JP2003014155A - 可変流量バルブ - Google Patents
可変流量バルブInfo
- Publication number
- JP2003014155A JP2003014155A JP2001194041A JP2001194041A JP2003014155A JP 2003014155 A JP2003014155 A JP 2003014155A JP 2001194041 A JP2001194041 A JP 2001194041A JP 2001194041 A JP2001194041 A JP 2001194041A JP 2003014155 A JP2003014155 A JP 2003014155A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- stopper
- opening
- handle
- variable flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
できて装置全体のコンパクト化、組立て作業能率の向上
等を図ることができ、また、構成を簡素化することがで
きてコストの低下を図ることができる。 【解決手段】 可変流量バルブは、流路2、3を有する
バルブ本体1と、流路2、3を開閉する弁体7と、弁体
7を作動させるアクチュエータ15とを備える。アクチ
ュエータ7は、弁体7を作動させるエアシリンダ16
と、圧縮ばね31と、ハンドル38の回転によりストッ
パ42の位置を調節し、エアシリンダ16による弁体7
の開閉リフトを調節する調節手段とを備える。
Description
するために用い、特に、半導体、液晶等の製造装置にお
ける排気系において、排気の流量を調節するために用い
るのに適する可変流量バルブに関する。
り、閉じたりする配管系では、手動の流量調節弁とエア
バルブを直列に配置し、エアバルブを開閉することによ
り一定流量の流体を流すようになっている。
来例のように二つのバルブを組み合わせて使用すると、
流路が長くなり、装置全体のコンパクト化に自ら制約を
受け、また、組立て作業に手間と時間を要し、組立て作
業能率に劣り、更にはコストアップとなる。
題を解決しようとするものであって、一つのバルブで流
体の流量を調節して流すことができ、したがって、流路
を短くすることができて装置全体のコンパクト化を図る
ことができ、組立て作業を簡単に、しかも、短時間で行
うことができて組立て作業能率を向上させることがで
き、また、部品点数が少なくて構成を簡素化することが
でき、したがって、コストの低下を図ることができるよ
うにした可変流量バルブを提供しようとするものであ
る。
に本発明の可変流量バルブは、流路を有するバルブ本体
と、前記流路を開閉する開閉素子と、この開閉素子をエ
アの供給、排出により作動させるエアシリンダ、ハンド
ルの回転によりストッパの位置を調節し、前記エアシリ
ンダによる前記開閉素子の開閉リフトを調節して流体の
流量を調節し得る調節手段を有するアクチュエータとを
備えたものである。
変流量バルブは、前記構成において、外部に加熱手段を
備えたものである。
前記ハンドルの中心部に設けるのが好ましく、この場
合、前記ストッパを円筒状に形成し、前記ハンドルの中
心部に一体的に設け、前記エアの供給口を前記ストッパ
の内側に取付けることができる。
部と前記エアシリンダのハウジング本体の外周部とに開
閉リフト調節用表示手段を備えることができる。
調節手段におけるハンドルの回転操作によりストッパの
位置を調節することにより、エアシリンダによる開閉素
子の開閉リフトを調節して流体の流量を調節することが
できる。このように、一つのバルブで流体の流量を調節
して流すことができる。また、調節手段の部品点数を少
なくして構成を簡素化することができる。
図面を参照しながら説明する。まず、本発明の第1の実
施形態について説明する。図1ないし図6は本発明の第
1の実施形態に係る可変流量バルブを示し、図1は外部
加熱手段を除去した状態の縦断面図、図2、図3は外部
加熱手段を除去した状態の平面図、正面図、図4、図
5、図6は外部加熱手段を取付けた状態の正面図、側面
図、底面図である。
量バルブは、ノーマルクローズタイプの適用例であっ
て、バルブ本体1の一側に第1の流路2が形成され、バ
ルブ本体1の他側に第2の流路3が形成され、第1の流
路2は垂直方向に形成された弁座4の穴5と連続して形
成され、第1の流路2と第2の流路3は、穴5および弁
室6により連通されている。
られている。この弁体7は、本実施形態においては、弁
棒8と一体的に設けられ、本体部9の前面側の外周縁部
に保持部10が一体的に設けられ、本体部9の中央部の
ねじ穴11には前面側から皿状のねじ12が螺入され、
保持部10とねじ12の頭部との間に奥側から前面開放
側に至るに従い、次第に幅狭となる環状溝13が形成さ
れ、環状溝13にシールリング(Oリング)14がその
外周頂部を突出させた状態で離脱防止されるように保持
されている。そして、シールリング14が弁座4に当接
されるようになっている。
エータ15にはエアシリンダ16が用いられる。このエ
アシリンダ16のハウジングの底部を兼用するボンネッ
ト17の先端側筒状部18の内周がバルブ本体1におけ
る筒状部19の外周に螺着されている。筒状部19の開
放側内周の段部とボンネット17との間にはリング状の
ベローズ受け20の外周部がガスケット21を介して挟
持され、弁棒8がベローズ受け20の中央部の穴に挿通
されている。弁体7の本体部9とベローズ受け20には
弁棒8の外周部に設けられたベローズ22の両端部が固
定され、ベローズ22は弁棒8および弁体7の移動に伴
って伸縮されるようになっている。
リンダ16における頂部を有するハウジング本体23の
先端部内周が螺着されるとともに、ボンネット17の外
周の環状溝に収められたシールリング(Oリング)24
がハウジング本体23の先端部内周面に圧接されて両者
間がシールされている。ハウジング本体23の内側には
ピストン25およびこのピストン25と一体の軸部2
6、27が軸心方向に沿って移動可能に支持されるとと
もに、ピストン25および軸部26の外周の環状溝に収
められたシールリング(Oリング)28および29がハ
ウジング本体23およびボンネット17の内周面に圧接
されて両者間がシールされている。軸部26の中心部に
はねじ穴30が形成され、ねじ穴30に弁棒8の基部側
のねじ部が螺着されている。
内面との間には軸部27の外周部において圧縮ばね31
が介在され、この圧縮ばね31の弾性によりピストン2
5および軸部26、27が先方へ付勢されている。これ
に伴って、弁棒8および弁体7が前進(下降)され、弁
体7のシールリング14が弁座4に圧接されて穴5が閉
じられ、流路2、3間が閉じられている。軸部27には
その基端部から軸心方向に沿ってエア供給穴32が形成
され、ピストン25にはピストン25とボンネット17
との間の室33とエア供給穴32とを連通するエア供給
穴34が形成されている。ハウジング本体23にはその
頂部とピストン25のとの間の室35を大気に開放する
エア抜き穴36が形成されている。
縮エアが室33に供給されることにより、ピストン25
および軸部26、27が圧縮ばね31の弾性に抗して後
退される。これに伴って、弁棒8および弁体7がベロー
ズ22を縮めて後退(上昇)され、弁体7のシールリン
グ14が弁座4から離隔されて穴5が開放され、流路
2、3が連通される(開かれる)ようになっている。こ
れとは逆に、室33内のエアがエア供給穴34、32を
介して排出されることにより、前記のようにピストン2
5、軸部26、27、弁棒8および弁体7が圧縮ばね3
1の反撥力により前進(下降)され、弁体7のシールリ
ング14が弁座4に圧接されて穴5が閉じられ、流路
2、3間が閉じられるようになっている。
じ部37が形成され、このねじ部37にキャップ状のハ
ンドル38の先端内周面に形成されたねじ部39が螺合
され、ハンドル38が回転されることによりハウジング
本体23に対してねじ部39、37を介して進退される
ようになっている。ハウジング本体23の頂部の中心部
に形成された穴40に筒状のストッパ42が回転可能
に、かつ摺動可能に挿通され、ハンドル38の中心部に
形成された穴41には筒状のストッパ42の基部が嵌合
されている。ハンドル38にはその半径方向において穴
41と外方とに開放されるねじ穴43が1箇所、若しく
は複数箇所に形成され、ねじ穴43に止めねじ44が螺
入され、その先端部がストッパ42の基部外周に形成さ
れた凹入部45に係合され、ストッパ42がハンドル3
8と一体化されている。ストッパ42の先端部は軸部2
7の小径部外周に回転可能に、かつ摺動可能に嵌合さ
れ、軸部27の外周の環状溝に収められたシールリング
(Oリング)46がストッパ42の内周面に圧接され、
両者間がシールされている。
はスラストワッシャ47が設けられ、このスラストワッ
シャ47がストッパ42の先端面と対向されている。そ
して、前記のようにピストン25、軸部26、27、弁
棒8および弁体7が後退し、穴5を開放して流路2、3
を連通させる際、スラストワッシャ47がストッパ42
に当接して後退規制される。したがって、スラストワッ
シャ47とストッパ42との間隔Aが弁体7の開閉リフ
トとなる。ハンドル38の外周部には軸心と平行方向に
ねじ穴48が貫通するように形成され、ねじ穴48に止
めねじ49が螺入されている。そして、止めねじ49が
ハウジング本体23の頂面に圧接されることにより、ハ
ウジング本体23のねじ部37とハンドル38のねじ部
39とを圧接させて両者を固定状態に保持することがで
きる。
形成され、このねじ部50にエア供給口となる継手51
が接続され、継手51にはエア供給パイプ(図示省略)
の一端が接続され、エア供給パイプの他端は圧縮エア供
給源と大気とに切換えられるようになっている。ハンド
ル38の外周面とハウジング本体23の外周面とに弁体
リフトを調節するための表示手段が設けられている。そ
の一例として、ハンドル38の外周面に基準表示52が
設けられ、ハウジング本体23の頂部側外周面に目盛表
示53が設けられている。そして、基準表示52がいず
れの目盛表示53に対応するかによって間隔Aの調節量
を知ることができる。
には加熱手段、例えば、ジャケットヒータ54が設けら
れ、ジャケットヒータ54はコード55およびコネクタ
56により電源(図示省略)に接続されるようになって
いる。
いて説明する。今、図1に示すように、弁体7のシール
リング14が弁座4に圧接され、流路2、3間が遮断さ
れているとする。この状態で圧縮エア供給源から圧縮エ
アをエア供給パイプ、継手51、ストッパ42、エア供
給穴32、34を介してエアシリンダ16の室33に供
給する。これに伴って、ピストン25、軸部26、2
7、弁棒8および弁体7を圧縮ばね31の弾性に抗して
後退(上昇)させ、弁体7のシールリング14を弁座4
から離隔させることにより、穴5を開放し、流路2、3
を穴5を介して連通させることができる。したがって、
流路2、穴5、流路3により流体、例えば、排ガスを流
すことができる。このとき、ピストン25側のスラスト
ワッシャ47がストッパ42の先端面に当接することに
より、ピストン25、軸部26、27、弁棒8および弁
体7の後退が規制され、これに伴って、流路2、穴5、
流路3を流れる排ガスの量が決められる。
放することにより、エアシリンダ16の室33内のエア
をエア供給穴34、32、ストッパ42、継手51、エ
ア供給パイプを介して大気中へ放出することができるの
で、圧縮ばね31の反撥力によりピストン25、軸部2
6、27、弁棒8および弁体7を前進(下降)させて弁
体7のシールリング14を弁座4に圧接させ、穴5、す
なわち、流路2、3を遮断して排ガスの流れを遮断する
ことができる。
1、アクチュエータ15を加熱することにより、排ガス
中に含まれる副生成物が弁体7、ベローズ22等に付着
するのを防止することができる。したがって、弁体7、
ベローズ22等を円滑に作動させることができ、しか
も、メンテナンス費を低減させることができる。
をハウジング本体23に対する固定状態から解放し、ハ
ンドル38およびストッパ42を一体的に回転させ、ね
じ部39、37を介してハンドル38およびストッパ4
2を回転させながら前進させ、若しくは後退させ、スト
ッパ42の位置、すなわち、ストッパ42の先端面とス
ラストワッシャ47との間隔Aを所望量に調節する。こ
れにより、弁体7のリフト量を調節して流路2、穴5、
流路3を流れる排ガスの量を調節することができる。こ
のとき、基準表示52と目盛表示53とにより簡単に調
節することができる。調節後、止めねじ49を締めてそ
の先端をシリンダ本体23の頂面に押圧することによ
り、ハンドル8をハウジング本体23に対して固定状態
に保持することができ、前記と同様にして弁体7の開閉
動作を行うことができる。
部にストッパ42およびエア供給口である継手51を配
置しているので、前記のように外部から加熱するジャケ
ットヒータ54をアクチュエータ15部まで加熱するよ
うに設けても、リフト調節作業に支障を来たすことがな
く、ジャケットヒータ54を容易に取付けることがで
き、ジャケットヒータ54を設けない場合においても、
エア供給パイプをエアシリンダの側方から導く場合のよ
うに周側に突出する部分がないので、調節作業を容易に
行うことができる。また、ハンドル38とストッパ42
を用いるので、部品点数が少なく、構成の簡素化を図る
ことができる。更に、大きいハンドル38と基準表示5
2、目盛表示53等からなる表示手段によりリフト調節
を容易に行うことができる。
明する。図7は本発明の第2の実施形態に係る可変流量
バルブを示し、外部加熱手段を除去した状態の縦断面図
である。
は、ノーマルオープンタイプの適用例であって、基本的
な構成については上記第1の実施形態に係るノーマルク
ローズタイプの可変流量バルブと同様であるので、以
下、主として構成を異にする部分について説明し、同じ
部分には同じ符号を付してその説明を省略する。
の室33においてピストン25とボンネット17との間
に圧縮ばね57が介在され、この圧縮ばね57の弾性に
よりピストン25、軸部26、弁棒8および弁体7が後
方(上方)へ付勢され、弁体7のシールリング14が弁
座4から離隔されて穴5が開放され、穴5を介して流路
2、3が連通され、排ガスが流れるようになっている。
一方、ストッパ42の内側から室35側へ圧縮エアを供
給し得るように、上記第1の実施形態におけるストッパ
42と軸部27との嵌合関係は廃止され、ストッパ42
の先端部に軸心と直角方向でストッパ42内と室35と
を連通するエア供給穴58が形成され、ストッパ42の
中間部外周面の環状溝にシールリング(Oリング)59
が収められ、このシールリング59がハウジング本体2
3の穴40の周面に圧接され、両者間がシール状態で回
転可能に、かつ摺動可能に保持されている。また、ハウ
ジング本体23の中間部に室33を大気に開放するため
のエア抜き穴60が形成されている。
ア供給パイプ、継手51(図4、図5参照)、ストッパ
42、エア供給穴58を介して室35に供給されること
により、ピストン25、軸部26、弁棒8および弁体7
が圧縮ばね57の弾性に抗して前進(下降)され、弁体
7のシールリング14が弁座4に圧接され、穴5、すな
わち、流路2、3が遮断されるようになっている。
てスラストワッシャ62が設けられ、前記のように圧縮
ばね57の弾性により弁体7が後退され、流路2、3が
開放された状態で、スラストワッシャ62がストッパ4
2の先端面に当接され、圧縮ばね57の弾性により弁体
7が前進され、流路2、3が遮断された状態でスラスト
ワッシャ62がストッパ42の先端面から離隔され、そ
の間隔により弁体リフト、すなわち、流体の流量が規定
されるようになっている。そして、弁体リフト、すなわ
ち、流体の流量は、前記第1の実施形態と同様に、ハン
ドル38およびストッパ42を一体的に回転させて前進
させ、若しくは後退させてストッパ42の位置を調節す
ることにより調節することができる。
ズバルブに適用した例について説明したが、ダイヤフラ
ムを開閉素子として用いるダイヤフラムバルブに適用す
ることができる。また、ストッパ42、エア供給口を任
意の箇所に設けることもできる。更に、外部加熱手段は
設けなくてもよい。このほか、本発明は、その基本的技
術思想を逸脱しない範囲で種々設計変更することができ
る。
節手段におけるハンドルの回転操作によりストッパの位
置を調節することにより、エアシリンダによる開閉素子
の開閉リフトを調節して流体の流量を調節することがで
きる。このように、一つのバルブで流体の流量を調節し
て流すことができ、したがって、流路を短くすることが
できて装置全体のコンパクト化を図ることができ、組立
て作業を簡単に、しかも、短時間で行うことができて組
立て作業能率を向上させることができる。また、調節手
段の部品点数を少なくして構成を簡素化することがで
き、したがって、コストの低下を図ることができる。
を示し、外部加熱手段を除去した状態の縦断面図であ
る。
した状態の平面図である。
した状態の正面図である。
けた状態の正面図である。
けた状態の側面図である。
けた状態の底面図である。
を示し、外部加熱手段を除去した状態の縦断面図であ
る。
Claims (5)
- 【請求項1】 流路を有するバルブ本体と、前記流路を
開閉する開閉素子と、この開閉素子をエアの供給、排出
により作動させるエアシリンダ、ハンドルの回転により
ストッパの位置を調節し、前記エアシリンダによる前記
開閉素子の開閉リフトを調節して流体の流量を調節し得
る調節手段を有するアクチュエータとを備えた可変流量
バルブ。 - 【請求項2】 外部に加熱手段を備えた請求項1記載の
可変流量バルブ。 - 【請求項3】 エアの供給口がハンドルの中心部に設け
られた請求項1または2記載の可変流量バルブ。 - 【請求項4】 ストッパが円筒状に形成されてハンドル
の中心部に一体的に設けられ、エアの供給口が前記スト
ッパの内側に取付けられた請求項3記載の可変流量バル
ブ。 - 【請求項5】 調節手段が、ハンドル外周部とエアシリ
ンダのハウジング本体の外周部とに開閉リフト調節用表
示手段を備えた請求項1ないし4のいずれかに記載の可
変流量バルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001194041A JP3553526B2 (ja) | 2001-06-27 | 2001-06-27 | 可変流量バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001194041A JP3553526B2 (ja) | 2001-06-27 | 2001-06-27 | 可変流量バルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003014155A true JP2003014155A (ja) | 2003-01-15 |
JP3553526B2 JP3553526B2 (ja) | 2004-08-11 |
Family
ID=19032228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001194041A Expired - Fee Related JP3553526B2 (ja) | 2001-06-27 | 2001-06-27 | 可変流量バルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3553526B2 (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10336065A1 (de) * | 2003-08-06 | 2005-03-03 | Bürkert Werke GmbH & Co. KG | Pneumatischer Ventilantrieb |
JP2006519971A (ja) * | 2003-03-07 | 2006-08-31 | スワゲロック カンパニー | 調節ストップをもつバルブ |
JP2007532298A (ja) * | 2004-04-08 | 2007-11-15 | ノードソン コーポレーション | 液体吐出バルブ、改良ストローク長較正方法、及び流体取付具 |
JP2009030812A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-02-12 | Sintokogio Ltd | 排ガス浄化設備におけるシリンダのピストンロッド部の加熱方法およびその装置 |
JP2012087936A (ja) * | 2005-10-05 | 2012-05-10 | Goyen Controls Co Pty Ltd | 高圧空気パルスを制御するための弁 |
WO2013181959A1 (zh) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | 宁波亚德客自动化工业有限公司 | 气控两通阀 |
CN104696569A (zh) * | 2013-12-05 | 2015-06-10 | Ckd株式会社 | 流路块和流体供给控制装置 |
JP2015108421A (ja) * | 2013-12-05 | 2015-06-11 | Ckd株式会社 | 流体制御弁 |
KR20160128392A (ko) | 2015-02-27 | 2016-11-07 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어기 |
KR20170009970A (ko) | 2014-12-25 | 2017-01-25 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어기 |
JP2017198309A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 旭有機材株式会社 | エアアクチュエータ |
JP2020122496A (ja) * | 2019-01-29 | 2020-08-13 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
KR20210126724A (ko) | 2019-02-19 | 2021-10-20 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브 |
US11713819B2 (en) | 2019-09-27 | 2023-08-01 | Fujikin Incorporated | Valve device |
-
2001
- 2001-06-27 JP JP2001194041A patent/JP3553526B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006519971A (ja) * | 2003-03-07 | 2006-08-31 | スワゲロック カンパニー | 調節ストップをもつバルブ |
DE10336065A1 (de) * | 2003-08-06 | 2005-03-03 | Bürkert Werke GmbH & Co. KG | Pneumatischer Ventilantrieb |
JP2007532298A (ja) * | 2004-04-08 | 2007-11-15 | ノードソン コーポレーション | 液体吐出バルブ、改良ストローク長較正方法、及び流体取付具 |
JP4891896B2 (ja) * | 2004-04-08 | 2012-03-07 | ノードソン コーポレーション | 液体吐出バルブ、改良ストローク長較正方法、及び流体取付具 |
JP2012087936A (ja) * | 2005-10-05 | 2012-05-10 | Goyen Controls Co Pty Ltd | 高圧空気パルスを制御するための弁 |
JP2009030812A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-02-12 | Sintokogio Ltd | 排ガス浄化設備におけるシリンダのピストンロッド部の加熱方法およびその装置 |
WO2013181959A1 (zh) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | 宁波亚德客自动化工业有限公司 | 气控两通阀 |
TWI650499B (zh) * | 2013-12-05 | 2019-02-11 | Ckd股份有限公司 | 流路方塊及流體供給控制裝置 |
CN104696569B (zh) * | 2013-12-05 | 2018-05-25 | Ckd株式会社 | 流路块和流体供给控制装置 |
JP2015108421A (ja) * | 2013-12-05 | 2015-06-11 | Ckd株式会社 | 流体制御弁 |
CN104696569A (zh) * | 2013-12-05 | 2015-06-10 | Ckd株式会社 | 流路块和流体供给控制装置 |
CN104696299A (zh) * | 2013-12-05 | 2015-06-10 | Ckd株式会社 | 配管接头、流体供给控制装置以及配管连接结构 |
US10060537B2 (en) | 2014-12-25 | 2018-08-28 | Fujikin Incorporated | Fluid controller |
KR20170009970A (ko) | 2014-12-25 | 2017-01-25 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어기 |
KR20160128392A (ko) | 2015-02-27 | 2016-11-07 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어기 |
US10371271B2 (en) | 2015-02-27 | 2019-08-06 | Fujikin Incorporated | Fluid controller with diaphragm |
JP2017198309A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 旭有機材株式会社 | エアアクチュエータ |
JP2020122496A (ja) * | 2019-01-29 | 2020-08-13 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
JP7201150B2 (ja) | 2019-01-29 | 2023-01-10 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
KR20210126724A (ko) | 2019-02-19 | 2021-10-20 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브 |
US11713819B2 (en) | 2019-09-27 | 2023-08-01 | Fujikin Incorporated | Valve device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3553526B2 (ja) | 2004-08-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2003014155A (ja) | 可変流量バルブ | |
US5169296A (en) | Air driven double diaphragm pump | |
JP5296055B2 (ja) | モジュール式の調節器アセンブリ | |
JP2007058352A5 (ja) | ||
RU2586798C2 (ru) | Объемный бустер с дискретным регулированием мощности | |
US6216721B1 (en) | Axial control valve | |
JP2006329367A (ja) | 真空バルブ | |
JP4421480B2 (ja) | 振り子型弁アッセンブリ用シールリング | |
US7163025B2 (en) | Vacuum regulating valve | |
JP2000352468A (ja) | 自動弁 | |
US20180094740A1 (en) | Mounting structure of solenoid valve for operation, and fluid control valve | |
US7140179B2 (en) | Valve | |
US6691980B2 (en) | Balanced valve with actuator | |
JP4108596B2 (ja) | 手動操作機構部付き複合自動弁 | |
JP2005512222A (ja) | 空気圧レギュレータ組立体 | |
RU2586421C2 (ru) | Объемный бустер с переменной асимметрией | |
WO2009122762A1 (ja) | 三方弁 | |
JP2005316988A (ja) | 圧力制御弁及び複数の出力口を備えた圧力制御弁ユニット | |
JP2005316988A5 (ja) | ||
TWI678488B (zh) | 流路單元及切換閥 | |
US20020030171A1 (en) | Opening/closing valve | |
JP2000035142A (ja) | 空気圧カ―トリッジ弁 | |
JP2002195443A (ja) | 流体制御弁 | |
JP4173215B2 (ja) | ガス供給制御装置用複合化弁 | |
JP2001289337A (ja) | 多方弁 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20031224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040113 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040310 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040427 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040428 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3553526 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090514 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100514 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110514 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140514 Year of fee payment: 10 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |