を上側挟圧子５７、下側挟圧子５６間で挟圧し、
シリンダー４９に穿設された孔６１，６２に適宜圧搾空
気を圧入することによってピストン５０，５１に連結す
る上側挟圧子５７、下側挟圧子５６を対称的に上下動さ
せバルブ管体６０を開放、閉塞させるようにしたもので
あった。
るが、その中の一例が実公昭４５−３２６４号公報に開
示されている。これによると、図１３、図１４に示すよ
うに、脚台４６と脚杆４７とで構成される脚部材４８上
のシリンダー４９に嵌装された上側と下側の２ヶのピス
トン５０，５１、のうち、上側のピストン５０は軸杆５
２の上端部に固定され、下側のピストン５１は軸杆４７
に遊嵌され管軸５３の上端部に固定されている。管軸５
３下辺には翼片５４が設けられ、翼片５４は連結棒５５
を介して下側挟圧子５６に固定されている。一方軸杆５
２の下端部には上側挟圧子５７が固定されている。ま
た、両端部に嵌め込んだフランジ５８間に横架した２ヶ
の横杆５９で脚部材４８に支承されたバルブ管体６０の
中央部を上側挟圧子５７、下側挟圧子５６間で挟圧し、
シリンダー４９に穿設された孔６１，６２に適宜圧搾空
気を圧入することによってピストン５０，５１に連結す
る上側挟圧子５７、下側挟圧子５６を対称的に上下動さ
せバルブ管体６０を開放、閉塞させるようにしたもので
あった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、現在、多種
多様な配管や制御機器が配置され、複雑な配管設計がな
されている半導体などの製造装置分野においては、装置
自体のコンパクト化が推し進められている。それに伴
い、該装置内配管に用いられるピンチバルブに対しても
省スペース化のためのコンパクト化が切望され、該装置
内のピンチバルブのコンパクト化は大きな課題であっ
た。また、微小流量の調整ができるバルブが要求されて
いた。しかしながら、前記構造のピンチバルブでは、駆
動部と弁本体が別体になっている構造であり、シリンダ
ー４９と流路部であるバルブ管体６０の間に脚部材４８
と脚台４６および翼片５４が設けられているため、該バ
ルブの全高が高くなりコンパクトにすることはできなか
った。そのため、半導体製造などの装置内配管における
ピンチバルブとしては全く使用できなかった。また、こ
のような構造では、バルブ管体の開度を任意に調節する
ことが困難であるため、微小流量の調整もできなかっ
た。
多様な配管や制御機器が配置され、複雑な配管設計がな
されている半導体などの製造装置分野においては、装置
自体のコンパクト化が推し進められている。それに伴
い、該装置内配管に用いられるピンチバルブに対しても
省スペース化のためのコンパクト化が切望され、該装置
内のピンチバルブのコンパクト化は大きな課題であっ
た。また、微小流量の調整ができるバルブが要求されて
いた。しかしながら、前記構造のピンチバルブでは、駆
動部と弁本体が別体になっている構造であり、シリンダ
ー４９と流路部であるバルブ管体６０の間に脚部材４８
と脚台４６および翼片５４が設けられているため、該バ
ルブの全高が高くなりコンパクトにすることはできなか
った。そのため、半導体製造などの装置内配管における
ピンチバルブとしては全く使用できなかった。また、こ
のような構造では、バルブ管体の開度を任意に調節する
ことが困難であるため、微小流量の調整もできなかっ
た。
【０００４】本発明は、以上のような従来技術の問題点
に鑑みなされたものであり、従来のピンチバルブに比べ
バルブの全高が低く、非常にコンパクトであり、また、
バルブ開閉運転における内部に配管された管体の耐久性
を格段に向上させ、また、微小流量の調整をすることが
可能なピンチバルブを提供することを目的とする。
に鑑みなされたものであり、従来のピンチバルブに比べ
バルブの全高が低く、非常にコンパクトであり、また、
バルブ開閉運転における内部に配管された管体の耐久性
を格段に向上させ、また、微小流量の調整をすることが
可能なピンチバルブを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明者らは鋭意研究した結果、駆動部と弁本体を
一体化することによりピンチバルブ全体を非常にコンパ
クトにすることを見出し本発明を成すに至った。すなわ
ち本発明の構成を、図面を参照して説明すると、内面上
部に開度調節用のネジ部１４を有するシリンダー部１５
とシリンダー部１５下端部に連通するエアー口１６とを
有するシリンダー本体１と、下部にバネ６を受容する凹
部１７を有し下部外周にシリンダー本体１の開度調節用
のネジ部１４に螺合されるネジ部１８を有する筒状のハ
ンドル３と、ハンドル凹部１７上端面とでバネ６を挟持
する円盤形状をしたバネ受け５と、ハンドル３上部に係
合されかつ下端面がバネ受け５と接合されることにより
バネ６をハンドル３とバネ受け５間に挟持するようにし
た接続棒４と、ハンドル３のネジ部１８に螺合されハン
ドル３の位置を固定するロックナット１０と、シリンダ
ー部１５内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され且
つシリンダー本体１下面中央に設けられた貫通孔１９を
密封状態で貫通するように中央より垂下して設けられた
連結部２０を有するピストン７と、ピストン７の連結部
２０下端部に固定されシリンダー本体１の下端部に流路
軸線と直交して設けられた長円状スリット２１内に収納
される挟圧子８と、シリンダー本体１の下端面に接合固
定され流路軸線上に弾性体からなる管体９を受容する溝
２９を有する本体２と、本体の両側で管体９と他チュー
ブとを接続する接続部、とを具備することを第１の特徴
とする。
め、本発明者らは鋭意研究した結果、駆動部と弁本体を
一体化することによりピンチバルブ全体を非常にコンパ
クトにすることを見出し本発明を成すに至った。すなわ
ち本発明の構成を、図面を参照して説明すると、内面上
部に開度調節用のネジ部１４を有するシリンダー部１５
とシリンダー部１５下端部に連通するエアー口１６とを
有するシリンダー本体１と、下部にバネ６を受容する凹
部１７を有し下部外周にシリンダー本体１の開度調節用
のネジ部１４に螺合されるネジ部１８を有する筒状のハ
ンドル３と、ハンドル凹部１７上端面とでバネ６を挟持
する円盤形状をしたバネ受け５と、ハンドル３上部に係
合されかつ下端面がバネ受け５と接合されることにより
バネ６をハンドル３とバネ受け５間に挟持するようにし
た接続棒４と、ハンドル３のネジ部１８に螺合されハン
ドル３の位置を固定するロックナット１０と、シリンダ
ー部１５内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され且
つシリンダー本体１下面中央に設けられた貫通孔１９を
密封状態で貫通するように中央より垂下して設けられた
連結部２０を有するピストン７と、ピストン７の連結部
２０下端部に固定されシリンダー本体１の下端部に流路
軸線と直交して設けられた長円状スリット２１内に収納
される挟圧子８と、シリンダー本体１の下端面に接合固
定され流路軸線上に弾性体からなる管体９を受容する溝
２９を有する本体２と、本体の両側で管体９と他チュー
ブとを接続する接続部、とを具備することを第１の特徴
とする。
【０００６】また、バネ受け５及び接続棒４の内部を貫
通させたボルト２２、ナット２３によりハンドル３、バ
ネ受け５、接続棒４及びバネ６を一体化したことを第２
の特徴とする。
通させたボルト２２、ナット２３によりハンドル３、バ
ネ受け５、接続棒４及びバネ６を一体化したことを第２
の特徴とする。
【０００７】また、一端に外径が管体９の内径よりも大
きく形成され管体９に挿入接続される挿入部２４と他端
に配管接続部２５と中央に鍔部２６とを有する連結体１
３が、キャップナット１２を鍔部２６と係合させ、連結
体受け１１の外周に設けられた雄ネジ部２８に螺合させ
ることにより連結体受け１１に嵌合固定されて接続部を
構成することを第３の特徴とする。
きく形成され管体９に挿入接続される挿入部２４と他端
に配管接続部２５と中央に鍔部２６とを有する連結体１
３が、キャップナット１２を鍔部２６と係合させ、連結
体受け１１の外周に設けられた雄ネジ部２８に螺合させ
ることにより連結体受け１１に嵌合固定されて接続部を
構成することを第３の特徴とする。
【０００８】さらには、管体９の材質がＥＰＤＭ、フッ
素ゴム、シリコンゴム、またはこれらの複合体であるこ
とを第４の特徴とし、さらに、管体９がＰＴＦＥとシリ
コンゴムとの複合体からなることを第５の特徴とする。
素ゴム、シリコンゴム、またはこれらの複合体であるこ
とを第４の特徴とし、さらに、管体９がＰＴＦＥとシリ
コンゴムとの複合体からなることを第５の特徴とする。
【０００９】本発明のピンチバルブの管体９はＥＰＤ
Ｍ、フッ素ゴム、シリコンゴム、またはフッ素ゴムとシ
リコンゴムとの複合体などのであれば良く特に限定され
るものではないが、フッ素系樹脂（例えばＰＴＦＥ等）
とシリコンゴムとの複合体が特に好適なものとして挙げ
られる。また、シリンダー本体１、本体２及びハンドル
３は金属、プラスチックなどの剛性のあるものであれば
特に限定されるものではないが、ＰＶＣ又は、ＰＶＤＦ
等のフッ素系樹脂のプラスチックが特に好適なものとし
て挙げられる。また、接続部を構成する連結体１３はプ
ラスチックなどの耐薬品性を有するものであれば特に限
定されるものではないが、ＰＴＦＥ，ＰＶＤＦ，ＰＦＡ
等のフッ素系樹脂のプラスチックが特に好適なものとし
て挙げられる。
Ｍ、フッ素ゴム、シリコンゴム、またはフッ素ゴムとシ
リコンゴムとの複合体などのであれば良く特に限定され
るものではないが、フッ素系樹脂（例えばＰＴＦＥ等）
とシリコンゴムとの複合体が特に好適なものとして挙げ
られる。また、シリンダー本体１、本体２及びハンドル
３は金属、プラスチックなどの剛性のあるものであれば
特に限定されるものではないが、ＰＶＣ又は、ＰＶＤＦ
等のフッ素系樹脂のプラスチックが特に好適なものとし
て挙げられる。また、接続部を構成する連結体１３はプ
ラスチックなどの耐薬品性を有するものであれば特に限
定されるものではないが、ＰＴＦＥ，ＰＶＤＦ，ＰＦＡ
等のフッ素系樹脂のプラスチックが特に好適なものとし
て挙げられる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施態様について
図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定
されないことは言うまでもない。図１は本発明のピンチ
バルブの第１の実施例に係る閉状態を示す縦断面図であ
る。図２は図１のピンチバルブを側面（流路方向）から
見た縦断面図である。図３は図１の開状態を示す縦断面
図である。図４は図３のピンチバルブを側面（流路方
向）から見た縦断面図である。図５は本発明のピンチバ
ルブの第１の実施例に係る中間開度調整状態を示す縦断
面図である。図６は図５の開状態を示す縦断面図であ
る。
図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定
されないことは言うまでもない。図１は本発明のピンチ
バルブの第１の実施例に係る閉状態を示す縦断面図であ
る。図２は図１のピンチバルブを側面（流路方向）から
見た縦断面図である。図３は図１の開状態を示す縦断面
図である。図４は図３のピンチバルブを側面（流路方
向）から見た縦断面図である。図５は本発明のピンチバ
ルブの第１の実施例に係る中間開度調整状態を示す縦断
面図である。図６は図５の開状態を示す縦断面図であ
る。
【００１１】以下、図面に基づいて本発明のＰＶＤＦ製
ピンチバルブの第１の実施例を説明する。１はシリンダ
ー本体で、内面上部にハンドル３が螺合されるネジ部１
４を有するシリンダー部１５が設けられている。シリン
ダー本体１の下面中央部には、ピストン連結部２０が貫
通する貫通孔１９と、挟圧子８を収納する長円状のスリ
ット２１が連続して設けられている（図７参照）。ま
た、シリンダー本体１の周側面には、シリンダー部１５
下端部即ち、シリンダー部１５内周面及び底面とピスト
ン７下端面とで形成される第１空間部３１に外部エア供
給機器など（図示せず）と連通したエアー口１６が設け
られている。
ピンチバルブの第１の実施例を説明する。１はシリンダ
ー本体で、内面上部にハンドル３が螺合されるネジ部１
４を有するシリンダー部１５が設けられている。シリン
ダー本体１の下面中央部には、ピストン連結部２０が貫
通する貫通孔１９と、挟圧子８を収納する長円状のスリ
ット２１が連続して設けられている（図７参照）。ま
た、シリンダー本体１の周側面には、シリンダー部１５
下端部即ち、シリンダー部１５内周面及び底面とピスト
ン７下端面とで形成される第１空間部３１に外部エア供
給機器など（図示せず）と連通したエアー口１６が設け
られている。
【００１２】ハンドル３は筒状で、上部中央に接続棒４
が貫通する貫通孔３２と、貫通孔の上部に接続棒４の係
合部即ち、接続棒４の鍔部３３を受容する貫通孔３２よ
り拡径された凹部３４が設けられている。また、貫通孔
３２の下部にはバネ６を受容する凹部１７が連続して設
けられている。さらに、下部外周面には前記シリンダー
本体１のネジ部１４と螺合するネジ部１８が設けられて
おり、ネジ部１８にはロックナット１０が螺合されてい
る。
が貫通する貫通孔３２と、貫通孔の上部に接続棒４の係
合部即ち、接続棒４の鍔部３３を受容する貫通孔３２よ
り拡径された凹部３４が設けられている。また、貫通孔
３２の下部にはバネ６を受容する凹部１７が連続して設
けられている。さらに、下部外周面には前記シリンダー
本体１のネジ部１４と螺合するネジ部１８が設けられて
おり、ネジ部１８にはロックナット１０が螺合されてい
る。
【００１３】５は円盤形状のバネ受けであり、前記ハン
ドル凹部１７上端面と、バネ受け５上面で後バネ６を挟
持している。
ドル凹部１７上端面と、バネ受け５上面で後バネ６を挟
持している。
【００１４】接続棒４は、上端部に設けられた鍔部３３
がハンドル３上部に設けられた凹部３４と係合し、ハン
ドル３の貫通孔３２を貫通してシリンダー部１５内に垂
下し、下端部には前記バネ受け５が接合されている。本
実施例では両者を貫通して挿入されたボルト２２、ナッ
ト２３により両者は接合固定されている。尚、バネ受け
５と接続棒４の固定はボルト、ナットによる固定に限定
されず、螺着あるいは溶接などでも良い。
がハンドル３上部に設けられた凹部３４と係合し、ハン
ドル３の貫通孔３２を貫通してシリンダー部１５内に垂
下し、下端部には前記バネ受け５が接合されている。本
実施例では両者を貫通して挿入されたボルト２２、ナッ
ト２３により両者は接合固定されている。尚、バネ受け
５と接続棒４の固定はボルト、ナットによる固定に限定
されず、螺着あるいは溶接などでも良い。
【００１５】バネ６は、バネ受け５上面とハンドル３凹
部１７上端面とで接触された状態で装着されている。本
実施例ではバネは１本装着されているが、必要とする付
勢力に応じて装着する本数を２本以上にしても良い。
尚、図からも分かるようにバネ６は、ハンドル３、接続
棒４、バネ受け５とともにボルト２２、ナット２３によ
り圧縮された状態で一体化されている。
部１７上端面とで接触された状態で装着されている。本
実施例ではバネは１本装着されているが、必要とする付
勢力に応じて装着する本数を２本以上にしても良い。
尚、図からも分かるようにバネ６は、ハンドル３、接続
棒４、バネ受け５とともにボルト２２、ナット２３によ
り圧縮された状態で一体化されている。
【００１６】ピストン７は周側面にＯ−リング３５が装
着された円盤状で、常に上面がバネ受け５の下面に接触
し、かつ、シリンダー部１５内周面に上下動可能且つ密
封状態で摺接されている。ピストン７中央より垂下して
設けられた連結部２０は、前記シリンダー本体１の下面
中央部に設けられた貫通孔１９を密封状態で貫通してお
り、その先端部に挟圧子８が固定されている。本実施例
ではピストン連結部２０を貫通して挿入された固定ボル
ト３６の先端部に螺着によって挟圧子８が固定されてい
る。（図１１参照）尚、挟圧子８の固定方法は連結部２
０を棒状に形成しその先端部に螺着、接着あるいは溶着
などでも良く、特に限定されるものではない。
着された円盤状で、常に上面がバネ受け５の下面に接触
し、かつ、シリンダー部１５内周面に上下動可能且つ密
封状態で摺接されている。ピストン７中央より垂下して
設けられた連結部２０は、前記シリンダー本体１の下面
中央部に設けられた貫通孔１９を密封状態で貫通してお
り、その先端部に挟圧子８が固定されている。本実施例
ではピストン連結部２０を貫通して挿入された固定ボル
ト３６の先端部に螺着によって挟圧子８が固定されてい
る。（図１１参照）尚、挟圧子８の固定方法は連結部２
０を棒状に形成しその先端部に螺着、接着あるいは溶着
などでも良く、特に限定されるものではない。
【００１７】挟圧子８は、管体９を押圧する部分の断面
がかまぼこ状に形成されている。また、挟圧子８は、本
体２の流路軸線と直交するようにピストン連結部２０に
固定されており、バルブ開時にはシリンダー本体１の下
端部に設けられた長円状スリット２１内に収納されるよ
うになっている。
がかまぼこ状に形成されている。また、挟圧子８は、本
体２の流路軸線と直交するようにピストン連結部２０に
固定されており、バルブ開時にはシリンダー本体１の下
端部に設けられた長円状スリット２１内に収納されるよ
うになっている。
【００１８】管体９は本体２内に流路を形成しており、
ＰＴＦＥとシリコンゴムの複合体からなっている。すな
わちシリコンゴムが含浸されたＰＴＦＥシートを何層も
接着積層することにより目的とする肉厚に形成されてい
る。本実施例では管体の材質はＰＴＦＥシートとシリコ
ンゴムの複合体になっているがＥＰＤＭ、シリコンゴ
ム、フッ素ゴム及びこれらの複合体などでも良く特に限
定されるものではない。
ＰＴＦＥとシリコンゴムの複合体からなっている。すな
わちシリコンゴムが含浸されたＰＴＦＥシートを何層も
接着積層することにより目的とする肉厚に形成されてい
る。本実施例では管体の材質はＰＴＦＥシートとシリコ
ンゴムの複合体になっているがＥＰＤＭ、シリコンゴ
ム、フッ素ゴム及びこれらの複合体などでも良く特に限
定されるものではない。
【００１９】２はシリンダー本体下端面にボルト・ナッ
トなど（図示せず）で接合固定される本体であり、流路
軸線上には管体９を受容する断面矩形状の溝２１が設け
られている。また、溝２１の両端部には連結体受け１１
の嵌合部３７を受容する溝３８が溝２１より深く設けら
れ、さらに溝３８内部には連結体受け１１の嵌合部３７
先端に設けられた抜け防止用凸部３９を受容する凹溝４
０が設けられている。（図８参照）
トなど（図示せず）で接合固定される本体であり、流路
軸線上には管体９を受容する断面矩形状の溝２１が設け
られている。また、溝２１の両端部には連結体受け１１
の嵌合部３７を受容する溝３８が溝２１より深く設けら
れ、さらに溝３８内部には連結体受け１１の嵌合部３７
先端に設けられた抜け防止用凸部３９を受容する凹溝４
０が設けられている。（図８参照）
【００２０】次に、接続部を構成する部品について説明
する。連結体受け１１は、一端部に本体２の両端に設け
られた溝３８に嵌合される断面矩形状の嵌合部３７が形
成され、さらに嵌合部の先端底部には本体の溝３８に設
けられた凹溝４０に嵌合される抜け防止用凸部３９が設
けられている。一方、他端部には連結体１３の六角形の
鍔部２６を受容する断面同形の受け口４１が設けられ、
その外周面には雄ネジ部２８が設けられている。雄ネジ
部２８と嵌合部３７との間に位置する外周面には嵌合部
３７の対角線長と略同一の直径を有する環状の鍔部３０
が設けられている。鍔部３０はシリンダー本体１及び本
体２と接触し、連結体受け１１が両本体の内部へ移動す
ることを防止している。連結体受け１１の内部には、嵌
合部３７に管体９の外径と略同径を有する貫通孔４２
が、またそれに連続して受け口４１に通じる、連結体１
３の挿入部２４に挿入拡径された管体９の外径と略同径
の貫通孔４３が設けられている。したがって、連結体受
け１１の内周面には図で明らかな如く段差部４４が形成
されている。この段差部４４で管体９が連結体受け１１
内に挟持固定される。尚、本実施例では貫通孔４２及び
それより拡径された貫通孔４３が設けられているが、貫
通孔４２を全体に設けてもよい。（図９，１０参照）
する。連結体受け１１は、一端部に本体２の両端に設け
られた溝３８に嵌合される断面矩形状の嵌合部３７が形
成され、さらに嵌合部の先端底部には本体の溝３８に設
けられた凹溝４０に嵌合される抜け防止用凸部３９が設
けられている。一方、他端部には連結体１３の六角形の
鍔部２６を受容する断面同形の受け口４１が設けられ、
その外周面には雄ネジ部２８が設けられている。雄ネジ
部２８と嵌合部３７との間に位置する外周面には嵌合部
３７の対角線長と略同一の直径を有する環状の鍔部３０
が設けられている。鍔部３０はシリンダー本体１及び本
体２と接触し、連結体受け１１が両本体の内部へ移動す
ることを防止している。連結体受け１１の内部には、嵌
合部３７に管体９の外径と略同径を有する貫通孔４２
が、またそれに連続して受け口４１に通じる、連結体１
３の挿入部２４に挿入拡径された管体９の外径と略同径
の貫通孔４３が設けられている。したがって、連結体受
け１１の内周面には図で明らかな如く段差部４４が形成
されている。この段差部４４で管体９が連結体受け１１
内に挟持固定される。尚、本実施例では貫通孔４２及び
それより拡径された貫通孔４３が設けられているが、貫
通孔４２を全体に設けてもよい。（図９，１０参照）
【００２１】連結体１３は内部に流路４５を有し、一端
部には外径が管体９の内径よりも大きく形成され、管体
９が拡径して挿入される挿入部２４が設けられ、他端部
には他の管体が接続される配管接続部２５が設けられて
いる。連結体１３の外周中央部には両端部よりも拡径し
て断面六角形状の鍔部２６が設けられている。連結体１
３は鍔部２６を連結体受け１１の受け口４１に嵌合さ
せ、鍔部２６と係合させたキャップナット１２を連結体
受け１１の外周に設けられた雄ネジ部２８に螺合させる
ことにより回動しないように連結体受け１１に嵌合固定
される。尚、接続部の構造は本実施例に限定されるもの
ではなく、他構造を用いてもよい。
部には外径が管体９の内径よりも大きく形成され、管体
９が拡径して挿入される挿入部２４が設けられ、他端部
には他の管体が接続される配管接続部２５が設けられて
いる。連結体１３の外周中央部には両端部よりも拡径し
て断面六角形状の鍔部２６が設けられている。連結体１
３は鍔部２６を連結体受け１１の受け口４１に嵌合さ
せ、鍔部２６と係合させたキャップナット１２を連結体
受け１１の外周に設けられた雄ネジ部２８に螺合させる
ことにより回動しないように連結体受け１１に嵌合固定
される。尚、接続部の構造は本実施例に限定されるもの
ではなく、他構造を用いてもよい。
【００２２】上記の構成からなる本実施例のピンチバル
ブの作動は次の通りである。今、図１，２に示すように
ピンチバルブ全閉の状態において、エアー口１６から第
１空間部３１へ圧縮空気を供給圧入すると、該空気圧に
より、ピストン７が側周面をシリンダー部１５内周に摺
接させながら上昇し始める。それに伴ってピストン７上
端面がバネ受け５を介してバネ６を圧縮させながら上昇
すると共に、ピストン７より垂下して設けられた連結部
２０を介して挟圧子８が上昇する。そしてついには挟圧
子８上端面がシリンダー本体１の下端部に設けられた長
円状スリット２１の上端面に到達しピストン７及び挟圧
子８の上昇は止まり、該ピンチバルブは全開状態となる
（図３，４の状態）。
ブの作動は次の通りである。今、図１，２に示すように
ピンチバルブ全閉の状態において、エアー口１６から第
１空間部３１へ圧縮空気を供給圧入すると、該空気圧に
より、ピストン７が側周面をシリンダー部１５内周に摺
接させながら上昇し始める。それに伴ってピストン７上
端面がバネ受け５を介してバネ６を圧縮させながら上昇
すると共に、ピストン７より垂下して設けられた連結部
２０を介して挟圧子８が上昇する。そしてついには挟圧
子８上端面がシリンダー本体１の下端部に設けられた長
円状スリット２１の上端面に到達しピストン７及び挟圧
子８の上昇は止まり、該ピンチバルブは全開状態となる
（図３，４の状態）。
【００２３】次に、図３，４の全開状態において、エア
ー口１６から第１空間部３１へのエアー供給を止め、大
気開放すると、バネ６に当接しているバネ受け５を介し
てピストン７がバネの反発力により、下降し始め、それ
に伴ってピストン７より垂下して設けられた連結部２０
を介して挟圧子８も下降する。そしてついにはピストン
７下端面がシリンダー部１５底面に到達しピストン７及
び挟圧子８の下降は止まり、該ピンチバルブは全閉状態
となる（図１，２の状態）。この時、挟圧子８の回り防
止のため挟圧子上端面はシリンダー本体１の長円状スリ
ット２１内に位置するようになっている。
ー口１６から第１空間部３１へのエアー供給を止め、大
気開放すると、バネ６に当接しているバネ受け５を介し
てピストン７がバネの反発力により、下降し始め、それ
に伴ってピストン７より垂下して設けられた連結部２０
を介して挟圧子８も下降する。そしてついにはピストン
７下端面がシリンダー部１５底面に到達しピストン７及
び挟圧子８の下降は止まり、該ピンチバルブは全閉状態
となる（図１，２の状態）。この時、挟圧子８の回り防
止のため挟圧子上端面はシリンダー本体１の長円状スリ
ット２１内に位置するようになっている。
【００２４】次に、図５に基づいて、本発明の中間開度
の調整方法について説明する。図２の状態、即ち全閉状
態において、ハンドル３を開方向に回動させると、接続
棒４を介してバネ受け５下端面が上昇する。これに伴
い、管体９内部を流れる流体の流体圧と、管体９の弾性
力により挟圧子８が押し上げられ、これに伴いピストン
７が上昇し、管体９は中間開度となる。ここで、ハンド
ル３とともに上昇し、シリンダー本体１の上端面から隔
離していたロックナット１０を下端面がシリンダー本体
１上端面に接触するまで締めこむことにより、ハンドル
３がロックされ、中間開度が固定される（図５の状
態）。ロックナット１０がハンドル３の回動を防止して
いる為、バルブが閉状態に戻ることはない。
の調整方法について説明する。図２の状態、即ち全閉状
態において、ハンドル３を開方向に回動させると、接続
棒４を介してバネ受け５下端面が上昇する。これに伴
い、管体９内部を流れる流体の流体圧と、管体９の弾性
力により挟圧子８が押し上げられ、これに伴いピストン
７が上昇し、管体９は中間開度となる。ここで、ハンド
ル３とともに上昇し、シリンダー本体１の上端面から隔
離していたロックナット１０を下端面がシリンダー本体
１上端面に接触するまで締めこむことにより、ハンドル
３がロックされ、中間開度が固定される（図５の状
態）。ロックナット１０がハンドル３の回動を防止して
いる為、バルブが閉状態に戻ることはない。
【００２５】一方、中間開度調整状態でエアー口１６か
ら第１空間部３１に圧縮空気を供給圧入すると、該空気
圧により、ピストン７が側周面をシリンダー部１５内周
に摺接させながら上昇し始める。それに伴ってピストン
７上端面がバネ受け５を介してバネ６を圧縮させながら
上昇すると共に、ピストン７より垂下して設けられた連
結部２０を介して挟圧子８が上昇する。そしてついには
挟圧子８上端面がシリンダー本体１の下端面に設けられ
た長円状スリット２１の上端面に到達しピストン７及び
挟圧子８の上昇は止まり、該ピンチバルブは全開状態と
なる（図６の状態）。当然のことながら、バネ受け５と
接続している接続棒４も上昇し、接続棒４の鍔部３３
は、ハンドル３の凹部３４の底面から離れていることは
言うまでもない。
ら第１空間部３１に圧縮空気を供給圧入すると、該空気
圧により、ピストン７が側周面をシリンダー部１５内周
に摺接させながら上昇し始める。それに伴ってピストン
７上端面がバネ受け５を介してバネ６を圧縮させながら
上昇すると共に、ピストン７より垂下して設けられた連
結部２０を介して挟圧子８が上昇する。そしてついには
挟圧子８上端面がシリンダー本体１の下端面に設けられ
た長円状スリット２１の上端面に到達しピストン７及び
挟圧子８の上昇は止まり、該ピンチバルブは全開状態と
なる（図６の状態）。当然のことながら、バネ受け５と
接続している接続棒４も上昇し、接続棒４の鍔部３３
は、ハンドル３の凹部３４の底面から離れていることは
言うまでもない。
【００２６】次に、図６の全開状態において、エアー口
１６から第１空間部３１へのエアー供給を止め、大気開
放すると、バネ６に当接しているバネ受け５を介してピ
ストン７がバネの反発力により下降し始め、それに伴っ
てピストン７より垂下して設けられた連結部２０を介し
て挟圧子８も下降する。そしてついには接続棒４の鍔部
３３下面がハンドル３上部に設けられた凹部３４底面に
到達し、ピストン７及び挟圧子８の下降は止まり、該ピ
ンチバルブは中間開度調整状態となる（図５の状態）。
１６から第１空間部３１へのエアー供給を止め、大気開
放すると、バネ６に当接しているバネ受け５を介してピ
ストン７がバネの反発力により下降し始め、それに伴っ
てピストン７より垂下して設けられた連結部２０を介し
て挟圧子８も下降する。そしてついには接続棒４の鍔部
３３下面がハンドル３上部に設けられた凹部３４底面に
到達し、ピストン７及び挟圧子８の下降は止まり、該ピ
ンチバルブは中間開度調整状態となる（図５の状態）。
【００２７】以上説明したごとく、本実施例のピンチバ
ルブは、流体の流れを開閉するのみならず、中間開度で
流体を流すことができる。従って、例えば半導体製造装
置などの装置内閉ループ配管において背圧弁として使用
することができ、当該配管内の最低圧力を保持すること
ができる。
ルブは、流体の流れを開閉するのみならず、中間開度で
流体を流すことができる。従って、例えば半導体製造装
置などの装置内閉ループ配管において背圧弁として使用
することができ、当該配管内の最低圧力を保持すること
ができる。
【００２８】
【発明の効果】本発明は以上のような構造をしており、
これを使用することにより以下の優れた効果が得られ
る。 １．従来品に比較してピンチバルブの全高が低く設定で
き、非常にコンパクトであるため、配管スペースが少な
くてすむ。その為、複雑な配管設計がなされている半導
体などの製造装置内での配管が可能になり、ひいては製
造装置のコンパクト化も図れる。 ２．中間開度を調節することができるため、微小な流量
に調節することができる。 ３．管体を押圧する挟圧子をかまぼこ形状することによ
り従来品に比較して、管体の耐久性が向上し、ひいては
ピンチバルブの耐用期間を飛躍的に延長することができ
る。 ４．従来品に比較して部品点数が少ない為、組立て易
く、安価に製造できる。
これを使用することにより以下の優れた効果が得られ
る。 １．従来品に比較してピンチバルブの全高が低く設定で
き、非常にコンパクトであるため、配管スペースが少な
くてすむ。その為、複雑な配管設計がなされている半導
体などの製造装置内での配管が可能になり、ひいては製
造装置のコンパクト化も図れる。 ２．中間開度を調節することができるため、微小な流量
に調節することができる。 ３．管体を押圧する挟圧子をかまぼこ形状することによ
り従来品に比較して、管体の耐久性が向上し、ひいては
ピンチバルブの耐用期間を飛躍的に延長することができ
る。 ４．従来品に比較して部品点数が少ない為、組立て易
く、安価に製造できる。
【図１】本発明のピンチバルブの第１の実施例に係る閉
状態を示す縦断面図である。
状態を示す縦断面図である。
【図２】図１を側面（流路方向）から見た縦断面図であ
る。
る。
【図３】図１の開状態を示す縦断面図である。
【図４】図２の開状態を示す縦断面図である。
【図５】中間開度調整状態を示す縦断面図である。
【図６】図５の開状態を示す縦断面図である。
【図７】図１におけるシリンダー本体の底面図である。
【図８】図１における本体の平面図である。
【図９】図１における連結体受けの縦断面図である。
【図１０】図９の連結体受けの右側面図である。
【図１１】固定ボルト、ピストン及び挟圧子の分解斜視
図である。
図である。
【図１２】ハンドル、接続棒、バネ受け、及びバネの分
解斜視図である。
解斜視図である。
【図１３】従来のピンチバルブの縦断面図である。
【図１４】従来のピンチバルブの一部切断正面図であ
る。
る。
１…シリンダー本体 ２…本体 ３…ハンドル ４…接続棒 ５…バネ受け ６…バネ ７…ピストン ８…挟圧子 ９…管体 １０…ロックナット １１…連結体受け １２…キャップナット １３…連結体 １４…ネジ部 １５…シリンダー部 １６…エアー口 １７…ハンドル凹部 １８…ネジ部 １９…貫通孔 ２０…連結部 ２１…長円状スリット ２２…ボルト ２３…ナット ２４…挿入部 ２５…配管接続部 ２６…鍔部 ２７…接続部 ２８…雄ネジ部 ２９…溝 ３０…鍔部 ３１…第１空間部 ３２…貫通孔 ３３…鍔部 ３４…凹部 ３５…Ｏ−リング ３６…固定ボルト ３７…嵌合部 ３８…溝 ３９…抜け防止用凸部 ４０…凹部 ４１…受け口 ４２…貫通孔 ４３…貫通孔 ４４…段差部 ４５…流路
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１４年６月１８日（２００２．６．１
８）
８）
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正内容】
【図６】
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正内容】
【図７】
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正内容】
【図９】
Claims (5)
- 【請求項１】 内面上部に開度調節用のネジ部（１４）
を有するシリンダー部（１５）とシリンダー部下端部に
連通するエアー口（１６）とを有するシリンダー本体
（１）と、下部にバネ（６）を受容する凹部（１７）を
有し下部外周にシリンダー本体（１）の開度調節用のネ
ジ部（１４）に螺合されるネジ部（１８）を有する筒状
のハンドル（３）と、ハンドル凹部（１７）上端面とで
バネ（６）を挟持する円盤形状をしたバネ受け（５）
と、ハンドル上部に係合されかつ下端面がバネ受け
（５）と接合されることによりバネ（６）をハンドル
（３）とバネ受け（５）間に挟持するようにした接続棒
（４）と、ハンドル（３）のネジ部（１８）に螺合され
ハンドル（３）の位置を固定するロックナット（１０）
と、シリンダー部（１５）内周面に上下動可能且つ密封
状態で摺接され且つシリンダー本体（１）下面中央に設
けられた貫通孔（１９）を密封状態で貫通するように中
央より垂下して設けられた連結部（２０）を有するピス
トン（７）と、ピストン（７）の連結部（２０）下端部
に固定されシリンダー本体（１）の下端部に流路軸線と
直交して設けられた長円状スリット（２１）内に収納さ
れる挟圧子（８）と、シリンダー本体（１）の下端面に
接合固定され流路軸線上に弾性体からなる管体（９）を
受容する溝（２９）を有する本体（２）と、本体の両側
で管体（９）と他チューブとを接続する接続部、とを具
備することを特徴とするピンチバルブ。 - 【請求項２】 バネ受け（５）及び接続棒（４）の内部
を貫通させたボルト（２２）、ナット（２３）でハンド
ル（３）、バネ受け（５）、接続棒（４）及びバネ
（６）を一体化したことを特徴とする請求項１に記載の
ピンチバルブ。 - 【請求項３】 一端に外径が管体（９）の内径よりも大
きく形成され管体（９）に挿入接続される挿入部（２
４）と他端に配管接続部（２５）と中央に鍔部（３０）
とを有する連結体（１３）が、キャップナット（１２）
を鍔部（３０）と係合させ、連結体受け（１１）の外周
に設けられた雄ネジ部（２８）に螺合させることにより
連結体受け（１１）に嵌合固定されて接続部を構成する
ことを特徴とする請求項１，２のいずれかに記載のピン
チバルブ。 - 【請求項４】 管体（９）の材質がＥＰＤＭ、フッ素ゴ
ム、シリコンゴム、またはこれらの複合体であることを
特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のピ
ンチバルブ。 - 【請求項５】 管体（９）がＰＴＦＥとシリコンゴムと
の複合体からなることを特徴とする請求項１乃至請求項
３のいずれかに記載のピンチバルブ。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001179207A JP2002372159A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | ピンチバルブ |
| EP01999766A EP1253360B1 (en) | 2000-12-05 | 2001-12-05 | Pinch valve |
| DE60112893T DE60112893T2 (de) | 2000-12-05 | 2001-12-05 | Quetschventil |
| KR10-2002-7009285A KR100459523B1 (ko) | 2000-12-05 | 2001-12-05 | 핀치 밸브 |
| US10/182,760 US6755388B2 (en) | 2000-12-05 | 2001-12-05 | Pinch valve |
| CA002396807A CA2396807C (en) | 2000-12-05 | 2001-12-05 | Pinch valve |
| CNB018040667A CN1201105C (zh) | 2000-12-05 | 2001-12-05 | 夹紧阀 |
| TW090130152A TW505757B (en) | 2000-12-05 | 2001-12-05 | Pinch valve |
| PCT/JP2001/010648 WO2002046648A1 (fr) | 2000-12-05 | 2001-12-05 | Robinet a manchon |
| PCT/JP2002/005870 WO2002103230A1 (fr) | 2001-06-13 | 2002-06-12 | Robinet vanne |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001179207A JP2002372159A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | ピンチバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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ID=19019800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001179207A Pending JP2002372159A (ja) | 2000-12-05 | 2001-06-13 | ピンチバルブ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002372159A (ja) |
| WO (1) | WO2002103230A1 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004018916A1 (ja) * | 2002-08-23 | 2004-03-04 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | ピンチバルブ |
| KR100891588B1 (ko) | 2007-05-16 | 2009-04-03 | 김훈기 | 저소음 기능을 구비한 유량조절 밸브장치 |
| JP2019210964A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | 旭有機材株式会社 | ピンチバルブ |
| CN110886069A (zh) * | 2018-09-07 | 2020-03-17 | 青岛海尔洗衣机有限公司 | 一种滚筒洗衣机 |
| JP2022031726A (ja) * | 2017-10-13 | 2022-02-22 | サン－ゴバン パフォーマンス プラスティックス コーポレイション | 流体マニホールドおよびそれを作製する方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS453264Y1 (ja) * | 1965-07-06 | 1970-02-13 | ||
| JPS4411585Y1 (ja) * | 1965-07-15 | 1969-05-14 | ||
| JPS5148557Y2 (ja) * | 1973-11-24 | 1976-11-22 | ||
| JPS5442016Y2 (ja) * | 1974-11-28 | 1979-12-07 | ||
| EP0336663B1 (en) * | 1988-04-05 | 1994-08-24 | Whitey Co. | Valve for fluids |
-
2001
- 2001-06-13 JP JP2001179207A patent/JP2002372159A/ja active Pending
-
2002
- 2002-06-12 WO PCT/JP2002/005870 patent/WO2002103230A1/ja active Application Filing
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US7255321B2 (en) | 2002-08-23 | 2007-08-14 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | Pinch valve |
| KR101013441B1 (ko) | 2002-08-23 | 2011-02-14 | 아사히 유키자이 고교 가부시키가이샤 | 핀치밸브 |
| KR100891588B1 (ko) | 2007-05-16 | 2009-04-03 | 김훈기 | 저소음 기능을 구비한 유량조절 밸브장치 |
| JP2022031726A (ja) * | 2017-10-13 | 2022-02-22 | サン－ゴバン パフォーマンス プラスティックス コーポレイション | 流体マニホールドおよびそれを作製する方法 |
| US12013069B2 (en) | 2017-10-13 | 2024-06-18 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Fluid manifold and method of making same |
| JP2019210964A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | 旭有機材株式会社 | ピンチバルブ |
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