CN1187544C

CN1187544C - 夹紧阀

Info

Publication number: CN1187544C
Application number: CNB018007260A
Authority: CN
Inventors: 井上亘; 古川重信
Original assignee: Asahi Organic Chemicals Industry Co Ltd
Current assignee: Asahi Yukizai Corp
Priority date: 2000-07-07
Filing date: 2001-05-23
Publication date: 2005-02-02
Anticipated expiration: 2021-05-23
Also published as: CA2375367A1; US20020158217A1; CN1365436A; KR100476004B1; KR20020039268A; US6536738B2; EP1211445A1; JP2002161988A; EP1211445A4; WO2002004849A1; JP4573010B2; CA2375367C

Abstract

本发明提供一种总体高度较小且结构紧凑的夹紧阀，所述夹紧阀包括：阀体，其包含弹性管体；缸体，其具有第一缸部和第二缸部；第一活塞；以及第二活塞；其中，第一活塞上装有从其下表面中心悬挂下来的第一互锁杆，该第一互锁杆穿过第二活塞并在下端带有第一压块，第二活塞上装有从其下表面的两端悬挂下来的第二互锁杆，第二互锁杆分别穿过第一压块并在下端带有第二压块，阀体中在与弹性管体流道轴线交叉的位置上设有导槽，第二压块装在导槽中，并可在导槽中上下移动，第一和第二压块可从上下两侧压紧弹性管体，用于推压第一压块的弹簧体布置在第二活塞与第一压块之间。这样就保证了结构的紧凑性，使总体高度变小。

Description

夹紧阀

技术领域

本发明涉及一种用在化学工厂、半导体制造、食物加工、生物技术或诸如此类的各种工业领域的流体输送管线中的夹紧阀，具体地讲，涉及一种结构紧凑并且能够减轻管体在阀打开和关闭中所受损伤的夹紧阀。

背景技术

迄今为止已经有各式各样的夹紧阀被提出，其中一个实例公开于日本未审查实用新型公开文献No.45-3264中。根据这个文献，如图11和12所示，一个腿件49由腿支座47和腿杆48构成，在腿件上方的一个缸体50中装配着的两个上下活塞51、52中，上活塞51固定在一个轴杆53的上端，下活塞52固定在一个松配合于轴杆53上的管轴54的上端。在管轴54的下部设有一个翼件55，其通过连杆56固定在一个下部压块57上。另一方面，一个上部压块58固定在轴杆53的下端上。此外，两个侧杆60横跨在装配于阀管体61两端上的凸缘59之间，被腿件49和两个侧杆60支承着的阀管体61的中部被上下压块58、57挤压，之后，通过向穿通于缸体50中的孔62、63、64中适宜地强制输入压缩空气，与活塞51、52相连的上下压块58、57将对称地向上和向下移动，从而使阀管体61打开和关闭。

现在，在用于半导体制造的设备中，需要布置各种管线和控制装置，并且要实施复杂的管线设计，因此要求设备本身结构紧凑。其结果是，用在设备管线中的夹紧阀必须紧凑，以节约空间，因此，使设备中的夹紧阀紧凑化是一个重要问题。另外，需要有能够调节非常小的流率的夹紧阀。

然而，在上面描述的夹紧阀中，由于驱动器和阀体被构造成单独的元件，而且腿件49、腿支座47和翼件55设在缸体50与作为流道的阀管体61之间，因此阀的总体高度很大，而且阀不能被紧凑化。因此，上述夹紧阀不能用作半导体制造设备管线中的夹紧阀。此外，在这种夹紧阀结构中，难以随意调节阀管体61的打开程度，因此不能实现非常小量的流率调节。

本发明的公开内容

本发明是考虑到现有技术中的上述问题而研制的，而且本发明的目的是提供一种夹紧阀，其同传统夹紧阀相比总体高度较小，其结构紧凑并且能够减轻管体在阀打开和关闭中所受损伤，而且能够调节非常小的流率。

为了达到上述目的，本发明提供一种夹紧阀，包括：一个阀体，其包含一个构成了流体流道的弹性管体；一个缸体，其在下端结合在阀体上部，并且具有位于其内侧上部的第一缸部和位于其内侧下部而且直径比第一缸部大的第二缸部；第一活塞，其可以在第一缸部的内周表面上上下滑动；以及第二活塞，其可以在第二缸部的内周表面上上下滑动；其特征在于，第一活塞上装有从其下表面中心悬挂下来的第一互锁杆，该第一互锁杆穿过第二活塞并在下端带有第一压块，第二活塞上装有从其下表面的两端悬挂下来的第二互锁杆，上述第二互锁杆分别穿过第一压块并在下端带有第二压块，一个导槽在与流道轴线交叉的位置上设置在阀体中，第二压块装配在所述导槽中，以使第二压块能够上下移动，第一和第二压块被布置得能够从上下两侧压紧弹性管体，一个用于推压第一压块的弹簧体布置在第二活塞与第一压块之间，一个开口部分设在缸体上，该开口部分与第一活塞的下端面、第二活塞的上端面和缸体内周表面所包围的一个空间部分连通。

在本发明的一个优选实施例中，一对连接部分连接在管体的两端，而且用于容纳上述一对连接部分的一对切口沿着流道方向设在缸体的下端部分上。

此外，阀体设有一个用于容纳管体和连接部分的槽，还在与槽垂直交叉的位置上设有一个导槽，导槽中装配着第二压块，以使后者能够上下移动。另外，第一压块在相对于流道轴线对称的位置上设有被第二互锁杆穿过的第一通孔，第二活塞在其中央部分设有第二通孔，第一互锁杆可以以密封的方式在第二通孔中滑动。

此外，在另一个实施例中，缸体的上表面上设有一个开口部分，第一活塞的上部整体式设有一个伸出的阳螺纹部分，上述阳螺纹部分穿过缸体的开口部分，用于调节管体打开程度，一个以其下表面压紧或离开缸体上端面的挡块和一个压紧在挡块上端面上的锁紧螺母可旋转地拧紧在阳螺纹部分上，以调节打开程度。

另外，根据本发明的另一个实施例，管体的外周表面上设有一个保护部分。

此外，第一压块在与流道轴线垂直交叉的方向上的尺寸大于导槽。

另外，管体的材料是EPDM(三元乙丙橡胶)、氟橡胶、硅橡胶或者这些材料的复合物。

更优选的是，管体由聚四氟乙烯和橡胶弹性体的复合物制成。

同时，尽管缸体、开口程度调节阳螺纹部分、挡块、锁紧螺母和阀体可以由具有刚性的材料如金属或塑料制成，而且这些元件的材料没有特定的限制，但塑料例如PVC(聚氯乙烯)、PVDF(聚偏氟乙烯)或PFA(可熔性聚四氟乙烯)特别优选采用。

附图简述

图1是本发明的一个实施例的关闭状态从侧面(沿着流道方向)看时的纵向剖示图；

图2是图1中的夹紧阀的打开状态的纵向剖示图；

图3是图1中的夹紧阀从前面看时的纵向剖示图；

图4是图1中的阀体的俯视图；

图5是图1中的夹紧阀的局部剖切透视图；

图6是本发明的夹紧阀的第二个实施例的关闭状态从侧面(沿着流道方向)看时的纵向剖示图；

图7是图6中的夹紧阀的打开状态的纵向剖示图；

图8是图6中的夹紧阀从前面看时的纵向剖示图；

图9是图6中的夹紧阀的中等打开状态的纵向剖示图；

图10是图9中的夹紧阀从前面看时的纵向剖示图；

图11是传统夹紧阀的关闭状态从侧面(沿着流道方向)看时的纵向剖示图；

图12是图11中的夹紧阀从前面看时的局部纵向剖示图。

本发明的最佳实施模式

下面参照附图解释本发明的实施例。

图1至5示出了本发明的第一个实施例，附图标记1表示一个由PTFE(聚四氟乙烯)和硅橡胶的复合材料制成的管体，其内部有流体流过。管体1被成形为预期的厚度，例如通过将多层PTFE片材与浸渍的硅橡胶粘着并层压在一起。此外，附图标记21表示一个由EPDM制成的保护部分，其被安装得包围在管体1的中央区域的整个外周上。

在这个实施例中，尽管管体1的材料是PTFE和硅橡胶的复合材料，但也可以是EPDM、硅橡胶、氟橡胶或者这些材料的复合物，因而没有特别限制。与此类似，尽管保护部分21的材料是EPDM，但也可以是其他橡胶弹性体，例如CR(氯丁橡胶)。此外，至于保护部分向管体1上的安装，尽管保护部分被安装得包围中央区域的整个外周，但也可以至少设置在被第一压块10与第二压块14抵靠的位置上。

附图标记2表示一个由PFA制成的连接部分，其包括一个由PFA制成的具有矩形横截面的螺帽24，该螺帽装配在管体1的端部外周上，并且在相反端部设有一个拧着管接头22的阴螺纹部分26。管接头22插入管体1的端部内，并且通过将设在其插入侧外周上的阳螺纹拧入螺帽24的阴螺纹26中而将管体1的端部与螺帽24夹持和固定在一起。管接头22还在它的与插入管体中的端部相反的端部中设有用于连接上述夹紧阀的阴螺纹23，并在内部具有流道。此外，在本实施例中，尽管管体1与连接部分2的组合结构被这样设计，即管体1被管接头22和螺帽24抓持和保持，但管体1也可以通过软管套箍等连接到管接头22上，因此组合结构不是特别限定性的。另外，尽管在上述实施例中用于连接上述夹紧阀的结构是设在管接头22上的，但管接头22也可以在其外周上带有阳螺纹，因此这里的结构没有特别限制，只要管接头能够连接到上述夹紧阀上即可。

附图标记6表示一个PVC制缸体，它设有第一缸部3，其位于缸体上方内部并且具有一个圆柱形空间；第二缸部4，其具有一个直径比第一缸部3中的空间大的圆柱形空间，并且紧随着第一缸部3；以及沿着流道方向位于下端部分中的一对矩形切口部分5，用于容纳连接部分2。此外，在缸体6的侧面设有一个气口27，其用于将第一活塞7的下端面、第二活塞12的上端面和缸体6的内周表面所包围的第一空间部分19与外界空气供应装置中的压缩机(未示出)或类似物连通。此外，在缸体6的上表面上开通了一个与大气连通的气口20。

第一活塞7被成形为圆盘形，它由PVC制成并且在外周侧表面上装有一个O形圈29，第一活塞7在第一缸部3的内周表面上以密封的方式上下滑动。由SUS(不锈钢)制成的第一压块10被成形为具有半圆柱形横截面的杆，而且其纵向尺寸大于阀体18中的导槽17。此外，第一压块10在其相对于流道对称的相应位置上设有第一通孔9，用于被每个第二互锁杆13穿过，第一压块10通过铆钉固定在第一互锁杆8的下端，第一互锁杆设在第一活塞7上并从第一活塞7的下端面中心悬挂下来，这样可以使第一压块10的弯曲表面与管体1接触。

附图标记12表示在外周装有O形圈28的PVC制第二圆盘形活塞，它的外径大于第一活塞7，并且带有第二通孔11，该第二通孔在内周表面上装有一个O形圈30，并且用于被装配在第一活塞7上的第一互锁杆8以密封的方式穿过，而且第二活塞可以在第二缸部4的内周表面上以密封的方式上下滑动。

第二压块14装配在阀体18的导槽17中，它由SUS制成并且被成形为具有半圆柱形横截面的杆，第二压块14拧在第二互锁杆13的下端上；上述第二互锁杆装配在第二活塞12的下表面两端上，以从第二活塞12上悬挂下来，并且分别借助于螺母32而穿过相对于流道轴线对称布置在第一压块10两端的第一通孔9，以使第二压块14的弯曲表面接触管体1，而且管体1可以从上下两侧被第一和第二压块10和14压紧。

此外，尽管在本实施例中第一活塞7和第二活塞12由PVC制成，但它们也可以由其他塑料或金属制成，因此没有特别的限制。另外，尽管第一压块10和第二压块14的材料是SUS，但也可以是其他金属。此外，尽管第一互锁杆8和第二互锁杆13的材料是SUS，但也可以是其他金属或具有足够强度的塑料。

附图标记15表示两个由SUS制成的大小弹簧体，它们被第二活塞12的下端面和第一压块10的上端面压缩，并且安装在缸体6中。在本实施例中，尽管弹簧体15包括两个弹簧，但弹簧的数量可以基于所需的推力而变化。此外，一个金属圆盘形板(未示出)可以设在弹簧体15的下端面与第一压块的上表面之间，以使弹簧体15的推力能够更均匀地传递到第一压块10和第二活塞12上。另外，尽管在本实施例中弹性体15的材料是SUS，但如果需要，也可以是涂有PTFE等的SUS。

阀体18由PVC制成，并且设有一个在流道方向上具有矩形横截面的槽16，还在槽16中央的与流道轴线垂直交叉的位置上设有导槽17，导槽的纵向尺寸小于第一压块10。此外，导槽17两端的底部设有圆柱形槽31。在槽16中安置着管体1，管体上固定着连接部分2，从而使构成连接部分2的螺帽24被阀体18和缸体6的切口部分5夹持和固定在管体两端。另外，在槽17中插有相应的第二互锁杆13，并且装配着第二压块14，以使第二压块能够上下移动。此外，圆柱形槽31用于在阀打开时安置拧在第二互锁杆13下端的封口螺母32。

如上面所描述，在本实施例的夹紧阀中，同传统夹紧阀相比，总体高度变小，而且结构紧凑，这是因为不需要象传统夹紧阀那样在驱动部分与阀体之间使用腿件、腿支座和翼件。在这一点，如果将本实施例中的夹紧阀的高度与传统夹紧阀作比较，在孔径为25mm时，根据本发明的夹紧阀的高度仅为140mm，而传统夹紧阀为371mm，因此本发明的夹紧阀的高度大约是传统夹紧阀的1/2.5，所以根据本发明的夹紧阀被显著紧凑化。

此外，考虑到管体1的保护问题，由于本实施例的结构不象传统夹紧阀那样直接用压块挤压流道部分，而是利用保护部分21保护管体1，因此管体1不易老化，而夹紧阀的耐用期限可以延长。在这一点，如果将本实施例中的利用了保护部分21保护管体1的夹紧阀的耐用性与流道部分直接被压块夹紧的传统夹紧阀相比，以长期打开和关闭相应夹紧阀的次数为指标，则在孔径为25mm时，传统夹紧阀在打开和关闭700,000次后流道出现损坏，而本实施例通常会在1,400,000次后出现损坏，因此本实施例的管体1的耐用性急剧提高，而且根据本发明的夹紧阀的耐用期限可以显著延长。

此外，如果管体1由PTFE和硅橡胶的复合材料制成，则因打开和关闭管体1而在管体1的内周表面上产生的颗粒可以比其他橡胶弹性体制成的管体更少。因此，如果管体用作半导体制造领域的流体管线，特别是颗粒会影响产品生产的领域，可以获得显著效果。

下面描述如前面所述构造的本实施例的夹紧阀的操作。

在图1所示的完全关闭状态下，如果压缩空气从气口27充入第一空间19中，则直径比第一活塞7大而且因此接受的压力更大的第二活塞12将首先向下移动，其侧周表面在第二缸部4的内周表面上滑动，而弹簧体15被压缩，其结果是，随着螺母32在导槽17中下降，拧在第二互锁杆13下端的第二压块14将从第二活塞12上悬挂着下降。最后，第二压块14到达槽16底部，而第二活塞12的下降结束。与此同时，第一活塞7在第一空间19中的气压作用下上升，其侧表面在第一缸部3的内周表面上滑动，而滞留在由第一活塞7的上端面和缸体6的内周表面包围的空间中的空气将由气口20排出。其结果是，从第一活塞7上悬挂下来的第一互锁杆8的下端上固定着的第一压块10将在第二缸部4中上升。最后，第一活塞7到达缸体6的第一缸部3的内侧上端面，第一活塞7的上升停止，而夹紧阀到达完全打开状态(图2中的状态)。

接下来，在图2所示的夹紧阀完全打开状态下，如果停止从气口27向第一空间19中供应空气，而且空气被排向大气，则抵靠在弹簧体15上的第一压块10将在弹簧体15的推力作用下下降，第一压块10从上侧推压管体1，并且在其两端的下端部分33抵靠在阀体18的上端34上时停止下降。与此同时，抵靠在弹簧体15上端的第二活塞12将在弹簧15的推力作用下上升，其中第二活塞12的侧周表面在第二缸部4的内周表面上滑动，直至第二活塞12的上端周边部分35抵靠在第二缸部4的上端周边部分36上。其结果是，借助于螺母32而拧在从第二活塞12悬挂下来的第二互锁杆12上的第二压块1 4将上升，因此第二压块14将与第一压块10一起挤压管体1，从而使根据本发明的夹紧阀到达完全关闭状态(图1所示状态)。

接下来将基于图6至10描述根据本发明的夹紧阀的第二个

实施例。

附图标记46表示一个缸体，其在上端设有一个圆形开口部分38。由于缸体46的其他部分的结构与第一个实施例中的缸体6相同，因此不再解释。

附图标记37表示PVC制第一活塞，其上整体式设有一个阳螺纹部分41，该阳螺纹部分从第一活塞上伸出并且穿过缸体的上部开口部分38，用以调节夹紧阀的打开程度。尽管用于调节打开程度的阳螺纹41整体式设在第一活塞37的上部并且从开口部分38中伸出，但它即可以与第一活塞37整体式模塑在一起，也可以将一个单独的阳螺纹部分41粘结或拧在第一活塞37上，因此用于调节打开程度的阳螺纹部分41的设置不是特别限定性的。由于第一活塞37的其他部分的结构与第一个实施例中的相同，因此不再解释。

附图标记39表示一个总体上为环形的PVC制挡块，其在下部设有一个装配在缸体46上部的凹座47和位于挡块39的中心孔42的内周边上并且与调节阳螺纹部分41拧在一起的阴螺纹部分43，其中挡块39的下端用于压紧和离开缸体46的上端面。

附图标记40表示一个PVC制锁紧螺母，其设有一个在内周边上带有阴螺纹部分44的凹座45，在锁紧螺母40压紧在挡块39的上端面上的状态下，该凹座拧在调节阳螺纹部分41的上部。

由于根据第二个实施例的夹紧阀的其他部件的结构与第一个实施例中的相同，因此不再解释。

下面解释夹紧阀的中等打开程度调节方法。

在图6和图8所示的状态，即完全关闭状态下，操作者首先只将锁紧螺母40旋转松开并与挡块39的上端面分离。之后，操作者旋转挡块39，以将第一活塞37拉起，并将与第一活塞37相连的第一压块10拉起，以使管体1从关闭状态到达中等打开状态(图9和10中的状态)。操作者继续旋转挡块39，以精确调节管体1的打开程度。在打开程度确定后，操作者反向旋转锁紧螺母40，以将其夹持锁紧在挡块39的上端面上。通过这种方式，可以完成夹紧阀的中等打开状态的调节。

在图9和10所示的状态，即中等打开状态下，当压缩空气以类似于第一个实施例中的操作方式从气口27受压供应到空间19中后，夹紧阀将到达完全打开状态。

接下来，在夹紧阀的完全打开状态下，如果停止从气口27向第一空间19中供应空气，而且空气被排向大气，则夹紧阀将被带到中等打开状态(图9和10中的状态)。此后，操作者首先只将锁紧螺母40旋转松开并与挡块39的上端面分离。之后，当操作者相对于调节中等打开程度的反向旋转挡块39时，可以将第一活塞37拉下，并将与第一活塞37相连的第一压块10拉下，以从上侧挤压管体1，最终管体1被完全关闭(图6和8中的状态)。此后，操作者反向旋转锁紧螺母40，以将其夹持锁紧在挡块39的上端面上。

在中等打开状态(图9和10中的状态)，与第一个实施例中的操作方式类似，当压缩空气从气口27供应而压充入空间19中时，夹紧阀会被带到完全打开状态。

在根据本实施例的夹紧阀中，由于具有上述结构，因此能够在管体的中等打开状态下使流体流过。所以，夹紧阀能够用作半导体制造设备的封闭环路管线中的背压阀，并且能够保持最低压力，而不会降低使用位置的压力。

由于具有上述结构，因此本发明能够获得下列优异的效果。

1.由于同传统夹紧阀相比夹紧阀的总体高度较小，而且夹紧阀的结构紧凑，因此不需要大的管线空间。所以，可以将其连接到预期具有复杂管线的半导体制造设备中，从而可以实现制造设备的紧凑化。

2.如果保护部分安装在管体上，则管体的耐用性可以提高，因此夹紧阀的使用寿命可以显著延长。

3.由于夹紧阀的打开程度可以调节，因此可以获得精确的流体流率。

Claims

1.一种夹紧阀，包括：一个阀体，其包含一个构成了流体流道的弹性管体；一个缸体，其在下端结合在阀体上部，并且具有位于其内侧上部的第一缸部和位于其内侧下部而且直径比第一缸部大的第二缸部；第一活塞，其可以在第一缸部的内周表面上上下滑动；以及第二活塞，其可以在第二缸部的内周表面上上下滑动；其特征在于，第一活塞上装有从其下表面中心悬挂下来的第一互锁杆，该第一互锁杆穿过第二活塞并在下端带有第一压块，第二活塞上装有从其下表面的两端悬挂下来的第二互锁杆，上述第二互锁杆分别穿过第一压块并在下端带有第二压块，一个导槽在与流道轴线交叉的位置上设置在阀体中，第二压块装配在所述导槽中，以使第二压块能够上下移动，第一和第二压块被布置得能够从上下两侧压紧弹性管体，一个用于推压第一压块的弹簧体布置在第二活塞与第一压块之间，一个开口部分设在缸体上，该开口部分与第一活塞的下端面、第二活塞的上端面和缸体内周表面所包围的一个空间部分连通。

2.如权利要求1所述的夹紧阀，其特征在于，一对连接部分连接在管体的两端。

3.如权利要求2所述的夹紧阀，其特征在于，用于容纳上述一对连接部分的一对切口部分沿着流道方向设在缸体的下端部分上。

4.如权利要求2所述的夹紧阀，其特征在于，阀体在流道轴线上设有一个用于容纳管体和连接部分的槽。

5.如权利要求3所述的夹紧阀，其特征在于，一个用于容纳管体和连接部分的槽在流道轴线上设置在阀体中。

6.如权利要求4所述的夹紧阀，其特征在于，第一压块在与流道轴线垂直交叉的方向上的尺寸大于导槽。

7.如权利要求1所述的夹紧阀，其特征在于，第一压块在相对于流道轴线对称的位置上设有被第二互锁杆穿过的第一通孔，第二活塞在其中央设有第二通孔，第一互锁杆可以以密封的方式在第二通孔中滑动。

8.如权利要求1所述的夹紧阀，其特征在于，缸体在其上表面上设有一个开口部分，第一活塞在其上部设有一个用于调节管体打开程度的阳螺纹部分，上述阳螺纹部分穿过缸体的开口部分，并且整体式从第一活塞上伸出，一个以其下表面压紧或离开缸体上端面的挡块和一个压紧在挡块上端面上的锁紧螺母可旋转地拧紧在阳螺纹部分上，以调节打开程度。

9.如权利要求1至8中任一所述的夹紧阀，其特征在于，管体在其外周表面上设有一个保护部分。

10.如权利要求1至8中任一所述的夹紧阀，其特征在于，管体的材料是三元乙丙橡胶、氟橡胶、硅橡胶或者这些材料的复合物。

11.如权利要求9所述的夹紧阀，其特征在于，管体的材料是三元乙丙橡胶、氟橡胶、硅橡胶或者这些材料的复合物。

12.如权利要求1至8中任一所述的夹紧阀，其特征在于，管体由聚四氟乙烯和橡胶弹性体的复合物制成。

13.如权利要求9所述的夹紧阀，其特征在于，管体由聚四氟乙烯和橡胶弹性体的复合物制成。