CN104696569A - 流路块和流体供给控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为，在内部形成有流体的流路，在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外，流路块的结构为，将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置，以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于，流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下，该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。

Description

流路块和流体供给控制装置

技术领域

本发明涉及具有通过流体的流路互相连接的多个流体控制器件(例如，流体控制阀或流量控制器等)的流体供给控制装置。而且，本发明涉及用于构成该流体供给控制装置的流路块，更详细地，涉及结构为通过在预定的排列方向上将多个上述流体控制器件排列并安装从而能够形成上述流体供给控制装置的流路块。

背景技术

这种流体供给控制装置例如可以作为半导体制造工序中的气体供给装置使用。具体地，例如，在下述专利文献1中公开的气体供给单元中，在内部形成有气体流路的流路块上通过螺栓固定有多个流体控制器件。此外，这些多个流体控制器件沿流路块的长度方向呈一列地配置。

而用于半导体制造工序的上述气体供给装置有时被构成为供给多种气体。在此情况下，并排地配置多个上述气体供给单元(例如，参照下述专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利申请公报“特开2001-227657”

专利文献2：日本专利申请公报“特开2006-46494”

发明内容

发明所要解决的技术问题

要求这种流体供给控制装置(特别是如上所述的半导体制造工序中所使用的气体供给装置)保持良好的可维护性(maintainability)，并且使这种装置进一步小型化或集成化。本发明是鉴于上述例示的事项等做出的。

解决问题所采用的手段

本发明的流体供给控制装置具有在规定方向上排列的多个流体控制器件和能够将这些流体控制器件安装的流路块。本发明的所述流路块的内部形成有流体的流路。此外，所述流路块的结构为在所述排列方向上排列多个所述流体控制器件并能够进行安装。即，所述流路块的结构为，通过在将多个所述流体控制器件在所述排列方向上排列的状态下安装多个所述流体控制器件，从而能够形成具有多个所述流体控制器件的流体供给控制装置，所述流体控制器件通过所述流路互相连接。

这里，所述流路块相对于在所述排列方向上排列的多个所述流体控制器件的组不可分离地形成为一个整体。作为所述流路，形成有第一流路和第二流路。所述第一流路沿所述排列方向设置以使得构成所述组的多个所述流体控制器件(它们排列在所述排列方向上)互相连接。所述第二流路沿与所述排列方向正交的宽度方向设置。

本发明的所述流体供给控制装置和所述流路块中的第一结构的特征在于，所述流路块具有连接部。在将两个所述流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下，该连接部能够将两个所述流路块的所述第二流路互相连接。

在该第一结构中，所述流路块上安装有具有在所述排列方向上排列的多个所述流体控制器件(它们通过所述第一流路连接为能够授受所述流体)的所述组。于是，构成所述组的各个所述流体控制器件经由所述第一流路和所述第二流路能够授受所述流体。

这里，在该第一结构中，在将安装有多个所述流体控制器件的所述组中的至少一个的一个所述流路块和相同的另一个所述流路块在所述宽度方向上并列地邻接配置的状态下，两个流路块通过所述连接部互相连接。由此，两者的所述流路之间以能够授受所述流体的方式连接。

如此地，根据该第一结构，通过将多个所述流路块并列地邻接配置，并由所述连接部连接两个所述流路块的所述第二流路之间，能够很好地满足伴随所述流体种类的增加而需要并列地设置多个所述组的要求。因此，根据上述结构，可以使所述流体控制装置保持良好的维护性，同时可以良好地进行小型化或集成化。

在本发明的第二结构中，所述流路块被形成为在与所述排列方向正交的宽度方向上排列多个所述组并能够进行安装，并且相对于各个所述组不可分离地形成为一个整体。而且，所述第二流路被设置为将各个所述组互相连接。

在该第二结构中，具有在所述排列方向上排列的多个所述流体控制器件(它们通过所述第一流路被连接为能够授受所述流体)的所述组在所述宽度方向上排列有多个的状态下，被安装在所述流路块上。于是，多个所述组通过设置在所述流路块内部的所述第二流路以能够授受所述流体的方式连接。

这里，在该第二结构中，安装有多个所述组的一个所述流路块和安装有其他多个所述组的另一个所述流路块在宽度方向上并列地邻接配置的状态下，通过所述连接部互相连接。由此，两个流路块的所述第二流路之间以能够授受所述流体的方式连接。

如此地，根据上述第二结构，通过将多个所述流路块并列地邻接配置，并由所述连接部连接两者的所述第二流路之间，能够很好地满足随着所述流体种类的增加，而需要并列地设置多个所述组的要求。因此，根据该结构，可以使所述流体控制装置保持良好的维护性，同时可以良好地进行小型化或集成化。此外，根据上述结构，降低制造所述气体供给控制装置时的处理难度，并且减少部件数量。

在本发明的第三结构中，所述连接部具有第一连接片和第二连接片。所述第一连接片在厚度方向(与所述宽度方向和所述排列方向正交的方向)上的一侧从所述宽度方向的一个端部向所述宽度方向(即，朝向外侧)突出设置。所述第二连接片在所述厚度方向上的另一侧从所述宽度方向的另一个端部向所述宽度方向(即，朝向外侧)突出设置。具体地，在沿着所述排列方向观看的情况下，所述第一连接片和所述第二连接片被设置在对角位置上。

此外，在本发明的第三结构中，所述第一连接片上形成有第一连接开口部。该第一连接开口部被设置成在所述厚度方向的所述另一侧开口，并且与所述第二流路连接。而且，所述第二连接片上形成有第二连接开口部。该第二连接开口部被设置成在所述厚度方向的所述另一侧开口，并且与所述第二流路连接。而且，所述连接部的结构为，通过使所述第一连接片和所述第二连接片在所述厚度方向重合以使得所述第一连接开口部和所述第二连接开口部彼此相对，从而使所述第一连接片和所述第二连接片各自的所述第二流路互相连接。

根据该第三结构，安装有多个所述组的一个所述流路块和安装有其他多个所述组的另一个所述流路块以一侧上的所述第一连接片(所述第一连接开口部)和另一侧上的所述第二连接片(所述第二连接开口部)彼此相对的方式在所述宽度方向上并列地相邻配置(接合)。由此，两个流路块的所述第二流路互相连接。因此，根据该结构，在伴随所述流体种类的增加而并列地设置多个所述组的情况下，可以尽可能地抑制所述气体供给装置整体的配管长度。

在本发明的第四结构中，所述第一连接片和所述第二连接片被形成为使所述第一连接开口部和所述第二连接开口部在所述排列方向上处于相同位置。根据该结构，在伴随所述流体种类的增加而并列地设置多个所述组的情况下，可以尽可能地抑制所述气体供给装置整体的所述排列方向的尺寸。

在本发明的第五结构中，所述连接部具有第一连接片和第二连接片。所述第一连接片从所述宽度方向上的一个端部向该所述宽度方向突出设置。所述第二连接片从所述宽度方向上的另一个端部向该所述宽度方向突出设置。

此外，在本发明的第五结构中，在所述第一连接片上形成有第一连接开口部。所述第一连接开口部被设置成在上侧表面(安装有所述流路块的所述流体控制器件的一个表面)侧开口，并且与所述第二流路连接。而且，所述第二连接片上形成有第二连接开口部。所述第二连接开口部被设置成在所述上侧表面侧开口，并且与所述第二流路连接。而且，所述连接部的结构为，在将所述第一连接片和所述第二连接片在所述排列方向上相邻配置的状态下，通过以跨越所述第一连接片和所述第二连接片的方式安装旁路配管(用于相互连接所述第一连接开口部和所述第二连接开口部的配管)，使相邻配置的两个所述流路块中的各自的所述第二流路互相连接。

根据该第五结构，在将一侧的所述第一连接片和另一侧的所述第二连接片在所述排列方向上邻接配置的状态下，在所述宽度方向上并列地邻接配置安装有多个所述组的一个所述流路块和安装有其他多个所述组的另一个所述流路块。而且，形成在所述第一连接片上的所述第一连接开口部和形成在所述第二连接片上的所述第二连接开口部通过所述旁路配管连接。由此，邻接配置的两个所述流路块中的所述第二流路互相连接。因此，根据该结构，在伴随所述流体种类的增加而并列地设置多个所述组的情况下，可以尽可能地抑制所述气体供给装置整体的所述宽度方向的尺寸。

在本发明的第六结构中，对应多个所述流体控制器件中的每一个流体控制器件分别设置有一对内螺纹部。一对所述内螺纹部被形成为使多个所述流体控制器件中的每一个流体控制器件相对于所述流路块以能够任意拆装的方式安装。而且，沿所述排列方向呈大体直线状配置所述第一流路和所述内螺纹部。

根据该第六结构，多个所述流体控制器件分别通过一对所述内螺纹部，以能够任意拆装的方式安装(固定)在所述流路块上。此外，通过将在所述排列方向上相邻的所述流体控制器件安装到所述流路块上，使得所述流体控制器件经由所述第一流路连接。

这里，在所述流路块中，沿所述排列方向呈大体直线状设置一对所述内螺纹部和所述第一流路。因此，根据上述结构可以良好地消除以下问题，即，由于需要将用于以能够任意拆装的方式安装所述流体控制器件的所述内螺纹部设置成大于所述流体控制器件的宽度，因此导致所述流体控制器件和所述流路块的宽度变大而导致所述流体供给控制装置的宽度变大。

因此，根据上述结构，可以使所述流体控制器件对于所述流路块以能够任意拆装的方式安装，并且可以尽可能地减小所述流体供给控制装置的宽度。因此，根据该结构，可以使所述流体控制装置保持良好的维护性，同时可以实现所述流路块和具有所述流路块的所述流体供给控制装置的进一步小型化或集成化。

在本发明的第七结构中，多个所述流体控制器件被集中并安装在所述流路块的一个表面，也就是上侧表面侧。此外，所述内螺纹部被形成为在所述上侧表面上开口的非贯通孔。而且，所述第一流路被形成为在所述非贯通孔的深度方向上绕过所述内螺纹部。因此，根据该结构，可以尽可能地减小所述流路块和所述流体供给控制装置的宽度，由此，可以良好地满足所述流路块和具有所述流路块的所述流体供给控制装置的进一步小型化或集成化的要求。

上述流体控制阀具有如下结构。

(1)在利用操作流体的压力滑动活塞以使阀体与阀座抵接或分离的流体控制阀中，其特征在于，共轴地具有第一活塞和第二活塞，在所述第一活塞中共轴地安装有向使所述阀体与所述阀座抵接的方向施力的一个第一压缩弹簧，以及在所述第二活塞中共轴地安装有向使所述阀体与所述阀座抵接的方向施力的一个第二压缩弹簧。

(2)在(1)中记载的流体控制阀中，优选地，所述第一活塞和所述第二活塞的形状相同，以及所述第一压缩弹簧和所述第二压缩弹簧的形状相同。

(3)在(1)或(2)中记载的流体控制阀中，优选地，所述第一压缩弹簧产生的施加力和所述第二压缩弹簧产生的施加力的总和是使所述阀体抵接所述阀座的力。

(4)在(1)至(3)的任一项中记载的流体控制阀中，优选地，在形成有所述阀座的主体的上部固定有支持部，在所述阀体和所述支持部之间配置有波纹管。

(5)在(1)至(4)的任一项中记载的流体控制阀中，优选地，在形成有所述阀座的主体的上部通过焊接固定有支持部。

(6)在(5)中记载的流体控制阀中，优选地，具有所述活塞的驱动器部相对于所述支持部能够拆装。

(7)在(1)至(6)的任一项中记载的流体控制阀中，优选地，具有管形的外部部件。

(8)在(7)中记载的流体控制阀中，优选地，在盖部的顶面具有直插式管接头，所述盖部被安装在所述外部部件的前端。

上述流体控制阀具有如下的作用·效果。

如果根据上述(1)的方式，则由于第一活塞中和第二活塞中分别共轴并以直列方式安装有第一压缩弹簧和第二压缩弹簧，因此能够减小一个流体控制阀的宽度，实现小型化。因此，能够减少整体的设置面积。

这里，近年来，在半导体制造装置中，为了进行多种气体的切换，应该设置的阀的数量增加，因此整体的设置面积减少成为课题。如果使用本发明的流体控制阀，不仅是2个活塞(第一活塞、第二活塞)，为了提高用于关闭阀的密封力，例如即使堆积6个活塞，也只增加驱动器部的高度。即，在提高密封力的同时，保持流体控制阀自身的宽度细，设置面积不变。因此，无论活塞的数量是多少，都能够实现流体控制阀的小型化，并能够减少整体的设置面积。另外，无论活塞的数量是多少，仅仅根据阀体的材质和形状以及必要的Cv值等组合任意数量的活塞，就能够容易地设定用于关闭阀所需的密封力。而且，即使任意一个压缩弹簧劣化，通过其他压缩弹簧的施加力，也不会产生阀体失去平衡的倾向，能够对阀座确保均匀的密封力。

如果根据上述(2)的方式，则在多个活塞与压缩弹簧组合时，由于各自分别是相同的形状，因此能够使部件通用化。因此，无需另外准备其他形状的活塞、压缩弹簧。另外，在使用模锻制造部件的情况下，能够削减制造成本。而且，通过使部件通用化，在组装时，能够提高操作的效率。

如果根据上述(3)的方式，则第一压缩弹簧和第二压缩弹簧的各个施加力的总和是用于关闭流体控制阀的密封力，因此能够分别降低各个压缩弹簧的弹簧应力。因此，能够提高压缩弹簧的耐久性。另外，压缩弹簧的设计自由度提高，设计·制造变得容易。而且，即使公差有偏差，也能够确保关闭阀所需要的密封力。

如果根据上述(4)的方式，则由于阀体和支持部之间设置有波纹管，因此与隔膜阀体相比，能够以更小的内径获得长冲程。

如果根据上述(5)的方式，则由于通过焊接固定并密封主体和支持部，因此在组装和维护时，能够易于卸下驱动器部，从而提高操作的效率。另外，由于主体和支持部被密封，因此控制气体不会泄露，能够提高安全性。

如果根据上述(6)的方式，则由于驱动器部能够相对于支持部拆装，因此在组装和维护时，能够简单地更换驱动器部，从而提高操作的效率。

如果根据上述(7)的方式，则由于外部部件是管形，因此能够易于组装。

如果根据上述(8)的方式，则由于在盖部的顶面配置直插式管接头，能够在顶面与空气管连接，因此能够防止设置面积的增加，上述盖部被安装在上述外部部件的前端。

附图说明

图1是示出本发明的流体供给控制装置的一个实施方式，即气体供给装置中的、流体的流通路径的概要结构的流程图。

图2是示出图1所示的气体供给装置的结构的一个例子的平面图。

图3是图2所示的气体供给装置(包括本发明的流路块的一个实施方式)的正视图。

图4是将图3所示的本发明的流路块的一个实施方式扩大后的正视图。

图5是图4所示的流路块的平面图。

图6是图5所示的流路块的侧面图。

图7是在图5中沿7-7截取的截面图。

图8是本发明的流路块的一个变形例的平面图。

图9是图8所示的流路块的正视图。

图10是图8所示的流路块的侧面图。

图11是示出本发明的流体供给控制装置的概要结构的平面图。

图12是图11所示的流体供给控制装置的正视图。

图13是图11所示的流体供给控制装置的仰视图。

图14是将图11所示的流路块扩大后的正视图。

图15是示出本发明的流体供给控制装置的概要结构的平面图。

图16是图15所示的流体供给控制装置的正视图。

图17是图15所示的流体供给控制装置的仰视图。

图18是将图15所示的流路块扩大后的正视图。

图19是示出本发明一个变形例的流体供给控制装置的概要结构的立体图。

图20是本发明其他变形例的流体供给控制装置的分解立体图。

图21是将图20所示的第一流路块扩大后的立体图。

图22是从图21所示的第一流路块的其他视角观看的立体图。

图23是示出本发明一个实施方式的配管接头的一个例子的平面图。

图24是图23所示的配管接头的侧面图。

图25是图23所示的配管接头的仰视图。

图26是示出本发明一个实施方式的配管接头的另一个例子的平面图。

图27是图26所示的配管接头的侧面图。

图28是图26所示的配管接头的仰视图。

图29是示出本发明一实施方式的配管接头构造的概要结构的侧面图，其中，该配管接头构造通过将图23至图25所示的配管接头和图26至图28所示的配管接头连结而形成。

图30是示出本发明一实施方式的配管接头构造的概要结构的平面图，其中，该配管接头构造通过将图23至图25所示的配管接头和图26至图28所示的配管接头连结而形成。

图31是示出作为比较例的、现有技术的配管接头的结构的平面图。

图32是示出本发明的一实施方式的流体供给控制装置的结构的一个例子的平面图。

图33是图32所示的流体供给控制装置的侧面图。

图34是将图33所示的流路块扩大后的侧面图。

图35是示出本发明的流体供给控制装置的结构的另一个例子的侧面图。

图36是示出本发明的配管接头的一个变形例的结构的平面图。

图37是图36所示的配管接头的侧面图。

图38是图36所示的配管接头的仰视图。

图39是示出本发明的配管接头的另一个变形例的结构的平面图。

图40是图39所示的配管接头的侧面图。

图41是图39所示的配管接头的仰视图。

图42是流体控制阀的截面图。

图43是图42的PV部分的扩大截面图。

图44是阀部的截面图。

图45是活塞的截面图。

图46是活塞的立体图。

图47是组装流体控制阀时的立体图。

图48是流体控制阀的一个变形例的截面图。

图49是流体控制阀的另一个变形例的截面图。

图50是流体控制阀的参照例的截面图。

图51是阀安装块内的流路周边的截面图。

图52是阀安装块内的流路周边的截面图。

图53是现有的流体控制阀的截面图。

图54是现有的流体控制阀的截面图。

具体实施方式

下文，根据附图说明将本发明具体化的一个实施方式。另外，如果在一个实施方式的说明中插入变形例，则有碍理解首尾一致的实施方式的说明，因此在结尾汇总记载变形例。

<实施方式的气体供给装置的整体结构>

首先，参照图1，说明本发明的流体供给控制装置的一个例子(一个实施方式)，即气体供给装置10中的流体的流通路径的概要结构。气体供给装置10在半导体制造工序(例如蚀刻工艺)中使用，构造为可使用多个(图1的图示中是8个)处理气体。即，气体供给装置10的构造为能够将供给用气体(混合了多种处理气体的混合气体或单一的处理气体)向未示出的供给对象(工艺腔)供给。

具体地，在气体供给装置10中，并排设置有气体供给单元10A、10B、10C、10D、10E、10F、10G以及10H。气体供给单元10A至10H分别与不同的处理气体流入管线11(处理气体流入管线11A、11B、11C、11D、11E、11F、11G以及11H)连接。处理气体入管线11A至11H分别被导入不同种类的处理气体。

另外，气体供给单元10A至10H与净化气体流入管线12连接。净化气体流入管线12被设置为将作为惰性气体(例如氮气)的净化气体供给至气体供给单元10A至10H。而且，气体供给单元10A至10H与处理气体供给管线13连接。

也就是说，气体供给单元10A至10H的构造为使处理气体或净化气体朝向处理气体供给管线13流通，其中，该处理气体经由处理气体流入管线11从未图示的处理气体供给源供给，该净化气体经由净化气体流入管线12从未图示的净化气体供给源供给。而且，气体供给装置10的构造为，通过使气体供给单元10A至10H动作以向处理气体供给管线13供给处理气体，使得经由处理气体供给管线13向上述供给对象供给上述供给用气体。

另外，气体供给单元10A至10H分别具有相同的构造。因此，下文以气体供给单元10A的构造为中心说明。

气体供给单元10A中形成有内部主气体流路14和内部净化气体流路15。内部主气体流路14和内部净化气体流路15是形成在气体供给单元10A内部的气体流路。内部主气体流路14设置在处理气体流入管线11和处理气体供给管线13之间。即，处理气体流入管线11经由内部主气体流路14与处理气体供给管线13连接。另外，内部净化气体流路15是净化气体的流路，被设置为将净化气体流入管线12和内部主气体流路14连接。

气体供给单元10A具有作为模块的流量控制器16。与内部主气体流路14和内部净化气体流路15的连接部分相比，流量控制器16安装在更靠近处理气体的流通方向上的下游侧(处理气体供给管线13侧)。另外，下文将气体供给单元10A等中处理气体的流通方向称为“气体流通方向”。流量控制器16被称为所谓的“质量流量控制器”，其构造为能够输出与内部主气体流路14中的气体的质量流量对应的检测信号，并且能够通过来自外部(微型计算机)的控制信号控制该质量流量。

另外，气体供给单元10A具有作为模块的流体控制阀17(包括流体控制阀驱动器17a)、流体控制阀18(包括流体控制阀驱动器18a)以及流体控制阀19(包括流体控制阀驱动器19a)。与上述连接部分相比，流体控制阀17在更靠近气体的流通方向上的上游侧(处理气体流入管线11侧)安装在内部主气体流路14上。流体控制阀18安装在内部净化气体流路15中。与流量控制器16相比，流体控制阀19在更靠近气体的流通方向上的下游侧安装在内部主气体流路14上。

流体控制阀17是具有作为所谓“气动阀”构造的开闭阀，在流体控制阀驱动器17a的端部设置有用于与控制开闭的空气配管连接的接头部(流体控制阀18和19也相同)。流体控制阀17被设置为能够对处理气体从处理气体流入管线11朝向流量控制器16的流入和切断流入进行切换。流体控制阀18被设置为能够对净化气体向内部主气体流路14的流入和切断流入进行切换。流体控制阀19被设置为能够对气体朝向处理气体供给管线13的流入和切断流入进行切换。

参照图2，在气体供给单元10A至10H中，在气体流通方向上依次配置有流体控制阀17、流体控制阀18、流量控制器16以及流体控制阀19。另外，流体控制阀17至19和流量控制器16沿气体流通方向(具体为与气体流通方向平行地)呈大体直线状排列。另外，下文，将气体供给单元10A等中的流体控制阀17、流体控制阀18、流量控制器16以及流体控制阀19所排列的方向称为“器件排列方向”。在本结构中，气体流通方向与器件排列方向平行，被设定在从流体控制阀17经过流体控制阀18和流量控制器16朝向流体控制阀19的方向(图2中从左向右的方向)上。

另外，在本结构中，气体供给单元10A至10D中的各流量控制器16配置在气体流通方向上的大体相同的位置(对于流体控制阀17至19也相同)。即，气体供给单元10A至10D中的各流量控制器16沿宽度方向(与气体流通方向和后述流路块20的厚度方向正交的方向：图2中的上下方向)呈大体直线状地排列。同样地，气体供给单元10E至10H中的各流量控制器16配置在气体流通方向上的大体相同的位置(对于流体控制阀17、18和19也相同)。

气体供给装置10(气体供给单元10A)具有大体平板状部件的上述流路块20(安装对象)。在本结构中，流量控制器16和流体控制阀17、18以及19在器件排列方向排列并以能够任意拆装的方式安装(固定)在流路块20上。通过将流体控制阀17、流体控制阀18、流量控制器16以及流体控制阀19在器件排列方向上依次排列并安装在流路块20中，从而通过在该流路块20的内部形成的气体流路(下文详细说明)以能够授受气体的方式连接流体控制阀17、流体控制阀18、流量控制器16以及流体控制阀19。即，流路块20的构造为通过在器件排列方向排列的状态下安装流体控制阀17、流体控制阀18、流量控制器16以及流体控制阀19而依次将流体控制阀17、流体控制阀18、流量控制器16以及流体控制阀19连接。

另外，流路块20的构造为能够在宽度方向上安装多个(本具体例中是4个)在上述器件排列方向上排列的流体控制阀17、流体控制阀18、流量控制器16以及流体控制阀19的组。具体地，在本结构中，一个流路块20的构造为能够将多个气体供给单元10A至10D在宽度方向排列并安装。该流路块20跨越多个气体供给单元10A至10D不可分离地形成为一个整体(具体为没有接缝的整体)。同样地，另一个流路块20的构造为能够将多个气体供给单元10E至10H在宽度方向排列并安装。该流路块20跨越多个气体供给单元10E至10H不可分离地形成为一个整体(具体为没有接缝的整体)。

也就是说，在本结构中，气体供给装置10具有与气体供给单元10A至10D对应的流路块20(不可分离的整体)和与气体供给单元10E至10H对应的流路块20(不可分离的整体)。两个流路块20以相邻状态互相结合从而能够互相授受供给用气体或净化气体。

<实施方式的流路块的概要结构>

图3至图7示出本发明一实施方式的流路块20的详细构造。下文，使用图3至图7，并且根据需要参照其他附图，详细地说明本实施方式的流路块20的具体构造。

参照图2和图3，在气体供给单元10A至10D和10E至10H中，流量控制器16和流体控制阀17、18以及19集中并安装在流路块20中的一个表面，即上侧表面20a(安装面)侧。另外，下文将流路块20中上侧表面20a相反侧的一个表面称为“下侧表面20b”。另外，下文将流路块20中与上侧表面20a和下侧表面20b正交并且法线方向为宽度方向的表面称为“端面20c”。

下文首先参照图2至图4说明一个流路块20中与流体控制阀17、流体控制阀18、流量控制器16以及流体控制阀19之间的连接和气体供给单元10A至10D之间的相互连接相关的内部气体流路的概要结构。

流路块20是由不锈钢形成的大体片状的部件，其构造为在其内部使处理气体向上述气体流通方向(即器件排列方向)流通。具体地，在流路块20的内部形成有大体U字形的连接流路21。构成本发明“第一流路”的连接流路21被设置在流路块20的气体流通方向上的上游侧的位置(气体流通方向上靠近上游侧的端部的位置)。

连接流路21以平面视角看(从流路块20的厚度方向观看时)，被形成为沿气体流通方向呈大体直线状，以使处理气体沿上述气体流通方向流通。具体地，连接流路21具有在上侧表面20a开口的入口端口21a和出口端口21b。即，入口端口21a是来自处理气体流入管线11的处理气体的流入口，被设置在连接流路21的气体流通方向上的上游侧的端部。同样地，出口端口21b是从入口端口21a流入的处理气体的流出口，被设置在连接流路21的气体流通方向上的下游侧的端部。

从入口21a朝向下侧表面20b形成有入口通路21c。同样地，从出口端口21b朝向下侧表面20b形成有出口通路21d。入口通路21c和出口通路21d是圆筒状的孔，被设置为与流路块20的厚度方向平行。

入口通路21c和出口通路21d中的下侧表面20b侧的端部通过连接路21e互相连接。连接路21e被设置为与气体流通方向平行，并且是通过以下过程形成的空间，即，使用由不锈钢形成的平板状(以平面视角看为长圆形)的盖部21f通过焊接(例如激光焊接或电子光束焊接)等密封地封闭从下侧表面20b侧形成的槽。

与连接通路21相比在气体流通方向上更靠近下游侧，在流体控制阀17、18与流量控制器16之间设置有连接流路22。构成本发明“第一流路”的连接流路22是在流路块20的内部沿气体流通方向形成的气体流路，以使气体沿上述气体流通方向流通。连接流路22具有与上述连接流路21相同的构造，被设置为连接流体控制阀17和流量控制器16，或者连接流体控制阀18和流量控制器16。

具体地，与上述连接流路21相同，连接流路22具有入口端口22a、出口端口22b、入口通路22c、出口通路22d、连接路22e以及盖部22f。连接通路22被设置为通过将经过流体控制阀17或18流入入口端口22a的气体经由入口通路22c、连接路22e以及出口通路22d传送至出口端口22b并从出口端口22b排出，使得该气体能够从流体控制阀17或18朝向流量控制器16流通。

流路块20的、在气体流通方向上与连接通路21和22相比更靠近下游侧的位置设置有连接流路23。即，连接通路23设置在流路块20的气体流通方向上的下游侧的位置(靠近下游侧的端部的位置)。构成本发明“第一流路”的连接流路23是在流路块20的内部沿气体流通方向形成的气体流路，以使气体沿上述气体流通方向流通，并具有与上述连接流路21和22相同的构造。该连接流路23被设置为连接流量控制器16和流体控制阀19。

具体地，与上述连接流路21和22相同，连接流路23具有入口端口23a、出口端口23b、入口通路23c、出口通路23d、连接路23e以及盖部23f。连接通路23被设置为通过将经过流量控制器16流入入口端口23a的气体经由入口通路23c、连接路23e以及出口通路23d传送至出口端口23b并从出口端口23b排出，使得该气体能够从流量控制器16朝向流体控制阀19流通。

如上所述，连接流路21、22以及23以平面视角看分别形成为沿气体流通方向呈大体直线状。另外，连接流路21、22以及23以平面视角看被配置为沿气体流通方向呈大体直线状。这里，连接流路21、22以及23“配置为呈大体直线状”并不一定要求这些连接流路以平面视角看的中心准确地位于特定直线上。即，例如，如果这些连接流路被配置为以平面视角看重叠在特定直线上，则可以称为“配置为呈大体直线状”。

流路块20的上侧表面20a上与流体控制阀18对应的位置设置有净化气体供给端口24，该净化气体供给端口24朝向流体控制阀18开口。净化气体供给端口24被配置在以平面视角看基于连接流路22中的入口端口22a与连接流路21中的出口端口21b大体点对称的位置。即，以平面视角看，沿气体流通方向呈大体直线状地依次配置有连接流路21中的出口端口21b、净化气体供给端口24、连接流路22中的入口端口22a。

净化气体供给端口24被形成为通过与内部净化气体管线25连通而向流体控制阀18供给净化气体，该内部净化气体管线25跨越多个气体供给单元10A、10B…沿装置宽度方向形成。构成本发明“第二流路”的内部净化气体管线25是形成在流路块20内部的净化气体流路，与净化气体流入管线12(参照图1)连接。另外，净化气体供给端口24和内部净化气体管线25之间形成有与流路块20的厚度方向平行的短的气体流路。即，与气体供给单元10A至10D对应的各净化气体供给端口24分别经由上述短的气体流路与内部净化气体管线25连接。

在本实施方式中，内部净化气体管线25被设置在与流体控制阀18对应的位置(流体控制阀18的大体正下方)。具体地，内部净化气体管线25被配置为以平面视角看在器件排列方向上的位置与净化气体供给端口24大体一致。

流路块20的上侧表面20a中与流体控制阀19对应的位置设置有处理气体供给端口26，该处理气体供给端口26朝向流体控制阀19开口。处理气体供给端口26被形成为通过与供给侧内部气体管线27连通而向供给侧内部气体管线27供给通过流体控制阀19的气体，该供给侧内部气体管线27跨越多个气体供给单元10A、10B…沿装置宽度方向形成。

构成本发明“第二流路”的供给侧内部气体管线27是形成在流路块20内部的气体流路，与处理气体供给管线13(参照图1)连接。另外，处理气体供给端口26和供给侧内部气体管线27之间形成有与流路块20的厚度方向平行的短的气体流路。即，与气体供给单元10A至10D对应的各处理气体供给端口26分别经由上述短的气体流路与供给侧内部气体管线27连接。

在本实施方式中，供给侧内部气体管线27被设置在与流体控制阀19对应的位置(流体控制阀19的大体正下方)。具体地，供给侧内部气体管线27被配置为以平面视角看在器件排列方向上的位置与处理气体供给端口26大体一致。

如上所述，气体供给单元10A等的构造为能够将从处理气体流入管线11流入连接流路21中的入口端口21a的处理气体或从净化气体流入管线12流入内部净化气体管线25的净化气体通过流体控制阀17和18，经由连接流路22、流量控制器16、连接流路23以及流体控制阀19向供给侧内部气体管线27供给。即，气体供给单元10A至10D(10E至10H)经由内部净化气体管线25和供给侧内部气体管线27相互连接使得能够授受气体。

在流路块20的上侧表面20a侧设置有内螺纹部28a、28b、28c以及28d。内螺纹部28a、28b、28c以及28d是所谓的“螺纹孔”，被形成为轴向(深度方向)与流路块20的厚度方向平行。

一对内螺纹部28a被设置在与流入侧凸缘30对应的位置。一对内螺纹部28b被设置在与流体控制阀17和18对应的位置。一对内螺纹部28c被设置在与流量控制器16对应的位置。一对内螺纹部28d被设置在与流体控制阀19对应的位置。而且，沿着气体流通方向(器件排列方向)呈大体直线状地依次排列有一对内螺纹部28a、一对内螺纹部28b、一对内螺纹部28c、一对内螺纹部28d。

与流入侧凸缘30对应的一对内螺纹部28a在器件排列方向排列在夹持连接流路21中的入口端口21a的两侧。气体供给单元10A至10H分别设置有一个流入侧凸缘30。气体供给单元10A中的流入侧凸缘30是用于连接处理气体流入管线11A和入口端口21a的配管凸缘，被形成为以正视视角看呈大体倒T字形(气体供给单元10B至10H中的流入侧凸缘30也具有相同的构造)。

流入侧凸缘30相当于一个模块，由凸缘部31和管部32构成。凸缘部31是以平面视角看呈大体I字形的片状部件，相对于流路块20中的上侧表面20a密封地接合。管部32从凸缘部31大体垂直地直立设置。凸缘部31被形成为，其宽度(在上述宽度方向上的尺寸：下文相同)比管部32和安装螺栓33的外径稍大，而且与流量控制器16和流体控制阀17至19的宽度(流体控制阀驱动器17a至19a的宽度)大体相同。

在凸缘部31中与内螺纹部28a对应的位置形成有用于插入安装螺栓33的贯通孔(未示出)。而且，通过将一对内螺纹部28a与安装螺栓33螺纹固定，使得流入侧凸缘30相对流路块20中的上侧表面20a侧被密封地安装(由于上述安装处中的空气密封构造是公知的，因此省略图示和说明：下文相同)。即，一对内螺纹部28a被设置为相对于流路块20可以能够任意拆装的方式安装流入侧凸缘30。

与流体控制阀17和18对应的一对内螺纹部28b中的一个设置在连接流路21中的出口端口21b和一对内螺纹部28a之中在气体流通方向上的下游侧(图4中的右侧)的内螺纹部28a之间的位置。一对内螺纹部28b中的另一个设置在净化气体供给端口24和在连接流路22中的出口端口22b之间的位置。

在本实施方式中，流体控制阀17和18通过共同的阀安装块40形成为一个整体，固定在流路块20上。即，流体控制阀驱动器17a和18a预先安装在相同的阀安装块40上。阀安装块40以平面视角看呈大体I字形。另外，阀安装块40形成为其宽度比安装螺栓41的外径稍大，而且与流量控制器16和流体控制阀驱动器17a至19a的宽度大体相同。在该阀安装块40上形成有从连接流路21中的出口端口21b经由流体控制阀驱动器17a中的阀体的附近部分(由于该附近部分的结构是公知的，因此省略图示和说明：下文相同)到达连接流路22中的入口端口22a的内部气体流路(省略图示)，并形成有从净化气体供给端口24经由流体控制阀驱动器18a中的阀体的附近部分到达连接流路22中的入口端口22a的内部气体流路(省略图示)。而且，通过在具有上述构造的阀安装块40上安装流体控制阀驱动器17a(18a)而构成流体控制阀17(18)。

另外，在阀安装块40中与内螺纹部28b对应的位置形成有用于插入安装螺栓41的贯通孔(未示出)。而且，通过将一对内螺纹部28b与安装螺栓41螺纹固定，使得流体控制阀17和18经由共同的阀安装块40相对流路块20中的上侧表面20a侧被密封地安装。即，在本实施方式中，流体控制阀17和18形成为一个整体，换言之，流体控制阀驱动器17a、18a以及预先安装有流体控制阀驱动器17a、18a的阀安装块40的结构为相对于流路块20能够任意拆装的一个模块(拆装模块)。而且，一对内螺纹部28b被设置为相对于流路块20以能够任意拆装的方式安装流体控制阀17和18(预先安装有流体控制阀驱动器17a、18a的阀安装块40)。

与流量控制器16对应的一对内螺纹部28c中的一个设置在一对内螺纹部28b之中在气体流通方向上的下游侧的内螺纹部28b和连接流路22中的出口端口22b和之间的位置。一对内螺纹部28c中的另一个设置在连接流路23中的入口端口23a和出口端口23b之间的位置。

在本实施方式中，在流量控制器16上设置有MFC安装部50。MFC安装部50以平面视角看呈大体I字形。另外，MFC安装部50被形成为其宽度比安装螺栓51的外径稍大，而且与比流量控制器16中的MFC安装部50更靠上侧的部分和流体控制阀17至19(流体控制阀驱动器17a至19a)的宽度大体相同。在该MFC安装部50上形成有从连接流路22中的出口端口22b到达流量控制器16的内部气体流路(省略图示)，并形成有通过流量控制器16的内部的气体到达连接流路23中的入口端口23a的内部气体流路(省略图示)。

另外，在MFC安装部50中与内螺纹部28c对应的位置形成有用于插入安装螺栓51的贯通孔(未示出)。而且，通过将一对内螺纹部28c与安装螺栓51螺纹固定，使得流量控制器16相对流路块20中的上侧表面20a侧被密封地安装。即，一对内螺纹部28c被设置为相对于流路块20以能够任意拆装的方式安装流量控制器16(MFC安装部50)。

与流体控制阀19对应的一对内螺纹部28d中的一个设置在一对内螺纹部28c之中在气体流通方向上的下游侧的内螺纹部28c和连接流路23中的出口端口23b和之间的位置。一对内螺纹部28d中的另一个设置在比处理气体供给端口26更靠近在气体流通方向上的下游侧，即，设置在流路块20的气体流通方向上的下游侧的端部。

在本实施方式中，通过在阀安装块60上预先安装流体控制阀驱动器19a而构成流体控制阀19。阀安装块60以平面视角看呈大体I字形。另外，阀安装块60被形成为其宽度比安装螺栓61的外径稍大，而且与流量控制器16和流体控制阀驱动器17a至19a的宽度大体相同。在该阀安装块60上形成有从连接流路23中的出口端口23b经由流体控制阀驱动器19a中的阀体的附近部分到达处理气体供给端口26的内部气体流路(省略图示)。

另外，在阀安装块60中与内螺纹部28d对应的位置形成有用于插入安装螺栓61的贯通孔(未示出)。而且，通过将一对内螺纹部28d与安装螺栓61螺纹固定，使得流体控制阀19经由阀安装块60相对流路块20中的上侧表面20a侧被密封地安装。即，一对内螺纹部28d被设置为相对于流路块20以能够任意拆装的方式安装流体控制阀19(预先安装有流体控制阀驱动器19a的阀安装块60)。

在本实施方式中，沿器件排列方向呈大体直线状地配置有内螺纹部28a、连接流路21(包括入口端口21a、入口通路21c、连接路21e、出口通路21d以及出口端口21b)、内螺纹部28b、连接流路22(同上)、净化气体供给端口24、内螺纹部28c、连接流路23(同上)、处理气体供给端口26以及内螺纹部28d。另外，内螺纹部28a、28b、28c以及28d被形成为在上侧表面20a开口的非贯通孔。即，连接流路21、22和23被形成为在内螺纹部28a至28d上的深度方向绕过该内螺纹部28a至28d。具体地，内螺纹部28a至28d被形成为不与连接流路21至23连通。

另外，图1中的内部主气体流路14相当于从连接流路21至23、形成在流体控制阀17上的内部气体流路(形成在阀安装块40中的内部气体流路、即，从连接流路21中的出口端口21b经由流体控制阀驱动器17a到达连接流路22中的入口端口22a的流路)、形成在流量控制器16中的内部气体流路、形成在流体控制阀19中的内部气体流路(形成在阀安装块60中的内部气体流路、即从连接流路23中的出口端口23b经由流体控制阀驱动器19a到达处理气体供给端口26的流路)以及从处理气体供给端口26到达供给侧内部气体管线27的气体流路。另外，图1中的内部主气体流路15相当于从内部净化气体管线25到达净化气体供给端口24的净化气体流路，形成在阀安装块40中的内部气体流路、即从净化气体供给端口24经由流体控制阀18到达连接流路22中的入口端口22a的流路，以及内部净化气体管线25。

<实施方式的流路块的主要部分构成>

下面，参照图5至图7，说明在宽度方向并排地相邻配置多个流路块20的状态下的、关于相邻的流路块20中的内部净化气体管线25之间和供给侧内部气体管线27之间的连接的构成。另外，图7只示出相邻的流路块20中的内部净化气体管线25之间的连接部分的扩大截面图。但是，由于相邻的流路块20中的供给侧内部气体管线27之间的连接部分也具有相同的结构，因此省略关于该部分的扩大截面图。

流路块20具有构成本发明的“连接部”的、第一连接片201和第二连接片202。第一连接片201在下侧表面20b侧从在宽度方向上的一侧的端部(图6中的右侧端部)向该宽度方向(即朝向外侧)突出设置。第二连接片202在上侧表面20a侧从在宽度方向上的另一侧的端部向该宽度方向突出设置。即，如图6所示，在沿器件排列方向观看时，第一连接片201和第二连接片202设置在对角位置。

另外，在本实施方式中，第一连接片201和第二连接片202与流路块20的主体部分(构成流路块20的主要部分的长方体状的、除去盖部21f等的部分)没有接缝地形成为一个整体。另外，在器件排列方向在流路块20的整个全长上设置第一连接片201和第二连接片202。内部净化气体管线25通过以下过程形成，即，使用由不锈钢形成的大体圆柱状的封闭部件通过焊接(例如激光焊接或电子光束焊接)等密封地封闭从第二连接片202侧沿宽度方向形成的非贯通孔的开口部。供给侧内部气体管线27也以相同方式形成。

第一连接片201的表面(下侧表面20b相反侧的面)的、与在器件排列方向上的内部净化气体管线25和供给侧内部气体管线27对应的位置形成有第一连接开口部211。第一连接开口部211被设置为向从下侧表面20b侧朝向上侧表面20a侧的方向(即朝向图6中的上方)开口。

另外，与内部净化气体管线25对应的第一连接开口部211有时在图中表示为“211a”并在下文的说明中称为“第一连接开口部211a”。同样地，与供给侧内部气体管线27对应的第一连接开口部211有时在图中表示为“211b”并在下文的说明中称为“第一连接开口部211b”。另外，在下文的说明中，有时将“第一连接开口部211a”和“第一连接开口部211b”统称为“第一连接开口部211”。

第一连接开口部211a经由第一连接路212与在内部净化气体管线25的宽度方向上的一侧端部(第一连接片201侧的端部)连接。即，内部净化气体管线25被形成为在宽度方向上的非贯通孔。而且，第一连接路212是流路块20的内部的气体通路，其被形成为将内部净化气体管线25中的上述一端和第一连接开口部211a连接。

在本实施方式中，与上述连接流路21等相同，第一连接路212被形成为以侧截面视角看呈大体U字形。具体地，第一连接路212具有直管部213、直管部214以及连接通路215。直管部213是从第一连接开口部211a朝向下侧表面20b侧所形成的大体圆筒状的气体通路，与在连接通路部215中的一侧端部连接。直管部214是从内部净化气体管线25中的上述一侧端部朝向下侧表面20b侧所形成的大体圆筒状的气体通路，并与在连接通路部215中的另一侧端部连接。连接通路部215是通过以下过程沿宽度方向形成的空间，即，使用由不锈钢形成的平板状(以平面视角看为长圆形)的盖部216通过焊接(例如激光焊接或电子光束焊接)等密封地封闭从下侧表面20b侧所形成的槽。

在本实施方式中，第一连接开口部211b与供给侧内部气体管线27之间的连接结构与上述第一连接开口部211a和内部净化气体管线25之间的连接结构相同。因此，第一连接开口部211b经由第一连接路212与在供给侧内部气体管线27的宽度方向上的一侧端部(第一连接片201侧的端部)连接。即，供给侧内部气体管线27被形成为在宽度方向上的非贯通孔。而且，与上述同样地形成将第一连接开口部211b与供给侧内部气体管线27连接的第一连接路212。

如图5和图7所示，在第一连接开口部211的两侧分别设置有连结螺栓拧接孔217。连结螺栓拧接孔217是沿第一连接片201的厚度方向设置的螺纹孔(贯通孔)，被形成为能够与连结螺栓B螺纹结合(紧固)。在本实施方式中，一对连结螺栓拧接孔217沿器件排列方向排列。即，一对连结螺栓拧接孔217被设置为夹持第一连接开口部211的两侧大体对称。

第二连接片202的底面(上侧表面20a相反侧的面)的、与器件排列方向上的内部净化气体管线25和供给侧内部气体管线27对应的位置形成有第二连接开口部221。第二连接开口部221被设置为向从上侧表面20a侧朝向下侧表面20b侧的方向(即朝向图6中的下方)开口。

另外，与内部净化气体管线25对应的第二连接开口部221有时在图中表示为“221a”并在下文的说明中称为“第二连接开口部221a”。同样地，与供给侧内部气体管线27对应的第二连接开口部221有时在图中表示为“221b”并在下文的说明中称为“第二连接开口部221b”。另外，在下文的说明中，有时将“第二连接开口部221a”和“第二连接开口部221b”统称为“第二连接开口部221”。

第二连接开口部221a经由第二连接路222与在内部净化气体管线25的宽度方向上的靠近另一侧端部的位置连接。另外，第二连接路222是形成在流路块20的内部的气体通路，以将内部净化气体管线25中的上述另一侧端部与第二连接开口部221a连接。具体地，在本实施方式中，第二连接路222是大体圆筒状的气体通路，被形成为从第二连接开口部221a朝向内部净化气体管线25(即朝向上侧表面20a侧)。

在本实施方式中，第二连接开口部221b与供给侧内部气体管线27之间的连接结构与第二连接开口部221a和内部净化气体管线25之间的连接结构相同。因此，第二连接开口部221b经由第二连接路222与在供给侧内部气体管线27的宽度方向上的另一侧端部(第二连接片202侧的端部)连接。而且，与上述同样地形成将第二连接开口部221b与供给侧内部气体管线27连接的第二连接路222。

如图5和图7所示，在第二连接开口部221的两侧分别设置有连结螺栓插入孔227。连结螺栓插入孔227是沿第二连接片202的厚度方向设置的贯通孔，被设置为能够由上述连结螺栓B插入。具体地，连结螺栓插入孔227被形成为其内径比连结螺栓B的外径稍大。另外，在本实施方式中，一对连结螺栓插入孔227沿器件排列方向排列。即，一对连结螺栓插入孔227被设置为夹持第二连接开口部221大体对称。

在本实施方式中，形成第一连接片201和第二连接片202以使第一连接开口部211和第二连接开口部221在器件排列方向处于相同位置。也就是说，以如下方式设置第一连接开口部211和第二连接开口部221，即，将2个流路块20在宽度方向上相邻配置以使2个流路块20在器件排列方向大体一致并且使一侧的第一连接片201和另一侧的第二连接片202重叠的状态下，从平面视角看，第一连接开口部211a和第二连接开口部221a彼此相对，并且使第一连接开口部211b和第二连接开口部221b彼此相对。同样地，在上述状态下，连结螺栓插入孔227被设置为以平面视角看包围连结螺栓拧接孔217。

另外，在本实施方式中，在第一连接开口部211和第二连接开口部221上分别形成有阶梯部，该阶梯部能够容纳在使第一连接开口部211和第二连接开口部221彼此相对并密封结合时的密封部件。这样，第一连接片201和第二连接片202的构造为，通过第一连接开口部211和第二连接开口部221彼此相对地在厚度方向重叠，使得在相邻流路块20中的内部净化气体管线25之间和供给侧内部气体管线27之间连接。

<实施方式的结构所产生的作用·效果>

在如上所述的本实施方式的结构中，具有在器件排列方向上排列的流体控制阀17、流体控制阀18、流量控制器16以及流体控制阀19(上述器件通过安装在流路块20上以能够授受气体的方式被连接)的气体供给单元10A至10D在宽度方向排列的状态下，被安装在流路块20上。于是，气体供给单元10A至10D通过设置在流路块20内部的内部净化气体管线25和供给侧内部气体管线27，以能够授受气体的方式被连接。关于气体供给单元10E至10H也相同。

这里，在上述结构中，安装有气体供给单元10A至10D的流路块20和安装有气体供给单元10E至10H的流路块20在宽度方向上并列地相邻配置。于是，在气体供给单元10A至10H中，各个流量控制器16被配置在气体流通方向，即，在器件排列方向大体相同的位置(流体控制阀17至19也相同)。

在上述状态下，相邻的两个流路块20通过第一连接片201和第二连接片202互相接合(连接)。由此，在两个流路块20中的内部净化气体管线25之间和供给侧内部气体管线27之间以能够授受气体的方式被连接。

具体地，第一连接片201和第二连接片202在厚度方向上重叠以使一侧流路块20中的第一连接开口部211和另一侧流路块20中的第二连接开口部221夹持上述密封部件彼此相对。而且，连结螺栓B插入连结螺栓插入孔227并与连结螺栓拧接孔217螺纹结合。由此，安装有气体供给单元10A至10D的流路块20和安装有气体供给单元10E至10H的流路块20连结(结合)。

这样，如果根据上述的本实施方式的结构，则通过并列地相邻配置多个流路块20，并由第一连接片201和第二连接片202连接两个流路块，能够良好地应对随着增加处理气体的种类并列地设置多个气体供给单元10A等的要求。因此，如果使用上述结构，则能够使气体供给装置10保持良好的可维护性，并且能够对气体供给装置10进行良好地进行小型化或集成化。

具体地，如果使用上述本实施方式的结构，则能够尽可能地抑制气体供给装置10整体的配管长度。另外，在本实施方式的结构中，第一连接开口部211和第二连接开口部221在器件排列方向上设置在相同位置。因此，如果使用上述结构，与以前的尺寸相比，能够更加减小气体供给装置10整体在器件排列方向上的尺寸。

另外，在本实施方式的结构中，通过一对内螺纹部28a相对于流路块20以能够任意拆装的方式安装流入侧凸缘30。同样地，通过一对内螺纹部28b相对于流路块20以能够任意拆装的方式安装流体控制阀17和18。另外，通过一对内螺纹部28c相对于流路块20以能够任意拆装的方式安装流量控制器16。而且，通过一对内螺纹部28d相对于流路块20以能够任意拆装的方式安装流体控制阀19。

于是，流入侧凸缘30与流体控制阀17、18通过连接流路21连接。同样的，流体控制阀17、18与流量控制器16通过连接流路22连接。而且，流量控制器16与流体控制阀19通过连接流路23连接。而且，上述连接流路21至23被配置为与内螺纹部28a至28d大体在同一直线上，而且，形成为在深度方向上绕过上述内螺纹部28a至28d。

因此，如果使用上述结构，则即使最小限度地设定流入侧凸缘30、阀安装块40、MFC安装部50以及阀安装块60的宽度(具体地，与流量控制器16和流体控制阀驱动器17a至19a的宽度大体相同)，也能够使得流量控制器16和流体控制阀17至19相对于流路块20能够良好地任意拆装。换言之，无需使用在平面视角看为大体矩形的各4根安装用螺栓，就能够使得上述部件相对于流路块20良好地任意拆装。因此，如果使用上述结构，则能够尽可能地减小各气体供给单元10A等的宽度和供给装置10整体的宽度，因此，在气体供给装置10中，能够保持良好的可维护性，并且实现进一步的小型化。

另外，在本实施方式的结构中，流入侧凸缘30、流量控制器16以及流体控制阀17至19被集中在流路块20中的上侧表面20a侧。因此，如果使用上述结构，则具有流入侧凸缘30、流量控制器16以及流体控制阀17至19集中并安装在上侧表面20a侧的结构(如果使用上述结构，则对于所有流量控制器16和流体控制阀17至19在维护(安装螺栓41等的紧固或松弛动作)时，由于能够从上侧表面20a进入，因此可维护性极其良好)的、气体供给单元10A等或气体供给装置10能够在不影响良好的可维护性的情况下以尽可能小的宽度实现。

特别地，由于处理气体的种类增多，在将多个气体供给单元10A等集成化时，流路块20的大型化成为大问题。即，流路块20的大型化与气体供给装置10中的重量和设置面积的增加相关。于是，在大型化的流路块20和气体供给装置10中，对于设置的自由度非常受限。

这一点，通过使用上述结构而实现流路块20的小型化，对于气体供给装置10的设置的自由度提高，因此能够良好地实现高性能的半导体制造工序。具体地，例如，能够在工艺腔的最近处配置气体供给装置10。在这种情况下，处理气体供给管线13的配管长度被尽可能地减小。因此，能够在高频率高精度(高应答性和控制性)下进行处理气体的供给。另外，通过缩减处理气体的转换时间，使得吞吐量提高。

另外，在本实施方式的结构中，能够以每个流路块20组装、库存、搬运。另外，即使对于气体供给单元10A等的组数的各种要求，也能够通过向流路块20安装的气体供给单元10A等的安装数量或多个流路块20之间的并列连接等灵活地对应。因此，如果根据本实施方式，制造气体供给装置10时的处理难度被降低，并且减少部件数量。

<变形例>

下文，对于代表性的变形例，举出几个示例。在下文的变形例说明中，对于与使用上述实施方式中说明的内容具有相同结构和功能的部分，可以使用与上述实施方式相同的附图标记。而且，对于该部分的说明，在技术上不矛盾的范围内，可以适当引用上述实施方式中的说明。但是，不必说，作为变形例，并不限于下文列举的示例。另外，在技术上不矛盾的范围内，多个变形例的全部或一部分可以适当地结合使用。

“上侧表面20a”是为了便于各实施方式的说明而起的名称，并不一定限于在垂直方向上的上侧表面。即，根据气体供给装置10的设置方式，上侧表面20a可以被设定为其法线朝向水平方向或铅垂方向上的下方。

流体控制阀17和流体控制阀18预先设置在共同的阀安装块40上，但是本发明不限于该方式。即，流体控制阀17和流体控制阀18与流体控制阀19相同，能够各自独立地以任意拆装的方式安装在流路块20上。

包括在一个气体供给单元10A中的流体控制阀17等的数量也不限于上述实施方式。另外，流体控制阀17等也可以不使用内螺纹部或螺栓，而预先与流路块20形成为一个整体。

流体控制阀17等也可以一部分相对于流路块20预先安装，剩余部分也可以相对于流路块20任意拆装。另外，流体控制阀17等也可以是上述的“气动阀”，也可以是电磁阀或压电阀。

能够在一个流路块20上并列地安装的气体供给单元10A等的数量也不限于4个。即，例如，也可以准备能够并列地安装2个气体供给单元10A等的流路块20，或能够并列地安装3个气体供给单元10A等的流路块20。另外，流路块20的并列数也不限于2个。即，进行3个以上的流路块20的连结也与上述各实施方式的说明相同。

图8至图10示出本发明的流路块20的一个变形例的结构。参照图8至图10，在该变形例中，流路块20上形成有第一连接片201、201’和第二连接片202、202’。另外，在该变形例中，第一连接片201、201’和第二连接片202、202’被形成为与上述流路块20的主体部分的厚度相同。另外，第一连接开口部211a、第一连接开口部211b、第二连接开口部221a以及第二连接开口部221b都被设置为在上侧表面20a开口。

第一连接片201与第一连接开口部211a对应，被设置为在宽度方向上突出。第一连接片201’与第一连接开口部211b对应，被设置为在宽度方向上突出。第二连接片202与第二连接开口部221a对应，被设置为在宽度方向上突出。第二连接片202’与第二连接开口部221b对应，被设置为在宽度方向上突出。

第一连接片201、201’和第二连接片202、202’的突出量相等。即，在宽度方向上相邻配置2个流路块20的状态下，第一连接片201、201’和第二连接片202、202’形成为在器件排列方向上呈大体直线状依次排列并相邻配置有第一连接片201、第二连接片202、第一连接片201’、第二连接片202’(与此同时，在器件排列方向上呈大体直线状地依次排列有第一连接开口部211a、第二连接开口部221a、第一连接开口部211b、第二连接开口部221b)。

如图10所示，第一连接开口部211a经由第一连接路212与内部净化气体管线25的宽度方向上的第一连接片201侧的端部连接。即，内部净化气体管线25被形成为宽度方向上的非贯通孔。另外，在该变形例中，与上述第一实施方式中的直管部213相同，第一连接路212是从第一连接开口部211a朝向下侧表面20b侧形成的大体圆筒状的气体通路，与内部净化气体管线25的宽度方向上的上述第一连接片201侧的端部连接。

另外，第二连接开口部221a经由第二连接路222与内部净化气体管线25的宽度方向上的靠近第二连接片202侧端部的位置连接。第二连接路222是在流路块20的内部形成的气体通路，以将内部净化气体管线25中的上述第二连接片202侧的端部和第二连接开口部221a连接。具体地，第二连接路222是大体圆筒状的气体通路，其被形成为从第二连接开口部221a朝向内部净化气体管线25(即朝向下侧表面20b侧)。

与上述第一实施方式中的连结螺栓拧接孔217(参照图5)相同，在第一连接开口部211的两侧分别设置有连结螺栓拧接孔230。另外，在该变形例中，在第二连接开口部221a的两侧也设置有连结螺栓拧接孔230。而且，在如上述沿器件排列方向相邻配置第一连接片201、第二连接片202、第一连接片201’以及第二连接片202’的状态下，通过安装旁路配管290，使得流路块20的构造为在相邻的流路块20中的内部净化气体管线25之间和供给侧内部气体管线27之间连接。

具体地，旁路配管290具有凸缘部291和连接管部292。凸缘部291的构造与上述流入侧凸缘30中的凸缘部31(参照图2等)相同。而且，在第一连接开口部211和第二连接开口部221相对配置的状态下使连结螺栓B与连结螺栓拧接孔230螺纹固定，使得该凸缘部291与流路块20密封地接合。连接管部292形成为以正视视角看呈倒U字形以连接2个凸缘部291。

在上述变形例的结构中，在第一连接片201和第二连接片202在器件排列方向上相邻配置的状态下，跨越第一连接片201和第二连接片202安装旁路配管290。由此，相邻配置的流路块20中的双方的内部净化气体管线25之间得以连接。同样的，在第一连接片201’和第二连接片202’在器件排列方向上相邻配置的状态下，跨越第一连接片201’和第二连接片202’安装旁路配管290。由此，相邻配置的流路块20中的双方的供给侧内部气体管线27之间得以连接。

这里，如图8所示，在相邻配置2个流路块20的状态下，第一连接片201和第一连接片201’之间的空间容纳有第二连接片202。同样地，第二连接片202和第二连接片202’之间的空间容纳有第一连接片201’。因此，如果使用上述结构，则在随着处理气体种类的增加而并列地设置多个气体供给单元10A等时，能够尽可能地抑制气体供给装置10整体的宽度方向上的尺寸。

第一连接片201、201’和第二连接片202、202’也可以只在第一连接开口部211和第二连接开口部221的附近形成为舌片状(悬臂梁状)。特别地，在本实施方式中，与第一连接开口部211b所对应的第一连接片201’相同地，与第一连接开口部211a对应的第一连接片201也可以在器件排列方向上的尺寸所需最小限度的狭窄范围内(具体地，能够在第一连接开口部211a的两侧能够良好地形成连结螺栓拧接孔230的范围内尽可能狭窄)形成。与第二连接开口部221a对应的第二连接片202也相同。

<流体供给控制装置的概要结构的变形例>

接着，说明本发明的其他示例(其他实施方式)的结构。在下文的其他示例说明中，对于与使用上述实施方式说明的内容具有相同结构和功能的部分，可以使用与上述实施方式相同的附图标记。而且，对于该部分的说明，在技术上不矛盾的范围内，可以适当引用上述实施方式中的附图和说明。

参照图11至图14，在本实施方式中，流量控制器16以能够任意拆装的方式安装在流路块20中的上侧表面20a侧。另一方面，流体控制阀17至19以及流入侧凸缘30以能够任意拆装的方式安装在与上侧表面20a相反的下侧表面20b侧。另外，在器件排列方向(与连接流路21中的连接路21e平行的方向)上依次排列有流体控制阀18、流体控制阀17、流入侧凸缘30以及流体控制阀19。因此，流路块20的内部流路结构从上述实施方式变更。

除此之外，与上述实施方式相同，流量控制器16、流体控制阀17至19以及流入侧凸缘30安装在流路块20上。即，阀安装块40、MFC安装部50以及阀安装块60的结构与上述实施方式大体相同。

说明本实施方式中的流路块20的构造，与上述实施方式不同，连接流路21被设置为使得入口端口21a和出口端口21b在下侧表面20b侧开口。另外，连接流路21在器件排列方向上被设置在连接流路22和连接流路23之间。具体地，连接流路21中的入口端口21a在器件排列方向上被设置在流路块20的大体中央部。除此之外，与上述实施方式相同，连接流路21呈大体U字形。

在连接流路22中的入口端口22a被设置为，在从连接流路21中的入口端口21a朝向出口端口21b引出的有向线段的延长线上在下侧表面20b侧开口。另一方面，出口端口22b被设置为在上侧表面20a侧开口。而且，连接流路22被形成为将入口端口22a和出口端口22b以直线状连接。具体地，在本实施方式中，出口端口22b被配置在以平面视角看与入口端口22a大体一致的位置上。即，连接流路22被设置为与流路块20的厚度方向平行。

在连接流路23中的出口端口23b被设置为，在从连接流路21中的出口端口21b朝向入口端口21a引出的有向线段的延长线上并在下侧表面20b侧开口。另一方面，入口端口23a被设置为在上侧表面20a侧开口。而且，连接流路23被形成为将入口端口23a和出口端口23b以直线状连接。具体地，在本实施方式中，出口端口23b被配置在以平面视角看与入口端口23a大体一致的位置上。即，连接流路23被设置为与流路块20的厚度方向平行。

净化气体供给端口24被设置为，在从连接流路21中的出口端口21b朝向连接流路22中的入口端口22a引出的有向线段的延长线上并在下侧表面20b侧开口。具体地，净化气体供给端口24被配置在流路块20的器件排列方向上的一侧端部附近。与上述实施方式相同，该净化气体供给端口24与内部净化气体管线25连接。

另外，处理气体供给端口26被设置为，在从连接流路21中的入口端口21a朝向连接流路23中的出口端口23b引出的有向线段的延长线上并在下侧表面20b侧开口。具体地，处理气体供给端口26被配置在流路块20的器件排列方向上的另一侧端部附近，接近(邻近)连接流路23中的出口端口23b。与上述实施方式相同，该处理气体供给端口26与供给侧内部气体管线27连接。

而且，在本实施方式中，沿器件排列方向呈大体直线状地依次排列有净化气体供给端口24、连接流路22、连接流路21中的出口端口21b、连接流路21中的入口端口21a、连接流路23以及处理气体供给端口26。

在本实施方式中，连接流路21至23也被形成为绕过内螺纹部28a至28d。具体地，一对内螺纹部28c是在流路块20中的上侧表面20a开口的非贯通螺纹孔，在器件排列方向上被设置在连接流路21至23的外侧。另外，一对内螺纹部28c中的一个，即配置在连接流路22侧的一个内螺纹部28c被设置为不与内部净化气体管线25连通。同样地，一对内螺纹部28c中的另一个，即配置在连接流路23侧的一个内螺纹部28c被设置为不与供给侧内部气体管线27连通。

内螺纹部28a、28b以及28d是非贯通的螺纹孔，被形成为在流路块20中的下侧表面20b开口。一对内螺纹部28a中的一个以及一对内螺纹部28b中的一个被设置为在连接流路21中的入口端口21a和出口端口21b之间的位置不与连接路21e连通。一对内螺纹部28a中的另一个以及一对内螺纹部28d中的一个被设置在连接流路21中的入口端口21a和连接流路23之间的、未形成内部流路的区域中。一对内螺纹部28b中的另一个以及一对内螺纹部28d中的另一个被设置在器件排列方向上的两端部的、未形成内部流路的区域中。

这样，在本实施方式中，流量控制器16以能够任意拆装的方式安装在流路块20中的一个表面，即上侧表面20a侧。另一方面，流体控制阀17至19以能够任意拆装的方式设置在与上侧表面20a侧相反的下侧表面20b侧。因此，如果使用上述结构，则能够以尽可能小的宽度和在器件排列方向上的长度实现流量控制器16和流体控制阀17至19的可维护性良好的气体供给单元10A等或气体供给装置10。

在连接流路21内和阀安装块40内从图中右侧朝向左侧流通，而在流量控制器16和阀安装块6在连接流路21内和阀安装块40内从图中右侧朝向左侧流通，而在流量控制器16和阀安装块60内从图中左侧朝向右侧流通。因此，在本实施方式中，“气体流通方向”不是指一个方向，而是沿器件排列方向往返(或者画“圈”)的方向。

<流体供给控制装置的概要结构的变形例>

参照图15至图18，实施方式的结构相对上述实施方式增加变更。具体地，在本实施方式中，流入侧凸缘30安装在流路块20中的端面20c上。这里，端面20c是流路块20中的一个表面，是与上侧表面20a和下侧表面20b正交的表面。该端面20c被设置在流路块20的器件排列方向上的一端侧。

另外，因此，在本实施方式中，器件排列方向上的流体控制阀17和流体控制阀18的之间位置关系与上述实施方式相反。即，流体控制阀17被配置在与流体控制阀18相比更靠近端面20c的位置。而且，由于上述变更，流路块20的内部流路结构相对于上述实施方式发生变更。

连接流路21中的入口端口21a被设置为在端面20c开口。另一方面，出口端口21b被设置为在下侧表面20b的、器件排列方向上与中央部相比更靠近端面20c侧的位置(具体地，在器件排列方向上的靠近上述一端的位置)开口。而且，如图16和图18所示，连接流路21呈弯曲为直角的形状(大体L字形)以连接入口端口21a和出口端口21b。

净化气体供给端口24被设置为在下侧表面20b的、器件排列方向上靠近中央的位置开口。与上述第一实施方式相同，该净化气体供给端口24与内部净化气体管线25连接。

连接流路22中的入口端口22a被设置为在连接流路21中的出口端口21b和净化气体供给端口24之间的位置并在下侧表面20b开口。另一方面，出口端口22b被设置为在上侧表面20a的、在器件排列方向上与中央部相比更靠近端面20c侧的位置开口。具体地，出口端口22b被配置在以平面视角看与连接流路21中的出口端口21b大体一致的位置。而且，连接流路22被形成为将入口端口22a和出口端口22b以直线状连接。更详细地，在本实施方式中，连接流路22被设置为以正视视角看倾斜以与流路块20的厚度方向相交。

与上述实施方式相同，连接流路23被设置在流路块20的、器件排列方向上靠近另一端的位置。即，连接流路23中的入口端口23a被设置为在器件排列方向上靠近端面20c相反侧的端部的位置，在上侧表面20a侧开口。另一方面，出口端口23b被设置为，在从连接流路21中的出口端口21b朝向连接流路22中的入口端口22a和净化气体供给端口24引出的有向线段的延长线上并在下侧表面20b侧开口。具体地，与上述实施方式相同，出口端口23b被设置在以平面角度看与入口端口23a大体一致的位置，在下侧表面20b侧开口。而且，连接流路23被形成为将入口端口23a和出口端口23b以直线状连接。

处理气体供给端口26被设置为在净化气体供给端口24和连接流路23中的出口端口23b之间的位置，并在下侧表面20b侧开口。具体地，处理气体供给端口26被配置为接近(邻近)连接流路23中的出口端口23b。与上述实施方式相同，该处理气体供给端口26与供给侧内部气体管线27连接。

一对内螺纹部28a作为在端面20c侧开口的非贯通孔，被形成为不与连接流路21和22连通。内螺纹部28b和28d是非贯通螺纹孔，被形成为在流路块20中的下侧表面20b开口。

一对内螺纹部28b中的一个被设置为在与连接流路21中的出口端口21b相比更靠近端面20c侧不与连接流路21连通。一对内螺纹部28b中的另一个和一对内螺纹部28d中的一个被设置在净化气体供给端口24和内部净化气体管线25与处理气体供给端口26和供给侧内部气体管线27之间的、未形成内部流路的区域中。

一对内螺纹部28c是在流路块20中的上侧表面20a开口的非贯通的螺纹孔，在器件排列方向上被设置在连接流路22中的出口端口22b以及连接流路23中的入口端口23a的外侧。具体地，在一对内螺纹部28c中的一个形成为在与连接流路22中的出口端口22b相比更靠近端面20c侧而不与连接流路21连通。与一对内螺纹部28d中的另一个相同，一对内螺纹部28c中的另一个被设置在器件排列方向上端面20c相反侧的端部的、未形成内部流路的区域中。

这样，在实施方式中，在流路块20中的上侧表面20a侧，沿器件排列方向呈大体直线状地配置有一对内螺纹部28c、连接流路22中的出口端口22b以及在连接流路23中的入口端口23a。另外，在流路块20中的下侧表面20b侧，沿器件排列方向呈大体直线状地配置有内螺纹部28b和28d、连接流路21中的出口端口21b、连接流路22中的入口端口22a、净化气体供给端口24、处理气体供给端口26以及连接流路23中的出口端口23b。

也就是说，在本实施方式中，连接流路21至23和内螺纹部28a至28d被配置为沿器件排列方向呈大体直线状。而且，连接流路21至23被设置为绕过内螺纹部28a至28d。

如果使用上述本实施方式的结构，则通过将流入侧凸缘30设置在流路块20中的端面20c上，使得与上述实施方式的结构相比，在流路块20的器件排列方向上的尺寸减小。

另外，如图19所示，流体控制阀17等也可以安装在流路块20中的端面(与上侧表面20a和下侧表面20b不同的表面)上。

当在气体供给装置10中设置有多个气体供给单元10A、10B…时，本发明的结构并不限于如上述各实施方式的、一个流路块20是跨越多个气体供给单元10A、10B…的共同(一个整体)流路块。即，流路块20也可以被构成为与多个气体供给单元10A、10B…分别对应地进行分割。

另外，一个气体供给单元10A等中所包括的流体控制阀17等的数量也不限于上述实施方式。另外，流体控制阀17等也可以不使用内螺纹部或螺栓，也可以预先与流路块20形成为一个整体。

图20至图22示出与上述变形例对应的结构。在图20至图22所示的本变形例中，气体供给单元10A、10B…被构成为互相分离的部件，并且能够在宽度方向上互相连结。另外，在图20中，为了简化图示，只示出2个气体供给单元10A、10B，但是在本变形例中，能够连结任意数量的供给单元10A等。

与上述各实施方式相同，在本变形例的各气体供给单元10A等中，对于流路块20中的上侧表面20a以能够任意拆装的方式安装流路控制器16。另一方面，流体控制阀17等不使用上述的安装螺栓，预先与流路块20形成为一个整体。即，流体控制阀驱动器17a等直接地固定在流路块20上。另外，在本变形例中，流体控制阀17等被设置在流路块20中的底表面20b侧(但是，在图20中示出为下侧表面20b侧为图中的上侧)。

这里，在并列设置的多个气体供给单元10A、10B…中的、相邻的单元之间的连结经由连结面20d形成，该连结面20d是相邻的流路块20中的侧面(具有与宽度方向平行的法线的表面)。下文，详细说明用于连结相邻流路块20之间的结构。另外，用于连结上述连结体之间的结构在后面说明。

在本变形例的气体供给装置10中，设置有两种流路块20，即第一流路块201A和第二流路块202A。在并列设置的多个气体供给单元10A、10B…的连结体中，交替地配置第一流路块201A和第二流路块202A。即，例如，第一流路块201A设置在气体供给单元10A上，而第二流路块202A设置在气体供给单元10B上。

在第一流路块201A和第二流路块202A中，净化气体供给端口24和处理气体供给端口26被设置为分别在一对连结面20d上开口。在第一流路块201A和第二流路块202A上设置有连结用螺纹孔211H和连结螺栓插入孔212H。连结用螺纹孔211H是沿宽度方向贯通的螺纹孔，能够与连结螺栓B螺纹固定。连结螺栓插入孔212H是具有能够容纳连结螺栓B的头部的肩部的贯通孔，能够由连结螺栓B的外螺纹部插入。

在本变形例中，一对连结用螺纹孔211H被设置在净化气体供给端口24两侧的对角位置。另外，一对连结螺栓插入孔212H被设置在净化气体供给端口24两侧的对角位置。而且，一对连结用螺纹孔211H和一对连结螺栓插入孔212H被配置为从正视视角(即与宽度方向平行地看时)看呈大体矩形。同样地，在处理气体供给端口26的周围，一对连结用螺纹孔211H和一对连结螺栓插入孔212H也被配置为从正视视角看呈大体矩形。

在本变形例中，除了连结用螺纹孔211H和连结螺栓插入孔212H的位置关系与第一流路块201A不同之外，第二流路块202A与第一流路块201A具有相同的结构。具体地，以正视视角看，第一流路块201A和第二流路块202A被形成为，第一流路块201A中的连结用螺纹孔211H所设置的位置和第二流路块202A中的连结螺栓插入孔212H所设置的位置一致，并且第一流路块201A中的连结螺栓插入孔212H所设置的位置和第二流路块202A中的连结用螺纹孔211H所设置的位置一致。因此，下文，参考第一流路块201A的立体图，即图21和图22，说明第一流路块201A和第二流路块202A的详细结构。

在第一流路块201A(第二流路块202A)的连结面20d上的净化气体供给端口24的周围，比连结用螺纹孔211H和连结螺栓插入孔212H更靠近内侧(净化气体供给端口24内侧)，设置有供给管线密封肩部213A。该供给管线密封肩部213A被形成为如下结构，即，能够将用于密封连接的密封部件(未示出)安装在相邻的第二流路块202A(第一流路块201A)和净化气体供给端口24的位置。

同样地，在第一流路块201A(第二流路块202A)的连结面20d上的处理气体供给端口26的周围，比连结用螺纹孔211H和连结螺栓插入孔212H更靠近内侧(处理气体供给端口26内侧)，设置有供给管线密封肩部214A。该供给管线密封肩部214A被形成为如下结构，即，能够将用于密封连接的密封部件(未示出)安装在相邻的第二流路块202A(第一流路块201A)和处理气体供给端口26的位置。

在第一流路块201A和第二流路块202A上设置有在下侧表面20b开口的大体圆筒状的非贯通孔，即，驱动器安装孔215A、216A以及217A。在本变形例中，沿器件排列方向呈直线状地依次配置有驱动器安装孔215A、216A以及217A。即，驱动器安装孔215A被设置在第一流路块201A和第二流路块202A的器件排列方向上靠近一个端部(图21中的左侧)的位置。另一方面，驱动器安装孔217A被设置在第一流路块201A和第二流路块202A的器件排列方向上靠近另一个端部(图21中的右侧)的位置。

驱动器安装孔215A、216A以及217A分别能够固定流体控制阀驱动器18a、17a以及19a。另外，驱动器安装孔215A、216A以及217A在深度方向上的端部被设置为，在安装流体控制阀驱动器18a、17a以及19a后构成在流体控制阀18、17以及19中的阀室。

下文，说明在第一流路块201A和第二流路块202A中的、内部的流路结构。在本实施方式中，连接流路23中的入口端口23a被设置在以平面视角看与驱动器安装孔217A重叠的位置(更详细地，是与驱动器安装孔217A的中心轴共轴的位置)并在上侧表面20a开口。连接流路23中的出口端口23b被设置为在驱动器安装孔217A的平面视角下的大体中央部开口。而且，连接流路23被形成为从入口端口23a朝向出口端口23b的大体圆筒状的贯通孔。即，连接流路23被形成为将经过流量控制器16从入口端口23a流入的气体经过驱动器安装孔217A(流体控制阀19)向处理气体供给端口26排出。

在第一流路块201A和第二流路块202A上设置有用于连接流入侧凸缘30和流体控制阀17(驱动器安装孔216A)的连接流路223。连接流路223具有入口端口223a、出口端口223b、第一入口通路223c、第二入口通路223d以及连接路223e。

入口端口223a被设置在用于以能够任意拆装的方式安装流入侧凸缘30的一对内螺纹部28a的中间位置，并在下侧表面20b侧开口。出口端口223b被设置为在驱动器安装孔216A开口。第一入口通路223c是呈大体圆筒状的非贯通孔，被设置为从入口端口223a朝向上侧表面20a侧延伸。第二入口通路223d被设置为从第一入口通路223c中的入口端口223a相反侧的端部沿宽度方向延伸。

连接路223e被设置为与气体流通方向平行，并且是按以下过程形成的空间，即，使用由不锈钢形成的平板状(以平面视角看是长圆形)的盖部(未示出)通过焊接(例如激光焊接或电子光束焊接)等密封地封闭从第二入口通路223d的延伸方向的连结面20d侧形成的槽。该连接路223e中的一侧端部与第二入口通路223d连接。另外，连接路223e中的另一侧端部与出口端口223b连接。

另外，在第一流路块201A和第二流路块202A上设置有用于连接流体控制阀17、18(驱动器安装孔216A和215A)与流量控制器16的连接流路222A。在本实施方式中，连接流路222A具有入口端口222a、出口端口222b、第一入口通路222c、第二入口通路222d、连接路222e、出口通路222g以及汇合通路222h。

入口端口222a被设置为在驱动器安装孔216A的平面视角下的大体中央部开口。出口端口222b被设置在以平面视角看与驱动器安装孔215A重叠的位置(更详细地，是与驱动器安装孔215A的中心轴共轴的位置)并在上侧表面20a开口。另外，在与出口端口222b相比更靠近器件排列方向上的外侧，一对内螺纹部28c中的一个被设置为在上侧表面20a侧开口。在与连接流路23中的入口端口23a相比更靠近器件排列方向上的外侧，一对内螺纹部28c中的另一个被设置为在上侧表面20a侧开口。

第一入口通路222c是呈大体圆筒状的非贯通孔，被设置为从入口端口222a朝向上侧表面20a侧延伸。第二入口通路222d被设置为从第一入口通路222c中的入口端口222a的相反侧的端部沿宽度方向延伸。

连接路222e被设置为与气体流通方向平行，并且是按以下过程形成的空间，即，使用由不锈钢形成的平板状(以平面视角看是长圆形)的盖部(未示出)通过焊接(例如激光焊接或电子光束焊接)等密封地封闭从第二入口通路223d的延伸方向的连结面20d侧形成的槽。该连接路222e中的一侧端部与第二入口通路222d连接。另外，连接路222e中的另一侧端部与出口通路222g连接。

出口通路222g被设置为从连接路222e中的上述另一侧端部朝向第二入口通路222d的相反侧沿宽度方向延伸。该出口通路222g与汇合通路222h连接。汇合通路222h是大体圆筒状的贯通孔，被设置为将驱动器安装孔215A在平面视角下的大体中央部和出口端口222b连接。

在本变形例中，连接流路222A被形成为，通过将经由连接流路223中的出口端口223b流入驱动器安装孔216A(流体控制阀17)中的处理气体从入口端口222a经由第一入口通路222c、第二入口通路222d、连接路222e、出口通路222g以及汇合通路222h从出口端口222b排出，从而能够向流量控制器16供给上述处理气体。另外，连接流路222A被形成为通过将从净化气体供给端口24流入的净化气体经由驱动器安装孔215A(流体控制阀18)以及汇合通路222h从出口端口222b排出，从而能够向流量控制器16供给上述净化气体。

另外，在本变形例中，通过结合了设置在一对连结面20d之中的一面上的净化气体供给端口24、驱动器安装孔215A(流体控制阀18)以及设置在一对连结面20d之中的另一面上的净化气体供给端口24的净化气体流路，从而形成与上述实施方式中的内部净化气体管线相当的部件。同样地，通过结合了设置在一对连结面20d之中的一面上的处理气体供给端口26、驱动器安装孔217A(流体控制阀19)以及设置在一对连结面20d之中的另一面上的处理气体供给端口26的处理气体流路，从而形成与上述实施方式中的供给侧内部气体管线相当的部件。

而且，在本变形例中，以平面视角看沿气体流通方向呈大体直线状地配置有内螺纹部28a和28c、连接流路23、在连接流路223中的入口端口223a以及第一入口通路223c、在连接流路222A中的入口端口222a、出口端口222b、第一入口通路222c以及连接路222e。而且，连接流路223和222A被设置为不与内螺纹部28a和28c连通。

这样，在并列设置有多个气体供给单元10A、10B…的连结体中，通过使用连结螺栓B和上述密封部件(未示出)接合相邻的第一流路块201A和第二流路块202A，使得相对的净化气体供给端口24之间和相对的处理气体供给端口26之间分别密封地连接。由此，形成穿过多个净化气体供给端口24和多个驱动器安装孔215A(流体控制阀18)的内部净化气体管线。另外，同样地，形成穿过多个处理气体供给端口26和多个驱动器安装孔217A(流体控制阀19)的供给侧内部气体管线。

在上述构造中，相对于流体控制阀17等设置为一个整体的流路块20，以能够任意拆装的方式安装流量控制器16。因此，如果使用上述结构，则能够在图20中高度方向上良好地实现气体供给单元10A等或气体供给装置10的小型化。另外，能够以尽可能小的宽度实现易于组装并且流量控制器16的可维护性良好的气体供给单元10A等或气体供给装置10。另外，通过并列设置多个气体供给单元10A、10B…使得能够以尽可能小的宽度实现可以供给多种处理气体的气体供给装置10。

另外，流体控制阀17等也可以一部分相对于流路块20预先安装，剩余部分相对于流路块20任意拆装。

如果使用上述各实施方式和变形例中记载的结构，则如上所述，能够将可以供给多种处理气体的供给装置10尽可能地小型化。特别地，如果使用上述各实施方式和变形例中记载的结构，则在具有将主体部分的宽度尺寸尽可能减小设计的流体控制阀17等流体控制器件(例如，后述具有将设置面积尽可能减小的结构的气动阀)的气体供给单元10A等中，用于将上述流体控制器件以能够任意拆装的方式安装在流路块20上的安装构造，或用于连接多个流体控制器件之间的流路构造所引起的宽度尺寸的增加得到良好的抑制。

<配管接头和配管连接构造的结构>

参照图23至图30，说明本发明一实施方式的配管接头1和1A，以及本发明一实施方式的配管连接构造PJ。配管接头1和配管接头1A具有大体相同的结构。因此，首先，使用图23至图25详细地说明配管接头1的结构。另外，图31示出作为比较例的现有技术的配管接头构造1C。

配管接头1具有主体部2。主体部2被形成为大体长方体状的外形形状，该大体长方体状的外形形状具有与在图23至图25上的左右方向平行的长度方向。即，配管接头1具有接合面2a、顶面2b、第一端面2c、第二端面2d、第一侧面2e以及第二侧面2f这六个平面状的表面。

接合面2a(具体为底面)是以与长度方向和宽度方向(在图23中的上下方向)双方正交的高度方向为法线的平面。该接合面2a是被设置为与配管接头1的安装对象接合的平面，被形成为大体长方形。顶面2b被设置为与接合面2a平行。

第一端面2c与第二端面2d是以长度方向为法线的主体部2的端面，被设置为互相平行。第一侧面2e与第二侧面2f是以宽度方向为法线的主体部2的侧面，被设置为互相平行。

在接合面2a上形成有第一开口部2g和密封阶梯部2h。即，第一开口部2g被设置为在接合面2a上开口。在本实施方式中，第一开口部2g被设置在接合面2a的、宽度方向上的大体中央部。密封阶梯部2h形成为在第一开口部2g的周围能够容纳密封部件(未示出)。这里，密封部件是指，在将配管接头1相对于安装对象安装(接合或固定)时，用于将在该安装对象上形成的流体通路和在配管接头1的内部形成的流体通路(后面详细说明)气密地或液密地连接的部件。另外，由于上述密封部件的结构是公知的，因此在本说明书中省略关于该结构的图示和进一步的详细说明。

在主体部2沿高度方向形成有第一螺栓插入孔2k和第二螺栓插入孔2m。在本实施方式中，第一螺栓插入孔2k和第二螺栓插入孔2m是在将配管接头1相对于安装对象安装时用于插入螺丝(螺栓：例如图29中示出的螺栓B)的、不具有螺纹部的贯通孔，被设置为在接合面2a和顶面2b上开口。

相当于本发明的“流路侧螺丝插入孔”的第一螺栓插入孔2k被设置为与第一开口部2g相比更靠近第一端面2c。即，第一螺栓插入孔2k被设置在靠近主体部2的长度方向上的、设置有后述的第二开口部2p侧的端部的位置。另一方面，第二螺栓插入孔2m被配置在主体部2的长度方向上的第二端面2d侧的端部。具体地，以平面视角看，第一螺栓插入孔2k和第二螺栓插入孔2m被设置在第一开口部2g两侧对称的位置。

第一端面2c上形成有第二开口部2p。即，第二开口部2p被设置为在主体部2的长度方向上在第一端面2c的端部开口。在本实施方式中，第二开口部2p被设置在主体部2的、宽度方向上的大体中央部(即关于宽度方向与第一开口部2g大体相同的位置)。另外，在本实施方式中，第二开口部2p由管部3覆盖。管部3是设置为从第一端面2c朝向该第一端面2c的法线方向向外侧突出的大体圆筒状的部件，其外径比主体部2的宽度(宽度方向上的尺寸：下文相同)略小。

在主体部2的内部形成有连通第一开口部2g和第二开口部2p(管部3)的流体通路(典型地是气体通路)。具体地，在主体部2的内部设置有第一通路4和第二通路5。

第一通路4从第一开口部2g沿高度方向设置。在本实施方式中，第一通路4被形成为非贯通孔。第二通路5沿长度方向被设置为穿过第二开口部2p并且与第一通路4连接。具体地，在本实施方式中，第二通路5沿长度方向被设置为将与在第一通路4中的第一开口部2g相比更远离接合面2a的位置和第二开口部2p连接。即，第二通路5被设置为将在第一通路4中的第一开口部2g相反侧的端部和第二开口部2p连接。

第二通路5被设置在第一螺栓插入孔2k侧(即，不阻碍第二螺栓插入孔2m的位置)。特别地，第二通路5形成为绕过第一螺栓插入孔2k。具体地，在本实施方式中，第二通路5具有开口侧通路6和中间通路7。

开口侧通路6是从第二开口部2p沿长度方向设置的非贯通孔，被形成为不到达第一螺栓插入孔2k。中间通路7沿长度方向形成为不与第一螺栓插入孔2k连通而从其侧方穿过。即，中间通路7被设置在在宽度方向上与第一螺栓插入孔2k相比更靠近主体部2中的第一侧面2e的位置。具体地，中间通路7被设置为与长度方向平行，并且是通过以下过程形成的空间，即，使用由不锈钢形成的平板状(以平面视角看是长圆形)的盖部7a通过焊接(例如激光焊接或电子光束焊接)等气密地或液密地封闭从第一侧面2e处形成的槽。

中间通路7的一端被设置为，经由极其短的流体通路，即，连通部8a与在第一通路4中的顶面2b侧的顶部连通。同样地，中间通路7的另一端被设置为，经由极其短的流体通路，即，连通部8b与在开口侧通路6中的第一螺栓插入孔2k侧的顶部连通。这样，在主体部2的内部，从第二开口部2p到达第一开口部2g的流体通路形成为绕过第一螺栓插入孔2k并沿长度方向呈大体L字形。

除了代替第一螺栓插入孔2k而具有第一螺栓插入口9a，并且代替第二螺栓插入孔2m而具有第二螺栓插入口9b之外，配管接头1A与配管接头1具有(大体)相同的结构。因此，对于图26至图28所示的配管接头1A的结构中的、第一螺栓插入口9a和第二螺栓插入口9b之外部分的说明，援引上述配管接头1的说明。

第一螺栓插入孔9a具有能够将插入第一螺栓插入孔2k的上述螺丝螺纹固定的螺纹部。在本实施方式中，该第一螺栓插入孔9a被形成为只在接合面2a开口的非贯通孔。同样地，第二螺栓插入孔9b具有能够将插入第二螺栓插入孔2m的上述螺丝螺纹固定的螺纹部。在本实施方式中，该第二螺栓插入孔9b也被形成为只在接合面2a开口的非贯通孔。

配管接头1和1A的结构为，沿长度方向(具体为与长度方向平行的)的第二开口部2p的中心轴线C1与沿高度方向(具体为与高度方向平行的)的第一开口部2g的中心轴线C2在主体部2的宽度方向上的大体中央部相交(具体为正交)。

图29所示的配管连接构造PJ具有配管接头1和配管接头1A。在配管接头1中的管部3通过焊接(例如TIG焊接)等气密地或液密地与由不锈钢形成的管状的配管P11连接。同样地，在配管接头1A中的管部3通过焊接(例如TIG焊接)等气密地或液密地与由不锈钢形成的管状的配管P12连接。配管接头1和配管接头1A以彼此的第一开口部2g重叠的方式在彼此的接合面2a接合。而且，通过上述过程将配管接头1的接合面2a和配管接头1A的接合面2a互相地接合，将一根螺栓B插入第一螺栓插入孔2k并与第一螺栓插入孔9a螺纹固定，并且将又一根螺栓B插入第二螺栓插入孔2m并与第二螺栓插入孔9b螺纹固定，从而形成配管连接构造PJ。

为了连接配管P11与配管P12、连接配管P21与配管P22、连接配管P31与配管P32、以及连接配管P41与配管P42，图30所示的配管连接构造PJ具有4组图29所示的配管连接构造PJ。

<作用·效果>

在上述实施方式的结构中，在第一通路4和第二开口部2p(管部3)之间的流体通路沿长度方向形成为绕过第一螺栓插入孔2k(9a)，其中，第一通路4在第一螺栓孔2k(9a)和第二螺栓插入孔2m(9b)之间沿高度方向设置。通过沿高度方向将螺丝(螺栓B等)插入第一螺栓插入孔2k和第二螺栓插入孔2m，相对于安装对象固定(安装)上述结构的配管接头1。

这里，通过使第一通路4和第二通路5在宽度方向上尽可能地接近，并且将第一螺栓孔2k(9a)和第二通路5以互相不连通的程度在宽度方向上尽可能地接近，使得尽可能地减小主体部2在宽度方向上的尺寸。因此，如果使用上述结构，则在宽度方向上能够对装置结构良好地进行小型化或集成化。

而且，在配管接头1和1A中，沿长度方向的第二开口部2p的中心轴线C1与沿高度方向的第一开口部2g的中心轴线C2在主体部2的宽度方向上的大体中央部相交(具体为在同一面上正交)。在上述结构中，配管接头1中的中心轴线C1和配管接头1A中的中心轴线C1在宽度方向上大体一致。因此，如果使用上述结构，则配管设计变得容易。具体地，能够将2个配管P11、P12在宽度方向上呈大体直线状地配置并连接。另外，在使用螺丝将配管接头1相对某些安装对象安装时，能够良好地回避管部3、与其连接的配管与上述螺丝或该紧固用工具之间产生的干扰。

特别地，如图29和图30所示，在通过连接(连结)配管接头1和配管接头1A所形成的配管连接构造PJ中，通过从配管接头1中的顶面2b侧沿高度方向插入棒状的六角扳手等操作螺栓B，可以进行紧固(连结)或分离配管接头1和配管接头1A的操作。因此，如果使用上述结构，即使尽可能地减小配管接头1和配管接头1A的宽度也能够确保良好的可维护性(上述操作的操作性)。

另外，如图30所示，当将并列设置的多个配管P11、P21…和并列设置的多个配管P12、P22分别互相连接时，与现有技术的配管接头构造IC(参照图31)相比，在宽度方向上能够将上述用于形成连接的配管连接构造PJ良好地集成化。

即，如上所示，如图30所示的“d”表示在将螺栓B从配管接头1中的顶面2b侧沿高度方向操作时的必要的、邻接的配管之间的间隔。这里，在图30中，由于并列设置的4根配管P11至P41和并列设置的4根配管P12至P42连接，因此P11和P14之间的中心间距(P12和P42的中心间距)D是3d。

与此相对，在现有技术的配管结构接头构造1C(参照图31)中，通过从配管P11等正交的方向插入扳手并以配管P11等的轴向为中心旋转，进行用于紧固或分离的维护操作。因此，在使用现有技术的配管接头构造1C时，即使在与图30相同地将配管P11至P41与配管12至42连接的情况下，如图31所示，邻接的配管之间的间隔d1远大于图30中的间隔d，P11与P41的中心间距(P12与P42的中心间距)D1也远大于图30中的中心间距D。

接着，参照图32和图34，说明将上述配管接头1应用于(参照图23至图25)作为本发明的“流体供给控制装置”的气体供给装置10时的具体示例。

一对内螺纹部28a1、28a2被设置在与配管接头1对应的位置。具体地，与配管接头1对应的一对内螺纹部28a1、28a2在器件排列方向上排列在连接流路21中的入口端口21a的两侧。即，内螺纹部28a1(在气体流通方向上的上游侧)被设置在流路块20的气体流通方向上的最上游侧的位置。一对内螺纹部28b被设置在与流体控制阀17和18对应的位置。一对内螺纹部28c被设置在与流量控制器16对应的位置。一对内螺纹部28d被设置在与流体控制阀19对应的位置。

在本实施方式中，沿气体流通方向(器件排列方向)在大体一条直线上依次排列有一对内螺纹部28a1和28a2、一对内螺纹部28b、一对内螺纹部28c、一对内螺纹部28d。具体地，内螺纹部28b、28c和28d被设置为以平面视角看，它们的内螺纹部中心位于与流通方向平行的直线，即中心线上C(参照图32中的单点虚线)上的位置。另外，一对内螺纹部28a1、28a2被设置为以平面视角看，构成内径的圆与中心线C重叠。

另外，在本实施方式中，内螺纹部28a1被设置为其中心与上述中心线C相比在装置宽度方向上的一侧(气体供给单元10B至10D的相反侧)偏置。同样地，内螺纹部28a2被设置为其中心与上述中心线C相比在装置宽度方向上的另一侧偏置(气体供给单元10B至10D侧)

在气体供给单元10A、10B、10C以及10D上分别设置有一个配管接头1。气体供给单元10A中的配管接头1与连接流路21中的入口端口21a(相当于本发明的“出入口”)连接。即，通过在与入口端口21a相对的位置相对于流路块20中的上侧表面20a气密地接合该配管接头1，使得处理气体流入管线11A和入口端口21a连接(气体供给单元10B、10C以及10D中的配管接头1也具有相同的结构)。

配管接头1安装在流路块20上，使得主体部2中的长度方向为沿着器件排列方向的方向(具体为平行)，主体部2中的宽度方向为沿着上述装置的宽度方向的方向(具体为平行)，主体部2中的高度方向为沿着流路块20的厚度方向的方向(具体为平行)。另外，在主体部2中，在将配管接头1安装在流路块20上的状态下，第一螺栓插入孔2k和第二螺栓插入孔2m中的螺栓B在平面视角看与上述中心线C交叉。在主体部2中的接合面2a相对于流路块20中的上侧表面20a接合。

配管接头1安装在流路块20上，使得第一端面2c位于在气体流通方向上的上游侧。设置用于连接处理气体流入管线11的管部3，使其从该第一端面2c向大体水平方向突出。

在配管接头1安装在流路块20的状态下，第一侧面2e被设置在内螺纹部28a2侧。在配管接头1安装在流路块20的状态下，第二侧面2f被设置在内螺纹部28a1侧。

通过将一对螺栓B插入第一螺栓插入孔2k和第二螺栓插入孔2m，配管接头1与一对内螺纹部28a1、28a2螺纹固定，使得以能够任意拆装的方式将配管接头1安装在流路块20上。这里，在本实施方式中，主体部2形成为其宽度比管部3和螺栓B的外径稍大，并且与流量控制器16和流体控制阀17至19的宽度(流体控制阀驱动器17a至19a的宽度)大体相同。

第一螺栓插入孔2k与内螺纹部28a1对应地配置在以平面视角看时的管部3侧。另一方面，第二螺栓插入孔2m与内螺纹部28a2对应地配置在上述长度方向上的第二端面2d侧的端部。在配管接头1安装在流路块20的状态下，第一开口部2g被配置在与连接流路21中的入口端口21a相对的位置，该连接流路21中的入口端口21a与流路块20中的处理气体的入口对应。

密封阶梯部2h形成为能够容纳气体密封部件。在将配管接头1安装在流路块20上的状态下，该气体密部件在流路块20中的上侧表面20a和主体部2中的接合面2a的接合处，将连接流路21中的入口端口21a和第一开口部2g气密地连接。在将配管接头1安装在流路块20上的状态下，第二开口部2p被设置为在主体部2的、气体流通方向上的上游侧的端部开口。

与流体控制阀17和18对应的一对内螺纹部28b中的一个被设置在连接流路21中的出口端口21b和内螺纹部28a2之间的位置。一对内螺纹部28b中的另一个被设置在净化气体供给端口24和连接流路22中的出口端口22b之间的位置。(更严谨地说，一对内螺纹部28b中的另一个被设置在净化气体供给端口24与下文将提到的一对内螺纹部28c中的一个之间。但是，在本说明阶段一对内螺纹部28c的位置尚未确定。因此，关于一对内螺纹部28c的位置请参照下文的说明)。

与流量控制器16对应的一对内螺纹部28c中的一个被设置在一对内螺纹部28b之中在气体流通方向上的下游侧的一个和连接流路22中的出口端口22b之间的位置。一对内螺纹部28c中的另一个被设置在连接流路23中的入口端口23a和出口端口23b之间的位置。(更严谨地说，一对内螺纹部28c中的另一个被设置在入口端口23a和下文将提到的一对内螺纹部28d中的一个之间。但是，在本说明阶段一对内螺纹部28d的位置尚未确定。因此，关于一对内螺纹部28d的位置请参照下文的说明)。

另外，在MFC安装部50中的、与内螺纹部28c对应的位置形成有用于插入安装螺栓51的贯通孔(未示出)。而且，通过将安装螺栓51螺纹固定在一对内螺纹部28c上，使得流量控制器16气密地安装在流路块20中的上侧表面20a侧。即一对内螺纹部28c被设置为能够将流量控制器16(MFC安装部50)以能够任意拆装的方式安装在流路块20上。另外，由于将流量控制器16(MFC安装部50)气密地接合在流路块20中的上侧表面20a侧的结构是公知的，因此在本说明书中省略说明关于该结构的图示和更详细的说明。

如上所述，在本实施方式中，沿器件排列方向呈大体直线状地配置有内螺纹部28a1和28a2、连接流路21(包括入口端口21a、入口通路21c、连接路21e、出口通路21d以及出口端口21b)、内螺纹部28b、连接流路22(同上)、净化气体供给端口24、内螺纹部28c、连接流路23(同上)、处理气体供给端口26以及内螺纹部28d。另外，内螺纹部28a1、28a2、28b、28c、28d形成在上侧表面20a开口的非贯通孔。即，连接流路21、22和23被形成为在内螺纹部28a1至28d的深度方向上绕过该内螺纹部28a1至28d。具体地，内螺纹部28a1至28d不与连接流路21至23连通。

<作用·效果>

在如上所述的本实施方式的结构中，通过一对内螺纹部28a1、28a2，配管接头1以能够任意拆装的方式安装在流路块20上。同样地，通过一对内螺纹部28b，流体控制阀17和18以能够任意拆装的方式安装在流路块20上。另外，通过一对内螺纹部28c，流量控制器16以能够任意拆装的方式安装在流路块20上。而且，通过一对内螺纹部28d，流体控制阀19以能够任意拆装的方式安装在流路块20上。

于是，配管接头1和流体控制阀17、18通过连接流路21连接。同样地，流体控制阀17、18和流量控制器16通过连接流路22连接。而且，流量控制器16和流体控制阀19通过连接流路23连接。而且，这些连接回路21至23被配置在与内螺纹部28a至28d大体相同的直线上，并且形成为在深度方向上绕过内螺纹部28a至28d。

因此，如果使用上述结构，则即使最小限度地设定配管接头1、阀安装块40、MFC安装部50以及阀安装块60的宽度(具体为与流量控制器16和流体控制阀驱动器17a至19a的宽度大体相同)，也能够使得流量控制器16和流体控制阀17至19相对于流路块20良好地任意拆装。换言之，无需使用在平面视角看为大体矩形的各4根安装用螺栓，就能够使得上述部件相对于流路块20良好地任意拆装。因此，如果使用上述结构，则能够尽可能地减小各气体供给单元10A等的宽度和气体供给装置10整体的宽度，因此，在气体供给装置10中，能够保持良好的可维护性，并且实现进一步的小型化。

特别地，如果着眼于相对流路块20的配管部分的结构，则在配管接头1中，在形成为以平面视角看具有长度方向的外形形状的主体部2的、长度方向上的第二开口部2p侧相反侧的端部设置有第一螺栓插入孔2k。另外，第一螺栓插入孔2k和第二螺栓插入口孔2m被设置在朝向流路块20开口的第一开口部2g以及第一通路4两侧大体对称的位置。使用该第一螺栓插入孔2k和第二螺栓插入口孔2m以及螺栓B将配管接头1安装在流路块20上。

这里，在主体2的内部中，从第一开口部2g沿高度方向设置有第一通路4。而且，从隔离第一通路4中的第一开口部2g的位置沿长度方向绕过第一螺栓插入孔2k设置有第二通路5。

即，在上述结构中，在主体部2的内部，第一开口部2g和第二开口部2p之间形成由以侧截面视角看呈大体L字形的气体通路。另外，通过使第一通路4和第二通路5在宽度方向尽可能地接近，并且使第二螺栓插入孔2m和第二通路5以互相不连通的程度在宽度方向上尽可能地接近，使得能够尽可能地减小主体部2在宽度方向上的尺寸。

另外，在上述结构中，尽可能地减小对于流路块20的配管部分的结构。即，通过流量控制器16和流体控制阀17至19以及用于将这些部件安装在流路块20上的结构(内螺纹部28b等以及安装螺栓41等)，以及沿气体流通方向呈大体直线状排列的内螺纹部28a1、28a2和一对螺栓B，将配管接头1安装在流路块20上。

此时，在配管接头1中，用于与处理气体流入管线11连接的气体通路结构(主体部2内部的气体通路和管部3)被设置为从主体部2大体水平地朝向气体流通方向上的上游侧延伸。因此，如图32和图33所示，处理气体流入管线11中的配管接头1附近的部分被设置为在装置宽度方向和高度方向不弯曲。

另外，在将配管接头1安装在流路块20上或从流路块20上卸下配管接头1时，第一螺栓插入孔2k和第二螺栓插入孔2m位于不干扰处理气体流入管线11中的配管接头1附近的部分的位置。因此，无需在第一螺栓插入孔2k和第二螺栓插入孔2m的上侧通过配管设计勉强做出(确保)用于对螺栓B进行紧固操作的比较大的空间。即，无需为了确保用于对配管接头1进行拆装操作的空间而特意绕过上述配管部分。因此，能够尽可能地缩短上述配管部分。

另外，在本实施方式的结构中，配管接头1、流量控制器16以及流体控制阀17至19被集中在流路块20中的上侧表面20a侧。因此，如果使用上述结构，则在不损害良好的可维护性的情况下，能够以尽可能小的宽度实现配管接头1、流量控制器16以及流体控制阀17至19集中并安装在上侧表面20a侧的结构(如果使用上述结构，则对于所有配管接头1、流量控制器16和流体控制阀17至19在维护(螺栓B和安装螺栓41的紧固或松弛动作等)时，由于能够从上侧表面20a进入，因此可维护性极其良好)的、气体供给单元10A等或气体供给装置10。

图29和图30所示的结构能够良好地适用于到达例如图32所示的处理气体流路管线11(处理气体流入管线11A、11B、11C以及11D)中的流路块20之前的配管部分中的配管连接构造。

流体控制阀17至19也可以以能够任意拆装的方式安装在下侧表面20b侧。图35是对应该变形例的结构。在本变形例中，配管接头1与上述实施方式具有相同的结构，其被安装在流路块20中的端面201B上以使管部3从下侧(下侧表面20b侧)突出。这里，端面201B是流路块20中的一个表面，也是与上侧表面20a和下侧表面20b正交的表面。该端面201B被设置在流路块20的、器件排列方向上的一端侧。

另外，在本变形例中，从端面201B侧在器件排列方向上依次排列有流体控制阀17、18以及19。由于上述变更，流路块20的内部流路结构从上述实施方式的结构改变。除此之外，与上述实施方式相同，流量控制器16、流体控制阀17至19以及配管接头1被安装在流路块20上。即，阀安装块40、MFC安装部50以及阀安装块60的结构与上述实施方式大体相同。

连接流路21中的入口端口21a被设置为在端面201B的、厚度方向上的大体中央部开口。另一方面，出口端口21b被设置为在下侧表面20b的、比在器件排列方向上的中央部更靠近端面201B侧的位置开口。而且，连接流路21被形成为直角弯曲的形状(大体L字形)以将入口端口21a和出口端口21b连接。

一对内螺纹部28a1、28a2作为在端面201B侧开口的非贯通孔不与连接流路21和22连通。具体地，内螺纹部28a1被设置为与连接流路21中的入口端口21a相比更靠近上方(上侧表面20a侧)。另一方面，内螺纹部28a2被设置为与连接流路21中的入口端口21a相比更靠近下方(下侧表面20b侧)。而且，从上到下依次排列有内螺纹部28a1、连接流路21中的入口端口21a以及内螺纹部28a2。

内螺纹部28b和28d是非贯通的螺纹孔，形成为在流路块20中的下侧表面20b开口。一对内螺纹部28b中的一个形成为在与连接流路21中的出口端口21b相比更靠近端部201B侧而不与连接流路21连通。一对内螺纹部28b中的另一个和一对内螺纹部28d中的一个被设置在净化气体供给端口24和内部净化气体管线25与处理气体供给端口26和供给侧内部气体管线27之间的、未形成内部流路的区域中。

这样，在本变形例中，在流路块20中的上侧表面20a侧，沿器件排列方向呈大体直线状地配置有一对内螺纹部28c、连接流路22中的出口端口22b以及连接流路23中的入口端口23a。另外，在流路块20中的下侧表面20b侧，沿器件排列方向呈大体直线状地配置有内螺纹部28b和28d、连接流路21中的出口端口21b、连接流路22中的入口端口22a、净化气体供给端口24以及处理气体供给端口26。

另外，在本变形例的结构中，配管接头1中的管部3被设置为向下侧(下侧表面20b侧)突出。因此，处理气体流入管线11中的配管接头1附近的部分被设置为不向装置宽度方向弯曲。因此，能够尽可能地缩短上述配管部分。

而且，如果使用本变形例的结构，则通过将配管接头1设置在流路块20中的端面201B上，使得将在流路块20的器件排列方向上的尺寸小型化。由此，能够使得流路块20的重量进一步减轻。

另外，参照图35说明本变形例中的处理气体的流通状态。首先，对于流路块20，向设置在其端面201B上的、连接流路21中的入口端口21a供给处理气体。上述处理气体在连接流路21内移动至图中右方之后向下方移动。之后，处理气体从连接流路21中的出口端口21b经过流体控制阀17直到连接流路22中的入口端口22a，在阀安装块40内流通。到此为止的处理气体的流动是在器件排列方向从图中左方朝向右方。

另一方面，连接流路22中的出口端口22b在器件排列方向上与入口端口22a相比更靠近图中的左侧。因此，在连接流路22中的处理气体的流动在器件排列方向上从图中右方朝向左方。之后，处理气体在流量控制器16(包括MFC安装部50)内在器件排列方向上从图中左方朝向右方流通。

而且，经过流量控制器16(包括MFC安装部50)向连接流路23中的入口端口23a供给的处理气体在连接流路23内向下方流通并到达阀安装块60。即使在该阀安装块60中，在经过流体控制阀19朝向处理气体供给端口26期间，处理气体在器件排列方向上从图中的右方朝向左方。这样，在本变形例中，“气体流通方向”不是在器件排列方向上的一个方向，而是沿器件排列方向往返(或者画“圈”)的方向。

本发明不限于上述实施方式或变形例中的配管结构。因此，也可以根据装置整体的配管结构适当变更配管接头1的结构。

例如，如图36至38所示，第一通路4可以被形成为从接合面2a到达顶面2b的贯通孔。在这种情况下，管部3也可以设置在顶面2b上。而且，如图39至图41所示，管部3和第二开口部2p也可以设置在第二端面2d侧。在这种情况下，以平面视角看，第一开口部2g(第一通路4)的两侧形成有一对第二通路5。典型地，在这种情况下，一对第二通路5可以设置为在第一开口部2g(第一通路4)的两侧大体点对称。

管部3可以适当省略。

第一螺栓插入孔2k和第二螺栓插入孔2m也可以不设置在以平面视角看位于第一开口部2g两侧对称的位置。即，在能够良好地确保在第一开口部2g中的密封的范围内，可以适当变更第一螺栓插入孔2k和第二螺栓插入孔2m的位置。

本发明不限于适用于向流路块20流通的流体的供给部分。即，本发明也可以适用于从流路块20流出的流体的流出部分(流出侧接头)。

以前，在利用操作空气的压力使2个以上的活塞滑动的气动阀中，为了使阀体与阀座抵接或者离开，使用阀体向阀座抵接的方向施力的压缩弹簧。在半导体制造工序中，为了处理危险的气体需要阻止从制造半导体用的气动阀泄漏哪怕一点气体。因此，要求气动阀在关闭时的高密封性。例如，专利文献1(日本国专利申请公开公报“特开平04-248085号”)中有如图53所示的气动阀100V。

但是，气动阀100V存在如下的问题。

即，气动阀100V中有活塞101AV、101BV、101CV。在各个活塞中圆周状地安装有8个螺旋弹簧102AV至102AV、102BV至102BV、102CV至102CV，并使用上述螺旋弹簧。在8个螺旋弹簧之中，例如，如果任何一个螺旋弹簧劣化，则有阀体破坏平衡的倾向，气动阀100V关闭时所必要的密封力可能恶化。

为了解决上述问题，在专利文献2(日本国专利申请公开公报“特开2008-144819号”)记载的气动阀200V中，如图54所示，为了在关闭阀时获得密封力，第一活塞201V和第二活塞202V之中的第一活塞201V中在同一平面上具有2个螺旋弹簧203V、204V。

但是，专利文献2中记载的气动阀200V存在如下的问题。

(1)为了获得关闭阀所需要的密封力，像气动阀200V一样，如果将2个螺旋弹簧203V、204V安装在第一活塞201V的同一平面上，则阀的尺寸可能变大。近年来，在半导体制造装置中，随着半导体晶圆制造工序的复杂化，需要切换多种气体。与之相伴的是应该设置的阀的数量增加。因此，如果设置多个气动阀，则产生整体设置面积增加的问题。因此，将一个一个的阀小型化的要求强烈。

(2)另外，如果将阀小型化，则设置面积受限，失去弹簧线径或弹簧直径的自由度。其原因是，如果设置面积受限，则不得不减小弹簧的线径，并且，只能使用直径很小的弹簧。因此，施加于一个弹簧上的应力提高，弹簧的耐久性产生问题。特别地，在半导体制造工序中，为了处理危险的气体，确保将用于半导体制造的流体控制阀关闭时所需要的密封力，以及阀的性能、耐久性等是大的问题。

本发明的目的在于，为了解决上述问题点，提供这样的流体控制阀，其能够在将阀小型化、实现整体设置面积的减小的同时，提高压缩弹簧的设计自由度，确保关闭阀所需要的密封力。

<流体控制阀的结构>

如图42所示，流体控制阀1V(上述流体控制阀17至19)包括控制流体的阀部YV，以及给予阀部YV驱动力的驱动器部XV。流体控制阀1V将驱动器部XV经由适配件15V与主体14V连结。流体控制阀1V具有与铅笔相同程度的直径，形成圆柱状的外观。

如图44所示，阀部YV具有主体14V和支持部16V。在主体14V的底面形成有供控制流体流入的入口流路14bV和供控制流体流出的出口流路14cV。在主体14V的顶面，安装孔14dV形成为圆柱状。在主体14V的中央部形成有阀座14aV，入口流路14bV和出口流路14cV经由阀座14aV中的阀孔连通。

在主体14V的上部，支持部16V通过焊接固定于焊接部29V。由此，主体14V和支持部16V形成为一个整体并被密封。如图42所示，在支持部16V的上部安装有适配件15V。在支持部16V的上方外周面上设置有外螺纹部16aV，在适配件15V的内周面上设置有内螺纹部15aV。在支持部16V的内周面上可滑动地保持有圆筒状的杆24V。在支持部16V的顶面形成有开口部，其容纳压缩弹簧19V。另外，在支持部16V的底面安装有波纹管17V的上端面。波纹管17V的下端面安装于形成在杆24V的底面的阀体保持部24aV。在阀体保持部24aV上安装有由弹性体组成的阀体18V。即，阀体18V和支持部16V之间配置有波纹管17V。

阀体18V相对于阀座14aV抵接或分离。当阀体18V与阀座14aV抵接时，入口流路14bV和出口流路14cV被截断，当阀体18V离开阀座14aV时，入口流路14bV和出口流路14cV连通。在杆24V上设置有弹簧安装板28V，压缩弹簧19V的上端面和弹簧安装板28V的下端面抵接。压缩弹簧19V的下端面与支持部16V的开口部顶面抵接。压缩弹簧19V向使阀体18V从阀座14aV分离的方向施力。如图43所示，在杆24V的上方外周部和内部部件23AV的内周面之间安装有用于防止空气泄漏的O形环27V。

如图43所示，驱动器部XV共轴地以直列方式具有第一活塞11AV、第二活塞11BV。共轴是指轴心相同。另外，在第一活塞11AV上共轴地安装有一个第一压缩弹簧12AV，该第一压缩弹簧12AV向阀体18V与阀座14aV抵接的方向施力，在第二活塞11BV上共轴地安装有一个第二压缩弹簧12BV，该第二压缩弹簧12BV向阀体18V与阀座14aV抵接的方向施力。由于分别共轴地以直列方式安装，因此能够减小阀的宽度，并能够减小尺寸。另外，第一活塞11AV和第二活塞11BV、第一压缩弹簧12AV和第二压缩弹簧12BV以及内部部件23AV和内部部件23BV各自具有相同的形状。因此，能够使部件通用化，并且能够削减制造成本。另外，在组装时，操作的效率提高。

而且，驱动器部XV具有内部部件23AV和内部部件23BV、外部部件22V以及盖部20V。

另外，在相同形状的各个部件中，通过说明一个部件而省略其他部件的说明。另外，由于说明书繁杂，因此适当省略相同形状的部件的“A”、“B”。

如图43所示，驱动器部XV中，管形的外部部件22V中装有2个内部部件23AV、23BV。内部部件23V形成为侧面是圆筒状。内部部件23V的上方内部形成有气缸23aV。内部部件23V的外径尺寸与外部部件22V的内径尺寸大体相同。内部部件23V的下方内部形成有比外部部件22V的内径尺寸更小的开口部。在外部部件22V的前端安装有盖部20V，在另一端安装有适配件15V。由此，在适配件15V和盖部20V之间插入并保持有内部部件23AV、23BV。内部部件23AV、23BV以与外部部件22V的内部重叠的状态固定，并形成分别容纳第一活塞11AV和第二活塞11BV的第一活塞室13AV和第二活塞室13BV。

活塞11V可滑动地装在活塞室13V中，将活塞室13V分为加压室13aV和背压室13bV。在背压室13bV中，压缩弹簧12V在将活塞11V向接近阀座14aV的方向施力的状态下，被配置为与活塞11V共轴。

如图45和图46所示，活塞11V中，活塞部11aV和活塞杆11bV形成为一个整体。活塞部11aV是圆柱形，外径尺寸比内部部件23V的内径尺寸稍小。在活塞部11aV中，沿外周面环状地设置有安装槽11cV，该安装槽11cV用于安装由橡胶等的弹性体组成的O形环25V。在活塞11V的底面形成有凹部11eV。另外，在活塞11V的内部形成有内部流路11dV。在内部流路11dV的下方形成有用于与加压室13aV连通的流路11fV。流路11fV与内部流路11dV连通。即，形成在盖部20V的内周面上的给排气端口20aV经由活塞11V的内部流路11dV、流路11fV与活塞11V的加压室13aV连通。

在流体控制阀1V中，2个活塞11V之中，在位于下端的第一活塞11AV的凹部11eV上配置有杆24V。另一方面，在位于上端的第二活塞11BV的凹部11eV上配置有第一活塞11AV的活塞杆11bV的上端。另外，2个活塞11V之中，在位于下端的第一活塞11AV的活塞杆11bV的外周面与内部部件23BV的下方内周部配置有用于防止空气泄漏的O形环26AV。另一方面，在位于上端的第二活塞11BV的活塞杆11bV的外周面与盖部20V的下方内周部之间配置有O形环26BV。

第一活塞11AV、第二活塞11BV的活塞部11aV的顶面分别与压缩弹簧12AV、12BV的下端面抵接，该压缩弹簧12AV、12BV向阀体18V与阀座14aV抵接的方向施力。内部部件23BV的底面与第一压缩弹簧12AV的上端面抵接，盖部20V的底面与第二压缩弹簧12BV的上端面抵接。

这里，第一压缩弹簧12AV产生的施加力(F1)和第二压缩弹簧12BV产生的施加力(F2)的总和(F1+F2)是使阀体18V向阀座14aV抵接的力(F＝F1+F2)，即用于关闭流体控制阀1V的密封力。另外，由于压缩弹簧19V的阻力小于使阀体18V向阀座14aV抵接的力(F)，因此省略说明压缩弹簧19V的阻力。另外，在后述其他实施方式的流体控制阀2V、3V中，同样省略说明压缩弹簧19V的阻力。

另外，由于第一压缩弹簧12AV和第二压缩弹簧12BV的形状相同，因此具有相同程度的施加力(F1＝F2)。即，在堆叠2个活塞的情况下，一个弹簧所需施加的施加力为F/2＝F1＝F2。因此，能够降低各个弹簧的施加力。即，能够降低施加于一个弹簧的应力，提高弹簧的耐久性。另外，弹簧的设计自由度提高。

另外，在后述的其他实施方式的流体控制阀2V中，虽然具有6个第一压缩弹簧12AV至第六压缩弹簧12FV，但是各个压缩弹簧12V的施加力的总和(F1+F2+F3+F4+F5+F6)是使阀体18V向阀座14aV抵接的力(F＝F1+F2+F3+F4+F5+F6)。另外，一个弹簧所需施加的施加力为F/6＝F1＝F2＝F3＝F4＝F5＝F6。另外，由于后述的其他实施方式的流体控制阀3V与其他实施方式的流体控制阀2V具有相同数量的活塞，因此省略说明。

流体控制阀1V经由形成在盖部20V的内周面上的给排气端口20aV供给空气或排出空气。盖部20V的外周面由外部部件22V覆盖，盖部20V的顶面安装有直插式管接头21V。简单操作的接头21V与空气管(未示出)连接。这样，由于空气管可以在顶面连接，因此能够防止设置面积的增加。

(流体控制阀的组装)

下面，使用图47说明本实施方式的流体控制阀1的组装。驱动器部XV和阀部YV各自另行组装。因此，驱动器部XV相对于构成阀部YV的支持部16V能够拆装。

首先，说明驱动器部XV的组装。将密封部件25AV安装在第一活塞11AV和第二活塞11BV的安装槽11cV中。将适配件15V压入外部部件22V一端的开口部中。将内部部件23AV、活塞11AV、压缩弹簧12AV、内部部件23BV、活塞11BV以及压缩弹簧12BV装入外部部件22V中。此时，活塞11V的活塞杆11bV贯通内部部件23V的贯通孔和盖部20V的贯通孔。将盖部20V与外部部件22V的开口端嵌合以使贯穿从内部部件23V的贯通孔向外突出的活塞杆11bV。在这个阶段下，内部部件23V、活塞11V和压缩弹簧12V暂时保持在外部部件22V内。沿适配件15V和盖部20V的敛缝槽铆接固定外部部件22V的两端部。

接着，说明阀部YV的组装。如图47所示，将支持部16V插入主体14V的安装孔14dV中，将嵌入有杆24的支持部16V配置在安装孔14dV的内部。通过焊接将主体14V和支持部16V固定在焊接部29V。由此，将固定主体14V和支持部16V形成为一个整体并密封。另外，对于固定主体14V和支持部16V的方法，也可以隔着金属垫片等通过压入或螺纹结合来安装。

接着，将驱动器部XV与阀部YV连接。将在主体14V以螺纹方式设置的、适配件15V的内螺纹部15aV与支持部16V的外螺纹部16aV螺纹结合。此时，从支持部16V突出的杆24V碰到活塞11V的凹部11eV，将作用于活塞11V的压缩弹簧12V的弹力经由杆24V传递至阀体18V，使阀体18V与阀座14aV抵接。通过以上步骤，组装完成。

近年来，流体控制阀的小型化的要求强烈。但是，伴随小型化，由于流体控制阀的各个构成部件缩小，因此难以保持足够的强度。因此，如果为了固定主体14V和支持部16Ve而将其压入，则可能损坏构成部件。

在具有与铅笔相同程度的直径(例如约10mm的直径)的本发明的流体控制阀1V中，通过利用焊接固定主体14V和支持部16V，不会出现由于压入和螺纹结合导致的损坏，并且能够密封主体14V和支持部16V。因此，能够实现流体控制阀的小型化，并且确保阀部YV的强度。在组装或维护时，由于能够容易地从阀部YV卸下驱动器部XV，因此能够提高操作的效率。另外由于主体14V和支持部16V被密封，因此控制流体不会泄露，能够提高安全性。

(流体控制阀的动作说明)

下面，说明本实施方式的流体控制阀1V的动作。

当流体控制阀1V不向给排气端口20aV供给空气时，通过压缩弹簧12V的弹力，抵抗压缩弹簧19V的阻力而向阀座14aV方向按下活塞11V，经由杆24V使阀体18V与阀座14aV抵接。因此，向入口流路14bV供给的控制流体不从阀座14aV向出口流路14cV流动。

当通过给排气端口20aV供给空气时，空气从内部流路11dV经由流路11fV流入加压室13aV。如果流入加压室13aV的空气克服背压室13bV中的压缩弹簧12V的弹力，则压缩弹簧12V开始收缩。由此，活塞11V上升。如图42所示，当活塞11V上升时，设置在杆24V上的压缩弹簧19V不再向阀座14aV方向按压，杆24V通过压缩弹簧19V的弹力上升。伸长的波纹管17V收缩，阀体18V从阀座14aV分离。在该状态下，当向入口流路14bV供给控制流体时，控制流体从入口流路14bV经由阀座14aV内的阀孔向出口流路14cV流动。

<流体控制阀的变形例>

参照附图说明本发明的流体控制阀的其他实施方式。图48是本发明的其他实施方式的流体控制阀2V的截面图。另外，对于与上述实施方式相同的结构，在附图中添加与上述实施方式相同的附图标记，省略说明。

如图48所示，在本实施方式的流体控制阀2V(上述的流体控制阀17至19)中，通过堆叠6个相同形状的内部部件23V并将其固定在外部部件22V内，能够设置6个活塞，即第一、第二、第三、第四、第五、第六活塞11AV、11BV、11CV、11DV、11EV、11FV(下文记载为11AV至11FV)和6个压缩弹簧，即第一、第二、第三、第四、第五、第六压缩弹簧12AV、12BV、12CV、12DV、12EV、12FV(下文记载为12AV至12FV)。第一至第六活塞11AV至11FV中分别共轴地安装有一个第一至第六压缩弹簧12AV至12FV。通过堆叠6个活塞11V，形成6个活塞室13AV、13BV、13CV、13DV、13EV、13FV，从而构成6段式流体控制阀。

这里，近年来，在半导体制造装置中，为了进行多种气体的转换，应该设置的阀的数量增加，整体的设置面积减少成为课题。为了使阀小型化，正在开发具有与铅笔相同程度的直径的流体控制阀。在这种情况下，安装在活塞11V上的压缩弹簧12V的弹簧直径必须减小。因此，为了确保关闭阀时一定的密封力，需要堆叠起多个活塞11V。

本申请人通过进行多次试验，发现为了确保关闭阀时一定的密封力，需要堆叠起4个以上的活塞11V。在4个以上的活塞11V中分别共轴地安装有一个压缩弹簧12V。另外，发现与流体控制阀2V一样，在堆叠起6个活塞11V，并将6个压缩弹簧12V在上述6个活塞11V中分别安装一个时，可靠地确保一定的密封力，并且进一步提高压缩弹簧12V的耐久性。

以上，如所说明的，如果使用本发明的流体控制阀1V、2V，则

(1)在利用操作流体的压力滑动活塞11V，以使阀体18V与阀座14aV抵接或分离的流体控制阀1V、2V中，由于其特征在于，共轴地具有第一活塞11AV和第二活塞11BV，以及在第一活塞11AV中同轴地安装有向阀体18V与阀座14aV抵接的方向施力的一个第一压缩弹簧12AV，以及在第二活塞11BV中同轴地安装有向阀体18V与阀座14aV抵接的方向施力的一个第二压缩弹簧12BV，因此，由于第一活塞11AV中和第二活塞11BV中分别以直列方式安装有第一压缩弹簧12AV和第二压缩弹簧12BV，因此能够减小流体控制阀1V、2V的宽度，使其小型化。因此，能够减少整体的设置面积。

不仅是2个活塞11V(第一活塞11AV、第二活塞11BV)，为了提高用于关闭阀的密封力，例如即使堆积6个活塞11V，也只增加驱动器部X的高度。即，提高密封力，并且在保持流体控制阀自身的宽度细的状态下，设置面积不变。因此，无论活塞11V的数量是多少，都能够实现流体控制阀的小型化，并能够减少整体的设置面积。另外，无论活塞11V的数量是多少，仅仅根据阀体18V的材质和形状、必要的Cv值等组合任意数量的活塞11V，就能够容易地设定用于关闭阀所需的密封力。而且，即使任意一个压缩弹簧12V劣化，通过其他压缩弹簧12V的施加力，也不会产生阀体18失去平衡的倾向，能够确保对阀座14aV均匀的密封力。

(2)在(1)中记载的流体控制阀1V、2V中，由于其特征在于，第一活塞11AV和第二活塞11BV的形状相同，以及第一压缩弹簧12AV和第二压缩弹簧12BV的形状相同，因此将多个活塞11V与压缩弹簧12V组合时，由于分别是相同的形状，因此能够使部件通用化。因此，无需另外准备其他形状的活塞、压缩弹簧，在使用模锻制造部件的情况下，能够削减制造成本。而且，通过使部件通用化，在组装时，能够提高操作的效率。

(3)在(1)或(2)中记载的流体控制阀1V、2V中，由于其特征在于，第一压缩弹簧12AV产生的施加力和第二压缩弹簧12BV产生的施加力的总和是将阀体18V与阀座14aV抵接的力，因此第一压缩弹簧12AV和第二压缩弹簧12BV的各个施加力的总和是用于关闭流体控制阀1V、2V的密封力，因此能够分别降低各个压缩弹簧12V的弹簧应力。因此，能够提高压缩弹簧12V的耐久性。另外，压缩弹簧12V的设计自由度提高，设计·制造变得容易。而且，即使公差有偏差，也能够确保关闭阀所需要的密封力。

(4)在(1)至(3)的任一项中记载的流体控制阀1V、2V中，由于其特征在于，在形成有阀座14aV的主体14V的上部固定有支持部16V，并且波纹管17V配置在阀体18V和支持部16V之间，因此与隔膜阀体相比，能够以更小的内径获得长冲程。

(5)在(1)至(4)的任一项中记载的流体控制阀1V、2V中，由于其特征在于，在形成有阀座14aV的主体14V的上部通过焊接固定有支持部16V，因此在组装和维护时，能够容易地卸下驱动器部XV，从而提高操作的效率。另外，由于主体14V和支持部16V被密封，因此控制气体不会泄露，能够提高安全性。

(6)在(5)中记载的流体控制阀中，由于其特征在于，具有活塞11V的驱动器部XV相对于支持部16V能够拆装，因此在组装或维护时，能够马上更换驱动器部XV，从而提高操作的效率。

(7)在(1)至(6)的任一项中记载的流体控制阀1V、2V中，由于其特征在于，具有管形的外部部件22V，因此能够容易地进行组装。

(8)在(7)中记载的流体控制阀1V、2V中，由于其特征在于，在盖部20V的顶面上具有直插式管接头21V，该盖部20V被安装在外部部件22V的前端，因此能够在安装在外部部件的前端的盖部20V的顶面配置该直插式管接头21V，并且在顶面与空气管连接，因此能够防止设置面积的增加。

<流体控制阀的其他变形例>

参照附图说明本发明的流体控制阀的其他实施方式。图49是本发明其他实施方式的流体控制阀3V(上述的流体控制阀17至19)的截面图。另外，对于与上述实施方式相同的结构，在附图中添加与上述实施方式相同的附图标记，省略说明。

在上述实施方式中，说明了将波纹管17V用于流体控制阀1的阀部YV的内容。但是，在本实施方式的流体控制阀3V中，如图49所示，在阀部YV中，不使用波纹管17V而使用隔膜阀体31V构成流体控制阀3V。

阀部YV的主体14V的底面设置有入口流路14bV和出口流路14cV。在主体14V的顶面形成有圆柱状的安装孔14dV。在安装孔14dV的底壁中央部设置有环状的阀座32V，入口流路14bV和出口流路14cV经由该阀座32V连通。

阀部YV中，将隔膜阀体31V安装在主体14V的安装孔14dV中，通过由支持部34V按压隔膜阀体31V的外缘部，并将插入安装孔14dV的内周面和支持部34V的外周面之间的适配件33V拧进主体14，使得将隔膜阀体31V的外缘部夹持在主体14V和支持部34V之间。隔膜阀体31V由树脂或金属等形成为薄膜状，并且能够变形。而且，主体34V与适配件33V以具有耐热性和刚性的金属为材质。主体34V中装有金属制的杆30V，杆30V与隔膜阀体31V接触，经由杆30V向隔膜阀体31V传递驱动器部XV的驱动力。

如上述说明，如果使用本发明的流体控制阀3V，则

(1)在通过操作流体的压力使活塞11V滑动并且使隔膜阀体31V与阀座32V抵接或分离的流体控制阀3V中，由于其特征在于，共轴地具有第一活塞11AV和第二活塞11BV，以及在第一活塞11AV中共轴地安装有向隔膜阀体31V与阀座32V抵接的方向施力的一个第一压缩弹簧12AV，以及在第二活塞11BV中共轴地安装有向隔膜阀体31V与阀座32V抵接的方向施力的一个第二压缩弹簧12BV，因此，第一压缩弹簧12AV和第二压缩弹簧12BV分别以直列方式安装在第一活塞11AV和第二活塞11BV中，因此能够减小流体控制阀3V的宽度，并使其小型化。因此，能够减小整体的设置面积。

<流体控制阀的参考例>

相同形状的活塞11V也可以应用于NO型的流体控制阀。图50中示出参考例的流体控制阀4V(上述的流体控制阀17至19)的截面图。与NC型的流体控制阀1V、2V、3V相比的不同点是，压缩弹簧12V不向阀体18V与阀座14aV抵接的方向施力，以及压缩弹簧12V不安装在多个活塞11V之中的每个活塞上。另外，对于与上述实施方式相同的结构，在附图中添加与上述实施方式相同的附图标记，省略说明。

在流体控制阀4V中，与NC型的流体控制阀1V、2V、3V相比，将活塞11V的活塞部11aV安装在上部，将活塞杆11bV安装在下部。压缩弹簧12V只安装在配置在最下面的第一活塞11AV上。压缩弹簧12AV的一端与第一活塞11AV抵接，另一端与安装在适配件15V上的部件35V抵接。压缩弹簧12AV向阀体18与阀座14aV分离的方向施力。由此，相同形状的活塞11V不仅能够对应NC型，而且能够对应NO型。

另外，在NO型的流体控制阀中，虽然在参考例的流体控制阀4V中只使用一个压缩弹簧12AV，但是在使用多个活塞时，也可以在一个活塞11V上安装一个压缩弹簧12V。例如，在参考例的流体控制阀4V中，也可以在活塞11AV至11FV上分别安装一个压缩弹簧12V。

另外，本实施方式只不过是单纯的示例，丝毫不限定本发明。因此，当然可以在不脱离本发明要点的范围内，对本发明进行各种改良、变形。

例如，在上述实施方式中将2个活塞11V堆叠，在其他实施方式中将6个活塞11V堆叠，但是堆叠几个活塞11V都可以。

例如，在上述实施方式中使用空气作为操作流体，但是操作流体也可以是惰性气体。

<阀安装块内的流路>

图51是示出阀安装块60内的流路周边的截面图。在阀安装块60内形成有供处理气体或净化气体流入的入口流路14bV、供处理气体或净化气体流出的出口流路14cV以及连通入口流路14bV和出口流路14cV的安装孔14dV(阀室)。

入口流路14bV经由出口端口23b与连接流路23连接。出口流路14cV经由处理气体供给端口26与供给侧内部气体管线27连接。而且，驱动通过流体控制阀19的阀体18V相对于阀座14aV分离或抵接，以连通或截断安装孔14dV和出口流路14cV。即，在截断部的上游侧配置有容积大并且形状复杂的安装孔14dV和波纹管17V。通过上述结构，在阀体18V截断安装孔14dV和出口流路14cV的状态下，能够减少滞留在截断部的下游侧的供给侧内部气体管线27和阀体18V之间的气体量。

图52是示出阀安装块40内的流路周边的截面图。在阀安装块40内(图52的左侧)形成有供处理气体(第一流体)流入的入口流路14bV(第一入口流路)、供处理气体流出的出口流路14cV(第一出口流路)以及连通入口流路14bV和出口流路14cV的安装孔14dV(第一阀室)。另外，在阀安装块40内(图52的右侧)形成有净化气体(第二流体)流入的入口流路14bV(第二入口流路)、供净化气体流出的出口流路14cV(第二出口流路)以及连通入口流路14bV和出口流路14cV的安装孔14dV(第二阀室)。

左侧的入口流路14bV经由出口端口21b与连接流路21连接。出口流路14cV经由入口端口22a与连接流路22连接。右侧的入口流路14bV经由净化气体供给端口24与内部净化气体管线25连接。出口流路14cV经由入口端口22a与连接流路22连接。两个出口流路14cV互相连通。

而且，在图52的左侧，通过驱动流体控制阀17(一侧的流体控制阀)的阀体18V相对于阀座14aV分离或抵接，以连通或截断安装孔14dV(第一阀室)和出口流路14cV(第一出口流路)。另外，在图52的右侧，通过驱动流体控制阀18(另一侧的流体控制阀)的阀体18V相对于阀座14aV分离或抵接，以连通或截断安装孔14dV(第二阀室)和出口流路14cV(第二出口流路)。

即，在截断部的上游侧配置有容积大并且形状复杂的安装孔14dV和波纹管17V。通过上述结构，在两侧的流体控制阀17、18中，在阀体18V截断安装孔14dV和出口流路14cV的状态下，能够减少滞留在截断部的下游侧的气体量。因此，在切换处理气体和净化气体时，能够减少滞留的转换前的气体混入转换后的气体的量。

另外，在不变更本发明的本质部分的范围内，即使对于没有特别涉及的变形例，当然也包括在本发明的技术范围中。另外，构成用于解决本发明问题的装置的各部件中的、表现出作用性·功能性的部件除了由上述实施方式或变形例所公开的具体结构及其等同物之外，也包括所有能够实现该作用·功能的结构。

附图标记说明

1配管接头、2主体部、2a接合面、2g第一开口部、2k第一螺栓插入孔、2m第二螺栓插入孔、2p第二开口部、4第一通路、5第二通路、6开口侧通路、7中间通路、10气体供给装置、10A至10H气体供给单元、11处理气体流入管线、12净化气体流入管线、13处理气体供给管线、14内部主气体流路、15内部净化气体流路、16流量控制器、17至19流体控制阀、19a、19b流体控制阀驱动器、20流路块、20a上侧表面、20b下侧表面、21至23连接流路、24净化气体供给端口、25内部净化气体管线、26处理气体供给端口、27供给侧内部气体管线、28a至28d内螺纹部、30流入侧凸缘、31凸缘部、32管部、33安装螺栓、40阀安装块、41安装螺栓、50MFC安装部、51安装螺栓、60阀安装块、61安装螺栓、201第一连接片、202第二连接片、211第一连接开口部、212第一连接路、221第二连接开口部、222第二连接路、28a至28d内螺纹部、290旁路配管、1V至3V流体控制阀、11V活塞、11AV第一活塞、11BV第二活塞、12V压缩弹簧、12AV第一压缩弹簧、12BV第二压缩弹簧、13V活塞室、14V主体、14aV阀座、15V适配件、16V支持部、17V波纹管、18V阀体、20V盖部、21V直插式管接头、22V外部部件、23V内部部件、31V隔膜阀体、32V阀座、XV驱动器部、YV阀部。

Claims (29)

1.流路块，其结构为，内部形成有流体的流路，并通过在预定的排列方向上将多个流体控制器件排列并安装，从而能够形成具有多个所述流体控制器件的流体供给控制装置，多个所述流体控制器件通过所述流路互相连接，其特征在于，

相对于在所述排列方向上排列的多个所述流体控制器件的组形成为不可分离的一个整体，

所述流路具有第一流路和第二流路，其中，所述第一流路沿所述排列方向设置以使得构成所述组的多个所述流体控制器件互相连接，所述第二流路沿与所述排列方向正交的宽度方向设置，

所述流路块具有连接部，在将两个所述流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下，所述连接部能够将两个所述流路块的所述第二流路互相连接。

2.如权利要求1所述的流路块，其特征在于，

所述流路块被形成为，在与所述排列方向正交的宽度方向上将多个所述组排列并能够进行安装，并且相对于各个所述组不可分离地形成为一个整体，

所述第二流路被设置为将各个所述组互相连接。

3.如权利要求1所述的流路块，其特征在于，

所述连接部具有第一连接片和第二连接片，其中，

所述第一连接片在与所述宽度方向和所述排列方向正交的厚度方向上的一侧从所述宽度方向上的一个端部向所述宽度方向突出设置，与所述第二流路连接，并且形成有在所述厚度方向上的另一侧开口的第一连接开口部，

所述第二连接片在所述厚度方向上的所述另一侧从所述宽度方向上的另一个端部向所述宽度方向突出设置，与所述第二流路连接，并且形成有在所述厚度方向上的所述一侧开口的第二连接开口部，

通过使所述第一连接片和所述第二连接片在所述厚度方向重合使得所述第一连接开口部和所述第二连接开口部彼此相对，使得所述第一连接片和所述第二连接片各自的所述第二流路互相连接。

4.如权利要求2所述的流路块，其特征在于，

所述连接部具有第一连接片和第二连接片，其中，

所述第一连接片在与所述宽度方向和所述排列方向正交的厚度方向上的一侧从所述宽度方向上的一个端部向所述宽度方向突出设置，与所述第二流路连接，并且形成有在所述厚度方向上的另一侧开口的第一连接开口部，

所述第二连接片在所述厚度方向上的所述另一侧从所述宽度方向上的另一个端部向所述宽度方向突出设置，与所述第二流路连接，并且形成有在所述厚度方向上的所述一侧开口的第二连接开口部，

通过使所述第一连接片和所述第二连接片在所述厚度方向重合使得所述第一连接开口部和所述第二连接开口部彼此相对，使得所述第一连接片和所述第二连接片各自的所述第二流路互相连接。

5.如权利要求3或4所述的流路块，其特征在于，

所述第一连接片和所述第二连接片被形成为使所述第一连接开口部和所述第二连接开口部在所述排列方向上处于相同位置。

6.如权利要求5所述的流路块，其特征在于，

所述第一连接片和所述第二连接片在所述排列方向上在所述流路块的整个长度上设置。

7.如权利要求1所述的流路块，其特征在于，

所述连接部具有第一连接片和第二连接片，其中，

所述第一连接片从所述宽度方向上的一个端部向所述宽度方向突出设置，与所述第二流路连接，并且形成有第一连接开口部，所述第一连接开口部在安装有所述流体控制器件的一个表面，也就是上侧表面侧开口，

所述第二连接片从所述宽度方向上的另一端向所述宽度方向突出设置，与所述第二流路连接，并且形成有在所述上侧表面侧开口的第二连接开口部，

在将所述第一连接片和所述第二连接片在所述排列方向上相邻配置的状态下，通过以跨越所述第一连接片和所述第二连接片的方式安装用于将所述第一连接开口部和所述第二连接开口部相互连接的旁路配管，使相邻配置的两个所述流路块中的各自的所述第二流路互相连接。

8.如权利要求2所述的流路块，其特征在于，

所述连接部具有第一连接片和第二连接片，其中，

所述第一连接片从所述宽度方向上的一个端部向所述宽度方向突出设置，与所述第二流路连接，并且形成有第一连接开口部，所述第一连接开口部在安装有所述流体控制器件的一个表面，也就是上侧表面侧开口，

所述第二连接片从所述宽度方向上的另一端向所述宽度方向突出设置，与所述第二流路连接，并且形成有在所述上侧表面侧开口的第二连接开口部，

在将所述第一连接片和所述第二连接片在所述排列方向上相邻配置的状态下，通过以跨越所述第一连接片和所述第二连接片的方式安装用于将所述第一连接开口部和所述第二连接开口部相互连接的旁路配管，使相邻配置的两个所述流路块中的各自的所述第二流路互相连接。

9.如权利要求7或8所述的流路块，其特征在于，

所述流路块被构成为所述第一连接片的突出量和所述第二连接片的突出量在所述宽度方向上相等。

10.如权利要求9所述的流路块，其特征在于，

所述流路块被构成为在将所述第一连接片和所述第二连接片在所述排列方向上相邻配置的状态下，两个所述第一连接片之间的空间收容所述第二连接片。

11.如权利要求1至4、7、8中的任一项所述的流路块，其特征在于，

对应多个所述流体控制器件中的每一个流体控制器件分别设置有一对内螺纹部，从而以能够任意拆装的方式安装多个所述流体控制器件中的每一个流体控制器件，

所述第一流路和所述内螺纹部沿所述排列方向呈大体直线状配置。

12.如权利要求11所述的流路块，其特征在于，

多个所述流体控制器件被集中并安装在所述流路块的一个表面，也就是上侧表面侧，

所述内螺纹部被形成为在所述上侧表面上开口的非贯通孔，

所述第一流路被形成为在所述非贯通孔的深度方向上绕过所述内螺纹部。

13.流体供给控制装置，其具有：多个流体控制器件；以及流路块，所述流路块的结构为，内部形成有流体的流路，并通过在预定的排列方向上将多个流体控制器件排列并安装，从而能够使这些流体控制器件通过所述流路互相连接，

其特征在于，所述流路块

相对于在所述排列方向上排列的多个所述流体控制器件的组形成为不可分离的一个整体，

具有第一流路和第二流路，其中，所述第一流路沿所述排列方向设置以使得构成所述组的多个所述流体控制器件互相连接，所述第二流路沿与所述排列方向正交的宽度方向设置，以及

具有连接部，在将两个所述流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下，所述连接部能够将两个所述流路块的所述第二流路互相连接。

14.如权利要求13所述的流体供给控制装置，其特征在于，

多个所述流体控制器件包括：

流体控制阀，能够切换所述流体的流通和截断；以及

流量控制器，控制所述流体的流通量，

两个所述流体控制阀的驱动器通过共同的安装块被安装在所述流路块上。

15.如权利要求14所述的流体供给控制装置，其特征在于，

在所述安装块的内部形成有：第一入口流路，供第一流体流入；第一出口流路，供所述第一流体流出；第一阀室，与所述第一入口流路和所述第一出口流路连通；第二入口流路，供第二流体流入；第二出口流路，供所述第二流体流出；以及第二阀室，与所述第二入口流路和所述第二出口流路连通；

驱动一侧的所述流体控制阀的阀体以连通和截断所述第一阀室和所述第一出口流路，驱动另一侧的所述流体控制阀的阀体以连通和截断所述第二阀室和所述第二出口流路，所述第一出口流路和所述第二出口流路连通。

16.如权利要求14所述的流体供给控制装置，其特征在于，

在与所述排列方向正交的方向上，所述安装块的宽度与所述流体控制阀的宽度大体相同。

17.如权利要求14所述的流体供给控制装置，其特征在于，

所述流体控制阀利用操作流体的压力使活塞滑动，并使阀体抵接阀座或使阀体从阀座分离，

共轴地具有作为所述活塞的第一活塞和第二活塞，

在所述第一活塞上共轴地安装有一个第一压缩弹簧，所述第一压缩弹簧向使所述阀体抵接所述阀座的方向施力，

在所述第二活塞上共轴地安装有一个第二压缩弹簧，所述第二压缩弹簧向使所述阀体抵接所述阀座的方向施力。

18.如权利要求17所述的流体供给控制装置，其特征在于，

所述第一活塞和所述第二活塞的形状相同，

所述第一压缩弹簧和所述第二压缩弹簧的形状相同。

19.如权利要求17所述的流体供给控制装置，其特征在于，

所述第一压缩弹簧产生的施加力和所述第二压缩弹簧产生的施加力作为使所述阀体抵接所述阀座的力作用。

20.如权利要求17至19中任一项所述的流体供给控制装置，其特征在于，

具有管形的外部部件，

所述外部部件的一端安装有盖部，所述外部部件的另一端安装有适配件，

所述外部部件的内部装有圆筒状的第一内部部件和圆筒状的第二内部部件，

所述第一内部部件和所述第二内部部件在所述外部部件的内部以堆叠的状态被固定，

所述第一压缩弹簧的一端与所述第一活塞抵接，所述第一压缩弹簧的另一端与所述第二内部部件抵接，

所述第二压缩弹簧的一端与所述第二活塞抵接，所述第二压缩弹簧的另一端与所述盖部抵接。

21.如权利要求20所述的流体供给控制装置，其特征在于，

所述盖部形成有所述操作流体的给排气端口，

所述第一活塞和所述第二活塞的内部分别形成有所述操作流体的流路，

所述给排气端口经由所述流路，与对所述第二活塞施加所述操作流体的压力的加压室和对所述第一活塞施加所述操作流体的压力的加压室连通。

22.如权利要求20所述的流体控制装置，其特征在于，

所述第一活塞和所述第二活塞分别形成有凹部，

具有杆部，所述杆部的一端安装有所述阀体，所述杆部的另一端被配置在所述第一活塞的凹部，

所述第二活塞的凹部配置有所述第一活塞的一端。

23.如权利要求14所述的流体供给控制装置，其特征在于，

所述流体控制阀

利用操作流体的压力使活塞滑动，并使阀体抵接阀座或使阀体从阀座分离，

共轴地具有4个以上的所述活塞，

在所述活塞上分别共轴地安装有压缩弹簧，所述压缩弹簧向使所述阀体抵接所述阀座的方向施力。

24.如权利要求23所述的流体供给控制装置，其特征在于，

所述压缩弹簧的施加力的总和是使所述阀体抵接所述阀座的力。

25.如权利要求17、18、19、23、24中任一项所述的流体供给控制装置，其特征在于，

形成有所述阀座的主体的上部固定有支持部，

在所述阀体和所述支持部之间配置有波纹管。

26.如权利要求17、18、19、23、24中任一项所述的流体供给控制装置，其特征在于，

在形成有所述阀座的主体的上部通过焊接固定有支持部。

27.如权利要求26所述的流体供给控制装置，其特征在于，

具有所述活塞的驱动器部相对所述支持部可拆装。

28.如权利要求17、18、19、23、24中任一项所述的流体供给控制装置，其特征在于，

具有管形的外部部件。

29.如权利要求28所述的流体供给控制装置，其特征在于，

盖部的顶面上具有直插式管接头，所述盖部被安装在所述外部部件的前端。