KR102527106B1 - 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브 - Google Patents

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허영도
강호성
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주식회사 에스앤씨
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Abstract

개시되는 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브는, 일직선 상으로 수평하게 연장되며, 내부에는 CMP공정에 사용되는 약액을 안내하는 유로가 형성된 튜브; 직선 왕복운동하는 출력축과, 출력축의 연장단에 장착되는 핀치를 가지며, 출력축과, 핀치를 승강작동시켜 튜브의 단면적 변화를 유도해 약액의 흐름을 제어하는 리니어 스텝모터; 일측면에서 타측면을 일직선 상으로 수평하게 관통하여 형성되며 내부에는 튜브가 설치되는 튜브 설치공과, 리니어 스텝모터가 설치되는 하단 측에서 튜브 설치공과 연결되도록 수직으로 연장 형성되고 내부에는 출력축과 핀치가 승강 가능하게 설치되는 핀치공을 가지는 밸브 바디; 및 약액 누출 시 튜브를 핀치공 및 리니어 스텝모터 측으로 밀어 이동시키는 팽윤부재와, 튜브의 유로를 흐르는 약액의 흐름 제어 시 리니어 스텝모터가 튜브를 가압하는 위치의 변화를 검출해 약액의 누출 여부를 판단하는 리니어 엔코더를 가지는 약액 누출 감지수단;을 포함한다.

Description

약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브{PINCH VALVE FOR EARLY DETECTION OF CHEMICAL SLURRY LEAKAGE}
본 발명(Disclosure)은, 웨이퍼 표면을 평탄화하는 공정(CMP)에서 연마제 혼합액(이하 "약액"이라 한다.)의 유량을 제어하는 핀치 밸브에 관한 것이다.
여기서는, 본 발명에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
일반적으로, 반도체 CMP(Chemical Mechanical Planarization) 공정에서 사용되는 약액은 유량이 정체되는 부분에 퇴적되어 경화되는 특성이 있으며, 이러한 이유로 인해 CMP공정에서는 핀치 밸브가 사용된다.
핀치 밸브는 누구나 알 수 있듯이 유로가 일자로 형성된 연질 튜브(Tube)를 수직으로 가압하여 튜브 내부에 형성된 유로의 단면적을 조절하는 형태로 구성된다.
한편, 핀치 밸브는 장기간 사용 시 튜브가 마모 및 파손되면서 약액이 누출되는데, 종래 핀치 밸브에서는 이러한 약액을 누출을 조기에 감지하지 못하는 문제점이 있었다.
즉, 종래 핀치 밸브에서는 약액 누출이 어느 정도 진행되어야만 누출센서가 이를 감지할 수 있었으며, 이러한 문제는 CMP 공정 불량으로 이어지는 또 다른 문제점이 있었다.
게다가, 종래 핀치 밸브에서는 누출된 약액이 튜브 유로의 단면적을 조절하는 리니어 스텝모터 내부로 유입되는 문제점이 있었으며, 이로 인해 리니어 스텝모터가 고장을 일으켜 유량제어장치(LFC) 전반을 교체해야하는 또 다른 문제점이 있었다.
한국등록특허공보 제10-1013441호. 한국등록특허공보 제10-0459523호. 한국등록특허공보 제10-1937753호. 한국등록특허공보 제10-0476004호.
본 발명(Disclosure)은, 약액의 누출을 조기에 감지할 수 있게 하며, 누출된 약액이 리니어 스텝모터 측으로 유입되지 않게 하는 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브의 제공을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
여기서는, 본 발명의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 발명의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니 된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
상기한 과제의 해결을 위해, 본 발명을 기술하는 여러 관점들 중 어느 일 관점(aspect)에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브는, 일직선 상으로 수평하게 연장되며, 내부에는 CMP공정에 사용되는 약액을 안내하는 유로가 형성된 튜브; 직선 왕복운동하는 출력축과, 출력축의 연장단에 장착되는 핀치를 가지며, 출력축과, 핀치를 승강작동시켜 튜브의 단면적 변화를 유도해 약액의 흐름을 제어하는 리니어 스텝모터; 일측면에서 타측면을 일직선 상으로 수평하게 관통하여 형성되며 내부에는 튜브가 설치되는 튜브 설치공과, 리니어 스텝모터가 설치되는 하단 측에서 튜브 설치공과 연결되도록 수직으로 연장 형성되고 내부에는 출력축과 핀치가 승강 가능하게 설치되는 핀치공을 가지는 밸브 바디; 및 약액 누출 시 튜브를 핀치공 및 리니어 스텝모터 측으로 밀어 이동시키는 팽윤부재와, 튜브의 유로를 흐르는 약액의 흐름 제어 시 리니어 스텝모터가 튜브를 가압하는 위치의 변화를 검출해 약액의 누출 여부를 판단하는 리니어 엔코더를 가지는 약액 누출 감지수단;을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브에서, 밸브 바디는 튜브가 직접적으로 핀치와 접촉되지 않게 하면서 튜브 파손 시 누출되는 약액이 핀치공 측으로 유입되지 않게 하는 실링 패드;를 더 포함하되, 실링 패드는 튜브 설치공과 핀치공이 이어지는 핀치공의 상단을 차폐시킬 수 있게 튜브 설치공의 하부 측에 고정 설치될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브에서, 실링 패드는 핀치가 튜브를 수직으로 가압할 수 있게 탄성을 가지는 재질로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브에서, 밸브 바디는 실링 패드 파손 시 핀치공으로 유입되는 약액을 핀치공의 외부로 배출시키는 하나 이상의 배출공;을 더 포함하되, 약액 배출공은 밸브 바디의 측면 측에서 핀치공 측으로 관통되게 형성될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브에서, 리니어 스텝모터는 핀치공으로 유입되는 약액을 약액 배출공 측으로 유도하는 캡;을 더 포함하되, 캡은 핀치 및 출력축을 감싸도록 핀치에 장착되며, 핀치공으로 유입된 약액은 캡의 외측면을 따라 흘러내려 약액 배출공을 통해 밸브 바디의 외부로 배출될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브에서, 팽윤부재는 튜브를 핀치공 및 리니어 스텝모터 측으로 밀어 이동시킬 수 있게 튜브 설치공과 상기 튜브 사이에 개재되되, 팽윤부재는 누출되는 약액을 흡수해 팽창할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브에서, 팽윤부재는 비스코스 레이온을 다단으로 적층시켜 압축시킨 압축섬유일 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브에서, 팽윤부재는 평면에서 봤을 때 원형의 형상으로 형성되되, 측면에서 봤을 때 중앙부가 볼록한 반구형 형상으로 팽윤하도록 형성될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브에서, 리니어 엔코더는 상기 리니어 스텝모터에 설치되며, 리니어 엔코더는 튜브의 유로를 흐르는 약액의 흐름 제어 시 리니어 스텝모터가 튜브를 가압하는 위치가 기 설정된 가압위치보다 하방에서 가압되면 튜브에서 약액이 누출되는 것으로 판단할 수 있다.
본 발명에 의하면, 약액 누출 시 팽윤부재가 튜브를 핀치공 및 리니어 스텝모터 측으로 이동시키고, 리니어 엔코더가 튜브의 가압위치를 변화를 검출하기 때문에 약액의 누출을 조기에 감지할 수 있으며, 이로 인해 CMP 공정 불량 손실 범위를 최소화할 수 있게 하는 효과를 제공하게 된다.
본 발명에 의하면, 튜브와 튜브의 단면적을 조절하는 핀치 사이에 실링 패드가 개재되기 때문에 약액이 리니어 스텝모터 측으로 유입되지 않게 할 뿐만 누출되는 약액이 팽윤부재에 빠르게 흡수되게 하는 효과를 제공하게 된다.
본 발명에 의하면, 리니어 스텝모터의 출력축 및 핀치가 캡에 의해 감싸지고, 밸브 바디에 약액 배출공이 형성되기 때문에 종래와 같이 약액이 리니어 스텝모터 측으로 유입되는 것을 원천적으로 차단할 수 있어 약액의 유입으로 인한 리니어 스텝모터의 고장을 미연에 방지할 수 있게 하는 효과를 제공하게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브를 개략적으로 나타낸 도면으로, 리니어 스텝모터가 약액이 누출되는 않는 튜브를 가압하는 상태를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브를 개략적으로 나타낸 도면으로, 리니어 스텝모터가 약액이 누출되는 튜브를 가압하는 상태를 나타낸 도면.
이하, 본 발명에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브를 구현한 실시형태를 도면을 참조하여 자세히 설명한다.
다만, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상은 이하에서 설명되는 실시형태에 의해 그 실시 가능 형태가 제한된다고 할 수는 없고, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상에 기초하여 통상의 기술자에 의해 이하에서 설명되는 실시형태를 치환 또는 변경의 방법으로 용이하게 제안될 수 있는 범위를 포섭함을 밝힌다.
또한, 이하에서 사용되는 용어는 설명의 편의를 위하여 선택한 것이므로, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상을 파악하는 데 있어서, 사전적 의미에 제한되지 않고 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미로 적절히 해석되어야 할 것이다.
첨부된 도면의 도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브(110)는 CMP공정에 사용되는 약액을 안내하는 튜브(110)와, 튜브(110)를 지지하는 밸브 바디(120) 및 튜브(110)의 단면적이 변화되도록 튜브(110)를 가압해 약액의 흐름(유량)을 제어하는 리니어 스텝모터(130)를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 핀치 밸브(110)는 리니어 스텝모터(130)가 튜브(110)를 가압하는 위치 변화를 감지해 약액의 누출을 조기에 감지하는 약액 누출 감지수단(140)을 더 포함한다.
먼저, 튜브(110)는 일직선 상으로 수평하게 연장되며, 내부에는 약액을 안내할 수 있도록 유로(112)가 형성된다.
즉, 튜브(110)는 도시된 바와 같이 내부는 중공되고 일단 및 타단은 열린, 수평하게 연장된 통상의 관 형상으로 형성된다.
그리고 튜브(110)는 유로(112)의 단면적이 탄력적으로 조절될 수 있도록 탄성을 가지는 재질로 형성된다.
여기서, 튜브(110)의 재질을 특별히 한정하지는 않으나, 일례로 튜브(110)는 EPDM, 불소 고무, 실리콘 고무 또는 이들의 복합체로 형성될 수 있다.
밸브 바디(120)는 튜브(110)가 설치되는 튜브 설치공(122) 및 후술하는 리니어 스텝모터(130)의 핀치(134;Pinch)가 설치되는 핀치공(124)을 포함한다.
튜브 설치공(122)은 도시된 바와 같이 밸브 바디(120)의 일측면에서 밸브 바디(120)의 타측면을 일직선 상으로 수평하게 관통하여 형성된다.
이렇게 형성된 튜브 설치공(122)에는 전술한 바와 같이 튜브(110)가 설치되는데, 튜브 설치공(122)의 내주면 상에는 튜브(110)의 외주면 측이 밀착되게 설치되고, 이에 의해 튜브(110)는 밸브 바디(120)에 지지된다.
여기서, 튜브 설치공(122)과 튜브(110)의 연결관계는 공지의 기술이므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
핀치공(124)은 도시된 바와 같이 밸브 바디(120)의 하단 측에서 튜브 설치공(122)과 연결되도록 수직으로 연장되게 형성된다.
이렇게 형성된 핀치공(124)에는 전술한 바와 같이 리니어 스텝모터(130)의 핀치(134)가 튜브 설치공(122)에 설치된 튜브(110)를 수직으로 가압할 수 있게 승강 가능하게 설치된다.
한편, 밸브 바디(120)는 튜브(110)가 직접적으로 핀치(134)와 접촉되지 않게 하면서 튜브(110) 파손 시 누출되는 약액이 핀치공(124) 측으로 유입되지 않게 하는 실링 패드(126)를 더 포함한다.
실링 패드(126)는 도시된 바와 같이 튜브 설치공(122)과 핀치공(124)이 이어지는 핀치공(124)의 상단을 차폐시킬 수 있게 튜브 설치공(122)의 하부 측에 접착제 등을 매개로 고정 설치된다.
그리고 실링 패드(126)는 핀치(134)가 튜브(110)를 수직으로 가압할 수 있게 탄성을 가지는 재질로 형성된다.
여기서, 실링 패드(110)의 재질을 특별히 한정하지는 않으나, 일례로 실링 패드(110)는 튜브(110)와 마찬가지로 EPDM, 불소 고무, 실리콘 고무 또는 이들의 복합체로 형성될 수 있다.
그리고 밸브 바디(120)는 실링 패드(126) 파손 시 핀치공(124)으로 유입되는 약액을 핀치공(124)의 외부로 배출시키는 하나 이상의 배출공(128)을 더 포함한다.
약액 배출공(128)은 도시된 바와 같이 핀치공(124) 내에 설치되는 핀치(134)에 간섭되지 않게 밸브 바디(120)의 측면 측에서 핀치공(124) 측으로 관통되게 형성되는데, 핀치공(124)으로 유입된 약액은 후술하는 핀치(124)에 장착되는 캡(136)의 외측면을 따라 약액 배출공(128) 측으로 유도되어 밸브 바디(120)의 외부로 배출된다.
리니어 스텝모터(130)는 누구나 알 수 있듯이 출력축(132)이 직선 왕복운동하는 것으로, 리니어 스텝모터(130)는 도시된 바와 같이 출력축(132)이 핀치공(124)을 따라 승강 작동하도록 밸브 바디(120)의 하단 측에 고정 설치된다.
그리고 리니어 스텝모터(130)는 핀치공(124) 내부로 연장된 출력축(132)의 연장단에 장착되는 핀치(134)를 포함한다.
이렇게 리니어 스텝모터(130)의 출력축(132)에 장착된 핀치(134)는 리니어 스텝모터(130)의 작동에 의해 핀치공(124)을 따라 승강 작동하면서 튜브 설치공(122)에 설치된 튜브(110)를 수직으로 가압하는데, 이에 의해 튜브(110)가 형성하는 유로(112)는 단면적이 변화되면서 약액의 흐름(유량)이 제어되게 한다.
한편, 리니어 스텝모터(130)는 핀치공(124)으로 유입되는 약액을 약액 배출공(128) 측으로 유도하는 캡(136; Cap)을 더 포함한다.
캡(136)은 도시된 바와 같이 하단 측에서 상단 측으로 오를 수 있는 계단 형상으로 형성되되, 캡(136)은 핀치(134) 및 출력축(132)을 감싸도록 핀치(134)에 장착된다.
즉, 핀치공(124)으로 유입된 약액은 캡(136)의 외측면을 따라 흘러내리게 되고, 캡(136)의 외측면을 따라 흘러내리는 약액은 약액 배출공(128)을 통해 밸브 바디(120)의 외부로 배출된다.
그리고 캡(136)의 상단 측은 실질적으로 실링 패드(126) 및 튜브(110)를 가압해 튜브(110)가 형성하는 유로(112)의 단면적으로 변화시킨다.
한편, 약액 누출 감지수단(140)은 약액 누출 시 튜브(110)를 핀치공(124) 및 리니어 스텝모터(130) 측으로 밀어 이동시키는 팽윤부재(142)와, 튜브(110)의 유로(112)를 흐르는 약액의 흐름(유량) 제어 시 리니어 스텝모터(130)가 튜브(110)를 가압하는 위치의 변화를 검출해 약액의 누출 여부를 판단하는 리니어 엔코더(144)를 포함한다.
팽윤부재(142)는 누출되는 약액을 흡수해 부피가 팽창할 수 있게 형성되는 것으로, 팽윤부재(142)는 팽창 시 튜브(110)를 핀치공(124) 및 리니어 스텝모터(130) 측으로 밀어 이동시킬 수 있게 설치된다.
이를 위해서, 팽윤부재(142)는 도시된 바와 같이 실링 패드(126)에 대향하는 튜브 설치공(122)과 튜브(110) 사이에 개재된다.
이렇게 설치된 팽윤부재(142)는 튜브(110)에서 누출되는 약액 및 실링 패드(126)에 의해 격리된 약액을 흡수해 팽창하는데, 이에 의해 튜브(110)는 핀치공(124) 및 리니어 스텝모터(130) 측으로 이동된다.
이때, 팽윤부재(142)는 평면에서 봤을 때 원형의 형상으로 형성되되, 측면에서 봤을 때 중앙부가 볼록한 반구형 형상으로 팽윤하도록 형성된다.
본 발명에서는 팽윤부재(142)를 특별히 한정하지는 않으나, 팽윤부재(142)는 통상의 비스코스 레이온(부직포)을 다단으로 적층시켜 압축한 압축섬유일 수 있다.
리니어 엔코더(144)는 리니어 스텝모터(130)에 설치되는 것으로, 리니어 엔코더(144)는 리니어 스텝모터(130)에 기 설정된 약액의 타켓유량값과 튜브(110)의 유로(112)를 통해 안내되는 약액의 유량값 사이에 유량편차가 발생하면 리니어 엔코더(144)에 기 설정된 엔코더 값을 기준으로 핀치(134)가 승강작동하도록 리니어 스텝모터(130)를 제어한다.
또한, 리니어 엔코더(144)는 튜브(110)의 유로(112)를 흐르는 약액의 흐름(유량) 제어 시 리니어 스텝모터(130)가 튜브(110)를 가압하는 위치의 변화를 검출한다.
다시 말해, 튜브(110)의 유로(112)를 흐르는 약액의 흐름(유량)을 제어할 수 있도록 리니어 스텝모터(130)가 튜브(110)를 가압하는 위치는 미리 설정되는데, 약액이 누출되는 않는 튜브(110)보다 약액이 누출되어 팽창부재(142)에 의해 핀치공(124) 및 리니어 스텝모터(130) 측으로 이동된 튜브(110)가 기 설정 가압위치보다 하방에서 가압된다.
그리고 이렇게 기 설정된 튜브(110) 가압 위치보다 하방에서 튜브(110)가 가압하면 리니어 엔코더(144)는 이를 약액이 누출되는 것으로 판단하고, 관리자 단말 측으로 신호로 출력한다.
여기서, 리니어 엔코더(144)는 구성 및 작용은 공지의 기술이므로, 본 발명에서는 상세한 설명은 생략한다.
이와 같이 형성된 본 발명에 따른 핀치 밸브(100)는 약액 누출 시 팽윤부재(142)가 튜브(110)를 핀치공(124) 및 리니어 스텝모터(130) 측으로 이동시키고 리니어 엔코더(144)가 튜브(110)의 가압위치를 변화를 검출하기 때문에 약액의 누출을 조기에 감지할 수 있으며, 이로 인해 CMP 공정 불량 손실 범위를 최소화할 수 있게 한다.
본 발명에 따른 핀치 밸브(100)는 튜브(110)와 튜브(110)의 단면적을 조절하는 핀치(134) 사이에 실링 패드(126)가 개재되기 때문에 약액이 리니어 스텝모터(130) 측으로 유입되지 않게 할 뿐만 누출되는 약액이 팽윤부재(142)에 빠르게 흡수되게 한다.
본 발명에 따른 핀치 밸브(100)는 출력축(132) 및 핀치(134)가 캡(136)에 의해 감싸지고, 밸브 바디(120)에 약액 배출공(128)이 형성되기 때문에 종래와 같이 약액이 리니어 스텝모터(130) 측으로 유입되는 것을 원천적으로 차단할 수 있어 약액의 유입으로 인한 리니어 스텝모터(130)의 고장을 미연에 방지할 수 있게 한다.

Claims (9)

  1. 일직선 상으로 수평하게 연장되며, 내부에는 CMP공정에 사용되는 약액을 안내하는 유로가 형성된 튜브;
    직선 왕복운동하는 출력축과, 상기 출력축의 연장단에 장착되는 핀치를 가지며, 상기 출력축과, 상기 핀치를 승강작동시켜 상기 튜브의 단면적 변화를 유도해 상기 약액의 흐름을 제어하는 리니어 스텝모터;
    일측면에서 타측면을 일직선 상으로 수평하게 관통하여 형성되며 내부에는 상기 튜브가 설치되는 튜브 설치공과, 상기 리니어 스텝모터가 설치되는 하단 측에서 상기 튜브 설치공과 연결되도록 수직으로 연장 형성되고 내부에는 상기 출력축과 상기 핀치가 승강 가능하게 설치되는 핀치공을 가지는 밸브 바디; 및
    상기 약액 누출 시 상기 튜브를 상기 핀치공 및 상기 리니어 스텝모터 측으로 밀어 이동시키는 팽윤부재와, 상기 튜브의 상기 유로를 흐르는 상기 약액의 흐름 제어 시 상기 리니어 스텝모터가 상기 튜브를 가압하는 위치의 변화를 검출해 상기 약액의 누출 여부를 판단하는 리니어 엔코더를 가지는 약액 누출 감지수단;을 포함하되,
    상기 밸브 바디는 상기 튜브가 직접적으로 상기 핀치와 접촉되지 않게 하면서 상기 튜브 파손 시 누출되는 상기 약액이 상기 핀치공 측으로 유입되지 않게 하는 실링 패드;를 더 포함하되,
    상기 실링 패드는 상기 튜브 설치공과 상기 핀치공이 이어지는 상기 핀치공의 상단을 차폐시킬 수 있게 상기 튜브 설치공의 하부 측에 고정 설치되는 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 실링 패드는 상기 핀치가 상기 튜브를 수직으로 가압할 수 있게 탄성을 가지는 재질로 형성되는 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 밸브 바디는 상기 실링 패드 파손 시 상기 핀치공으로 유입되는 상기 약액을 상기 핀치공의 외부로 배출시키는 하나 이상의 배출공;을 더 포함하되,
    상기 약액 배출공은 상기 밸브 바디의 측면 측에서 상기 핀치공 측으로 관통되게 형성되는 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 리니어 스텝모터는 상기 핀치공으로 유입되는 약액을 상기 약액 배출공 측으로 유도하는 캡;을 더 포함하되,
    상기 캡은 상기 핀치 및 상기 출력축을 감싸도록 상기 핀치에 장착되며,
    상기 핀치공으로 유입된 상기 약액은 상기 캡의 외측면을 따라 흘러내려 상기 약액 배출공을 통해 상기 밸브 바디의 외부로 배출되는 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 팽윤부재는 상기 튜브를 상기 핀치공 및 상기 리니어 스텝모터 측으로 밀어 이동시킬 수 있게 상기 튜브 설치공과 상기 튜브 사이에 개재되되,
    상기 팽윤부재는 누출되는 상기 약액을 흡수해 팽창하는 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 팽윤부재는 비스코스 레이온을 다단으로 적층시켜 압축시킨 압축섬유인 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 팽윤부재는 평면에서 봤을 때 원형의 형상으로 형성되되, 측면에서 봤을 때 중앙부가 볼록한 반구형 형상으로 팽윤하도록 형성되는 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 리니어 엔코더는 상기 리니어 스텝모터에 설치되며,
    상기 리니어 엔코더는 상기 튜브의 상기 유로를 흐르는 상기 약액의 흐름 제어 시 상기 리니어 스텝모터가 상기 튜브를 가압하는 위치가 기 설정된 가압위치보다 하방에서 가압되면 상기 튜브에서 상기 약액이 누출되는 것으로 판단하는 약액의 누출을 조기에 감지하는 핀치 밸브.





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