JP4573010B2

JP4573010B2 - ピンチバルブ

Info

Publication number: JP4573010B2
Application number: JP2000302980A
Authority: JP
Inventors: 亙井上; 重信古川
Original assignee: Asahi Organic Chemicals Industry Co Ltd
Current assignee: Asahi Yukizai Corp
Priority date: 2000-07-07
Filing date: 2000-10-02
Publication date: 2010-11-04
Anticipated expiration: 2020-10-02
Also published as: US6536738B2; KR20020039268A; CA2375367A1; CA2375367C; CN1365436A; CN1187544C; JP2002161988A; US20020158217A1; EP1211445A4; KR100476004B1; EP1211445A1; WO2002004849A1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学工場、半導体製造、食品、バイオなどの各種産業分野における流体輸送配管に用いられるピンチバルブに関するものであり、更に詳しくは、コンパクトで、バルブの開閉に対する管体の耐久性を向上させたピンチバルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ピンチバルブは種々提案されているが、その中の一例が実公昭４５−３２６４号公報に開示されている。これによると、図１１、図１２に示すように、脚台４７と脚杆４８とで構成される脚部材４９上のシリンダー５０に嵌装された上側下側の２ヶのピストン５１、５２のうち、上側のピストン５１は軸杆４８の上端部に固定され、下側のピストン５２は軸杆４８に遊嵌され管軸５４の上端部に固定されている。管軸５４下辺には翼片５５が設けられ、翼片５５は連結棒５６を介して下側挟圧子５７に固定されている。一方軸杆４８の下端部には上側挟圧子５８が固定されている。また、両端部に嵌め込んだフランジ５９間に横架した２ヶの横杆６０で脚部材４９に支承されたバルブ管体６１の中央部を上側挟圧子５８、下側挟圧子５７間で挟圧し、シリンダー５０に穿設された孔６２、６３、６４に適宜圧搾空気を圧入することによってピストン５１、５２に連結する上側挟圧子５８、下側挟圧子５７を対称的に上下動させバルブ管体６１を開放、閉塞させるようにしたものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、現在、多種多様な配管や制御機器が配置され、複雑な配管設計がなされている半導体などの製造装置は、装置自体のコンパクト化が推し進められている。それに伴い、該装置内配管に用いられるピンチバルブに対しても省スペース化のためのコンパクト化が切望され、該装置内のピンチバルブのコンパクト化は大きな課題であった。また、微小流量の調整ができるバルブが要求されていた。
しかしながら、前記構造のピンチバルブでは、駆動部と弁本体が別体になっている構造であり、シリンダー５０と流路部であるバルブ管体６１の間に脚部材４９と脚台４７及び翼片５５が設けられているため、該バルブの全高が高くなりコンパクトにすることはできなかった。そのため、半導体製造などの装置内配管におけるピンチバルブとしては全く使用できなかった。また、このような構造では、バルブ管体６１の開度を任意に調整することが困難であるため、微小流量の調整もできなかった。
【０００４】
本発明は、以上のような従来技術の問題点に鑑みなされたものであり、従来のピンチバルブに比べバルブの全高が低く、コンパクトであり、また、バルブ開閉運転における管体の耐久性を格段に向上させ、バルブの耐用期間を延長し、また微小流量の調整をすることが可能なピンチバルブを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明者らは鋭意研究した結果、駆動部と弁本体を一体化することによりピンチバルブ全体をコンパクトにすることを見出し本発明を成すに至った。すなわち本発明の構成を、図１及び図３を参照して説明すると、弾性体からなる管体１と、該管体１の両端に結合している一対の継手部２と、内部上方より第１シリンダー部３と第１シリンダー部３より拡径して設けられた第２シリンダー部４及び、下端部流路方向に継手部２受容用の一対の切り欠き部５が設けられたシリンダー本体６と、第１シリンダー部２内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接される第１ピストン７の中央より垂下して設けられた第１連動棒８の下端に固定され且つ流路軸線に線対称の位置に第１貫通孔１１が設けられ、管体１を上方より押圧する第１挟圧子１０と、第２シリンダー部４内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され且つ中心部に第１連動棒８が密封状態で貫通している第２貫通孔１１を有する第２ピストン１２の両端よりそれぞれ垂下し且つ第１貫通孔９に各々が貫通している第２連動棒１３の下端に固定され、管体１下方より第１挟圧子１０と共に管体１を挟持する第２挟圧子１４と、第２ピストン１２下端面と第１挟圧子１０上端面とで挟持されたバネ弾性体１５と、流路軸線上に管体１と継手部２を受容する溝１６と、該溝１６と直交する位置に第２挟圧子が上下動可能に嵌装するガイド溝１７が設けられた本体１８及びシリンダー本体６側面に設けられ第１ピストン７下端面、第２ピストン１２上端面及びシリンダー本体６内周面で囲まれて形成された第１空間部１９に連通されるエアー口２７を具備することを第１の特徴とする。また、シリンダー本体６上面に開口部３８が設けられ、第1ピストン３７の上部に前記開口部３８を貫通して開度調整用雄ネジ部４１が一体的に突設され、下端面がシリンダー本体６の上端面に圧接・離間されるストッパー３９及び前記ストッパー３９上端面に圧接状態でロックナット４０が開度調整用雄ネジ部４１に回動自在に螺合されていることを第２の特徴とする。
【０００６】
また、管体１の外周面に保護部２１を設けたことを第３の特徴とし、第１挟圧子１０の流路軸線と直交する方向（長手方向）の寸法をガイド溝１７のそれより大きく設けていることを第４の特徴としている。
【０００７】
さらには、管体１の材質がＥＰＤＭ、フッ素ゴム、シリコンゴム、またはこれらの複合体であることを第５の特徴としている。さらに、管体１がポリテトラフルオロエチレンとゴム弾性体との複合体からなることを第６の特徴としている。
【０００８】
本発明のピンチバルブの管体はＥＰＤＭ、フッ素ゴム、シリコンゴム、またはフッ素ゴムとシリコンゴムとの複合体などの弾性体であれば良く特に限定されるものではないが、フッ素ゴムとシリコンゴムとの複合体の弾性体（フッ素を含有した弾性体）が特に好適なものとして挙げられ、さらには、ポリテトラフルオロエチレン（以下ＰＴＦＥ）と前記ゴム弾性体との複合体からなるものがより好適なものとして挙げられる。
また、シリンダー本体、開度調整用雄ネジ部、ストッパー、ロックナット及び本体は金属、プラスチックなどの剛性のあるものであれば特に限定されるものではないが、ＰＶＣ、ＰＶＤＦ等のプラスチックが特に好適なものとして挙げられる。
また、継手部はプラスチックなどの耐薬品性を有するものであれば特に限定されるものではないが、ＰＶＣ、ＰＶＤＦ、ＰＦＡが特に好適なものとして挙げられる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施態様について図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定されないことは言うまでもない。図１は本発明のピンチバルブの第１の実施例に係る閉状態を側面（流路方向）から見た縦断面図である。図２は図１の開状態を示す縦断面図である。図３は図１を正面から見た縦断面図である。図４は図１における本体の平面図である。図５は図１における一部切り欠き立面図である。図６は本発明のピンチバルブの第２の実施例に係る閉状態を側面（流路方向）から見た縦断面図である。図７は図６の開状態を示す縦断面図である。図８は図６を正面から見た縦断面図である。図９は図６の中間開の状態を示す縦断面図である。図１０は図９を正面から見た縦断面図である。
【００１０】
以下、図１乃至図５に基づいて、本発明のピンチバルブの第１の実施例を説明する。１は内部を流体が流れるＰＴＦＥとシリコンゴムの複合体からなる管体である。該管体１は例えばシリコンゴムが含浸されたＰＴＦＥシートを何層も接着積層することにより目的とする肉厚に形成されたものである。また、２１はＥＰＤＭ製の保護部で、管体１の中央部外周全体を包囲するように装着されている。
本実施例では管体１の材質はＰＴＦＥとシリコンゴムの複合体になっているがＥＰＤＭ、シリコンゴム、フッ素ゴム及びこれらの複合体などの弾性体でも良く特に限定されるものではない。また、同様に保護部２１の材質はＥＰＤＭになっているがＣＲなど他のゴム弾性体でも良く、管体１への装着については中央部外周全体を包囲するように装着されているが、少なくとも管体１の後記挟圧子１０、１４が当接する部位に設けられていれば良い。
【００１１】
２はＰＦＡ製の継手部で、この継手部２は、管体１の両端部の外周に挿入され挿入側と反対側には後記ニップル２２が螺着される雌ネジ部２６が内周に設けられた断面矩形状のＰＦＡ製キャップナット２４と、管体１の両端部内部に挿入され、挿入側の外周に設けられた雄ネジ部２５がキャップナット２４の雌ネジ部２６に螺着することにより管体１端部をキャップナット２４と共に挟持固定し、挿入側と反対側には当該ピンチバルブを配管する為の雌ネジ部２３が内周に設けられ内部に流路を有するＰＦＡ製のニップル２２とからなる。尚、本実施例では、管体１と継手部２の結合がニップル２２とキャップナット２４による挟持固定構造になっているが、管体１をホースバンド等でニップル２２に接続しても良く、その結合する構造は特に限定されるものではない。また、本実施例における当該ピンチバルブを配管するための構造は、ニップル２２に設けた雌ネジ部２３であるが、ニップル２２の外周に雄ネジ部を設けるものでも良く、当該ピンチバルブと配管することが可能であれば、その構造は特に限定されない。
【００１２】
６はＰＶＣ製のシリンダー本体で、内部上方より円筒状空間を持つ第１シリンダー部３と、第１シリンダー部３より拡径し連続して設けられた円筒状空間を持つ第２シリンダー部４及び下端部の流路方向には継手部の受容用の１対の矩形状の切り欠き部５とが設けられている。また、シリンダー本体６側面には、後記第１ピストン７下端面と第２ピストン１２上端面及びシリンダー本体６内周面とで形成される第１空間部１９と外部エアー給機器のコンプレッサー(図示せず)などと連通させるエアー口２７が穿孔されている。さらに、シリンダー本体６上面には、外気と連通するエアー口２０が穿孔されている。
【００１３】
７は側周面にＯ−リング２９が装着された円盤状のＰＶＣ製の第１ピストンで、第１シリンダー部３内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接されている。１０はＳＵＳ製の第１挟圧子で、断面かまぼこ型状で全体棒状を成し、後記本体１８のガイド溝１７の長手方向の寸法より大きく形成されている。また、第１挟圧子１０には、流路軸線に線対称の各々の位置上に、後記第２連動棒１３の各々が摺動貫通される第１貫通孔９が設けられ、第１ピストン７の下端面中央より垂下して設けられたＳＵＳ製の第１連動棒８の下端に曲面が管体１側に接するようにリベット固定されている。
【００１４】
１２は側周面にＯ−リング２８が装着された円盤状のＰＶＣ製の第２ピストンで、第１ピストン７の外径より大きく形成されていて、中心部には後記第１連動棒８が密封状態で貫通するように内周面にＯ−リング３０が装着された第２貫通孔１１を有し、第２シリンダー部４内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接されている。
【００１５】
１４は後記本体１８のガイド溝１７に嵌装されるＳＵＳ製の第２挟圧子で、断面かまぼこ型状で全体棒状を成し、第２ピストン１２の下端面の両端よりそれぞれ垂下して設けられ且つ第１挟圧子１０の流路軸線に線対称の位置にある２個の第１貫通孔９に各々が貫通しているＳＵＳ製の第２連動棒１３の下端に、曲面が管体１側に接するようにナット３２にて螺着され、管体１の下方より第１挟圧子１０と共に管体１を挟持している。
尚、本実施例では、第１ピストン７及び第２ピストン１２の材質は、ＰＶＣ製になっているが他の樹脂、または金属でも良く特に限定されない。また、第１挟圧子１０及び第２挟圧子１４の材質は、ＳＵＳ製になっているが他の金属でも良い。さらに第１連動棒８及び第２連動棒１３の材質は、ＳＵＳ製になっているが他の金属、または十分な強度を有する樹脂でも良い。
【００１６】
１５は、大、小２本のＳＵＳ製のバネ弾性体で、第２ピストン１２下端面と第１挟圧子１０上端面とで挟持された状態でシリンダー本体６内に装着されている。本実施例では、バネ弾性体が２本装着されているが、所望する付勢力に応じて装着する本数を変えても良い。また、バネ弾性体１５の付勢力が第１挟圧子１０及び第２ピストン１２に各々さらに均等に伝達できるようにバネ弾性体１５下端面と第１挟圧子１０上端の間に金属製の円盤状プレート(図示せず)を設けても良い。尚、本実施例では、バネ弾性体の材質はＳＵＳ製になっているが、必要に応じてＰＴＦＥなどのコーティングを施したものを使用しても良い。
【００１７】
１８は、ＰＶＣ製の本体で、流路軸線上には断面矩形状の溝１６が設けられ、溝１６の中心で且つ流路軸線に直交する位置に長手方向の寸法が第１挟圧子１０の長手方向の寸法より短く形成されているガイド溝１７が設けられ、またガイド溝１７の両端底部には円筒溝３１が設けられている。溝１６には、継手部２が固定された管体１が装着され、両端部において継手部２を構成するキャップナット２４が本体１８とシリンダー本体６の切り欠き部５とで挟持固定されている。また、ガイド溝１７には、各々の第２連動棒１３が挿入され且つ第２挟圧子１４が上下動可能に嵌装されている。また、円筒溝３１には、第２連動棒１３の下端部に螺着されたナット３２がバルブ開状態時には内包される。
【００１８】
以上説明したごとく、本実施例のピンチバルブは、従来のピンチバルブのように駆動部と弁本体の間に脚部材と脚台及び翼片が不要な構造になっているため、バルブの全高が低くなり従来のピンチバルブに比べコンパクトになっている。ここで、本実施例と従来品のピンチバルブの高さを比較すると、口径２５ｍｍの時、従来品の高さが３７１ｍｍあるのに比べ、本発明品は１４０ｍｍしかなく、本発明品の高さ寸法は従来品の高さ寸法に比べて約１／２．５となり格段にコンパクトになっている。
また、管体１の保護に関しては、本実施例は従来のピンチバルブのように直接流路部を挟圧子で挟持する構造では無く、管体１を保護部２１により保護している為、管体１が劣化しにくくピンチバルブの使用寿命が長くなる。ここで、管体１を保護部２１で保護している本実施例と、直接流路部を挟圧子で挟持する構造の従来品との耐久性の比較を各々のピンチバルブの長期開閉試験の回数で比較すると、口径２５ｍｍの時、従来品の開閉回数が７０万回で流路部が破損したのに比べ、本実施例は１４０万回でも異常が無く、本実施例の管体１の耐久性が従来品に比べ飛躍的に向上し、本実施例のピンチバルブの耐用期間が格段に長くなっている。
さらに、管体１をＰＴＦＥとシリコンゴムの複合体で形成すると、管体１の開閉による内周面からのパーティクルの発生が他のゴム弾性体よりも少なく、従って特にパーティクルが製品歩留りに悪影響を及ぼす半導体産業分野の流体配管に使用すると大きい効果が得られる。
【００１９】
上記の構成からなる本実施例のピンチバルブの作動は次の通りである。
図１に示すようにピンチバルブが全閉の状態において、エアー口２７から第１空間部１９へ圧縮空気を供給圧入すると、該空気圧により、まず、第１ピストン７より径が大きく受容面積の大きい第２ピストン１２が側周面を第２シリンダー部４内周に摺接させながら且つバネ弾性体１５を圧縮しながら下降し始め、それに伴って第２ピストン１２より垂下して設けられた第２連動棒１３を介して第２連動棒１３下端にナット３２螺着されている第２挟圧子１４がガイド溝１７内を下降する。ついには第２挟圧子１４が溝１６の底部に到達し、第２ピストン１２の下降は止まる。同時に第１空間部１９内の該空気圧により、第１ピストン７は側周面を第１シリンダー部３内周に摺接させながら上昇し且つ第１ピストン７上端面とシリンダー本体６内周面とで囲まれた空間に溜まったエアーがエアー口２０より放出される。それに伴って第１ピストン７より垂下して設けられた第１連動棒８を介して第１連動棒８下端に螺着されている第１挟圧子１０が第２シリンダー４内を上昇する。ついには第１ピストン７がシリンダー本体１８の第１シリンダー部３の内部上端面に到達し、第１ピストン７の上昇は止まり、該ピンチバルブは全開状態となる（図１の状態）。
【００２０】
次に、図２に示す前記ピンチバルブの全開状態において、エアー口２７から第１空間部１９へのエアーの供給を止め、大気開放すると、バネ弾性体１５に当接している第１挟圧子１０がバネ弾性体１５の反発力により下降し、管体１を上方より押圧し、第１挟圧子１０の両端下端面３３が本体１８の上端面３４に当接して下降は止まる。同時に、バネ弾性体１５の反発力により、バネ弾性体１５上端に当接する第２ピストン１２は、側周面が第２シリンダー部４内周に摺接しながら第２ピストン１２の上端面周縁部３５が第２シリンダー部４内部上端面周縁部３６に当接するまで上昇する。それに伴い第２ピストン１２より垂下して設けられた第２連動棒１３の下端部にナット３２でもって螺着された第２挟圧子１４が上昇することにより、第１挟圧子１０と共に管体１を挟圧し、該ピンチバルブは全閉状態となる（図２の状態）。
【００２１】
次に、図６乃至図１０に基づいて、本発明のピンチバルブの第２の実施例を説明する。
４６はＰＶＣ製のシリンダー本体で、上部に円形の開口部３８が設けられている。シリンダー本体４６の他の部分の構造は第１の実施例のシリンダー本体６と同じであるので説明は省略する。
【００２２】
３７はＰＶＣ製の第１ピストンで、上部に、シリンダー本体６の上部の開口部３８から貫通突出している開度調整用雄ネジ部４１が一体的に突設されている。
開度調整用雄ネジ部４１は、第１ピストン３７の上部に一体的に突設されているが、第１ピストン３７と一体成形で設けてもよく、また、開度調整用雄ネジ部４１を別部材として第１ピストン３７に接着、螺合する固定方法でも良く、その設け方は限定されない。第１ピストン３７の他の部分の構造は第１の実施例と同じであるので省略する。
【００２３】
３９はＰＶＣ製ストッパーで、全体が略ドーナツ状を有し、下部にシリンダー本体４６上部に嵌合される凹部４５が設けられ、中央孔４２の内周に雌ネジ部４３が設けられ、下端面がシリンダー本体４６の上端面に圧接、離間されるように開度調整用雄ネジ部４１に貫通螺合されている。
【００２４】
４０はＰＶＣ製ロックナットで、内周面に雌ネジ部４４を有する凹部４５が設けられ、ストッパー３９上端面に圧接された状態で開度調整用雄ネジ部４１上部に螺着されている。
【００２５】
第２の実施例のピンチバルブの上記以外の部材の構造については第１の実施例と同じであるので説明は省略する。
【００２６】
次に、中間開度の調整方法について説明する。図６、図８の状態において、すなわち全閉状態において、まず、ロックナット４０のみを回動させて緩め、ストッパー３９上端面から離間させる。次にストッパー３９を回動させ第１ピストン３７を引き上げると同時に、第１ピストン３７に連結されている第１挟圧子１０が引き上げられ、管体１が、閉塞状態から中間開の状態になる（図９、図１０の状態）。さらにストッパー３９を回動させ管体１の開度を微調整する。開度が決定した後、ロックナット４０を前記とは逆方向に回動させストッパー３９上端面に圧接するように締め込む。これで、ピンチバルブの中間開度の調整は完了する。
【００２７】
図９、図１０の状態において、すなわち中間開度の状態から、第１の実施例の作動と同様に、エアー口２７から圧搾空気を供給圧入すると、ピンチバルブは全開状態になる。
【００２８】
次に、ピンチバルブの全開状態において、エアー口２７から第１空間部１９へのエアーの供給を止め、大気開放すると、中間開の状態になる（図９、図１０の状態）。その後まず、ロックナット４０のみを回動させて緩め、ストッパー３９上端面から離間させる。次にストッパー３９を中間開度の調整時とは逆方向に回動させると、第１ピストン３７が引き下げられると同時に、第１ピストン３７に連結されている第１挟圧子１０が下降し、管体１を上方より押圧して行きついには、管体１は、全閉状態になる（図６、図８の状態）。その後、ロックナット４０を前記とは逆方向に回動させストッパー３９上端面に圧接するように締め込む。
【００２９】
前記中間開の状態(図９、図１０の状態)から、第１の実施例の作動と同様に、エアー口２７から圧搾空気を供給圧入すると、ピンチバルブは全開状態になる。
【００３０】
本実施例のピンチバルブは、上記構造を有するため、中間開度で流体を流すことができる。従って、例えば半導体製造などの装置内閉ループ配管において背圧弁として使用することができ、ユースポイントの圧力を下げることなく、最低圧力を保持することができる。
【００３１】
【発明の効果】
本発明は以上のような構造をしており、これを使用することにより以下の優れた効果が得られる。
１．従来品に比較してピンチバルブの全高が低く、コンパクトであるため、配管スペースが少なくてすむ。その為、複雑な配管設計がなされている半導体などの製造装置内での配管が可能になり、ひいては製造装置のコンパクト化も図れる。
２．管体に保護部を装着すると、従来品に比較して、管体の耐久性が向上し、ひいてはピンチバルブの耐用期間を飛躍的に延長することができる。
３．ピンチバルブの開度を調整することができるため、微小な流量を流すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のピンチバルブの実施例に係る閉状態を側面（流路方向）から見た縦断面図である。
【図２】図１の開状態を示す縦断面図である。
【図３】図１を正面から見た縦断面図である。
【図４】図１における本体の平面図である。
【図５】図１の一部切り欠き立面図である。
【図６】本発明のピンチバルブの第２の実施例に係る閉状態を側面（流路方向）から見た縦断面図である。
【図７】図６の開状態を示す縦断面図である。
【図８】図６を正面から見た縦断面図である。
【図９】図６の中間開の状態を示す縦断面図である。
【図１０】図９を正面から見た縦断面図である。
【図１１】従来のピンチバルブの閉状態を側面（流路方向）から見た縦断面図である。
【図１２】図１１を正面から見た部分縦断面図である。
【符号の説明】
１…管体
２…継手部
３…第１シリンダー部
４…第２シリンダー部
５…切り欠き部
６…シリンダー本体
７…第１ピストン
８…第１連動棒
９…第１貫通孔
１０…第１挟圧子
１１…第２貫通孔
１２…第２ピストン
１３…第２連動棒
１４…第２挟圧子
１５…バネ弾性体
１６…溝
１７…ガイド溝
１８…本体
１９…第１空間部
２０…エアー口
２１…保護部
２２…ニップル
２３…雌ネジ部
２４…キャップナット
２５…雄ネジ部
２６…雌ネジ部
２７…エアー口
２８…Ｏ-リング
２９…Ｏ-リング
３０…Ｏ-リング
３１…円筒溝
３２…ナット
３３…両端下端面
３４…上端面
３５…上端面周縁部
３６…上端面周縁部
３７…第１ピストン
３８…開口部
３９…ストッパー
４０…ロックナット
４１…開度調整用雄ネジ部
４２…中央孔
４３…雌ネジ部
４４…雄ネジ部
４５…凹部
４６…シリンダー本体

Claims

弾性体からなる管体(１)と、該管体（１）の両端に結合している一対の継手部（２）と、内部上方より第１シリンダー部（３）と、該第１シリンダー部（３）より拡径して設けられた第２シリンダー部（４）及び、下端部流路方向に継手部（２）受容用の一対の切り欠き部（５）が設けられたシリンダー本体（６）と、前記第１シリンダー部（３）内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接される第１ピストン（７）の中央より垂下して設けられた第１連動棒（８）の下端に固定され且つ流路軸線に線対称の位置に第１貫通孔（９）が設けられ、前記管体（１）を上方より押圧する第１挟圧子（１０）と、前記第２シリンダー部（４）内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され且つ中心部に第１連動棒（８）が密封状態で貫通している第２貫通孔（１１）を有する第２ピストン（１２）の両端よりそれぞれ垂下し且つ第１貫通孔（９）に各々が貫通している第２連動棒（１３）の下端に固定され、前記管体（１）下方より第１挟圧子（１０）と共に該管体（１）を挟持する第２挟圧子（１４）と、第２ピストン（１２）下端面と第１挟圧子（１０）上端面とで挟持されたバネ弾性体（１５）と、流路軸線上に管体（１）及び継手部（２）を受容する溝（１６）と、該溝（１６）と直交する位置に第２挟圧子（１４）が上下動可能に嵌装するガイド溝（１７）が設けられた本体（１８）、及びシリンダー本体（６）側面に設けられ第１ピストン（７）下端面、第２ピストン（１２）上端面及びシリンダー本体（６）内周面で囲まれて形成された第１空間部（１９）に連通されるエアー口（２７）を具備することを特徴とするピンチバルブ。
シリンダー本体（４６）上面に開口部（３８）が設けられ、第１ピストン（３７）の上部に前記開口部（３８）を貫通して開度調整用雄ネジ部（４１）が一体的に突設され、
下端面がシリンダー本体（４６）の上端面に圧接・離間されるストッパー（３９）及び前記ストッパー（３９）上端面に圧接状態でロックナット（４０）が開度調整用雄ネジ部（４１）に回動自在に螺合されていることを特徴とする請求項１記載のピンチバルブ。
管体（１）の外周面に保護部（２１）を設けたことを特徴とする請求項１または請求項２記載のピンチバルブ。
第１挟圧子（１０）の流路軸線と直交する方向（長手方向）の寸法をガイド溝（１７）のそれより大きく設けていることを特徴とする請求項１乃至請求項３記載のピンチバルブ。
管体（１）の材質がＥＰＤＭ、フッ素ゴム、シリコンゴム、またはこれらの複合体であることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のピンチバルブ。
管体（１）がポリテトラフルオロエチレンとゴム弾性体との複合体からなることを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れかに記載のピンチバルブ。