CN110234924B - 接头及流体控制装置 - Google Patents

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Abstract

接头及流体控制装置，能够在进行气体管线的改造等时容易地变更尺寸。接头(20)具备第一块体(21)、第二块(22)、使第一块体(21)与第二块体(22)连接的单管部(23)，并具有第一气体流路(第一流路(27)、第二流路(31))及第二气体流路(第三流路(32))。第一气体流路形成为使在第一块体(21)的第一面(24)开口的第一入口部(27A)、单管部(23)、以及在第二块体(22)的第四面(28)开口的第二出口部(31B)连通，第二气体流路形成为使在第二块体(22)的第四面(28)开口的第三入口部(32A)及第三出口部(32B)连通，第二出口部(31B)位于第三入口部(32A)与第三出口部(32B)之间。

Description

接头及流体控制装置
技术领域
本发明涉及一种在半导体制造装置等中使用的流体控制装置所采用的接头以及具备该接头的流体控制装置。
背景技术
以往提出有在流体控制装置中使用的接头(例如参照专利文献1) 的技术方案。专利文献1所公开的设有质量流量控制器的接头在块体状的接头的上表面，在一直线上形成有第一口～第四口，第一口、第三口通过V字状的流路进行了连接，第二口、第四口通过V字状的流路进行了连接。就该接头而言，通过使三通阀的中央的口与块体上表面侧的另一口连通，并将横跨多个气体管线的净化气体分支配管从后方安装于块体上表面侧，从而可预先将多个气体管线装配于各气体管线。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利公开2005-163952号公报
发明内容
(一)要解决的技术问题
但是，就专利文献1公开的接头而言，因为是在单一的块体的上表面形成四个口的结构，所以在对流体控制装置的气体管线进行改造时，不容易与质量流量控制器的尺寸变更相应地变更该接头的尺寸。即，为了变更口之间的距离，需要变更流路的角度，并且需要对两条 V字状的流路重新进行设计。
因此，本发明的目的在于，提供一种接头及流体控制装置，其能够在进行气体管线的改造等时容易地变更尺寸。
(二)技术方案
为了实现上述目的，本发明一实施方式的接头具备第一块体、第二块体、以及使所述第一块体与所述第二块体连接的单管部，并在内部具有第一气体流路及第二气体流路，所述第一气体流路形成为使在所述第一块体的外表面开口的第一口、所述单管部、以及在所述第二块体的外表面开口的第二口连通，所述第二气体流路形成为使在所述第二块体的所述外表面开口的第三口及第四口连通，所述第二口位于所述第三口与所述第四口之间。
并且可以是，所述第一气体流路具有形成于所述第一块体的第一流路及形成于所述第二块体的第二流路，所述第二流路由相对于所述第二块体的所述外表面正交地形成的流路构成，所述第二气体流路形成为避开所述第二流路。
另外，本发明一实施方式的流体控制装置具备多个气体管线，各气体管线具备多个流体控制器件、以及设置流体控制器件的接头，所述接头具备第一块体、第二块体、以及使所述第一块体与所述第二块体连接的单管部，并在内部具有第一气体流路及第二气体流路，所述第一气体流路形成为使在所述第一块体的外表面开口的第一口、所述单管部、以及在所述第二块体的外表面开口的第二口连通，所述第二气体流路形成为使在所述第二块体的所述外表面开口的第三口及第四口连通，所述第二口位于所述第三口与所述第四口之间。
并且可以是，所述多个流体控制器件具备：作为二通阀的第一阀、作为三通阀的第二阀、以及用于供给净化气体的净化气体配管，所述接头配置为所述第一块体比所述第二块体更靠上游侧，在所述第一块体设有所述第一阀，在所述第二块体设有所述第二阀及所述净化气体配管。
并且可以是，所述多个流体控制器件具备：作为三通阀的阀、用于供给净化气体的净化气体配管、以及流量控制器件，所述接头配置为所述第二块体比所述第一块体更靠上游侧，在所述第二块体设有所述阀及所述净化气体配管，在所述第一块体设有所述流量控制器件。
(三)有益效果
根据本发明，可提供一种接头及流体控制装置，其能够在进行气体管线的改造等时容易地变更尺寸。
附图说明
图1示出具备本发明实施方式的接头的流体控制装置的概略图。
图2示出本发明实施方式的接头的立体图。
图3的(a)示出接头的俯视图，图3的(b)示出接头的侧视图。
图4示出具备变形例的接头的流体控制装置的概略图。
具体实施方式
参照附图对本发明的第一实施方式的接头及流体控制装置进行说明。
图1示出具备本实施方式的接头20的流体控制装置1的概略图。
流体控制装置1具备：多个气体管线2、多条轨道3、以及固定轨道3的基座(未图示)。另外，在图1中仅示出多个气体管线2及轨道3中的一个气体管线2及轨道3。
气体管线2具备：多个接头4～6、20、多个流体控制器件10～ 16、以及净化气体分支配管17。
多个接头4～6、20构成为包括：成为加工气体的入口的入口接头4、成为加工气体的出口的出口接头5、以及配置在入口接头4与出口接头5之间的多个块体状的接头6、20。对于接头20，将在下文中详细说明。多个接头4～6通过未图示的螺栓固定于轨道3。在各接头4～6形成有未图示的气体流路，该流路与对应的流体控制器件 10～16的流路连通。
多个流体控制器件10～16构成为包括：作为自动阀(例如流体驱动式的自动阀)的阀10～12(将阀11设为第一阀11、将阀12设为第二阀12)、手动式的调节器(减压阀)13、压力计14、流量控制器件(例如质量流量控制器(MFC:Mass Flow Controller))15、以及过滤器16。各流体控制器件10～16通过螺栓18(为了简化图示而仅对一个螺栓18附加了参照编号)分别连结于接头4～6、20。
在第一阀11形成有第一气体流入路11a及第一气体流出路11b。第二阀12是三通阀，形成有第二气体流入路12a、第二气体流出路 12b、以及净化气体流路12c。
关于净化气体分支配管17，其一端与接头20连接，另一端与未图示的净化气体主配管连接。
而且，从入口接头4流入的加工气体通过流体控制器件10～16、多个接头6、20、出口接头5，供给至未图示的腔室。而且，从未图示的净化气体主配管供给的净化气体(例如氮)向净化气体分支配管 17流入，并经由第二阀12的净化气体流路12c，从第二气体流入路12a向入口接头4侧流动，从第二气体流出路12b向出口接头5侧流动。
接着，参照图1～图3对本实施方式的接头20进行说明。
图2示出了接头20的立体图。图3的(a)示出了接头20的俯视图，图3的(b)示出了接头20的侧视图。
接头20具备：第一块体21、第二块体22、以及单管部23。
第一块体21通过切削加工、锻造、铸造、或是3D印刷进行制造，且呈近似长方体状。第一块体21具有：第一面24、位于第一面 24相反侧的第二面25、以及使第一面24与第二面25连接的第三面 26。在第一面24配置有第一阀11。第一块体21通过螺栓7相对于轨道3进行固定。
在第一块体21形成有第一流路27。第一流路27形成为俯视呈直线状且侧视呈近似L字状，并具有：在第一面24开口的第一入口部27A、以及在第三面26开口的第一出口部27B。第一出口部27B 与第一阀11的第一气体流出路11b连通。
第二块体22通过切削加工、锻造、铸造、或是3D印刷进行制造，且呈近似长方体状。第二块体22具有：第四面28、位于第四面 28相反侧的第五面29、以及使第四面28与第五面29连接的第六面 30。在第四面28配置有：净化气体分支配管17、以及第二阀12。第六面30与第一块体21的第三面26对置。
在第二块体22形成有第二流路31、以及第三流路32。第二流路 31形成为俯视呈直线状且侧视呈近似L字状，并具有：在第六面30 开口的第二入口部31A、以及在第四面28开口的第二出口部31B。即，第二流路31由相对于第四面28及第六面30正交地形成的流路构成。第二入口部31A与单管部23连通，第二出口部31B与第二阀 12的第二气体流入路12a连通。
第三流路32形成为俯视和侧视呈近似V字状，并具有在第四面 28开口的第三入口部32A及第三出口部32B。即，第三流路32形成为相对于第四面28倾斜且呈近似V字状。第三入口部32A与净化气体分支配管17连通，第三出口部32B与第二阀12的净化气体流路 12c连通。
第二出口部31B、第三入口部32A、以及第三出口部32B形成为在一直线上排列，第二出口部31B位于第三入口部32A与第三出口部32B之间。第三流路32形成为俯视和侧视呈近似V字状，并构成为避开第二流路31而不相交。
单管部23设置在第一块体21与第二块体22之间，并具有第一单管23A、和第二单管23B。在本实施方式中，第一单管23A与第一块体21为一体且通过切削而形成，并与第一出口部27B连通。第二单管23B通过焊接与第二块体22的第二入口部31A连接。另外，第一单管23A与第二单管23B通过焊接互相连接。而且，在进行该单管部的焊接时，通过在其间添加任意长度的单管来进行焊接，可以容易地调节第一块体21与第二块体22的距离。
另外，第一入口部27A相当于第一口，第二出口部31B相当于第二口，第三入口部32A相当于第三口，第三出口部32B相当于第四口，第一流路27、单管部23、以及第二流路31相当于第一气体流路，第三流路32相当于第二气体流路。
根据上述的接头20，能够在第二块体22设置作为三通阀的第二阀12以及净化气体分支配管17，在对现有的气体管线2进行改造时，即使在流量控制器件15的尺寸发生变更，需要调整净化气体分支配管17以及第二阀12的位置的情况下，也能够通过变更单管部23的长度，容易地调整它们的位置，对气体管线2进行改造。
另外，第二流路31由相对于第四面28及第六面30正交地形成的流路构成，第三流路32以避开第二流路31的方式形成为相对于第四面28倾斜且呈近似V字状。通过这种结构，仅第三流路32需要在相对于构成第二块体22的面倾斜的方向上进行加工，因此可以使第二单管23B通过切削加工形成，可以容易地制造第二块体22。
另外，本发明不限于上述的实施例。本领域技术人员在本发明的范围内可以进行各种添加、变更等。
例如，在要确保质量流量控制器件15与第二阀12之间的空间的情况下，如图4所示，也可以将接头20从上述实施方式的状态起反转 180°并设置于流体控制装置1。在这种情况下，第二块体22比第一块体21更靠上游侧，在第二块体22设有第二阀12以及净化气体分支配管17，在第一块体21设有流量控制器件15。
通过这种结构，因为可以使一气体管线2的净化气体分支配管 17从另一气体管线2的净化气体分支配管17偏离，所以在要使一气体管线2的净化气体从另一气体管线2的净化气体改变的情况下有效。
另外，第三流路32虽是近似V字状，但也可以是近似U字状。
单管部23虽是由通过切削形成的第一单管23A、以及通过焊接与第二块体22接合的第二单管23B构成，但也可以是通过焊接将一条单管与第一块体21以及第二块体22接合的结构，也可以是通过对第二单管23B进行切削而构成，也可以是通过焊接将第一单管23A与第一块体21接合的结构。
虽然在上述的实施方式中，流体控制装置1具备作为流体控制器件的开闭阀(阀)、调节器、压力计以及质量流量控制器，但是除此以外，也可以具备过滤器、止回阀等。
附图标记说明
1：流体控制装置；2：气体管线；11：第一阀；12：第二阀；15：流量控制器件；17：净化气体分支配管；20：接头；21：第一块体； 22：第二块体；23：单管部；24：第一面；27：第一流路；27A：第一入口部；28：第四面；30：第六面；31：第二流路；31B：第二出口部；32：第三流路；32A：第三入口部；32B：第三出口部。

Claims (8)

1.一种接头，其具备第一块体、第二块体、以及使所述第一块体与所述第二块体连接的单管部，并在内部具有第一气体流路及第二气体流路，所述第一气体流路形成为使在所述第一块体的外表面开口的第一口、所述单管部、以及在所述第二块体的外表面开口的第二口连通，
所述第二气体流路形成为使在所述第二块体的所述外表面开口的第三口及第四口连通，
所述第二口位于所述第三口与所述第四口之间，
所述第一块体的所述外表面与所述第二块体的所述外表面朝向相同侧，所述第一口与所述第二口在相同侧开口，
所述单管部具有与所述第一块体连接的第一单管和与所述第二块体连接的第二单管，将所述第一单管和所述第二单管互相连接形成所述单管部。
2.根据权利要求1所述的接头，其特征在于，
所述第一气体流路具有形成于所述第一块体的第一流路及形成于所述第二块体的第二流路，所述第二流路由相对于所述第二块体的所述外表面正交地形成的流路构成，
所述第二气体流路形成为避开所述第二流路。
3.根据权利要求1所述的接头，其特征在于，仅在所述第一块体上形成有用于使螺栓插通的螺栓插入孔。
4.一种流体控制装置，其具备多个气体管线，各气体管线具备多个流体控制器件、以及设置流体控制器件的接头，
所述接头具备第一块体、第二块体、以及使所述第一块体与所述第二块体连接的单管部，并在内部具有第一气体流路及第二气体流路，
所述第一气体流路形成为使在所述第一块体的外表面开口的第一口、所述单管部、以及在所述第二块体的外表面开口的第二口连通，
所述第二气体流路形成为使在所述第二块体的所述外表面开口的第三口及第四口连通，
所述第二口位于所述第三口与所述第四口之间，
所述第一块体的所述外表面与所述第二块体的所述外表面朝向相同侧，所述第一口与所述第二口在相同侧开口，
所述单管部具有与所述第一块体连接的第一单管和与所述第二块体连接的第二单管，将所述第一单管和所述第二单管互相连接形成所述单管部。
5.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，
所述多个流体控制器件具备：作为二通阀的第一阀、作为三通阀的第二阀、以及用于供给净化气体的净化气体配管，
所述接头配置为所述第一块体比所述第二块体更靠上游侧，
在所述第一块体设有所述第一阀，
在所述第二块体设有所述第二阀及所述净化气体配管。
6.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，
所述多个流体控制器件具备：作为三通阀的阀、用于供给净化气体的净化气体配管、以及流量控制器件，
所述接头配置为所述第二块体比所述第一块体更靠上游侧，
在所述第二块体设有所述阀及所述净化气体配管，
在所述第一块体设有所述流量控制器件。
7.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，仅在所述第一块体上形成有用于使螺栓插通的螺栓插入孔。
8.根据权利要求4至7中任一项所述的流体控制装置，其特征在于，
所述第一气体流路具有形成于所述第一块体的第一流路及形成于所述第二块体的第二流路，所述第二流路由相对于所述第二块体的所述外表面正交地形成的流路构成，
所述第二气体流路形成为避开所述第二流路。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109891138B (zh) * 2016-10-24 2020-07-07 株式会社富士金 流体控制装置和使用该流体控制装置的制品制造方法
WO2020214616A1 (en) * 2019-04-15 2020-10-22 Lam Research Corporation Modular-component system for gas delivery
JP7372664B2 (ja) * 2019-09-30 2023-11-01 株式会社フジキン 継手ブロックアセンブリおよび流体制御装置
JP2024512898A (ja) 2021-03-03 2024-03-21 アイコール・システムズ・インク マニホールドアセンブリを備える流体流れ制御システム
CN114183615A (zh) * 2021-12-01 2022-03-15 江苏天毅冷镦股份有限公司 一种冷镦钎焊组合式多通金属接头及其制造工艺

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6125887A (en) * 1999-09-20 2000-10-03 Pinto; James V. Welded interconnection modules for high purity fluid flow control applications
WO2008004501A1 (fr) * 2006-07-04 2008-01-10 Tokyo Electron Limited unité d'arrivée de gaz
CN103732972A (zh) * 2012-02-29 2014-04-16 株式会社富士金 清洗管线变更用通路块接头以及流体控制装置
CN104696569A (zh) * 2013-12-05 2015-06-10 Ckd株式会社 流路块和流体供给控制装置

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5178191A (en) * 1990-09-05 1993-01-12 Newmatic Controls Inc. Modular pneumatic control systems
JP2922453B2 (ja) * 1996-01-05 1999-07-26 シーケーディ株式会社 ガス供給集積ユニット
JP4022696B2 (ja) * 1996-11-20 2007-12-19 忠弘 大見 遮断開放器
JP3737869B2 (ja) 1997-05-13 2006-01-25 シーケーディ株式会社 プロセスガス供給ユニット
US6152175A (en) * 1997-06-06 2000-11-28 Ckd Corporation Process gas supply unit
JP3766760B2 (ja) * 1999-02-19 2006-04-19 シーケーディ株式会社 バルブユニット
JP2002349797A (ja) 2001-05-23 2002-12-04 Fujikin Inc 流体制御装置
WO2003001093A1 (fr) * 2001-06-21 2003-01-03 Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. Soupape de collecteur
KR20060017577A (ko) 2002-08-27 2006-02-24 셀레리티 인크. 공통 평면 내에 매니폴드 연결부를 갖는 모듈형 기판 가스패널
JP4283653B2 (ja) 2003-12-04 2009-06-24 シーケーディ株式会社 ガス供給ユニット用ブロック
US7048008B2 (en) * 2004-04-13 2006-05-23 Ultra Clean Holdings, Inc. Gas-panel assembly
JP2006083959A (ja) * 2004-09-16 2006-03-30 Fujikin Inc センサ付き継手部材
JP4780555B2 (ja) * 2005-09-12 2011-09-28 株式会社フジキン 流体制御装置
JP2008210982A (ja) * 2007-02-26 2008-09-11 Tokyo Electron Ltd 半導体製造装置のガス供給システム及びガス供給集積ユニット
US8322380B2 (en) * 2007-10-12 2012-12-04 Lam Research Corporation Universal fluid flow adaptor
KR101722013B1 (ko) * 2013-05-09 2017-03-31 가부시키가이샤 후지킨 원료 유체 농도 검출기
JP6147113B2 (ja) * 2013-06-27 2017-06-14 株式会社フジキン 流体制御装置用継手および流体制御装置
CN110506323A (zh) * 2017-03-29 2019-11-26 富士金公司 转换接头、具有该转换接头的集成型流体供应装置以及流体部件的安装方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6125887A (en) * 1999-09-20 2000-10-03 Pinto; James V. Welded interconnection modules for high purity fluid flow control applications
WO2008004501A1 (fr) * 2006-07-04 2008-01-10 Tokyo Electron Limited unité d'arrivée de gaz
CN103732972A (zh) * 2012-02-29 2014-04-16 株式会社富士金 清洗管线变更用通路块接头以及流体控制装置
CN104696569A (zh) * 2013-12-05 2015-06-10 Ckd株式会社 流路块和流体供给控制装置
CN104696299A (zh) * 2013-12-05 2015-06-10 Ckd株式会社 配管接头、流体供给控制装置以及配管连接结构

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